TW200914393A - Dielectric ceramic and capacitor - Google Patents
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Description
晶粒子所構
G 200914393 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於利用以鈦酸鋇為主成分的結 成介電陶瓷、及使用其之電容器。 【先前技術】 目前’諸如行動電腦、行動電爷 機器普及備受矚目，在最近的未來:代表的數位式電子 於全國。地面數位廣播用收可機：數位廣播將拓展 λ、伯阳"又也機的數位式電 如液晶顯示器、電漿顯示器等，。” 量使用LSI。 亥核位式電子機器將大 在諸如液晶顯示器、電漿顯示器等構成該等數位 2子機㈣電源電路中’大多安裝㈣通用電容器 在此所使用的電容器需要鲂古 田 ▲入— 私问静電電容的情況時，便採用 +積曰网文電今益（例如參照專利文獻υ，另— 方面’當即使低電容仍重視 ^ ± 里祝，皿度特性的情況，便採用電容 變化率較小的溫度補償型穑 ^ 文獻2)。 補1貝ι積層陶瓷電容器(例如參照專利 [專利文獻1]日本專㈣開_卜89231號公報 專利文獻2]日本專利特開2GGH94481號公報 發明内容】 (發明所欲解決之問題） 然而，專利文獻1所揭示的 因為利用具有強介電性的介電 介電常數的溫度變化率較大， 商介電率積層陶瓷電容器， 陶究結晶粒子構成，因而有 且電場-介電極化特性的電 97111701 200914393 滯較大之不良情況。 再者，使用專利文獻 成的電容器，在電源電路上容易癸強=電性介電陶瓷形 澡音，因而成為使用於電漿顯示^ 感應畸變造成的 另-方面，溫度補償型積層陶瓷電容：時的障礙。 介電嶋屬於常介電性，因而電場；電】：：成其的 滯較小。所以，雖具有不會發生強介電性特有的=生的電 變:優點’但是’因為介電陶兗的介電常數: 畜電旎力較低，無法滿足使 有 ^ ^ ~方遇电合裔性能的問題。 ^ ^. X明之目的在於提供高介電率且顯示出安定介 (解^門之^度特性的介電㈣、以及使料之電容器。 (解決問題之手段） ^第1發明的介電陶£，係由··利用以鈦酸鋇為主 = 晶粒子、以及在該結晶粒刊所形成晶界相構成 的厂電陶-亮；其中’相對於構成上述鈦酸鋇的鋇1莫耳之 ϋ下，將，：鎂依岐〇換算計〇.〇卜〇.〇6莫耳的比例、釔依 換w汁〇.〇 〇〇 7〜0.03莫耳的比例、鐘依Μη〇換算計 0.03莫耳的比例含有，並相對於上述鈦酸鋇1〇〇 質量份之下，含有餾依LusO3換算計3. 6〜52. 1質量份，且 上述結晶粒子的平均粒徑係0. 05〜0. 2 # m。 上述第1發明的介電陶瓷，最好相對於構成上述鈦酸鋇 的鎖1莫耳之下，含有：上述鎂依MgO換算計0. 017〜0. 023 莫耳、上述紀依L〇3換算計0. 0015~0. 01莫耳、上述錳依 Mn〇換异計〇. 01〜0· 〇 13莫耳，同時相對於上述鈦酸鋇100 97111701 200914393 質量份之下，含有上述镏依LU2〇3換算計6. 3〜i5. 6質量 份，且相對於構成上述鈦酸鋇的鋇1莫耳之下，鈦的比例 係設為0. 97〜0. 98。 • 本發明帛2發明的介電陶究，係、就上述第1實施形態， .相對於上述鈦酸鋇1 〇 〇質量份之下，更含有：石夕依s i 〇2 換算計0.73〜6.3質量份，以及硼與鋰中至少！種依B2〇3 換算計與依LhO換算計，合計含有〇 31〜21質量份。 〇 、上述第2發明的介電陶瓷，最好相對於構成上述鈦酸鋇 的鋇1莫耳之下，含有：上述鎂依Mg0換算計〇 〇170. 莫耳、上述釔依Y2〇3換算計〇· 〇〇15〜〇. 〇1莫耳、上述錳依 ΜηΟ換算计〇. 〇卜〇. 莫耳，同時相對於上述鈦酸鋇 質罝份之下，含有：上述镏依Luz〇5換算計6. 3〜15. 6質量 份 '上述矽依Si〇2換算計〇. 73~3. 13質量份，以及上述硼 與上述鋰中至少1種依換算計與依Li2〇換算計，合 計含有0.31〜1.04質量份。 ϋ 本务明第1發明的電容器，係含有介電質層與導體層之 積層體的電容器；其特徵為，構成上述介電質層的介電陶 瓷，係具有：利用以鈦酸鋇為主成分的結晶粒子、以及在 該結晶粒子間所形成的晶界相，且相對於構成上述鈦酸鋇 的鋇1莫耳之下，含有：鎂依Mg〇換算計0.01〜0.06莫耳、 -釔依Y2〇3換算計0. 0007〜0. 03莫耳、錳依MnO換算計 -〇· 005〜03莫耳，同時，相對於上述鈦酸鋇1〇〇質量份 之下，含有镏依Lu2〇3換算計3. 6〜52· 1質量份，且上述結 晶粒子的平均粒徑係0. 05〜0. 2 y m。 9711Π01 200914393 上述第1發明的電容器，最好相對於構成上述鈦酸鋇的 鋇1莫耳之下，含有··上述鎂依Mg〇換算計〇 . 〇17〜〇 . 〇23 莫耳、上述釔依γ2〇3換算計0.0015〜0 01 • 铺莫耳，同時，相對 ，1曰〇〇質量份之下，含有上述镏依1山〇3換算計6.3〜15·6質 里份，且相對於構成上述鈦酸鋇的鋇1莫耳之下，鈦的比 例係0 · 9 7〜〇. 9 8。 f'本發明第2發明的電容器，係就上述第1實施形態的電 容器，，對於上述鈦酸鋇1〇〇質量份之下，更含有：矽依
Sl〇2換算計〇. 73〜6. 3質量份，以及蝴與鐘中至少1種依 B2〇3換算計與依Lh0換算計，合計〇31~21質量份。 上述第2發明的電容器，最好相對於構成上述鈦酸鋇的 j 1莫耳之下，含有·上述鎂依Mg〇換算計〜〇6 、耳土述釔依Υ2〇3換异計〇〇〇丨5〜U1莫耳、上述錳依 =0換开„十〇.〇卜Q Q3莫耳，同時，相對於上述鈦酸鎖⑽ 八量伤之下，含有.上述镏依Lu2〇5換算計6. 3〜15. 6質量 =上述石夕依Sl〇2換算計〇. 73〜3· Η質量份，以及上述硼 二上述鐘中至少！種依B2G3換算計與依換算計，合 計含有0. 31〜1. 〇4質量份。 (發明效果） έ士，Γ本毛明的介電陶究’藉由具有以鈦酸鋇為主成分的 -:粒子，且鎂、紀、猛及舰氧化物換算含有上述比例， :择^上述結晶粒子的平均粒徑設為U5〜G.2/zm，便 °…電常數的溫度變化率小於習知具有強介電性的 97111701 200914393 介電陶瓷，且，相較於習知具 下，屬高介電率，並顯示出安定的介電電常=電陶究之 時自發極化較小的介電陶£。 /皿a特1生’同 =據=電質層係❹顯示 ;上:介電陶究，便可形成相較“自器:極化：小 呵電谷且電容溫度特性安定的電容器。所卩㈤下於 f 器使用於電源電路時，將可抑 所虽將該電容 發生。 jU罨感應變所造成噪音的 【實施方式】 <第1實施形態> 該第1實施形態的介電嶋 其令含有m及成分=在 之下，含有：鎮依MgO換算計〇 〇1 〇6耳、， ' 耳 換算計〇._7〜0.03莫耳、猛依莫耳、纪依⑽ Ο 莫耳，同時，相對於上述鈦酸鋇 好請5〜0 依1-〇3換算計3.6〜52」質量份。資罝知之下，含有錦 再者，第1實施形態的介電陶究係且 為主成分的結晶粒子、以及在該結&、⑽用以欽酸鋇 相。上述晶界相係含有上述H = 斤形成的晶界 非晶質相、或其他結晶相，將由鈦酸鎖與；之 相燒結而形成。 、'^ 4 4成分的液 再者’第1實施形態的介電陶瓷、 陶瓷的結晶粒子平均粒徑係〇· 〇5〜〇. 2 "贝。；.構成;’電 97111701 200914393 —二電陶瓷係若屬於上述組成與粒徑範圍，則具有可形成 室溫（25t：)下的介電常數（ε25)可達240以上，且ι25ΐ 的介電常數（ε 125)可達22〇以上，以及在25t：〜125〇c間的 二電⑦數溫度係數（（ε 125— ε 25)/ ε 25( 1 25_25))，依絕對值 片可在1 000x1 0 6/^以下，且電場-介電極化特性的 較小之介電陶瓷的優點。 此種第1實施形態的介電陶瓷係在鈦酸鋇中固溶著 m孟及錦而成，藉由在結晶構造為正方晶系，且顯 :強介電性的鈦酸鋇中固溶著鎂、釔、錳及镏，並將固溶 =該等成分且以鈦酸鋇為主成分的結晶粒子平均粒徑設 定在〇川5〜0· 2/Z m範圍内，該結晶粒子的結晶構造便可以 立方晶系為主體。藉此’可降低因正方晶系結晶構造所造 成的強介電性，並提高常介電性，藉由提高常介電性，便 可藉由增加常介電性而減輕自發極化。 、生再者：藉由將以鈦酸鋇為主成分的結晶粒子之結晶構 &形成以立方晶系為主體的結晶構造，表示介電常數變 化率的曲線在-55t〜12代溫度範圍内便將呈平坦，且均 減小電場-介電極化特性的電滯情形。所以，即使介 數達240以上，仍可獲得介電常數的溫度係數較小之介電
即，若依上述範圍使鈦酸鋇含有既定量的鎂、H ίίί顯示室溫（25°c)以上的居禮溫度，且介電常數的溫 度係數呈正值的介電㈣，#使_出此種介電特性的介 電陶竞，更進—步含有LU2G3時，便獲得更大的效果，減 97111701 200914393 小介電常數的溫度係數’可將溫度特性平坦化。另外，表 不介電常數變化率的曲線在-55。〇〜125°C溫度範圍内，將 以室溫為中心具有2個尖峰。 此處，镏係具有抑制以鈦酸鋇為主成分的結晶粒子粗大 =之作用，相對於鈦酸鋇100質量份之下，錙依Ui2〇3換 算計含有3. 6〜52. 1質量份。 I即，右相對於鈦酸鋇1〇〇質量份之下，若LU2〇3含有量 二於3.6貝量伤，雖介電陶瓷的介電常數較高，但是介電 常數的溫度係數卻較大，且介電極化出現電滯情形。反 之’ ^相日對於鈦酸鋇1〇〇質量份之下，U2〇3含有量多於 5ϋ質量份’ 25。。的介電常數低於240，且125。。的介電 常數未滿2 2 0。 重點在m M的含有量’在相對於鎖i 減γ〇拖將依：鎮依Mg〇換算計0.01〜0.06莫耳的比例、 :=計〇._7〜〇.〇3莫耳_ s计0.005〜0.03莫耳的比例含有。 异 即，當相對於鋇丨莫耳之下， 有少於。_。1莫耳、或多於0.06C計含 介電常數溫度係數變大。此外’當十陶究的 釔含有量依V η她— 相對於鋇1莫耳之下， 莫耳的情況，雖於0._7莫耳、或多於°.〇3 有電滯，且介電二I :的"電常數較高，但介電極化具 «莫耳之下=口 係數變大。此外，當相對於鎖 猛3有I依Μη〇換算計合 或多於0.03莫耳的入士十3有；於〇·〇〇5莫耳、 97111701 耳的障況，介電陶莞的介電常數溫度係數 11 200914393 變大。 再者’以鈦酸鋇為主成分 〇. 05〜0. 2/z m。 刀的、、口日日粒子平均粒徑係 即’藉由將以鈦酸IP為主忐八 〇Ι〇.2"ω，該以鈦酸： —粒子平均粒徑設為 立方晶系為主體的結晶構分3晶粒子將成為以 較小，可颟 + ψκ^ 電场^丨電極化特性的電滯 了.，.貞不出接近常介電性的特性
