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TW200812894A - Film substrate transport module - Google Patents

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TW200812894A TW95132289A TW95132289A TW200812894A TW 200812894 A TW200812894 A TW 200812894A TW 95132289 A TW95132289 A TW 95132289A TW 95132289 A TW95132289 A TW 95132289A TW 200812894 A TW200812894 A TW 200812894A
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Ching-Chih Lin
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200812894 . 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 • 本發明係有關於一種片材之取放模組,尤指一種藉由 撥片撥離片材之取放模組,可確保片材取放時之平整性’ 防止取片時之疊片問題’避免傷害片材,並可提高取放時 之便利性、縮短製程時間、提高產能,且經由模組化,適 用於各類材質、不同尺寸片材,尤適用於取放背光模組之 極薄型反射片。 【先前技術】 按,薄膜類片材因為材質、厚度及尺寸等原因,其取 放問題向來是業界之一大困擾,且其薄又軟之特性常造成 取放時,因片材與片材之間局部真空或靜電吸附之影響造 成疊片問題,例如 TFT-LCD(thin-film transistor liquid-crystal display,薄膜電晶體液晶顯示器)所採用 φ 之背光模組,主要是由一上框、複數光學片、燈管、反射 片及背蓋所構成,其中,反射片之主要功能在於將自光源 發出之光線以及光學片洩漏之光線有效反射至光學片以提 高光利用率,由於反射片厚度極薄(一般厚度約為3〇()// • m),而為因應高晝質、大尺寸液晶電視需求,近年來,背 、 光模組尺寸由15吋、17吋擴大至27吋、32吋、37时、 42吋及47吋等大型尺寸,因此也使得反射片於背光模組 製程中之取放更為困難。 請參閱圖一及圖二所示,美國專利6667250號 200812894 substrate treatment apparatus, film substrate treatinent method,and film substrate transport method」,該專利揭露一種薄膜取放之裝置及方法,如圖一 所示之薄膜取放裝置7B,其底部設有複數吸盤75a、75b, 該彈簧762作用為當取放裝置7B下壓時,可使吸盤75a、 75b與薄膜2完全貼附,當該取放裝置7B上升時,由於中 央之吸盤75b多了彈簧762之行程,將較慢吸離置放薄膜 2之平台8b,造成無彈簧之吸盤75a會先拉起薄膜2之邊 緣,其目的在於’由於薄膜2之厚度極薄,將薄膜2鋪放 於平台8b上時,薄膜2與平台北表面之間會存在一自然 吸力,右控制吸盤75a、75b同時上升,因為該自然吸力之 作用,極容易導致薄膜2無法被吸起,或導致薄膜2產生 豐片現象,因此也影響到後續製程,因此設計吸盤乃&先 上升將薄膜2之邊緣拉起,較容易破壞薄膜2與平台扑表 面間之吸力,如此即可將薄膜2順利吸起;7然而前述該二 施例卻存在-重大缺失,亦即,_ 2因吸力而平整貼二 側吸盤75a先行上升而中央吸盤75b卻 緊賴2中央’使得吸盤、與吸盤75b間之薄 被拉伸,因而會造成薄膜2變形4或破裂;因此吸般7、 與^之距離差不可過大,但距離差太小效果亦大^ Ϊ 次,5亥果國專利揭露另一種實施例,如圖二所示,該, 例之取放裝置7Β,其底部相對應 缘二: 控制吸盤75c上升將薄膜 权物2與平台牝表面間之吸力,亦可將薄 吸起,圖二胳+外一 碍腰Z順利 斤不邊貫施例雖可避免圖一所示實施 鈥而,因M B替9 /廿 匕⑺职天, … 、^ 2僅-側邊緣被拉起,其他部分卻無任何物 200812894 • 件支撐,使得薄膜2被吸起後無法噸利移送至下一工作平 台,再者,若薄膜2尺寸稍大時,其自然下垂之部分容易 卷曲而互相沾枯,不僅造成作業困擾,也會使得薄膜2於 • 剝離時破裂。 