TW200829493A - Apparatus and method for supplying articles to processing tool - Google Patents

Description

200829493 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一^種將半導體晶圓寺之物品供給至處理 裝置的裝置。 【先前技術】 申請人曾提出一種將液晶基板或者電漿顯示基板等收 容於承盤，且供給至處理裝置的裝置（專利文獻1 :日本特 開2004-1 68483)。在此裝置中係以輸送機來搬運承盤，並 在處理裝置前貯藏，且將基板從承盤取出而供給至處理裝 置。 然而在將半導體晶圓等供給至處理裝置的情況，複數 片晶圓係在收容於1個收納盒之後被搬運。在此，一旦晶 圓不能時序佳地供給至處理裝置，處理裝置的效率就會降 低。尤其是在收納盒的收容片數與以處理裝置進行一次處 理的片數不同的情況，亦有需要對處理裝置供給必要片數 的晶圓。又爲了防備收納盒到達的順序與以處理裝置來處 理晶圓的優先程度不同的情況，而需要將對處理裝置供給 晶圓的順序依收納盒的到達順序進行變更的結構。更且由 於會有發生配合下一個處理裝置而變更收納盒內之晶圓之 搭配的必要，所以在將處理結束之晶圓供給至收納盒時， 需要變更晶圓之搭配的結構。因此發明人爲了解決上述課 題以致於完成本發明。 (專利文獻1)日本特開2004- 1 68483 200829493 【發明內容】 (發明所欲解決之問題） 本發明之課題在於，即使在以處理裝置進行一次處理 的物品之數目，比被收容於容器的物品之數目較多的情況 ，亦可對處理裝置供給所需數目之物品。申請專利範圍第 2項之發明中所追加的課題，係在於可將處理的優先程度 較高的物品，比到達處理裝置之優先順序更優先處理。申 請專利範圍第3項之發明中所追加的課題，係在於可配合 下一個處理裝置，變更收容於容器的物品之搭配。 (解決問題之手段） 本發明之物品供給裝置，係從收容複數個物品之容器 中取出物品，並供給至處理裝置的裝置，其特徵在於：設 有：容器保管棚架，係用以保管前述容器；物品保管棚架 ，係用以保管從前述容器中取出的物品；移載手段，係用 以從前述容器中取出和放入前述物品，並在前述容器與前 述物品保管棚架之間搬運前述物品；搬運手段，係用以在 前述移載手段與前述容器保管棚架之間搬運前述容器；以 及供給手段，係用以從前述物品保管棚架取出所需的前述 物品並供給至前述處理裝置，並且將來自前述處理裝置之 前述物品供給至前述物品保管棚架。 較佳爲，前述供給手段係從前述物品保管棚架將所需 的前述物品隨機自如地供給至前述處理裝置。又較佳爲， 前述移載手段係從前述物品保管棚架將所需的前述物品隨 -5- 200829493 機自如地收納至前述容器。 (發明效果） 本發明中，由於係將容器暫時保管於容器保管棚架， 且將從容器取出的物品保管於物品保管棚架，所以可將處 理裝置所需的物品貯藏於此等的棚架，並迅速地進行供給 。又由於可將容器保管棚架與外部的搬運裝置進行緩衝， 所以即使對於外部的搬運裝置亦具有效率。更且可藉由控 制從容器保管栅架取出的順序，而以容器之單位來變更容 器的到達順序、與處理裝置中的處理順序。 在此，一旦使供給手段從物品保管棚架將所需物品隨 機地對處理裝置供給自如，就可變更從物品保管棚架將物 品供給至處理裝置的順序，且按照物品的優先程度進行處 理。又一旦使移載手段從物品保管棚架將所需物品隨機地 對容器收納自如，就可配合下一個處理裝置等，變更設定 於容器的物品之搭配。 【實施方式】 以下係顯示用以實施本發明的最佳實施例。 (實施例） 第1圖至第3圖係顯示以在無塵室內進行半導體晶圓 之搬運與供給爲例的實施例。各圖中，元件符號2爲處理 裝置’用以對半導體晶圓進行加工或檢查等的處理。在處 -6 - 200829493 理裝置2之前面例如有一對的選別機4、6，用以從收容有 複數片半導體晶圓的收納盒1 8逐片取出/置入半導體晶圓 。選別機4、6係兼用移載手段與供給手段，亦可以個別 的構件構成移載手段與供給手段。元件符號8、9爲晶圓 緩衝區，用以保管從收納盒1 8取出的晶圓，且爲物品保 管棚架之例。相對於晶圓緩衝區8，選別機4係可對隨機 的位置逐片取出/置入晶圓。同樣地，相對於晶圓緩衝區9 ，選別機6係可對隨機的位置逐片取出/置入晶圓。以元 件符號1 〇、1 1顯示被收容於晶圓緩衝區8、9的複數片半 導體晶圓。在選別機4、6與裝載璋1 4、1 5之間，有未圖 示之附有擋門的出入口 12、13。又在裝載埠14、15之上 部或下部等，有例如以鉛垂視之呈重疊的收納盒緩衝區（ 容器保管棚架）16、17。 在無塵室之頂棚附近設置行走軌道2 1，俾使裝置間之 作爲搬運手段的高架行走車22行走。然後高架行走車22 ，係在與收納盒緩衝區1 6之間收授收納盒1 8。在處理裝 置2之例如前面側的地板面設置行走軌道24，且設置具備 有移載裝置28的台車26。移載裝置28係由例如刻度機械 臂或者滑動式叉架等所構成，可沿著設置於台車26之塔 29而升降自如。然後移載裝置28係在收納盒緩衝區16、 1 7之間、或者收納盒緩衝區1 6、1 7與裝載埠1 4、1 5之間 ，搬運收納盒18。雖然以移載裝置28與台車26，構成處 理裝置內的搬運裝置，但是亦可以複數個處理裝置來共用 此等。同樣地，亦可以複數個處理裝置來共用收納盒緩衝 200829493 區 16、 17。 第3圖係顯示實施例中的物品之流動。作爲處理裝置 2間的搬運手段有高架行走車22，而高架行走車22係在 與收納盒緩衝區16之間收授收納盒。以升降自如地設置 於台車的移載裝置28，在收納盒緩衝區16、17、或者裝 載璋1 4、1 5之間進行收納盒的來往。因此在需要選別機4 、6時，可將收納盒以移載裝置28搬運至裝載埠14、15 。在裝載埠1 4、1 5設置未圖示的輸送機等，並在與選別 機4、6之間搬運收納盒。然後以選別機4從收納盒取出/ 置入晶圓，且立即將所需的晶圓直接供給至處理裝置2， 而其他的晶圓則在晶圓緩衝區8進行暫時保管。然後將處 理裝置2所需的晶圓以選別機4從晶圓緩衝區8任意取出 ，且供給至處理裝置2。另外，亦可將全部的晶圓，暫時 在晶圓緩衝區8保管。 將在處理裝置2處理後的晶圓以選別機6從處理裝置 取出，且暫時保管於晶圓緩衝區9。在此若有需要立即搬 運的晶圓，可不經由晶圓緩衝區9，而以選別機6收納於 收納盒。從晶圓緩衝區9將所需的晶圓隨機地，換言之選 擇性地取出，並收納於收納盒。收納有晶圓的收納盒，係 保管於收納盒緩衝區16、17，且以高架行走車搬出。 在實施例中，可獲得以下的效果。（1)可將處理裝置2 所需的晶圓，貯藏於晶圓緩衝區8。又將收納盒緩衝區1 6 、1 7，作爲高架行走車22與處理裝置2間之收納盒的緩 衝區。然後從晶圓緩衝區8，將所需的晶圓選擇性地供給 -8— 200829493 至處理裝置2。因此處理裝置2可經常供給必要片數的晶 圓。例如即使在收納盒1 8中的晶圓之搬運片數、與處理 裝置2所需的晶圓之片數不同亦不會發生問題。（2)供給至 處理裝置2的晶圓之順序，係可以從收納盒緩衝區1 6、1 7 供給至選別機4的收納盒之順序、以及從晶圓緩衝區8等 以選別機供給至處理裝置2的晶圓之順序，作2階段性地 變更。因此在每一晶圓處理的優先程度不同的情況，可按 照優先程度進行處理。（3)以處理裝置2所處理結束的晶圓 ，係暫時被存放在晶圓緩衝區，且以選別機6隨機地取出 所需的晶圓，並收納於收納盒。因而可配合下一個步驟之 處.理裝置，而變更收納於收納盒的晶圓之搭配。因此即使 是如經由複數個處理裝置，且在途中所用的處理裝置爲不 同的搭配，亦可收容於相同的收納盒之後被搬運。 在實施例中雖然係將收納盒緩衝區1 7於裝載埠1 4、 1 5與收納盒緩衝區1 6之間設置有例如1層，但是亦可在 裝載埠14、15之下層設置更多層。又在收納盒緩衝區16 、：17之保管能力不足的情況，亦可在第1圖中的處理裝置 2之相反側，設置收納盒保管用的棚架。作爲收納盒緩衝 區16、17與裝載瑋14、15之間的搬運裝置，雖然在行走 於軌道24上的台車26設置有升降自如的移載裝置28，但 是其種類或構造爲任意的。在選別機4、6之處理能力不 足的情況，可在晶圓緩衝區8、9與處理裝置2之間’追 加可相對於晶圓緩衝區隨機地取出/置入晶圓的選別機。 200829493 【圖式簡單說明】 第1圖係實施例的物品供給裝置之平面圖 第2圖係實施例的物品供給裝置之正面圖 第3圖係顯示實施例中的物品之供給路線 【主要元件符號說明】 2 :處理裝置

