TW200838814A

TW200838814A - Temperature compensation for shape-induced in plane stresses in glass substrate

Info

Publication number: TW200838814A
Application number: TW096135042A
Authority: TW
Inventors: Shawn Rachelle Markham; Gautam Meda; Douglas Gregg Neilson; Daniel A Nolet; Robert A Novak
Original assignee: Corning Inc
Priority date: 2006-09-20
Filing date: 2007-09-19
Publication date: 2008-10-01
Also published as: CN101595069A; US20080066498A1; EP2064157A1; CN101595069B; JP2010504273A; KR101455875B1; US7984625B2; JP5732114B2; KR20090082359A; JP2013253017A; EP2064157B1; TWI329622B; JP5330245B2; WO2008036227A1

Description

200838814 九、發明說明：【發明所屬之技術領域】一本發明和製造玻璃片相關，這種玻璃#可用來作為顯示裝置的紐，修LCD液晶顯示ϋ。更明確地的方法和在製造顯示器期間，降低當玻璃基板被切割時二斤顯示的扭曲量相關。【先前技術】顯示裝置可使用在各式各樣的應用上。例如用在筆記型電腦的薄膜電晶體液晶顯示器(TFT-LCDs)，平板桌上型螢幕顯示器，LCD電視，和網際網路通訊裝置等等。很多顯示裝置都是直接在平板式玻璃片（玻璃魏) 上製造，例如TFT-LCD板和有機光二極體(〇_板。為了增加生產率和降低成本，板哺或絲的子片上同時產生多個板。在此處理過程的不同點，基板沿著切割線被分成數個部份(請參考以下實施方式段落中’’切割和處理”以及”切割和組裝”處理過程的討論）。這種切割會改變玻璃内的應力分佈，尤其是當玻璃被真空壓平時看到的平面内應力分佈。更特別的是，切割會減輕切割線上的應力，使得切割邊緣是無牽引的。這種應力減輕通常會導致玻璃子片真空扁平形狀的改變，顯示器製造商稱此種現象為π扭曲”。雖然形狀改變的量报小，但現在使用點素架構的顯示器，切割導致的扭曲可能會大到產生很多有缺陷(補:拒絕)的顯示器。據此，扭曲是顯示器第5 頁 200838814 ΖίΓ關心的問題，切割導雜曲可允許的規格可降至 Ζ倣米左右。 Η 尤狀_在抽拉過程，玻璃 j告成子片時所產生扭曲的方法，譬如下拉，溶化下拉， 1拉，浮式或類似〇【發明内容】冰依據本毛明，沿著抽拉過程所產生玻璃帶狀物的溫度

魯為是扮演降低扭曲水準的重要角色。當玻璃被抽拉日寸’曰、通過這個關鍵範圍，而且橫跨玻璃帶狀物的溫度分，及/或與此軸有關的橫跨賴職躲曲量的重要決疋因素，雜曲由帶狀物產生的玻璃片被切割成子片而顯示出。祕所指的溫度範圍是’’凝固區域溫度範圍，，（SZTR) ，而可以决疋任何特定破璃組成和抽拉速率範圍的方法將會在底下貫施方式⑶巾討論。麵溫度一詞先前已使用於玻璃製造技術上密封之玻璃至金屬中。請參考Η E. HagyandH. N. Ritland, in Viscous flow in ^ glass to-metal seals，」Journal Qf the 如他如

CeramicS〇ciety，Vo1· 40, PP· 58-62。也請參考 ASTM F-144—80。凝固溫度的值是依據玻璃應變點25。。以上的參考而疋。換句話說，本發明的凝固區域溫度範圍發生在較南的溫度。這種差別最主要的原因是，抽拉過程中玻璃帶狀物經歷高速麵冷卻。麵高鮮齡卻導致玻璃的凝固溫度遠驗其應魏，卿溫麟在LGD細上使用的各 200838814 式玻璃應變點之上約75-150°C。有鑑於此，本發明依據第一項提供的方法可控制在具有某抽拉速率的抽拉過程(如溶化下拉過程)所產生玻璃帶狀物(15)的玻璃片（13)切割成子片時顯示的扭曲，此凝固區域溫度範圍的玻璃有其抽拉速率，此玻璃帶狀物有一中央線，而此方法包括： (a) 在沿著帶狀物的一個或多個縱向位置上，決定帶狀物的橫跨帶狀物形狀，帶狀物中央線玻璃的溫度是在Sztr 之内（例如在圖1的區域31内），以及 (b) 在沿著帶狀物的一個或多個縱向位置(例如最好是在SZTR之内的位置)產生跨帶狀物的溫度分佈。根據步驟 (a)決定的一個或多個跨帶狀物形狀，切割自帶狀物的玻璃片組(例如連續50片的數量)，每子片最大有2微米的扭曲，而每一片的面積大於或等於〇· 25平方公尺。依據本發明第二項，提供的方法可控制在具有某抽拉速率的抽拉過程(如熔化!τ拉過程)，所產生玻璃帶狀物(15) 的玻璃片（13)切割成子片時顯示的扭曲，此凝固區域溫度範圍的玻璃有其抽拉速率，此玻璃帶狀物有一中央線，而此方法包括在沿著帶狀物的一個或多個縱向位置產生跨帶狀物溫度分佈，根據玻璃片在真正無重力狀態情況下的代表形狀(抽拉過程所產生的一組玻璃片，在真正無重力狀態情況下，測量及/或計算出的平均形狀)，玻璃在帶狀物中央線的溫度是在SZTR之内，所以對切割自帶狀物的一組玻璃片（例如連績50片的數量）而言，切割自玻璃片的子片最大的扭 200838814 曲里有2微米，而這組玻璃片每片的面積大於或等於〇·扔平方公尺。 .. 。依據本發明第二項，提供的方法可控制在具有某抽拉速率的^過程所赶玻璃帶狀物⑽的玻璃片⑽切割成子片日補7F出扭曲，此玻璃帶狀物有一中央線，而此方法包括·· (1)决疋具有某抽拉鱗麵的麵區域溫度麵(SZTR);

π (11)在沿著帶狀物的一個或多個縱向位置產生跨帶狀物 ⑽度刀布，根據玻翻在真线平狀態下賊表應力分佈（抽拉過私所產生的一組玻璃片，在真空扁平狀態下，測量和 /曰或计异出的應力分佈平均)，玻璃在帶狀物中央線的溫度 ^在SZTR之内，所以對切割自帶狀物的一組玻璃片（例如連續50片的數量)而言，切割自玻璃片的子片最大的扭曲量有 2微米，而這組玻璃片每片的面積大於或等於0.25平方米。依據本發明第四項，提供的方法可控制在抽拉過程所產生玻璃帶狀物⑽的玻璃片（13)切割成子片時顯示出扭曲，此方法包括： (a)取得過程中產生的玻璃狀/或子片—維或二維的資料(例如形狀，應力或同等資料)；、 *⑹分解此資料成元件，包括至少第-元件(例如圖17的空間元件69)和第二元件(例如圖〗7❺空間元件71)，其中 (i) 第一元件有第一空間頻率組成，而第二元件有第^ 空間頻率組成，·和 — (ii) 第-空間鮮組成對應於比第二空間頻率組成較第8 頁 200838814 低的空間頻率;和 (C)利用第一元件在抽拉過程中選擇至少一種處理參數( 例如在SZTR之橫跨帶狀物溫度分佈，或沿著帶狀物長度的其他位置）。、又依據其他特性，本發明提供重複性的方法來決定橫跨帶狀物溫度分佈以可達到控制扭曲的水準，包括利用在^ 跨帶狀物形狀上橫跨帶狀物溫度分佈效果的電腦模擬之重複性方法。

為了方便說明，本發明的描述和巾請專利範圍都是根據玻璃片的製造。要瞭解的是在整個規格和聲明中，玻璃一詞是預期涵蓋玻璃和玻璃陶究材料。而且，”橫跨帶狀物溫度分佈”-詞表示在玻璃帶狀物表面的溫度分佈。雜溫度分佈可轉自蝴域中已知的各式技術來測量，像是高溫計及/或接觸熱電偶。再者，"平面内形狀改變”―詞指的是一片玻璃於平面表面被壓平而產生的形狀改變，而”扭曲"一詞則是指當切割自一片較大玻璃成子片時形狀(尤其是當被真空壓平時的形狀)的改變。疋畺地，切割自玻璃片的子片最大扭曲量”的決定是使用在真缝平的情況下，將玻制蝴朗樣面積的兩子片的$後所執行的距離測量。尤其是對這兩子片的每一 1而言，最大改變是在真空壓平的情況^f，切割的前後由w兩子>；四個肖巾任兩她之間的距離所決定，包括對角線距離的改變，也就是說在真空壓平的情況下對未切割第9 頁 200838814 的玻璃片進行測量，然後在真空壓平的情況下再對各子片進行測量。此二者的最大值就是”切割自玻璃片的子片最大的扭曲量”。有麵示板製造商吏用和前面最大扭 ' 曲量的定義有點不同的定量定義。然而，前面的定義和這 • 些其他定義都相關，而且前面的定義的好處就是在所有情況都可以隨時確定。月 ^ 以上本發日月各種特性摘要中所用的參考編號只是為了 Φ 方便讀者，因此不能拿來也不應該解釋為限制本發明的範圍。更具體地說，細應該瞭解之前一般性描述和以下詳細的綱都只是本發明的範例，用來提供整個概要或架構, 讓我們瞭解本發明的本質和特性。 ’ 本發明其他的雖和優簡會細說明指出，有-部份對那些熟悉此項技術的人而言很容驗說明中清楚瞭解，或是藉著執行這裡說明的本發明而得到了解。所包括的附圖是用來提供本發明進一步的解釋，因而也併 • 入並構成本發明的一部份。要知道的是，這份規格書和附圖所說明的本發明各種特性都可以使用在任何或所有的组，合應用上。【實施方式】 (Α)用來製造顯示板玻璃基板上的應力使用在顯示板製造上的玻璃絲譬如液晶顯示板共同 =性就是_，例如勒辨度最多是L丨公釐，更一般而二是！!公1，以後甚至會更薄。因為就是這麼薄，絲才得以藉著屈曲減輕長距離平面内的應力，而且無論是在完 200838814 成狀悲或製造期間都是如此。 (B)完成的基板屈曲及其在扭曲上的角色如果完成璃施纽置在無重力狀_境下(例如在和玻璃相同密度的流體内)，基板基本上是不會有長距離平面内的應力。而且透過屈曲，紐將會採用可減輕；距離平面内應力的形狀。使用在扁平顯示板製造上典型的紐可以透過屈曲減輕大於30公釐的空間週期的長距離平面内應力。有些短距離的應力則可能無法減輕，例如平面内約10公釐以下距離的應力，但對於較長的平面内距離屈曲的設計則可真正移除平面内應力。應該要注意根據減(如以下綱)具有播3()公爱的空間週期的平_應力是健魏尤其在蝴勤反成子片時產生扭曲的平面内應力是具有大於紐約四分之一寬度的空間週期例如1公尺寬的25G公釐。因為這些空間週期要大於30公釐，相關的平面内應力才會藉由屈曲而減輕〇應該也要注意在-般情況下被壓平級的平面^^應力有兩個縱向分佈。這種分佈可根據空間元件來分析。在盔重力狀態的情況下，那些有相當低空間頻率的元件(相當2 的空間聊)可藉由屈曲來減輕，而那些有相當高空間= 的元件(相當短的空間週期)通常則不行。如以上所討論的，使用在扁平顯示板典_紐在顯可有效減輕平面内應力的長空間聊以及屈曲可能無效的短空間週期之間的轉折大秘在30紗細战麵。賴麵糊的長距 200838814 離平面_應力就是雜有長铜，即3G公觀以上範圍的應力元件。當Λ屈曲的結果是產生非平坦的紐形狀。因而假使絲在壓平時即透過施加真空(如以下說明）出現的長距離平面_應力，那餘_放置在無重力狀態環境下就會是料坦的—。如紐其柳職環境置放在平坦的表面上(但不主動在表面上壓平)，由於重力的作用玻祝内將會產生平面喊力。或相重力的侧破變形狀。因此在無重力狀態環境下屈曲無應力的完成紐將會因重力作用而在平坦表面上變成屈曲含應力的基片，但屈曲是和在無重力狀態下不相同。叙使完成的基板主動在平坦的表面上壓平，無論是透過施加真空從表面後方朝表面拖拉(拖拉至真空板)，或者從-平面推向另-平面(如果紐像三明治—般夾在兩片平板之間)那麼就可移除屈曲，但是在其位置基板將顯示長距離平面内的應力。接著這種長距離平面内的應力將導致長距離平面内的應變，即基板的長距離平面内的位移。除了在热重力狀態環境下的形狀是"可發展”的形狀(請參閱

