TW200903570A - Method of molding barrier ribs with hygroscopic polymeric molds - Google Patents

Description

200903570 九、發明說明： 【先前技術】 顯示技術中之進展（包括電漿顯示面板（pDp)及電漿定址 液晶（PALC)顯示器之發展）已在於玻璃基板上形成電絕緣 阻隔翼肋中受到關注，阻隔翼肋分離單元，其中惰性氣體 可由施加於相反電極之間的電場來激發。氣體放電在單元 内發射紫外（UV)輻射。在PDp之情況下，以當由uv輕射激 發時發出紅、綠或藍色可見光之鱗光體塗佈單元内部。單 元之大小確定顯示器中像元（像素）之大小。舉例而言， PDP及PALC顯示器可用作高清晰度電視（HDTv)或其他數 位電子顯示設備之顯示器。 一可在玻璃基板上形成阻隔翼肋之方式為藉由直接模 製。此涉及將一模具層壓於基板上，其間安置玻璃或陶究 形成組合物。適當組合物描述於（例如）美國專利第 6,3 52,763號中。接著固化玻璃或陶瓷形成組合物並移除模 具。最後，藉由在約55(TC至約I600t之溫度下進行燒製 來熔合或燒結阻隔翼肋。玻璃或陶瓷形成組合物具有分散 於有機黏合劑中之呈微米大小顆粒的玻璃粉。有機黏合劑 之使用允許在生坯狀態下固化阻隔翼肋，以使得燒製將玻 璃顆粒熔合於基板上之適當位置。參見（例如）w〇 2〇〇4/ 010452、WO 2004/043664 及日本申請案第 2004_108999 號。 用於產生阻隔翼肋之模具可為可撓性模具。可撓性模具 可包含支撐件及賦形層，如wo 2006/113412中所描述，其 127318.doc 200903570 包含至少一種（甲基）丙烯醯基寡聚物與至少一種（甲基）丙 稀酿基單體之反應產物。可撓性模具可自與最終阻隔翼肋 具有大體相同微結構化圖案之轉印模具產生。 、 US 2005/0212182描述一種包含支撐件之可撓性模具， 該支撐件含有因預先應用之濕氣吸收處理而在使用時在一 溫度及相對濕度下飽和之濕氣。如在第〇〇31段中所描述， 當允許P E T薄膜充分吸收濕氣以穩定化其尺寸且接著將其

用以製造模具時，可抑制模具在製造後之尺寸變化。 【實施方式】 本發明係關於-種製造可撓性模具之方法、該可撓性模 具及使用該模具製造微結構之方法。下文中，將參：適用 於製造諸如阻隔翼肋之微結構的可撓性模具來_本發明 之實施例。可聚合樹脂及可撓性模具可與其他(例如，微 結構化)設備及物品(諸如’具有毛細通道及照明應用之電 泳板）一起利用。 由端點來敍述數值範圍包括包含於該_内之所有數字 (例如，範圍1至10包括卜15、3 33及1〇)。 除非另有指示，否則說 的表示成份之數量、性質 理解為在所有例子中可藉 明書中及申請專利範圍中所使用 之量測及其類似物之所有數字應 由術語”約”而修改。 甲基丙烯酸脂 '(甲基）丙烯醯基，，指代包括丙烯酸酯 丙烯醯胺及甲基丙烯醯胺之官能基。 甲基）丙烯酸㈣代丙稀酸醋與（甲基）丙稀酸S旨化合 物0 127318.doc 200903570

圖1為展示說明性（例如，可撓性）模具ι〇〇之部分透視 圖。可撓性模具1〇〇大體具有兩層結構，其具有平面支撐 層U〇及提供於該支撐件上的在本文中稱為賦形層120之微 結構化表面。圖丨之可撓性模具1〇〇適用於在電漿顯示面板 之（例如，電極圖案化的）背板上產生柵格狀翼肋圖案（亦稱 為晶格圖案）的阻隔翼肋。另一常用阻隔翼肋圖案（未圖示） 包含彼此平行配置之複數個(非交又)翼肋，亦稱為線性圖 案。可撓性模具將視成品物品（例如，顯示面板）之大小來 適當地設定大，卜舉例而言，可撓性模具在形狀上可為矩 形（700 mmx400 mm)。 賦形層之微結構的深度、間距及寬度可視所要成品物品 而變化。微結構化（例如’凹槽）圖案125之深度（對應於阻 隔翼肋高度）大體為至少1()〇 μΓη，且通常至少15〇 μπι。此 外，該深度通常不大於5〇〇 μιη，且通常小於3〇〇 。微結 構化（例如，凹槽）圖案之間距在縱向方向上與橫向方向上 相比可為不同的。該間距大w ^ / V V/ ΧΑΧ Ρ"Ι - _Ϊ.