分的結晶粒子平均粒m n nR U貝為主成 化的作料失，的情況，因為配向極 社曰 口而7丨電陶瓷的介電常數降低；反之，杏 ::粒子的平均粒徑大於〇 2“的情況，在利 ： 的測定中，發現正方晶系結晶相的生成，且介電 陶瓷的介電常數溫度係數變大。 電 X::二斤謂「以立方晶系為主體的結晶構造」係指利用 e峰的(11(0面繞射尖峰強度大於異相繞射尖峰強度的狀 再者，電場-介電極化特性中，就可將ov中的極化電荷 形1 2〇nC/cm、T的觀點’結晶粒子的平均粒 〜18#m。 勹 再者較佳的餾、鎮、紀及鐘含有量，係相對於鎖1莫 耳之下，分別依：鎂依MgO換算計0.017〜〇 〇23莫耳、釔 依匕〇3換算計〇_ 0015〜〇. 01莫耳、錳依Mn〇換算計 013莫耳的比例含有，且錦係相對於欽酸鋇100 貝里份之下，依Lu2〇3換算計含有6. 3〜15. 6質量份範圍 97111701 12 200914393 内’同時’相對於_ i莫耳之τ，將鈦的比例設為 L 97 0· 98 ’ 5亥範圍内的介電陶_充，可將25^的介電常數 开^成587以上’將125°c的介電常數形成558以上，將介 電苇數的度係數依絕對值計形成4 1 〇 _6/。匚以下。 〃在此，以ί太酸鋇^主成#的上述結晶粒+之平均粒徑， 二後述對由；1電陶瓷構成的試料破碎面施行研磨後， 使用掃為式電子顯微鏡拍攝内部組織的照片，並在該照片 上描繪出内含括結晶粒子5(M()G個的圓，並選擇相關圓 内與圓周上的結晶粒子’對各結晶粒子的輪廓施行影像處 理並求取各粒子的面積’計算出經換成具有相同面積圓之 時的直徑’再由該平均值進行求算。 再者，饥與125°C令的介電常數，係如後述，成形為 :定顆粒狀且表面形成導體膜，並由介電陶竞構成的試 料，使用LCR電表4284A ’依頻帛1〇kHz、輸入信號位準 依溫度饥與125t：測定靜電電容，並從顆粒狀試 料的直徑、厚度、及導體膜面積所計算出的數值。25。〇~125 c間的介電常數溫度储’係將25。〇與12代的介電常數 分別依符合下式（1)所計算出的數值： [數1] 介電f數的溫度係數·····.式⑴ ε 25 : 25t：的介電常數 ε m : 125°C的介電常數 其次，針對第1實施形態的介電陶瓷之製法進行說明。 97111701 13 200914393 首先’基礎原料粉末係使用純度均達99%以上的BaC〇3粉 末、Τι〇2粉末、Mg〇粉末、Υ2〇3粉末及碳酸錳粉末。將該 等基礎原料粉末’分別依相對於構成鈦酸鋇的鋇1莫耳之 下，MgO 為 〇. 01〜〇 〇6 莫耳、γ2〇3為 〇· 〇〇〇7 〇. 〇3 莫耳、 .ΜηΟ為0. 〇〇5〜〇. 〇3莫耳的比例進行調配。 人將上述基礎原料粉末的混合物施行濕式混合，經 乾燥後，依溫度900〜ll〇〇°C施行煅燒並粉碎。此時，煅 (、燒粉末最好結晶構造係以立方晶系為主體，且，平均粒經 為〇·〇4〜0.1# m。煅燒粉末係藉由具有此種平均粒徑與結 晶構造的煅燒粉末，便可使經燒成後的結晶粒子晶粒成^ 為適當的粒徑（平均粒徑〇.〇5〜0.2# m)。所以，介電陶瓷 中可形成以立方晶系為主體的微粒結晶粒子，藉此便可輕 易地形成維持接近常介電性之介電常數溫度特性的高 電率介電陶瓷。 上述煅燒粉末的平均粒徑，係如後述，使煅燒粉末分散 於電子顯微鏡用試料台上，並利用掃描式電子顯微鏡施行 照片拍攝，再對該照片中所顯示出的锻燒粉末輪廓施行# 像處理並求取粒子面積，且計算出取代具相同面積圓之時 的直徑，再從該平均值進行求取。 =，相對於該锻燒粉末1〇〇質量份之下，將Lu2_ = 3·5〜5G質量份的比例進行混合。㈣，將混合粉末 2為顆粒狀，再依常壓、咖。㈡5G(rc溫度範圍施行 燒成’便可獲得第i實施形態的介電陶瓷。另夕卜 可在大氣巾或還原環境巾實施。在狀所簡燒^度設 97111701 200914393 為1300〜1500C的理由，係當燒成溫度低於woo π的情 況，因為結晶粒子的晶粒成長與緻密化受抑制，因而密度 較低；反之，當燒成溫度高於1500t的情況，結晶粒= 有過度進行晶粒成長的可能性。 其次’針對第1實施形態的電容H ’參照圖式進行詳細 說明。圖1所示係本發明電容器例的切剖示意圖。使用上 述第1實施形態的介電陶£，便可形成如下述的電容器。 Ο 第1實施形態的電容器’係在電容器本體1G的端部設 置外部電極12。電容器本體10係含有：介電質層13、斑 屬於内部電極層的導體層14之交錯積層的積層體卜： 處的介電質層13係利用们實施形態的介電陶兗所形成。 根據此種第1實施形態的電容器，藉由介電質層 使用將顯示出高介電率且安定的介電常數溫度特^，且自 發極化較小，上述介電陶究，便可形成相較於習知電容器 之下，屬於南電容且電容溫度特性… 當將該電容器使用於電㈣路日± 所以’ 造成噪音的發生。$路^便可抑制因電感應變所 介電質層13的厚度最好蛊7 ^ 靖度在下更為且1有 ,^ 便八有利用介電質層13的薄層 化，而扣咼電谷器之靜電電容的優點。 導體層14之材料係就從 本的觀點，最好為Ni、Cu#=:層;：可抑制製造成 構成本發明電容器的介電寺別係就從企求與 尤以IVi為佳。竽…丨施行同時燒成的觀點， 為W體層14的厚度最好平均在！”以下。 97111701 15 200914393 當製作此種電容器時，使用純度均達99%以上的
BaC〇3粉末、TiG2粉末、_粉末、⑽粉末及錢鐘粉末， 亚將該專基礎原料粉末，相對於構成鈦酸鋇的鋇！莫耳之 .下，依Mg0為〇.〇卜〇.〇6莫耳的比例、γ2〇3為〇 〇〇〇7〜〇 〇3 ‘莫耳的比例、Μη〇為〇.005〜〇.〇3莫耳的比例進行調配的 混合粉末’形成胚片。接著，調製將成為導體層14的導 體膠糊&印刷於上述胚片表面上之後，經積層便形成積 層體1 j後’在積層體！的端面更施行導體勝糊的塗佈， 經燒成’而形成外部電極12，藉此便可獲得本實施形態 的電容器。 <第2實施形態> 本發明第2實施形態的介電陶£，係以鈦酸鎖為主成 分，且在其中含有：鎂、纪m、以及從蝴與鐘 中至'1種。含有置係相對於鋇i莫耳之下，將依：鎮依 MgO換算計〇. 〇1〜〇. 〇6莫耳、釔依γ2〇3換算計〇· 〇〇〇7 〇_ Q莫耳、錳依ΜηΟ換算計0.005〜〇. 〇3莫耳的比例含有，且， 相對於上述鈦酸鋇100質量份之下，錙依Lu2〇3換算計 3.6〜52.1質量份、矽依以〇2換算計〇7363質量份含 有，、以及從硼與鐘中至少1種依b2〇3換算計與依Li2〇 換算計，合計含有〇· 31〜2. 1質量份。 . 在此’硼係可單獨依β2〇3換算計含有〇. 31 ~2. 1質量份， -鋰係可單獨依Li2〇換算計含有0.31〜2.1質量份。此外， 當將硼與鋰混合使用時，依該等的氧化物換算之總量最好 為0.31〜2.1質量份。 97111701 16 200914393 、再者，第2實施形態的介電陶瓷，亦是具有：以鈦酸鋇 為主成分的結晶粒子、以及在該結晶粒子間所形成的晶界 相，且結晶粒子的平均粒徑係〇. 〇5〜〇. 2 # m。 介電陶瓷係若屬於上述組成與粒徑範圍，則具有可形成 室溫（25。〇下的介電常數（ε2〇達215以上，且125。〇的 介電常數（ε125)達200以上，以及在肌…吖間的介電 常數溫度係數（（£ 125-ε 25)/£ 25( 1 25_25))，依絕對值計可 在ΙΟΟΟχΙΟ—Vt：以Τ，且電場-介電極化特性的電滯較小 之介電陶瓷的優點。 此種第2實施形態的介電陶究，係在鈦酸鋇固溶著鎮、 紀錳及銷’並在晶界相中含有石夕、以及從爛與鐘中至少 再者’藉由在正方晶系且顯示強介電性的鈦酸鎖中固容 — ϋ·’並將以鈦酸鋇為主成分的結晶粒 ::徑設定在。.05〜〇.2"m範圍内，則介電陶究的結晶粒 :了晶構造形成以立方晶系為主體。藉此，可降低因正方 2糸結晶構造所造成㈣介電性，並提 常介電性:可藉由增加常介電性而減輕自發極化。“ 再者’藉由將以鈦酸鋇為主成分的結晶粒 造，形成以立方晶系為主體的結晶構造，表示介電;：： 化率的曲線在价125t通度範圍内呈平货：=變 介電極化特性的電滯情形。所以，即使介以 «上’仍可獲得介電常數的溫度係數較小之介電 即，若依上述範圍使欽酸鋇含有既定量的鎂、n 97111701 200914393 ，將成為顯示室溫（2 5乞）以上的居禮溫度，且介電常數的 :度係數呈正值的介電陶瓷，當使顯示出此種介電特性的 ;丨電陶瓷，更進一步含有鐳、矽、以及硼與鋰中至少1種 時，則更加顯現本發明的效果，減小介電常數的溫度係 數’可將溫度特性平坦&。另外，表示介電常數變化率的 曲線在55 C〜125°C溫度範圍内，將以室溫為中心且有 個尖峰。 ，、令z
，別係根據第2實施形態，藉由含有：發、與删與鐘中 至夕1種，便可進行液相燒結，而可進行低溫（115(M300 C)下的燒成。 7 H、以及硼與心至少i種，係具有抑制以 k鋇為主成分的結晶粒子粗大化之作用 但疋，此種第2實施形態的介電陶竟，如 及錳的含有量係相對於鋇丨 f乙