Timoshenko，S·，Woinowsky-Krieger，S·，，，Theory of

Plates and Shells,f, McGraw-Hill Book Company, Second Edition, 1959, page 47 and Eisenhart, L.P., MAn Introduction to Differential Geometry With Use of the Tensor Calculus,,! Princeton University Press, 1947, page 54)，如同本發明的某實施範例(請見以下說明第12 頁 200838814 )’平面内的位移將會導致平面内形狀的改變，例如各施以真空至平坦表面時，在無重力態環境下定義^二基板表面上的基準記號將不再界定出直角了。、 - 在平板顯示器的製造上，處理過程(例如光刻期間）中 •基f被真空壓成平板，在組裝成液晶顯示器内的面板期間也是像三明治-般夹在兩片平板之間，組裝綱帶著一組 * 電晶體陣觸紐和第二個帶著—域波n_的魏夾 # 在邮平板之間，並以液晶材料密封在電晶體和濾波器之間。每次發生此種壓平動作，絲就會顯示平面内改變。、 ^ 士如果整個面板製造過程都維持一樣的話，此種在壓平 ^平面内形狀敎變大致上是可容忍的。例如，假使一組電晶體陣列(一组3x3矩陣的陣列)形成在第一紐上，當此基片是在壓平的狀況下(當此勤反被拖拉至真空板)，二: 對應的濾波器陣列也形成在第二級上，此魏也是在壓 • 平敝町，輔m龜齡像三鴨-般夾在兩片平板之間並結合形成一組多個板，因壓平導致的級平面内形狀的改變並不會降低出產量，因為在陣列形成和 ^裝期間同樣也會發生平面内形狀的改變。也就是說在組裴期間，電晶體和濾、波器陣列會出現如同它們形成時出現的平面内形狀的改變，因此可以準確地互相對齊。當各片板< 組合中切割時，因為這些板的元件在切割前是緊緊地 …合在一起，電晶體和濾波器陣列的形狀改變基本上是一樣的。第13 頁 200838814 顯不器製造商稱上述型態的處理過程為"組合和切割，，，而在這個過程中因壓平導致的平面内形狀政變在目前並不會被認為會增加製造成本。然而顯示器製造商也使用所謂”切割和組合”的過程。在這個過程中，當基板是在壓平的狀況下一組電晶體陣列形成在基板上(例如9個電晶體陣列形成在3χ3的矩陣内）。因而，基板被切割成子片（例如切成3槪每攔有3個電晶體陣列）。對濾波器陣列也沿用相同的方法，也就是電晶體陣列在勤反上形成後再將其切割成子片。接著，將帶著電晶體陣列的子片（例如-欄3個電晶體陣列)和帶著濾波器陣列的子片（例如一攔3個濾波器陣列)對齊，然後這些子片在板之間壓平並緊岔結合。最後再從組合的子片切害4出各個板。 “當一個新的生產線或處理過程要開始商業生產時，最常用到這種切割和組合的過程，因為可以減少浪費，譬如此處理過私使彳于播缺陷顏色濾波器和無缺陷電晶體陣列很容易對>=!有些知形切砉彳和組合”是用在顯示器製造過程的正個期間，而其他的情形是當缺陷轉降低時，就大轉變到 ’’組合和切割"處理過程。在”組合和切割”處理過程，切割從”切割和組合，，過程形成的組合子片而成的各個控電板通常並不會有形狀改變的問題，因為切割是發生在元件互相緊密結合之後，因此可維持電晶體和濾波器陣列的對齊。然而，從魏切割電晶體和濾波器子片的確會產生扭曲的問題。第14 頁 200838814 這是因為在蝴線上應力被驗，據此在组合階段被壓平時通常不會產生囉的平納應力，因不再是原封不動紐的-部分，目此顯示不同的形狀改變。如果 •每種扭曲情形很大的話將會導致電晶體和濾、波器陣列之間 . 令人無法接受的不對齊。如U的這些子片出現完全一樣的扭曲，那麼這種 . ㈣在平板雜造上就不算是職的問題，因為在這 • 歡況下’至少在理論上，細可以細示1製ϋ過程中已加以考慮。_，刊it常财麵樣的扭曲。當子片是切割自同-級時是會报均勻的，但假使級的不同 ’在無重力狀悲環境下，有不同的長距離屈曲型式，然後虽基片沿著切割線切害ij時，不同的長距離平面内的應力分佈(職關的長轉赋)齡在硕_割線上 j輕，因此最後各個子片的長距離屈曲型式在無重力狀態環境下將會是不同的，也因而各個子片將顯示不同的扭曲。 • 社扭曲問題的解決當然是很直接的，假使龜及/或 . 基韻刊在壓平_示較低轉的長轉平面内的應力，那麼在那些情況下也顯示較低水準的應變(位移)，也因而並不是在於找触關題的最終來源，而是在找到可以在平坦的絲及/或絲的子片内達到低水準之長距離平面内應力的實際製造過程。本發明就是說明這種製造過程。 (C)橫跨帶狀物形狀和跨帶狀物的熱分佈通常多個子片是在切割和組合過程中從單一魏產生 200838814 。而單-魏則通常是由連續的製造過程產生，例如下拉( 熔融下拉)’域絲_£，產纽蝴糊龜的玻璃帶狀物。娜以產生溶化玻璃，然後藉由適當的形成設備形成帶狀物例如滿溢型態的下拉過程範例中的形成管(is〇pipe)(請參考以下⑼ ⑵節圖1的翁）。帶狀财_槪视使構成帶狀物的玻璃從應力快速減輕的黏彈性材質轉換成可支撐張力超薄彈性的材f，但是亦於蘭_曲產生_縮應力。雖然從黏雜的概成雅的材肢—觀雜的現象，稱為第-近似，此轉換可被視為發生在沿著帶狀物長度的-個特別區(轉換區）。轉舰是玻璃經由玻璃轉變溫度範圍(GTTR)通過的帶狀物部份。轉換區内帶狀物有關平_應力的兩項街生是很重要的，句割自此種帶狀物的基板(及/或切割自基板的子片）在 f平日守會顯不··⑴帶狀物的橫向形狀(跨帶狀物形狀)和⑵ π狀物的橫向溫度分佈(橫跨帶狀物溫度分佈）。以第一級近似在轉換區内帶狀物是真的沒有應力，因為它是或曾經是黏彈性的材質應力會快速減缓。同樣地，再以第一級近似轉換區内帶狀物上的機械應力的效果是次要的，所以主要的考量是跨帶狀物形狀和跨帶狀物溫度分佈。最簡單的例子(例子1)是在轉換區内跨帶狀物形狀是真正平坦的，而這個區的跨帶狀物溫度分佈也是真正平坦的(即真正均勻的）。這個區内的玻璃内沒有應力(請參考第16 頁 200838814 上述說明），冷卻平坦的溫度分佈至室溫至少為第一級近似，玻璃内不會產生平面内應力，因此在室溫的形狀再以第一級近似與在轉換區同樣，亦即是真正平坦的形狀。（要注咅的是室溫中沒有平面内應力，當玻璃被平面支撐時，無論在無重力情況或在重力情況下，形狀都是真正平坦的。）真正平坦的形狀當然意味著壓平時沒有應力產生，也意味著如我們預期從基板切割成子片時沒有扭曲產生。真正平坦的橫跨帶狀物溫度分佈是眾多均勻橫跨帶狀物溫度梯度(亦即零斜率的均勻橫跨帶狀物溫度梯度)例子的特定範例。而均勻橫跨帶狀物溫度梯度則是眾多產生均勻橫跨帶狀物熱應變梯度例子的特定範例。尤其這是產生固定熱膨脹係數(CTE)均勻熱應變梯度的溫度分佈。然而，如果CTE如同轉換區内的一般例子一樣不是固定的，那麼非均勻的橫跨帶狀物溫度梯度就需要達到均勻的橫跨帶狀物爇應變梯度。例如，請參考Boley，B.A.及Weiner, J. H.， Theory of Thermal Stresses, Dover Publications,

Mineola，New York，1960，pages 272-277。一般而言，真正平坦的橫跨帶狀物形狀和以第一級近似產生均勻橫跨帶狀物熱應變梯度的溫度分佈的組合可在室溫下產生真正平坦的形狀，而平坦的橫跨帶狀物溫度分佈的例子則是此種組合的特定範例。下一個簡單的例子(例子2)是轉換區内是真正平坦的才買跨帶狀物溫度分佈，但這個區是非平坦橫跨帶狀物形狀。轉換區内非平坦的形狀可能是因為轉換區以外區域的玻 200838814 旦形狀，其中麵較冷也因此娜。較冷區二時，上：狀’在破璃進行從黏性材質轉換為彈性材饋至轉換區並加在此區的玻璃上。此的職被"雜π成玻璃。口式的來源都可旎致使帶狀物的彈性部份具有非平坦形狀。首先，各式作用在帶狀物彈性部份的機械應力，包括

，如加在拖拉捲壯的應力以及從帶狀物切趣反時相關的應力。這種應力可以產生帶狀物内長期的形狀和短時間的形狀(例如帶狀物内由於暫時性振動的形狀）。本公司相關L. Ukrainczyk之麵年5月6曰申請美國第11/124,435號專利，該翻名稱為"mtras〇nic

Induced Crack Propagation in a Brittle Material' J· Cox, M· Joseph 和 K· Morgan 之 2005 年 5 月 17 日申請美國第11/13U25號專利，該專利名稱為”Meth〇d and Apparatus for Separating a Pane of Brittle Material From a Moving

Ribbon of the Material’’，以及 J· S· Abbott III 之2005 年6月10曰申請美國第11/150, 747號專利，該專利名稱為" Selective Contact with a Continuously Moving Ribbon of Brittle Material to Dampen or Reduce Propagation or Migration of Vibrations Along the Ribbon” 都討論到各種機械系統在決定帶狀物彈性部份的形狀及其在轉換區的形狀所扮演的角色。前述應用的内容也全部在這裡併入參考0 第二，雖然橫跨帶狀物溫度分佈在轉換區可能是真正第18 頁 200838814 平坦的，毅室溫下也將是平坦的，但其_分佈可能是非平坦的，廷種非均勻的橫跨帶狀物溫度分佈物内產生平面内應力可能導致非平坦形狀。根據系統的整健構，這種非平坦形狀可以反饋至轉換㈣被第三，帶狀物下的溫度分佈可以產生局部張力，而且帶狀物的壓縮區又會致使帶狀物採用—種可以反饋至轉換區的綠的確，如本公司2〇〇4年11月29日申請之PCT/US2〇〇 4/039820 〇f Fabricating

Low Warp Flat Glass'其中所討論可有效使用向下的帶狀物溫度分佈在GTTR内產生張力區以細正旋型式麵曲的問題，該專利内容也全部在這裡併入參考。或者，本公司 C· Shay，R· Novak 和 J· Blevins 之 2005 年 Θ 月 22 日申請美國第11/233, 565號專利申請案，該專利名稱g„Meth〇ds of Fabricating Flat Glass with Low Levels of WarpH ，其中也討論到說明正弦型態翹曲(”s—warp”）問題的方法和設備，在玻璃帶狀物出現此問題是因為橫跨帶狀物溫度分佈導致帶狀物邊緣在壓縮下因而屈曲(翹曲)，產生的圖案在轉換區冷凍成帶狀物。在考慮非平坦形狀的原因時，應該要注意的是轉換區的帶狀物形狀容易跟著玻璃片的生產週期而改變，亦即從帶狀物切割一片和切割下一片玻璃的期間。這種形狀改變有各種原因，包括實際的玻璃切割容易產生屈曲及/或振動，經由彈性帶狀物到轉換區。其他在彈性區隨著玻璃片生第19 頁 200838814 產聊的改變而導致形狀改變__包括⑴當帶狀物漸漸增長以產生整個玻璃片時，因不同的長度和不同的懸掛重1會導致帶狀_不同的張力和⑵與漸增帶狀物互相作用的熱梯度會因而產生隨時間改變的帶狀物形狀，包括在轉換區的形狀。不管原因為何，轉換區的非平坦形狀加上此區的平坦橫跨帶狀物溫度分佈意味著切割自帶狀物的基板在室溫下將有非平坦職。翻帛—級触，此形雜和轉換區的才K跨▼狀物形狀一樣，雖然實際上由於玻璃製造過程的複雜度包括發生在整個轉換區長度帶狀物的冷卻，室溫形狀將和轉換區的形狀有點不同。如果室溫形狀不是可發展的形狀，那麼基板在被壓平時，就會顯示平面内形狀的改變。同樣地，切割自勤反的子片通常則會顯現出扭曲。如例子1，以上的考量也可運用在產生均勻橫跨帶狀物熱應變梯度的溫度分佈更一般的例子，如以上所討論的，平坦的溫度分佈只是一般例子的特定範例。下一個較複雜的例子(例子3)，帶狀物在轉換區是平坦橫跨帶狀物形狀，而橫跨帶狀物溫度分佈是非平坦的，因而也不是產生均勻橫跨帶狀物熱應變梯度的溫度分佈。在這個例子中，當帶狀物冷卻時，帶狀物内將發展應力和應變，又因為帶狀物很薄因此會造成屈曲。所以在室溫下，切岡自帶狀物的基板將不會有像轉換區一樣真正平坦的橫跨帶狀物形狀，而是非平坦的形狀。那種非平坦形狀可能被認為是不可發展的形狀。據此，當基板被壓平時，就會顯示平第20 頁 200838814 面内應力和造成的應變，顯示其平面内形狀的改變。所以切割自基板的子片通常則會顯現出扭曲。同樣地，最後一個最複雜的例子(例子4)，帶狀物是横 • 検跨條帶非平坦的形狀，而且是非平坦的橫跨帶狀物溫度分佈，因而也不是產生均勻橫跨帶狀物熱應變梯度的溫度分佈，在室溫下切割自帶狀物的基板通常有非平坦的形狀， * 因此當被壓平時就會顯示平面内應力和造成的應變，以及鲁平面内形狀的改變。再者，切割自基板的子片通常會顯示扭曲。當在轉換區的橫跨帶狀物溫度分佈變成室溫下平坦的溫度分佈，由於玻璃内產生熱應力，室溫下非平坦的形狀和轉換區非平坦的形狀是不同的。也就是說，不同的橫跨帶狀物位置將會比鄰近位置多少有些收縮，因而產生應力，造成的屈曲將會改變存在轉換區玻璃的形狀。總而s之，生產玻璃基板的製造過程可被視為從完全 /又有長距離應力（轉換區的）的一種狀態進步到完全沒有長鲁距離應力（室溫下基板或子片的）的另一種狀態，室溫下^ 距離沒有應力的狀態是因為玻璃的薄度使得長距離應力因屈曲而減輕。然而，這種屈曲意味著當基板被麼平時，就會出現平面内應力而且顯示應變，因而造成被壓平時平面内形狀的改變。同樣地，切割自基板的子片通常會顯示令人討厭的扭曲。這份規格在前面(A)，（B)及(〇段落的討論，使我們相信目前至少有些設計方式和切割自^板的子片產生的扭曲相關。然而，由於玻璃製造過程的複雜度，一些或所有這些 200838814 設計方式並不一定可在特定的製造過程運作，因此其他設。十方式可忐要扮演重要角色。以上的討論可使我們容易瞭軸:曲問題以及本發明在說明這些問題時扮演的角色。藉 - 著主現這些討論，我們並不想被限定在任何本發明運作的 . 特定理論上。特別是申請專利範圍並不因而受到受限。 (W検跨帶狀物溫度分佈和控制扭曲的橫跨帶狀物形狀結合如同以上討論依據其某些特性，本發明和連續的玻璃 _ 製造過程有關，其中(1)產生玻璃帶狀物(2)橫跨帶狀物溫度分佈和橫跨帶狀物形狀在帶狀物區内匹配，其中玻璃通過凝固區域溫度範圍(SZTR)以產生玻璃片（玻璃基板)，當被切割成子片時顯示扭曲的控制水準。尤其是橫跨帶狀物溫度分佈和橫跨帶狀物形狀的匹配，使得子片被壓平時產生的扭曲水準最好少於2微米。 (1)扭曲和扭曲替代例如，可以直接檢查真空平坦狀態的子片形狀而決定藝玻璃片的子片是否顯示低水準的扭曲，然而在很多情形下，使用一種或以上的扭曲替代將更方便。例如，在無重力狀態環境下玻璃片或子片的三度空間形狀就可以作為一種扭曲替代情況。決定這種三度空間形狀的處理過程在本公司B. Strines，N. Venkataraman，D.