ΓΤ3 fTJ -|> 2/0 μιη。§亥間距通常不大於6〇〇 μηι，且較佳小於_ _。 微結構化（例如，凹槽）圖案4之寬度在上表面與下表面之間 可為不同的，尤其當如此形成之阻隔翼肋為楔形時。該寬 度大體為至少1〇 ，且通常至少5 〇 常不大於1〇〇 μιη，且通常小於8〇 μιη μιη。此外，該寬度通 代表性賦形層之厚度為至少5 μιη，通常至少1 〇 ，且 更通常至少50 μιη。此外，賦形層之厚度不大於1，000 通常小於800 μηι’且更通常小於7〇〇陣。當賦形層 127318.doc 200903570 之厚度低於5 μπι時，通常無法獲得所要翼肋高度。當賦形 層之厚度大於1，000 μηι時，可歸因於過度收縮而產生模具 之翹曲及尺寸精確性降低。 聚合性支撐薄膜之厚度通常為至少〇〇25毫米，且通常 至少0.075毫米。此外，聚合性支撐薄膜之厚度大體小於 〇.5毫米，且通常小於0.300毫米。聚合性支撐薄膜之拉伸 強度大體至少約5 kg/mm2，且通常至少約1〇 kg/mm2。聚 合性支撐薄膜通常具有約6(TC至約2〇〇。〇之玻璃轉變溫度 (Tg)。 可撓性模具通常係由轉印模具或母模具製備，其具有與 可撓性模具相應相反之微結構化表面圖案。舉例而言，圖 2中描繪適用於製造圖丨之可撓性模具之說明性轉印模具或 母模具200的透視圖。圖3A中描繪沿線以-…截取之圖2之 轉印模具200的剖視圖。諸如公開之美國申請案第 205/02_34號中所描述，#印模具可具有由經固化（例 如，聚矽氧橡膠）聚合材料組成之微結構化表面。或者， 母模具（例如，具有金屬支撐層）可如WO 2005/013308中所 述而製備。 在如圖3A至圖3C所描繪以轉印模具（例如，圖2之轉印模 具）製造可撓性模具（例如，圖！之可撓性模具）的具體化方 法中，將可聚合樹脂組合物35〇至少提供於聚合性轉印模 具或母模具200之微結構化表面的凹部中。此可藉由諸如 刀塗佈機或刮棒塗佈機之已知慣常塗佈構件來完成。將包 含可撓性聚合性薄膜之支樓件則堆疊於填充有可聚合樹 127318.doc 200903570 脂之模具上，使得樹脂與支撐件接觸。當以此方式堆疊 時’固化可聚合樹脂組合物^光固化通常係較佳的。對於 此實施例’支撐件以及可聚合組合物較佳係足夠光學透明 的’使得照射以進行固化之光線可穿過支撐件。通常，可 撓性模具具有小於1 5%，通常小於10%且更通常不大於5% 之混濁度（如根據實例中所描述之測試方法所量測）。一旦 固化，便將可撓性模具100(其中支撐薄膜38〇整體黏合在 由經固化可聚合樹脂形成之賦形層上）與轉印模具2〇〇分 離0 眾k丰發明之模具的方法中，調節吸濕性聚合性支撐 件，且在具有第—溫度及相對濕度之適當環境下製備模 在製1^模具之方法期間所利用之（亦即，第一）溫度及/ 或相對濕度係不同於在製造陶瓷微結構之方法期間模具所 處之（亦即，第二）溫度及/或相對濕度。在此情況下，可在 模具製造過程期間調整模具之微結構的尺寸(例如，間 田藉以形成可撓性模具之母模具或轉印模具有大於 二於目標尺寸之尺寸(例如，間距)時，此態樣係尤其有 用的，該目標尺计立@ & 寸為隨後由可撓性模具形成之微 如’陶瓷阻隔翼肋、沾p上 利用A & 、、尺寸。若在與模具製造操作期間所 利用的條件相同之條件Γ ^ 撓性楹且 ' '、ρ，溫度及相對濕度）下使用可 視性棋具來模製陶瓷奮 門拓、—社 ，則模具之微結構尺寸（例如’ 間距）在其製造時鱼使 同的。 /、 杈具來模製陶瓷膏體時相比係相 在—些態樣中，第_、w 皿& /、第一溫度大體相同（亦即， 127318.doc 200903570 差距不致使可調整模具尺寸）。因 於第二相對濕度。當（例如）母模具 =濕度不同 目標時’模具製造環境之(亦即， ：具之間距大於 在使用模具來製造陶究 ·、濕度通常大於 即，第二）溫度及/或相對渴度 使用的（亦 模具之間距在製造模具二此，微結構膨脹，使得 犋具之方法期間可減小至目栌尺♦。相 反地，當母模具或轉印模且 、 产产厂……，、之間距小於目標時，模具製造 %境之溫度及/或相對渴唐诵蚩 降低以使微結構收縮，藉 此使間距增加至目標尺寸。 