因此,如何能確保取放反射片等薄膜類片材時之平整 性,防止取片時之4片問題,不致破壞片材’同時可提高 其取放時之便利性,以縮短製程時間、提高產能,且能將 取放裝置模組化以棟速裝換’適用於不同尺寸片材’是業 •者迫切需要改善之,大問題。 【發明内容】 有鑑於習知技術之缺點,本發明之主要目的在於提供 一種片材之取放模組’可石雀保片材取放時之平整性,提高 取放時之便利性、縮短製程時間、提高產能。 本發明之次要目的在於提供一種片材之取放模組,適 用於各類材質、不同尺寸片材,尤適用於取放背光模組之 • 極薄型反射片。 為達到上述目的,本發明提出一種片材之取放模組, 其包含: 至少一吸附件’係用以吸取片材,並可做往復位移; ^ 複數撥片’係設置於前述吸附件往復位移之路徑中。 , 較佳地,該吸附件係外接吸力裝置,使該吸附件具有 吸力。 較佳地’該吸附件係由氣壓、液壓或電力裝置等其中 之一或其組合驅動可作往復移動。 200812894 較佳地.,該氣壓、液壓或電力裝置可連接控制程式以 設定吸附件移動之距離或控制其靜止或動作。 較佳地,該吸附件可為吸嘴或吸盤等其中之一或其組 合。 較佳地,該吸附件係為吸嘴,該吸嘴連設於彈性件, 使吸嘴具有與其往復移動方向相同之緩衝彈性。 較佳地,該彈性件係為彈簧、彈片等其中之一或其組 合。 較佳地,該撥片具有一定硬度,其硬度高於片材之硬 度。 較佳地,該撥片係為具有一定硬度之金屬薄片。 較佳地,該撥片係設置於一座體之兩侧,且撥片之間 距小於片材長度。 較佳地,該撥片係由氣壓、液壓或電力裝置等其中之 一或其組合驅動可作往復移動。 較佳地,該撥片係可與吸附件作同步位移。 較佳地,該氣壓、液壓或電力裝置可連接控制程式以 設定吸附件移動之距離或控制其靜止或動作。 較佳地,該撥片係為一具有一硬度之薄片,該薄片之 一端連接於一連楱座,該連接座係由氣壓、液壓或電力裝 置等其中之一或其組合驅動可作往復移動。 較佳地,該吸附件及撥片係設置於一座體上。 較佳地,該吸附件係設置於該座體之中央部位,且該 吸附件具有吸力之一端係朝向該座體下方。 200812894 . 較佳地,該撥片係設置於該座體之兩侧,且吸附件係 可往復位移於兩撥片之間。 較佳地,該吸附件係設置於一固定片上,該固定片係 ’ 藉由柱體穿設於該座體,當吸附件往復位移時,可帶動固 定片同步移動。 較佳地,該固定片之兩侧分別樞設有活動片,該活動 片上設有吸附件,且該活動片係可被驅動而上下擺動。 較隹地,該活動片係連接於擺臂,該擺臂係由氣壓、 ⑩ 液壓或電力裝置連接控制可上下擺動,進而可帶動該活動 片上下擺動。 較佳地,該固定片及該活動片所設之吸附件係可分別 被驅動而不同步移動。較佳地,該座體係可更換地設置於 一機台上。 為使貴審查委員對於本發明之結構目的和功效有更 進一步之了解與認同,茲配合圖示詳細說明如后。 【實施方式】 以下將參照隨附之圖式來描述本發明為達成目的所使 用的技術手段與功效,而以下圖式所列舉之實施例僅為輔 助說明,以利貴審查委員暸解,但本案之技術手段並不限 於所列舉圖式。 請參閱圖三所示,本發明所提供之一種片材之取放模 組10,其包含複數之吸附件11以及複數撥片12,該吸附 件11及撥片12係設置於一座體13上,該座體13係設置 於一工作機台上,可以螺栓鎖固、卡合等方式以達到可快 200812894 速更換之目的,由於係屬於習知技術手段,故在此不予贅 述;本實施财,該吸附件u係為吸嘴,其係設置於座體 13之中央部位’該吸附件n外接吸力裝置(圖中未 使該吸附件11具有吸力以吸取片材2〇,該吸附件U具 吸力之一端lla係朝向該座體13下方,將吸附件η ^ ,固疋片ill上’該固定片ln係藉由柱體114穿設於 忒座體13,該吸附件u連接氣壓裝置112,藉壓 =驅,件U帶動固定片ιη同步作上下往復: μ氣堅衣置112可連接控制程式以設定吸附件η移動 之距離或控制其靜止或動作,於該吸附件η盥固定片 之間設置有彈性件113,藉由該彈性件113可使吸附件u 具有與其往復移動方向相同之彈性,提供吸附件丨 20接觸日^之緩衝力;必須說明的是,前述該吸附件η亦 可為吸盤,或可為吸嘴與吸盤之組合,且吸附件11亦可以 ,壓或電力等裝置驅動’而該彈性件113可為彈菁、彈片 等其中之-或其組合’其均屬於相同技術手段之置換,可 達相同功此,因此均屬於本發明之技術範圍。 