Goforth，Μ· Murtagh 和 J· Lapp 之 2005 年 7 月 27 日申請的美國弟11/192, 381號專利申請案，該專利名稱為"process and Apparatus for Measuring the Shape of an Article" 中有討論，該專利内容也全部在這裡併入參考。或者，在重第22 頁 200838814 力狀態下，例如當被置放在平坦表面但不真空至表面，玻璃片或子片的二度空間形狀也可以作為一種扭曲替代情況，雖然在很多情況下由於玻璃片的薄度，在重力狀態下三度空間开> 狀可能是非常平坦的，也因而很難準確測量。一般而言，這種從平面測量三度空間形狀偏差越大，切割自基板的子片顯示的扭曲程度也越大。玻璃片形狀在真空壓平時的改變，而不是比較玻璃片的三度空間形狀與平面，可以作為一種扭曲替代情況，也就是說平面内形狀改變可以作為一種扭曲替代情況。如果需要的話，可以從無論在重力狀恶或無重力狀態決定的三度空間形狀，或從平面内形狀改變，計算出扭曲的預測值，雖然這些計算在執行本發明時通常不需要。在玻璃片或子片上的一個或以上位置的應力測量，例如使用技射ί的應力測量也可以用來當作扭曲替代情況。這種/貝j里通系疋在玻璃片或子片於平坦表面上真空時執行雖然這種·也可以在沒有纽的航下執行。測量可以在刀佈於正個玻璃片兩縱向表面的位置執行，或者只是在限定的位置執行，譬如沿著一個或以上玻璃片或子片的邊緣，及/或在預定的參考位置。沿著，或在用來分割玻璃片成子片的切割線附近的應力測量常常是子片顯示扭曲的有放替代t月况。當測量在玻璃片或子片上的多個位置執行有些情形可能有助於濾波資料以移除高空間頻率元件，這是較不可能作為扭曲的替代情況(請見以上(B)節空間頻率的討論）。如同形狀測量，如果需要的話可以從應力測量計第23 頁 200838814 時通常也算__删值，軸這些計算在不需要。 ^ 作為-般的基準，當破璃片切割成的扭曲值(亦即梅片最多2微米的扭曲被真空至-平坦絲時，對於面狱於或_· π平方公 =玻璃片而言，顯示的最大邊緣應力值低於或等於125 ^ 母平方英吋CpsiX最好是低於或等於⑽碎每平方英叶，更

好=於鱗㈣縣付射）。财纽翻大小增加時，就冑要齡最大雜應力似翻相_扭曲值。 (2)產生玻璃片的抽拉過程。圖1顯示的是本發明有關熔融下拉型態的玻璃抽拉過，代表性顧。如騎示，典型的縣設備包括形成冑形成管)37,其在槽39中接收溶態'玻璃(未顯示）。形成管的根部顯示於41，而玻璃帶狀物15在離離部後穿越邊緣滚軸27a，27b。形成管37的根部41是指熔態玻璃從形成管37的外部兩邊結合在一起的位置。玻璃帶狀物在通過邊緣滾轴27a，27b後，藉著拖拉滾軸 29將▼狀物抽離形成管。在充足的冷缺之後，利用譬如劃線的輪和滑動的砧將各個玻璃片13從帶狀物分開以形成橫橫跨帶狀物寬度的劃線35。由於熔融設備在這項技術是眾所皆知的，所以我們省略細節而不模糊實施範例的說明。然而要注意的是，玻璃製造的其他設備(例如浮式設備)也可以和本發明一起使用。這種設備是在玻璃製造上熟知此技術者之技術範圍内。第24 頁 200838814 物15通過設備時，玻璃會經歷錯综複雜的結構改變，不只在物理層觸錄奸敎。t物麵機科，藉著控 .制帶狀物的冷卻可以將形成管根部約5〇微米厚柔軟的液體 • 形式改變成約半微米厚的堅硬玻璃片。為說明起見，實絲__綠度約α丨到2. 〇毫米 _ 的平坦玻璃。玻璃可以使用在之前所提到的玻璃顯示器上鲁，或其他，薄玻璃#適合的應用上。代表性的例子是本公司編號1737玻璃或Eagle 2000玻璃或其他Μ造商生產的顯示器應用之玻璃。 (3)凝固區域溫度範圍(SZTR) 以本發明而言，玻璃製造過程最關鍵的部份是在玻_ 的SZTR，如圖1所示參考編號31的代表性溶有抽拉處理触，包括狱處理触，都有_個8咖，但形成設備和SZTR間的空隙可能會和圖i所示的不同。同樣地 φ 熔融處理過程在縱向位置的SZTR也可能和圖上顯示的有所不同。 • 由於玻璃在SZTR之内和上下的行為，碰扮演扭曲侧鍵肖色。在SZTIUx上較高的溫度，麵的行為基本上像液體:其對所施應力的回應是應變率，而任何彈性的回應基本上是細不丨麵。在SZTR以下較低_ 的行為基本上像固體:其對應力的回應是有限應變任何黏性的回應基本上是偵測不出來的。當玻璃從高溫冷卻和通過SZTR時，並不會顯示從液體第25 頁 200838814 般到固體般的突然轉折行為。而是玻璃通過黏性回應和彈性回應都很顯著的黏彈性區域，最後才變得像固體-樣。因此，沒有單一的冷凌溫度用在熱應力 /應變/扭曲的計算上。 “ 然而，和單-凝固溫度相瓦使用溫度範圍作為控制扭曲的基礎魏衫項優點。於是對任何SZTI^的單-溫度而言，通在此溫度之上有可測得彈性的回應，而在此溫度之下有可爾雛_應。目破醇—凝目溫度有可能產生不準確的結果··例如，假使運用在帶狀物的冷卻時程牽涉到的充足靜置期是在此單一凝固溫度以下，但在黏彈性區域之内，那麼使用單一凝固溫度值的計算及/或根據此單一溫度的扭曲控制可能是不準確的。除此之外，可用來控制扭曲的溫度範圍在玻璃製造過程允許較大的彈性，例如在設置加熱及/或冷卻設備時達到所要的橫跨帶狀物溫度分佈。依據本發明，我們發現任何特定玻璃組成的SZTR可以由為溫度函細玻雜祕數，1^及⑴賴抽拉率，⑵ 玻㈤’令卻帛或，^^細根繼雖帛#近似值，和(3)室溫下玻璃的揚氏模數來決定。、圖18顯示的是用來決定SZTR分析所使用的模擬系統。尤其，此圖中顯示的玻璃帶狀物是在形成管根部以下。在此圖中1801是等溫線。在此項分析中，只有考慮接近帶狀物終端厚度的帶狀物部份，也就是說板部以下發生最大厚度衰減的小區域並不包括在此分析中。我們假設帶狀物是平坦的，而且以均勻的速率冷卻。因為被用來分析的帶狀第26 頁 200838814 物部伤有均勻的厚度，均勻的冷卻率，此時也暗示著根部以下針對距離均自的冷卻率。被認為糊性娜自帶狀物底部的玻璃#()，在抽拉的目的就是決定這種玻璃片因橫跨帶狀物溫度分佈造成的殘餘應力。在以上的假設下，帶狀物内的任何地方如果沒有橫跨帶狀物溫度的變化，產生的玻璃#就不會有殘餘應力。為了決定SZTR的位置，介紹一個在寬度方向的狹窄區(也就是在橫橫跨條帶方向的狹窄區）的小型橫跨帶狀物溫度變化 △Τ。這個區在圖18中是以等溫線圖描繪出。此區在抽拉方向有一延伸範圍(也就是平行於主玻璃流的方向）。依據此分析，抽拉的延伸範圍是變化的，而導致的殘餘應力改變可以用來献SZTR。尤其，藉著變化抽拉的延伸麵，橫跨 f狀物ΔΤ外部的區域只能決定很弱的效果。接著MR補償此區域，也就是說SZTR是橫跨帶狀物ΔΤ在玻璃片内的殘餘應力有真正效果(即至少10%有效率）的區域。圖19顯示的是帶狀物内的溫度作為根部以下距離的函數。在此圖中，0代表根部。沿著圖18的S線，溫度分佈對應於均勻的冷卻率（圖19的1901)。沿著圖18的Μ線，通過橫跨帶狀物ΔΤ加諸的區域，溫度(圖19的19〇3)和沿著s線的有所不同。這個差別是限制於圖18所示的Β和Ε之間的區域。此差別開始於Β，在C時增加到ΔΤ(加諸的橫跨帶狀物at)，從C到D保持固定，然後落下直到消失於E。B和C之間的距離以及D和E之間的距離必須是非零的，因為橫跨帶狀物△丁必第27 頁 200838814 須在一非零的時間間隔，從零增加到其全值(反之亦然）。橫跨帶狀物ΔΤ越小，B和C之間的距離以及D和E之間的距離可能就越小。在決定SZTR時，我門只需要考慮小幅度的橫跨帶狀物ΔΤ，所以B和C以及D和E彼此會非常接近。（這裡的”非常接近"是指和C與D間的距離比起來是很小的）。因此棱跨帶狀物ΔΤ運用的區域較熱的邊緣，可以只用b或◦來表示，例如C。同樣地，D或E(例如E)用來表示較冷的邊緣。在下列的討論中，將使用” M影響區域”一詞係指加諸検跨帶狀物ΔΤ的帶狀物部份。如圖18所示，受限於以上的假设，此區域是在抽拉方向c和D之間，而且在寬度方向的μ 線附近有-小塊延伸範圍。再者，圖18的c點上的溫度和黏度分別以TH和來^絲，而D社的溫度和麟係酬分別以^ 和來V表示。玻璃的熱膨脹係數(CTE)和楊氏模數(£)在此分析中是被視為固定的(無關溫度）。使用CTE及/或揚氏模數的檢視效果隨溫度而異，也說明這種變化可能改變低於5%(未顯示資料)的凝固區域财細。因為模型的整個精確度是細的魏姐是賴藤供的簡值被認為準確到辦，社的假設被^ 設可以糊傳統的黏滯係數對溫度資料的適配法，即舢敝適配法(請參閱底下說明)就計算出SZTR。在ΔΤ影響區域的淨應變(也就是熱應變+彈性應變+黏度應變)和帶狀物的其餘部分必須在任何特定的垂直位置匹配。為了容易茶考起見，我們用”機械應變”一詞來表示 _應變+_舰應變。為了淨應㈣匹配，必須有機械弟 28 頁 200838814 應變，因為在ΔΤ影響區域和其餘部分之間的熱應變不匹配。所以在ΔΤ影響區域以及其餘部分將有機械應變。然而因為ΔΤ影響區域在寬度方向很小，帶狀物其餘部分的機械應變也將很小，所以幾乎所有使淨應變匹配所需的機械應變都會出現在ΔΤ影響區域。因此ΔΤ影響區域的機械應變 ευ可寫成如下(這裡稱為式Α): 0在Α及C間非ΔΤ影響區域中 (由於B及C幾乎一致） ZVf (切線CTE)在B及C間ΔΤ影響區域中 0在D及F間非ΔΤ影響區域中 (由於D及E幾乎一致）對應於機械應變εΜ的應力必須利用黏彈性分析來計算(例如請參考W.N.，Lai，J.S.，〇naran，I，Creepi Relaxation of Nonlinear Viscoelastic Materials, Dover Publications，Inc·，1989;以下簡稱為”Fin(Uey 等人之n)。本項分析使用的材料模型是Maxwell模型(請參考Findley #人之第53頁）。也就是說在單軸張力下，^械應變率(ε )是和應力(σ )，應力率(σ )，黏滯係數“)，和楊氏模數(Ε)有關： ’ έ = ϋ (式 Β) 這個Maxwell模型吸引了大家對主要的黏彈性結衛于為的興趣。其無法解釋的行為，譬如延遲的彈性回應，對決定SZTR產生較小的影響。卜如前面所提及的式B中描述的結構行為是針對單轴張力。由於模型系統的ΔΤ影響區域，在寬度方向是很窄的，於是在ΔΤ影響區域内將不會有單軸張力，因而寬度方向的第29 頁 200838814 應力將被壓抑為零。在那種情況^，式b中的3 π應改以4 π 取代。然而，在實際玻璃製造形成過程中執行應力補償時，通常會在橫跨帶狀物溫度施以長型的擾動，在那種情形下，水平方向的應變將不會完全被壓抑。這就是在式B中使用 3 _原因。實際上，我門發現在式B中使用^或切在根據溫度辨認SZTR時並沒有特定的結論，因為4/3的因子構成在凝固區域超過5°C代表性的黏滯係數改變。因此，寬度的