第-相對濕度與第二相對濕度之間的相對濕度差可自約 服Η至高達約4G%RH變化。通常，製備模具之環境且有 與預調節吸濕性支撑件所使用的溫度及相對濕度相同或相 對接近的（亦即，第一）溫度及相對濕度。舉例而言，差通 常不大於約 10%RH(例如 ’ 9%RH、8%RH、7%RH、 6%RH、5%RH、4%RH)，且可小至 1%肪、2%rh 或 3 /i>RH。第一皿度及相對濕度亦相對接近但不等於第二溫 度及相對濕度。在此情況下，在製造模具之方法期間對微 結構之調整通常在每百分比相對濕度高達約5 ppm之數量 級0 各種吸濕性塑膠薄膜材料可用於可撓性模具之支樓件， 諸如聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET)、聚萘二甲酸乙二醇酉旨 (PEN)、展延性聚丙烯、聚碳酸酯及三乙酸纖維素。此等 塑膠薄膜可用作單層薄膜，或用作兩種或兩種以上加以組 合的複合或層壓薄膜。支撐件之表面可經處理以促進對可 127318.doc 200903570 聚合樹腊組合物之黏著。適當的基於聚醋之材

含相片級聚對苯二甲酸乙二㈣及具有根據美國專利第匕 4,340,276朗描述之方法㈣成之表㈣聚對苯 二醇酯（PET)。 G 對吸濕性支樓件之預調節可包括在用以製造模具之前對 塑膠薄膜施加濕氣。用於施加濕氣之適當方式包括 將薄膜浸沒於（例如，熱）水十，或藉由使薄膜通過諸如塞 汽之高溫高濕度氣氛。通常，在溫度及濕度受控之腔室中、 調節塑膠薄膜以獲得所要第一濕度。 可撓性模具H)0可用以在諸如（例如，電聚）顯示面板之 基板上產生（例如，阻隔翼肋）微結構。 在用於該方法之前，通常在濕度及溫度受控之腔室（例 T ’ 22。〇/55。/。相對濕度）中調節轉印模具及支撐薄膜，以 取小化其任何尺寸變化。鑒於藉由使用與製造可撓性模具 期間所使用的不同的(亦即’第一)相對濕度而完成對微結 構之尺寸調整，模具通常具有目標尺寸，I因此不需要諸 如WO 2004/043664中所描述之進一步調整。 參看圖4A至圖4C，提供具有（例如，條帶狀）電極圖案之 平坦透明（例如，玻璃）基板41。本發明之可撓性模具 1〇〇(例如）藉由使用諸如電荷耦合設備相機之感應器而定 位，使得模具之阻隔圖案與基板之電極圖案對準。可以多 種方式將阻隔翼肋前驅物45(諸如可固化陶瓷膏體）提供於 基板與可撓性模具之賦形層之間。可直接將可固化材料置 放於模具之圖案中，繼而將模具及材料置放於基板上，可 127318.doc -12- 200903570 將材料置放於基板上，繼而將模具壓抵基板上之材料，或 可在藉由機械或其他方式將模具與基板置於一起時將材料 引入模具與基板之間的間隙中。如圖4A中所描繪，一（例 如，橡膠）滚筒43可用以藉由阻隔翼肋前驅物來嚙合可撓 性基板100。翼肋前驅物45展布於玻璃基板41與模具之 賦形表面之間，從而填充模具之凹槽部分。換言之，翼肋 前驅物45順序地替換凹槽部分之空氣。隨後，固化翼肋前 驅物。如在圖4B上所描繪，較佳藉由對穿過透明基板“及/ 或穿過模具1〇〇之（例如，UV)光線的輻射曝露來固化翼肋 前驅物。如圖4C中所示，移除可撓性模具1〇〇，而所得經 固化翼肋45仍黏合至基板41。 儘管模具可包含其他（例如，經固化）聚合材料，但至少 模具之模製表面(例如’微結構化表面)包含可聚合組合物 之光聚合反應產物，該組合物大體包含至少一種烯系不飽 和寡聚物及至少一種烯系不飽和稀釋劑。烯系不飽和稀釋 劑可與稀^飽和寡聚物共聚合。寡聚物大體具有如由凝 膠渗透層析法（在實财被更詳細描述）確定的至少丨，刪 莫耳，且通常小於50,000 g/莫耳之重量平均分子量(补 烯系不飽和稀釋劑大體具有小於！，〇〇〇 g/莫耳，且更通常 小於800 g/莫耳之mw。 募聚物及單體具有在曝露至光後即發生反應（例如，交 聯）之g此性。光可聚合基團之代表性實例包括環氧基， (甲基）丙烯酸酯基、烯碳碳雙鍵、稀丙氧基、α_甲基苯乙 烯基、（甲基)丙稀醯胺基、氰酸酯基、乙烯基醚基、此等 127318.doc 200903570 基團之組合及其類似物。可自由基聚合基團係較佳的。