TW201009328A - Image data processing apparatus and method for defect inspection, defect inspecting apparatus and method using the image data processing apparatus and method, board-like body manufacturing method using the defect inspecting apparatus and method - Google Patents

Description

201009328 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種檢查玻璃板等具有透明性之板狀體中 所存在之缺陷的缺陷檢查用圖像資料之處理裝置及處理方 法、分別使用其等之缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法、使用 其等之板狀體之製造方法、以及記錄執行缺陷檢查用圖像 資料之處理方法之程式的可由電腦讀取的記錄媒體。 【先前技術】 當前，由於玻璃板被用於平板顯示器及薄膜太陽電池等 電子機器中，因此強烈需要板厚較薄、氣泡或傷痕等缺陷 極其少或者完全不存在之玻璃板。 作為玻璃板中所存在之缺陷，可列舉於玻璃板之表面上 所形成之傷痕。例如，於浮式法中將作為固定厚度之長條 板狀體自熔融爐中取出並於驅動輥上進行搬送。此時，會 因驅動輥上附著之異物或驅動輥上之微小突起等而導致玻 璃板之表面受到損傷，從而產生傷痕。由於玻璃板之搬送 中所使用之驅動輥設置有多個，故玻璃板之表面上產生微 小傷痕之機會極其多。由於上述傷痕係週期性地產生，故 自先前以來，不僅限於玻璃板，關於取出長條狀之中間形 態之製品，於其步驟内檢查中提出有各種對具有週期性缺 陷進行檢查之方法。 .於專利文獻1中揭示有如下測定方法：$ 了測定移動之 被檢查物中所存在之缺陷之週期，將缺陷資料與正常資料 二值化，求出缺陷資料間之距離後，對所求出之各距離進 141812.doc 201009328 行頻率計算而算出距離之週期分量，ϋ自該週期分量中提 取缺陷的基本週期。 於專利文獻2中揭示有如下方法：將於拍攝被檢查體所 得之圖像資料巾檢測出之缺陷分類為週期性缺陷及非週期 性缺陷’並檢查週期性缺陷。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]日本國專利特公平7_86474號公報 [專利文獻2]曰本國專利特開2〇〇6 3〇8473號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 然而，專利文獻1中，於算出缺陷資料間之距離之週期 分量時，由於無法區別缺陷資料與雜訊資料，故難以有效 地算出週期刀量。當缺陷微小時必需降低二值化之閾 值’因此將雜訊資料作為缺陷資料來處理之數量變得極其 大，週期分量之算出之精度愈加降低。 、 另-方面’專利文獻2中，當將於拍攝被檢查體所得之 圖像資料中檢測出之缺陷分類為職性缺喊非週期性缺 陷時’對圖像資料進行二值化，並將藉由二值化所獲得之 被看作缺陷之部分的面積之大小高於特定值者分類 期性缺陷。因此，舍肱品拉k 〜 會將面積極其小、被看作因雜訊資 引起之缺陷之部分誤識別為週期性缺陷。 即’由於玻璃板上產生之因驅動輥等所造成 之缺陷較小’故對圖像資料進行二值化時，為了減少2 141812.doc 201009328 作缺陷之部分而降低閾值’亦難以與隨機產生之雜訊資料 加以區別HI： ’判別驅動輥等所造成之較小傷痕之缺陷 之週期性將極其困難。

參 因此，為了解決上述問題，本發明之目的在於提供一種 檢測玻璃板等板狀體中所存在之缺陷時、即便所拍攝之圖 像中包含雜訊分量亦可檢測週期性缺陷之存在的缺陷檢查 用圖像資料之處理裝置及處理方法、分別使用其等之缺陷 檢查裝置及缺陷檢查方法、使用該檢查方法或缺陷檢查裝 置之板狀體之製造方法、以及記錄執行缺陷檢查用圖像資 料之處理方法之程式的可由電腦讀取之記錄媒體。 [解決問題之技術手段] 為了達成上述目的，本發明之型態丨提供一種處理裝 置’其特徵在於，其係使用—面使板狀體於特定方向相對 移動一面對板狀體進行拍攝所得之圖像而檢查上述板狀體 中所存在之缺陷的缺陷檢查用圖像資料之處理裝置；其包 括處理部，其係使用第1信號閨值而自上述圖像中提取複 數個缺陷候補’並於上述移動方向上’自所提取之複數個 缺陷候補中搜索與上述特定方向即移動方向成正交之寬度 方向的位置相同之缺陷候補，求出藉由搜素所檢測出之： 陷候補於上述板狀體之移動方向上之位置、與在移動方向 上和上述檢測出之缺陷候補相鄰之缺陷候補於移動方向上 的位置之間的間隔’藉由重複上述處理而取得複數個間 隔，求出該等複數個間隔之產生頻率，當所注目之間隔之 產生頻率超過所設定的頻率閾值時，則判別為上述板狀體 1418I2.doc 201009328 :述移動方向i具有週期性缺陷；上述處理部中所使用 之上述頻率閾值係根據上述所注目之間隔而規定，當將兩 個頻率閾值規定為不同值時’以使規定較大一方之頻率閨 值之上述所注目的間隔小於規定較小-方之頻率閾值之上 述所注目的間隔之方式，設定上述頻率閾值。 本發明之型態2提供如上述型態1之處理裝置，其中上述 處理β包括表不上述缺陷候補之產生密度與上述第1信號 :值之關係的參照表’以使缺陷候補之產生密度成為二 疋之目私產生密度的方式，使用上述參照表設定上述第1❹ ^號間值’上述頻率閾值係除了根據上述所注目之間隔而 變化之外亦根據上述目標產生密度的值而變化之值。 本發明之型態3提供如上述型態1或型態2之處理裝置， 其中上述處理部中所使用之上述頻率閾值係以如下方式規 疋，即.假冑雜訊分量隨機分布於區域中，並將上述寬度 方向之位置處於相同位置上之雜訊分量作為上述缺陷候 補’解析性地求出相對於上述間隔之上述雜訊分量之產生 頻率’或者將由雜訊分量所形成之模擬圖像中之上述雜訊© 分量的圖像作為缺陷候補，求出相對於上述間隔之上述雜 訊分量之產生頻率’根據所求出之產生頻率而規定上述頻 率閾值。 本發明之型態4提供如上述型態3之處理裝置，其中上述 雜訊分量之產生係使圖像中之雜訊分量之產生密度根據圖 像之區域而變化者。 本發明之型態5提供如上述型態1至4中任一項之處理裝 1418l2.doc 201009328 置’其中上述處理部於上述寬度方向及上述移動方向上將 搜索上述缺陷候補之搜索對象之圖像分割成複數個部分而 形成複數個尺寸相同的單元區域，當包含複數個缺陷候補 之複數個單元區域於上述寬度方向上處於相同位置時，將 該等缺陷候補設為彼此於上述寬度方向上之位置相同，而 求出上述間隔及上述產生頻率。 本發明之型態6提供如上述型態1至5中任一項之處理裝 置’其中求出表示上述產生頻率於上述寬度方向之位置上 之分布的寬度方向產生頻率分布，並使用該寬度方向產生 頻率分布中之沿上述寬度方向之上述產生頻率之不均，而 對缺陷產生圖案進行分類。 本發明之型態7提供如上述型態1至6中任一項之處理裳 置’其中上述板狀體係於上述移動方向上連續之長條形狀 者’上述處理部將上述板狀體劃分為具有設定長度之板狀 體的區域，將該區域之圖像作為丨個單位之檢查對象，而 對複數個單位進行上述判別。 本發明之型態8提供如上述型態7之處理裝置，其中上述 處理部針對上述複數個時間序列單位記錄由上述間隔與上 述寬度方向之位置所規定之上述間隔的產生頻率分布，根 據所記錄之產生頻率分布規定所注目之間隔以及上述寬度 方向之位置而求出產生頻率，並將該產生頻率表示為時間 序列資料，藉此將缺陷之產生資訊於畫面中加以顯示。 本發明之型態9提供如上述型態8之處理裝置，其中針對 上述產生頻率之時間序列資料，將改變上述所注目之間隔 141812.doc 201009328 又方向之位置中之至少一方後所得之複數個產生頻率 時’序歹】資料，覆寫於相同圖表中並於畫面中力σ以顯 7]λ 。 本發明之型態10提供如上述型態1至9中任一項之處理裝 置，其中上述處理部於上述移動方向上搜素並檢測出上述 寬度方向之位置相同之缺陷候補時，了將相鄰之缺陷候 補作為前-個缺陷候補而求出上述移動方向上之間隔之 外，亦求出與複數個前之缺陷候補之間之於移動方向上的 間隔’藉由重複上述處理而取得複數個間隔，纟出該複數 ㈣隔之產生頻率，當所注目之間隔之產生頻率超過所設 定的頻率閾值_，判別為上述板狀體於上述移動方向上具 有週期性缺陷。 本發明之型態11提供如上述型態1至10中任一項之處理 裝置’其中將上述間隔中被判別為於上述移動方向上具有 週期性缺陷之間隔稱作間距間隔時，上述處理部進而規定 匕3八有上述間距間隔之缺陷候補於上述寬度方向上所處 之位置的關注區域’並使用第2信號閾值而自該關注區域 之圖像中自圖像之開端起提取詳細缺陷候補，規定以於 述移動方向上自该提取所得之詳細缺陷候補之位置離開 上述間距間隔的位置為中心之搜索區域，於該搜索區域 中使用上述第2信號閾值搜索詳細缺陷候補，分別評估 經搜索所檢測出之詳細缺陷候補、及上述提取所得之詳細 缺陷候補之屬性’根據該評估結果而判別上述關注區域於 上述移動方向上是否包含週期性詳細缺陷候補。 141812.doc 201009328 本發明之型態12提供如上述型態1至11中任一項之處理 裝置’其中上述處理部於上述移動方向上搜索並檢測上述 寬度方向上之位置相同之缺陷候補並求出上述間隔時，評 估所檢測出之缺陷候補之屬性、或者缺陷候補與特定缺陷 候補之間之相似度’當該等屬性及相似度中之至少一方滿 足所設定之條件時求出上述間隔。 本發明之型態13提供一種缺陷檢查裝置，其特徵在於：

