TW200812197A - Electromagnetic microgenerator - Google Patents

Description

200812197 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係有關於一種利用線圈在磁場中相對運動，運 用磁通量變化而感應產生電流之電磁式微發電機。 【先前技術】 隨著半導體和微系統技術的進步，產品及元件的開發 逐漸走向小體積之研究，為了配合這些微小元件，負責供 應能源的設計也必須隨著微小化，而微機電技術係為前述 ⑩ 微小化開發中之重要技術。 移動通信系統係結合通信系統與微機電技術之優 點’而考量個人移動通信終端的產品體積日益減小，及要 求更長的待機和使用時間，因此需要小型化、微型化的高 功率能源。目前各式微能源包括電磁式、壓電式、熱感應、 燃料電池及電化學電池等，皆為微機電技術之開發重點。 微小發電機的技術目前屬於新興技術，如何將電磁式微發 電模組設計最佳化以搭配微機電製程技術達到最小體積、 最高發電量對微發電系統的開發相當重要。此技術將有助 於可攜式3C產品及微機械元件之發展與應用，並提昇產 業競爭力。 於微能源之開發上，電磁式微發電機為一可達到無污 染、微小化、不受時間及地點限制，且能從外在環境#中'辞 取能源隻發電機。電磁式微發電機係為法拉第定彳f之^ 用，即在一時變磁場中，當微線圈與磁石相對運動時，= 於穿過線圈之磁力線變化，而產生感應電動勢。 而在習知於電磁式微發電機的研究領域之中，Η” 年Shearwood及Yates研發以微機電製程製造一電磁式微 5 200812197 發電機，具有0.3μ\ν a _ , -電磁式發電機，等’ 2麵 2香港大學發表 構，線圈為15_；^動結構為使用雷射光加工之彈簧結 構對振動頻率以及線管線圈’經過，分析其彈簀結 率可達功㈣㈣’可得其發電機輸出功 省理工學院電壓可達2V;以及1998年美國麻 =f大輪“tr:前=電= 極硬磁及一層線圈所以發電量小。、 利用 此外，2003年日本東京大學發展的非電磁式(旋轉 =二質微發電機，其發電輸出功率為25μΨ，主要運用電 介質，料的特性來發電，且以微機電技術來製作轉子與靜 子。該非電磁式(旋轉）電介質微發電機雖採用多極設計、(四 極)之多極硬磁線圈但卻只有單層的設計，其發電量乃不及 傳統以磁生電原理發電量來的大。 而參考國内相關之電磁式發電機研究，中華民國專利 公告號第544002號係提出一種可裝設於自行車輪轴之發 電機’藉由自行車之車輪轉動來帶動該發電機其轉子迴 轉’以供應自行車使用者隨身攜帶電子設備之電池充電及 ^行車車燈所需電力；中華民國專利公告號第563961號係 提出一種可由人力驅動而發電之直流發電機，其包括有一 兔％機外殼、一發電部、一傳動部及一作動部，其中該發 電部係由複數個小型發電機組合而成，在其作動時係用手 或足部連續按壓作動；中華民國專利公告號第M286295號 係提出一種微水流發電機發電機構改良，在水流入流水通 6 200812197 件時，驅使内磁石轉動，利用無 因磁石固定框組將上磁石與磁環固定， 同步轉動進而達到發電效能者。 便传上磁石與磁私 :二;，對準精度不夠《===; 強度需加強，以增加輸出功率。