在 此等基團中，（甲基）丙稀醯基官能性係典型的，且（甲基） 丙烯酸酯官能性更為典型。通常，可聚合組合物之成份中 之至少一者，且更通常寡聚物，包含至少兩個（甲基）丙烯 醯基。 可使用具有（甲基）丙烯酿基官能基之各種已知寡聚物。 適當寡聚物包括（甲基）丙烯酸酯化之胺基甲酸酯（亦即，胺 基曱酸酯（甲基）丙烯酸酯）、（甲基）丙烯酸酯化之環氧基（亦 即’環氧基（甲基）丙稀酸醋）、（甲基）丙烯酸g旨化之聚醋（亦 即，聚酯（甲基）丙烯酸酯）、（甲基）丙烯酸酯化之（甲基）丙 烯酸系物、（甲基）丙稀酸酯化之聚謎（亦即，聚謎（甲基）丙 烯酸輯）及（甲基）丙烯酸酯化之聚烯烴。募聚物及單體較佳 分別具有約-80°C至約60°C之玻璃轉變溫度（Tg)，此意謂其 均聚物具有此等玻璃轉變溫度。 寡聚物大體與占模具之總的可聚合組合物的5重量％至 90重量％之量的單體組合。通常，寡聚物之量為至少2〇重 里％，更通常至少30重量。/。，且更通常至少4〇重量％。在 至少一些較佳實施例中，寡聚物之量為至少5〇重量％、 重量％、70重量％或8〇重量0/〇。 在-些實施例中，可撓性模具之可聚合組合物可包含一 或多種胺基甲酸酯（甲基）丙烯酸酯募聚物，諸如可自

Daicel UCB Co·，Ltd以商標名"EB 270”及”EB 8402，'購得之 寡聚物纟其他實施例中，可棱性模具之可聚合組合物可 13或夕種聚烯烴（甲基）丙烯酸酯募聚物，諸如可自 127318.doc •14- 200903570

Osaka Organic Chemical Industry Ltd.以商標名”SpDBA"睛 得之寡聚物。其他適當可撓性模具組合物係已知的。 各種（曱基）丙烯醯基單體係已知的，包括（例如）：芳族 (甲基）丙烯酸醋’包括本乳基乙基丙稀酸g旨、苯氧臭乙其 聚乙二醇丙烯酸酯、壬基苯氧基聚乙二醇、3_經基苯^ 基丙基丙烯酸酯及氧化伸乙基改質之雙酚的（甲基）丙稀酸 酯；羥基烷基（甲基）丙烯酸酯，諸如4_羥基丙烯酸丁酯； 伸烧基二醇（曱基）丙烯酸酯及烷氧基伸烷基二醇（曱美）丙 烯酸酯，諸如曱氧基聚乙二醇單丙烯酸酯及聚丙二醇二丙 烯酸酯；聚已酸内酯（曱基）丙烯酸醋；烷基卡必醇（甲基） 丙烯酸酯，諸如乙基卡必醇丙烯酸酯及2_乙基己基卡必醇 丙烯酸酯；以及各種多官能性（曱基）丙烯醯基單體，包括 2-丁基-2-乙基-1，3-丙二醇二丙烯酸酯及三羥曱基丙烷三 (甲基）丙烯酸酯。 用於製造可撓性模具之較佳可聚合組合物描述於公開之 美國專利申請案第2006/023 1728號中。 光可固化翼肋前驅物（亦稱為”聚體”或，，膏體，,）除剛描述 之光引發劑之外亦包含至少三種組份。第―組份為玻璃或 陶瓷形成之微粒材料（例如，粉末）。粉末最終將藉由燒製 2融合或燒結以形成微結構。第二組份為能夠成形且隨後 藉由固化、加熱或冷卻而硬化之可固化有機黏合劑。黏合 对I允許水體可成形為硬質或半硬質之"生坯狀態"的微結 構。黏合劑通常在解黏及燒製期間揮發，i因此亦可稱作 短效黏CF知|第二組份為稀釋劑。稀釋劑通常在硬化黏 127318.doc 200903570 合劑材料後可促進自模具釋放。或者或除此之外，在燒製 微結構之陶瓷材料之前，稀釋劑可在解黏期間促進快速且 大體上完全耗盡黏合劑。黏合劑硬化後，稀釋劑較佳保持 液態，以使得稀釋劑在硬化期間與黏合劑材料相位分離。 翼肋前驅物組合物較佳具有小於2〇,〇〇〇 cps且更佳小於 1〇,〇〇〇 cps之黏度，以在不夾帶空氣之情況下均句地填充 可撓性模具之所有微結構化凹槽部分。翼肋前驅物組合物 較佳在(M/秒之剪切速率下具有約2〇 Pas至_ Pa_s之間 的黏度’且在100/秒之煎切速率下具有i Pa ^2〇 間的黏度。 可使用各種可固化有機黏合劑。可固化有機黏合劑可 (例如)藉由曝露至輻射或熱而固化。黏合劑可包含任何组 合之單體與募聚物，只要具有無機微粒材料之混合物且有 適當黏度即可。通常黏合劑較佳在等溫條件川即，無 溫度變化）係輻射可固化的。此 此降低知因於模具與基板之 不同熱膨脹特性而移位或膨脹 風險u使得可在翼肋前 驅物硬化時維持模具之精確置放及對準。 /釋劑並非僅為樹脂之溶劑化合物。