其係對板狀體中所存在之缺陷進行檢查者，其包括：光 源，其向上述板狀體之面照射光；照相機，其一面與上述 光源一起相對於上述板狀體進行相對移動，一面拍攝被上 述光源照射光之板狀體之圖像；以及如上述型態丨至^中 任一項之處理裝置；且上述處理裝置之上述處理部使用上 述第1信號閾值，自上述照相機所拍攝獲得之上述圖像中 提取上述複數個缺陷候補，並於上述移動方向上，自所提 取之上述複數個缺陷候補中，搜索與上述照相機相對於上 述板狀體進行相對移動之方向即上述移動方向成正交的上 述寬度方向上之位置相同之缺陷候補。 本發明之型態14提供-種處理方法，其特徵在於：其係 使用-面使板狀體於特定方向上相對移動—面㈣所得之 圖像而檢查上述板狀體中所存在之缺陷的缺陷檢查用圖像 資料之處理方法；制第1信號閾值，自拍攝所得之圖像 中提取複數個缺陷候補；於上述移動方向上，自所提取所 得之複數個缺陷候補中搜索與上述特 W疋方向即移動方向成 正交之寬度方向上之位置相同的缺陷 、阳候補，未出藉由搜索 141812.doc 201009328 而檢測出之缺陷候補於移動方向上之位置、與在移動方向 上與該缺陷候補相鄰之缺陷候補於移動方向上之位置之間 的間隔，藉由重複上述處理而取得複數個間隔；求出該等 複數個間隔之產生頻率；當所注目之間隔之產生頻率超過 所設定之頻率閾值時，判別為上述板狀體於移動方向上具 有週期性缺陷；上述頻率閾值係根據上述所注目之間隔而 加以規定，當兩個頻率閾值不同時，以使規定較大一方之 頻率閾值之上述所注目的間隔小於規定較小一方之頻率閾 值之上述所注目的間隔之方式，設定上述頻率閾值。 本發明之型態15提供如上述型態14之處理方法，其中於 進行上述判別之前設定檢查條件；於設定上述檢查條件之 步驟中，以使缺陷候補之產生密度成為所設定之目標產生 密度的方式，使用參照表設定上述第丨信號閾值；上述頻 率閾值係除了根據上述所注目之間隔而變化之外亦根據上 述目標產生密度的值而變化之值。 本發明之型態16提供如上述型態14或型態15之處理方 法，其中上述頻率閾值係以如下方式規定，即：將由雜訊 分量所形成之模擬圖像之上㈣訊分量的圖像作為缺陷候 補，求出相對於上述間隔之上述雜訊分量之產生頻率，根 據該產生頻率而規定上述頻率閾值。 本發明之型態17提供如上述型態丨6之處理方法，其中上 述模擬圖像係以圖像中之雜訊分量之產生密度根據圖像區 域而不同的方式製作成者。 本發明之型態18提供如上述型態14至17巾任-項之處理 141812.doc 201009328 方法，其令將上述所注目之間隔中判別為於上述移動方向 上具有週期性缺陷候補之間隔稱作間距間隔時，於進行上 述判別之步驟之後，進而規定包含具有上述間距間隔之缺 陷候補於上述寬度方向上所處之位置的關注區域；使用第 2信號閾I ’自該關注區域之圖像中，自圖像之開端起提 取詳細缺陷候補；規定以於上述移動方向上自該提取所得 之詳細缺陷候補之位置離開上述間距間隔的位置為中心之 φ 搜索區域；於該搜索區域，使用上述第2信號閾值搜索詳 細缺陷候補；分別評估經搜索所檢測出之詳細缺陷候補、 及上述提取所得之詳細缺陷候補之屬性；根據該評估結果 而判別上述關注區域於上述移動方向上是否包含週期性缺 陷候補。 本發明之型態19提供如上述型態18之處理方法，其中上 述關注區域之週期性缺陷候補之判別中所使用的圖像係將 上述板狀體以固定尺寸切斷後之板的圖像。 φ 本發明之型態20提供如上述型態14至19中任一項之處理 方法’其中於上述移動方向上搜索並檢測上述寬度方向之 位置相同的缺陷候補且求出上述間隔時，評估所檢測出之 缺陷候補之屬性、或者缺陷候補與特定缺陷候補之間之相 似度’當該屬性及相似度中之至少一方滿足所設定之條件 時求出上述間隔。 本發明之型態21提供一種缺陷檢查方法，其特徵在於： 其係檢查板狀體中所存在之缺陷者；一面使光向上述板狀 體表面照射光，且使上述板狀體相對地移動，一面拍攝被 141812.doc 11 201009328 照射光之板狀體之圖像；使用拍攝所得之上述圖像進行如 上述型態I4至20中任一項之處理方法。 又’本發明之型態22提供一種板狀體之製造方法，其特 徵在於.其係製造藉由搬送輥而搬送之作為帶狀連續體之 板狀體者；使用上述型態13之缺陷檢查裝置或上述型態21 之缺陷檢查方法，於移動過程中檢查上述板狀體；根據檢 查出之結果，確定於上述板狀體之移動路徑上導致板狀體 產生缺陷之搬送輥；除去或者維護所確定之搬送親。 又’本發明之型態23提供一種板狀體之製造方法，其特 _ 徵在於：其係製造藉由搬送輥而搬送之作為帶狀連續體之 板狀體者；使用上述型態13之缺陷檢查裝置或上述型態21 之缺陷檢查方法，於移動過程中檢查上述板狀體；避開被 判別為具有上述週期性缺陷之缺陷之上述寬度方向位置而 切斷並取出上述板狀體。 又，本發明之型態24提供一種電腦可執行之程式及記錄 有該程式之可由電腦讀取之記錄媒體，該程式執行如上述 型慼14至20中任一項之缺陷檢查用圖像資料之處理方法。〇 又，本發明之型態25提供如上述型態1至1〇中任一項之 處理裝置，其中將上述間隔中判別為於上述移動方向上具 有週期性缺陷之間隔稱作間距間隔時，上述處理部進而規 定包含具有上述間距間隔之缺陷候補於上述寬度方向上所 處之位置的關注區域，使用第2信號閾值自該關注區域之 象中自圖像之開端起提取詳細缺陷候補，規定以於上 述移動方向上自該提取所得之詳細缺陷候補之位置離開相 141812.doc -12- 201009328 虽於搬送上述板狀趙的搬送輥之周長之距離的位置為中心 之搜索區域’於該搜索區域，使用上述第2信號閾值搜索 詳細缺陷候補’分別評估經搜索所檢測出之詳細缺陷候 補、及上述提取所得之詳細缺陷候補之屬性，根據該評估 結果而判別上述關注區域於上述移動方向上是否包含週期 性詳細缺陷候補。 又’本發明之型態26提供如上述型態14至17中任一項之 • 處理方法，其中將上述所注目之間隔中被判別為於上述移 動方向上具有週期性缺陷候補之間隔稱作間距間隔時於 進行上述判別之步驟之後，進而規定包含具有上述間距間 隔之缺陷候補於上述寬度方向上所處之位置的關注區域； 使用第2½號閾值，自該關注區域之圖像中，自圖像之開 端起提取詳細缺陷候補；規定以於上述移動方向上自該提 取所得之詳細缺陷候補之位置離開相當於搬送上述板狀體 的搬送輥之周長之距離的位置為中心之搜索區域，於該搜 粵 索區域，使用上述第2信號閾值搜索詳細缺陷候補；分別 評估經搜索所檢測出之詳細缺陷候補、及上述提取所得之 詳細缺陷候補之屬性；根據該評估結果而判別上述關注區 域於上述移動方向上是否包含週期性缺陷候補。 [發明之效果] 本發明之型態1之缺陷檢查用圖像資料之處理裝置、型 態13之缺陷檢查裝置、型態14之處理方法及型態21之缺陷 檢查方法、以及型態24之程式及記錄煤體中，使用與缺陷 候補之間隔相對之產生頻率、及頻率閾值而判別有無週期 141812.doc -13- 201009328 性缺陷。而且，該等中，頻率閾值係根據所注目之間隔而 規疋’當將兩個頻率閾值規定為不同之值時，以規定較大 一方之頻率閾值之上述所注目之間隔小於規定較小一方之 頻率閾值之上述所注目之間隔的方式，而設定頻率閾值。 因此’即便所拍攝之圖像中包含雜訊分量，亦可判別週 期性缺陷之存在。 本發明之缺陷檢查用圖像資料之處理裝置及缺陷檢查用 圖像資料之處理方法的其他型態如下，首先，於型態2及 型態15中，以缺陷候補之產生密度成為所設定之目標產生 後度之方式设定第1彳§號閾值’且使頻率閾值除了根據所 注目之間隔而變化之外，亦根據目標產生密度之值而變 化，藉此可更有效率地判別週期性缺陷之存在。即便板狀 體之上述缺陷候補之產生密度根據板狀體的生產中之各種 條件而變動，亦可隨機應對該變動，從而最佳地判別週期 性缺陷之存在。 於型態3及型態16中，可克服隨機產生之雜訊分量， 即，即便存在雜訊分量，亦可不受雜訊分量之影響而容易 地檢測出週期性缺陷。又，可根據解析性地求出之產生頻 率及模擬圖像而簡單地規定頻率閾值。 於型態4及型態17中，藉由對圖像進行分割並加以處 理，可容易地檢測出板狀體中局部地產生之週期性缺陷。 進而，亦可排除局部產生之雜訊分量而進行檢查。 於型態5中，由於考慮有檢查對象之圖像中產生之缺陷 候補之位置偏差而形成尺寸相同之單元區域，故可更有效 141812.doc •14· 201009328 率地於短時間内判別週期性缺陷之存在。 於^態6中，可求出缺陷候補之寬度方向產生頻率分 布並使用/。著寬度方向之產生頻率之不均而對缺陷產生 圖案進行刀類’因此除了可有效地用於缺陷之產生原因之 推測之外’還有助於能否穩地連續生產板狀體之狀況判 別，报有助於生產步驟之管理。 、於i匕、7中，將板狀體劃分為所設定之長度之板狀體區 域’將該區域之圖像作為—個時間序列單位之檢查對象， 對複數個時間序列單位進行判別，此外可將缺陷候補之產 生頻率之資訊表示為時間序列資料。因此，可更確實地判 別週期性缺陷之存在，此外可掌握時間序列性地變化之缺

陷之狀況，报有助於以g@ , 以片為早位之板狀體（玻璃基板）之良 否判疋、及其後步驟中之處理。 於^•態8中力複數個時間序列單位記錄產生頻率分 布’故可獲得週期性缺陷持續產生了多長時間之資訊，此 外有助於生產步驟中之實時管理。 於型態9中，於相同圖表中薄宜 圃衣τ覆寫複數個產生頻率之時間 序列資料’故可於短時間内衮異祕偽 n令易地檢測出可能複雜變化之 缺陷之產生要因。 於型態10中’求出與前一個相鄰之缺陷候補之間之間隔 之外’還求出與前複數個缺陷候補之間之間隔並求出產生 頻率，由此可判別週期性缺陷之有無，從而即便於存在因 複數個不同產生源所導致之缺陷，且其等之產生位置於面 内成部分重疊之情形時，亦可容易地檢測週期性缺陷。 141812.doc 201009328

缺陷檢測之準確性。 型態25及型態26中，規定關注區域 索詳細缺陷候補而判別是否包含週期性詳 因^可於短時間内檢測有無㈣假定之缺陷 右相對地延長檢測所需之時間， 古 之缺陷 則可提高