㈣料磁貝之磁场 【發明内容】 本發明之目的在 電技術製造-微發電機電機’利用微機 Ϊ石相互運動’利用最小體積隻微發電機達到最大之ί電 本發明提供一種電磁微 複數組線圈區域.以及_ 電機’包括：-線圈’具有 前述線圈之線圈區域植有複數組磁極；其中’ 環狀共平面線圈樣2、、^ί後數組線圈區域依序排列成 列成一與前述線_同極;^=係將複數組磁極依序排 石之=明以結丄多層平面線圈與多極磁 化製作，有效減小荞二自平面微線圈與多極磁石係可平面 本發明體積’且提高發電量。 說明，惟需明瞭 或特徵，將依據後附圖式加以詳細 明而非在限制或縮^本=圖式及所舉之例，抵是做為說 【實施方式】 本發明係有關一 種電磁微發電機，該電磁微發電機係 200812197 在-均勻:ί =產==二線圈以-角速度 ===:出、於感“二勢 (—，S :「對於固定或 =法 動勢以路鍵結之磁通量的時變;=;」’其感應電 發電機包括： = 之結構圖’該電磁 以旋轉之方式形成—相對運動。1;、、’，： : = : 個線圈區域所絚合而成，：U忒線圈1係由複數 所細人而：成 亥磁石2係由複數個磁石磁極 Ι：；Ιΐ^ 其中’線圈1係為微發電機之靜子，且 圈區域繞法係以-單極⑼順時針繞、—臨極⑻逆時3 的規律依序排列成環狀共平面線圈樣式；而該磁石 微發電機之轉子，且制石2係將磁石磁極以—單極(Ν 朝上Em極⑻朝上的方式依序排列成一與線圈1相同極 數的環狀。如此的安排使得動子旋轉時，靜子感應生成電 >’IL的方向性與順其線圈繞行方向一致 爹考第二A圖係線圈！於旋轉運動時的暫態表示圖， 其中斜線部分為磁通量產生變化之區域；以及第二3圖係 線圈1於旋轉運動並經歷每_&N_S極的交換時，所得到 感應電壓之正弦波輸出波形圖，其中該感應電壓之週期為 了，以及感應電壓之頻率為户^/7。 … 本發明電磁發電機之磁石2係為多極平面，若該磁石 2具有尸極，則該磁石2具有P/2組的N-S極。而由於該 8 200812197 =出ί「 極的交換即可得到-完整的正弦 η „磁石2旋轉一圈即經過ρ/2次n_s極之交 =，所/2秒。因此可得感應電壓頻打與角速 度ω之關係： ω^αάΐ8)χ[Ε^ / = —~~ 2π 毛磁發電機之線圈依其幾何形狀可概分為螺線管線圈 (Sole^oij Coil)與平面線圈⑦丨姐魟c〇u)兩種。依照安培定 律’當流通線圈上的電流值固定時，磁場與線圈圈數成正 比關係，而感應電動勢的大小係與圈數多寡、磁能大小、 相對位移大小及改變頻率大小有關。 。由1平面線圈具有可批次化生產I且體積小等優勢； 產口口 〇口貝方面’有多樣化的線圈樣式、良好的結構特性、 可於彎曲表面、更小的導體電阻抗誤差、更廣泛的熱 阻抗選擇範圍、適合各數量需求的訂單與具環保性等優 勢；製程技術方面，可精確的製造錯綜複雜的線圈樣式， ⑩可極完善的將導線嵌入，最小^寬町達20 μιη，可用絞合 漆包線（Litz Wire)來當導線，且町隨意的選擇基底 (Substrate)材料，嵌入時不會損壞導線，所運用的繞線技術 $做出具許多交叉點的微小化線圈，因此繞線樣式多，線 ，與gap均小，故單位面積的繞線數多。若受到外來的衝 擊’、結構亦不易遭破壞，絞合漆包線適合高頻使用。適合 各式曲面上的建構，平面線圈極富彎曲性，故可在不失去 ^有$性下彎曲成合適的表面。減少縱長導線的電阻抗誤 ▲ 材料於生產化即受到级的控制。