其次,該撥片12係設置於座體13底部之兩側,且位 =附,11往復位移之路徑中,且撥片12之間具有一間 距D,该間距D小於欲吸取之片材2〇之長度w,該撥片12 係為硬度兩於片材2〇之金屬薄片,該撥片12之一端連接 = 座121 ’該連接座121連接氣塵裝置122,藉氣壓 =22可驅動連接座121帶動撥片12同步作上下往復移 二且該/發片12可控制與吸附件u作同步位移,同樣地, 置122可連接控制程式以設定撥片12移動之距離 或匕制其靜止或動作’且該氣壓裝置122亦可為液壓或電 200812894 力裝置。 =參閱圖四及圖五,說明本發明吸取片材之方式,如 圖四所示,複數之片材20係置放於—儲放箱%内,去取 放松組1G於儲放箱30上方就文位後,氣壓裝置ιΐ2、田
=士吸附件11及撥片12下降,當吸附件η碰觸到片材 ,守,即由氣歷裝置112、122控制吸附件u及撥片12 =下降’可由驅動程式控制吸附件u及撥片12靜止一 •kB守間以確定將片材2〇吸附於吸附件1丨後,再驅動 件11及撥片12上升;如圖五所示,杏吸 兵 、 上升通過撥片12時,撥丄t;片及=11吸附片材 a κ J對片材20之側邊構成 抵動之動作,若被吸附件n吸附之片材2()底部沾黏有另 一片材2〇a時’則片材20a可因撥片12之撥動而破壞盥片 材20間之吸附力而被分離,片材2〇a可掉落錯放箱3〇内, 而片材20則被吸附件U吸住而上升,該取放模組1〇可回 復至圖三所示狀態。 再者,由於該座體13係為可更換式,故將座體13連 同吸附件11及撥片12才斥下,更換為其他取放模組,以適 用不同尺寸或外型之其他片#,如圖六所示,係為本發明 之較佺貝施例之立體結構示意圖,該座體13呈矩形,該 吸附件11及撥片12之設置則依循座體13之外型而適用於 矩形片材,若將該座體13設置為其他外型,則可安排吸附 件11及撥片12之設置方式以適用於相對應外型之片材。 請參閱圖七及圖★ A所#,係為本發明另一較佳實施 例之結構示意圖,該取放模組4〇包含複數之吸附件41以 及複數撥片42,該吸附件41及撥片42係設置於一座體43 上,於該座體43底部之兩侧設有撥片42 ,該撥片42之一 200812894 ,連接於一連接座421,該連接座421連接氣壓裝置422, 藉氣壓裴置422可驅動連接座421帶動撥片42同步作上下 • 往復私動,該吸附件41係為吸盤,其係設置於該座體43 ,中央部位,該吸附件41外接吸力裝置(圖中未示出),使 忒複數吸附件41具有吸力,該複數之吸附件係分別設 置於一固定片4H,該固定片411係藉由柱體414穿設於 该座體43且連接於氣壓裝置412,藉由該氣壓裝置412玎 驅動及附件41帶動固定片411同步作上下往復移動,前述 鲁 構件之作用及其驅動方式,以及其所能達成之功效與圖三 所示該實施例相對應之構件相同,此處不予贅述。 本實施例之特點在於,該固定片411之兩侧對稱樞接 有可樞轉之連接片415以及活動片416 ,該連接片415及 该活動片416係可以其樞接點4151、4161為中心分別翻 轉’位於最外側之該活動片416設有吸附件41,且該兩側 之活動片416分別連設於一擺臂44,該擺臂44係經由驅 動可同步上舉或下擺,至於其驅動之方式,可採用氣壓、 鲁 液壓或電力裝置專其中之一或其組合驅動。 