應變上限制的量可能會導致在凝固區域溫度範圍只有5艽的不確疋性。這是在決定SZTR約±_整個準確度之内。（請參閱前面棚)姻前觸式A和β，殘鶴力可以計算如下。首先如式辑顯示，機械應、變率ΔΤ*(正切CTE)突然被加諸於C處。因此，在c處立即回應是完全彈性的，於是有 σ = (tangentCTE) atC (式（；） a 到D，觀系統的應變率是零，因為式八的機械應變人的。因此式B是常微分方程式⑽E)，從c_相關於應力率到應力，因域變率是已知的(零）。起始的侔件是式C。賊可以使用標準技術解出(例如請參考咖 Γ固定黏滞係數例子的解答）。在目前的系統，黏滯俜數疋溫度的函數(和時間的函數，如果有特定的冷卻率）所以 == 這個解答到D，便得到D上的應力值(以 (正二根據式A，在D施以突然的機械應變， (正切CTE)。因此在d的立即回應是· 頁第30 200838814 cr = -五·ΔΤ·(tangent CTE) atD (式 D) 從D到F應變率是零，所以我們使用式D起始的條件，並且解出式B以得到F上的應力。最終在F上的應力是殘餘應力由於加諸的溫度擾動ΔΤ的改變。一假使C，D在雜錄上砂溫絲標示，帶狀物向下抽拉的速度(抽拉率)就不會明確地進行計算;而只有冷卻率會進行计异。然而，w狀物向下抽拉的速度和冷卻率是相關的。因此如果從帶狀物向下抽拉的速度⑽開始(或更一般的說法，沿著向上處理或是像浮式處理的水平處理方式)，已知沿著玻璃軟化點(Ta>)和退火點(Tap)之間的抽拉距離(L)，從下列的等式就可決定冷卻率①)·

CR = (¾ - Tap)*Vd/L 如同一般傳統，這裡的L是玻璃有106.6¾ s黏滯係數的溫度，而Tap是玻璃有l〇12pa· s黏滯係數的溫度。雖然其他軟化點和退火點之外的溫度也可以用來從抽拉率決定冷部率，但為了本發明的目的，這些溫度是較佳的以使用於實施本發明。假使C在非常高的位置(即在軟化點之上)，而且d在非常低的位置(即在帶狀物底部應變點以下)，那麼將出現某橫跨帶狀物ΔΤ殘餘應力最大可能的改變。為了這裡考慮的固定CTE和E的情況，ΔΤ導致的殘餘應力最大可能的改變是： Δ amax = CTE · E · ΔΤ (式 E) 如現在所看見的，利用式子E的Δσ脇和下列的比例第31 頁 200838814 參數，玻璃的SZTR可以根據玻璃黏滯係數^為溫度的函數以決定： ^ · Cooling Rate · °C 1 广斗' p、這個參數和鬆弛模數相關，在Findley等人之報告的第 82頁有討論到。之後我們會稱之為”凝固區域參數”或直接稱凝固區域參數(SZP)。圖20顧示出殘餘應力△〜的改變為依式E的最大可能改變值△ σΜΑΧ之比例為在7^和以計算出的szp的函氣其中π和^是圖18在分別c和D處之黏滞係數。要注意的是，只要CTE是固定的，依殘餘應力最大可能改變值比例決定的殘餘應力改變是和CTE無_。在所有圖2()，21和没中，CR都是代表冷卻率。圖20說明如下： ο)如果在計算出的SZP值非常低(相對應非常高的 TH)，而在㈣算出的szp值非常高(相對鱗常低的幻，那麼△喊有最大可能值，所以可用的橫跨帶狀物δτ有最大可能效果。 >、⑵△ 有最大可能值的水平段是可伸縮的。也就是说，假使在^下計算出的SZP值非常低，而在π下計算出 =ΖΡ值非常高，我們有—些空間來增加在心下計算出的 3、值和減少私下計算出的SZP值(即我們有-些空間來 ^少Τη和增加Τ〇，而在導致殘餘應力改變上沒有任何對加的縣有㈣影響。這就是凝隨域聽的精華··不諸橫跨帶狀物ΛΤ _生所需的殘第32 頁 200838814 餘應力改變。而是只要選擇適當的區域，施用在一小塊區域就夠了。 (3)在7/ Η下計算的SZP和在叭下計算的SZp最有效的 - 選擇是最靠近前方的水平段角落附近，因為這個角落最靠近SZP( W) = SZP( 7/ L)線，因此是要加諸橫跨帶狀物δτ 的最小塊區域。 • 為了定量化SZTR，很方便從其兩侧，也就是沿著平行於 • SZP的以和以軸的方向來看圖2〇的長方形平坦頂部突出區域。圖21和22就是從這些方向的視線圖，請參閱以下說明： (1)從圖21看，如果在π L下計算的szp值小於2· 7，殘餘應力改變就少於其最大可能值的10%，而不管在計算的 SZP值是多少。如果在W計算的SZP值小於3· 9,殘餘應力改變就少於其最大可能值的20%,也是一樣不管在…計算的SZP值是多少。 • ⑵從圖22看，如果在7? Η下計算的SZP值大於55·8,殘餘應力改變就少於其最大可能值的10%，而不管在下計算的SZP值是多少。如果在7? Η下計算的SZP值大於24· 5,殘餘應力改變就少於其最大可能值的·，也是—樣不管在叭下計算的SZP值是多少。 (3)據此，運用在某一位置的橫跨帶狀物ΔΤ，這裡標稱的▼狀物溫度(例如沿其中央騎測得的玻璃溫度)對應的 SZP值如果是在2·7到55· 8的範圍之外，就不可能有超過1〇% Μ# °這是因為如果在某-位獅橫跨帶狀物第33 頁 200838814 f Tw、SZP疋在2· 7到55· 8的範圍之外，那麼不是在π下計允的SZP值小於2· 7就是在w下計算的szp值大於55.8，如圖21和22所示，有效率就少於10%。 W)同樣的苓數運用在某一位置的橫跨帶狀物μ，這裡標稱的帶狀物溫度對應的SZP值如果是在3· 9到24· 5的範圍之外就不可能有超過2〇%的有效率。根據以上所述，這裡所用的”凝固區域溫度範圍，，一詞和其縮舄SZTR都是指某玻璃和其抽拉率對應於^ 1〇%前述有效率範11的溫度範圍。尤其，SZTR是對應所給的szp值滿足2· 7SSZP$55· 8關係的黏滯係數的溫度範圍。對於本公司編號1737和Eagle 2000 LCD玻璃而言，此SZP細對應的溫度範圍大約是6(TC。同樣地，中央凝固區域溫度範圍”一詞和其縮寫cSZTR 都是指某玻璃和其抽拉率對應^ 20%前述有效率範圍的溫度範圍（亦即cSZTR是對應所給的SZP值滿足3 8$ szp$ 24. 5關係的黏冰係數的溫度範圍）。對於本公司編號1737 和Eagle 2000 LCD玻璃而言，此SZp範圍根據溫度所對應的溫度範圍大約是4(TC。除此之外，π甜美區溫度範圍” 一詞和其縮寫ssSZTR都是指某玻璃和其抽拉率對應240%有效率的溫度範圍。利用鈾述SZTR和cSZTR相同的分析，ssSZTR是對應所給的szp 值滿足6· 9SSZP$11· 8關係的黏滯係數的溫度範圍。對於本公司編號1737和Eagle 2000 LCD玻璃而言，此SZP範圍對應的溫度範圍大約是10 C。最後，”最敏感凝固區域溫度範第34 頁 200838814 圍” 一詞和其縮寫msSZTR都是指某玻璃和其抽拉率的溫度範圍，如以上所決定的殘餘應力對橫跨帶狀物ΔΤ是最敏感的。對應SZP值的msSZTR滿足8· 3$SZP$8· 9的關係。對於本公司編號1737和Eagle 2000 LCD玻璃而言，此SZP範圍根據溫度所對應的溫度範圍大約是5°c或以下。在決定SZTR，cSZTR，ssSZTR和msSZTR使用的揚氏模數值是使用ASTI C623-92 (2000)決定的玻璃室溫揚氏模數，而黏滯係數對溫度的式子是藉著使用ASTM cl35〇M—96 ( 2003)在很多組溫度下測量玻璃的黏滯係數而來，然後帶入結果值到以下的式子(Fulcher等式)，以得到A，B和T0的值：