較廣泛的 “、、阻抗選擇性，範圍由105〇C〜200。(：町以需求選擇，適合 9 200812197 大量或小量生產，且無須化學藥品的浪費。 本發明電磁微發電機係以微機電技術發展多平面且多 極線圈，並達到小尺寸但有密集之圈數，致使提高發電量。 而平面微線圈的製作方法包括：繞線技術（Filament Winding)、低溫陶兗共燒技術(Low Temperature Cofired Ceramic，LTCC)或微機電系統（Microelectromechanical Systems，MEMS)製程技術等。

繞線技術為以電腦輔助設計之方式，藉由電腦辅助繪 圖軟體(AutoCAD)直接畫出所設計的圖樣。參考第三圖為 使用繞線技術所設計之線圈示意圖，使用者可依預先設定 之線圈整體之外直徑（Maximum Overall Dimensions)、線圈 整體之内直徑(Minimum Overall Dimensions)與線圈導體直 徑(Conductor Diameter)等數據資料設計一可在基材上嵌入 線圈導體以精確製作出錯綜複雜且精細的線圈圖案。~ 參考第四圖為使用不同繞線技術之結構圖，平面線圈 於使用繞線技術時可依外層薄膜不同而區分為雙層膜 41、單層膜42及無膜43等三種結構方式。其中外^ ^胰 層（ThinnestFihn)401之材料係可為pET、pps或π 絕 緣層（Insulation Layer)402之材料係可為塑膠合成樹脂’七 及導體層（Conductor Layer)403之材料係可為銅等^電= 屬，如此使線圈導體表面可具有保護作用。 〜至 由於線圈設計時必須考，獅呢电矹的万向一致 而多極磁石相鄰兩極為N-S極互換，產生减鹿的、、☆ 乃反相。因此，相鄰兩單極線圈必須順時針與反^針^ 向繞線’以配合電磁感應所產生的感應電产方白 應電流方向相同。參考第五圖為使用繞線技術 的摺受線圈不意圖，其中，’’順”表示該線圈區域係為^ 200812197 =單：中右表不該線圈區域係為逆時針方向。由於平 圈：層：有八極’可以折疊方式產生多層線 於同層線圈中相鄰兩單極線圈乃以順時針斑 =2 ’又單層線圈中槐數必須為偶數極，故 應的繞線圈方向乃相同，故多極多層線圈 產生的感應電流方向可—致。 w夕增關 可將被動元件内埋、低膨脹係數(tce)、低；j 係數么差、内埋導體其導電性質佳、易掣 士 ==層與層間整合内埋被動元‘、“共=供 低、、1^2 及利錄量加^低縣等優點。而 低酿陶寬共燒技術的製程流程係為： d)_安裝框架(Fmme Setter):解捲陶瓷捲，切割成適 石尺寸’標s己Via註冊點架於固定框架上。 (2) 通孔(Via Punching):使用 yag Laser 或微孔鑽 進行Via hole通孔。 (3) 填充(Via Filling):以銀膏等材料填充via hole。 (4) 電路印刷(pattern printing):對準系統下進行印刷 電路。 (5) 移除框架(Metal Frame Removing):製作堆疊陶磁 層用對位孔，移除固定框架。 (6) 堆疊（Stacking):抽真空靜置堆疊。 (7) 封裝（Sealing Packing):封包加壓。 (8) 製片（Laminating):高壓緊密堆疊。 (9) 共燒(Co-firing):進行特定溫度-時間曲線的共燒 過程。 (1 〇)表面印刷(Post Printing):表面印刷電路、打件。 11 200812197 (Π)測試(Testing) ··測試。 參考第六圖為本發明使用低溫陶瓷共燒技術製作微限 圈之不意圖。本發明係將每一層經設計圖樣之繞線型，透 過Via連接，成連貫一線之平面多層微線圈。由於設計線 圈時必須考慮感應生成電流方向的一致性，當磁石安排上 為相鄰兩極N-S極互換共八極，當線圈於單一極性上移動 時無法感生電流，而當線圈移動於一極性跨入另一極性時 始感生電流，故線圈設計上必須相對磁鐵級數亦八極，並 書且相鄰兩極繞線方向須相反。 因低溫陶瓷共燒技術是以PCB的方式將導線印刷於 陶磁層上，線路設計上必須不能有交連點，導致無法直接 將繞畢的一極線圈直接拉至下一極續繞，必須透過Via Hole的方式將線圈穿繞自下一層，使得線圈得以繞往下一 極，如此將使得在線圈製作層數上只能為偶數層。參考第 七圖為低溫陶瓷共燒技術中微線圈繞線方向與層數之關係 圖’其中線圈區域710及730所涵蓋之各層線圈皆為順時 針方向，而線圈區域720所涵蓋之各層線圈皆為逆時針方 ❿ 向。欲滿足線圈極極繞線方向相反，且線圈自最上層出發， 最終回歸該層是一連續通路，因此該線圈適當排列即可層 疊出更多層數’但限制上則仍是只允許偶數層。 而習知於平面多極磁石製作方式有燒結（Sinterec^鈥/ 鐵/硼（Nd/Fe/B)製程技術及低溫（350 °C以下）磁性共錄 (Co-Sputtering)技術等方法。本發明係利用燒結（Sintered) 鈥/鐵/硼(Nd/Fe/B)技術製作平面多極磁石。 參考第八圖為使用燒結鈦/鐵/硼技術以製作磁石之製 程流程圖，鈥/鐵/硼等原料經熔鍊、鑄錠、粉碎、真空超 12 200812197 細粉碎、異方性磁場配向、燒結及熱處理、切割研磨加工 與表面處理、著磁與磁性檢测等過程製作成一平面多極磁 石。 (1) 溶鍊(Melting):由於稀土元素活潑，容易氧化’ 熔鍊需要在真空下進行。可用真空感應爐或真空電 爐熔鍊。爐料可一次全部裝入，也可先將Fe、Co、 Cu、Zr和B/Fe熔清後再加入。若一次裝入全部爐 料，純金屬材料(Fe、Co、Cu、Zr)應裝在坩堝的周 圍和中部，而B/Fe應放在J#堝的中部。用純度大

• 於95%的Al2〇3做坩堝。裝料後先抽真空至133J χΗΓ4〜l(T5Pa(l(r4〜ΗΓ5毫米汞柱高）。如真空度達不 到要求，可用氬氣洗爐兩次，以便把殘餘的氧氣趨 出。達到所要求的真空度後，開始送電，先用小功 率預熱，以便讓原材料吸附的水份或其他氣體排 除。預熱一定時間後，充入399.3〜533.2 X 102Pa(300〜400毫米汞柱）的氬氣。接著進行大功率 熔化。 (2) 鑄錠(1叩的。33如名）：熔清後靜定一定時間，鑄錠 φ 溫度一般不超過熔點的200 ^(:。Nd/Fe/B合金的您 點隨成分而變化。例如NdnFe^B7合金的熔點約 Π70 °C。Nd的含量越高，合金的熔點就越低。 SmC〇5的熔點約1350 °C。用冷水銅模鑄錠，以便使 合金液迅速凝固，以防止偏析，造成大面積的成分 不均勻。若緩慢的冷卻，有可能首先從合金液中: 晶出a-Fe(樹枝狀）’而快速冷卻就可能抑制a_pe的 詰晶體。 、 (3) 粉碎(Crushing):目的是將大塊的鋼錠，破碎成— 13 200812197 定尺寸的粉末體。