請參閱圖八至圖十所示圖七該較佳實施例吸取片材之 連續動作圖,如圖八所示,複數之片材2〇係置放於一儲放 箱30内,當取放模組4〇於該儲放箱3〇上方就定位後,氣 、 壓裝置412、422驅動吸附件41及撥片42下降,當吸附件 41碰觸到片材20時,即由氣壓裝置412、422控制吸附件 41及撥片42停止下降,可由驅動程式控制吸附件41及撥 片42靜止一段時間以確定將片材2〇吸附於吸附件41後, 再驅動吸附件41及撥片42上升;如圖九所示,首先驅動 該兩擺臂44上舉,進而帶動該連接片415及活動片416向 200812894 • 上翻轉,且使得設置於該活動片416之吸附件41上抬,此 時該位於固定片411之吸附件41仍定位壓制於該片材20 ' 上,而該片材20兩側則被設置於該活動片416之吸附件 " 41上翻,使得該片材20形成一弧形,其目的在於,該薄 又軟之片材20與片材20a之間常會形成局部真空或靜電吸 附而造成疊片問題,藉由該設置於活動片416之吸附件41 上翻,可由該片材20與片材20a之邊緣破壞兩者之間之真 空或靜電吸附,並經由該撥片42之撥動後,該片材20a可 確實與該片材20分離而不致吸附於其底面,同時,該片材 20a可被準確分離於該儲放箱30内,而後如圖十所示,再 由該氣壓裝置412、422控制該複數之吸附件41及撥片42 同時上升,且該擺臂44下降,使該取放模組40可回復至 圖七所示初始狀態,且該複數吸附件41吸附一片片材20, 再將該片材20移送至下一製程;同樣地,該座體43為可 更換式,可將該座體43連同吸附件41及撥片42拆下,更 換為其他取放模組,以適用不同尺寸或外型之其他片材; 而圖七所示該實施例結構由於具有破除片材吸附真空之特 ⑩ 性,因此尤適用於27”以上之大型薄片材。綜上所述,本 發明所提供之片材之取放模組,可確保片材取放時之平整 性,提高取放時之便利性、縮短製程時間、提高產能,且 經由模組化,適用於各類材質、不同尺寸片材。 • 惟以上所述者,僅為本發明之最佳實施例而已,當不 , 能以之限定本發明所實施之範圍。即大凡依本發明申請專 利範圍所作之均等變化與修飾,皆應仍屬於本發明專利涵 蓋之範圍内,謹請貴審查委員明鑑,並祈惠准,是所至 禱。 14 200812894 【囷式簡單說明】 圖:及圖二係習知薄膜取放褒置之結構示意圖。 圖三係本發_佳實_之前視結構示意圖。 圖四及圖五係本發明較佳實施例吸取片材之動作示竟 圖。 心 圖六係本發明之一較佳實施例之立體結構示意圖。 圖七係本發明另一較佳實施例之結構示意圖。 圖七A係圖七之A部結構放大詳圖。 圖八至圖十係圖七之較佳實施例吸取片材之連續動作 圖。 【主要元件符號說明】 10- 取放模組 11- 吸附件 11a-吸附件具有吸力之一端 111- 固定片 112- 氣壓裝置 113- 彈性件 114- 柱體 12- 撥片 121- 連接座 122- 氣壓裝置 1座體 200812894 • 20、20a-片材 30-儲放箱 4 0 -取放模組 41- 吸附件 411 -固定片 412-氣壓裝置 414- 柱體 415- 連接片 416- 活動片 4151、416-1 樞接點 42- 撥片 421- 連接座 422- 氣壓裝置 43- 座體 44- 擺臂 _ D-撥片之間距 W-片材之長度

Claims (1)

  1. 200812894 十、申請專利範圍: 1. 一種片材之取放模組,其包含: 至少一吸附件,係用以吸取片材,並可做往復位移; 複數撥片,係設置於前述吸附件往復位移之路徑中。 2. 如申請專利範圍第1項所述之片材之取放模組,其中, 該吸附件係外接吸力裝置,使該吸附件具有吸力。 3. 如申請專利範圍弟1項所述之片材之取放模組’其中’ 該吸附件係由氣壓、液壓或電力裝置等其中之一或其組 合驅動可作往復移動。 4. 如申請專利範圍第3項所述之片材之取放模組,其中, 該氣壓、液壓或電力裝置可連接控制程式以設定吸附件 移動之距離或控制其靜止或動作。 5. 如申請專利範圍第1項所述之片材之取放模組,其中, 該吸附件可為吸嘴或吸盤等其中之一或其組合。 6. 如申請專利範圍第1項所述之片材之取放模組,其中, 該吸附件係為吸嘴,該吸嘴連設於彈性件,使吸嘴具有 與其往復移動方向相同之緩衝彈性。 7. 如申請專利範圍第6項所述之片材之取放模組,其中, 該彈性件係為彈簧、彈片等其中之一或其組合。 8. 如申請專利範圍第1項所述之片材之取放模組,其中, 該撥片具有一定硬度,其硬度高於片材之硬度。 9. 如申請專利範圍第1項所述之片材之取放模組,其中, 該撥片係為具有一定硬度之金屬薄片。 10. 