確實、無遺漏地檢測週期性缺陷， 陷候補間之間隔，故可 從而可提高判別是否為 週期性缺陷之可靠性。 又，於本發明之型態22之板狀體之製造方法中，與先前 相比，可縮短具備搬送輥之步驟中之修復作業所需的時 間，又，可使步驟連續進行時之管理變得容易，從而可使 良率穩定。進而，可容易地管理生產步驟中正使用之搬送 輥。又，可預先估算將來要更換搬送輥之時期。 於本發明之型態23之板狀體之製造方法中，與先前相 比，即便搬送輥等存在缺陷原因亦可有效地切斷並取出帶 狀之連續體即板狀體，故可使良率穩定。 【實施方式】 以下，根據附圖所示之較佳實施例，詳細說明本發明之 缺陷檢查用圖像資料之處理裝置及處理方法、分別使用有 其等之缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法、使用有其等之板狀 體之製造方法、以及記錄執行處理方法之程式之可由電腦 讀取的記錄媒體。 圖1A之缺陷檢查裝置1係實施本發明之缺陷檢查方法之 141812.doc • 16· 201009328 本發明之缺陷檢查裝置，其係判別缺陷之週期性之有無 者。缺陷檢查裝置丨主要具有缺陷檢查單元1〇、處理部 16、以及缺陷檢查單元26。 作為本發明之板狀體，以下之說明中係列舉具有透明性 之玻璃板G，但本發明之板狀體並不限定於此，例如亦包 含長條狀之丙烯酸板、長條狀之薄膜或紙等。 又，以下所說明之玻璃板G係切斷為特定尺寸之前的長 條帶狀之連續體，主要說明其搬送狀態。作為將要生產之 母玻璃基板之種類’例如有G6、G8、G10、及G12等，表 現出尺寸更大型化之傾向。 本發明中，亦可將切斷為特定尺寸之玻璃板作為對象。 然而，為了判別缺陷候補之週期性，較佳為將帶狀之連續 體即長條之玻璃板、且處於搬送狀態之玻璃板作為對象。 又，以下之實施形態中，使用靜止之光源及照相機拍攝 所搬送之玻璃板G，但本發明亦可為使光源與照相機一面 φ 移動一面拍攝靜止之玻璃板G之形態。本發明中只要光源 及照相機與玻璃板G之間相對移動便可。以下之實施形態 中所說明之搬送方向對應於本發明之第1移動方向，寬度 方向對應於本發明之第2移動方向。 圖1A所示之缺陷檢查單元1〇係設置於由具有不同半徑之 複數個搬送輥11所形成之搬送路徑上。玻璃板G成為自熔 融路以固定厚度取出之帶狀連續體，其於搬送路徑上連續 地搬送、移動。 此處’作為搬送玻璃G之搬送輥11而使用驅動輥，但亦 141812.doc 201009328 可於驅動親之間使用丨個以上之從動輥，又，作為搬送報 11，可使用各種類型之搬送輥。例如，亦可為如潔淨輥、 靜止輥、帶鞠輥、塗佈輥、覆膜輥等般之、整個寬度與玻 璃G接觸之通常之搬送輥。又，亦可為有肩輥或階梯輥等 之於寬度方向上隔開間隔而與玻璃G接觸之搬送輕。 缺陷檢查單元10具有向玻璃板G之面照射光之光源22、 拍攝由光源22所照射光之板狀體之圖像的照相機14、以及 判別具有週期性之缺陷候補之處理部16。此外，於缺陷檢 查單元10上亦可連接有將檢查結果等作為軟拷貝圖像而於 畫面上加以顯示之顯示器18a、將檢查結果等作為硬拷貝 圖像而輸出之印表機18b等輸出系統18、或者滑鼠、鍵盤 等輸入操作系統20。缺陷檢查單元10係利用透過玻璃板g 之透過光而檢查透過圖像内之缺陷候補的裝置。進而，處 理部16上連接有反射圖像之缺陷檢查單元％，其於玻璃板 G之一方之面之側配設有光源22及照相機24，以照相機 而使玻璃板G之缺陷之影像成為反射圖像，並提取缺陷候 補之位置。 當將玻璃板G自熔融爐中以固定厚度取出並藉由搬送輥 11而連續地搬送時，於玻璃板G之表面上，如圖1B所示， 會週期性地產生因搬送輥丨i所導致之細小缺陷c^又於 玻璃板G之表面上產生有點狀之缺陷χ。進而亦會產生 於疋區域上擴散之污染區域Y。進而，由缺陷檢查單元 10所讀取之圖像中，除了上述各缺陷之外，因圖像讀取時 之處理而隨機產生之點狀雜訊亦視認作缺陷x。 141812.doc -18- 201009328 缺陷檢查單元10係將上述玻璃板G之圖像中、所搬送之 玻璃板G之表面上所產生之、與搬送方向成正交之玻璃板 G之寬度方向之大致相同位置上週期性產生的缺陷d之間 距間隔P與缺陷X區別開而確實地判別者。 光源12係出射大致平行光之光源，其係於玻璃板G之寬 度方向（與圖1A之紙面垂直之方向）上發出具有大致均勻之 光強度之大致平行光的線狀光源。光源可使用_素光源或 ❹ LED(Light Emitting Diode ’發光二極體）光源等，光之種 類並無特別限制，較佳使用白色光。 照相機14係線感測器型照相機，其與光源丨2夾持玻璃板 G而設置於相對向之位置上，並直接由受光面讀取透過玻 璃板G之透過光。照相機14之線感測器之類型並無特別限 制’可為CCD(Charge Coupled Device，電荷耗合裝置）類 型，亦可為 CMOS(Complementary Metal-Oxide-Semiconductor， 互補金屬氧化物半導體）類型。照相機14係於與圖ία中之 φ 紙面垂直之方向上設置有複數台，拍攝搬送方向之相同位 置’而且複數台照相機係設定為於玻璃板G之寬度方向上 之視場範圍彼此部分重疊。 將照相機14所拍攝之圖像信號發送至處理部1 6。 處理部1 6係構成實施本發明之缺陷檢查用圖像資料之處 理方法之本發明之處理裝置的部分。處理部丨6係根據所發 送之圖像信號而生成玻璃板G之檢查對象之圖像資料、並 使用該圖像資料進行缺陷檢查之部分。自照相機14所發送 之圖像信號係如上所述般對部分重疊之區域進行平均處理 141812.doc -19· 201009328 而生成構成一個圖像之圖像資料。使用上述圖像資料而判 別所檢測之缺陷候補有無週期性。關於該判別將於下文加 以說明。 缺陷檢查單元26之光源22係出射對玻璃板g之面照射照 明光之帶狀光、即出射大致平行光之光源，其自相對於玻 璃板G之面傾斜之方向而使光入射。與缺陷檢查單元⑺之 光源12相同，光源22係於與圖丨八之紙面垂直之方向上延伸 之線狀光源，較好的是於玻璃板G之寬度方向（與圖1Α之紙 面垂直之方向）上發出具有大致均勻之光強度之大致平行 光者。本發明具備兩個光源，光源22可使用例如LED光源 或鹵素光源，光之種類並無特別限制，可為紅色、藍色、 白色等，較佳為白色。 照相機24係對自玻璃板G之表面出射之反射光進行聚 光、並拍攝反射圖像之線感測器型照相機，可以使用與照 相機14之類型相同之照相機。自玻璃板〇觀察，照相機24 係與光源22設置於同側。照相機24與光源22係設置為處於 搬送方向之上游側、下游側之位置關係中，光源22之光之 出射方向及照相機24之視場方向係以於玻璃板G之背面所 反射之光入射至照相機2 4之方式進行調整。 由照相機24所拍攝之圖像係由光源22照明後於玻璃板g 之表面、背面反射的圖像’其係將玻璃板G内部所存在之 缺陷之區域設為暗部的圖像。該圖像中首先含有藉由缺陷 區域通過自相對於玻璃板G之面傾斜之方向入射至玻璃板 G之表面並於玻璃板G之背面反射後之反射光的光路而形 141812.doc -20· 201009328 成的缺陷之實像。 進而，包含自相對於玻璃板G之表面傾斜之方向入射至 玻璃板G之表面之入射光通過位於玻璃板G内的光路中之 缺陷區域之後於玻璃板〇的背面反射而形成的缺陷之鏡 像。 如此，每次線狀讀取由照相機24所獲得之圖像資料後逐 次發送至處理部10〇與缺陷檢查單元1〇之情形相同，處理 攀 部16使用所發送之圖像資料進行缺陷檢查。 使用缺陷檢查單元26檢查缺陷之原因在於，根據上述缺 陷之實像與鏡像於搬送方向上之位置偏差量而獲知缺陷位 於玻璃板G之表面（圖1A中之玻璃板G之上側之面）與背面 (圖1A中之玻璃板G之下側之面、搬送輥〗丨之侧之面）中之 哪面，彳之而規定作為缺陷之屬性。即，當無位置偏差 量、且觀察到一個影像時，可知缺陷位於背面，當有位置 偏差量且觀察到兩個像時，可知缺陷位於玻璃板G内或玻 ❹ 璃板G之表面。 圖1A所示之缺陷檢查裝置1具備兩個缺陷檢查單元丨❹及 26，但本發明並不限定於此，亦可僅具備任一者。 處理部1 6中係以如下方式自所得之檢查對象之圖像進行 缺陷檢查用圖像資料之處理。圖2係表示缺陷檢查方法、 特別係缺陷檢查用圖像資料之處理方法之流程的流程圖。 首先，設定要檢測之缺陷之檢查條件（步驟sl〇〇)。具體 而5 ’較好的是自輸入操作系統2〇(參照圖ιΑ)，藉由操作 人員之輸入而設定檢測具有週期性之缺陷候補時之寬度方 141812.doc -21 - 201009328 向位置之偏差之容許量、檢測具有週期性之缺陷候補時之 搬送方向位置自特定間距間隔之偏差的容許量、具有週期 性之缺陷候補以何種程度之長度連續產生之資訊、具有週 期性且連續產生之一群缺陷候補以何種程度之頻率產生之 資訊、及具有週期性之缺陷候補之產生頻率之資訊等。 其次，相對於成為缺陷檢查之檢查對象之圖像，根據所 設定之檢查條件而決定單元尺寸（步驟S110)。 所謂單元尺寸，如圖3所示，係指將搜索缺陷候補之搜 索對象之圖像於寬度方向及搬送方向（移動方向）上分割為磡 複數個部分而形成複數個尺寸相同的單元區域時之、寬度 方向及搬送方向之單元區域之長度。單元尺寸係根據作為 檢查條件而設定之寬度方向及搬送方向之位置偏差之容許 量而決定。例如，將寬度方向長度χ搬送方向長度決定為 10 mmxio mm。 以如此方式形成單元區域之原因在於，根據單元區域之 間隔（相隔距離），而求出位於該單元區域中之下述缺陷候 補、與位於其他區域中之缺陷候補之間之搬送方向上的間_ 隔因此’只要缺陷候補位於一個單元區域内，不論位於 哪個位置，亦可認為缺陷候補之位置不變而進行處理。即 便具有週期性之缺陷候補之位置於寬度方向及搬送方向上 在容許範圍内有偏差，亦可藉由設置單元尺寸而吸收或者 減小或消除單元區域中之缺陷候補之位置偏差，因此可求 出穩定之缺陷候補間之間隔。 其次，決定檢查單位長度（步驟sl2〇)。所謂檢查單位長 141812.doc -22- 201009328 度係扣成為一次之缺陷檢查對象之圖像之搬送方向的長 度。藉由將檢查單位長度設為固定而重複進行缺陷檢查， 可求出時間序列之缺陷檢查之結果，從而可推斷缺陷之產 生原因等。 檢查單位長度係根據作為檢查條件而設定之、缺陷以何 種程度之長度、是否具有週期性且連續地產生之資訊而決 疋。例如，決定1小時或1天所搬送之玻璃板G之長度、或 者l〇〇m或i〇〇〇m等之長度。 繼而，決疋缺陷候補之目標產生密度之值（步驟sl3〇)。 所謂缺陷候補係指將所拍攝之玻璃板G之拍攝圖像二值化 時圖像内作為暗部而加以劃分的暗部區域。本實施形態 中，將玻璃板G因搬送輥丨丨而產生之微細傷痕有無週期性 作為檢查對象，因此當缺陷候補之產生密度較高時，會形 成數個因雜訊分量而引起之點狀之暗部區域。 因此，難以準確地判別本來要檢查之微細傷痕有無週期 另方面降低下述之第1信號閾值而減小缺陷候補 之產生密度時，亦存在無法將所要檢查之微細傷痕作為缺 陷候補之暗部而劃分開的情形。 因此，使用作為檢查條件而設定之、具有週期性之缺陷 候補之產生頻率之資訊，而決定圖像中之暗部區域之目標 產生密度。 π 其次，根據所決定之目標產生頻率而決定第Hf號閾值 (步驟S140)。第丨信號閾值係將玻璃板G之拍攝圖像二值化 時之圖像資料之閾值。當圖像資料之值低於該第丨信號閾 1418l2.d •23· 201009328 值時劃分為暗部區域（缺陷候補卜處理部16具備表示第^言 $閾值與暗部區域之產生密度之關係的參照表，根據所決 疋之目標產生密度，參昭贫支日„主4?111_^1_ /，、、、这參知表未出並決定第丨信號閾 值。 通常來說’目標產生密度越小則第丨信號閾值^定得越 低。參照表係於缺陷檢查單元10中預先針對特定之玻璃板 G之拍攝圖像而求出第i信號閾值與暗部區域之產生密度之 關係並預先記憶於記憶體中。 參 接著，根據所決定之缺陷候補之目標產生密度之值而決 定頻率閾值（步驟⑽）。所謂頻率閾值係指於下述之缺陷 檢查（步驟S16〇)中用以判別玻璃板G是否具有週期性缺陷 之閲值。頻率間值係於橫轴表示缺陷候補之間隔且縱轴表 不相對於該間隔之頻率所得之直方圖中用以判別具有週期 性之頻率之間值。 例如，當於處理部16製作成如圖4所示之直方圖時，根 ❿ 據間隔B之產生頻率相對於針對間隔B而決定之頻率間值a 是否較大’而判別是否具有週期性。於間_之產生頻率 相對於頻率閾值A而較高之情形時，判別為具有週期性， 並將間隔B設為間距間隔。 週期性之有無係於直方圖之橫轴之每個間隔而進行判 別’頻率閾值係根據所注目之間隔而變化，且以該間隔越 =則頻率閣值越大之方式加以設定。又，較好的是除了根 據該間隔變化之外’頻率閾值亦根據所決定之缺陷候補之 目標產生密度之值而變化。具體而言，較好的是以目、產 141812.doc •24 201009328 生密度變得越小則頻率間 句值變传越小之方式而加以設定。 以如此方式設定頻率閾值 卞岡值（原因在於’由於如上所述缺 陷候補中包含因雜訊分詈斛榫士 — α 置所1^成之缺陷候補，因此進行如 此設定以防止因該雜訊分番μ、Α > 代刀量所造成之缺陷候補而產生之週 . 期性的誤判別。 圖5 Α及5 Β係表示僅根姑雜q八旦 . 根據雜汛分量而製作成之模擬圖像 中之缺陷候補的間隔、蛊如料 ㈣興相對於該間隔之產生頻率之關係