包括粗破碎與磨粉兩個過程。 Nd/Fe/B合金的熱穩定性較差：粉末狀的 Nd/Fe/B，若在空氣中加熱，當加熱至29〇°C時， Nd已開始氧化；當加熱到400 〇c後，Nd2Fel4B已 被破壞。若是大塊的Nd/Fe/B力口熱至290 °c時， Nd未氧化。可在700 〇c經受短時間的熱。故大塊 Nd/Fe/B樣品比粉末狀對熱要穩定得多。亦即塊狀 樣品被破壞成小塊或細小的粉末時，其熱穩定性會 下降。所以在破碎過程應有保護介質，以防止氧 ⑩ 化。破碎時所用的介質可以是汽油、曱苯、石油_ 等，或其他有機液體或惰性氣體，如氮、氬氣等。 (4) 真空超細粉碎(Jet Mill):磨粉的目的是將粒顆粒 的合金進一步研磨到適合尺寸。所謂適合的尺寸有 三個涵意：⑻尺寸大小，SmC〇5合金要求研磨至 5〜10 μιη，Nd/Fe/B永磁體要求磨至3〜5 μιη。使每 一個顆粒都是單晶體；（b)粉末尺寸要均勻一致；以 及(c)粉末顆粒接近球形，表面光滑，缺陷少。而磨 私的方法有：（a)振動球磨；（b)滾動球磨；以及（e) _ 氣流磨。振動與滚動球磨都是利用振動或滾動的球 體(如軸承鋼球)與粉末體碰擊而使合金粉末進一步 細化。振動球磨一般只有撞擊，而滾動球磨除了撞 擊外，還有滾動，對塑性較好的合金材料，合金粉 主球形或偏球狀。而氣流磨為最佳的磨粉方式，氣 机磨是高速氣流的振動下，使粉末與容器内壁發生 滾動是撞擊。而進一步細化。氣流磨效率高，顆粒 呈球狀，表面光滑且缺陷少。 (5) 異方性磁場配向（Anisotropic Magnetic Field 200812197

Oriention Direction) ·· SmC〇5 和 2 : 17 型 SmC〇 合

金都屬於六角晶系，其c軸是易磁化轴，a軸是難 f化軸。Nd/Fe/B系合金的主相是四角 ，其c軸亦是易磁化轴，a軸亦是難磁化軸。 悉單軸晶體’當沿單晶體的易軸磁化時，有最大的 ^礙屯从，如果磁化與單晶體的易磁化軸成一 f 0角時，則剩磁為从e〇s6)，可見0越小， 就越大。對於由許多單晶體粉末組成的燒結磁 的，如果使母一個粉末顆粒的易磁化方向都沿相同 ^方向取向，則沿該方向的剩磁就達到最大值。參 :弟九A圖及第九B圖為粉末磁場取向方法之示意 曰，粉末磁場取向方法有兩種：一種是垂直取向， 種是平行取向。當磁場方向與加壓力的方向相 ^直時，叫垂直取向，如第九八圖所示；當磁場方 ^與加壓力的方向相平行時，叫平行取向，如第九 取圖所示。一般來說，垂直取向有利於獲得較高的 〜向因子。在平行取向的情況下，當壓力增加到一

^程度時，即可使取向因子稍有下降，反而使B p条低。 汽壓(Press):粉末的壓型方向有五種：（a)平行鋼模 ^ L(b)垂直鋼模壓；（c)橡皮模壓；⑷平行鋼模壓+ 平，壓；以及(e)垂直鋼模壓+等靜壓。垂直模壓比 ^行模壓粉末的取向效果好。採用垂直模壓+等靜 ^比單獨模壓的取向效果更好。在等靜壓過程令， (7)髮=大小對磁體的密度也有重要的影響。 &結及熱處理（Sintering and Heat Treatment):壓 $疋_多粉末顆粒的機械堆積體，它的相對密度有 15 200812197 60〜70%。其中内部的空隙很大，強度低。事實證明 粉末結體的磁性能彳艮低。