200817259 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於基板分類系統，尤其是關於將基板從分 類來源卡匣暫時收納於暫存站之後，收納於分類目的卡匣 ‘並藉此進行基板的分類。 【先前技術】 # 第18圖係顯示以往的基板分類系統200的槪略構成 之俯視圖，第19圖係顯示基板分類系統200的正面圖， 爲第18圖之XIX的箭頭方向之圖式。 基板分類系統200係具備可載置分類來源卡匣202及 多數個分類目的卡匣2 04之基台206;可藉由單片方式而 搬送基板W之機器人208;以及可載置分類目的卡匣2 04 之置放架210。分類來源卡匣202及分類目的卡匣204具 有同樣構成，各個卡匣可收納同等數目的基板。 於基台206及置放架210之間，可使用起重機（圖中 未顯示）而使分類目的卡匣2 04適當的移動。 一旦隨機收納有不同種類的多數片基板之分類來源卡 匣202，設置（載置）於基台206上，則收納於分類來源 卡匣202之各種基板之資訊（例如關於基板的種類之資 訊；於各基板中以條碼所表示之資訊），可藉由讀碼機等 所讀出，並藉由機器人208從分類來源卡匣202當中一次 搬出1片基板，且將搬出之基板搬入至分類目的卡匣2 04 中〇 -5- 200817259 (2) 於搬入時，係依據不同種類的基板而將 類目的卡匣204，因此於各個分類目的卡匣 不同種類而收納有基板。 亦即，隨機收納於分類來源卡匣202之 收納至分類目的卡匣2 04時，係依據種類的 而收納，而進行各片基板的分類。 於基板分類系統200中，係於使用機器 來源卡匣2 02中將基板搬送至分類目的卡匣 基板的分類，因此於基台206及置放架210 的卡匣2 04的替換動作（操作）較多，因而 率進行基板的分類之問題。 亦即，若於分類來源卡匣202中收納有 如爲1 〇種）的基板，並且如第1 8圖所示般 上僅能載置3個分類目的卡匣204時，則於 卡匣204中，僅能搬入3種的基板，而於 2 02中仍殘留7種的基板。此外，僅就上述 言，於基台206上所載置之3個分類目的卡 板並非滿載收納。 因此，若可將另外的分類目的卡匣204 放架210，並於基台206及置放架210之間 類目的卡匣204，則可將上述10種的基板分 卡匣2 0 4中而加以收納，但是於基台2 0 6及 間必需進行分類目的卡匣204的替換，因此 操作之效率變差。 基板搬入至分 2 0 4中，係依 各片基板，於 不同加以整理 人208從分類 2 0 4時，進行 之間之分類目 具有難以有效 多數種類（例 之於基台2 0 6 各個分類目的 分類來源卡匣 3種的基板而 匣204中，基 預先載置於置 適當的替換分 類至分類目的 置放架2 1 0之 ，基板的分類 •6- 200817259 (3) 此外，於進行上述分類時，係設定爲一旦載置於基台 2 06之分類來源卡匣202的基板用完，則將可收納多數種 類的基板之下1個類來源卡匣202載置於基台206上。 上述問題在收納於分類來源卡匣202之基板的種類變 '多時，亦變得更爲顯著。 Λ 因此，關於與基板分類系統200爲不同之基板分類系 統，可考量到具備暫存站之基板分類系統（圖中未顯 f 示）。 上述基板分類系統，除了具備與上述基板分類系統 2 00爲相同構成之分類來源卡匣；分類目的卡匣；基台； 機器人；及置放架之外，更具備暫存站。 上述暫存站例如具有多數列的暫存用卡匣，於各個暫 存用卡匣之間，係設置有與上述機器人爲相同構成之機器 人。