如申請專利範圍弟1項所述之片材之取放模組’其 中,該撥片係設置於一座體之兩侧,且撥片之間距小於 1-7 200812894 該片材之長度。 11. 如申請專利範圍第1項所述之片 中,該撥片係由氣塵、液壓或m置,放柄組,肩 組合驅動可作往復移動。 i寺其中之一或其 12. 如申請專利範圍第η項所述之 中,該撥片係可與吸附件作同步位移。之取放模組,其 13·如申請專利範圍第11項所述之二, 中,該氣壓、液壓或電力裝置可 之取放模組,其 附件移動之距離或控制其靜止或空制程式以設定吸 14.如申請專利範圍^項所述, 中,該撥片係為一具有一硬度之薄片材放模組,其 接於-連接座,該連接座係由氣壓薄片之一端連 其中之-或其組合驅動可作往復移動7錢電力裝置等 15·如申請專利範圍第1項所述之片枒 中,該吸附件及撥片係設置於一座體上之取放模組,其 16·如申請專利範圍第15項所述之片。 中,該吸附件係設置於該座體之中央邻=取放极組,其 具有吸力之一端係朝向該座體下方。、。位,且該吸附件 17·如申凊專利範圍第15項所述之片松 中,該撥片係設置於該座體之兩側,日之取放模組,其 位移於兩撥片之間。 吸附件係可往復 18·如申請專利範圍第15項所述之片 中,該吸附件係設置於一固定片上,_之取放模組,其 體穿設於該座體,當吸附件往復=定片_由柱 同步移動。 守’可帶動固定片 19·如申請專利範圍第18項所述之片从 is 材之取放模組,豆 200812894 - 中’該固定片之兩側分別枢設有活動片’該活動片上設 有吸附件,且該活動片係可被驅動而上下擺動。 20. 如申請專利範圍第19項所述之片材之取放模組,其 中,該活動片係連接於擺臂,該擺臂係由氣壓、液壓或 電力裝置連接控制可上下擺動,進而可帶動該活動片上 下擺動。 21. 如申請專利範圍第19項所述之片材之取放模組,其 中,該固定片及該活動片所設之吸附件係可分別被驅動 φ 而不同步移動。 22. 如申請專利範圍第15項所述之片材之取放模組,其 中,該座體係可更換地設置於一機台上。 _ 19
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI504552B (zh) * 2009-12-22 2015-10-21 Threebond Fine Chemical Co Ltd Stripping device and peeling method
CN106516768A (zh) * 2016-12-11 2017-03-22 李玉明 全自动单张上板机
CN113291802A (zh) * 2021-06-28 2021-08-24 Tcl华星光电技术有限公司 膜材搬运装置
CN114933072A (zh) * 2022-06-30 2022-08-23 歌尔股份有限公司 装盒装置
CN117509239A (zh) * 2023-10-19 2024-02-06 欣旺达动力科技股份有限公司 取料装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI862020B (zh) * 2023-07-19 2024-11-11 有宸科技工業有限公司 固定式片體剝離裝置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI504552B (zh) * 2009-12-22 2015-10-21 Threebond Fine Chemical Co Ltd Stripping device and peeling method
CN106516768A (zh) * 2016-12-11 2017-03-22 李玉明 全自动单张上板机
CN113291802A (zh) * 2021-06-28 2021-08-24 Tcl华星光电技术有限公司 膜材搬运装置
CN114933072A (zh) * 2022-06-30 2022-08-23 歌尔股份有限公司 装盒装置
CN117509239A (zh) * 2023-10-19 2024-02-06 欣旺达动力科技股份有限公司 取料装置

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