燒結過程可分為三個階 段·⑻固〉谷階段；（b)溶解脫溶階段；以及⑷重排 階段。經過燒結後，磁體的相對密度可增加到 94〜98%。燒結時，由於原子的擴散，使不同的粉末 顆粒彼此熔合在一起，而形成一個整體。燒結後的 磁體不僅僅使密度增加，它的機械強度，磁性能如 剩磁承和矯頑力私、磁能積⑺句等，都大大提高。 實現磁體的致密化是燒結階段的極為重要的目 • 的，燒結體的密度對燒結溫度十分敏感，隨著燒結 溫度的提咼’磁體的密度亦增加。Smc〇5的燒結溫 度較窄，而Nd/Fe/B永磁合金在很寬的溫度範圍内 燒結都可獲得較好的磁性能。磁性體燒結後的熱處 理對不同的合金有不同的作法。如果合金的基體是 單相的，在熱處理過程中並沒有相變發生，只是改 變晶界狀態，如在SmCo5和Nd15Fe77B8磁體中，一 般把燒結後熱處理稱為後燒結處理，或叫回火。如 果基體相不是單相，而熱處理過程中有相變發生， ⑩ 則把燒結後的熱處理稱為時效處理，如在Sm(Co,

Cu，Fe，Zr)7.4合金中則是如此。熱處理可有效的提 高合金的磁性能。 ⑻切割研磨與表面處理（Cutting，Grinding and Surface Treatment):燒結後則進行表面處理過程， 如研磨使表面出粗韆度小；並可進行切割以得所需 的磁石形狀以便著磁。 (9)著磁(Yoke) ··著磁設備可分為端面多極、外周多 極與内周多極充磁頭。參考第十A圖係為端面多極 16 200812197 之著磁結構圖；第十B圖係為外周多極之著磁結構 圖，以及第十C圖係為内周多極之著磁結構圖。 本發明使用鈒/鐵/硼(Nd/Fe/B)作為燒結磁石的材料， 且具有以下之優點： (1) 擁有商用市場最高磁能積，目前可達45 MG〇e 以上。 (2) 燒結磁石7.4g/cm3之低密度，適合輕薄短小化。 (3) 極佳機械強度、抗彎強度與抗拉強度均為釤鈷磁 石的二倍。 (4) 稀土鈥元素地球含量極多，無缺貨之虞。 纟不上所述’使用前述製造方法之本發明電磁微發電機 配，目前大力發展的二次電池及微燃料電池使用，可以增 力:能源的使用效率及延長電池的使用壽命，以減少地球丄 貝=的消耗與污染的產生，達到有效應用地球有限資源的 願景。且可被廣泛的應用於如汽機車輪軸、腳踏車輪軸、 订動通訊（手機等）、玩具(鑰匙圈等）、無線滑鼠等方面。 在洋細說明本發明的較佳實施例之後，熟悉該項技術 人士可β疋的瞭解，在不脫離下遂申請專利範圍與精神下 進行各種變化與改變，且本發明亦不受限於說明書中所兴 實施例的實施方式。 牛 17 200812197 【圖式簡單說明】 第一圖為本發明電磁發電機之結構圖； 第二A圖係線圈1於旋轉運動時的暫態表示圖； 第二B圖係線圈1於旋轉運動時所得到感應電壓之正 弦波輸出波形圖； 第三圖為使用繞線技術所設計之線圈不意圖， 第四圖為使用不同繞線技術之線圈結構圖； 第五圖為使用繞線技術之平面線圈的摺疊線圈示意 圖； • 第六圖為本發明使用低溫陶瓷共燒技術製作微限圈 之示意圖； 第七圖為低溫陶瓷共燒技術中微線圈繞線方向與層 數之關係圖； 第八圖為使用燒結鈥/鐵/硼技術以製作磁石之製程流 程圖； 第九A圖為垂直取向之粉末磁場取向方法示意圖； 第九B圖為水平取向之粉末磁場取向方法示意圖； 第十A圖為端面多極之著磁結構圖； ⑩ 第十B圖為外周多極之著磁結構圖；以及 第十C圖為内周多極之著磁結構圖。 主要部份之代表符號： 1 —線圈 2—磁石 41…雙層膜結構 42—單層膜結構 43…無膜結構 18 200812197 401…薄膜層 402…絕緣層 403…導體層 710、720、730…線圈區域

