TW200900162A - Slit nozzle - Google Patents

Description

200900162 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於以一定寬度將塗佈液塗佈在基板表面的 狹縫式噴嘴。 【先前技術】 將光阻等塗佈液塗佈在玻璃基板等之表面的方法，有 利用旋轉塗佈者’其係將液塗佈從一般之噴嘴滴至基板表 面’然後藉由使之高速旋轉以形成均一之厚度。然而，以 該方法所塗佈之塗佈液有90%以上會飛散而造成很大的 浪費。因此，最近所進行之方法係使用狹縫式噴嘴以一定 寬度將塗佈液塗佈在基板之後，使之以某種程度旋轉來形 成均一之塗膜厚度，或使用狹縫式噴嘴以一定寬度將塗佈 液塗佈在基板但不使之旋轉而結束塗佈步驟。 如上述，爲減少塗佈液之浪費其條件係盡可能不要使 基板旋轉並使塗膜厚度均一。因此，對狹縫式噴嘴必須要 求沿著狹縫狀吐出口從吐出口所吐出之塗佈液的量爲均 一。爲確保該均一性以往已提出各種提案。 圖6 (a)係表示習知狹縫式噴嘴之槪要的立體圖，（b) 係表示構成同狹縫式噴嘴之噴嘴半體的圖。狹縫式噴嘴 1 00，係由2個半體1 0 1、1 02相對向組合所構成，在一側 之半體1 01的中央形成塗佈液供給孔1 03，從該塗佈液供 給孔1 03所供應之塗佈液，係透過形成於2個半體1 0 1、 1 0 2間之流路1 〇 4，從狹縫狀吐出口 1 〇 5朝向基板表面塗 -5- 200900162 佈。又，以往係將流路1 04形成爲經過頂板部之山形，並 在其頂部開設供將流路1 04內之氣泡排出的氣泡排出口 106。 然而，最近爲因應基板尺寸之大型化，狹縫式噴嘴亦 大型化，隨此流路1 04之頂板部的傾斜度變小而逐漸產生 流路內之氣泡無法充分脫離的問題。若氣泡不易脫離，則 會延長氣泡去除作業所須之閒置時間，且脫離不完全所殘 留之氣泡會與塗佈液一起從吐出口排出，而成爲在塗膜產 生條紋的原因。 專利文獻1中，如圖6(c)所示，係將進行狹縫式噴嘴 內之氣泡排出的通氣口設在狹縫式噴嘴之長邊方向的兩端 部。此外，使狹縫式噴嘴之氣泡累積部內的上部，以從狹 縫式噴嘴之中央部向兩端部緩緩變高的方式，傾斜成v 字形。 又，專利文獻2中，係藉由吸引泵所產生之氣泡吸引 以將來自狹縫式噴嘴之氣泡排出。 [專利文獻1]日本特開2006 - 2 1 2592號公報 [專利文獻2]日本特開2006-87999號公報 【發明內容】 [發明欲解決之課題] 專利文獻1所揭示之狹縫式噴嘴，氣泡雖容易脫離’ 但僅在兩端之通氣口到進行氣泡排出之通氣口之距離較 遠，所以未必是萬全。又，由於氣泡蓄積部內之上部’係 -6- 200900162 以自狹縫式噴嘴之中央部向兩端部緩緩變高的方式傾斜， 因此氣泡呈大容量蓄積。 又，一般亦認爲由於相對於塗佈液量空氣所佔之容積 相對變大，因此因空氣所造成之阻尼效果，導致塗佈液供 給泵所產生之對塗佈液的加壓不足，而使吐出壓之控制變 得困難。 又，以專利文獻2所揭示之利用吸引泵的方法，係難 以分離吸引混在塗佈液中之氣泡。 [用以解決課題之手段] 爲解決上述課題，本發明係一種狹縫式噴嘴，形成有 供應塗佈液之塗佈液供給口、供使塗部液往下流至基板上 之寬幅狹縫狀吐出口、以及連接前述塗佈液供給口與狹縫 狀吐出口之塗佈液流路，並將其構成設爲：前述塗佈液流 路之頂板面係形成爲具有複數個傾斜之相連山狀，並於相 連山狀塗佈液流路之頂部設有用來排出塗怖液流路內之氣 泡的排出口。 除開口於前述相連山狀塗佈液流路之頂部的排出口 外，排出口亦可形成於狹縫式噴嘴長邊方向之兩端部側面 或長邊方向之中央部。 [發明效果] 根據本發明之狹縫式噴嘴，由於在相連山狀塗佈液流 路之頂部開設有複數個用來排出塗佈液流路內之氣泡的排 200900162 出口，因此易於排出氣泡。是以，可縮短氣泡脫離作業戶斤 須之閒置時間且能排除因氣泡所造成之塗膜條紋。 【實施方式】 以下，根據附加圖式說明本發明之最佳實施例。圖1 係本發明之狹縫式噴嘴的立體圖，圖2係表示構成本發明 之狹縫式噴嘴之噴嘴半體的圖，圖3(a)係圖1之a — a方 向剖面圖，（b)係圖1之B—B方向剖面圖。 狹縫式噴嘴，係將左右之噴嘴半體1 , 2相對向組合 並以螺栓結合成一體所構成。在一側之噴嘴半體1與噴嘴 半體 2的對向面，形成有塗佈液流路3。該塗佈液流路 3’形成有由第1貯留部4及第2貯留部5所構成的塗佈 液流路。 第1貯留部4之頂板部4 a，係穿設至噴嘴半體1之 厚度方向（圖2之左右方向）約接近一半的深度，其剖面形 狀係同一寬度且以深度愈深則愈高的方式傾斜。又，在第 1貯留部4之噴嘴半體1與噴嘴半體 2之對向面，開口 之部分4b的形狀’如圖2所示，係沿長邊方向（圖2之左 右方向）設成2個相連山狀，在中央部（谷部）與塗佈液供 給孔6連通，並在2個頂點部與氣泡排出口連通。 第2貯留部5’係連續形成於前述第1貯留部4之下 側’以噴嘴半體1之厚度方向爲基準其深度係小於前述第 1貯留部4。又，於第2貯留部5之下側，在與另一側噴 嘴半體2之間’連續形成有形成小孔之平坦面8，該小 -8 - 200900162 孔之下端即成爲狹縫狀吐出口 9。 又，爲防止塗佈液從第1貯留部4、第2貯留部5、 及小孔8洩漏，在噴嘴之兩端安裝有端板1 〇, 1 1。 以上，從塗佈液供給孔6流入第1貯留部4之塗佈 液，係經過第1貯留部4均等地流入第2貯留部5。此 外，爲提高均等流入之效果，亦可將2個塗佈液供給孔6 形成在2個山之頂點亦即塗佈液供給孔6的附近。 混入塗佈液之氣泡（空氣），在從第1貯留部4流往第 2貯留部5之期間，雖脫離塗佈液而累積在第1貯留部4 之頂板部分，但由於第1貯留部4係形成爲2個相連山 狀，因此空氣會沿頂板到達頂部，並從開設於頂部之氣泡 排出口 7排出。 在圖6之已述的習知機構中，由於氣泡排出口爲一處 或與塗佈液供給孔6之距離過大，因此若應用於狹縫寬度 較寬之狹縫式噴嘴即難以排出空氣，但在本發明之狹縫式 噴嘴則容易排出空氣。 本發明之狹縫式噴嘴，除上述例之外亦可將氣泡排出 口 7以複數個並設於各種部位。圖4係表示本發明之狹縫 式噴嘴之其他例的正視圖。爲加以簡化該圖中僅表示氣泡 排出口 7以外之氣泡排出口 7a, 7b，7c之位置與氣泡排出 方向。 又，圖5係表示其他實施例之狹縫式噴嘴的剖面圖， 氣泡排出口 7開口之面係設於背面，而非噴嘴半體1之上 面。 -9- 200900162 塗佈液係從塗佈液供給孔6送至未圖示之第1貯留 部。又’混在塗佈液之氣泡即轉變成空氣並累積在第1貯 留部之頂板部分。此處，形成僅以排出口 7 a爲頂點之第 1貯留部係圖6(b)所示之習知例。其他實施例中，係同時 設置排出口 7與長邊方向兩端之排出口 7b，7b。或者，同 時設置排出口 7與長邊方向兩端之排出口 7c，7c。 又’開設2處排出口 7係圖2之實施例，此時，亦可 使排出口開口於如圖5所示之側面。再者，亦可適當組合 以上說明之排出口 7a, 7b，以及7c中之2個或2個以 上’來構成本發明之狹縫式噴嘴。此時，如前述最好使第 1貯留部傾斜成各排出口能位於頂點。 【圖式簡單說明】 [圖1]係本發明之狹縫式噴嘴的立體圖。 [圖2]係表示構成本發明之狹縫式噴嘴之噴嘴半體的 圖。

