TW200900674A - Leak inspection method and leak inspector using the same - Google Patents

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200900674 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於使用於檢查各種容器等的有無漏洩的漏 洩檢查的漏洩檢查方法，及利用該漏洩檢查方法而進行動 作的漏洩檢查裝置。 【先前技術】 在傳統上，把在使用狀態下必須沒存在漏洩的製品或 零件，在其生產工程線上依次檢查，來判定製品或零件的 良否。 第8圖是表示該種漏洩檢查裝置的一般性構成的方塊 圖，被連接於空氣壓源1 1的輸出側的流管1 0是經由調壓 閥12及三通電磁閥14被延長，而在三通電磁閥14的出 口側被分岐成分岐管1 5A、1 5B。在調壓閥1 2的出口側與 三通電磁閥1 4的入口側之間連接有監測所設定的檢查壓 所用的壓力計1 3。 分岐管15A是經由電磁閥16被連接於導管18的一 端，而在該導管18的另一端部設有漏洩被檢查的被檢查 體2 0可連接的連接工模24。被檢查體20依次被連接於 該連接工模24，而成爲可檢查漏洩的構成。 另一方面，分岐管15B是經由電磁閥17被連接於導 管19的一端，而在該導管19的另一端部連接有基準槽 21。在導管18及19分別分岐地安裝有導管18A及19A’ 而差壓檢測器2 2被安裝於此些導管1 8 A、1 9 A的端部間 200900674 差壓檢測器22的輸出訊號是經由自動重調零式放大 器31被給予比較器32，而在比較器32作成與基準値設 定器3 3的基準値可比較的構成。 將被檢查體20安裝於導管18的端部，而在導管19 安裝在漏洩的基準槽2 1，把三通電磁閥1 4的a — b間作 成閉狀態，一面監測壓力計1 3 —面調節調壓閥1 2而作成 可得到來自空氣壓源11的所定空氣壓。將電磁閥16及 1 7作成開狀態，而將三通電磁閥1 4的a - b間作成開狀 態，把所設定的一定空氣壓經分岐管1 5 A、1 5B，導管1 8 、19分別供應於被檢查體20及基準槽21。 經過一定時間，使得被檢查體20及基準槽2 1內的壓 力穩定之後，把電磁閥1 6及1 7作成閉狀態。又在所定的 穩定時間（平衡時間）後，進行被連接於差壓檢測器22 的自動重調零式放大器3 1的輸出訊號的讀取。 在被檢查體20的氣密完全而未存在漏洩的狀態下， 來自放大器3 1的輸出訊號是在一定檢測時間後，理想上 成爲零。若在被檢查體20存在著漏洩，則其內部壓力爲 正壓時會得到逐漸減少，而負壓時會得到逐漸增加的輸出 訊號SD，而一定檢測時間內的輸出訊號是成爲大約比例 於負或正的漏洩量的數値。 從基準値設定器33所給予的基準値RV與放大器31 的輸出値在比較器32被相比較，藉由輸出値是否超過基 準値RV，而得到表示良品或不良品的良否判定輸出3 5。 -5- 200900674 在該一般性的漏洩檢查裝置，即使與被檢查體20完 全相同形狀又無漏洩者使用作爲基準槽21，主要藉由被 檢查體20與基準槽21之溫度差，會在發生於差壓檢測器 22的差壓値上受到影響。若被檢查體20與基準槽21的 形狀有所不同，則在將氣體予以加壓時則藉由隔熱變化所 上昇的氣體溫度成爲相等於被檢查體20與基準槽21的溫 度的過程，會發生氣體溫度差所致差壓變化，使得輸出訊 號在理想上不會成爲零的狀態，或是在被檢查體20與基 準槽2 1的溫度不相同時，差壓變化也發生在隔熱變化後 的熱平衡過程。亦即，即使在被檢查體20完全沒有漏洩 ，一定檢測時間中的輸出訊號也不會成爲理想性的零狀態 ，一般表示若比得上正或負的漏洩量之程度的差壓値。一 般將起因於該漏洩以外的差壓値稱爲漂移量。 使用第9圖來說明該情形。表示於第9圖的曲線A 是表示漂移量，曲線B是漏洩量，曲線C是表示將漏洩 量加上漂移量的實質上藉由差壓檢測器22所檢測的差壓 値。由圖可知，以曲線C所表示的差壓値是大部分爲漂移 量，而相當於漏洩量的差壓値是些微。由圖可瞭解，藉由 漂移所發生的差壓値是當經過了時間，則其增加量是幾乎 近於零。對於此，藉由漏洩量所發生的差壓値是隨著時間 之經過，呈現以大約一定的增加率上昇的現象。 著眼於此點’在表示於第8圖的構成的漏洩檢查裝置 ，以某一時間（漂移量的增加率接近於零的時機以後的定 時）TIM1 (第9圖）強制地將自動重調零式放大器31的 200900674 輸出重調成爲零，在重調零之後，提高自動重調零式放大 器3 1的增益來放大差壓檢測器22的檢測訊號而得到輸出 訊號SD (曲線D)供應於比較器32，在比較器32與基準 値RV來比較發生於一定時間後的輸出訊號S D，若輸出 訊號SD超過基準値，則判定爲不良。 依照該檢測方法，等到漂移量的增加率接近於零才開 始檢查，因此可除去依漂移所致的影響。然而，另一面有 一個漏洩檢查裝置所需之檢查時間變成數1 0秒鐘的較久 的缺點。 爲了解決該缺點，被提案有如第1 0圖所示的漏洩檢 查方法。該檢查方法是在校正模式中，將加壓•平衡期間 後發生在差壓檢測器22的差壓發生値，藉由例如以第8 圖所說明的自動重調零式放大器31每——定檢測單位時 間地重調成零，一直到每一檢測單位時間的差壓變化値被 收斂成一定値爲止重複著此，在收斂之時機，取得該收斂 的差壓變化値Db。該差壓變化値Db是表示真正漏洩量所 發生的每一檢測單位時間的差壓値。 因此，藉由求出從初次的每一檢測單位時間的差壓變 化値Da減掉Db的Da — Db = Dl，把該相差値D1可視做 隔熱變化後的熱平衡過程所致的漂移値。將該値D1記憶 作爲漂移修正値，而在之後的檢查模式，將加壓氣體施加 於被檢查體20，藉由從剛加壓平衡之後的第1次差壓發 生値Da減掉漂移修正値d 1，成爲可求出對應於各被檢查 體20的真正漏洩量的每一檢測單位時間的差壓値Db。 200900674 在表示於第ίο圖的校正方法，若限定實行校正模式 的溫度環境下（氣溫，被檢查體20的溫度），則可實行 正確的漏洩檢查。然而在漏洩檢查模式中，若室溫或被檢 查體2〇的溫度從求出漂移修正値D 1的校正模式時的溫 度偏離所定値以上，則每次實行校正模式，有必須重新求 出漂移修正値D 1的缺點。 又，在上述乃將表示於第8圖的差壓檢測型漏洩檢查 裝置作爲例子加以說明，惟如第1 1圖所示地將氣體壓直 接施加於被檢查體2 0，藉由壓力測定器2 3來測定該氣體 壓，藉由被封入在被檢查體20的氣體壓是否變化所定値 以上，進行判定有無漏洩的形式的漏洩檢查裝置（以下將 此形式的漏洩檢查裝置稱爲儀錶壓型漏洩檢查裝置）也同 樣地發生漂移，而會發生與差壓檢測型的漏洩檢查裝置同 樣的缺點。 爲了解決此些差壓檢測型漏洩檢查裝置及儀錶壓型漏 洩檢查裝置的缺點，本案申請人是利用專利文獻1提案漂 移修正係數算出方法，及使用藉由該漂移修正係數算出方 法所算出的漂移修正係數來修正漂移量的漂移修正方法， 漂移修正係數學習方法，使用此些的各方法的漏洩檢查方 法及漏洩檢查裝置。 