In(黏滯係數/泊）=A + B/(T/°C - T。）（式 G) 這裡的To是攝氏。

Fulcher適配法使用的一組溫度最好包括SZTR内的溫度^貝際上，武驗的SZTR可以根據第一組溫度使用Fulcher 適配法來決定，而且如果有需要可以在其他溫度做額外的黏滞係數測量，然後用來決定一組修正的係氣從而計算出最終的SZTR。如果需要的話，這個過程可以依需要重複以付到適合SZTR溫度範圍的Fulcher適配。如以上所討論的，使用在決定SZTR，cSZTR，ssSZTR和 msSZTR的冷卻率(CR)是得自帶狀物向下抽拉的速度(抽拉率)和沿著玻璃軟化點和退火點之間抽拉的距離。 (4)決定橫跨帶狀物形狀依據本發明的特定實施範例，橫跨帶狀物形狀是在 SZTR内的一個或多個縱向位置所決定，然後在那些一個或第35 頁 200838814 多個縱向位置的帶狀物施加橫跨帶狀物溫度分佈(和其他沿著帶狀物長度的縱向位置)以控制得自帶狀物的玻璃片被切割成子片時顯不的扭曲。可以藉由帶狀物抽拉時觀察其形狀直接決定一個或多個縱向位置的橫跨帶狀物形狀。或者，藉著在由玻璃帶狀物產生的玻璃片上做應力及/或形狀測量來決定一個或多個縱向位置的橫跨帶狀物形狀，這還要結合電腦模擬程式，從這些測$向後追’以歧—個或乡個_位置的橫跨帶狀物形狀。又另-種選擇是可以假設—系_橫跨帶狀物形狀，對母一個假設的橫跨帶狀物形狀預測切割自帶狀物的玻璃片的應力分佈及/或形狀(即”向前”計算)，然後根據最接近ίΐ測各玻翻的應力及/或形狀測躺橫跨帶狀物形狀㈣(亦即決定的)，從這㈣選擇—特定的橫跨帶狀物形狀。如財f要，也可個職綠的組合。附錄A提出可以用在這種電腦模擬的代表性等式。如那裡所討論的，這種等式的求解可利用取自業界的軟體例如細sys 軟體。可以在玻璃片上測量以產生”向後”及/或，，向前"計算資料的測量型態範例包括:玻璃片的無重力或真正無重力形狀，非無重力的形狀(例如在平坦桌上測得的形狀，雖然在很多情況下，大部分的形狀在玻璃f量影響下是平坦的使得準確的形狀可_得很難決定)，真空邊緣應力值T分佈在玻璃Μ整條Φ錄的真缝力值，糊望切割線和 /或接近平行於__雜置喊空應力值，譬如離_ 第36 頁 200838814 線數公釐(像是5公釐)，及/或局部切割造成的扭曲，例如沿著期望切割線的切割。”期望切割線”是指顯示器製造商想" 要用來分割玻璃成子片的線。應該要注意的是，對相對平 . 滑的測量資料，例如以移除高空間頻率元件濾波的資料，,， - 向後”及/或”向前π的計算通常是很規矩的，亦即計算的擇跨帶狀物形狀及/或計算的應力分佈及/或個別玻璃的形狀都是獨一無二的，因而只有一小群可能的答案。，依據本發明，決定SZTR内一個或多個縱向位置的橫跨帶狀物形狀不只限定在觀察或模型化這種形狀(這裡以後稱為”被動決定”），還包括主動調整(控制)這種形狀(這裡以後稱為"主動決定π)。例如在第(C)節參考本公司專利應用中，說明的設備和方法都可以用來有目的的地影響 SZTR内帶狀物的形狀。依據本發明，”決定” 一個或多個縱向位置的橫跨帶狀物形狀包括使用這些或其他目前已知或在這方面繼續發展的技術以得到SZTR内一個或多個縱向位 .置的橫跨帶狀物形狀。π決定”也包括在SZTR内觀察，模擬化，及/或控制一個或多個縱向位置的橫跨帶狀物形狀的組合。在決定橫跨帶狀物形狀時(無論主動或被動)還可以考慮另一個因素，就是在從玻璃帶狀物連續切割成玻璃片之間發生的帶狀物形狀改變，包括在SZTR内一個或多個縱向位置的形狀改變。這種暫時性的形狀改變可以在抽拉的運作過程觀察到及/或可以利用電腦模型計算出來。可以利用暫時性的形狀改變來選擇一個或多個特別適合用來控制第37 頁 200838814 切割自帶狀物的玻璃片扭曲的一個或多個縱向位置上的橫跨帶狀物溫度分布。例如，形狀的暫時性改變可以用來辨遇沿者產生特別南水準扭曲的帶狀物一個或多個縱向位置上的一個或多個形狀，然後可以選擇一個或多個橫跨帶狀物溫度分佈來具體說明這些被辨認出的形狀。 (5)匹配板跨帶狀物溫度分佈至橫跨帶狀物形狀當橫跨帶狀物形狀在SZTR内一個或多個縱向位置主動或被動決定後，最好是在SZTR内至少一個縱向位置有計晝地施力口棱跨帶狀物溫度分佈以產生控制扭曲值的玻璃片。一般來說，典型被施加的溫度分佈型態可以在以上(c)節的範例1到範例4得知。因此，如果在所要縱向位置上的橫跨帶狀物形狀是主動或被動決定為真正平坦的，那麼根據以上(Q節的範例】，在那個縱向位置(或在縱向位置附近)上的橫跨帶狀物溫度分佈可以被調紅赶真正均⑽橫跨帶狀物熱應變梯度，例如在固& CTE的情況下，溫度分佈可能有真正均勻的橫跨帶狀物梯度，在最簡單的範例中可能是真正平坦的橫跨、帶狀物溫度分佈。在下一個較複雜的例子即範例2中，在縱向位置決定的橫跨帶狀物形狀並不是真正平坦的，所以問題是是否可使用像範例1所帛的;^跨帶狀物溫度分佈。也就是說，問題在於疋否可以使用真正平坦的橫跨雜物溫度分佈，或者更 I又的息务’產生真正均勻的橫跨帶狀物熱應變梯度的溫度分佈，是否可以和非平坦的橫跨帶狀物形狀一起使用。第38 頁 200838814 通常，對非平坦的橫跨帶狀物形狀而言，範例1的溫度分布不會產生低扭曲玻璃片，亦即子片顯示低扭曲的玻璃片。然而假使非平坦的橫跨帶狀物形狀是真正可發展的形 - 狀，譬如圓柱形狀，那麼就可能使用範例1的溫度分佈。因 • 此，假使在縱向位置上的橫跨帶狀物形狀是決定為（主動或被動)真正可發展的形狀，那麼橫跨帶狀物溫度分佈就可以 ‘ 被調整成平坦的，更一般的說法，成為產生真正均勻的橫跨 _ 帶狀物熱應變梯度的分布。範例3中，在一個或多個縱向位置決定的帶狀物有真正平坦的橫跨帶狀物形狀，所以問題是是否可使用非平坦的橫跨帶狀物溫度分佈，更一般的說法，是否可使用不會產生真正均勻的橫跨帶狀物熱應變梯度的溫度分佈。再者答案晕涉到可發展的和不可發展的形狀，但在這個範例中，才α目關的形狀是那些條帶冷卻後的形狀。因此’假使藉由冷卻至室溫移除縱向位置上的溫度分 • 布導致真正可發展的形狀，那麼就可以使用這種溫度分布。然而如果冷卻導致真正不可發展的形狀，那麼這種分布，可能會產生令人無法接麵高蝴職就不應該使用。最後-侧子’齡Η是最-麵叙，麵向位置決定的橫跨帶嫌離是真鮮㈣，所叫贼是否應該使用非平坦的而且不是產生均勻的橫跨帶狀物熱應變梯度触度分布。假設非平坦的形狀之前的範例2)，應該要使用這種分佈❿且通常也需要使用這種分佈。可使_寺定橫跨帶_盈度分佈可以麵方 200838814 式來決定。例如，P付錄A所討論的，可用來決定一個或多個縱向位置溫度分佈的模型化軟體，將會在冷卻時產生熱應力，而取消縱向位置上的非平坦形狀。或者，無論有沒有利用模型化使用一種反覆性的程式來決定適當匹配非平坦形狀的熱分佈。如以上範例1到4的討論所說明的，在選擇一個或多個縱向位置的橫跨帶狀物溫度分佈時，我們需要考慮到縱向位置上的形狀是可發展的或不可發展的，也需要考慮到產生玻璃片（玻璃基板)的形狀是可發展或不可發展的形狀。以扭曲來説，真正平坦的玻璃片和那些形狀是不可發展形狀的玻璃片，一般會產生顯示低程度扭曲的子片。這兩種形狀中，真正平坦的玻璃片通常是較佳的。然而在有些情況，可能產生可發展形狀的玻璃片是較理想的。例如，這種形狀可能使得SZTR内的橫跨帶狀物形狀的主動決定較容易，也就是比平坦的形狀較容易使用特定製造&又備產生在SZTR内的橫跨帶狀物形狀，導致產生自帶狀物玻璃片的可發展形狀。可發展形狀的，而不是平坦的玻辦片’也比較各易運送此種玻璃片至顯示器製造廠及/或由這些製造廠處理玻璃片。在選擇橫跨帶狀物溫度分佈以匹配橫跨帶狀物形狀時 ’有些h况下分解橫跨帶狀物形狀為元件(以下稱為t，形狀兀件）是有用的，織至少當作一個起點，使用適合各種形狀兀件溫度分佈加總的橫跨帶狀物溫度分佈。例如，橫跨帶狀物形狀可以分解成可發展的形狀元件和不可發展的形第40 頁 200838814 狀元件，在這種情形如果有需要的話，就可以使用只補償不可發展的形狀元件的溫度分佈。更進一步說，如果横跨帶狀物形狀分解成多個不可發 . 展的形狀兀件(無論有沒有可發展的形狀元件)，那麼可以、償各個形狀元件的溫度分佈以產生適合整個橫跨Φ狀物形狀的整個橫跨帶狀物溫度分佈。如果有需要的話，可以先備好組合横跨帶狀物形狀元件和補償 _ 溫度分佈的資料集(查閱表)，並即時用來補償在一個或多個縱向位置的橫跨帶狀物形狀所觀察到的改變。例如，橫跨帶狀物形狀可以在不同的時間點(或連續地)被動的決定，分解成形狀元件，然後利用資料集改變橫跨帶狀物溫度分佈以補償先前任何觀察到形狀元件或新的形狀元件加權的任何觀察到的改變。資料集(查閱表)可以是一般性目的的資料集或是為某特定玻璃製造線，根據某特定橫跨帶狀物溫度分佈補償某橫跨帶狀物形狀元件的效果的歷史資訊而 • 客製化的資料集。同樣的方式也可以用在根據從帶狀物切告|]玻¥片及/或從玻璃片切割成子片時戶斤執行的測量，選擇橫跨帶狀物溫度分佈的情況。作為一代表性的例子，橫跨帶狀物形狀F(x)，即形狀和平面的偏差，可以被分解成富立葉元件，即F(x)可以寫成如下： F(x> EnH)to〇〇(An sin(n7Tx/w) + Bn cos(n7rx/w)) 或較複雜的表示方式： F(x)= En=-«>t〇+- (Cn exp(in7rx/w)), 第41 頁 200838814 這裡的&和Cn是富立葉係數，W是橫跨帶狀物寬度，i是一1的平方根。然後對應於較低的空間頻率，橫跨帶狀物溫度分佈可以和至少勉和队(或Q)相關。再來可使用任何特定橫跨條帶形狀決定的An和Βα(或Co)以選擇可補償某橫跨帶狀物形狀的加權橫跨帶狀物溫度分佈。在從帶狀物切割玻璃片及/或從玻璃片切割成子片時執行測量的情況可以使用二維重疊合法。例如測量M(X，y) (吕如壓力，形狀等)可以分解成二維富立葉元件，例如Μ(χ，y) 可以寫成如下： M(x, y)— Σit=〇 t〇c〇 Σιπ=〇 t〇〇〇(Α〇η sin(n7rx/w)sin(m;rx/h) +