暫存用卡匣係具有與分類來源卡匣及分類目的卡匣爲 相同構成，且可收納相同片數之基板，並載置於與上述基 台爲同樣之基台上。 之後，一旦將隨機收納有不同種類的多數片基板之分 類來源卡匣載置於基台上，則收納於分類來源卡匣之各種 基板之資訊’可藉由讀碼機等所讀出，並藉由機器人從分 類來源卡匣當中一次搬出1片基板，並且使用機器人（因 應必要而使用機器人）將此搬出之基板搬入至暫存用卡匣 中〇 接著一旦留存特定片數之特定種類的基板，則使用機 器人（因應必要而使用機器人）將這些特定片數的基板從 200817259 (4) 暫存用卡匣中搬出，並將搬出後的基板搬入至分類目的卡 匣204中。 由於具備暫存站，因此於上述基板分類系統中，於置 放架及基台之間不需進行分類目的卡匣的替換，因此可有 效率的進行基板的分類。 關於與上述基板分類系統200相關之文獻，例如有專 利文獻（日本特許第3 1 8 5 5 9 5號公報）。 然而如上述般，於上述基板分類系統200中，係具有 難以有效率進行基板的分類之問題，於上述基板分類系統 (圖中未顯示）中，亦具有因設置用以暫時收納多數片基 板之暫存站，而導致裝置的大型化之問題。 本發明係鑑於上述問題點而創作出之發明，目的在於 提供一種，可有效率進行基板的分類並且可避免裝置大型 化的問題之基板分類系統。 【發明內容】 本發明的第1項型態之發明爲一種基板分類系統，係 用以將收納於分類來源卡匣之多數片基板分類至分類目的 卡匣，其特徵爲係具有，可將上述基板收納於任意位置之 暫存站；及於上述分類來源卡匣、上述分類目的卡匣、及 上述暫存站各自之間，可藉由單片方式而搬送基板之載入 裝置。 本發明的第2項型態之發明爲一種基板分類系統，於 第1項型態所記載之基板分類系統中，係具有用以輸入收 -8- 200817259 (5) 納於分類來源卡匣之基板的ID之ID輸入手段；及根據上 述ID輸入手段所輸入之ID，以使分類的基板移動至上述 分類目的卡匣之方式而控制上述載入裝置之控制手段。 本發明的第3項型態之發明爲一種基板分類系統，於 ‘第1項或第2項型態所記載之基板分類系統中，上述分類 _ 目的卡匣係設置有多數個。 本發明的第4項型態之發明爲一種基板分類系統，於 , 第1項至第3項型態中之任一項所記載之基板分類系統 中，上述暫存站爲高密度且可收納上述基板。 【實施方式】 [第1實施型態] 第1圖係顯示本發明的第1實施型態之基板分類系統 1的槪略構成之俯視圖，第2圖係顯示基板分類系統1的 槪略構成之側面圖，爲第i圖之II的箭頭方向之圖式。 於本申請書中，爲了說明上的簡便，係以水平方向的 一方向爲X軸方向，以水平方向的另一方向且與上述X 軸方向呈直角之方向爲Y軸方向，以筆直方向爲Z軸方 向。 基板分類系統1爲用以將收納於分類來源卡匣3之多 數片基板W分類至分類目的卡匣5之裝置。分類來源卡 匣3係使基板W呈水平並以幾乎爲等間隔且互相形成少 許間隔而層積，藉此可收納多數段，分類目的卡匣5亦同 樣使基板W呈水平並以幾乎爲等間隔且互相形成少許間 -9 - 200817259 (6) 隔而層積，藉此可收納多數段。 關於上述基板W，例如可考量爲玻璃基板（例如於電 漿顯示面板及液晶顯示面板等當中所使用之矩形且爲板狀 之玻璃基板）。 基板分類系統1係具備，可將基板W載置於例如爲 高密度卡匣9上且可將基板w收納於高密度卡匣9的任 意位置之暫存站7;可載置分類來源卡匣3之分類來源站 . 13;可載置分類目的卡匣5之分類目的站15;及於分類來 源卡匣3與分類目的卡匣5與高密度卡匣9之間，以單片 方式而搬送基板W之載入裝置11。 