在先前所提案的漏洩檢查裝置，是在校正模式，將正 或負的氣體壓施加於被檢查體與基準槽，而在從加壓.平 衡期間（參照第1 〇圖）結束時機經過時間τ 1之時機與再 經過時間Τ 1之時機分別測定差壓變化値AP 1與ΔΡ2，又 200900674 測定相當於從被檢查體與基準槽的氣體溫度穩定的時機經 過時間T1的時機所得到的被檢查體的漏洩的差壓變化値 AC，利用此些差壓變化値ΔΡ1與AP2，AC而藉由K=( ΔΡ2- AC ) / ( ΔΡ1 - ΔΡ2 )來算出漂移修正係數K。使用 該漂移修正係數Κ，在檢查模式同樣地，從經過Τ 1的時 機與經過下一 Τ 1的時機所測定的差壓變化値ΔΡ Γ、ΔΡ2 ’ 來估計漂移量J= ( ΔΡ1 ’ 一 ΔΡ2’）Κ，而求出對應於經修正 漂移量的漏洩的差壓變化値S = AP2’ - J。 在此，使用第1 2圖來說明一般性的漏洩檢查裝置的 檢查模式的動作順序。表示於第1 2圖的期間A 1是表示 加壓期間，A2是表示平衡期間，A3是表示檢查期間，而 A4是表示排氣期間。在加壓期間A 1，指表示於第8圖的 三通電磁閥14是a— b間爲被打開，又閥16與17被打開 ，而一定壓力的氣體被施加於被檢查體20與基準槽21的 狀態。平衡期間A2是指閥16與1 7被關閉，封閉施加於 被檢查體20與21的氣體，而等待氣體壓呈穩定的狀態。 亦即，在加壓期間A1藉由隔熱變化上昇內部氣體溫度之 後’逐漸地下降至檢查體溫度的熱平衡過程，檢查期間 A3是指檢測出在平衡期間A2是否發生差壓在穩定的氣體 壓的狀態。排氣期間A4是指打開閥1 6與1 7，藉由將三 通電磁閥14導通b— c間，而將被封入在被檢查體20與 基準槽21的氣體朝大氣排氣的狀況。 又’表示於第12圖的曲線P是表示被檢查體或基準 槽的內部壓力的變化。在加壓期間A1，壓力急激地上昇 -9- 200900674 ’而藉由隔熱變化也上昇內部氣體溫度。在平衡期間A2 與檢查期間A3表示內部氣體溫度下降至檢查體溫度而所 施加的空氣壓徐徐地穩定的樣子。 專利文獻：日本特開2001— 50854號公報 【發明內容】 如上述地在專利文獻1所提案的漂移修正係數算出方 法是將差壓變化値AP 1與ΔΡ2的測定如第1 2圖所示地進 行在從檢查期間A3的開始點經過T1的時機，及再經過 下一 T1的時機。檢查期間A3是如上述地，設定成經過 平衡期間A2之後才實行之故，因而被封入在被檢查體20 與基準槽21的氣體壓處於某種程度穩定的狀態。亦即， 若將平衡期間A2設定成較久，則在進入檢查期間A3的 時機，被檢查體20與基準槽21的內部是由表示於第12 圖的曲線P可明瞭，在加壓期間A1所發生的隔熱變化後 的熱平衡過渡所致的差壓變化可忽略程度地變小的情形也 會發生。這時候，在檢查期間A 3測定差壓變化値Δ P 1與 ΔΡ2，則成爲ΔΡ1与ΔΡ2，而漂移修正係數的算出式K=( ΔΡ2 - AC) / ( ΔΡ1 - ΔΡ2 )的分母成爲接近於零的數値之 故，因而發生無法求出高可靠性的漂移修正係數K的不 方便。 本發明的目的是在於提供可解決該不方便，高可靠性 的漏洩檢查方法及漏洩檢查裝置。 依照本發明的第1觀點，一種漏洩檢查方法，是將氣 -10- 200900674 體施加於被檢查體與基準槽，而在經過所定時間 否在兩者間發生所定値以上的差壓，藉由此，來 述被檢查體是否有漏洩的漏洩檢查方法，其特徵 在校正模式，包括： (a - 1 )將所定壓力僅所定時間長度的加壓 、停止氣體壓於被檢查體與基準槽的步驟；及 (a - 2 )測定產生於上述加壓期間結束後的 期間的上述被檢查體與上述基準槽的第1差壓變 的步驟；及 (a - 3 )測定產生於上述第1平衡期間結束 平衡期間的上述被檢查體與上述基準槽的第2差 Δ P 2的步驟；及 (a — 4)測定產生於上述第2平衡期間結束 檢查期間的上述被檢查體與上述基準槽的第3差 ΔΡ3的步驟；及 (a - 5 )測定產生於上述第1檢查期間結束 檢查期間的上述被檢查體與上述基準槽的第4差 △ P4的步驟；及 (a— 6)依據上述第3及第4差壓變化値 ΔΡ3 - ΔΡ4 )，及上述第1及第2差壓變化値的相 -ΔΡ 2 )的比例’來計算對應於被包括於上述第 化値ΔΡ 3的漂移量的漂移修正係數κ而加以記 上述被檢查體與上述基準槽予以排氣的步驟。 在檢查模式，包括： 的時機是 判定在上 ♦ 爲. 期間施加 第1平衡 化値ΔΡ1 後的第2 壓變化値 後的第1 壓變化値 後的第2 壓變化値 的相差（ 丨差（API 3差壓變 憶，並將 -11 - 200900674 (b — 1 )將上述所定壓力僅上述力π壓期間施力α、停止 氣體壓於上述被檢查體與上述基準槽的步驟；及 (b- 2)測定產生於上述第1平衡期間的上述被檢查 體與上述基準槽的第1差壓變化値ΔΡ1’的步驟；及 (b - 3 )測定產生於上述第2平衡期間的上述被檢查 體與上述基準槽的第2差壓變化値ΔΡ2’的步驟；及 (b - 4 )測定產生於上述第1檢查期間的上述被檢查 體與上述基準槽的第3差壓變化値ΔΡ3’的步驟；及 (b - 5)依據上述第1及第2差壓變化値的相差（ ΔΡ1’- ΔΡ2’）與上述漂移修正係數K，來估計被包括於上 述第3差壓變化値ΔΡ3’的漂移量的步驟；及 (b- 6)從上述第3差壓變化値AP3’減算上述漂移 量來估計上述被檢查體的漏洩量，並將上述被檢查體與上 述基準槽予以排氣的步驟。 又，依本發明的第1觀點的一種漏洩檢查裝置，其特 徵爲： 包括： 將氣體壓施加於被檢查體與基準槽的空氣壓源；及 將所定壓力的氣體從上述空氣壓源僅所定時間長度的 加壓期間施加於被檢查體與基準槽，而在施加結束後測定 發生在上述被檢查體與基準槽間的差壓變化値的差壓測定 部；及 在校正模式，將氣體壓僅上述加壓期間施加於上述被 檢查體與上述基準槽，在上述加壓期間結束後的第1平衡 -12- 200900674 期間，與連續於該期間的第2平衡期間分別產生，由藉由 上述差壓測定部所測定的第1及第2差壓變化値ΔΡ1、 △ P2，及在上述第2平衡期間的結束後的第1檢查期間， 與其後的第2檢查期間分別產生，由藉由上述差壓測定部 所測定的第3及第4差壓變化値ΔΡ3、ΔΡ4，依據上述第 3及第4差壓變化値的相差（ΔΡ3 — AP4 )，及上述第1及 第2差壓變化値的相差（ΔΡ 1 - ΔΡ2 )的比例，來計算對 應於被包括於上述第3差壓變化値ΔΡ3的漂移量的漂移修 正係數K的漂移修正係數算出部；及 記憶上述漂移修正係數K的漂移修正係數記憶部； 及 在檢查模式，將氣體壓僅上述加壓期間施加於上述被 檢查體與上述基準槽，在上述加壓期間結束後的第1平衡 期間，與連續於該期間的第2平衡期間分別產生，由藉由 上述差壓測定部所測定的第1及第2差壓變化値ΔΡ 1 ’、 ΔΡ2’，及在上述第2平衡期間結束後的第1檢查期間產生 ，由藉由上述差壓測定部所測定的第3差壓變化値ΔΡ 3 ’ ，依據上述第1及第2差壓變化値的相差（API’ — AP2’） 與上述漂移修正係數K，來算出被包括於上述第3差壓變 化値ΔΡ3 ’的漂移量的漂移量算出部；及 從上述第3差壓變化値ΔΡ3 ’減算上述漂移量而得到 被漂移修正的差壓變化値S的漂移修正部；及 將上述差壓變化値S與設定値相比較，若差壓變化値 S超過設定値，則判定在上述被檢查體有漏洩的判定部所 -13- 200900674 構成。 