稀釋劑較佳足夠可 浴以併入於處於未固化狀態人 y. f月日此σ物中。在固化漿體 之黏合劑後，稀釋劑應與參盘 物八舱, 麥與交聯過程之單體及/或寡聚 物相位刀冑。較佳地’稀釋劑相位分 連續基質中形成液態材料的離 ：®罐曰之 合玻璃粉之顆粒或衆體之陶究粉太囊八中經固化樹脂黏 生坧壯能_ 是叔末。以此方式，經固化的 生坯狀態微結構的實體完整性 甚至在使用稍高含量的稀釋 127318.doc 200903570 劑（亦即，大於約1:3之稀釋劑與樹脂比）時亦無受極大損 害。此提供兩個優勢。第一，藉由在硬化黏合劑時保持液 態，稀釋劑可降低經固化黏合劑材料黏附至模具之風險。 第二，藉由在硬化黏合劑時保持液態，稀釋劑與黏合劑材 料相位分離，藉此形成一稀釋劑之小液囊或液滴分散於整 個經固化黏合劑基質中的互相貫穿網路，而促進解黏過 程。 視情況’光可固化翼肋前驅物組合物可包含分散劑及/ 或觸變劑。此等添加劑中之每一者可以自總的翼肋前驅物 組合物之約0.05重量❹/◦至2.0重量％之量使用。通常，此等 添加劑中之每一者的量不大於約〇·5重量❶/〇。此外，翼肋前 驅物可包含諸如矽烧偶合劑之增黏劑以促進對基板（例 如，PDP之玻璃面板）之黏著。翼肋前驅物亦可視情況包含 各種添加劑’包括（但不限於）此項技術中已知之界面活性 劑、催化劑等。 大體而s ’無機觸變膠可包含黏土（例如，膨潤土）、石夕 石 '雲母、蒙脫石及其他’其具有小於〇·1 μπι之粒徑。大 體而言’有機觸變膠可包含脂肪酸、脂肪酸胺、氫化藥麻 油、乾路素（casin)、膠、明膠、植物膠（gluten)、大豆蛋 白、海藻酸錢、海藻酸鉀、海藻酸鈉、阿拉伯膠、瓜爾膠 (guar gUm)、大豆卵磷脂、果膠酸（pectin acid)、澱粉、瓊 脂、聚丙烯酸銨、聚丙烯酸鈉、聚曱基丙烯酸銨、鉀鹽 (例如’經改質丙烯酸聚合物及共聚物）、聚羥基羧酸胺及 酿月女（諸如可購自BYK-Chemie Co.之商標名"BYK 405")、 127318.doc -17- 200903570 聚乙烯醇、乙烯系聚合物（乙烯基曱基醚/順丁烯二酸酐）、 乙烯吡咯啶酮共聚物、聚丙烯醯胺、脂肪酸醯胺或其他脂 族醯胺化合物、羧化甲基纖維素、羥甲基纖維素、羥乙基 纖維素、黃原酸纖維素、羧化澱粉、胺基甲酸酯脲、油酸 及石夕酸納。 在一些態樣中，分散劑為驗性聚合物，亦即，具有至少 一中等至強極性路易斯（Lewis)鹼性官能性可共聚單體的均 聚物、券聚物或共聚物。極性（例如，氫或離子結合能力） 常常藉由使用諸如"強"、”中等，，及，，弱"之術語來描述。描 述此專及其他溶解性術§吾之參考文獻包括"S〇ivents paint testing manual”，第 3 版，G.G. Seward，Ed.，American

Society for Testing and Materials，Philadelphia， Pennsylvania 及"A three-dimensional approach to solubility" ’ Journal of Paint Technology，第 38卷，第 496 5虎，弟269至280頁。已知各種驗性聚合物分散劑，諸如可 以商標名"Ajisper PB 821"購自 Ajinomoto-Fine-Techno Co. 之基於陰離子聚醯胺的聚合分散劑。 在其他實施例中，可使用酸性聚合物作為分散劑。舉例 而言，翼肋前驅物可包含〇_1至1重量份的基於磷之化合 物’其具有單獨地或與0.1至1重量份的基於磺酸鹽之化合 物組合的至少一磷酸基團。此等化合物描述於W〇 2005/0 19934中。用作分散劑之其他酸性聚合物可購得， 諸如以商標名"SolPlus D520”購自Noveon。 翼肋前驅物組合物中的可固化有機黏合劑的量通常為至 127318.doc •18- 200903570 少2重量％，更通常至少5重量％，且更通常至少丨〇重量 %。翼肋前驅物組合物中的稀釋劑的量通常為至少2重量 % ’更通常至少5重量％ ’且更通常至少丨〇重量％。有機組 伤之總置通常為至少10重量。/。、至少15重量％或至少20重 量％。此外，有機化合物之總量通常不大於50重量％。