:计〇.〇卜0.06莫耳、釔依Υ2〇3換算計〇.〇〇〇7〇〇3莫 耳、及鐘依ΜηΟ換算計UG5〜U3莫耳。此外，相對於 質量份之下’含有：鎖依Μ換算計3.6们 、石夕依SlG2換算計〇.73〜63質量份，以及棚與鐘 量份。與依Ll2Q換料，合計含有 當相對於鋇1莫耳之下指人田 ^ Λ ηι ^ ^ 下鎂3有I依MgO換算計含有少 於0.01莫耳、或多於〇 莖 常數Kgr“ . 〇6莫耳的情況，介電陶瓷的介電 > θ r田相對於鋇1莫耳之下，釔会 有罝依Y2〇3換算計含有少於〇 ,夕於0·0007莫耳、或多於0.03莫 97111701 18 200914393 情況，介電常數的溫度係數變大。此外，當相對於鋇 ^耳之下’錳含有量依Μηθ換算計含有少於〇 〇〇5 、 鐵、.03莫耳的情況，介電陶瓷的介電常數溫度係數 f者1若相對於鈦酸鋇100質量份之下，Lu含有量依 古3換f s十少於3. 6質量份，雖介電陶瓷的介電常數較 阿’但是，介電常數的溫度係數卻變大， 〇
U 質量份之下， 常數未滿2〇〇 ,5C的”電㊉數低於22Q ’且125。。的介電 換！：:广、對於鈦酸鋇1〇0質量份之下，石夕含有量依㈣ 旦二父少於〇. 73質量份，或硼與鋰中至少1種的含有 =依触換算計與依Li2G換算計，合計少於η〗質量份 溫⑴5〇〜13()(rc)下的燒成時，則無法達介電陶竟 勺、教抢化，而有介電常數降低的可能性。 另二面’相對於鈦酸鋇m質量份之下，㈣有量依 旦1 2換异计超過6. 3質量份，或硼與鋰中至少"重的含有 二依入b2〇3換算計與依Li2G換算計，合計超過2· ι質量份 動：丨電陶免的介電常數降低’同時有介電常數的溫度係 數變大的可能性。 再者’弟2實施形離的介雷ρj & # Η &耵；丨電陶瓷係以鈦酸鋇為主成分的 、-口日日粒子平均粒徑為〇. 〇5~〇. 2以m。 即，藉由將以鈦酸鋇為主成分的結晶粒子平均粒徑設為 0. 2 # m便可將以鈦酸鋇為主成分的結晶粒子形成 97111701 19 200914393 =，方日日系為主體的結晶構造，電場-介電極化特性的電 =車父小，、可顯示出接近常介電性的特性。因此，當以鈦酸 ’貝為主成分的結晶粒子平均粒徑小於〇 〇5"的情況，因 .ί配向極化變小’因而介電陶究的介電常數降低；反之， …^结晶粒子的平均粒徑大於2㈣的情況，在利用又射 線繞射施行的測定中，發現正方晶系結晶相的生成，且介 電陶瓷的介電常數溫度係數變大。 斤月以立方晶系為主體的結晶構造」係指利用 ，射線繞射對介電陶竞施行敎時，立方晶系鈦酸鎖最強 $峰的（110)面繞射尖峰強度大於異相繞射尖峰強度的狀 怨。 再者’ ΐ 2實施形態中，就電場一介電極化特性，可將 〇v中的極化電荷形成2〇nC/cm2以下的觀點，結晶粒子的 平均粒徑最好為〇. 1〜0. 18//m。 再者，第2實施形態的較佳錦、鎮、紀、猛、石夕、以及 I)硼與鐘中至少1種的含有量，係相對於鋇1莫耳之下，最 好錤依MgO換算言十〇.〇17〜〇 〇6莫耳、纪依γ2〇3換算計 〇.001:5〜〇.〇1莫耳、錳依此〇換算計（).〇卜〇〇3莫耳。此 ^最好相對於鈦酸鋇100質量份之下，镏依Lu2〇3換算 计6. 3〜15· 6質量份、矽依si〇2換算計〇 73〜3. 13質量份， :及及硼與鋰中至少丨種依hi換算計與依換算計， s十為〇. 31〜1· 〇4質量份的範圍内，同時，相對於鋇丄莫 耳之下，鈦的比例為〇. 97〜0. 98。該範圍内的介電陶瓷， C的w電$數可達4〇〇以上，125。(：的介電常數可達380 97111701 20 200914393 以上，介電常數的溫度係數依絕對值計可在7〇 〇χ 1 〇-6/ 以下。 其次，針對第2實施形態的介電陶瓷之製法進行說明。 首先基礎原料粉末係使用純度均達99%以上的BaCCh粉 •末、Τι〇2粉末、MgO粉末、Υζ〇3粉末及MnC〇3粉末。將該等 基礎原料粉末，分別依相對於構成鈦酸鋇的鋇丨莫耳之 下，MgO為〇·〇卜0.06莫耳、γ2〇3為〇〇〇〇7〜〇〇3莫耳、 MnCCb為〇. 〇〇5〜〇. 〇3莫耳的比例進行調配。 其次，將上述基礎原料粉末的混合物施行濕式混合，經 ，燥後，依溫度900〜丨丨0(rc的溫度範圍施行煅燒並粉碎。 藉由將上述組成的混合物依此種條件施行锻燒，便可將該 煅燒粉末的結晶構造形成以立方晶系為主體，結果，便可 獲得維持接近常介電性之介電常數溫度特性的高介電率 介電陶瓷。 其次，相對於該煅燒粉末100質量份之下，依。.粉 〇末3_5〜50質量份、Si〇2粉末〇 7〜6 〇質量份、以及B2〇3 粉末或LhO粉末0.3〜2.0質量份的比例進行混合。在 此，藉由將Si〇2粉末、BA3粉末、及U2〇粉末中至少其中 一粉末依上述範圍内添加，便可使以鈦酸鋇為主成分的結 晶粒子進行液相燒結，而可進行低溫下的燒成。一般，當 .施行液相燒結時，陶瓷粒子較容易進行晶粒成長，但是， -上述組成可抑制液相燒結時的晶粒成長情形。所以，藉由 將該混合粉末成形為顆粒狀，並依U5(rc〜13〇代溫度範 圍施行燒成，便可獲得第2實施形態的介電陶瓷。另外， 97111701 21 200914393 氣中或還原環境中實施。在此，燒成溫度並 私末、咖粉末及Li2〇粉末的添加量而改變， 成溫度低於115(rc時，無法充分緻密化， 電 日“ 田粍成 >皿度鬲於1300〇C時，結 曰曰粒子有過度進行晶粒成長的可能性。 明其=料使用第2實施形態介電陶t的電容器進行說 ::電容器，除介電質層使用該第2實施形態的介電陶 是之外，其餘均如同圖1所示第1實_態的電容器。 :’:吏用第2實施形態介電陶竞的電容 的端部設置外部電極12,且電容器本體i。係： '質層13、與屬於内部電極層的導體層14之交錯 積：的積層體卜而，介電質層13係利用上述 形態的介電陶瓷形成。 貫施* 使=此態的電容器，藉由介電質㈣係 使用，.、，頁不出冋"電率Η安定的介士 γ ……ΛΛ…人電常數溫度特性，且自發 極化，小的上述介電陶究，便可形成相較於習知電容器之 下，屬於局電谷且電容溫度特性安定的電容器 合 將該電容器使用於電源電路時，便可抑制因電感應變所； 成噪音的發生。 u m ^ m 4 本=導=從即使高積層化仍可抑制_ Ϊ t 1、Cu等卑金屬’特別係就從達與構 成第2貫施形怨電容器的介電質 _ 黜’.以w盔私斗，音 貞θ 13化仃同時燒成的觀 :下尤以Nl為仏。該導體層14的厚度最好平均在Um 97111701 22 200914393 再者，當製作此種電容器時，將上述混合粉末成形為胚 片，同時，調製將成為導體層14的導體膠糊，經印刷於 上述胚片表面上之後，經積層、燒成便形成積層體1。然 後，在積層體1的端面更施行導體謬糊的印刷，經燒成， r而形成外部電極12 ’藉此便可獲得電容器。 就其餘的構造，因為均如同前述第丨實施形態，因而不 再贅述。 f,以下，舉實施例，就本發明的介電陶瓷與電容器進行更 詳細的說明，惟本發明並不僅侷限於以下實施例。 [實施例] <實施例I (第1實施形態的實施例）> 依如下述製作介電陶瓷。首先，準備純度均達99.⑽的 BaC(L粉末、Ti〇2粉末、Mg〇粉末、γ.粉末、碳酸錳粉末， 並依表1所示比例進行調配而調製得混合粉末。 其次，將混合粉末依溫度1000乞施行煅燒，經製成煅 y燒粉末後，再將所獲得煅燒粉末粉碎呈表丨所示平均粒 徑。另外，煅燒粉末的平均粒徑係使煅燒粉末分散於電子 顯微鏡用試料台上，並利用掃描式電子顯微鏡施行照片拍 攝，並在該照片上描繪出内含括結晶粒子5〇〜1〇〇個的 圓，並選擇相關圓内與圓周上的結晶粒子，對各結晶粒子 -的輪廓施行影像處理並求取各粒子的面積，計算出經換成 具有相同面積圓之時的直徑，再由該平均值進行求算。 相對於經粉碎煅燒粉末100質量份之下，將純度99 的Lm〇3粉末依表丨所示比例進行混合。然後，將混合粉 97111701 23 200914393 =施行絲，並成形為直徑16.5顧、厚lmm形狀的顆粒 接著’將各組成顆粒分取1G個，在錢中，依表 不溫度施打燒成，而準備各評估試料。 構成"電陶究的結晶粒子平均粒徑係對介電陶究的破 碎面施彳了研賴’制掃描式電子顯賴㈣義〇 攝内部組織的照片’接著，對該照片中所 : 子輪廉施行影像處理，並求取各粒子的面積，計算出= 成具有相同面積圓之時的直徑，再將其平均化而進行求 算。 在經燒成後的試料表面上施行銦•鎵導體層的印刷。所 製得介電陶瓷的該等試料係使用LCR電表 4284A(Hewlett-Packanl 公司製），依頻率 1GkHz、輸入 信號位準ι·ον，依溫纟25。0肖125t測定靜電電容與介 電損失，並從試料的直徑與厚度、以及導體層面積，計算 I)出25 C與125 C的介電常數。此外，介電常數的溫度係數 係將25t與125t的介電常數分別依符合上式（1)而計算 出。該等的測定係將試料數量分別設為各1〇個，並求取 平均值。 再者，針對所獲得介電陶瓷，利用介電極化的測定而求 取電感應變大小。此情況，將依使電壓在±125〇v範圍内 變化時，使用0V下的電荷量（剩餘極化）值進行極化電荷 評估。此外’使用X射線繞射（20 =2〇〜6〇。、（:u—Κα)施 行結晶相的鑑定。此外，試料的組成分析係利用 97111701 24 200914393 ICPClnductively Coupled Plasma)分析或原子吸收光譜 施灯。此情況，將所獲得試料混合於硼酸與碳酸鈉中，並 將經溶融物溶解於鹽酸中，首先，利用原子吸光分析施行 介電陶竞中所含元素的定性分析，接著，針對所：定的： =素’將標準㈣稀釋者視為標準簡，並施行⑽發光 分光分析而定量化。此外，各元素的價數係週期表令所示 的價數，並求取氧量。
表1所4調製組成1燒粉末平均粒徑、及燒成溫 又。表2所示係經燒成後的介電陶兗組成、結晶粒子的平 均粒徑及特性（介電常數、介電常數的溫度係數絕對值、 介電常數的溫度變化曲線及極化電荷)之測定結果。其 中，表1巾，LU2〇3添加量係招對炮燒粉幻〇 ^ 例。表2中，LU2〇3含有量係相斟人平物欠山 里仍幻比 質量份之比例。 糸相對"電陶竞中的鈦酸鋇HH) 再者表2中的結晶粒子平均粒徑」係指利用以欽酸 鎖為主成分的結晶粒子平均粒徑。另外，纟2中，介電常 數的溫度變化曲線欄位中，夫 ^ ^ ^ 未軚记「〇」者，係指未發現