依照本發明的第2觀點，一種漏洩檢查方法，是將氣 體施加於被檢查體，而在經過所定時間的時機是否發生所 定値以上的壓力變化，藉由此，來判定在上述被檢查體是 否有漏洩的漏洩檢查方法，其特徵爲： 在校正模式，包括： (a — 1 )將所定壓力僅所定時間長度的加壓期間施加 、停止氣體壓於被檢查體的步驟；及 (a - 2 )測定產生於上述加壓期間結束後的第1平衡 期間的上述被檢查體的第1壓力變化値Δ Q 1的步驟；及 (a - 3 )測定產生於上述第1平衡期間結束後的第2 平衡期間的上述被檢查體的第2壓力變化値AQ2的步驟 :及 (a - 4 )測定產生於上述第2平衡期間結束後的第1 檢查期間的上述被檢查體的第3壓力變化値AQ 3的步驟 :及 (a - 5 )測定產生於上述第1檢查期間結束後的第2 檢查期間的上述被檢查體的第4壓力變化値AQ4的步驟 :及 (a- 6)依據上述第3及第4壓力變化値的相差（ AQ3 - AQ4) ’及上述第1及第2壓力變化値的相差（ AQ1 - AQ2 )的比例’來計算對應於被包括於上述第3壓 力變化値△ Q 3的漂移量的漂移修正係數κ而加以記憶， 並將上述被檢查體予以排氣的步驟， -14- 200900674 在檢查模式，包括： (b — 1 )將上述所定壓力僅上述力□壓期間施力□、停止 氣體壓於上述被檢查體的步驟；及 (b - 2 )測定產生於上述第1平衡期間的上述被檢查 體的第1壓力變化値AQ 1 ’的步驟；及 (b — 3 )測定產生於上述第2平衡期間的上述被檢查 體的第2壓力變化値AQ 2 ’的步驟；及 (b - 4 )測定產生於上述第1檢查期間的上述被檢查 體的第3壓力變化値AQ 3 ’的步驟；及 (b— 5)依據上述第1及第2壓力變化値的相差（ AQ1’ 一 AQ2’）與上述漂移修正係數K，來估計被包括於 上述第3壓力變化値AQ3’的漂移量的步驟；及 (b- 6)從上述第3壓力變化値AQ3’減算上述漂移 量來估計上述被檢查體的漏洩量，並將上述被檢查體予以 排氣的步驟。 又，依本發明的第2觀點的一種漏洩檢查裝置，其特 徵爲： 包括： 將氣體壓施加於被檢查體的空氣壓源；及 將所定壓力的氣體從上述空氣壓源僅所定時間長度的 加壓期間施加於被檢查體，而在施加結束後測定發生在上 述被檢查體的壓力變化値的壓力測定部；及 在校正模式’將氣體壓僅上述加壓期間施加於上述被 檢查體，在上述加壓期間結束後的第1平衡期間，與連續 -15- 200900674 於該期間的第2平衡期間分別產生，由藉由上述壓力測定 部所測定的第1及第2壓力變化値AQ1、AQ2，及在上述 第2平衡期間的結束後的第1檢查期間，與其後的第2檢 查期間分別產生，由藉由上述壓力測定部所測定的第3及 第4壓力變化値AQ3、AQ4，依據上述第3及第4壓力變 化値的相差（AQ3— AQ4)，及上述第1及第2壓力變化 値的相差（AQ 1 - AQ2 )的比例，來計算對應於被包括於 上述第3壓力變化値A Q 3的漂移量的漂移修正係數K的 漂移修正係數算出部；及 記憶上述漂移修正係數K的漂移修正係數記憶部； 及 在檢查模式，將氣體壓僅上述加壓期間施加於上述被 檢查體，在上述加壓期間結束後的第1平衡期間’與連續 於該期間的第2平衡期間分別產生’由藉由上述壓力測定 部所測定的第1及第2壓力變化値AQ1 ’、AQ2’，及在上 述第2平衡期間結束後的第1檢查期間產生，由藉由上述 壓力測定部所測定的第3壓力變化値△ Q 3 ’’依據上述第1 及第2壓力變化値的相差（AQl’一 AQ2’）與上述漂移修 正係數K，來算出被包括於上述第3壓力變化値AQ3’的 漂移量的漂移量算出部；及 從上述第3壓力變化値AQ3 ’減算上述漂移量而得到 被漂移修正的壓力變化値s的漂移修正部；及 將上述壓力變化値S與設定値相比較，若壓力變化値 S超過設定値，則判定在上述被檢查體有漏洩的判定部所 -16- 200900674 構成。 依照本發明，測定發生在剛加壓期間之後所實行的第 1及第2平衡期間之間的差壓變化値AP 1、ΔΡ2或壓力變 化値AQ 1、AQ2，而以該測定値作爲線索來求出漂移修正 係數K之故，因而在平衡期間藉由給予氣體的隔熱變化 所發生的差壓變化最衰減的時候，因此可得到受到依隔熱 變化影響很大的差壓變化値大的測定値。該結果，被使用 於漂移修正係數算出式的（ΔΡ1—ΔΡ2)或是（△Ql—AQ〗 )不會呈現接近於0的情形，可得到高精度的漂移修正係 數K，而在短時間可實施漏洩檢查。 【實施方式】 漂移修正係數與漂移量的算出方法 首先，使用第1圖來說明在本發明所致的漏洩檢查方 法所使用的漂移修正係數K的導出過程。作爲在本發明 所使用的基準槽，使用經加壓的氣體在加壓期間中可快速 地溫度穩定般地溫度穩定性優異的槽者。在本發明中，在 第1圖如以差壓變化特性曲線P所示地，將加壓期間結束 後的平衡期間分割成兩個期間，測定從平衡期間開始時機 經過時間τ 1之時機，及再經過時間T1之時機的差壓變 化値ΔΡ 1、ΔΡ2，又測定從繼續檢查期間之開始經過時間 T2之時機的差壓變化値ΔΡ 3，及在檢查期間的最後時間 T2所發生的差壓變化値ΔΡ4，而從此些測定値作爲K=( ΔΡ3— ΔΡ4) / ( API — ΔΡ2 )求出修正係數 Κ。 -17- 200900674 在本發明中，測定差壓變化値ΔΡ 1、AP2的區間並不 是第12圖的檢查期間A3，而是在平衡期間Α2，此點爲 與依上述的專利文獻1的方法不相同。又，在檢查模式是 在第1圖中以與校正模式相同定時來測定差壓變化値 ΔΡ1’、ΔΡ2’、ΔΡ3’，而在結束第1檢查期間之後進行排氣 〇 藉由儀錶壓型漏洩檢查裝置進行測定的情形，也以與 第1圖同樣的定時來測定壓力變化値Δ Q 1、A Q 2、Δ Q 3、 △ Q4，而漂移修正係數也與在差壓檢測型的漏洩檢查裝置 所使用的漂移係數同樣的導出過程所求出之故，因而在此 僅說明有關於差壓變化値API、AP2、ΔΡ3、ΔΡ4。 隔熱變化後的熱平衡期間的壓力Pt的變化是衰減特 性之故，因而壓力變化是以 dP/dt=Ae_kt+C (1) t 的微分方程式所表示。式中A及k是常數，而C是漏洩 差壓的時間微分而被視爲一定。差壓的相差分（T時間後 的差壓變化）顯示，檢討修正係數如何地表現。 在平衡期間T1時間後，差壓變化是 ΔΡ =(A/k)(l-e'kT1) + CTl (2) T1 而在2T1時間後爲 ΔΡ =(A/k)(l-e'2kT1)+2CTl (3) 2T1 將平衡期間如第1圖所示地作爲2T1，將各該壓力變 化作爲API、ΔΡ2，則將式（2 ) 、 （ 3 )的（A/ k )作爲 -18- 200900674 (A/ k) =B，式（2 )及（3 )是 APl=B(l-e*kT1)4-CTl ⑷ ΔΡ1+ AP2=B(l-e'ZkT1) + 2CTl ⑸ 兩倍式（4)，減掉式（5)，則成爲 ΔΡ1- AP2=B(l-2e'kT1+e-2kT1) ⑹ 將平衡後的時間（檢查期間中的測定時間）作爲T2 (第1 圖） ΔΡ = ΔΡ1+ ΔΡ2+ AP3=B(l-e_k(2T1+T2))+C(2Tl+T2) (7) 2T1+T2 則式（7 ) -式（5 )是成爲差壓ΔΡ3。因此 AP3=B(e'2kT1-e'k(2ri+T2))+CT2 ⑻ 式（8 )的CT2是差壓ΔΡ4，惟藉由將計測時間作成充分 久，則氣體溫度會穩定，而隔熱變化的漂移成分是成爲零 ，而僅留下漏洩成分之故，因而求出ΔΡ4 ( =CT2 )，由式 (8 )減掉CT2，採取與式（6 )的比例，則成爲， [數1] AP3-CT2 e_2kT,-e'k(2Tl+T2) ^ ΔΡ1-ΔΡ2' l-2e-kT1+e-2kTI ~