高密度卡匣9係與分類來源卡匣3相同，係使基板W 呈水平並以幾乎爲等間隔且互相形成少許間隔而層積，藉 此可收納多數段。惟於暫存站7中，可僅以機器手臂而載 置基板W之上述機器手臂，係以不會進入於基板W之間 之程度的基板間隔，以高密度將基板W加以收納。 於分類來源站13中，係設置有以單片方式將收納於 分類目的卡匣5之基板W傳送至載入裝置11之分類來源 卡匣輔助部1 7，此外，於分類目的站1 5中，係設置有將 載入裝置11所搬送之基板W收納至分類目的卡匣5之分 類目的卡匣輔助部19。 在此係舉例而詳細說明暫存站7。
第3圖係顯示暫存站7的槪略斜視圖。第4圖係顯示 構成暫存站7之高密度卡匣9之斜視圖，第5圖係顯示第 3圖之V的箭頭方向之圖式，第6圖係顯示第5圖之VI -10- 200817259 (7) 的箭頭方向之圖式。 暫存站7係具備〗個或是多數個（例如爲2個）高密 度卡匣9而構成。槪略來看，高密度卡匣9係構成爲直方 體狀’並於Y軸方向的兩端部上具備側面構材25。側面 構材2 5具有於Z軸方向上較爲細長之形狀，並於γ軸方 ' 向的一端部側上，於X軸方向上形成間隔而設置有多數 個’同樣的，於Y軸方向的另一端部側上，於X軸方向 . 上形成間隔而設置有多數個。 .於Y軸方向的一端部側上所設置之側面構材25與Y 軸方向的另一端部側上所設置之側面構材25之間，張設 有用以將基板W載置於高密度卡匣9內而收納之線狀構 材（例如爲纜線）2 7。 於Z軸方向上，係於相同位置上（以同樣高度）於X 軸方向上形成特定間隔，並往Y軸方向延伸而設置多數條 纜線27，藉此而構成可支撐（載置）1片基板W之1個 纜線群。 上述纜線群係於Z軸方向上形成特定的較小間隔而設 置有多數個，藉此，高密度卡匣9可使基板W呈水平而 收納多數段。如此構成之高密度卡匣9 ’亦有稱呼爲纜線 卡匣之情況。 此外，於高密度卡匣9之X軸方向的一側面（設置有 載入裝置11之一側的面）上，係設置有基板1可自由進 出之開口部2 6。 於暫存站7中，係設置有可藉由單片方式’將從載入 •11 - 200817259 (8) 裝置1 1所接收之基板W收納於高密度卡匣9的任意位 置’或者是從高密度卡匣9當中，將收納於高密度卡匣9 之任意基板W取出並傳送至載入裝置1 1之暫存站側輔助 部23。 暫存站側輔助部23係將輔助單元29配置於高密度卡 匣9之Y軸方向的一邊側上，並將與上述輔助單元29爲 同樣構成之輔助單元29配置於高密度卡匣9之Y軸方向 的另一邊側上，亦即，暫存站側輔助部23係以一對的輔 助單元29所構成。此外，上述一對的輔助單元29係於每 1個高密度卡匣9中設置一對。由於第1圖所示之暫存站 7係具有2個高密度卡匣9，因此暫存站7係具有2對的 輔助單元（4個輔助單元）29。 在此係說明1個輔助單元29。 輔助單元29係具備，對設置有基板分類系統1之底 面爲可移動及固定之基座構材31。於此基座構材31的上 面（於水平方向上延展之平面狀的上面）上，係以可自由 於Y軸方向上移動般而設置有形成爲板狀且於水平方向上 延伸之Y軸托架3 5。詳細而言，係隔著該導軌（圖中未 顯示）一體設置於基座構材31且軸承（圖中未顯示）一 體設置於Y軸托架35之線性導軌軸承（圖中未顯示）， 使Y軸托架3 5由基座構材3 1所支撐。此外，Y軸托架 3 5係藉由伺服馬達等的促動器及球狀螺絲等，而可於Y 軸方向上自由移動及定位。 於Y軸托架3 5的前端部側（高密度卡匣9側）上， -12- 200817259 (9) 係於X軸方向上形成特定間隔而設置有多數個缺口 3 7。 