Bnm sin(n7ix/w)sin(m7cx/h) +

Cun sin(n7cx/w)sin(m7cx/h) +

Dnn sin(n7ix/w)sin(m7ix/h)) 或較複雜的表示方式： M(x，y)= Σ—+〇〇Σ一+〇〇(Ε〇π exp(i(n;rx/w+m7ry/h))) 這裡的A™，‘ C™，Dm»和E™是富立葉轉換係氣w是玻璃片或子片#見度，h是玻璃片或子片的高度。又在這種情況下，任何特定測量決定的係數可絲決定適當的橫跨帶狀物溫度分佈，導致扭曲控制為所要的值。除了分解橫跨帶狀物形狀成形狀元件之外也可以慮波橫跨帶狀物形狀以移除較高啦間頻率。如以上所討論的 ’對扭曲健要触間鮮财是比麵片的_分之一， $如1 a尺見的玻璃片250公羞，有較長的空間職。據此，為了使得橫跨帶狀物溫度分佈的選擇較容易，最好是遽波第42 苜 200838814 也、5 π狀物$狀資料以移除較少相獅空間頻率。如果要執行刀解緣成微树，最好在實齡解祕實施這種空間頻率濾波，雖然也是可以隨後執行。濾波也可以使用 _ Μ及/献玻郁_成子片時 M 横橫跨條帶溫度分佈的情況。再者，無論有或沒_量的分_耕，都可城行親又如果執行分解時最好分解前先濾波。如果需要的話，濾波和空間分解可以同時執行，例如執订分解成-或多個長範圍元件(低空間頻率元件乂和一或多個紐粑目7〇件(高空間頻率元件）。以下的範例3就是遵循此種方式。在某些較佳的實施範例中，本發明可以藉著包含下列步驟的重複性過程: (a) 在一組運作條件下產生至少一片玻璃，包括沿著玻璃通過SZTR的帶狀物長度至少一個縱向位置的目標溫度值，此目標溫度值是分佈在横跨帶狀物寬度的位置上("橫跨帶狀物位置f’）。 ’、 (b) 在此組運作條件下產生的至少一片玻璃，進行一種或多種以下的測量： (0玻璃片上及/或從玻璃片切割的一個或多個子片夕個空間分隔位置的應力值，而此玻璃片及/或子处至平面表面(”應力值”)， ^ (ii)玻璃片及/或從玻璃片切割的一個或多個子片在無重力狀況下和平坦面的偏差值(”無重力和平坦面的偏第43 頁 200838814 差值”）， (iii) 玻璃片及/或從玻璃片切割的一個或多個子片，在重力狀況下和平坦面的偏差值(”重力和平坦面的偏差值”），和 (iv) 玻璃片平面内形狀改變值及/或從玻璃片切割的一個或多個子片的扭曲值(|，形狀改變/扭曲值，，），· (C)將步驟(b)所測量的值和一或多個扭曲準則及/或一或多個替代情況扭曲準則比較； (d) 決定沿著玻璃通過SZTR的帶狀物長度，至少一個縱向位置上的橫跨帶狀物位置目標溫度修正值，利用： (i)和一或多個扭曲準則及/或一或多個替代情況扭曲準則比較，和 (i i) 一個可以將橫跨帶狀物熱分佈改變與玻璃帶狀物内及/或從帶狀物切割的玻璃片内，預測的應力及/或應、又改變相關的電腦模型(例如附錄A所討論的電腦模擬型態)，· - 、 (e) 使用步驟⑹決定的目標溫度修正值產生至少一片玻璃； (f) 在步驟(e)產生的至少一片玻璃，進行一或多種以下的測量:⑴應力值，（ii)無重力和平面的偏差值，（iii) 重力和平面的偏差值，和（iv)形狀改變/扭曲值;以及 (g) 將步驟⑴所測量的值和一或多個扭曲準則及/或一或多個替代扭曲準則比較，而且有需要的話，重複⑹到 (f)— 人或多次，使用相同的至少一個縱向位置及/或沿著第44 頁 200838814 帶狀物長度至少-個獨_向位置。最好—直重複步％ (d)到(f)，一直到決定此位置的至少一個縱向位置和目標溫度值，產生滿足一或多個扭曲準則及/或一或多個 - 曲準則的測量值。 - 如果需要的話，目標溫度值可以標明在SZTR内的多個縱向位置。在這種情形，步驟(d)的修正目標值可以只是多個縱向位置之一或超過一個縱向位置，亦即所有縱向位置 . 的飾可以改變。或者，當重複過程繼續時，或多或少的縱向位置可以隨需要改變。例如，一旦目標溫度值的大致區域被找出後，可以發現某縱向位置在重複過程開始時很重要，其他縱向位置則可能在細部調整g夺更重要。同樣地，對某一縱向位置而言，特定的橫跨帶狀物目標值位置可能較 ^改變，其他可能較晚改變，也有一些是在整個過程保持固定的。在任何特定重覆步驟位置的改變，對熟悉此項技術的人來說是早就可以決定的，可從目前的說明和步驟⑹的 . 電腦化模擬取得預測應力/應變值。热重力和平坦面的偏差值可以藉著在和玻璃同樣密度的流體内懸掛-玻璃片來測量。請參閱上述提及本公司之美國第11/192,381號專利申請案，該專利名稱為”卩就娜 and Apparatus for Measuring the Shape of an ArticleH 。扭曲值也可能縣域前在真姚胁麵丨上做記號，切割後也是在真空狀態下觀察記號移動的位置來測量。在其他較佳的實施範例中，本發明可以藉著一個重複性過程來實施，而不綠朗電顧驗，軸轉的話也是第45 頁 200838814 可以使用這種電腦模擬。在這些實施範例中，本發明的執行包含下列步驟： (a) 針對玻璃帶狀物的抽拉率決定玻璃的凝固區域溫度範圍(SZTR); (b) 在一組運作條件下產生至少一片玻璃，包括沿著玻璃通過szm的帶狀物長度至少—個縱向位置的目標溫度值，此目標溫度值是分佈在橫跨帶狀物寬度的位置上橫跨帶狀物位置π)。 (C)在此組運作條件下產生的至少一片玻璃，進行一或多種以下的測量： (i)玻璃片上及/或從玻璃片切割的一個或多個子片多個空間分隔位置的應力值，而此玻璃片及/或子片被真空至平面表面C’應力值"）， (11)玻璃片及/或從玻璃片切割的一個或多個子片，在热重力狀況下和平坦面的偏差值(”無重力和平坦面的偏差值π )， (iii) 玻璃片及/或從玻璃片切割的一個或多個子片，在重力狀況下和平坦面的偏差值(”重力和平坦面的偏差值"），和 (iv) 玻璃片平面内形狀改變值及/或從玻璃片切割的一個或多個子片的扭曲值(”形狀改變/扭曲值”）； (d) 將步驟(c)所測量的值和一或多個扭曲準則及/或一或多個替代扭曲準則比較； (e) 藉由和一或多個扭曲準則及/或一或多個替代扭曲第46 頁 200838814 準則比較，決定沿著_通過SZTR的帶狀物長度，至u 縱向位置上的橫跨帶狀物位置目標溫度修正值； ⑴使用步驟(e)決定的目標溫度修正健生至少玻璃; 乃 (g)在步驟(f)產生的至少一片玻璃，進行一或多種以下的測量:⑴應力值，（Π)無重力和平面的偏差值，（出）重力和平面的偏差值，和(iv)形狀改變/扭曲值;以及 ⑹將步驟(g)所測量的值和—或多個扭曲準則及/或 -或多個替代扭曲準耻較，而且有需要的話，重複⑹到 (g)-次或多次，使用相同的至少一個縱向位置及/或沿著帶狀物長度至少-個不_縱向位置。最好—直重^步驟 (e)到(g)，-直到決定此位置的至少—個縱向位置和目標溫度值，產生滿足-個或多個扭曲準則及/或一或多個替代扭曲準則的測量值。曰如果需要的話，可以使用上述重複性步驟的組合。當做-侧列子來說’譬如可以在過程調I過程開始，及/或田過程改變_，娜_條式，岭如她狱狀態運作期間，則可以使用非電腦模型化程式。使用各式力0熱/冷部設備，使力口熱/冷卻的速率比使用獨立輻射進行加熱和對流的速率較慢/快可以達到橫跨帶狀物溫度分佈。可赠財翻製造技術者熟悉細的加熱/冷卻設備來實現所需的橫跨帶狀物熱分佈。以加熱而言’多個加熱元件可以分佈在橫跨帶狀物寬度上，而且可贿變鋪至糊树_量崎到帶狀物第47 頁 200838814 表面所需的溫度分佈。以冷卻而言，可以使用水冷卻管(冷口 p卡銷)將熱玻璃輻射的熱移除至卡銷的冷(水冷卻)金屬表面。傳統卡銷的熱萃取大錄是均自橫跨帶狀物寬度。圖2A顯示傳統的冷卻卡銷Η，水由入口 ig進入卡銷，然後沿其周圍轉回，在其中吸收熱再從出口 21離開。圖Μ中顯不的卡銷有均勻的外部直徑和均勻的輻射性塗層23。為了達到差別性的冷卻，卡銷的表面可以塗上不同的輕射性塗層及/或可以沿著卡銷的長度增加或減少卡銷的外口卩直徑。尤其是，藉著減少外部直徑(減少熱傳輸區域）或減少表面輻射性(減少麵吸收的幸备射)或外部直徑和放射性的組合可以達到較少的冷卻，而較多的冷卻也可藉由相反的條件達成，亦即較大的外部直徑和較高的輻射性。不同直徑的管子可以焊接在一起，以得到橫截面區域的差異，而且可以選擇不同輻射性塗層以得到所需的輻射熱傳輸控制。如果有需要，都可以調整高低冷卻區的大小，直徑和輪射性，使得其總共的熱萃取可以匹配標準冷卻卡銷。以此方式，選擇減少扭曲值的橫跨帶狀物冷卻形式有可能減少其他玻璃特性會有的不良效果。當做一個提議，藉著減少局部溫度，沿著這些相同的線產生橫跨帶狀物溫度分佈可能比藉由增加溫度產生此種分佈較不會損及整個玻璃的品質。圖2B頒示一個差別性的冷卻卡銷，有兩個輻射性塗層23和25,以及兩個直控。這種設計可以達到5個獨立的冷部區域。圖2C顯示的兩個輻射性3個直徑的設計可以第48 頁 200838814 達到7個獨立的冷卻區域。實際上，可以隨需要使用較多或較少的區域。能夠使用於實施本發明之冷卻卡銷進一步的討論可在美國第2006/0081009號專利公告案中找到，其整個内容也在這裡併入參考。不受限於任何形式，本發明將以下列的例子做更完整的說明。範例k 補償球狀玻璃片的溫度分佈：本範例是用來說明以球狀玻璃為例，本發明的原則。大體來講，這個範例和範例2中所採用的方法是，將真空選擇形狀至平坦面時產生的應力模型化，然後利用這些計异好的應力值選擇熱分佈，產生計算的熱應力分佈，至少將取消部份真空產生的應力分佈。圖3顯示的球狀玻璃有11〇〇公釐的寬度，13〇〇公釐的長度和1公釐的球頂高度3。圖4顯示當玻璃被壓平至平面時，沿其長度和寬度(分別是曲線43和45)所計算出的邊緣應力值。圖5和6顯示球狀玻璃的幾何，以及可用來決定二維溫度分佈的座標系統T(x，y)，當彎曲的玻璃被壓平時，此系統將產生熱應變準確取消其所造成的應變e(r，0)。玻璃被壓平時產生的應變e(r，60是由壓平前後周長的差異來決定，其中註標f是指，’壓平後”，註標d是指，，壓平前”，公式如下：第49 頁 200838814 e(r，60=(周長广周長d)/周長f (!) 基於圖6幾何特性，公式⑴可轉變為： e(r?9)= (2π8-2π)/2π8 - 以及再轉變為： . e(r, θ)= 1 -r/(R〇 · arcsin(r/Rc)) 其中Rc = [(h/2)2 + 62]/25 =曲率半徑 ‘ 抵銷該應變分佈之溫度分佈T(r，0)由下列公式表示 • 其巾CTE為賴之熱膨脹錬，其。該範例用途假設為常氣以及Tref為使用於界定CTE之參考溫度：乂 ε (r5 θ> 1 -r/(R〇 · arcsin(r/Rc)) = -CTE · (T(r, 0)-Tref) 使用圖5,式⑵能夠轉變為(x，y)座標系統以產生下列吖&7): T(x5y) = Trer-(l/CTE)[lKxV)aV(Rc-ar^ (3) 圖7是式(3)的溫度分佈圖形，而圖8則是和此溫度分布 • 相關，沿著玻翻邊緣計算出的熱應力圖（曲線47是沿著玻，璃日片一寬度，而曲線49則是沿著玻璃片長度）。比較圖8和圖4 ，頭不藉由鋪力分解確地取_狀做的應力。圖7的熱分佈是二維的分佈，通常很難實際執行。圖9到圖11顯示的是使肖沿著玻璃肢個長度運用横跨玻璃片見度-維溫度分佈執行的結果(即圖5中從尸〇到 5^1300 ^屋）。使用在這些圖形的溫度分佈對應於可以隨時實際執行的橫跨帶狀物溫度分佈。尤其，圖9顯不圖7在㈣的橫跨帶狀物溫度形狀，而圖第50 頁 200838814 10則顯示和此溫度分佈相關，沿著玻璃片邊緣計算出的熱應力圖（曲線51是沿著玻璃片寬度，而曲線Μ則是沿著玻璃片長度）。比較此圖和圖4,顯示只有達成5〇%的消除。然而 - 圖11顯示只是加倍一維的溫度分佈，即使用圖9的2 · T(x) β ，就可以達到邊緣應力的消除。尤其，圖11的曲線55和57分別顯示和沿著玻璃片寬度一和長度的2 · Τ(χ)溫度分佈相關，計算出的熱邊緣應力。這 _ 些曲線和圖4比較，證明了一維的溫度分佈可以消除和球狀玻璃片相關的形狀引起的邊緣應力。範例2: 補償橢球狀玻璃片的溫度分佈這個範例延伸範例1的分析至擴球狀玻璃片。圖12顯示的是一個代表性橢球狀玻璃片，其中玻璃片以寬度方向和以長度方向曲度之間的比率(F)是2. 〇。圖14Α顯示的是當圖12的橢球狀玻璃被壓平時(曲線59 φ 是沿著玻璃片寬度，而曲線61則是沿著玻璃片長度)發展出的邊緣應力，而圖14Β顯示的則是圖13施用在橫橫跨條帶寬度的熱外形圖所產生的補償熱應力。尤其，圖14β的曲線63 和65分別顯示玻璃片寬度和長度的補償熱應力。從圖说和圖14Β的比較可以看出，圖13的熱外形圖可以達成因形狀引起邊緣應力的取消。圖15和16顯示分別具有5和10的f值橢球狀玻璃的補偵熱外形圖。如同在圖12到圖14中f=2的情形，圖15和圖16 的熱外形圖被發現可以取消和個別橢球狀玻璃(未顯示資第51 頁 200838814 料)壓平時相關的形狀引起的邊緣應力。互相比較圖15和圖16以及圖13可以看出，當橢球狀玻璃的F值增加時，對特定的5而言達到取消所需的橫跨帶狀物溫度差異就會變的 - 比較小。 - 應0亥要注思的是，圖15和圖16的溫度分佈，以及圖7圖 9和圖13的都假設玻璃在橫跨帶狀物寬度上有均勻的CTE。 ' 因為橫跨帶狀物溫度差異很小，所以這是合理的假設。據此，執行時所用的橫跨帶狀物溫度分佈大致上是出現在這 W 些圖中。範例3: 分解至元件:邊緣應力分解這個範例說明邊緣應力分佈如何分解成長型和短型的變化。圖17顯示在真空壓平條件下沿著玻璃片一個邊緣代表 ϋ的平面内平均厚度的應力測量(曲線67)。這蝴形也顯 • 讀力分佈分解絲奴件(低帥鮮元件)和短型元件 (¾細辭元件）。較_岐，轉67顯補長型元件，例如是藉自雜-細^至齡馆❼蚁。鱗71顯示的紐型7L件，;1：從曲線67減去鱗69❿決定。或者，分解也可以當作富立葉系列擴張來完成。 _分解可以使用在鮮相。例如橫跨帶狀物— 刀布可以根據長型（長範圍)應力分佈來選擇，如先前討論的:對於切利自物片的子片所顯示的扭曲，這通常比短型 (短範圍)應力元件更有效果。第52 頁 200838814 雖然圖17說明了沿著玻璃片一個邊緣應力測量的分解，然而分解也可以使用在二維應力分佈，在重力狀態或無重力狀態下取得的形狀測量，從這種形狀測量計算出的應力分佈，沿著及/或在切割線附近計算及/或測量的應力分佈專。在所有這些例子中，長範圍元件通常對扭曲扮演較為重要的角色而比短範圍元件重要，以及因而根據本發明至少在第一次情況下優先地對長範圍元件作扭曲補償。範例4: 決定凝固區域溫度範圍：這個範例使用之前⑼⑶節所討論的技術，說明對某代表性抽拉率的某特定玻璃(本公司編號Eagle 2〇〇〇破璃）決定其凝固區域溫度範圍(SZTR)。除了 SZTR之外，也決定此玻璃和抽拉率的cSZTR，SsSZTR，和msSZTR值。在這個分析中用到室溫6· 9xl0i。Pa的揚氏模數和下列的 Fulcher 係數:A=-30· 8; B= 64125· 1 ;T。= -323· 6。帶狀物的抽拉率假定是對應於丨扣/秒的冷卻率。如以上所討論的，SZTR的較低端是產生SZp值為55· 8的溫度(TL)。使用先前提出的Fulcher係數以及式F和式G得到： 55.8 = (ηΟ*10/(6. 90 χ 1〇10) 1η(η〇 =-30.8 + 64125. 1/(Tl + 323. 6) 從這兩個式子可解出Tl的溫度為749°C。遵循同樣的程式可解ώ sztr的較s端是腿。c。0此Eagle _玻璃的 SZTR 是 749-806X：。第53 頁 200838814 以同樣的方式可決定此玻璃下列的範圍： cSZTR — 764-799〇C， .ssSZTR — 778-788°C，和 ^ msSZTR -- 783-784QC 。 - 藉著在SZTR之上一個或多個位置上施用橫跨帶狀物溫度分佈(最好是在cSZTR之上，更好是在SSSZTR之上，更更好 - 是在msSZTR之上)，就可控制切割自構成Eagle 2000破璃基 I 板的子片所顯示的扭曲。本發明特徵：鑑於先前說明，人們能夠看到本發明非限制性特徵包含下列： 1· 一種控制由玻璃片切割出子片呈現出扭曲之方法，該玻璃片由具有抽拉速率的抽拉處理過程製造出玻璃帶狀物切割出，該玻璃具有該抽拉速率之凝結區域溫度範圍，玻璃帶狀物具有中心線，該方法包含： • (a)在沿著帶狀物的一個或多個縱向位置上處決定帶狀物賴跨帶狀物形狀，其中帶狀物中央線玻璃的溫度在旋結區域溫度範圍之内，以及 (b)在沿著帶狀物的一個或多個縱向位置產生跨帶狀物的酿度分佈，其根據步驟(a)決定一個或多個跨帶狀物形狀，使得切割自帶狀物触璃版每一子片最大有2微米的扭曲，4組中每-片的面積大於或等於〇· 25平方公尺。 4寸徵1之方法，其中步驟(a)中一個或多個縱向位置之至夕個位置為在帶狀物中心線處玻璃溫度在内第54 頁 200838814 之位置(優先地^ ssSZTR内，更優先齡msSZTR内）。 3·特徵1之方法，其中步驟(b)中一個或多個縱向位置之至少一個位置為沿著帶狀物之位置，其中在帶狀物中心線處玻璃溫度在凝結區域溫度範圍内。 4·特徵3之方法，其中步驟⑹中一個或多個縱向位置之至少一個位置為沿著帶狀物之位置，其中在帶狀物中心線處玻璃溫度在凝結區域溫度範圍内乂優先地在cSZTR内在ssSZTR内，及最優先地在mssZTR範圍内）。 5·特徵1之方法，其中步驟⑹中一個或多個縱向位置之至少一個位置為與步驟(a)中一個或多個縱向位置之一位置相同。 6·特徵1之方法，其中在步驟(a)中決定出一個或多個検跨帶狀物形狀之至少一個形狀包含一組多個形狀元件以及在步驟(b)中產生一個或多個橫跨帶狀物溫度分佈之至少一個分佈係依據至少一個橫跨帶狀物形狀分解為形狀元件加以選取。 7·特徵6之方法，其中： (i )该形狀元件包含至少第一形狀元件以及第二形狀元件； (ii)第一形狀元件具有第一空間頻率組成以及第二形狀元件具有第二^_率組成； (III) 第一空間頻率組成對應於較低空間頻率低於弟一空間頻率組成丨以及 (IV) 在步驟(b)中一個或多個橫跨帶狀物溫度分佈第55 頁 200838814 之至少一個分佈係依據第一形狀元件。 Μ寸徵1之方法，其中在步驟⑷中決定出一個或多個橫跨帶狀物形狀之至少—個形狀包含可發展形狀元件以及 =可發展形狀元件以及在步驟⑹中產生一個或多侧黃跨 :狀物溫度分佈之至少—個分佈細鉢可發展之形狀元件0