在式（9)中，k是常數，T1、T2也是常數之故，因而K 也成爲常數。 在此，在使用於校正時的被檢查體存在著漏洩，即使 包括式（9)的ΔΡ3與漏洩成分CT2，在式（9)的分子也 作爲ΔΡ3 _ CT2之故，因而利用該減算，在式（9)的分 子被消去漏洩成分。亦即，式（9 )的分子是不包括漏洩 成分的檢測時的漂移量。將式（9 )予以變形，則成爲 200900674 厶 P3—CT2=K(AP1—AP2)=J (10) 若由式（9)求出常數K，則每次檢查時的漂移量J是藉 由式（10)，由在平衡期間所得到各差壓値ΔΡ1’、ΔΡ2’ 可求出。亦即在檢查模式中，由在第1平衡期間與第2平 衡期間的結束時機所測定的差壓變化値ΔΡ 1 ’、ΑΡ2 ’ ’就 可將第1檢查期間的結束時機的漂移量J估計爲( ΔΡ1’- AP2’）K。因此，可將對應於第1檢查期間的結束 時機的經漂移修正的漏洩的差壓變化値S估計爲S = AP3’ -J。 式（10)的含義，是意味著從平衡期間的差壓變化， 可估計檢查時的漂移量，又，意味著測定依加熱的隔熱變 化之後的陡峻的平衡過渡的差壓變化而來估計漂移量之故 ，因而即使將平衡期間作成較久，差壓變壓變化也變大， 檢查時的漂移値算出精度變高的情形。 考慮被檢查體的溫度的漂移修正係數與漂移量的算出方法 以上是被使用於漏洩檢查的漂移修正係數與漂移量的 導出過程。上述的漂移修正係數K的導出是被檢查體的 溫度與環境溫度爲相同溫度作爲前提。該前提條件是一般 性，極普通的漏洩檢查是在該前提條件下進行。 對於此，在漏洩檢查的事先處理工程，例如以高溫洗 淨工程進行，或僅以洗淨水洗淨的洗淨工程進行時，則被 檢查體是以具有與環境溫度不相同的溫度之狀態下被投進 檢查工程。在此種狀況下’僅以上述的漂移修正係數κ -20- 200900674 就無法進行漂移修正。以下，針對於被檢查體的溫度與環 境溫度不相同時的漂移修正係數與漂移量的算出方法。 在式（10)中，CT2(=AP4)是表示藉由被檢查體的 漏洩所發生的差壓變化値。在此，在被檢查體雖沒有漏洩 ，但是利用被檢查體與環境溫度差會有溫度變化發生在被 檢查體，而作成存在著溫度漂移者時，則溫度漂移是與漏 洩相同地可視爲進行一定的漂移變化者，將該溫度漂移作 爲ΔΡΤ則式（1 〇 )是成爲 ΔΡ3-ΔΡ =Κ(ΔΡ1-ΔΡ2) (11) Τ 式中ΔΡτ是依被檢查體的溫度與環境溫度的相差所致的溫 度漂移。該ΔΡτ是代替CT2者之故，因而溫度差是使用 沒有漏洩的被檢查體，而比例於檢查期間採取充分之後發 生於時間Τ2之間的壓力變化値ΑΡ4。將環境溫度作爲Θ ，將被檢查體的溫度作爲Θ時，則在將第1檢查期間與第 2檢查期間之間採取充分久之後的第2檢查期間所測定的 溫度漂移ΔΡτ是ΔΡτ = α ( Θ - Θ ) 、ct是比例常數，因此綜 合性漂移量JT是成爲 ]τ=Κ(ΔΡ1--ΔΡ2·)+α(Θ-θ) (12) 式中API’、ΔΡ2’是在檢查模式的第1及第2平衡期間的 結束時機分別所測定的差値變化値。欲求出比例常數α， 則在同一環境溫度下變更同一被檢查體的溫度而至少給予 兩個溫度Θ 1、Θ2的溫度變化，成爲在第2檢查期間必須 測定差壓變化値ΔΡ4ι與ΔΡ42。使用好像有漏洩的被檢查 體而將漏洩差壓作爲CT2，則在充分費了測定時間的狀態 -21 - 200900674 下，起因隔熱變化的漂移成分是被衰減，成爲零之故’因 而 (13) (14) ΟΤ2+α(Θΐ-θ1)=ΔΡ4 1 CT2+a(02- θ 1)= ΔΡ4 2 由式（13 )與（14 ) (15) α=(ΔΡ4 -ΔΡ4)/(Θ1-Θ2) 1 2 因此，式（12 )是成爲 J =Κ(ΔΡ1'- ΔΡ2,)+{(ΔΡ4 -ΔΡ4)/(Θ1-Θ2)}(Θ- Θ) (16) Τ 1 2 。漂移修正係數κ，及溫度漂移修正係數α是在校正模式 事先求出並加以記憶，而在檢測模式若在被檢查體的溫度 Θ，與環境溫度Θ，以及第1及第2平衡期間的結束時機 測定ΔΡ 1 ’、ΔΡ2 ’，則可求出包括藉由被檢查體的溫度與 環境溫度之不相同所發生的漂移的漂移量JT。藉由從在第 1檢查期間的時間T2 (第1圖）所測定的差壓變化値 ΔΡ3 ’減掉該漂移量，成爲可估計對應於真正漏洩的差壓變 化値 S = △ P 3，_ J τ。 漏洩檢查裝置 實施例1 在第2圖表示藉由依本發明漂移修正係數算出方法， 來算出漂移修正係數並予以動作的漏洩檢查裝置的一實施 例。在該實施例中，將空氣壓（氣體壓）從空氣壓源11 施加於被檢查體20與基準槽2 1，在施加空氣壓之後經過 -22- 200900674 所定時間之時機，利用在差壓檢測器22是否發生差壓而 來判定在被檢查體20是否有漏拽。 在表示於第2圖的漏洩檢查裝置的實施例中，以加壓 期間、平衡期間、檢查期間、排氣期間作爲一周期進行動 作。在該實施例中，設有在校正模式中由差壓檢測器22 的檢測訊號來測定如第1圖所示地把加壓期間結束後的平 衡期間的時間二等分成各個T 1，而經過該前半的時間T 1 的時機與經過後半的時間T 1的時機（在以下，將前半的 平衡期間稱爲第1平衡期間，而將後半的平衡期間稱爲第 2平衡期間）的差壓變化値ΔΡ 1及ΔΡ2，及發生在檢查期 間的時間T2 (將該檢查期間稱爲第1檢查期間）之間的 差壓變化値ΔΡ3，及充分延長檢查期間，發生在充分地穩 定隔熱變化的影響的時機再經過時間T2之間（將該期間 稱爲第2檢查期間）的差壓變化値CT2 ( =ΔΡ4 )的差壓變 化測定部40 — 1。又，在演算控制裝置50內設有：使用 在差壓變化測定部40 - 1所測定的差壓變化値ΔΡ 1、ΔΡ 2 ，及 ΔΡ3，CT2 而藉由 Κ> ( ΔΡ3 - CT2 ) / ( ΔΡ1 - ΔΡ2 ) 來算出漂移修正係數Κ的漂移修正係數算出部5 3 - 3 ’及 記憶以漂移修正係數算出部5 3 - 3所算出的漂移修正係數 Κ的漂移修正係數記憶部53- 4，及在檢查模式中對各個 被檢查體算出漂移量J的漂移量算出記憶部53_5’及從 在檢查模式所測定的差壓變化値Δ Ρ 3 ’減掉漂移量J而算 出對應於真正漏洩量的差壓變化値S的漏洩量算出部5 3 _ 6，及判定部5 3 — 7。 -23- 200900674 差壓變化測定部40 — 1是藉由：利用重調訊號可重調 成重調狀態的自動重調零式放大器41，及將重調訊號輸入 至該自動重調零式放大器41的重調訊號發生器42，及取樣 從自動重調零式放大器41所輸出的差壓訊號的取樣保持電 路4 3 ’及AD轉換被取樣保持在該取樣保持電路4 3的差壓 訊號的AD轉換器44所構成。 