以有2 5 C為中心的2個尖略夕上、,,、丨,L 學之5式料’在極化電荷攔位中， 未才示§己〇」者，係指極化雷件I 。。r / 2 电何未在20nC/cm以下的試料。 97111701 25 200914393 [表1] 組成 煅燒粉末的 燒成溫度 °c 試料No. Ba 莫耳 MgO 莫耳 Y2〇3 莫耳 MnC〇3 莫耳 Ti 莫耳 Lii2〇3 質量份 平均粒徑 β m 氺 1-1 1 0. 02 0. 01 0.01 0. 98 2. 0 0. 1 1350 1-2 1 0. 02 0. 01 0.01 0. 98 3,5 0. 1 1350 1-3 1 0. 02 0. 01 0.01 0. 98 4.0 0.1 1350 1-4 1 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 6. 0 0. 1 1350 1-5 1 0.02 0. 01 0. 01 0. 98 8.5 0.1 1350 1-6 1 0.02 0. 01 0. 01 0. 98 15.0 0.1 1350 1-7 1 0.02 0.01 0. 01 0. 98 20. 0 0.1 1350 1-8 1 0. 02 0.01 0. 01 0. 98 50.0 0.1 1350 氺 1-9 1 0.02 0. 01 0.01 0. 98 55. 0 0. 1 1350 氺 1-10 1 0. 02 0.0002 0. 01 0. 98 8.5 0.1 1350 1-11 1 0. 02 0.0007 0. 01 0.98 8. 5 0.1 1350 1-12 1 0. 02 0.0015 0.01 0. 98 8.5 0.1 1350 1-13 1 0. 02 0. 005 0. 01 0. 98 8. 5 0. 1 1350 1-14 1 0. 02 0.007 0.01 0. 98 8.5 0. 1 1350 1-15 1 0.02 0. 03 0. 01 0. 98 8.5 0. 1 1350 氺 1-16 1 0. 02 0.04 0.01 0. 98 8. 5 0.1 1350 木 1-17 1 0. 005 0. 01 0.01 0. 98 8. 5 0.1 1350 1-18 1 0. 01 0. 01 0.01 0. 98 8. 5 0.1 1350 1-19 1 0.017 0.01 0. 01 0. 98 8.5 0. 1 1350 1-20 1 0. 023 0.01 0.01 0. 98 8.5 0. 1 1350 1-21 1 0.04 0.01 0. 01 0. 98 8. 5 0. 1 1350 1-22 1 0.06 0.01 0. 01 0. 98 8. 5 0. 1 1350 氺 1-23 1 0.07 0.01 0. 01 0. 98 8. 5 0.1 1350 1-24 1 0. 02 0.01 0.005 0. 98 8.5 0.1 1350 1-25 1 0.02 0. 01 0.008 0. 98 8.5 0.1 1350 1-26 1 0. 02 0. 01 0.013 0. 98 8. 5 0.1 1350 1-27 1 0.02 0.01 0. 015 0. 98 8.5 0.1 1350 1-28 1 0.02 0. 01 0.03 0. 98 8.5 0.1 1350 氺 1-29 1 0. 02 0.01 0.04 0. 98 8.5 0. 1 1350 1-30 1 0.02 0.01 0. 01 0. 97 8. 5 0.1 1350 1-31 1 0. 02 0.01 0.01 0. 99 8. 5 0. 1 1350 氺 1-32 1 0. 02 0.01 0 0. 98 8.5 0. 1 1350 1-33 1 0. 02 0.03 0. 01 0. 98 8. 5 0. 04 1350 氺 1-34 1 0. 02 0.03 0.01 0. 98 8.5 0. 04 1320 氺 1-35 1 0. 02 0. 01 0.01 0. 98 8. 5 0.1 1380 記號*係指逾越本發明範圍外的試料。 97111701 26 200914393 ir<t §/3u02 :〇 〇 ο 〇 〇 〇 b, 〇 〇 b, 〇 b. b. p 〇 b. 動x 〔CN]<〕 plaI—gz PAlbIlx 0086 9卜6 sco sco s 199 S6 i
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ICO7I 9S丨 I II-X- lo!:IU6 200914393 由表2的結果得知，本發明介電陶瓷的試料N〇.卜2〜8、 11〜15、18〜22、24〜28、30、31及33，均屬於鈦酸鋇的結 晶構造係以立方晶系為主體，且饥的介電常數達如 以上、125t：的介電常數達221以上，25〜125。〇的介電常 數溫度係數依絕對值計在以下。 特別係Mg〇為〇. 017〜〇. 〇23莫耳、匕〇3為〇· 〇〇15〜〇 μ 莫耳、MnO為0.01〜0·013莫耳，相對於主成分的鈦酸· 1〇〇質量份之下，Lu2〇3含有量為6 3〜15 相 對於鋇U耳之下，鈦的比㈣197198的^ 如.1 + 6、12〜14、19、2()、26及3()，肌的介電常數達 587以上，125°C的介電常數達558以上，介電常數的溫 度係數依絕對值計在494χ1〇-νΐ以下，表示介電常數變 化率的曲線在-55 C〜125ΐ溫度範圍内具有2個尖峰，且 在介電極化的測定中並未發現較大的電滞。未發現電滞的 試料就極化電荷，在〇ν中為2〇nC/cm2以下。 》從該等試料所選擇試料No. Η的介電陶莞之X射線繞 射圖’如圖2所示；該試料的介電常數變化圖係如圖3所 不；該試料的介電極化（V_Q)特性係如圖4所示。試料 N曰Ή的介電陶聽如圖2中得知，結晶構造將以立方 日曰、系為主體’且介電常數的溫度特性係具有以25°C為中 的2個尖峰’介電常數的變化率較小，且電場-介電極 们生的電滯較小。此外，雖未圖示，相關其他試料 2 3 5 8、11 〜15、18〜22、24〜28、30、31 及 33， 亦具有如同試料No· 1-4的結晶構造與特性。 97111701 28 200914393 再者，相關相對於鋇1莫耳之下，含有：鎂依Mg〇換算 計0.01〜0.06莫耳、釔依Y2O3換算計0.0007〜0.03莫耳、 猛依MnO換算計0.005〜0.03莫耳’且相對於鈦酸鋇1〇〇 _ 質量份之下’錦依Lu2〇3換算計含有3.6〜52.1質量份，構 - 成介電陶瓷的結晶粒子平均粒徑為〇. 〇5〜〇· 2//m之本發 明範圍内的其他試料，亦是結晶構造將以立方晶系為主 體。 相對於此，逾越本發明範圍外的試料N〇.卜丨、9、1()、 16、17、23、29、32、34 及 35, 25¾ 的介電常數未滿 2〇〇、 或介電極化出現電滯，介電常數的溫度係數依絕對值計達 l〇95xl(T6/°C 以上。 〈實施例11 (第2實施形態的一實施例）> 依如下述製作介電陶瓷。首先，準備純度均達99 9%的
BaC〇3粉末、Ti〇2粉末、MgO粉末、γ2〇3粉末、MnC〇3粉末， 並依表3所示比例進行調配而調製得混合粉末。 〇 其次，將混合粉末依溫度施行煅燒，經製成煅 燒粉末後，再將所獲得煅燒粉末粉碎呈表3所示平均粒 徑。然後，相對於經粉碎煅燒粉末1〇〇質量份之下， 度、99:9%的Lu2〇3粉末、Sl〇2粉末、_粉末依表3所示比 彳進行此σ $後’將混合粉末施行造粒，並成形為直徑 16. 5mm、厚lmm形狀的顆粒狀。 著，將各組成顆粒分取1G個，在m的混合氣體環 :中，依表3所示溫度施行燒成。構成介電陶㈣結晶粒 千均粒徑’係如同實施例I般的進行求取。此外，在經 97111701 29 200914393 便獲得介 燒成後的試料表面上施行 電嘯5中的試料“：】體層的印刷 <評估 > 广 般：對所製得介電陶究的該等試料，如同實施例 電常數、介電常數的溫度係數、及極:電丄 …Uta成分析係如同上述實施例了般的實施。 # τ係組成、锻燒粉末的平均粒徑及燒成溫 又表4戶斤示係心燒成後的組成、與結晶粒子的平均粒 徑，表5所示係介電特性的結果。 在此，表5中，介電常數的溫度變化曲線搁位中，未標 記「〇」者，係指未發現2個尖峰之試料；在極化電荷欄 位中，有標記「〇」的試料係指極化電荷在3〇nC/cm2以下 的試料，有標記「◎」的試料係指極化電荷在2〇nC/cm2 以下的試料’有標5己「X」的試料係指極化電荷大於 3 OnC/cm2以下的試料。 97111701 30 200914393 [表3] 試料No. 組成 锻燒粉末的平均粒徑 /zm 燒成溫度 °c 相對鋇1莫耳的量 相對煅燒粉末100質量份的量 MgO 莫耳 Y2〇3 莫耳 MnC〇3 莫耳 Ti 莫耳 Lll2〇3 質量份 Si〇2 質量份 B2〇3 質量份 *11-1 0.02 0.01 0. 01 0.98 2.0 1.5 0.5 〇. 1 1250 II-2 0.02 0.01 0.01 0. 98 3.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 II-3 0. 02 0.01 0.01 0. 98 4.0 1.5 0.5 〇. 1 1250 II-4 0. 