無 機试粒材料之量通常為至少40重量％、至少5〇重量％，或 至少60重量％。無機微粒材料之量不大於％重量％。添加 劑之量大體小於1 〇重量％。 可藉由習知混合技術來製備膏體。舉例而言，可將玻璃 或陶瓷形成微粒材料（例如，粉末）與稀釋劑及分散劑以約 1 〇至15重量份的稀釋劑比進行組合；繼而添加其餘膏體成 份。通常將膏體過濾至5微米。 在較佳實施例中，可撓性模具可再使用。可撓性模具可 再使用之次數與製造微結構之方法中所使用的翼肋前驅物 組合物有關。藉由如本文中所述而恰當選擇翼肋前驅物組 合物γ可撓性模具可再使用至少丨次再使用至至少5次再使 用之範圍中的任何次數。在較佳實施例中，聚合性轉印模 =可再使用至少1()次，至少15次，至少2〇次或至少3〇次。、 田可撓I1生模具之微結構化表面的膨脹程度小於丄㈣，且更 通 於5%(如可藉由以顯微鏡進行之視覺檢測來確定 時，可再使用轉印模具。 對於翼肋前驅物經由姑· M @ a τ* 切厶宙可撓性模具而固化之實施例，當 棱性M具足夠透料，可撓性模具適於再使用。足夠透明 之可撓性核具通f在—次使用後具有小於⑽、較佳 127318.doc •19· 200903570 10%且更佳不大於5%混濁度 土卡旦、，、 1如根據實例中描述之測試方 法來量測）。甚至更佳地，可 挽f生模具在至少5次再使用後 具有剛剛描述之混濁度準則。 丹便用後 在較佳實施例中’翼肋前驅物包含溶解性參數小於可固 化有機黏合劑之稀釋劑。 各種單體之溶解性參數δί # x /数傯耳塔）可習知地使用下式來 計算： δ=(ΔΕν/ν)1/2， 其中ΔΕν為給定溫度下之汽仆栌旦 ηΛ , 又r又/飞化此里，且ν為相應莫耳體 積。根據Fedors方法，可藉由化學結構來計算sp (R.F.Fedors, P〇lym. Eng. Set，14(2)，M147W > 1974 «

Polymer Handbook 第 4版，由 j.Brandrup、E H Jmmergut及 E.A.Grulke編輯之 ”Solubility Parameter Values”）。 可固化黏合劑與稀釋劑之溶解性參數之間的差為至少i [MJ/m3]1’2 ’且通常至少2 [MJ/m3]w2。可固化黏合劑與稀 釋劑之溶解性參數之間的差較佳為至少3 [Μ"〆]!/2、4 [MJ/m3]"2或5 [MJ/m3]1/2。可固化黏合劑與稀釋劑之溶解 性參數之間的差更佳為至少6 [MJ/m3]1，2、7 [MJ/m3]"2或8 [MJ/m3]1/2。 可視可固化有機黏合劑之選擇而使用各種有機稀釋劑。 大體而言，適當稀釋劑包括各種醇及二醇，諸如伸烷基二 醇（例如’乙二醇、丙二醇、三丙二醇）、烷基二醇（例如， 1，3丁二醇）及烷氧基醇（例如，2-己氧基乙醇2-(2-己氧基） 乙醇、2-乙基己氧基乙醇）；醚，諸如二伸烧基二醇烧基醚 127318.doc -20- 200903570 (例如，二乙二醇單乙基醚、二丙二醇單丙基醚、三丙二 醇單甲基醚）；酯’諸如乳酸酯及乙酸酯，且詳言之二烷 二醇烧基趟乙酸酯（例如，二乙二醇單乙基鍵乙酸酯）；破 轴酸烷基酯（例如，琥珀酸二乙酯），戊二酸烷基酯（例如， 戊一酸二乙醋）及已二酸烧基酯（例如，已二酸二乙酯）。 基於微結構之最終應用及微結構將黏附的基板之性質來 選擇玻璃或陶瓷形成微粒材料（例如，粉末）。一考慮因素 為基板材料（例如’ PDP之玻璃面板）之熱膨脹係數（CTE)。 較佳地，本發明之漿體的玻璃或陶瓷形成材料的CTE與基 板材料（例如，PDP之電極圖案化玻璃面板）之cte的差異 不大於10%。當基板材料具有遠小於或遠大於微結構的陶 瓷材料之CTE的CTE時，微結構可能在處理期間翹曲、爆 裂、破裂、移位或自基板完全脫落。此外，基板可能歸因 於基板與經燒製微結構之間的高CTE差異而翹曲。適用於 本發明之激體中的無機微粒材料較佳具有約5 X 10_6厂〇至 i3xi(r6/°c之熱膨脹係數。 L用於本發明之衆體中的玻璃及/或陶究材料通常具有 低於約600t且通常高於4〇〇t之軟化溫度。陶瓷粉末之軟 化伽·度指不熔合或燒結粉末材料所必須達到的溫度。基板 大體具有高於翼肋前驅物之陶瓷材料的軟化溫度之軟化溫 度。選擇具有低軟化溫度之玻璃及/或陶瓷粉末允許使用 亦具有相對較低軟化溫度的基板。 適田組合物包括（例如）i)ZnO與B2〇3 ; ii)Ba〇與B2〇3 ;