在校正模式中欲測定差壓變化値ΔΡ丨與AP2，首先在 被檢查體20的裝設部裝設經確認沒有漏洩的被檢查體2〇 ，而將空氣壓從空氣壓源11施加於被檢查體20與基準槽 2 1所定時間大約3〜5秒鐘。但是，該期間是藉由試驗壓力 ，被檢查體的形狀，材質而不相同。在經過所定時間的時 機’而從將閥16與17控制成關閉的時機進入平衡期間。在 本發明中’在進入平衡期間的時機，將增益給與自動重調零 式放大器41’而在第1平衡期間與第2平衡期間進行差壓 變化値AP1、ΔΡ2的測定。在第3圖表示該樣子。表示於第 3圖的曲線A是自動重調零式放大器41的放大輸出。又， 表示於第3圖的曲線A是表示從加壓期間結束時機就在自 動重調零式放大器4 1具有增益而開始測定的狀態。 重調訊號發生器42是從開始計測的定時，每當經過第 1平衡期間與第2平衡期間及每當經過第1檢查期間，將重 調零訊號給予自動重調零式放大器4 1，俾將自動重調零式 放大器4 1的增益重調成瞬時零的狀態。差壓變化値ΔΡ 1、 ΔΡ2、ΔΡ3及CT2是表示每當自動重調零式放大器41經過 時間T 1及時間T2而剛被重調之前的差壓變化値。 • 24- 200900674 被取樣保持在取樣保持電路43的差壓變化値ΔΡ 1與 ΔΡ2及ΔΡ3與CT2，是在AD轉換器44被AD轉換，而被 拿入演算控制裝置50。 演算控制裝置50是藉由電腦系統可構成。電腦系統是 如所眾知地藉由中央演算處理裝置51，及存儲程式等的讀 出專用記憶體52，及記憶所輸入的資料等的可重寫的記億 體53’及輸入卑54，及輸出i阜55所構成。 在該實施例表示設置在可重寫的記憶體53設置實測値 記憶器53 - 1，並且在其他的記憶領域構成控制重調訊號發 生器42、取樣保持電路43，閥14、16、17等的控制部53 - 2的程式’及構成漂移修正係數算出部53 - 3的程式的記 憶領域，及構成漂移修正係數記億部5 3 - 4的記憶領域，及 存儲構成漂移量算出記憶部53 — 5的程式的領域，及存儲構 成漏洩量算出部53 - 6的程式的記憶領域，及存儲構成判定 部53 - 7的程式的記憶領域的情形。 在本發明中，在校正模式中如上述地，由差壓變化値 ΔΡ1與ΔΡ2及ΔΡ3與CT2的測定値來求出漂移修正係數K 。依照該漂移修正係數算出方法，藉由式（9)從差壓變化 値ΔΡ 1與ΔΡ2及AP3與CT2求出漂移修正係數K。 在漂移修正係數算出部53 - 3實行該式（9)的演算， 而將該算出結果作爲校正値K而被記憶在漂移修正係數記 憶部5 3 - 4。當完成該記憶，則校正模式是結束。該校正模 式是只要記憶漂移修正係數K，則在被檢查體的尺寸、形 狀等有變化時，或是檢查條件（試驗壓、檢查時間等）有變 -25- 200900674 化時，重新校正的程度就可以。 在檢查模式中與校正模式同樣地，在被檢查體20與 基準槽21施加氣體壓（空氣壓），而在施加氣體壓之後 將閥1 6與1 7控制成關閉的狀態，而在經過加壓期間之後 ，在自動重調零式放大器41給予增益，而在第1平衡期間 及第2平衡期間與檢查期間來測定差壓變化値ΔΡ 1 ’與 △ P2’及AP3’（參照第4圖）。若得到差壓變化値ΔΡ1’、 △ P2’、ΔΡ3’，則漂移量算出記憶部53 — 5被起動，而算出 被包括於差壓變化値AP3’的漂移量J。 依本發明的漂移量J的算出方法是讀出被記憶在漂移 修正係數記憶部53 - 4的漂移修正係數K，藉由該漂移修 正係數K與在檢查模態所測定的差壓變化値ΔΡ 1 ’、ΔΡ2 ’ ，在漂移量算出記憶部5 3 - 5，藉由 】=(ΔΡ1’_ΔΡ2’)Κ (17) 所算出。藉由該漂移量J來修正ΔΡ3’的數値，可視作爲包 括恰似費久時間把差壓値變化收斂在一定値的狀態的差壓變 化値ΔΡ3’的漂移量。亦即，藉由從檢查期間所測定的差壓 變化値ΔΡ3’減掉漂移量J，而藉由 S=AP3，一J (18) 可算出相當於真正的漏洩量的差壓變化値S。該算出是在漏 洩量算出部5 3 - 6所實行。 當相當於漏洩量的差壓變化値（經漂移修正的數値）S 被算出，則判定部5 3 - 7是比較相當於漏洩量的差壓變化 値S與基準値RV，而相當於漏洩量的差壓變化値S比基 -26- 200900674 準値RV還大，則判定爲「有漏洩」。該判定結果是從輸 出埠55被輸出至外部。 實施例2 第5圖是表示使用漂移量算出方法來實施漏洩檢查的 漏洩檢查裝置的第2實施例。 該實施例是對於第2圖的實施例，再設置測定環境溫 度Θ與被檢查體的溫度Θ的溫度感測器25及26，而在演 算控制裝置5 0作成設置溫度係數算出部5 3 _ 8，及記憶 該溫度係數算出部5 3 - 8所算出的溫度係數α的溫度係數 記憶部5 3 — 9的構成。 溫度係數算出部53-8是在校正模式中，藉由式（15 )來算出在相同被檢查體的不相同的溫度Θ 1、Θ2所測定 而被求出的溫度漂移修正係數α。當溫度係數算出部5 3 -8算出溫度漂移修正係數α，則溫度係數記憶部5 3 - 9是 記錄該溫度係數α。 在檢查模式中，當從漂移修正係數記憶部5 3 - 4讀出 漂移修正係數Κ之同時，從溫度係數記憶部5 3 - 9讀出溫 度係數α。與此同時地，藉由溫度感測器25、26來測定 環境溫度Θ與被檢查體20的溫度Θ，並將氣體壓施加於 被檢查體20與基準槽21。在從加壓期間的結束時機開始 的平衡期間每一時間τ 1地測定差壓變化値ΔΡ 1 ’與ΔΡ2 ’。 又測定在檢查期間中的時間Τ2所發生的差壓變化値ΔΡ 3 ’ 。使用此些測定値API’、ΔΡ2’、ΑΡ3’及溫度測定値θ、Θ -27- 200900674 ，首先，漂移量算出記憶部5 3 - 5是藉由式（1 2 )算出漂 移量j T。 又，漏洩量算出部53 - 6是使用漂移量算出記憶部 53-5所算出的漂移量JT，將對應於被檢查體20的真正 漏洩量的差壓變化値S，藉由 S=AP3’一J (19)

T 算出。對應於在此所得到的漏洩量的差壓變化値s，是即 使被檢查體20的溫度Θ與環境溫度Θ不一致時，也成爲 接近於除去藉由該溫度差所發生的漂移量的真正漏洩量的 差壓變化値。 當漏洩量算出部5 3 - 6算出對應於漏洩量的差壓變化 値S，則判定部5 3 - 7是將差壓變化値S與基準値RV相 比較，若比基準値RV還小則判定爲「沒有漏洩」，若還 大則判定爲「有漏洩」。 實施例3 第6圖是表示將本發明適用於儀錶壓型漏洩檢查裝置 的實施例。與表示於第2圖的差壓式漏洩檢查裝置不同處 ，是在儀錶型漏洩檢查裝置未設置基準槽21，而作成僅 將空氣壓直接施加於被檢查體2 〇的構成，作爲測定被檢 查體20內的壓力變化的構成。所以，在該實施例3，將 藉由自動重調零式放大器41，及重調訊號發生器42，及 取樣保持電路43，及AD轉換器44所構成的部分稱爲壓 力變化測定部40 — 2。 -28- 200900674 在儀錶型漏洩檢查裝置，也在校正模式將平衡期 成兩半，每當經過第1平衡期間與第2平衡期間的各 T 1，測定發生在該時間內的壓力變化値AQ 1、AQ2。 