[圖3](a)係圖1之A—A方向剖面圖，（b)係圖1之B 一 B方向剖面圖。 [圖4]係表示其他實施例之狹縫式噴嘴的正視圖° [圖5]係表示其他實施例之狹縫式噴嘴的剖面圖。 [圖6](a)係習知狹縫式噴嘴的立體圖，（b)及（c)係表 示構成習知狹縫式噴嘴之噴嘴半體的圖。 【主要元件符號說明】 -10- 200900162 1，2 :噴嘴半體 3 :塗佈液流路 4 :第1貯留部 5 :第2貯留部 6 :塗佈液供給孔 7, 7a, 7b, 7c :氣泡排出口 8 :形成小孔之平坦面 9 :狹縫狀吐出口 1 〇，1 1 :端板 100 :狹縫式噴嘴 1 0 1 , 1 0 2 :狹縫半體 1 0 3 :塗佈液供給孔 1 0 4 :塗佈液流路 1 〇 5 :狹縫狀吐出口 1 〇 6 :氣泡排出口 -11

Claims (1)

1. 200900162 十、申請專利範圍 1 · 一種狹縫式噴嘴，形成有供應塗佈液之塗佈液供 給口、供使塗佈液往下流至基板上之寬幅狹縫狀吐出口、 以及連接前述塗佈液供給口與狹縫狀吐出口之塗佈液流 路，其特徵爲： 前述塗佈液流路之頂板面係形成爲具有複數個傾斜之 相連山狀，並於相連山狀塗佈液流路之頂部設有用來排出 塗佈液流路內之氣泡的排出口。 2.如申請專利範圍第1項所記載之狹縫式噴嘴，其 中，前述排出口亦形成於狹縫式噴嘴長邊方向之兩端部側 面或長邊方向之中央部。 -12-