的圖表。假定雜訊分量俜醅MA m 里你隨機地產生，並假定玻璃板g且 於長度2500 mm、單元尺+彳π 1Λ 平兀尺寸10 mmxl0 mm之區域中產生 訊分量。 圖5A及5B之縱軸均表示每j m2之產生數（產生頻率）。圖 5A中雜訊分量之產生密度分3種變化（50/W、刪m2、 鹰办根據圖5A，對於任—產生密度，間隔越小則產 生頻率越高’雜訊分量之產生密度越大則產生頻率越高。 因此’為防止因雜訊分量而導致對缺陷候補之週期性之誤 參判別，較好的是將頻率閾值設定為相對於圖5A所示之縱軸 ^產生頻率（具有裕度）而較高。例如’將各間隔之產生頻 率之1.1至2倍之值設為頻率閾值即可。 ， 當然，可根據檢查條件而將上述值設定得較大。因此， ::::大、雜訊分量之產生密度越小，則將上述頻率閣值 。又足件大致越低。此處’所謂設定得大致越低係指包含即 便所左目之間隔不同而頻率閾值亦不變化（相等）之情形。 例如係指如下情形：所注目之間隔為2〇〇 頻率聞 值大於間隔為500 mm、1〇〇〇 mm之頻率閾值，但間隔為 14I812.doc •25- 201009328 500 mm之頻率閾值與1〇〇〇 mm之頻率閾值相等。本發明 中，當兩個頻率閾值不同時，以規定較大一方之頻率閾值 之所庄目之間隔小於規定較小一方之頻率閾值之所注目之 間隔的方式，而設定頻率閾值。 圖5B係表示與雜訊分量之密度相對之設定間隔〗 mm、750 mm、500 mm之產生頻率的圖表。根據圖5B，雜 訊仝量之產生密度變得越小，則設定間隔1〇〇〇瓜瓜、 mm、500 mm各自之產生頻率就變得越小。 再者，如根據圖5B所知般，若雜訊分量之產生密度達到 某種程度以上，則產生頻率反而會降低。即、產生頻率相 對於雜„凡刀量之產生密度而具有峰值。其原因在於，因雜 訊分量之產生密度變大而使雜訊分量進入1〇〇〇 mm、75〇 mm、500 mm之各設定間隔之間，其結果導致1〇〇〇爪爪、 750 mm、500 mm之各設定間隔之產生頻率降低。 因此，上述缺陷候補之目標產生密度以於要判別有無週 '月丨生之所’生目之間隔上小於上述峰值位置之產生密度之值 的方式來規定。 再者’圖5A及5B所示之例中，使用根據雜訊分量而形 成之模擬圖像中之缺陷候補的間隔、與該間隔之產生頻率 之結果來決定頻率閾值，但本發明t並不限定於使用根據 雜訊分量而形成之模擬圖像之情形。 例如’亦可假定雜訊分量於區域中隨機地分布，將該區 域中之寬度方向之位置處於相同位置上之雜訊分量作為缺 陷候補’解析性地求出雜訊分量之產生頻率，並根據該求 141812.doc -26- 201009328 出之產生頻率而決定頻率閾值。 所謂解析性地求出產生頻率係指使用數式算出產生頻 率。例如，於一維區域中，求出η組間隔之概率pp係以下 述式表示。此時，使nKi至Ν/ρ(ρ係以單元單位所表示之 間距長）之間變化而算出概率ρρ，並加上期待值，藉此可 求出相對於間距ρ之產生頻率。 ρρ^ρΜι-ρΠα 此處，Ρ係於1個單元中產生雜訊分量之概率，Ν係單元 總數，Ρ係以單元單位所表示之間距長。（Nnp)C/C表示合 併而成之組合。 進而，作為其他形態，亦可對預先獲知不存在因搬送輥 而造成週期性缺陷之玻璃板G使用缺陷檢查單元10，預先 藉由實測而求出雜訊分量所造成之產生頻率，並使用該實 測結果而決定頻率閾值。雜訊分量所造成之缺陷候補之產 生頻率實際上於圖像中之各區域上不均，亦存在雜訊分量 ❹於整個區域中並非以相同產生密度而產生之情形。 因此，可根據實際之使用玻璃板G之實測，而決定考慮 了上述不均後之頻率閾值。關於該方面，較好的是預先求 出實測結果之間隔與缺陷候補之產生頻率之間之關係，並 使用該關係而決定頻率閾值。再者，即便於該情形時頻 率閾值亦以間隔越小則大致越大之方式而加以設定。 圖6A表示相對於缺陷檢查單元1〇進行缺陷檢查時（實測 時）之間隔之產生頻率的圖表。圖表中之符號表示使用缺 陷檢查單元10進行實測之結果。另一方面，自如上所述使 141812.doc -27- 201009328 缺：候補之產生密度(平均產生密度)-致而產生雜訊分量 之模擬圖像所得之結果以符號◊來表示。 如根據圖6A可知般，缺陷候補之間隔為··以下 時，實測之產生頻率與模擬之產生頻率之間存在背離。認 為其原因在於，即便模擬圖像中之雜訊分量之平均產生密 度與實測之平均產生密度相同’但實測所得之檢查對象之 圖像中’缺陷候補之產生密度根據區域不同而存在偏差。 實際上’相對於實測所得之檢查對象之时，劃分 ^而計數缺陷候補之個數，藉此檢查產生缺陷候補之概率 密度函數時，如圖6B所示，概率密度函數具有分布。 因此，為符合該實測之概率密度函數，藉由使模擬圖像 中亦具有同樣之概率密度函數，如圖6C所示，使用模擬圖 像之符號◊表示接近實測之符號之產生頻率。因此，亦 可根據相對於雜訊分量之產生所使用之概率密度函數，以 符合實測之方式具有分布而獲得之模擬圖像，製作間隔與 產生頻率之關係，並使用該關係決定頻率閾值。 如上所述，亦可藉由使用不存在具有週期性之傷痕之玻 璃板G進行實測，預先製作間隔與缺陷候補之產生頻率之 關係，並使用該關係決定頻率閾值。 其次’貫施缺陷檢查（步驟S160)。缺陷檢查中，首先將 自照相機14所發送並製作成之檢查對象之圖像切出檢查單 位長度之區域’並針對檢查單位長度之區域之圖像，如圖 3所示，以單元尺寸使圖像區劃化。 圖像之區劃化係根據相對於搜索缺陷候補之搜索對象之 141812.doc -28. 201009328 圖像所決定之單元尺寸而進行，形成複數個單元尺寸相同 之單元區域。當該等包含複數個缺陷候補之複數個單元區 域於寬度方向上位於相同位置時，該等缺陷候補彼此於上 述寬度方向上之位置相同，求出下述缺陷候補間之間隔及 產生頻率。 接著，使用所決定之信號閾值（第Hf號閾值），對單位 長度之區域之圖像進行二值化，將複數個暗部區域作為缺 ^ 陷候補而加以提取，並自圖像中之搬送方向之端部起沿著 搬送方向而重複搜索並檢測缺陷候補。缺陷候補之檢測係 以單7L尺寸之區劃單位而進行，若單元尺寸之區劃内存在 缺陷候補，則將該區劃之代表點（區劃之中心點、或者矩 开> 區劃之頂點）之寬度方向位置以及搬送方向之位置記憶 於處理部16之未圖示的記憶體中。 進而，沿著搬送方向搜索是否存在缺陷候補。若檢測出 缺陷候補，則調用記憶體中所記憶之寬度方向之位置相同 φ 之缺陷候補之搬送方向的位置，求出所發現之缺陷候補之 搬送方向之位置與所調用之搬送方向之位置的差分，並將 該差分設為間隔。 而且’將處理部1 6之未圖示之記憶體中所設置之、表示 於寬度方向之每個位置所決定、且於每個間隔所決定之產 生頻率的計數值提前一個。搬送方向之位置及寬度方向之 位置均使用劃分為单元尺寸的區劃之代表點之值加以表 示。如此，進行上述缺陷候補之搜索、檢測直至搜索出檢 查對象之整個圖像為止。最後，使用記憶體中所記憶之計 1418I2.doc -29- 201009328 數值，獲得各寬度方向之位置、以另萁 M及母個間隔之缺陷候補 之產生頻率。 其次’於處理部16中，根據所得之產生頻率，製作成如 圖4所示之、橫軸表示間隔且縱軸表示產生頻率之缺陷候 補之直方圖(步驟S17〇)。具體而言，於每個間隔對記憶體 中所記憶之產生頻率及寬度方向之位置之產生頻率進行累 計，而製作出表示每個間隔之產生頻率之直方圖。 藉由匯總該直方圖中之所注目之每個間隔之產生頻率， 而與所決定之頻率閾值（圖4中為頻率閾值A)相比來檢查所 注目之間隔之產生頻率是否更高。#產生頻率高於頻率間 值時，將該產生頻率所對應之間隔判斷為由具有週期性之 缺陷所形成之間距間隔，並判別為玻璃板G具有週期性缺 陷（步驟S180)。 由於玻璃板G係於搬送方向上連續之長條形狀者，故將 所決定之檢查單位長度之圖像作為丨個單位而對複數個單 位之圖像進行上述缺陷檢查，並時間序列性地於每個檢查 單位長度製作出產生頻率。當然，所製作成之複數個單位 之圖像分別作為缺陷檢查之對象。 如此，對在搬送路徑上搬送之長條玻璃板G進行缺陷檢 查。 上述缺陷檢查之結果係以所判斷之間距間隔產生缺陷， 因此可使用該間距間隔之資訊，推斷搬送輥丨〗中因哪種直 徑之輥而產生傷痕等。 本實施形態中’於步驟S1 80之後，進而可按照如圖7所 141812.doc -30- 201009328 示之流程’來推斷具有週期性之缺陷之產生廣因。 首先，算出步驟S180中所判斷且規定之間距間隔於寬度 方向之產生頻率分布’並算出該分布之特徵量（步驟 S1 81)。作為分布之特徵量，可列舉例如最大產生頻率之 寬度方向之位置、及寬度方向之產生頻率分布中之產生頻 率之標準偏差。