抑9蛛_之方法，其中在步驟(a)中決定出一個或多個、物形狀之至少一個形狀加以過濾以去除至少一些 :=及以及在步驟⑹中產生—個卿橫跨帶狀物恤度刀饰士之至少一個分佈係依據該過渡之形狀。 9之方法，其中帶狀物具有橫跨帶狀物寬度w以夕-，於4/W之空間頻率藉由過遽加以去除。辦徵1之方法，其中在步驟(a)中決定出一個或多個平狀之至少—個形狀係依據應力，形狀，及/或 =形，化量測，其係對由帶狀物切割下一個或多個進仃$測及/鱗由—個或多個玻翻蝴固或多個子料行扭曲鋼。 12·特徵1之方法，其中· =抽拉處理過程包含系列實質上相峨麵由喊物切割玻翻延伸至由帶狀物切割下-玻璃片；數.以及(u)在每一循環中，帶狀物之形狀變化為時間之函，檢跨帶狀物形 (111)在步驟(a)中決定出一個或多個之至少一個形狀以時間函細以決定。第56 頁

200838814 過程1。3.锊徵1之方先其中抽拉處_程為融合下拉處理 =:Γ’該卡鎖沿著其長度具有不均二鋒H觸由玻翻蝴奸片呈現出減之方法，二：广有抽拉速率的抽拉處理過程製造出玻璃帶狀刀d，汶玻璃具有凝結區域溫度範圍，玻璃帶狀物具有 I心線，該紐包含沿著物在—個❹個縱向位置處 f ，財帶綠之中央線 f璃的溫度是在凝結區域溫度範圍之a其依據在無重力條件下玻璃片之代表性形狀，使得由帶狀物切割下玻璃片群組之每一玻璃片切割出子片的最大扭曲為2 微米，而群組中母-片的面積大於或等於G. 25平方公尺。 17. 4寸徵16之方法，其中—個或多個縱向位置之至少一個位置為沿絲狀物—敏域，其巾在帶狀物中, 玻㈣溫度在CCTT鳴先姑ssSZTR a紐规細s㈣内）〇〃 1M寸徵16之方法，其中至少一個橫跨帶狀物溫度分佈係使用冷卻卡銷產生，該卡銷沿著其長度具有不均勻直徑及/或不均勻輻射。 ^ 19·-種控制由玻璃片切割出子片皇現出扭曲之方法，名玻$片由具有抽拉速率的抽拉處理過程製造出玻璃帶狀第57 頁 200838814 物切副出，該玻璃帶狀物具有中心線，以及該方法包含: (I) 決定出該抽拉速率玻璃之凝結區域溫度範圍；以及 (II) 沿著帶狀物在一個或多個縱向位置處產生帶狀物的才戸、跨π狀物溫度分佈，其中帶狀物之中央線處玻璃的溫度疋在凝結區域溫度範圍之内，其依據在真空平坦條件下玻璃片之代表性應力分佈，使得由帶狀物切割下玻璃片群組之每一_片切割出子片的最大扭曲為2微米，而群組中每一片的面積大於或等於0· 25平方公尺。少20·特徵19之方法，其中至少一個橫跨帶狀物溫度分佈係使用冷卻卡銷赶，該卡銷沿紐具有不均句直徑及/或不均勻輻射。 21, —種使用玻璃製造處理過程產生玻璃片之方法，該玻璃製造處理過程產生玻璃帶狀物，該玻璃沿著帶狀物長度冷部，使得玻璃通過凝結區域溫度範圍改TR)，該方法含：、—（a)在一組運作條件下產生至少一片玻璃，該條件包括 &著玻螭通過SZTR處的帶狀物長度至少一個縱向位置之目標溫度值，該目標溫度值是分佈在橫跨帶狀物寬度的位置上(π橫跨帶狀物位置”； (b)在此組運作條件下產生的至少一片玻璃，進行—種或多種以下的測量： (1)玻璃片上及/或從玻璃片切割的一個或多個子片多個空間分隔位置的應力值，而此玻璃片及/或子片被真空吸引至平面表面("應力值”），〜二第58 頁 200838814 (11)玻璃片及/或從玻璃片切割的一個或多個子片，在無重力狀況下和平坦面的偏差值(”無重力和平坦面差值”）， (出）玻％片及/或從玻璃片切割的一個或多個子片，在重力狀況下和平坦面的偏差值("重力和平坦面的偏差值”），和 (iv)玻璃片平面内形狀改變值及/或從玻璃片切割的一個或多個子片的扭曲值(”形狀改變/扭曲值"）； (c) 將步驟⑹所測量的值和一或多個扭曲準則及/或一或多個替代情況扭曲準則比較； (d) 決定沿著玻璃通過szTR的帶狀物長度，至少一個縱向位置上的橫跨帶狀物位置目標溫度修正值，利用： (i)和一或多個扭曲準則及/或一或多個替代情況扭曲準則比較，和 (i i) 一個可以將橫跨帶狀物熱分佈改變與玻璃帶狀物内及/或從帶狀物切割的玻璃片内，預測的應力及/或應麦改變相關的電腦模型(例如附錄A所討論的電腦模擬型陣 )； ^ (e) 使用步驟(d)決定的目標溫度修正值產生至少一片玻璃； (f) 在步驟(e)產生的至少一片玻璃進行一或多種以下的測量:«)應力值，（ii)無重力和平面的偏差值，（iii)重力和平面的偏差值，和（iv)形狀改變/扭曲值;以及 (g) 將步驟(f)所測量的值和一或多個扭曲準則及/或第59 頁 200838814 一或多代扭曲準貝扯較，而且有需要的話，重複⑷到 (f) 一-人或多次，使用相同的至少一個縱向位置友/或沿著帶狀物長度至少一個不同的縱向位置。 22.特徵21之方法，其中一直重複步驟(d)到(f)，一直到決定此位置的至少一個縱向位置和目標溫度值產生滿足個或多個扭曲準則及/或一個或多個替代扭曲準則的測量值。 23·特徵21之方法，其中至少一個縱向位置包含玻璃通過cSZTR之位置(優先地通過ssSZTR，更優先地通過 msSZTR) 〇 24·特韨21之方法，其中量測值分解為空間元件以及這些分解數值使用於決定目標溫度值。 25·特徵24之方法，其中： (i) 該空間元件包含至少第一空間元件以及第二空間元件； (ii) 第一空間元件具有第一空間頻率組成以及第二空間元件具有第二空間頻率組成； (11 i)第一空間頻率組成對應於較低空間頻率低於第二空間頻率組成;以及 (iv)第一空間元件使用於決定目標溫度值。 26· 4寸徵21之方法，其中量測數值加以分解係依據可發展空間元件以及不可發展之空間元件以及依據不可發展空間元件之分解數值可使用於決定目標溫度值。 27·特徵21之方法，其中量測數值加以過濾以去除至少第60 頁 200838814 一些空間頻率以及過濾數值使用於決定目標溫度值。 28. 特徵27之方法，其中帶狀物具有橫跨帶狀物寬度W 以及至少一些高於4/W之空間頻率藉由過濾加以去除。 29. 特徵21之方法，其中量測數值為步驟(&)及/或步驟 (e)中產生群組玻璃片之平均值。 30. 特徵21之方法，其中計算機模擬採用下列形式方程式組或非線性方程式組： d2€ir 2 dydz dzdx d2^zz dxdij ^€Xy d ( dtyz dexz 77---^--1—^--r 〇x \ ux ay Θ % d f dt dz \、 4- de dz a2c dz Ch: vv + +

dexy\、 ^d7) ^yz\ dz / dy J 2 dxdy d2e 2 dydz dzdx %2 ; &2€z 十— 仏zz dx2 dx2 + dy2 〇2exx

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其中e為總槪g為彈性應變，α為熱膨服與f應變為零處基本溫度之差值，π為應力= 紙E為揚氏彈性模數，以及^為波松比值，以及m 直角坐標。 ’ ’句制土 31. _21之紐，財赌秘合下鱗理過程製造出。 32·特徵21之方法，其中帶狀物藉由浮式處理過程製造出。 ° 33· —種使用玻璃製造處理過程產生玻璃片之方法，該玻璃製造處理過程產生玻璃帶狀物，該製造處理過程具有抽拉速率以及該方法包含： (a)對該抽拉率之玻璃決定出玻璃的凝固區域溫度範圍(SZTR); (b) 在一組運作條件下產生至少一片玻璃，該操作條件包括沿著玻璃通過SZTR(優先通過cSZTR，更優先地通過 ssSZTR，以及最優先通過szTR)的帶狀物長度至少一個縱向位置處的目標溫度值，此目標溫度值是分佈在橫跨帶狀物 1度的位置上C’橫跨帶狀物位置’’）。 (c) 在此組運作條件下產生的至少一片玻璃，進行一種或多種以下的測量： (i)玻璃片上及/或從玻璃片切割的一個或多個子片 200838814 多個空間分隔位置的應力值，而此玻璃片及/或子片被真空至平面表面(’，應力值，，）， (ii)玻璃片及/或從玻璃片切割的一個或多個子片 ' 在然重力狀況下和平坦面的偏差值(，，無重力和平坦面的偏 . 差值”）， (III) 玻璃片及/或從玻璃片切割的一個或多個子片 - ，在重力狀況下和平坦面的偏差值(”重力和平坦面的偏差 # 值”），和 (IV) 玻璃片平面内形狀改變值及/或從玻璃片切割的一個或多個子片的扭曲值(’’形狀改變/扭曲值”）； (d) 將步驟(c)所測量的值和一或多個扭曲準則及/或一個或多個替代扭曲準則比較； (e) 藉由使用和一個或多個扭曲準則及/或一個或多個替代扭曲準則比較，決定沿著玻璃通過SZTR的帶狀物長度至少一個縱向位置上的橫跨帶狀物位置目標溫度修正值； • ⑴個步驟(e)決定的目標溫絲正值產生至少一片玻璃； (g)在步驟⑴產生的至少—#玻猶行—種或多種以下的測量⑼應力值，（⑴無重力和平關偏差值，（邱重力和平面的偏差值，和(iv)形狀改變/扭曲值;以及 ⑹將步驟(g)·量數值和一或多個扭曲準則及/或個或夕個替代扭曲準則比較，而且有需要的話，重複⑹ 到(g)-次或多次，使用相同的至少一個縱向位置及域沿著帶狀物長度至少-個不同的縱向位置。第63 頁 200838814 、4寸欲33之方法，其中一直重複步驟(e)到㈤，一直到决疋此位置的至少_個縱向位置和目標溫度值產生滿足一個或多個扭鱗則及/或—❹補餘解則的測量 ‘ 值。 - 35.特徵33之方法，其中量測值分解為空間元件以及這些分解數值使用於決定目標溫度值。 - 36.特徵35之方法，其中： φ 一 (1)δ亥空間元件包含至少第一空間元件以及第二空間元件； (Η)第-空間元件具有第―空間鮮組成以及第二空間元件具有第二空_率組成； (m)第一空間頻率組成對應於較低空間頻率低於弟一空間頻率組成;以及 (iv)第一空間元件使用於決定目標溫度值。 37·知·徵33之方法，其中量測數值加以分解係依據可發 ❿ 展工門元件以及不可發展之空間元件以及依據不可發展空間元件之分解數值可使用於決定目標溫度值。 38·特徵33之方法，其中量測數值加以過濾以去除至少一些空間頻率以及過濾數值使麟決定目標溫度值。、39·特徵38之方法，其中帶狀物具有橫跨帶狀物寬度评以及至少-些高於4/w之空間頻率藉由過遽加以去除。 40·特徵33之方法，其中量測數值為步驟⑹及/或步驟 (f)中產生群組玻璃片之平均值。 41.特徵33之方法，其中帶狀物藉由融合下拉處理過程第64 頁; 200838814 製造出出 42.知徵33之方法，其中帶狀物藉由浮式處理過程製造法包含：之一維或到由處理過程製造出破璃片及/或子片 ❿ 二維數據; 以及多解元，該單元包含至少第一單元以及弟^—界7〇，其中· ㈠第單元具有第一空間鮮組成以及第二單元具有弟二雜鱗喊;峨咏(11)帛—钟鱗喊對應於較健職率低於弟二空間頻率組成;以及吏用第單元於選擇至少一個使用於抽拉處理過程中之處理參數。 44·特徵43之方法，其中數據為形狀數據。 45· ^徵43之方法，其中數據為應力數據。 46· 4寸徵43之方法，其中至少一個處理過程參數為橫跨帶狀物溫度分佈。 ' 雖然本發明特定實施例已加以說明以及顯示出，人們了解能夠作改變而並不會脫離本發明t精神及範圍。例如，、雖然本|明场触合向下蹄纽過程翻，其同樣地過程，其中形成玻璃帶狀物以及當冷卻時第65 頁 200838814 通過凝結區域溫度範圍。業界熟知此技術者將由在此所揭示内容了解不同的其他變化並不會脫離本發明之精神及範圍。下列申請專利範圍預期將含蓋在此所揭示之特定實施例以及這些變化，改變以及同等情況。附錄A 熱壓力評估：

在片狀物中應力及應變必需滿足下列一組場方程式。匹配性一 d ( deyz dydz dx dy 4--二 dz ^€yy d ( i ^€>x y dzdx &y\ % + ._ dx <52€2：z 一 d / 、df， dxdy d； v 、 dz + Ύ7 4--- dy (1) 2 2 dxdy 9y2 dx2 ^2^yy dydz dz2 dy2 δΊ __ dzdx dx2 + a#