Ui)Zn〇 ' Ba〇^B2〇3 ； iv)La2〇3^B2〇3 ； A ν)Α12〇3 . ZnO 127318.doc -21 · 200903570 與P2〇5。可藉由將一定量的錯、絲或磷併入材料中來獲得 較低軟化溫度陶究材料。其他低軟化溫度陶究材料在^項 技術中係已知的。可將其他完全可溶、不可溶或部分可溶 的組份併人漿體之陶曼材料中以獲得或修改各種性質。' 翼肋前驅物的微粒狀玻璃或陶瓷形成材料的較佳大小視 待於圖案化基板上形成並對準之微結構的大小而定。顆粒 之平均大小❹徑it常不大於待形成並對準 < 微結構的所 關注最小特性尺寸之大小的約1〇%至ls%。舉例而言，對 於PDP阻隔翼肋而言，平均粒徑通常不大於約2或3微米。 用於製造模具或在製造陶瓷微結構中用作黏合劑之光可 固化可聚合組合物較佳包含一或多種光引發劑，其濃度在 可聚合樹脂組合物之〇·05重量％至5重量％之範圍内。適當 光引發劑包括（例如）2·羥基-2-甲基-1-苯基丙烷酮；^ [4 (2經基乙乳基）_本基]_2_經基_2_曱基_ι_丙院_ι__ ; 2,2_ 一甲氧基_〗，2-—笨基乙燒-1-闕；2-甲基_1-[4-(甲硫基）苯 基]-2-嗎啉基_ 1 _丙酮；及其混合物。適當光引發劑組合描 述於美國專利第6M3952號及2006年10月5日申請之申請中 的美國專利申請案第1 1/538933號中。

可用於本文所描述之本發明中的各種其他態樣在此項技 術中係已知的’包括（但不限於）以下專利中之每一者：美 國專利第6,247,986號；美國專利第6,537,645號；美國專利 第 6,352,763 號；U.S. 6,843,952、U.S. 6,306,948 ; WO 99/60446 ； WO 2004/062870 ； WO 2004/007166 ； WO

03/032354 ； WO 03/032353 ； WO 2004/010452 ； WO 127318.doc •22· 200903570 2004/064104 ;美國專利第6,761，607號；美國專利第 6,821,178 號；WO 2004/043664 ； WO 2004/062870 ； W02005/042427 ; W02005/019934 ; W02005/021260 ;及 W02005/013308。 藉由以下非限制性實例來說明本發明。 實例： 吸濕性聚合性支撐件預調節 作為用於製造模具之吸濕性聚合性支撐件，具有250微 米厚之聚酯薄膜的4個不同樣本（商標名：Tetron film HS250，由Teijin Dupont Film製造）各自使用3種不同預調 節環境來預調節24小時。 支撐件預調節A : 22°C/55%RH 支撐件預調節B : 22°C/58%RH 支撐件預調節C : 22°C/61%RH 母工具之製備 製備具有晶格型PDP阻隔翼肋圖案之母工具。如WO 2005/013308及公開的美國專利申請案第U.S. 2005/ 0206034-A1號中所述，使用聚矽氧材料及不鏽鋼基板，自 金屬母工具製造矩形轉印模具。單元間距在較長側之方向 上為0.270 mm，且在較短側之方向上為0.808 mm。 可撓性模具之製備 如下製備用作模具之賦形層的光可固化樹脂： 脂族族丙烯酸胺基曱酸酯寡聚物 80份 (由 Daicel UCB 製造之 Ebecryl (EB) 8402) 127318.doc -23- 200903570 經内酯改質之丙稀酸酿單體 20份 (由 Daicel UCB 製造之 FA2D) 光引發劑 1份 (由 Chiba-Geigy製造之Irgacure 2959) 樹脂之黏度為l〇,000 CPS(具有5號軸之Brookfield黏度 計，以2〇rpm之旋轉速度）。 在四個獨立的實驗中’將此樹脂塗佈於工具之微始構彳 表面上，使得微结構化表面之凹部得以填充。 