處理部16之記憶體中記憶有各間隔、及寬度方向之各位 置之產生頻率，因此可將間隔固定為所規定之間距間隔， 從而獲得寬度方向之位置之產生頻率分布。圖8八、8B及 8C中表示特定之間距間隔於寬度方向之產生分布之3個示 例。上述寬度方向之產生分布較好的是於顯示器18a(參照 圖1A)之畫面上加以表示。圖8A之例係產生頻率於一個寬 度方向之位置上突出之產生圖案。圖8B之例係產生頻率於 寬度方向之固定範圍内支配性地產生、並於該範圍内形成 分布之產生圖案。圖8C之例係產生頻率於寬度方向之較大 範圍内不均之產生圖案。 如此’寬度方向之位置之產生頻率分布除了使用分布之 標準偏差（不均）之外亦使用最大產生頻率之寬度方向的位 置等特徵量’而分類為複數個產生圖案。 其次’對判別為具有週期性缺陷之缺陷候補（以下稱作 具有週期性之缺陷候補），求出產生頻率及產生密度之時 間序列之分布，並算出其分布之特徵量（步驟S182)。如上 所述’將所決定之檢查單位長度作為1個時間序列單位之 檢查對象而依序對複數個時間序列單位進行缺陷檢查，因 141812.doc •31 - 201009328 此可製作出具有週期性之缺陷候補之產生密度（/m2)及產生 頻率之時間序列分布。 圖9係例示於一個圖表中覆寫有特定之間距間隔之產生 密度（產生頻率）、全體缺陷候補之產生密度、及特定之間 距間隔之寬度方向之產生頻率之不均（標準偏差）之時間序 列分布之例。

再者，作為分布之特徵量，設置相對於各時間序列分布 所"又疋之值，求出產生岔度咼於該值之持續時間。或者求 出各時間序列分布之相關係冑。或纟，作為分布之特徵 量，求出各時間序列分布之標準偏差。再者，圖9之時間 序列分布之縱軸之值之範圍於各凡例而不同。上述時間： 列分布較好的是於顯示器18a之畫面上加以顯示。 又，對缺陷候補之產生頻率之時間序列分布（時間序 資料），可將所注目之間距間隔及寬度方向之位置中之至 少-方更改後之複數個產生冑率之時間序列分布(時 列資料）覆寫於相同圖表中，並於顯示器⑽之畫面上二以

再者，關於缺陷候補之產生頻率等之表示方法、例如 陷候補之產生頻率等之時間序列分布之表示方法、及缺 候補之產生頻率等之時間序列表示方法將於下、 明。 乂 間隔中 求出其 ’進而 接著’相對於判斷為具有週期性之複數個間距 之、步驟S182中所注目之具有週期性之缺陷候補， 他間距間隔之缺陷候# <寬度方向之產生頻率分布 141812.doc -32- 201009328 製作出該間距間隔$ 4：土阶# Μ > m 门如之缺候補之、圖9所對應之 分布，並於顯示器18a之畫面上加以顯示。此時J = 求出之寬度方向之產生頻率分布與時間序列分布之 S181及182中所求屮夕宫存士& ^ 少輝 r所承出之寬度方向之產生頻率分布、與 序列为布之間之各相關聯性（步驟s! 83)。 具體而言，針對寬度方向之產生頻率分布與時間序列分 布之各自而求出相關係數。χ，算出上述其他間距 缺陷候補之寬度方向之產生頻率分布之特徵量及時間序列 为布之特徵量，並與步驟181、⑻中算出之特徵量進行比 較。 進而’算出判別為具有週期性之複數個缺陷候補之圖像 之複數個特徵量α(缺陷候補之圖像尺寸、形狀、圖像資料 值等）ϋ算出包含該該特徵量α之平均值及 之特徵量β(步驟Sl84)。 差等