02 0.01 0.01 0.98 6.0 1.5 0.5 0.1 1250 II-5 0.02 0.01 0.01 0.98 8.5 1.5 0.5 0.1 1250 II-6 0.02 0.01 0.01 0.98 15.0 1.5 0.5 〇. 1 1250 II-7 0.02 0.01 0.01 0.98 20.0 1.5 0.5 0.1 1250 II-8 0.02 0.01 0.01 0.98 50.0 1.5 0.5 〇. 1 1250 *11-9 0.02 0.01 0.01 0.98 55.0 1.5 0.5 〇. 1 1250 *11-10 0.02 0. 0002 0.01 0.98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-11 0. 02 0. 0007 0.01 0. 98 8.5 1.5 0.5 0.1 1250 11-12 0.02 0. 0015 0.01 0. 98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-13 0.02 0.005 0.01 0.98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-14 0.02 0.007 0.01 0. 98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-15 0.02 0.03 0.01 0.98 8.5 1.5 0.5 0.1 1250 *11-16 0.02 0.04 0.01 0.98 8.5 1.5 0.5 0.1 1250 *11-17 0.005 0.01 0.01 0.98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-18 0.01 0.01 0.01 0.98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-19 0.017 0.01 0.01 0.98 8.5 1.5 0.5 0.1 1250 11-20 0.023 0.01 0.01 0.98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-21 0.04 0. 01 0.01 0.98 8.5 1.5 0.5 0.1 1250 11-22 0. 06 0.01 0.01 0. 98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1200 *11-23 0. 07 0.01 0.01 0.98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-24 0.02 0.01 0.005 0. 98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-25 0.02 0.01 0.008 0. 98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-26 0.02 0.01 0.013 0.98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-27 0.02 0.01 0.015 0. 98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-28 0.02 0.01 0.03 0. 98 8.5 1.5 0.5 0.1 1250 木11-29 0:02 0.01 0.04 0. 98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 11-30 0.02 0.01 0.01 0.97 8.5 1.5 0.5 0.1 1250 11-31 0.02 0.01 0.01 0.99 8.5 1.5 0.5 0.1 1250 木11-32 0.02 0.01 0 0.98 8.5 1.5 0.5 〇. 1 1250 木11-33 0. 02 0.01 0.010 0.98 8.5 0.375 0.125 0.1 1350 11-34 0.02 0.01 0.01 0.98 8.5 0.7 0.3 0.1 1300 11-35 0.02 0.01 0.01 0.98 8.5 2.5 0.5 〇. 1 1220 11-36 0. 02 0. 01 0.01 0.98 8.5 3.0 1.0 0.1 1200 11-37 0.02 0.01 0.01 0. 98 8.5 4.5 1.5 0.1 1200 11-38 0.02 0.01 0.01 0.98 8.5 6.0 2.0 0.1 1150 木11-39 0. 02 0.01 0.01 0.98 8.5 7.0 2.2 0.1 1150 11-40 0.02 0.03 0.01 0.98 8. 5 1.5 0.5 0. 04 1250 *11-41 0.02 0.03 0.01 0.98 8.5 1.5 0.5 0. 04 1210 *11-42 0.02 0.01 0.01 0.98 3.5 1.5 0.5 0.1 1280 木 11-43 0.02 0.01 0.01 0.98 8.5 6.0 0.125 0.1 1300 木11-44 0. 02 0.01 0.01 0. 98 8.5 0.5 2.0 0.1 1300 *11-45 0.02 0.01 0.01 0. 98 8.5 6.0 2.2 0.1 1150 *11-46 0.02 0.01 0.01 0.98 8.5 7.0 2.0 0.1 1150 記號*係指逾越本發明範圍外的試料。 97111701 31 200914393 [表4] 1NO. MgO 莫耳 Y2O3 莫耳 1_1 ϋ.ϋ2 0. 01 II-2 ϋ. 02 JLil 0.01 II-3 0.02- 組成 ____________、，风_______ 节料__莫耳|相對鈦酸鋇loo質量份 Μ0· ΜγγΠ ~~Ι~7. - Γ------ZL ΜηΟ 莫耳 結晶粒子的平均粒徑 i^m
97111701 --—^ 記號*係指逾越本發明範圍外的試料 32
200914393 L表5J
記號*係指逾越本發明範圍外的試料 ** :〇係指極化電荷在30nC/cm2以下 電荷在20nC/cm2以下的試料 X係指極化電荷大於30nC/cm2的試料 的試料，◎係指極化 97111701 33 200914393 由表 3〜5 的纟士罢；, ° f知’本發明介電陶咨的钟冰1 N〇.II-2〜8、11〜Kiq〇。 ”电闹无的试枓 。 丨5、18~22、24〜28、30、31、34〜38 乃 4Π 25 C的介電當|洁91 c 34 <38及40 ’ ± , 25 以上，l25t：的介電常數達200以 上25〜125 C的介電常數 lOOOxlO Vt：以下。 双佤、，色對值计在 特別係MgO為〇. quo 〇6 替贯 .Ub 冥耳、Υ2〇3 為 0.0015 〜0〇1 莫耳、ΜηΟ為〇.〇1〜〇.〇3 ^ ^ ^ nr τ ΛΛ 、斗相對於主成分的鈦酸鋇100
C
J 質罝"ί刀之下，Lll2〇3含有晉q 1£： 〇ιί)ί_ η 有里為6· 3〜15. 6質量份、矽依Si〇2 換异计為〇. 73〜3. 13質f· 〇、# ^ & n qi ! η」併曰 負里 <刀及蝴依B2〇3換算計為 0.31〜1.04質1份，且相對协 n Q7 π Ω0 Α ^ 才對於鋇1莫耳之下，鈦的比例為 〇. 97〜0. 98 的試料 Ν〇 4〜6、19 1/1 1Π 〇〇 * 4 b 12-14 ' 19-22 ' 26-28 ' 30 Ά 34〜36, 25〇C的介電當鉍、* ^ ^ qRn 達401以上，125°C的介電常數達 ’ ；；tf數的溫度係數依絕對值計在700xl0-v ^下表不，1兒常數變化率的曲線將在—55。〇125。(：溫 又祀圍内具有2個尖峰’且在介電極化的測定中並無出現 杈大的電滯。未出現電滞的試料就 20nC/cm2 以下。
從該等試料所選擇續祖L τ T 1 A 详式抖No. II-4的介電陶瓷之X射線繞 射圖，係如圖5所示，續1 Η式枓的介電常數變化圖係如圖6 所示，該試料的電場—介雷士 勿"晃極化特性係如圖7所示。 5式料Ν ο. 11 - 4的介雷 J "电网文係如圖5〜圖7中得知，結晶 構造係以立方晶系為主濟，B a + Λ 々王篮且介電常數的溫度特性具有以 25°C為中心的2個尖峰，人+ ^ 電常數的溫度係數較小，且電 場-介電極化特性的電滯較小。 97111701 34 200914393 再者，雖未圖不，但相關其他試料H_2、3、5〜8、 11〜15 ' 18〜22、24〜28、30、3卜34〜38及40，亦是具有 如同試料No. 11-4相同的結晶構造與特性。 再者，相關相對於鋇！莫耳之下，含有：鎂依Mg〇換算 计〇· 0卜0. 06莫耳、釔依γ2〇3換算計〇. 〇〇〇7〇. 〇3莫耳、 錳依MnO換算计〇. 〇〇5〜0. 〇3莫耳，且相對於該鈦酸鋇100 貝量份之下，镏依LuA換算計為3. 6〜52.丨質量份、矽依 Si〇2換算#為0.73〜6.3質量份、及蝴依_換算計為 〇. 31〜2. 1質量份，且構成介電陶瓷的結晶粒子平均粒徑 為0. 05〜0. 2/z m之本發明範圍内的其他試料，亦是結晶構 造將以立方晶系為主體’且屬於高介電率、介電常數的溫 度係數亦較小。 相對於此，逾越本發明範圍外的試料N〇. 、9、、 16、17、23、29、32、33、39 及 4卜46，25°C 的介電常數 未滿2GG、或介電極化出現電滞’介電常數的溫度係數依 絕對值計達1082xl(r6/t：以上。 <實施例Π I (第2實施形態的其他實施例）> 依如下述製作介電陶瓷。首先，準備純度均達99.