在第1檢查期間內測定在經過時間T2的時間內所發 壓力變化値AQ3。又，將從開始檢查經過充分時間的 從加壓期間經過數1 〇秒鐘的時機經過時間T2之間所 的被檢查體20內壓力變化ΔΡ4測定作爲AC，而從此 定値藉由( AQ3 — AC ) / ( AQ1 — AQ2 )來算出漂 正係數Κ。 該漂移修正係數Κ之算出是與第2圖的實施例同 ，在設於演算控制裝置5 0的漂移修正係數算出部5 3 -實行。被算出的漂移修正係數是被記憶在漂移修正係 憶部53 — 4，結束校正模式。 在檢查模式中與校正模同樣地，在平衡期間測定 與AQ2’，而在檢查期間測定AQ3 ’。由此些測定値與 修正係數Κ，漂移量算出記憶部53 - 5是藉由J=( 一 AQ2’）K來算出漂移量J。漏洩量算出部53— 6是 檢查期間所測定的測定値AQ3 ’來減掉漂移量算出記 5 3 - 5所算出的漂移量J而得到對應於漂移修正的真 洩量的壓力變化値S = AQ3 ’ — J。判定部5 3 — 7是將對 漂移修正的真正漏洩量的壓力變化値S與基準値RV 較，若壓力變化値S超過基準値RV，則判定爲「有 」，而比基準値RV小，則判定爲「沒有漏洩」。 間分 時間 又， 生的 例如 發生 些測 移修 樣地 -3被 數記 △ Q 1， 漂移 AQ 1， 從在 憶部 正漏 應於 相比 漏洩 -29- 200900674 實施例4 第7圖是表示在第6圖的儀錶壓型漏洩檢查裝置， 第5圖同樣地設置環境溫度測定用的溫度感測器25, 測定被檢查體20的溫度的溫度感測器26，藉由此些溫 感測器25與26所測定的環境溫度Θ，及測定被檢查體 的溫度Θ，即使環境溫度Θ與被檢查體20的溫度Θ不相 的情形，也作成可實行真正的漂移修正的實施例。 除了空氣壓電路爲儀錶壓型以外是與表示於第5圖 實施例相同之故，因而在此省略了以上的說明。 變形例 在上述的第2、5、6、7圖的各實施例中，在差壓 化測定部40 - 1或壓力變化測定部40 - 2使用自動重調 式放大器41，而如第3圖所示地，在第1及第2平衡期 ，與第1及第2檢查期間的各開始定時進行重調零，在 期間的結束時機直接檢測出差壓變化値ΔΡ 1、ΔΡ2、ΔΡ3 CT2 (或是 AQ1、AQ2、AQ3、AC )的情形，惟也可知 進行重調零。例如檢測出第1圖的差壓特性曲線的各定 的差壓値P〇、PI、P2、P3、P4、P5，而在演算控制裝 50內將差壓變化求出作爲 ΔΡ1=Ρ1—Ρ0、AP2 = P2— P1 ΔΡ3=Ρ3 — P2、CT2 = P5 — P4 也可以。 又，在此些各實施例中，如第1圖及第3圖所示地 表示在第1平衡期間，第2平衡期間及第1檢查期間未 次隔著間隔而加以設定的情形，惟在此些期間之間隔著 與 及 度 20 同 的 變 零 間 各 > 未 時 置 依 比 -30- 200900674 此些期間隔著還短而被決定的間隔也可以。 實驗例

在第13圖表示依第2圖的實施例的漂移修正的實驗 例。在此作爲被檢查體使用確認沒有漏洩的槽。又，依本 . 發明的漂移修正係數算出方法所算出的漂移修正係數K 是由24 °C的被檢查體所得到的資料算出。室溫（封入於 f 被檢查體與基準槽的氣體溫度）是24t。 圖中左欄A是被檢查體的溫度，B欄是在第1平衡期 間（2.5秒鐘）所測定的差壓値ΔΡ 1 ’，C欄是在第2平衡 期間（2.5秒鐘）所測定的差壓値ΔΡ 2 ’，D欄是在檢查期 間（3秒鐘）所測定的差壓値ΔΡ3’，E欄是API’ 一 AP2’之 數値，F欄是依本發明的漂移修正係數算出方法所算出的 漂移修正係數K之數値，在此，爲由在24°C的被檢查體所 測定的各測定値的平均値求出，作爲0 · 0 8 7。G欄是漂移 ( 修正量J=(AP1’—AP2’）K的數値，而Η欄是表示藉由 表示於G欄的漂移修正量J來漂移修正D欄的測定値 - ΔΡ3’的修正結果 S = AP3’ 一 J。差壓的單位是daPa ( Deka

Pascal ) ° 爲了比較，在I欄表示將在表示於D欄的最下段的標 準溫度24°C的檢查期間的差壓値ΔΡ3’的平均値4.1 ( daPa )利用作爲固定的漂移修正量厂，並從在表示於D欄的 檢查期間所測定的差壓値ΔΡ3’減掉該固定漂移修正量J’ 的數値。 -31 - 200900674 由B欄、C欄、D欄可知在第1平衡期間，第2平衡 期間分別得到的差壓値是成爲ΔΡ1’ > ΔΡ2’ > ΔΡ3’之關係 ，尤其是在第〗平衡期間所得到的差壓値ΔΡ 1 ’與在第2 平衡期間所得到的差壓値ΔΡ2 ’之相差的數値（E欄）的數 値是呈現較大的數値。 - 在本發明中，在平衡期間以Κ= ( ΔΡ3’ 一 CT2 ) / ( . ΔΡ1 ’ 一 ΔΡ2’）求出漂移修正係數Κ之故，因而即使分母之 f 數値作成較大，或是將平衡期間延長，也不會使分母接近 於零。在此點上，可得到高可靠性的漂移修正係數K。 使用在表示於第1 3圖的實驗例確認沒有漏洩的被檢 查體來進行漏洩檢查的實驗。所以本來漂移修正結果是應 表示幾乎零，惟依照使用表示於I欄的固定漂移値（4.1) 的修正方法，則修正結果分布在+ 1 . 2〜一 0.6。 對於此，依照使用依本發明的漂移修正係數的漂移修 正方法，則如Η欄所示地分布於+ 〇. 4--〇 . 2之間，無限 ( 地被收斂在近於零的數値。由此就可看出依本案發明的漂 移修正係數Κ的可靠性高的情形。 . 【圖式簡單說明】 第1圖是表示用於說明本發明的漂移修正係數算出方 法的圖表。 第2圖是表示用於說明實行本發明的漂移修正係數算 出方法，算出漂移修正係數，記憶該漂移修正係數，而在 檢查模式可利用的漏洩檢查裝置的實施例的方塊圖。 -32- 200900674 第3圖是表示用於說明使用圖示於第2圖的漏洩檢查 裝置來算出依本發明的漂移修正係數的動作的圖表。 第4圖是表示用於說明在圖示於第2圖的漏洩檢查裝 置來算出漂移修正係數，而使用該漂移修正係數來進行漏 洩檢查的動作的圖表。 第5圖是表示用於說明本發明的漂移修正係數算出方 法，漂移量算出方法，漂移修正方法的其他例子的方塊圖 〇 第6圖是表示用於說明以儀錶壓型漏洩檢查裝置來實 現本發明的漂移修正係數算出方法的實施例的方塊圖。 第7圖是表示用於說明將本發明的其他的漂移修正係 數算出方法適用於儀錶壓型漏洩檢查裝置的例子的方塊圖 〇 第8圖是表示用於說明習知的漏洩檢查裝置的構成的 方塊圖。 第9圖是表示用於說明習知的漏洩檢查裝置的漂移修 正方法的圖表。 第10圖是表示用於說明習知的漏洩檢查裝置的漂移 修正方法的其他例子的圖表。 第11圖是表示用於說明習知的儀錶壓型漏洩檢查裝 置的構成的方塊圖。 第1 2圖是表示用於說明漏洩檢查裝置的一般性動作 周期的圖表。 第1 3圖是表示用於說明確認本發明的效果所用的實 -33- 200900674 驗例的圖式。 【主要元件符號說明】 η :空氣壓源 14、 16、 17:閥 2 0 :被檢查體 21 :基準槽 22 :差壓檢測器 2 5、2 6 :溫度感測器 4 0 — 1 :差壓變化S!J定部 40— 2 :壓力變化測定部 4 1 :自動重調零式放大器 42 :重調訊號發生器 43 :取樣保持電路 4 4 : A D轉換器 5 0 :演算控制裝置 5 3 - 3 :漂移修正係數算出部 5 3 - 4 :漂移修正係數記憶部 5 3 - 5 :漂移量算出記憶部 5 3 - 6 :漏洩量算出部 5 3 — 7 :判定部 5 3 - 8 :溫度係數算出部 5 3 - 9 :溫度係數記憶部 -34