將以如此方式所算出之特徵量α及特徵量^與步驟㈣以 、182中算出之特徵量—併與預先作為過去資料而儲存於資 科庫中之特徵量進行比較’當其比較結㈣於容許範圍一 調用與特徵量相結合而登錄之缺陷之產生原因，並 推斷為週期性缺陷之產生原因（步驟si85)。再者作出如 下=斷’即藉由步驟S183而評估為相關性較高之其他間距 3缺候補係因與所推斷的產生原因相同之原因而產 例如因複數個搬送輥11中、 同時期中、相同粒徑、相同材 於相同搬送輥之表面上在相 質之兩個異物附著於圓周上 141812.d〇c • 33 - 201009328 之不同位置而產生缺陷時，缺陷候補之間會出現兩個間距 間隔。然而，算出缺陷候補之寬度方向之產生頻率分布及 時間序列分布之特徵量並進行比較，藉此具有相同之產生 頻率分布’且具有相同之時間序列分布。 因此，可推斷出藉由步驟S183而評估為相關性較高之其 他間距間隔之缺陷候補與步驟181中設為對象的缺陷候補 一併係因相同搬送輥而產生。 再者，上述特徵量之比較（一致、不一致），可藉由設置 母個特徵量之條件分歧而進行比較，可使用關於特徵量之_ 馬哈朗諾比斯空間及馬哈朗諾比斯距離來進行比較，亦可 藉由構築類神經網路而進行比較。 假定上述缺陷候補之間形成兩個間距間隔之情形，本發 明中求出缺陷候補之間隔時，除了求出相鄰之缺陷候補 (，前一個缺陷候補）之間隔之外，亦可求出與該相鄰之缺陷 候補所相鄰之缺陷候補（兩個前之缺陷候補）之間之間隔， t出與兩個前之缺陷候補所相鄰之缺陷候補（三個前之缺 陷候補）之間隔......求出與（N-1)(N為4以上之整數）個前_ =缺陷候補所相鄰之缺陷候補（N個前之缺陷候補）之間 隔< 例如，於步驟16〇中之缺陷檢查中，將相鄰之缺陷候 補叹為對象而求出間隔，於步驟8181中，當產生兩個以上 之間距間隔時’亦可使用記憶體中所記憶之間隔資訊 行除了韦ill '、，出相鄰之缺陷候補（前一個缺陷候補）之間隔之 长出與複數個前之缺陷候補所相鄰之缺陷候補之間 隔的處理。 141812.doc -34- 201009328 該it形時，所求出之間隔之上限限度為搬送輥丨〖中之最 大周長。此時，亦可構成為：求出與i個至N個前之缺陷候 補之所有組合相關的間隔之產生頻率並製作成直方圖，相 對於°玄產生頻率，使用另外設定之頻率閾值而判別是否具 有週期性缺陷，藉由該構成，於搬送輥U之周長為⑽。 醜之情形時’當缺陷候補之間隔為3⑽腿與彻顏之產 生頻率超過頻率閾值時，同時於1000 mm之產生頻率上加 ❹ j3〇〇 mm與700 mm之產生頻率之和，因此出現超過所設 疋之頻率閾值之產生頻率。藉此，可更準確地推斷缺陷候 補係因相同之搬送輥而導致產生。 圖10係對圖2所不之缺陷檢查之實施中具體進行之一例 之流程進行說明的圖，亦可以如下方式進行。 於圖2所示之步驟sl6〇中，如上所述，缺陷檢查中將自 照相機14發送並製作成之檢查對象之圖像劃分為檢查單位 長度之區域，針對單位長度之區域之圖像，如圖3所示以 • 單元尺寸而將圖像區劃化（步驟S16D。其次，使用所決定 之第1信號閾值對單位長度之區域之圖像進行二值化，將 暗部侧之區域作為缺陷候補，自圖像中之搬送方向之端部 起沿著搬送方向而搜索缺陷候補，並提取所檢測出之缺陷 候補之寬度方向之位置（步驟S162)。 此時，若檢測出缺陷候補，則判別該缺陷候補之屬性 (步驟Si63)。作為屬性，可列舉例如缺陷候補之圖像信號 之值疋否全部小於特定之值、缺陷候補之圖像之面積或缺 陷候補之形狀是否滿足所設定之條件。又，可列舉缺陷候 J41812.doc -35· 201009328 補是否位於玻璃板G之背面（搬送輥11之側之面）上。缺陷 候補是位於背面、還是位於表面之屬性可使用由缺陷檢查 單元26所獲得之反射圖像而加以判別。 即、反射圖像係照射玻璃板G之内部之光於背面反射並 由照相機2 4進行拍攝所得，因此如上所述，當背面存在缺 陷時’反射圖像中並無實像與鏡像之位置偏差。另一方 面’存在於表面之缺陷存在實像與鏡像，位置偏差量與根 據玻璃板G之厚度而定之固定值相一致。利用該方面，可 判別位於缺陷候補所對應之位置之反射圖像的缺陷候補是_ 否位於背面。使用該判別結果而判別屬性。 此外’作為屬性亦可列舉缺陷種類。缺陷種類可藉由根 據反射圖像所得之對應之缺陷候補的圖像之形狀而識別。 接著’提出符合所要屬性之缺陷候補所屬之區劃的搬送 方向之位置與寬度方向之位置（步驟S164)，並將該區劃之 代表點之寬度方向之位置與搬送方向之位置、以及缺陷候 補之圖像區域之資訊記憶於處理部16之未圖示之記憶體 中進而著搬送方向而搜索是否存在所要屬性之缺陷© 候補。 此時，於作為所要屬性而檢測出之缺陷候補之圖像區 域、與業已記憶於記憶體中之缺陷候補之圖像區域之間， 求出尺寸及圖像區域之形狀之相關係數等之相關性，並將 該相關、、Ό果作為相似度而加以評估（步驟My)。例如使 用相關係數進行評估時，當相關係數之值超過特定之值 時則判斷為相似度較高。作為相似度之評估對象而檢測 141812.doc •36- 201009328 出之缺陷候補與記憶體中記憶之缺陷候補，係例如以特定 間隔產生之缺陷候補彼此、或者將檢測出之缺陷候補及於 該檢測之前所檢測出並加以記憶之缺陷候補作為母集團而 加以平均之缺陷候補、或者所檢測出之缺陷候補與事先決 f之缺陷候補模型等。相關之對象可列舉缺陷候補之特徵 量、缺陷候補之圖像資料、或者缺陷候補之圖像特徵量 (形狀之特徵量等）。 ❹ 再者，相似度之評估除了使用相關性之外，亦可使用特 徵量之馬哈朗諾比斯空間及馬哈朗諾比斯距離進行評估， 亦可藉由構築類神經網路而進行評估。 相對於判斷為相似度較高之缺陷候補之搬送方向之位 置，而求出與記憶於記憶體中、且被調用之相同寬度方向 之位置上之缺陷候補的搬送方向上之位置之間的差分。相 對於作為該差分之間隔’將表示於寬度方向之各位置及間 隔所規疋之產生頻率的計數值提前一個（步驟S be)。 ❿ 判斷是否已針對檢查對象之圖像全體而進行上述缺陷候 補之搜索、檢測（步驟S167)，於否定之情形時，返回步驟 S162。上述判斷中為肯定時，進入步驟S170。 如此進行缺陷候補之檢測時，使用所要缺陷候補之屬 性及缺陷候補之圖像區域之相似度而嚴格設定條件，從而 可限制將要檢測之缺陷候補。當然，亦可將缺陷候補之屬 性及缺陷候補之圖像區域之相似度中之任-方設定為條 件。 乍為圖2所示之步驟之後步驟，亦可按照圖η 141812.doc -37- 201009328 所示之流程而除去缺陷之產生原因。 若於步驟S180中判別為存在具有週期性之缺陷候補，則 如上所述求出該缺陷候補之間距間隔之於寬度方向之產生 頻率分布、時間序列分布，並根據所求出之產生頻率分布 及時間序列分布之特徵量而提取產生圖案之特徵，藉此評 估具有週期性之缺陷候補。或者，識別缺陷候補之缺陷種 類(步驟S191)。所謂缺陷種類係指由缺陷檢查單元％拍攝 所得之反射圖像中之缺陷候補之圖像之形狀、及使用表示 光強度之程度之圖像資料之值而判斷之缺陷之種類例如春 玻璃板G之φ上所產生之傷#、或者玻璃板g之面上之附 著物等。 其次，根據評估結果或者識別結果，推斷產生原因，即 因哪個搬送輥而產生缺陷(步驟S192)。例如，推斷具有符 合間距間隔之周長之搬送輥作為產生原因。又，根據缺陷 種類而推斷哪個搬送輥導致產生缺陷。該等推斷可藉由預 先構築將缺陷之產生原因、與缺陷種類或產生圖案建立關 聯之資料庫而進行。 ❹ 接著根據產生原因之推斷而進行產生原因之除去（步 驟S193)。產生原因之除去係以例如當產生原因為特定之 搬送親時’以自搬送路徑移動特定之搬送輥而使搬送輕自 動地脫離搬送路徑，並更換為其他搬送輕之方式使搬送路 Μ控制裝置及驅動裝置動作。或者，對特定之搬送輕進 订自動維護。作為自動維護’可列舉增厚搬送輕之表面之 保護膜之示例。 141812.doc -38- 201009328 如此所％•之產生原因與產生圖案或缺陷種類建立關聯 而追加登錄於上述資料庫中（步驟si94)。當然，當所推斷 之產生原因有誤時，藉由操作人員之輸入而實行修正後登 錄於資科庫中。該資料庫用於步驟Sl82中之產生原 斷。 或者，亦可於搬送後之玻璃板G之切出步驟t，切斷機 以避開判別為具有週期性缺陷之缺陷之上述寬度方向位置 瘳的方式接收指令’將玻璃板〇以特定之尺寸切斷並切出。 進而本發明中可使用上述缺陷檢查所得之間距間隔及 缺陷候補之寬度方向之產生頻率分布之資料，進而使用以 下所不之方法，而容易地檢測出週期性缺陷之存在。 即、處理部16決定包含具有間距間隔之缺陷候補於寬度 方向上所處之位置的關注區域。於該關注區域中，自照相 機14拍攝所獲得之圖像中，使用第2信號閾值而自圖像之 開端起提取詳細缺陷候補。 ❹ 對於將與該提取所獲得之詳細缺陷候補之位置於搬送方 向上相距間距間隔之位置作為中心的搜索區域，使用第2 信號閾值來搜索詳細缺陷候補，並評估搜索所獲得之詳細 缺陷候補與提取所得之詳細缺陷候補之間之圖像的相似 度。根據該相似度之評估結果，判別為關注區域中於搬送 方向上具有週期性缺陷。第2信號閾值亦可設定為較圖2中 之步驟S150所決定之第i信號閾值更低的值。 圖12表不該檢查之流程之一例。首先，如圖13A所示規 定包含藉由圖2所示之流程之缺陷檢查而獲得之、判別為 141812.doc -39- 201009328 缺陷候補具有週期性之寬度方向之位置的關注區域Αχ， 並於該關注區域ΑΧ中，使用第2信號閾值自圖像之開端起 檢測詳細缺陷候補（步驟S195)。於圖13Β中，作為所檢測 出之詳細缺陷候補而檢測缺陷候補D丨。 其次，基於該檢測出之缺陷候補D]之搬送方向之位置， 如圖13B所示’將自該位置於搬送方向上離開上述間距間 隔部之地點作為中心而設定固定範圍之搜索區域Αγ(步驟 S196)。 於所設定之該搜索區域ΑΥ中，使用第2信號閾值而提取 詳細缺陷候補（步驟S 197)。 接著，分別評估步驟S195中檢測出之詳細缺陷候補、以 及詳細缺陷候補之屬性（步驟S198)。作為屬性而判別例如 缺陷之產生位置（表面側或者背面）。該判別如上所述係根 據供給至處理部16之缺陷檢查單元26之圖像資料，使用位 於表面之缺陷候補、及位於背面之缺陷候補之、實像與鏡 像之位置偏差篁之差異而進行判別。 其次，當上述屬性一致時，確定出週期性缺陷存在於檢 查對象之玻璃板G之區域中（步驟S199)。 如此，使用先前所取得之間距間隔而決定關注區域 AX，並於該區域中搜索準確之缺陷候補，並進行確定有 無週期性缺陷之檢查。 再者’該檢查方法除了可適用於搬送中之長條狀之破璃 板G之外，亦可適用於切斷為特定尺寸之片狀之玻璃板 G。特別係於片狀之玻璃板^之情形時，可使用間距間隔 1418l2.doc -40· 201009328 而個別地判別有無週期性缺陷。 於該型態中係針對葬ά ^ ^太 曰、檢查而檢測出之間距間隔來 設定關注區域，但本發明 ㈣采 伞赞月並不限疋於此。本發明 可限定搬送輥之周長之愔开彡芬赴M、+ 仔在 食之/t形及要關注剛維護後特 送輥之周長的情形等，田士女叮* — ®此亦可基於其等搬送輥之周長而 :疋：注區域」又’本發明中，於為有肩輥或階梯輥等 參 日口、且在可確定寬度方向位置與搬送輕之關係之情形，亦 可基於此而設定關注區域。 於本實施形態中，如圖9所示，係於顯示器…之畫面上 顯示將缺陷候補之彦+相.旁+ ntt 一 m頻率之時間序列分布等複數個時間