⑽的 BaC〇3粉末、Τι〇2粉末、Mg〇粉末、γ2〇3粉末、MnC〇3粉末， 並依表6所示比例進行調配而調製得混合粉末。 其次，將混合粉末依溫度^⑽^:施行煅燒，經製成煅 燒粉末後，再將所獲得锻燒粉末粉碎呈表6所示^均^ 徑。然後，相對於經粉碎煅燒粉末1〇〇質量份之下，j = 度99.9%的Lu2〇3粉末、Si〇2粉末及Li2〇粉末依表6所2 97111701 35 200914393 比例進行混合。然後，、日 ^ 16 m /fctl 5粉末施行造粒，並成形為直 仫16二5職、厚lmm形狀的顆粒狀。 巧直 境：者依it成顆粒分取1〇個，在H「N2的混合氣體環 子二Si :溫度施行燒成。構成介電陶究的結晶粒 燒成後的試料表面 =1 &的心求取。此外’在經 電陶莞（表7 u施订鋼•鎵導體層的印刷，便獲得介 電陶光(表7、8中的試料Νο·ΙΠ + 46)。 <評估> 再者，針對所製得介電 ^ 般的求取介電當齡八… 4捕’如同貫施例1 此外，試料… 溫度係數、及極化電荷。 ”、、成分析係如同上述實施例I般的實施。 产2係調製組成、锻燒粉末的平均粒徑及燒成溫 : τ係經燒成後的組成、與結晶粒子的平均粒 表8所不係介電特性的結果。 m，介電常數的溫度變化曲線攔位中，未標 二係指未發現2個尖學之試料；在極化電荷欄 °己〇」的試料係指極化電荷在30nC/cm2以下 以^^圮「◎」的試料係指極化電荷在20nC/cm2 30 Γ/、Γ以’有標記「x」的試料係指極化電荷大於 3〇nC/cm以下的試料。 97111701 36 200914393 [表6 ] 試料N 〇. 組成 煅燒粉末的 平均粒徑 β m 燒成 溫度 °c 相對鋇1莫耳的] 相對煅燒粉末100質量份的量 MgO 莫耳 Y2〇3 莫耳 MnCOs 莫耳 Ti 莫耳 Lll2〇3 質量份 Si〇2 質量份 LizO 質量份 *111-1 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 2.0 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-2 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 3. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-3 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 4. 0 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-4 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 6. 0 1.5 0. 5 0.1 1250 III-5 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8.5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-6 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 15. 0 1.5 0. 5 0. 1 1250 III-7 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 20. 0 1.5 0. 5 0. 1 1250 III-8 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 50. 0 1.5 0. 5 0. 1 1250 *111-9 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 55. 0 1. 5 0. 5 0. 1 1250 *111 -10 0. 02 0. 0002 0. 01 0. 98 8. 5 1.5 0. 5 0. 1 1250 III-11 0. 02 0. 0007 0. 01 0. 98 8. 5 1.5 0. 5 0. 1 1250 III-12 0. 02 0. 0015 0. 01 0. 98 8. 5 1.5 0. 5 0. 1 1250 III-13 0. 02 0. 005 0. 01 0. 98 8. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-14 0. 02 0. 007 0. 01 0. 98 8. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-15 0. 02 0. 03 0. 01 0. 98 8. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 *111-16 0. 02 0. 04 0. 01 0. 98 8. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 *111-17 0. 005 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-18 0. 01 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 1.5 0. 5 0. 1 1250 III-19 0. 017 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 1.5 0. 5 0. 1 1250 III-20 0. 023 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-21 0. 04 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 1.5 0. 5 0. 1 1250 III-22 0. 06 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 1.5 0. 5 0. 1 1200 *111-23 0. 07 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-24 0. 02 0. 01 0. 005 0. 98 8. 5 1.5 0. 5 0. 1 1250 III-25 0. 02 0. 01 0. 008 0. 98 8. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-26 0. 02 0. 01 0. 013 0. 98 8.5 1.5 0. 5 0. 1 1250 III-27 0. 02 0. 01 0. 015 0. 98 8. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-28 0. 02 0. 01 0. 03 0. 98 8. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 *111-29 0. 02 0. 01 0. 04 0. 98 8. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-30 0. 02 0. 01 0. 01 0. 97 8. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1250 III-31 0. 02 0. 01 0. 01 0. 99 8. 5 1.5 0. 5 0. 1 1250 *111-32 0. 02 0. 01 0 0. 98 8. 5 1.5 0. 5 0. 1 1250 *111-33 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 0. 375 0. 125 0. 1 1350 III-34 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 0. 7 0. 3 0. 1 1300 III-35 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 2. 5 0. 5 0. 1 1220 III-36 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 3. 0 1.0 0. 1 1200 III-37 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8.5 4. 5 1.5 0. 1 1200 III-38 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 6. 0 2. 0 0. 1 1150 *111-39 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 7. 0 2. 2 0. 1 1150 III-40 0. 02 0. 03 0. 01 0. 98 8. 5 1.5 0. 5 0. 04 1250 *111-41 0. 02 0. 03 0. 01 0. 98 8. 5 1. 5 0. 5 0. 04 1210 *111-42 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 3. 5 1. 5 0. 5 0. 1 1280 *111-43 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 6. 0 0. 125 0. 1 1300 *111-44 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 0. 5 2. 0 0. 1 1300 *111-45 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 6. 0 2. 2 0. 1 1150 *111-46 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 5 7. 0 2. 0 0. 1 1150