Claims (1)

1. 200812197 十、申請專利範圍： 1. 一種電磁微發電機，包括： 一線圈，具有複數組線圈區域；以及 一磁石，具有複數組磁極； 其中，前述線圈之線圈區域繞法係將複數組線圈區 域依序排列成環狀共平面線圈樣式，及前述磁石係將複 數組磁極依序排列成一與前述線圈相同極數的環狀。 2. 如申請專利範圍第1項之電磁微發電機，其中前述線圈 係為多層結構。 3·如申請專利範圍第1項之電磁微發電機，其中前述線圈 之線圈區域繞法係為一單極(N)順時針繞、一臨極(S)逆 時針繞的規律依序排列。 4. 如申請專利範圍第1項之電磁微發電機，其_前述線圈 係以繞線技術、低溫陶瓷共燒技術或微機電製程製造一 平面多極之線圈。 5. 如申請專利範圍第4項之電磁微發電機，其令前述繞線 技術之繞線結構係為雙層膜、單層膜或無膜。 6·如申請專利範圍第4項之電磁微發電機，其中前述低溫 陶瓷共燒技術包括：安裝框架、通孔、填充、電路印刷、 移除框架、堆疊、封裝、製片、共燒、表面印刷及測試。 200812197 7.如申請專利範圍第1項之電磁微發電機，其中前述磁石 之磁極係以一單極(N)朝上，一臨極(S)朝上的方式依序 排列。 8. 如申請專利範圍第1項之電磁微發電機，其中前述磁石 係以鈦、鐵及硼等原料燒結而成。 9. 如申請專利範圍第8項之電磁微發電機，其中前述磁石 之粉末磁場取向方法係為垂直取向。 10. 如申請專利範圍第8項之電磁微發電機，其中前述燒結 過程包括：熔鍊、鑄錠、粉碎、真空超細粉碎、異方性 磁場配向、燒結及熱處理、切割研磨加工、表面處理與 著磁。 11. 一種電磁微發電機之線圈裝置，包括： 一線圈，具有偶數個線圈區域，前述線圈區域係依 序排列成環狀共平面線圈樣式。 12. 如申請專利範圍第11項之電磁微發電機，其中前述線 圈之線圈區域繞法係為一單極(N)順時針繞、一臨極(S) 逆時針繞的規律依序排列。 13. 如申請專利範圍第11項之電磁微發電機，其中前述線 圈係以繞線技術製造，且前述繞線技術之繞線結構係為 雙層膜、單層膜或無膜。 21 200812197 ΐ4·如申請專利範圍第^項之電磁微發電機，其中前述平 面線圈係為多層結構。 15·如申請專利範圍第11項之電磁微發電機，其中前述線 圈係以低溫陶瓷共燒技術製造，且前述低溫陶瓷共燒技 術包括：安裝框架、通孔、填充、電路印刷、移除框架、 堆璺、封裝、製片、共燒、表面印刷及測試。 16· —種電磁微發電機之磁石裝置，包括： 一平面多極磁石結構，具有偶數個磁極，前述磁石 之磁極係依序排列成一環狀之平面磁石； 其中前述磁石係以鈥、鐵及硼等原料燒結而成。 17·如申請專利範圍第16項之電磁微發電機，其中前述磁 石之磁極係以一單極(Ν)朝上，一臨極朝上的方式依 序排列。 18·如申請專補圍第16項之電磁微發錢，其中前述磁 石之粉末磁場取向方法係為垂直取向。 19·如申请專利|&圍第16項之電磁微發電機，其中前述燒 結過程包括：熔鍊、鑄錠、粉碎、毅超細粉碎、異方 性磁場配向、燒結及熱處理、_加工、表面處理 22