序列分布覆寫為一個夕固主 ,L ^勹個之圖表，但本發明並不限定於此。 本發明中，如圖14A所示，亦可將缺陷候補之產生頻率 之時間序列分布（時間序列資料）作為以濃度表*產生頻率 之二維密度圖像而於顯示器18a之畫面上加以顯示。該二 維密度圖像係於一方之轴例如縱軸表示時間、於另-方之 軸例如橫轴表不寬度方向位置’以顏色或濃度(明暗)表示 檢_條件所對應之注目間距（例如相當於關注之搬送粮 周長)之缺陷候補之產生頻率的二維密度圖像。再者， 亦可代替該—維密度圖I，而如圖i4B所示，作為以與設 :間為-方之軸、言支寬度方向位置為另一方之轴的二維座 才不成正父之方向之高度來表示的三維圖表，於顯示器18a 之畫面上加以顯示。 於以圖14A所不之二維密度圖像之黑點表示的時間及寬 又方向位置上表不缺陷候補之產生頻率較高，可知該黑點 141812.doc -41- 201009328 對應於圖14B所示之二维圃主 —、准圖表之頻率的峰值。 又’亦可如圖15A所+ μ σ 斤不將另一方之軸（橫軸）更改為間 距’而與圖14A相同地，將缺陷候補之產生頻率之時間序 列分布作為以濃度表示產生頻率之二維圖像於顯示器 ;-面上加以顯不。該二維密度圖像係將一方之轴(縱 轴）-又為時間、另一方之轴（橫轴）設為間距、以顏色或濃度 (明暗）表示各檢查條件所對應之所注目之寬度方向位置（例 如相當於容易出現原因不明之傷痕之位置)之產生頻率的 一維密度圖像。再者’亦可代替該二維密度时，而如圖 15Β所示，作為以與將時間設為—方之軸、將間距設為另 -方之轴的二維座標成正交之方向之高度所表示的三維圖 表，於顯示器18a之畫面上加以顯示。 如上所述，本實施形態中，作為缺陷候補之產生頻率之 參數（變數），可列舉時間、寬度方向位置及間距此3項。因 此，如圖MA至15B所示，代替作為所注目之間距及寬度 方向位置之產生頻率的二維密度圖像或三維圖表而表示缺 陷候補之產生頻率之時間序列分布，亦可如圖“A至⑽ 及圖nunc所示’日夺間序列性地表示特定之單位時間 之產生頻率的三維圖表或二維密度圖像。 圖16A至16C係將一方之轴設為寬度方向位置另一方 之軸設為間距，且以高度表示各檢查條件所對應之單位時 間之缺陷候補之產生頻率的三維圖表’且係分別時間序列 性地表示每1天之產生頻率資料者。 當然，亦可代替圖16A至16C之三維圖表，而如圖17A至 141812.doc -42- 201009328 17C所不，使將一方之輛（縱軸）設為間距、另—方之軸 軸）設為寬度方向位置、χ _ 、 以顏色或浪度（明暗）表示各檢查條 件所對應之單位時間之瓶，旁 寸门之頻率的二維密度圖像時 變化而進行顯示。 β υ π -此處’圖16Α至l6C及圖ΠΑ至nc係時間序列性地來表 不每1天之產生頻率資料，但亦可將該等於顯示器…中連 續地切換而作為動態畫面加以顯示。生成產生頻率資料之 參 時間間隔並無特職制，可長於—天亦可短於—天，亦可 作為所謂之動態晝面而連續。 如此’本實施形態中，可藉由圖2所示之缺陷檢杳而規 定缺陷候補之間距間隔、及具有該間距間隔之缺陷候補之 寬度方向之位置，藉此附加如圖7、1〇、⑽如示之流 程’而有效地檢測具有週期性之缺陷。進而，可推斷缺陷 之產生原因。 、X上之缺陷檢查方法可較佳用於玻璃板〇等之製造方 籲法。即、使用上述缺陷檢查方法，於玻璃板g等板狀體之 搬送過程中進行缺陷檢查，並根據所檢查之結果而推斷於 板狀體之搬送路徑上產生的原因。推斷結果較好的是於顯 不器18a(參照圖1A)之畫面上加以顯示。 或者亦可根據该推斷結果，而獲取搬送路徑上之產生 原因之對策。例如，因搬送輥上附著之異物而形成具有週 期性之缺陷候補之情形_，以使該搬送概自搬送路徑脫離 7方式構成。或者，以此方式維護導致玻璃產生傷痕等缺 陷之搬送輥，或者更換為其他搬送輥。進而，亦可於搬送 1418I2.doc •43· 201009328 後之玻璃板G之切出步驟中，以避開判別為具有週期性缺 陷之缺陷之寬度方向位置，並以將玻璃板〇以特定尺寸切 斷而切出之方式加以處理。 該型態中’使用本發明之缺陷檢查，藉由搬送棍之脫 離、維護及更換等而進行消除玻璃之缺陷的反饋，但本發 明並不限定於此，亦可利用玻璃製造環境之評估之反饋。 具體而f，玻4之製造中亦存在如下情形：^體中之污染 不具有週期性地附著於玻璃之表背面上，自浮槽附著於玻 璃之下表面之如錫（渣滓）般之液狀或半液狀的物體轉印於❺ 搬送輥11(參照圖1A)上，並再轉印於玻璃〇上。 此時，於玻璃G之下表面上會週期性地產生有圖汨所示 之污染區域Y。因此’可根據於玻璃G之下表面所檢測出 之具有週期性的缺陷點（污染），而評估浮槽等之玻璃製造 環境。 如此，藉由將本發明之缺陷檢查方法及裝置應用於因渣 滓等製造環境所造成之缺陷之檢查中，可評估玻璃等製造 環境，亦可將其評估結果反饋至玻璃之製造中。 ® 上述缺陷檢查用圖像資料之處理方法可藉由執行程式而 於電腦上進行處理。 例如，本發明之缺陷檢查用圖像資料之處理程式係具有 使上述缺陷檢查用圖像資料之處理方法之各步驟由電腦、 具體而言係由其CPU(central processing unh，中央處理單 元）執行之次序者。包含該等次序之程式亦可作為〗個或者 複數個程式模組而構成。 141812.doc -44· 201009328 包含該等由t腦執行之次序之缺陷檢查用圖像資料之處 理程式可記憶於電腦或祠服器之記憶體（記憶裝置）内，亦 可記憶於記錄媒體中，於執行時，由該電腦（CPU)或者其 他電腦自記憶體或者記錄媒體中讀出並加以執行。因此， 本發明亦可為記憶有用以使電腦執行上述型態14之缺陷檢 查用圖像資料之處理方法之缺陷檢查用圖像資料的處理程 式之電腦可讀取的記憶體或者記錄媒體。 Φ 以上，對本發明之缺陷檢查用圖像資料之處理裝置及處 理方法为別使用其等之缺陷檢查裝置及缺陷檢查方法、 使用其等之板狀體之製造方法、以及記錄有執行處理方法 之程式之電腦可讀取的記錄媒體進行了詳細說明，但本發 明並不限定於上述實施形態或實施例，當然可於不脫離本 發明之主旨之範圍内進行各種改良或變更。 參照特定之實施型態詳細地說明了本發明，但業者應明 白可不脫離本發明之精神及範圍而添加各種變更或修正。 φ 本申請案係基於2008年7月18曰申請之曰本專利申請案（曰 本專利特願2008-187450)者，其内容以參照之方式併入本 文。 【圖式簡單說明】 圖1A係表示本發明之缺陷檢查裝置之一實施形態之缺陷 檢查裝置之概略構成的圖； 圖1B係對本發明之缺陷檢查裝置之一實施形態之缺陷檢 查裝置的檢查對象之玻璃板進行說明的圖； 圖2係表示本發明之缺陷檢查方法之一實施形態之流程 141812.doc -45· 201009328 之一例的流程圖； 圖3係對本發明之缺陷檢查方法之處理之一部分進行說 明的圖， 圖4係對本發明之缺陷檢查方法之處理之一部分進行說 明的圖； 圖5 A係對本發明之缺陷檢查方法所使用之頻率閾值進行 說明之一例的圖； 圖5B係對本發明之缺陷檢查方法所使用之頻率閾值進行 說明之一例的圖； 圖6 A係對本發明之缺陷檢查方法所使用之頻率閾值進行 說明之其他例的圖； 圖6B係對本發明之缺陷檢查方法所使用之頻率閾值進行 說明之其他例的圖； 圖6C係對本發明之缺陷檢查方法所使用之頻率閾值進行 說明之其他例的圖； 圖7係表示本發明之缺陷檢查方法之其他實施形態之流 程之一例的流程圖； 圖8A係表示根據本發明之缺陷檢查方法所獲得之寬度方 向之產生頻率分布之例的圖； 圖8B係表示根據本發明之缺陷檢查方法所獲得之寬度方 向之產生頻率分布之例的圖； 圖8C係表示根據本發明之缺陷檢查方法所獲得之寬度方 向之產生頻率分布之例的圖； 圖9係表示根據本發明之缺陷檢查方法所獲得之時間序 141812.doc 201009328 列分布之一例的圖； 圖1 〇係表示本發明之缺陷檢查方法之其他實施形態之流 程之一例的流程圖； 圖11係表示本發明之缺陷檢查方法之其他實施形態之流 程之一例的流程圖； 圖12係表示本發明之缺陷檢查方法之其他實施形態之流 程之一例的流程圖； 圖13A係對圖12所示之缺陷檢查方法進行說明之圖； 圖13B係對圖12所示之缺陷檢查方法進行說明之圖； 圖14A係表示根據本發明之缺陷檢查方法所獲得之產生 頻率之時間序列分布之其他例的二維密度圖像； 圖14B係表示根據本發明之缺陷檢查方法所獲得之產生 頻率之時間序列分布之其他例的三維圖表； 圖15A係表示根據本發明之缺陷檢查方法所獲得之產生 頻率之時間序列分布之其他例的二維密度圖像； 圖15B係表示根據本發明之缺陷檢查方法所獲得之產生 頻率之時間序列分布之其他例的三維圖表； 圖16 A係時間序列性地表示根據本發明之缺陷檢查方法 所獲得之產生頻率之其他例的三維圖表； 圖16B係間序列性地表示根據本發明之缺陷檢查方法 所獲得之產生頻率之其他例的三維圖表； 圖16C係時間序列性地表示根據本發明之缺陷檢查方法 所獲得之產生頻率之其他例的三維圖表； 圖17Α係時間序列性地表示根據本發明之缺陷檢查方法 141812.doc -47- 201009328 所獲得之產生頻率之其他例的二維密度圖像； 圖17B係時間序列性地表示根據本發明之缺陷檢查方法 所獲得之產生頻率之其他例的二維密度圖像；及 圖17C係時間序列性地表示根據本發明之缺陷檢查方法 所獲得之產生頻率之其他例的二維密度圖像。 【主要元件符號說明】 1 缺陷檢查裝置 10、 26 缺陷檢查單元 11 搬送輥 12、 22 光源 14、 24 照相機 16 處理部 18 輸出系統 18a 顯示器 18b 印表機 20 輸入操作系統 141812.doc •48-

Claims (1)