記號*係指逾越本發明範圍外的試料。 97111701 37 200914393 [表7] 試料No. 組成 結晶粒子的 平均粒徑 相對鋇1莫耳的量 相對鈦酸鋇100質量份的量 MgO 莫耳 Y2〇3 莫耳 ΜηΟ 莫耳 Ti 莫耳 Lll2〇3 質量份 Si〇2 質量份 Li2〇 質量份 U m *111-1 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 2. 1 1. 56 0. 52 0. 40 III-2 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 3. 6 1. 56 0. 52 0. 20 III-3 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 4. 2 1. 56 0. 52 0. 18 III-4 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 6. 3 1. 56 0. 52 0. 17 III-5 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 9 1. 56 0. 52 0. 15 III-6 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 15. 6 1. 56 0. 52 0. 15 III-7 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 20. 8 1. 56 0. 52 0. 15 III-8 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 52. 1 1. 56 0. 52 0. 15 *111-9 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 57. 3 1. 56 0. 52 0. 15 *111-10 0. 02 0.0002 0. 01 0. 98 8. 8 1. 55 0. 52 0. 40 III-ll 0. 02 0.0007 0. 01 0. 98 8. 8 1. 55 0. 52 0. 20 III-12 0. 02 0.0015 0. 01 0. 98 8. 8 1. 55 0. 52 0. 18 III-13 0. 02 0. 005 0. 01 0. 98 8. 8 1. 55 0. 52 0. 17 III-14 0. 02 0. 007 0. 01 0. 98 8. 8 1. 56 0. 52 0. 17 III-15 0. 02 0. 03 0. 01 0. 98 9. 0 1. 60 0. 53 0. 10 ^ΙΠ-16 0. 02 0. 04 0. 01 0. 98 9. 1 1. 61 0. 54 0. 10 *111-17 0. 005 0. 01 0. 01 0. 98 8. 7 1. 54 0. 51 0. 40 III-18 0. 01 0. 01 0. 01 0. 98 8. 8 1. 55 0. 52 0. 20 III-19 0. 017 0. 01 0. 01 0. 98 8. 8 1. 56 0. 52 0. 16 III-20 0. 023 0. 01 0. 01 0. 98 8. 9 1. 57 0. 52 0. 15 ΙΙΙ-21 0. 04 0. 01 0. 01 0. 98 9. 0 1. 60 0. 53 0. 10 ΙΙΙ-22 0. 06 0. 01 0. 01 0. 98 9. 2 1. 63 0. 54 0. 10 *111-23 0. 07 0. 01 0. 01 0. 98 9. 3 1. 65 0. 55 0. 14 ΙΙΙ-24 0. 02 0. 01 0. 005 0. 98 8. 8 1. 55 0. 52 0. 20 III-25 0. 02 0. 01 0. 008 0. 98 8. 8 1. 56 0. 52 0. 19 ΙΙΙ-26 0. 02 0. 01 0. 013 0. 98 8. 9 1. 57 0. 52 0. 18 ΙΙΙ-27 0. 02 0. 01 0.015 0. 98 8. 9 1. 57 0. 52 0. 18 ΙΙΙ-28 0. 02 0. 01 0. 03 0. 98 9. 0 1. 60 0. 53 0. 16 *111-29 0. 02 0. 01 0. 04 0. 98 9. 1 1.61 0. 54 0. 14 ΙΙΙ-30 0. 02 0. 01 0. 01 0. 97 8. 9 1. 56 0. 52 0. 14 ΙΙΙ-31 0. 02 0. 01 0. 01 0. 99 8. 9 1. 56 0. 52 0. 15 *111-32 0. 02 0. 01 0 0. 98 8. 8 1. 55 0. 52 0. 40 *111-33 0. 02 0. 01 0. 010 0. 98 8. 9 0. 39 0. 13 因為燒結不足而未評估 ΙΙΙ-34 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 9 0. 73 0. 31 0. 15 ΙΙΙ-35 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 9 2. 61 0. 52 0. 15 III-36 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 9 3. 13 1. 04 0. 15 III-37 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 9 4. 69 1. 56 0. 15 III-38 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 9 6. 3 2. 1 0. 15 *111-39 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 9 7. 29 2. 29 0. 15 III-40 0. 02 0. 03 0. 01 0. 98 9. 0 1. 60 0. 53 0. 05 *111-41 0. 02 0. 03 0. 01 0. 98 9. 0 1. 60 0. 53 0. 04 *111-42 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 3. 5 1. 56 0. 52 0. 28 *111-43 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 9 6. 3 0. 13 0. 19 *111-44 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 9 0. 52 2. 1 0. 20 *111-45 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 9 6. 3 2. 29 0. 15 =1=111-46 0. 02 0. 01 0. 01 0. 98 8. 9 7. 29 2. 1 0. 15 記號*係指逾越本發明範圍外的試料。 38 97111701 200914393 [表8 ]
試料 No. 介”严 介電常數的溫度 係 數絕對值最大值 介電常數的溫度變化曲 線 極化電荷 氺氺 25〇C 125t 25-125〇C 〇：有2個極大尖峰 一 — xlO'Vr *111-1 2510 1360 4582 X III-2 1033 930 997 〇 〇 III-3 810 730 988 〇 〇 III-4 671 624 700 〇 ◎ III-5 640 605 547 〇 ◎ III-6 620 580 645 〇 ◎ III-7 610 555 902 〇 〇 III-8 251 230 837 〇 〇 *111-9 170 160 588 〇 〇 *111-10 790 675 1456 X III-11 710 656 761 〇 〇 III-12 673 648 371 〇 ◎ HI-13 665 641 361 〇 ◎ III-14 643 631 187 〇 ◎ III-15 668 615 793 〇 〇 *111-16 679 602 1134 X *111 -17 790 699 1152 X III-18 620 575 726 〇 〇 III-19 590 572 305 〇 ◎ III-20 577 542 607 〇 ◎ III-21 410 389 512 〇 ◎ 111-22 401 380 524 〇 ◎ *111-23 400 350 1250 X III-24 682 630 762 〇 〇 III-25 663 612 769 〇 〇 III-26 662 638 363 〇 ◎ III-27 659 620 592 〇 ◎ III-28 640 603 578 〇 ◎ *111-29 620 553 1081 X III-30 641 630 172 〇 ◎ III-31 638 585 831 〇 〇 *111-32 722 648 1025 X *111-33 因為燒結^ F足而未評估 III-34 650 608 648 〇 ◎ III-35 580 545 603 〇 ◎ III-36 407 381 639 〇 ◎ III-37 316 287 918 〇 〇 III-38 215 200 698 〇 〇 *111-39 175 137 2171 X III-40 252 231 833 〇 〇 *111-41 167 155 719 〇 〇 *111-42 1537 1110 2778 X *111-43 174 160 805 〇 〇 *111-44 182 171 604 〇 〇 *111-45 192 173 990 X *111-46 183 171 656 X 記號*係指逾越本發明範圍外的試料。 97111701 39 200914393 ** · Ο係指極化電荷在30nC/cin2以下的試料，◎係指極 化電荷在20nC/cm2以下的試料 X係指極化電荷大於30nC/cm2的試料 由表6〜8的結果中得知’本發明介電陶瓷的試料