在具有與用於預調節PET支撐薄膜之溫度及相對濕度相 同的溫度及相對濕度的環境中將經預調節之聚酯薄膜中& 每一者層壓至填充有光可固化樹脂之工具表面。藉由彳吏用 ， 由 低壓汞燈（化學用燈，輻射波長：300 nm至4〇〇 nm Mitsubishi Osram製造），藉由照射通過經預調節之聚醋薄 膜支撐件的3,000 mJ/cm2的UV來光固化樹脂。接著自工具 移除模具。 第一溫度及RH(亦即，模具製 造環境之溫度及RH) 在22°C/55%RH(亦即，第二溫度 及RH)下的微結構之間距 比較實例-22°C/55%RH 一__ 相同轉印模具及母工具 一 22〇C/58%RH -在長度方向上·9 ppm間距 -在寬度方向上-14 ppm間距 22〇C/61%RH -在長度方向上-28 ppm間距 -在寬度方向上-33 ppm間距 結果展示，間距可調整每度相對濕度約5 ppm。 【圖式簡單說明】 圖1為適用於製造阻隔翼肋之說明性可撓性模具的透視 圖。 127318.doc -24- 200903570 圖2為適用於製造圖丨之可撓性模具之說明性轉印模具的 透視圖。 圖3A至圖3C為依次展示自轉印模具製造可撓性模具之 說明性方法的剖視圖。 圖4A至圖4C依次為藉由使用可撓性模具製造精細結構 (例如’阻隔翼肋）之說明性方法的剖視圖。 【主要元件符號說明】 41 基板 43 滚筒 45 阻隔翼肋前驅物 100 可撓性模具 110 平面支撐層 120 賦形層 125 试結構化圖案 200 轉印模具或母模具 350 可聚合樹脂組合物 380 支撐件/支撐薄膜 127318.doc •25-

Claims (1)

1. 200903570 十、申請專利範圍： 1 · 一種產生一微結構化物品 又万法，其包含以下步驟： 徒供一包含一吸溻性*拎 、w 牙件之模具，其中該模具係在 第一 /皿度及相對濕度下製備； 在苐一溫度及相對渴；θ： π # 儿主 '、、又下於一基板與該模具之微結構 化表面之間提供_开& ’、 化陶瓷膏體材料，該第二溫度及 相對濕度在溫度、濕度或复_ 次，、—組合上與該第一溫度及濕 度不同； 固化該材料’從而形成與該基板整體地黏合之微結 構；及 自該微結構化物品移除該模具。 2.如請求们之方法，其中製備該模具包含提供一具有一 微結構化表面之聚合性轉印模具或母模具； '、在。亥模具之該微結構化表面的凹部中提供一可聚 合樹脂組合物； 將該經預調節之支禮件摊聂2P # 日 又？牙仔堆疊至該模具之該微結構化表 面上； 固化該可聚合樹脂組合物；及 自該模具移除該經固化可聚合樹脂組合物連同該支撐 件’藉此形成一可撓性模具。 3.如請求項2之方法，#中該轉印模具或母模具之該微結 構化表面包含以一間距安置之微結構，且該第一溫度或 相對濕度調整該等微結構之該間距。 4_如5月求項2之方法中該轉印模具或母模具之該微結 127318.doc 200903570 構化表面具有一間距大於一目標間距之微結構。 5. 如請求項4之方法，其中該第一相對濕度比該第二相對 濕度高1%至40%。 6. 如請求項4之方法，其中該第一相對濕度比該第二相對 濕度兩1 %至1 〇 %。 7. 如請求項4之方法，其中該第一相對濕度比該第二相對 濕度高1 °/。至5 。 8. 如請求項2之方法，丨中該轉印模具或母模具具有1 距小於一目標間距之微結構。 9·如請求項8之方法’其中該第一相對濕度比該第二相對 濕度低1 %至4 〇 。 10. 如π求項8之方法，其中該第一相對濕度比該第二相對 濕度低1 %至1 〇 %。 11. 如„月求項8之方法’其中該第一相對濕度比該第二相對 濕度低1%至5%。 月长項2之方法，其中該可聚合組合物包含至少—種 烯系不飽和寡聚物與至少一種烯系不飽和單體之反應產 13.如請求項12之方法’其中該募聚物包含一胺基甲 基）丙烯酸酯寡聚物。 14 ·如請求項1 t、、+ ，其中該固化包含穿過該模具、穿 該基板或其組合而進行光@化。 過 15.如請求们之方法’其中該基板為一顯示面板 件且該等微結構 127318.doc 200903570 弟一溫度相 1 6.如請求項1之方法，其中該第一溫度與 同。 127318.doc