Claims (1)

1. 200900674 十、申請專利範圍 1. 一種漏洩檢查方法，是將氣體施加於被檢查體與基 準槽，而在經過所定時間的時機是否在兩者間發生所定値 以上的差壓’藉由此，來判定在上述被檢查體是否有漏洩 的漏洩檢查方法，其特徵爲： 在校正模式，包括： (a - 1 )將所定壓力僅所定時間長度的加壓期間施加 、停止氣體壓於被檢查體與基準槽的步驟；及 (a - 2 )測定產生於上述加壓期間結束後的第1平衡 期間的上述被檢查體與上述基準槽的第1差壓變化値ΔΡ 1 的步驟；及 (a - 3 )測定產生於上述第1平衡期間結束後的第2 平衡期間的上述被檢查體與上述基準槽的第2差壓變化値 ΔΡ2的步驟；及 (a- 4)測定產生於上述第2平衡期間結束後的第1 檢查期間的上述被檢查體與上述基準槽的第3差壓變化値 ΔΡ3的步驟；及 (a - 5 )測定產生於上述第1檢查期間結束後的第2 檢查期間的上述被檢查體與上述基準槽的第4差壓變化値 ΔΡ4的步驟；及 (a - 6 )依據上述第3及第4差壓變化値的相差（ ΔΡ3 — AP4 )，及上述第1及第2差壓變化値的相差（ΔΡ1 —ΔΡ2 )的比例，來計算對應於被包括於上述第3差壓變 化値ΔΡ 3的漂移量的漂移修正係數K而加以記憶，並將 -35- 200900674 上述被檢查體與上述基準槽予以排氣的步驟， 在檢查模式，包括： (b — 1 )將上述所定壓力僅上述加壓期間施力卩、停止 氣體壓於上述被檢查體與上述基準槽的步驟；及 (b - 2)測定產生於上述第1平衡期間的上述被檢查 體與上述基準槽的第1差壓變化値ΑΡΓ的步驟；及 (b — 3 )測定產生於上述第2平衡期間的上述被檢查 體與上述基準槽的第2差壓變化値ΔΡ2’的步驟；及 (b - 4)測定產生於上述第1檢查期間的上述被檢查 體與上述基準槽的第3差壓變化値ΔΡ3’的步驟；及 (b - 5 )依據上述第1及第2差壓變化値的相差（ ΔΡ1’- ΔΡ2’）與上述漂移修正係數K，來估計被包括於上 述第3差壓變化値ΔΡ3 ’的漂移量的步驟；及 (b_6)從上述第3差壓變化値ΔΡ3’減算上述漂移 量來估計上述被檢查體的漏洩量，並將上述被檢查體與上 述基準槽予以排氣的步驟。 2 ·如申請專利範圍第1項所述的漏洩檢查方法，其中 ’上述第1及第2平衡期間是相同時間長度，而上述第1 及第2檢查期間是相同時間長度。 3 ·如申請專利範圍第2項所述的漏洩檢查方法，其中 ’上述步驟（a - 6)是將上述漂移修正係數κ藉由K=( ΔΡ3 — ΑΡ4 ) / ( ΔΡ1 - ΔΡ2 )求出，上述步驟（b — 5 )是 將上述漂移量J藉由J = K(AP1’—AP2’）求出，上述步驟 (b - 6 )是將對應於上述漏洩量的差壓變化値藉由 -36- 200900674 S = AP3 ’ - J 求出。 4 .如申請專利範圍第2項所述的漏洩檢查方法，其中 ，上述校正模式是將相同被檢查體以不相同的兩個溫度 Θ1，Θ2重複實行上述步驟（a — 1)〜（a - 5)，分別得 到第4差壓變化値AP4i、ΔΡ42，而在步驟（a— 6)，進 一步將溫度漂移修正係數α藉由α=(ΔΡ4ι - ΔΡ42) / ( Θ 1 - Θ 2 )求出並予以記憶，將上述檢查模式的上述被檢 查體的溫度作爲Θ，而將環境溫度作爲0時，上述步驟（ b — 5)是將上述漂移量藉由JT = K(AP1’ — ΑΡ2’）+α( Θ — Θ)求出’而上述步驟（b - 6)是將對應於上述漏洩量的 差壓變化値藉由S = AP3’一 JT求出。 5 _如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的漏 洩檢查方法’其中，上述步驟（b - 6 )是包括將對應於上 述所估計的漏洩量的差壓變化値與基準値比較，藉由比基 準値還大’或還小，來判定被檢查體有無漏洩的步驟。 6.—種漏洩檢查裝置，其特徵爲： 包括： 將氣體壓施加於被檢查體與基準槽的空氣壓源；及 將所定壓力的氣體從上述空氣壓源僅所定時間長度的 加壓期間施加於被檢查體與基準槽，而在施加結束後測定 發生在上述被檢查體與基準槽間的差壓變化値的差壓測定 部；及 在校正模式’將氣體壓僅上述加壓期間施加於上述被 檢查體與上述基準槽’在上述加壓期間結束後的第1平衡 -37- 200900674 期間，與連續於該期間的第2平衡期間分別產生，由藉由 上述差壓測定部所測定的第1及第2差壓變化値AP1、 ΔΡ2，及在上述第2平衡期間的結束後的第1檢查期間， 與其後的第2檢查期間分別產生，由藉由上述差壓測定部 所測定的第3及第4差壓變化値ΔΡ3、ΔΡ4，依據上述第 3及第4差壓變化値的相差（ΔΡ3 — ΔΡ4 )，及上述第1及 第2差壓變化値的相差（ΔΡ 1 — ΔΡ2 )的比例，來計算對 應於被包括於上述第3差壓變化値ΔΡ 3的漂移量的漂移修 正係數K的漂移修正係數算出部；及 記憶上述漂移修正係數K的漂移修正係數記憶部； 及 在檢查模式，將氣體壓僅上述加壓期間施加於上述被 檢查體與上述基準槽，在上述加壓期間結束後的第1平衡 期間，與連續於該期間的第2平衡期間分別產生，由藉由 上述差壓測定部所測定的第1及第2差壓變化値ΔΡ 1 ’、 ΔΡ2’，及在上述第2平衡期間結束後的第1檢查期間產生 ，由藉由上述差壓測定部所測定的第3差壓變化値ΔΡ 3 ’ ，依據上述第1及第2差壓變化値的相差（API’ — ΔΡ2’） 與上述漂移修正係數K，來算出被包括於上述第3差壓變 化値ΔΡ 3 ’的漂移量的漂移量算出部；及 從上述第3差壓變化値AP3 ’減算上述漂移量而得到 被漂移修正的差壓變化値S的漂移修正部；及 將上述差壓變化値S與設定値相比較，若差壓變化値 S超過設定値，則判定在上述被檢查體有漏洩的判定部。 -38- 200900674 7 .如申請專利範圍第6項所述的漏洩檢查裝 ’上述第1及第2平衡期間是相同時間長度，而 及第2檢查期間是相同時間長度。 8 .如申請專利範圍第7項所述的漏洩檢查裝置 ’上述漂移修正係數算出部是將上述漂移修正係襲 由 K=(AP3 - ΔΡ4) / (API — ΔΡ2)求出，上述漂 出部是將上述漂移量J藉由J = K ( AP 1，一 ΔΡ2,）求 述漂移修正部是將對應於上述漏洩量的差壓變化 S二ΔΡ3’ — J 求出。 9.如申請專利範圍第7項所述的漏洩檢查裝置 ，又包括在上述校正模式以相同被檢查體的不相同 溫度Θ 1，Θ2，從藉由上述差壓測定部分別得到的J 壓變化値ΔΡ4!、ΔΡ42算出溫度漂移修正係數α=( ΔΡ42 ) / ( Θ 1 — Θ2 )的溫度係數算出部，及記憶 度漂移修正係數α的溫度係數記憶部，將上述檢查 上述被檢查體的溫度作爲Θ，而將環境溫度作爲θ 述漂移量算出部是將上述漂移量藉由JT = K ( ΔΡΓ )+α ( Θ - Θ )求出，而上述漂移修正部是作 S = AP3’— JT求出上述被漂移修正的差壓變化値。 