No.III-2〜8 、 Π〜15 、 18〜22 、 24〜28 、 30 、 31 、 34〜38 及 4〇 ’ 25°C的介電常數達215以上，125°C的介電常數達2〇〇 以上，25〜125 °C的介電常數溫度係數依絕對值計在 1000xl(T6/°C 以下。 * 特別係 Mg〇 為 〇. on〜〇. 〇6 莫耳、γ2〇3 為 〇. 〇〇15 〇. 〇1 莫=、Μη〇為〇.〇卜〇.03莫耳，相對於主成分的鈦酸鋇 質置份之下，Lu2〇3含有量為6 3〜15 6質量份、矽依以〇2 換算計為0.73〜3.13質量份、及鋰依[Μ換算計 UK 04質量份，且相對於鋇丨莫耳之下，鈦的比例為 U7〜U8的試料Ν。· ΙΠ_4〜6、12〜14、η】、μ】、 3二34:，肌的介電常數達4〇1以上，125°C的介電 以上，介電常數的溫度係數依絕對值計在 :°/。°以下，表示介電常數變化率的曲線在训 並=溫度範圍内具有2個尖峰，且在介電極化的測定中 ‘’中=大的電滞。未出現電滯的試料 ov中，為20nC/cm2以下。 從該等試料所選擇試料 , ^ η 叶Νο. 111-4的介電陶瓷之X射線 、％射圖，係如圖8所示，兮4此认入兩i 9所干，兮丨 為減料的介電常數變化圖係如圖 y所不’該試料的電場—介 試料的介化特性係如圖1G所示。 電陶瓷係如圖8〜圖1〇中得知，結 97111701 200914393 200914393 且介電常數的溫度特性具有 介電常數的溫度係數較小， 較小。 晶構造係以立方晶系為主體， 以25 C為中心的2個尖峰， 且電％ -介電極化特性的電滯 二者未圖示’但相關其他試料n〇iii_2、3、5〜卜 、〜22、24〜28、30、3卜 34〜38 及 4〇 如同試料相㈣結晶構造與特性。I疋“ 再者’相關相對於鋇1莫耳 計〇.〇卜_ h 下，含有：錢_換算 ·、耳、釔依Y2〇3換算計0. 0007〜0. 03莫耳、 錳依ΜηΟ換算外0 ηης η ηw吴斗、 m μ. · ·莫耳，且相對於該鈦酸鋇loo s、-0里依LU2〇3換算計為3·6〜比1質量份、石夕依 Si〇2換鼻計為〇 73〜fi q暂曰a 〇 31 ?】所曰· 。 1份、及鋰依Li20換算計為 為〇二：讀，且構成介電陶莞的結晶粒子平均粒徑 方日本發明範圍内之其他試料，亦是結晶構 曰曰糸為主體’且屬於高介電率、介電常數的溫度 係數較小。 、再者’相關試料No. III-4的組成，將Li2〇量的一半取 代為B2G3進打調製’並依同樣的溫度施行燒成而製成的介 。電陶瓷亦疋就結晶粒子的平均粒徑、以及25°c與125 :的介電常數均具有如同試料N〇. m_4為相同結果的結 冓4/、特f生，且介電常數的溫度變化曲線具有2個尖 峰’極化電荷在20nC/cm2以下。 相對於此’逾越本發明範圍外的試料No. II1-1、9、10、 16、17、23、29、32、33、39 及 4卜46 ’ 25t：的介電常數 未滿200、或介電極化出現電滯，介電常數的溫度係數依 97111701 200914393 絕對值計達10 81 x 1 〇~6/以上。 【圖式簡單說明】 圖1為本發明電容器例的切剖示意圖。 圖2為本發明介電陶瓷(實施例I)的X射線繞射圖-例 圖（試料No. 1_4)。 圖3為相關本發明介電陶究（實施例j)的介電常數變化 率圖（試料No_ I-4)。 圖4為相關本發明介電陶瓷(實施例I)所求得電場-介 電極化（V-Q)特性一例圖（試料N〇.卜4)。 圖5為本發明介電陶瓷(實施例II)的X射線繞射圖一 例圖（試料No· 11-4)。 圖6為相關本發明介電陶瓷(實施例II)的介電常數變 化率一例圖（試料No. I卜$)。 圖7為相關本發明介電陶究（實施例⑴所求得電場-介 電極化(V-Q)特性-例圖(試料Νο· 11 -4)。 圖8為本發明介電陶瓷(實施例III)的X射線繞射圖一 例圖（試料No. II1-4)。 圖9為相關本發明介電陶瓷(實施例（⑴的介電常數變 化率圖（試料No. II1—4)。 圖10為相關本發明介電陶竟（實施例【⑴所求得電 介電極化（v-Q)特性一例圖（試料Ν〇πι_4)。 【主要元件符號說明】 1 積層體 10 電容器本體 97111701 42 200914393 12 外部電極 13 介電質層 14 導體層 97111701 43
Claims (1)
- 200914393 十、申請專利範圍： 1. 一種介電陶瓷，係具有以鈦酸鋇作為主成分的結晶粒 子、以及在該結晶粒子間所形成之晶界相者；其特徵為， 相對於構成上述鈦酸鋇的鋇1莫耳之下， 鎮依MgO換算計含有〇· 〇1〜〇· 〇6莫耳、 記依Y2〇3換算計含有0. 0007〜0· 03莫耳、 錳依Μη0換算計含有0. 005〜0· 03莫耳，並且， 乂相對於上述鈦酸鋇100質量份之下，镏依Lu·換算 係含有3· 6〜52. 1質量份，且， 成 上述結晶粒子的平均粒徑係 2.如申請專利範圍第1項之 上述欽酸$貝的鎖1莫耳之下 〇· 05〜〇· 2# m。 介電陶瓷，其中，相對於構 上述鎂依Mg〇換算計含有 υ· ujl /〜υ· 023 莫耳 上述釔依Υζ〇3換算計含有〇. 〇〇15~〇. 〇1莫耳， 上述短依_換算計含有U1〜o.m莫耳，並且， c 相對於上述鈦酸鋇1 〇 〇質詈份 笪呌人亡伤之下，上述鐳依U2〇3換 异"十3有6.3〜15.6質量份，且， 、 相對於構成上述鈦酸鋇的鋇丨莫 0.97〜0.98。 、斗之下鈦的比例係為 其甲，相對於上 .如申請專利範圍第】項之介電 述鈦酸鋇100質量份之下，更含有： Sl°2換算計為0. 73〜6. 3質量份之矽 依b2〇3換算計與依Li2G換算計，’ 份之硼與鋰中之至少i種。 4 質量 97111701 44 200914393 4. 如申請專利範圍第3項之介電 成上述鈦酸鋇的鋇1莫耳之下， 八 目對於構 上述鎂依MgO換算計含有〇〇17〜〇 〇6莫耳、 上述釔依Y2〇3換算計含有〇. 〇〇15〜〇 莫 上述猛依_換算計含有0.0卜〇 〇3莫耳，並且， 相對於上述鈦酸鋇丨00質量份之下，、 上述鏑依Lu2〇s換算計含有6_ 3〜15 6⑽量广. 上述石夕魏換算計含有。.73〜313貝質量：’;以及 算計與依_換算計，合計含有U i篁份之上述硼與上述鋰中之至少丨種。 ·υ4 5. —種電容器’係含有介電質 其特徵為， $貝層與*體層之積層體者; 構成上述介電質層的介^雷Ρ自士 占八…… 電陶瓷係具有以鈦酸鋇作為主 成刀：结曰:粒子、以及在該結晶粒子間所形成的晶界相； 相對於構成上述鈦酸鋇的鋇1莫耳之下， Ο 鎂依MgO換算計含有〇 〇1〜〇.〇6莫耳、 紀依Y2〇3換算計含有〇〇〇〇7〜〇〇3莫耳、 錳依Μη0換算計含有0.0054 〇3莫耳，並且， 相對於上述欽酸韻1 〇 Q ^ ^ 八右q β #貝iU〇質里份之下，鐳依Lu2〇3換算計 3有3. 6〜52· 1質量份，且， 上述結晶粒子的平均粒徑係U 5 ~ . 2 # m。 6. 如申請專利範圍第5項之電容器 上述鈦酸鋇的鋇丨莫耳之下， ㈣於構成 上述鎮依MgG換#計含有Q. Q17〜G. Q23莫耳、 97111701 45 200914393 上述釔依Y2〇3換算計含有〇. 0015〜0. 〇1莫耳、 上述猛依_換算計含有G.Gl〜Mi3莫耳，並且， 相對於上述鈦酸鋇1〇〇質量份 算計含有6.3〜15·6質量份，且之T，上述鑛依LU2〇3換 相對於構成上述鈦酸鋇的鋇1 0.97〜0.98。 莫耳之下，鈦的比例係 7. 如申請專利範圍第5項之電 、鈦酸鋇⑽質量份之下，更含’其中，相對於上述 ，依si〇4算計為0.73〜6 3質量份之秒，以及 依㈣換算計與依Ll2〇換算計，合計為〇. 份之硼與鋰中之至少丨種。 .1貝里 8. 如申請專利範圍第7項之 上述鈦酸鋇的们莫耳之下，"其中’相對於構成 上述鎂依MgO換算計含有〇. 〇17〜〇6莫耳、 上述釔依Υζ〇3換算計含有0· 〇〇15〜〇. 〇1莫耳、 ;上述錳依Μη0換算計含有〇.〇1〜0.03莫耳，並且， 相對於上述鈦酸鋇10〇質量份 算計含有6.3〜15.6質量份 上述鑛依LU205換 上述矽依Si〇2換算計含有0 73〜313質量份.以及 換算計與依Ll2Q換算計，合計含有UK〇4 貝里^刀之上述石朋與上述鐘中之至少1種。 97111701 46
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