其中£為總應變，下標以傳統方式代表分量，以及χ，y，z為直角座標。參閱例如 Sokolnikoff，I.S·，1956, Mathema tical Theory of Elasticity, Robert E. Krieger Pub lishing Company, Malabar，Florida。匹配公式表示位移場為連續㈣。即，其絲在物針絲狐形成，以及相同的空間並未被超過一個物體部份所佔據。在彈性模式中，總應變為彈性及熱應變之總和。彈性應變έ為：第66 頁 200838814 ΟίΤ ^VV = €VV — al 二=- aT (2) €xy ― €yz ~ €yz 其中α為熱膨服係數，在此視為異向性，以及T為與在熱應變為零處基本溫度之差值。注意τ能夠為空間位置之函數。本質定律 t^sz eyz -β (^·χ - ^(CTyy + σ^)) β (σνν - ^χχ + ^ζζ)) i^zz - ι/(^χχ i~ ^yy)) 1 — ν Ε 1 — υ 二—· — Ε ^(£Ζ l-y 一 --------—· Ε ayz - 爸yy : ^xy (3) 中〜為應力，E為揚氏彈性模數，以心為波松比值。e ^為溫度之函數。該組公式明材料應力_應變特性盆二泉性鼠假如下其雜鱗轉性。’、平衡性

,Jov ~1--十

.ύ(7νν 言+

dz 0 0 0 ⑷ 為了求出_ 度分佈對先前多—。邊頁第67 200838814 物為無外部力量。可加以變化，邊界條件能夠包含施加外部力軸如躺財蚊料力量及/触冑力量& V狀物長度之一個或多個縱向位置處。如果熱應變獨自滿足相容性，總應變可以只是熱應變那麼就沒有應力。修，如絲趙是均桃或如果有均，的梯度，獨自滿足相容性，那麼就不會有應力。當熱應變

無法滿足相容性，彈性(或黏彈性)應變輸入圖中，使得總^ 變滿足相容性。此模擬可利用ANSYS有限元素軟體來實行。先前求解的方程式組和程式可以建置於順3。幾何形狀，為溫度函數的材料特性(E，U )，和溫度分佈都加以規定於ANSYS 軟體中。先前的方程式是適合線性的例子:無窮小應變，線性彈性材料行為模擬，和小型置換。然而，有些情形可能是幾何非線性的。例如，應變可能是無窮小，材料行為模式可能是線性彈性，但置換可能大到需要非線性的分析。這種非線性的例子所要求解的方程式比上述線性方程式還要複雜，但在很多教科書上都有說明，例如Malvern，L. E. ? Introduction to the Mechanics of a Continuous

Medium，Prentice-Hall，Inc·，1969, Belytschko, T·，

Liu, W. K., Moran, B., Nonlinear Finite Elements for Continua and Structures, John Wiley & Sons, Ltd., 2000,和 Dhondt，G·，The Finite Element Method for Three-Dimensional Thermoraechanical Applications, 200838814

John Wiley & Sons，Ltd.，2004。更進一步而言，ANSYS和^[艮多業界可用的有限元素套裝軟體都有内建的非線性方程式和求解程式。例如他SYS的 NLGEOM，0N命令，就用來和支援非線性行為(例如麗TL18i 元件)的元件一起使用以標示所要求解是非線性方程式。【附圖簡單說明】第一圖為依據本發明範例性實施例之融合玻璃製造裝置的示意圖。凝結區域溫度範圍(SZTR)之縱向位置示意性地顯示於該附圖中。第一圖A，B及C為冷卻卡銷之示意圖，其能夠使用於產生横跨帶狀物溫度分佈。第二圖為圓頂高度為占高度之球狀玻璃片圖式。第四圖為顯不出當平坦化時第三圖玻璃#發展出邊緣應力之圖式。 f第五圖為顯不出座標系統之圖式，該系統能夠使用於 °异補償第四圖邊緣應力之熱分佈。圖為顯示出第三圖球形玻璃片幾何形狀之圖式。第七圖為齡·，該分佈麟使絲麵第四圖形狀導致之邊緣應力。 ^八圖顯示出第悄熱分佈產生之熱邊緣應力。 ^佈之圖式，齡佈能夠使用 1㈣償細圖形狀導致之邊緣應力。 =2顯示出由第九圖熱分佈產生之熱邊緣應力圖式。圖頒不出由第九圖熱分佈兩倍產生之熱邊緣應第69 頁 200838814 力圖式。第十二圖為橢球形狀玻璃片之圖式。第十三圖為熱熱分佈(跨越溫度變化)之圖式，其能夠使用來補償當平垣化時第十二圖玻璃片相目之形狀引起邊緣應力。第十四圖A為當第十二圖玻璃片平坦化時產生之形狀引起的邊緣應力圖式。

f十四圖1顯示出第十三圖熱分佈產生之熱邊緣應力。、第十五圖為熱熱分佈之圖式，其能夠使用來補償F比值為5橢球形玻璃片平坦化相關之形狀引起邊緣應力。第十/、圖為熱熱分佈之圖式，其能夠使用來補償F比值為W橢球形破璃片平坦化相關之形狀引起邊緣應力。第十七圖顯不出邊緣應力分分解為長比例(長範圍;低二間頻率)成份以及短比例(短範圍：長空間頻率)成份。在第十七圖巾垂直轴為任意單似级水平轴為沿著玻璃片邊緣以米為單位之距離。第十八圖為示意圖，其顯示出使用於決定出SZTR上限及下限之溫度分佈。第十九圖顯示出溫度為第十八圖直線S及J中離形成管根部H離之函數。产第—十圖為曲線圖，其顯示出殘餘應力為影響區域範圍之函數。第—十-圖為第一十圖沿著凝結區域溫度範圍卿）之叭轴圖式。第 70 頁 200838814 第二十二圖為第二十圖沿著凝結區域溫度範圍(SZP) 之？7 Η轴圖式。附圖元件數字元號說明: . 玻璃片13;玻璃帶狀物15;入口 19;出口 21;輻射性塗層23;邊緣滾轴27a，27b;拖拉滾軸29;凝固區域溫度範圍(SZTR) 31;劃線35;形成管37;槽39;形成管根部 . 41;空間元件 69, 71;曲線 43,45,47,49, 51，53, 55, 57, 59, 61，63, 65, 67, 69, Ή。 Φ 第71 頁

Claims

200838814 十、申請專利範圍： 1· 一種控制由玻璃片切割出子片呈現出扭曲之方法，該玻璃片由具有抽拉速率的抽拉處理過程製造出玻璃帶狀物切 • 割出，該玻璃具有凝結區域溫度範圍，玻璃帶狀物具有中心 , 線，該方法包含： (a) 在沿著帶狀物的一個或多個縱向位置上處決定帶狀 ‘ 物的橫跨帶狀物形狀，其中帶狀物中央線玻璃的溫度在凝 _ 結區域溫度範圍之内，以及 (b) 在沿著帶狀物的一個或多個縱向位置產生跨帶狀物的溫度分佈，其係根據在步驟(a)中決定出一個或多個跨帶狀物形狀之至少一個形狀，使得切割自帶狀物的玻璃片群組之每一子片最大扭曲為2微米，其中群組中每一片的面積大於或等於0· 25平方公尺。 2·依據申请專利範圍第1 j員之方法，其中玻璃在凝結區域溫度乾圍内具有良好點溫度範圍以及步驟(a)中一個或多個 • 縱向位置之至少一個位置為在帶狀物中心線處玻璃溫度在良好點溫度範圍内良好點溫度範圍内之位置。 3·依據申請專利細第1項之方法，其中步驟⑹中一個或多個縱向位置之至少-個位_與步驟(a)中一個或多個縱向位置之一位置相同。 4.依據申請專利細第i項之方法，其中在步驟⑸中決定出-個或多織跨帶狀物形狀之至少一個形狀包含一组多個形狀元件以及在步驟⑹中產生一個或多侧黃跨帶狀物溫度分佈之至彡-個分佈依據至少一個橫跨帶狀物形狀分第72 頁 200838814 解為形狀元件選取出。 5.依據申請專利範圍第u頁之方法，其中： ω該形狀元件包含至少第—靴元件減第二形狀元 ‘ 件； ‘ （11)第—驗元件具有空間鮮組祕及第二形狀元件具有第二空間頻率組成； (III) 第-空間解組賴應於較低空間頻率低於第二 Φ 空間頻率組成；以及 (IV) 在步驟⑹中_個或多個橫跨_狀物溫度分佈之至少一個分佈係依據第一形狀元件。 6·依據申請專利細第i項之方法，其中在步驟⑸中決定出一個或多個橫跨帶狀物形狀之至少一個形狀包含可發展形狀元件以及不可發展形狀元件以及在步驟(b)中產生一個或多個橫跨Φ狀物溫度分佈之至少一個分佈係依據不可發展之形狀元件。 % 7·依據申請專利範圍第1項之方法，其中在步驟(a)中決定出一個或多個橫跨帶狀物形狀之至少一個形狀加以過濾以去除至少一些空間頻率以及以及在步驟(b)中產生一個或多個橫跨帶狀物溫度分佈之至少一個分佈係依據該過遽形狀。 δ·依據申請專利範圍第1項之方法，其中在步驟(a)中決定出一個或多個橫跨帶狀物形狀之至少一個形狀係依據對由帶狀物切割下一片或多片玻璃片及/或對由一片或多片破璃片切割下子片進行應力，形狀，及/或平面中形狀改變之第73 頁 200838814 量測。 9.依據申請專利範圍® 1項之方法，其中： (·)抽拉處理過程包含系列實質上相同的循環，每一循環 . 由帶狀物切割破璃片延伸至由帶狀物切割下一玻璃片； ' W)在每一循環中，帶狀物之形狀變化為時間之函數;及 (i i i)在步驟(a)中決定出一個或多個橫跨帶狀物形狀之 — 至少一個形狀以時間函數加以決定。參 ^ -種控儀破璃片切難子片呈現出扭曲之方法該玻璃片由具有抽拉速麵抽拉處理過程製造出玻璃帶狀物切割出，玻璃帶狀物具有中心線，該方法包含： (1)決定出該抽拉速率玻璃之凝結區域溫度範圍；以及 (i i)沿著帶狀物在一個或多個縱向位置處產生帶狀物的橫跨帶狀物溫度分佈，其中帶狀物之中央線處玻璃的溫度是在凝結區域溫度範圍之内，其依據在無重力條件下玻璃片之代表性形狀，使得由帶狀物切割下玻璃片群組之每一籲玻璃片切割出子片的最大扭曲為2微米，而群組中每一片的面積大於或等於〇· 25平方公尺。 11· 一種使用玻璃製造處理過程產生玻璃片之方法，該玻璃製造處理過程產生玻璃帶狀物，該玻璃製造處理過程具有抽拉速率以及方法包含： (a) 決定出該抽拉速率玻璃之凝結區域溫度範圍(SZTR); (b) 在一組運作條件下產生至少一片玻璃，該條件包括沿著玻璃通過SZTR處的帶狀物長度至少一個縱向位置之目標溫度值，該目標溫度值是分佈在橫跨帶狀物寬度的位置上（第74 頁 200838814 ”橫跨帶狀物位置”）; (C)在此組運作條件下產生的至少一片玻璃進行一種或多種以下的測量： (i) 在玻璃片上及/或從玻璃片切割的一個或多個子片上多個空間分隔位置處之應力值，而此玻璃片及/或子片被真空吸引至平面(”應力值”）， (ii) 玻璃片及/或從玻璃片切割的一個或多個子片在無重力狀況下和平坦面的偏差值(”無重力和平坦面的偏差值’’）， (i i i)玻璃片及/或從玻璃片切割的一個或多個子片在重力狀況下和平坦面的偏差值(”重力和平坦面的偏差值”) ，以及 (iv)玻璃片平面内形狀改變值及/或從玻璃片切割的一個或多個子片的扭曲值(”形狀改變/扭曲值”）； ⑷將步驟(c)所測量的值和一或多個扭曲準則及/或一個或多個替代情況扭曲準則作比較； (e) 決定出沿著玻璃通過SZTR的帶狀物長度至少一個縱向位置上的橫跨帶狀物位置之目標溫度修正值，其利用和 -個或多個扭曲準則及/或一個或多瓣代情況扭曲準則比較，以及 ' (f) 使用步驟(e)決定的目標溫度修正值產生至少一片玻璃； (g) 在步驟⑴中產生的至少一片玻璃進行一種或多種以下的測量:（ι)應力值，（ii)無重力和平_偏差值，（⑹ 第75頁 200838814 重力和平_偏差值，和㈤形狀改朗域值丨以及 ⑸將步驟⑴所測量的值和一個或多個扭曲準則及/或 -個或多個替代扭曲準則作比較，而且需要情況下重複(d) 到(f) 一次或多次，使用相同的至少一個縱向位置及/或沿著帶狀物長度至少一個不同的縱向位置。 12·依據申請專利範圍第u項之方法，其中在步驟⑹中，改 :目標溫度值使用計算機模擬決定出，該模擬能夠使橫跨 ▼狀物熱分佈變化與預測應力變化及/或玻璃帶狀物及/或由帶狀物切割下玻璃片應變產生關連。 13·依據申請專利細第n項之方法，其中重複步驟(e)到 (g)持續到決定出至少-個縱向位置和在該位置處目標溫度值，其產生1測值將滿足一個或多個扭曲準則及/或一個或多個替代扭曲準則。 14·依據申請專利細第n項之方法，其中量測值分解為空間元件以及這些分解數值使用於決定出目標溫度數值中。 15·依據申請專利範圍第14項之方法，其中： (i)該空間元件包含至少第一空間元件以及第二空間元件； (i i)第一空間元件具有第一空間頻率組成以及第二空間元件具有第二空間頻率組成； (111)第一空間頻率組成對應於較低空間頻率低於第二空間頻率組成;以及 (iv)第一空間元件使用於決定目標溫度值。 16·依據申請專利範圍第η項之方法，其中量測數值分解係 200838814 依據可發展空間元件以及不可發展之空間元件以及依據不可發展空間元件之分解數值可使用於決定目標溫度值。 17·依據申請專利範圍第11項之方法，其中量測數值加以過濾以去除至少一些空間頻率以及過濾數值使用於決定目標溫度值。 18·依據申請專利範圍第丨〗項之方法，其中量測數值為步驟 ⑹及/或步驟⑴中產生群組玻璃片之平均值。