4、6 :選別機 8、9 :晶圓緩衝區 1 〇、1 1 :晶圓 12、13 :出入口 1 4、1 5 :裝載埠 1 6、1 7 :收納盒緩衝區 1 8 :收納盒 21、24 :行走軌道 22 :高架行走車 2 6 :台車 28 :移載裝置 29 :塔 -10-

Claims (1)

1. 200829493 十、申請專利範圍 1. 一種物品供給裝置，係從收容複數個物品之 取出物品，並供給至處理裝置的裝置，其特徵在於 設有： '容器保管棚架，係用以保管前述容器； '物品保管棚架，係用以保管從前述容器中取出 9 ^ 移載手段，係用以從前述容器中取出和放入前 ，並在前述容器與前述物品保管棚架之間搬運前述 ， 搬運手段，係用以在前述移載手段與前述容器 架之間搬運前述容器；以及 供給手段，係用以從前述物品保管棚架取出所 述物品並供給至前述處理裝置，並且將來自前述處 之前述物品供給至前述物品保管棚架。 2. 如申請專利範圍第1項所記載的物品供給裝 φ 中，前述供給手段係從前述物品保管棚架將所需的 品隨機自如地供給至前述處理裝置。 3 .如申請專利範圍第1項所記載的物品供給裝， * 中，前述移載手段係從前述物品保管棚架將所需的 品隨機自如地收納至前述容器。 容器中 的物品 述物品 物品； 保管棚 需的前 理裝置 置，其 前述物 置，其 前述物 -11 -