1 〇 . —種漏洩檢查方法，是將氣體施加於被檢 而在經過所定時間的時機是否發生所定値以上的壓 ，藉由此，來判定在上述被檢查體是否有漏洩的漏 方法，其特徵爲： 在校正模式，包括： ，其中 :述第1 ，其中 女K藉 移量算 出，上 値藉由 ，其中 的兩個 赛4差 ΔΡ4ι -上述溫 模式的 時，上 1 — ΔΡ2 ’ 成藉由 查體， 力變化 洩檢查 -39- 200900674 (a- 1 )將所定壓力僅所定時間長度的加壓期間施加 、停止氣體壓於被檢查體的步驟；及 (a - 2 )'測定產生於上述力卩壓期間結束後的第1平衡 期間的上述被檢查體的第1壓力變化値Δ Q 1的步驟；及 (a - 3 )測定產生於上述第1平衡期間結束後的第2 平衡期間的上述被檢查體的第2壓力變化値AQ2的步驟 ;及 (a- 4 )測定產生於上述第2平衡期間結束後的第1 檢查期間的上述被檢查體的第3壓力變化値AQ3的步驟 ;及 (a - 5)測定產生於上述第1檢查期間結束後的第2 檢查期間的上述被檢查體的第4壓力變化値AQ4的步驟 :及 (a - 6 )依據上述第3及第4壓力變化値的相差（ AQ3 - AQ4 ) ’及上述第1及第2壓力變化値的相差（ △ Ql- AQ2)的比例’來計算對應於被包括於上述第3壓 力變化値Δ Q 3的漂移量的漂移修正係數κ而加以記憶， 並將上述被檢查體予以排氣的步驟， 在檢查模式，包括： (b — 1 )將上述所定壓力僅上述力口壓期間施力口、停止 氣體壓於上述被檢查體的步驟；及 (b- 2)測定產生於上述第1平衡期間的上述被檢查 體的第1壓力變化値AQ 1 ’的步驟·，及 (b - 3 )測定產生於上述第2平衡期間的上述被檢查 -40- 200900674 體的第2壓力變化値AQ2’的步驟；及 (b - 4)測定產生於上述第1檢查期間的上述被檢查 體的第3壓力變化値AQ3’的步驟；及 (b - 5)依據上述第1及第2壓力變化値的相差（ AQ1’ 一 AQ2’）與上述漂移修正係數K，來估計被包括於 上述第3壓力變化値AQ3’的漂移量的步驟；及 (b — 6)從上述第3壓力變化値AQ3’減算上述漂移 量來估計上述被檢查體的漏洩量，並將上述被檢查體予以 排氣的步驟。 1 1 .如申請專利範圍第1 〇項所述的漏洩檢查方法，其 中，上述第1及第2平衡期間是相同時間長度，而上述第 1及第2檢查期間是相同時間長度。 12.如申請專利範圍第1 1項所述的漏洩檢查方法，其 中，上述步驟（a - 6)是將上述漂移修正係數K藉由K = (AQ3—AQ4) / ( AQ1 - AQ2 )求出，上述步驟（b—5) 是將上述漂移量J藉由J = K(AQ1’—AQ2’）求出，上述步 驟（b - 6 )是將對應於上述漏洩量的壓力變化値藉由 S = AQ3’ — J求出的步驟。 1 3 .如申請專利範圍第1 1項所述的漏洩檢查方法，其 中，上述校正模式是將相同被檢查體以不相同的兩個溫度 Θ1，Θ2重複實行上述步驟（a_l)〜（a - 5)，分別得 到第4壓力變化値AQ4!、AQ42，而在步驟（a-6)，進 一步將溫度漂移修正係數α藉由/ ( Θ1— Θ2)求出並予以記憶，將上述檢查模式的上述被檢 -41 - 200900674 查體的溫度作爲Θ，而將環境溫度作爲Θ b_5)是將上述漂移量藉由Jt = K(AQ1’ 一 Θ)求出，而上述步驟（b - 6)是將對 的壓力變化値藉由S = AQ3’ 一 JT求出。 1 4 .如申請專利範圍第1 〇項至第1 3 的漏洩檢查方法，其中’上述步驟（b — 6 於上述所估計的漏洩量的壓力變化値與基 比基準値還大，或還小’來判定被檢查體 〇 15.—種漏洩檢查裝置，其特徵爲： 包括： 將氣體壓施加於被檢查體的空氣壓源 將所定壓力的氣體從上述空氣壓源僅 加壓期間施加於被檢查體，而在施加結束 述被檢查體的壓力變化値的壓力測定部； 在校正模式，將氣體壓僅上述加壓期 檢查體，在上述加壓期間結束後的第1平 於該期間的第2平衡期間分別產生，由藉 部所測定的第1及第2壓力變化値AQ1、 第2平衡期間的結束後的第1檢查期間， 查期間分別產生，由藉由上述壓力測定部 第4壓力變化値AQ3、AQ4，依據上述第 化値的相差（AQ3- AQ4)，及上述第1 ; 値的相差（AQ1 — AQ2 )的比例，來計算 時，上述步驟（ 一 AQ2,）+α ( Θ 應於上述漏洩量 項中任一項所述 )是包括將對應 準値比較，藉由 有無漏洩的步驟 ;及 所定時間長度的 後測定發生在上 及 間施加於上述被 衡期間，與連續 由上述壓力測定 △Q2，及在上述 與其後的第2檢 所測定的第3及 3及第4壓力變 反第2壓力變化 對應於被包括於 -42- 200900674 上述第3壓力變化値AQ3的漂移量的漂移修正係數K的 漂移修正係數算出部；及 記憶上述漂移修正係數Κ的漂移修正係數記憶部； 及 在檢查模式，將氣體壓僅上述加壓期間施加於上述被 檢查體，在上述加壓期間結束後的第1平衡期間，與連續 於該期間的第2平衡期間分別產生’由藉由上述壓力測定 部所測定的第1及第2壓力變化値AQl’、AQ2’，及在上 述第2平衡期間結束後的第1檢查期間產生，由藉由上述 壓力測定部所測定的第3壓力變化値AQ3 ’，依據上述第1 及第2壓力變化値的相差（AQ1’- AQ2’）與上述漂移修 正係數Κ，來算出被包括於上述第3壓力變化値AQ3 ’的 漂移量的漂移量算出部；及 從上述第3壓力變化値AQ3 ’減算上述漂移量而得到 被漂移修正的壓力變化値S的漂移修正部；及 將上述壓力變化値S與設定値相比較，若壓力變化値 S超過設定値，則判定在上述被檢查體有漏洩的判定部。 1 6 .如申請專利範圍第1 5項所述的漏洩檢查裝置，其 中，上述第1及第2平衡期間是相同時間長度，而上述第 1及第2檢查期間是相同時間長度。 1 7 ·如申請專利範圍第1 5項所述的漏洩檢查裝置，其 中，上述漂移修正係數算出部是將上述漂移修正係數Κ 藉由K=(AQ3 - AQ4) / (AQl— AQ2)求出，上述漂移 量算出部是將上述漂移量J藉由J = K(AQ1’一AQ2，）求出 -43- 200900674 ，上述漂移量修正部是將對應於上述漏洩量的壓力變化値 藉由S = AQ3’ 一 J求出。 1 8 .如申請專利範圍第1 5項所述的漏洩檢查裝置，其 中，又包括在上述校正模式以相同被檢查體的不相同的兩 個溫度Θ 1，Θ2，從藉由上述壓力測定部分別得到的第4 壓力變化値AQ4,、AQ42算出溫度漂移修正係數a= ( AQh -AQ42 ) / ( Θ 1 - Θ2 )的溫度係數算出部，及記憶上述 溫度漂移修正係數α的溫度係數記憶部，將上述檢查模式 的上述被檢查體的溫度作爲Θ，而將環境溫度作爲θ時， 上述漂移量算出部是將上述漂移量藉由JT = K ( AQ1，— △ Q2’）+α( Θ— Θ)求出’而上述漂移修正部是作成藉由 S = AQ3’一 JT求出上述被漂移修正的壓力變化値。 -44-