1. 201009328 七、申請專利範圍： 1. 種處理裝置’其特徵在於：其係使用一面使板狀體於 特疋方向相對移動一面對板狀體進行拍攝所得之圖像來 檢查板狀體中所存在之缺陷的缺陷檢查用圖像資料之處 理裝置； 其包括處理部’其係使用第〖信號閾值而自上述圖像 中提取複數個缺陷候補，並於上述移動方向上，自所提 取之複數個缺陷候補中搜索與上述特定方向即移動方向 成正父之寬度方向的位置相同之缺陷候補，求出藉由搜 索而檢測出之缺陷候補於上述板狀體之移動方向上之位 置、與在移動方向上和上述檢測出之缺陷候補相鄰之缺 陷候補於移動方向上的位置之間的間隔，藉由重複上述 處理處理而取得複數個間隔，求出該等複數個間隔之產 生頻率，當所注目之間隔之產生頻率超過所設定的頻率 閾值時，則判別為上述板狀體於上述移動方向上具有週 期性缺陷； 上述處理部中所使用之上述頻率閾值係根據上述所注 目之間隔而規定，當將兩個頻率閾值規定為不同值時， 以使規定較大一方之頻率閾值之上述所注目的間隔小於 規定較小一方之頻率閾值之上述所注目的間隔之方式， 設定上述頻率閾值。 2.如請求項丨之處理裝置，其中上述處理部包括表示上述 缺陷候補之產生密度與上述第丨信號閾值之關係的參照 表，以使缺陷候補之產生密度成為所設定之目標產生密 141812.doc 201009328 度的方式，使用上述參照表設定上述第1信號閾值； 上述頻率閾值係除了根據上述所注目之間隔而變化之 外亦根據上述目標產生密度的值而變化之值。 3·如請求項1之處理裝置’其中上述處理部中所使用之上 述頻率閣值係以如下方式規定，即：假定雜訊分量隨機 分布於區域中，並將上述寬度方向之位置處於相同位置 上之雜訊分量作為上述缺陷候補，解析性地求出相對於 上述間隔之上述雜訊分量之產生頻率，或者將由雜訊分 量所形成之模擬圖像中之上述雜訊分量的圖像作為缺陷 候補，求出相對於上述間隔之上述雜訊分量之產生頻 率，根據所求出之產生頻率而規定上述頻率閾值。 4.如請求項3之處理裝置，其十上述模擬圖像係以使圖像 中之雜訊刀量之產生密度根據圖像區域而不同的方式所 製作成者。 5·如請求項丨之處理裳置，其中上述處理部於上述寬度方 向及上述移動方向上將用於搜索上述缺陷候補之搜索對 象圖像刀割成複數個部分而形成複數個尺寸相同的單元 區域，S包含複數個缺陷候補之複數個單元區域於上述 寬度方向上處於相同位置時，將該等缺陷候補設為彼此 於上述寬度方向上之位置相同，而求出上述間隔及上述 產生頻率。 6.如明求項1之處理裝置，其中上述處理部進而針對被判 別為具有週期性缺陷之上述缺陷候補之上述所注目的間 隔’求出表示上述產生頻率於上述寬度方向之位置上之 141812.doc 201009328 刀布的寬度方向產生頻率分布，並使用該寬度方向產生 頻率刀布中之沿上述寬度方向之上述產生頻率之不均， 而對缺陷產生圖案進行分類。 7. 如請求項1之處理裝置，纟中上述板狀體係於上述移動 方向上連續之長條形狀者； 上述處理部將上述板狀體劃分為具有定長度之板狀 體的區域，將該區域之圖像作為1個時間序列單位之檢 Φ 查對象，而對複數個時間序列單位進行上述判別。 8. 如請求項7之處縣置，&中上述處理部針對上述複數 個時間序列單位記錄由上述間隔與上述寬度方向之位置 所規疋之上述間隔的產生頻率分布，根據所記錄之產生 頻率分布規定所注目之間隔以及上述寬度方向之位置而 求出產生頻帛，並將該i生頻率表示料間序列資料， 藉此將缺陷之產生資訊於畫面中加以顯示。 9·如請求項8之處理裝置’其中上述處理部針對上述產生 • 頻率之時間序列資料’將改變上述所注目之間隔及寬度 方向之位置中之至少—方後所得之複數個產生頻率之時 間序列資料，覆寫於相同圖表中並於畫面中加以顯示。 !〇.如請求項！之處理裝置，其中上述處理部於上述移動方 向上搜索並檢測出上述寬度方向之位置相同之缺陷候補 時’除了將相鄰之缺陷候補作為前一個缺陷候補而求出 上述移動方向上之間隔之外，亦求出與複數個前之缺陷 候補之間之於移動方向上的間隔，藉由重複上述處理處 理而取得複數個間隔，求出該複數個間隔之產生頻率， 141812.doc 201009328 *所主目之間隔之產生頻率超過所設定的頻率閾值時， 判別為上述板狀體於上述移動方向上具有週期性缺陷。 11. 如請求们之處理裝置，其中將上述間隔中被判別為於 上述移動方向上具有週期性缺陷之間隔稱作間距間隔 時， 上述處理部進而規定包含具有上述間距間隔之缺陷候 補於上述寬度方向上所處之位置的關注區域，並使用第 2信號閾值而自該關注區域之圖像中，自圖像之開端起 提取詳細缺陷候補，規定以於上述移動方向上自該提取 所得之詳細缺陷候補之位置離開上述間距間隔的位置為 中心之搜索區域，於該搜索區域中，使用上述第2信號 閾值搜索詳細缺陷候補，分別評估經搜索所檢測出之詳 細缺陷候補、及上述提取所得之詳細缺陷候補之屬性， 根據該評估結果而判別上述關注區域於上述移動方向上 是否包含週期性詳細缺陷候補。 12. 如請求項丨之處理裝置，其中當將上述間隔中判別為於 上述移動方向上具有週期性缺陷之間隔稱作間距間隔 時’上述處理部進而規定包含具有上述間距間隔之缺陷 候補於上述寬度方向上所處之位置的關注區域，使用第 2信號閾值自該關注區域之圖像中，自圖像之開端起提 取詳細缺陷候補，規定以於上述移動方向上自該提取所 得之詳細缺陷候補之位置離開相當於搬送上述板狀體的 搬送輥之周長之距離的位置為中心之搜索區域，於該搜 索區域，使用上述第2信號閾值搜索詳細缺陷候補，分 141812‘doc 201009328 別評估經搜索所檢測出之詳細缺陷候補、及上述提取所 付之詳細缺陷候補之屬性，根據該評估結果而判別上述 關注區域於上述移動方向上是否包含週期性詳細缺陷候 補。 13. 如請求項1之處理裝置，其中上述處理部於上述移動方 向上搜索並檢測上述寬度方向上之位置相同之缺陷候補 並求出上述間隔時，評估所檢測出之缺陷候補之屬性、 或者缺陷候補與特定缺陷候補之間之相似度，當該等屬 性及相似度中之至少一方滿足所設定之條件時求出上述 間隔。 14. 一種缺陷檢查裝置，其特徵在於：其係對板狀體中所存 在之缺陷進行檢查者，其包括： 光源’其向上述板狀體之表面照射光； 照相機，其一面與上述光源一起相對於上述板狀體進 行相對移動，一面拍攝被上述光源照射光之板狀體之圖 像；以及 如請求項1之處理裝置；且 上述處理裝置之上述處理部使用上述第丨信號閾值， 自上述照相機所拍攝所得之上述圖像中提取上述複數個 缺陷候補，並於上述移動方向上，自所提取之上述複數 個缺陷候補中，搜索與上述照相機相對於上述板狀體進 行相對移動之方向即上述移動方向成正交的上述寬度方 向上之位置相同之缺陷候補。 15. —種板狀體之製造方法，其特徵在於··其係製造藉由搬 141812.doc 201009328 送輥而搬送之作為帶狀連續體之板狀體者； 使用如請求項14之缺陷檢查裝置，於移動過程中檢查 上述板狀體； 根據檢查出之結果而確定於上述板狀體之移動路徑上 導致板狀體產生缺陷之搬送輥； 除去或者維護所確定之搬送輥。 16. —種板狀體之製造方法，其特徵在於：其係製造藉由搬 送輥而搬送之作為帶狀連續體之板狀體者； 使用如請求項14之缺陷檢查裝置，於移動過程中檢查 上述板狀體； 避開被判別為具有上述週期性缺陷之缺陷之上述寬度 方向位置而切斷並取出上述板狀體。 17. —種處理方法，其特徵在於：其係使用一面使板狀體於 特疋方向上相對移動一面拍攝所得之圖像而檢查上述板 狀體中所存在之缺陷的缺陷檢查用圖像資料之處理方 法； 使用第1信號閾值，自拍攝所得之圖像中提取複數個 缺陷候補； 於上述移動方向上’自所提取之複數個缺陷候補中搜 索與上述特定方向即移動方向成正交之寬度方向上之位 置相同的缺陷候補’求出藉由搜索而檢測出之缺陷候補 於移動方向上之位置、與在移動方向上與該缺陷候補相 鄰之缺陷候補於移動方向上之位置之間的間隔，藉由重 複上述處理處理而取得複數個間隔； 141812.doc 201009328 求出該等複數個間隔之產生頻率； 田所注目之間隔之產生頻率超過凡^ 時’判別為上述板狀體於移 之頻率間值 上述頻率間值隸據上述所注目性缺^ • 當兩個頻率間值不同時’以使規定較大-方之值 • .+，过所，主目的間隔小於規定較小—方之頻率聞值之^ 述所注目的間隔之方式，設定上述 …如請求項17之處理方^ 間值。 ❹檢查條件； …進仃上述判別之前設定 於δ又疋上述檢查條件之步 密度成為所設定之目標產生二候補之產生 定上述第1信號閲值；密度的方式，使用參照表設 上述頻率閾值係除了根據上述所注目之間隔而變化之 亦根據上述目標產生密度的值而變化之值。 19_如請求項17之處理方法’其中上述頻率間值係以如下方 • 式規定’即：將由雜訊分量所形成之模擬圖像之上述雜 訊分量的圖像作為缺陷候補，求出相對於上述間隔之上 述雜訊分量之產生頻率，根據該產生頻率而規定上述頻 率閾值。 1 > Μ Μ 19之處理方法’其中上述模擬圖像係以使圖像 中之雜訊刀里之產生密度根據圖像區域而不同的方式製 作成者。 21. 如請求項17之處理方法， 判別為於上述移動方向上 其中將上述所注目之間隔中被 具有週期性缺陷候補之間隔稱 141812.doc 201009328 作間距間隔時，於進行上述判別之步驟之後，進而規定 包含具有上述間距間隔之缺陷候補於上述寬度方向上所 處之位置的關注區域； 使用第2信號閾值，自該關注區域之圖像中，自圖像 之開端起提取詳細缺陷候補； 規定以於上述移動方向上自該提取所得之詳細缺陷候 補之位置離開上述間距間隔的位置為中心之搜索區域； 於該搜索區域，使用上述第2信號閾值搜索詳細缺陷 候補； 分別評估經搜索所檢測出之詳細缺陷候補、及上述提 取所得之詳細缺陷候補之屬性； 根據該評估結果而判別上述關注區域於上述移動方向 上是否包含週期性缺陷候補。 22. 23. 如請求項21之處理方法，其中上述關注區域之週期性缺 陷候補之判別中所使用的圖像係將上述板狀體以固定尺 寸切斷後所得之板的圖像。 如清求項17之處理方法，其中將上述間隔中被判別為於 上述移動方向上具有週期性缺陷之間隔稱作間距間隔 時，於進行上述判別之步驟之後，進而規定包含具有上 述間距間隔之缺陷候補於上述寬度方向上所處之位置的 關注區域； 使用第2信號閾值，自該關注區域之圖像中，自圖像 之開端起提取詳細缺陷候補； 規定以於上述移動方向上自該提取所得之詳細缺陷候 i41812.doc 201009328 補之位置離開相當於搬送上述板狀體的搬送輥之周長之 距離的位置為中心的搜索區域； 於該搜索區域，使用上述第2信號閾值搜索詳細缺陷 候補； 分別評估經搜索所檢測出之詳細缺陷候補'及上述提 取所得之詳細缺陷候補之屬性； 根據該評估結果而判別上述關注區域於上述移動方向 ❹ 上是否包含週期性詳細缺陷候補。 24. 如請求項17之處理彳法，纟中於上述移動方向上搜索並 檢測上述寬度方向之位置相同的缺陷候補且求出上述間 隔時，評估所檢測出之缺陷候補之屬性、或者缺陷候補 與特定缺陷候補之間之相似度，當該屬性及相似度中之 至少一方滿足所設定之條件時求出上述間隔。 25. 種缺陷檢查方法，其特徵在於：其係檢查板狀體中所 存在之缺陷者； • 一面使光向上述板狀體表面照射光，且使上述板狀體 相對地移動，一面拍攝被照射光之板狀體之圖像； 使用拍攝所得之上述圖像進行如請求項17之處理方 法0 26. 其係製造藉由搬 種板狀體之製造方法，其特徵在於： 送輥而搬送之作為帶狀連續體之板狀體者； 使用如請求項25之缺陷檢查方法，於移動過程中檢查 上述板狀體； 之移動路徑上 根據檢查出之結果，確定於上述板狀體 141812.doc 201009328 導致板狀體產生缺陷之搬送輥； 除去或者維護所確定之搬送輥。 27. —種板狀體之製造方法，其特徵在於：其係製造藉由搬 送輥而搬送之作為帶狀連續體之板狀體者； 使用如請求項25之缺陷檢查方法，於移動過程中檢查 上述板狀體； 避開被判別為具有上述週期性缺陷之缺陷之上述寬度 方向位置而切斷並取出上述板狀體。 28. —種記錄媒體’其可由電腦讀取且記錄有電腦可執行之 程式’該程式執行如請求項17之缺陷檢查用圖像資料之 處理方法。 141812.doc