於位於Y軸托架3 5的前端部側且未設置上述缺口 3 7之各 個部位3 9上’係以可自由迴轉般而設置有用以載置並搬 送基板W之圓柱狀的小徑之滾輪4 1。 上述各個滾輪41係以使該迴轉中心軸於γ軸方向上 延伸之方式，以同樣高度而設置，並以圖中未顯示之軸承 而支撐於Y軸托架35，並且隔著圖中未顯示之齒輪等的 動力傳達構材’各自與馬達等之促動器同步（圖中未顯 示）而迴轉。 於Y軸托架3 5的各個部位3 9之各自上，除了滾輪 41之外’亦設置有用以支撐這些滾輪41所搬送之基板w 的重量之暫存站側空氣浮動手段43。 暫存站側空氣浮動手段43，例如係具備以具有透氣性 的陶瓷所形成之薄板狀的支撐構材4 5，以壓縮空氣供應手 段（圖中未顯示）所供應之壓縮空氣，係從支撐構材45 , 中噴出，並於與上述基板W爲非接觸之狀態下，支撐上 述基板W的重量。 上述支撐構材45係設置於較滾輪4 1更爲前端側（高 密度卡匣9側）上。此外，支撐構材45的上面係位於較 滾輪41的上端稍微下方，此外，支撐構材45的下面之高 度與滾輪41的下端之高度，係幾乎互爲一致。 除了透氣性的陶瓷之外，亦可由透氣性的燒結金屬等 加以取代而構成上述支撐構材45。此外，亦可採用以不具 有透氣性的材質所塡入之金屬等的構材，並於此金屬等的 -13- 200817259 (10) 構材中設置多數個孔，而從這些孔中噴出壓縮空氣以支撐 上述基板W。 此外，除了上述各個空氣浮動手段43之外，亦可採 用以超音波使基板W浮起之超音波浮動手段加以取代。 ’ 上述超音波浮動手段係以超音波振盪器使基板支撐構 材產生振盪，並藉由上述基板W與上述基板支撐構材之 間所形成之較薄的空氣膜，而支撐上述基板W的重量。 若舉例詳細說明，則上述超音波浮動手段例如具有超 音波產生元件（例如壓電元件）。 於上述超音波產生元件的上側上，係設置有用以將此 超音波產生元件所產生之振盪加以增幅之號角。上述基板 支撐構材係隔著連結構材，而設置於上述號角的上部。 之後，上述超音波產生元件所產生之振盪係傳達至上 述基板支撐構材，此基板支撐構材主要於上述基板W的 厚度方向上產生振盪，藉此於基板W與上述基板支撐構 材之間，產生以空氣爲媒體之放射壓（空氣的疏密波所造 成之放射壓），由於此放射壓而於上述基板W與上述基 板支撐構材之間產生較薄的空氣膜，因此可藉由上述基板 支撐構材而支撐上述基板W的重量。 此外，於暫存站7中，係設置有用以載置高密度卡匣 9，並使所載置的高密度卡匣9可於Z軸方向上自由移動 及定位之卡匣移動定位裝置33。此卡匣移動定位裝置33 係具備直接載置高密度卡匣9之部位；及未直接載置高密 度卡匣9之部位而構成，上述直接載置之部位係隔著線性 -14- 200817259 (11) 導軌軸承等，以可於Z軸方向上自由移動之方式而支撐於 未直接載置之部位。此外，上述直接載置之部位係藉由伺 服馬達等的促動器及球狀螺絲等，而可於Z軸方向上自由 移動及定位。 * 於上述構成之暫存站7中，一旦於圖中未顯示的控制 裝置之控制下而適當的驅動各個促動器等，則如第3圖所 示般，滾輪41及支撐構材45係行進至高密度卡匣9的外 f 部，或者是，高密度卡匣9於Z軸方向上適當的移動及定 位，而如第6圖所示般，滾輪41及支撐構材45進入於高 密度卡匣9內，亦即進入於收納於高密度卡匣9之任意的 2片基板W之間，以滾輪41載置基板W並以支撐構材45 防止基板W產生彎曲而支撐基板W的重量，使基板W於 X軸方向上移動，而將收納於高密度卡匣9之基板W搬 出，或是將基板W搬入於高密度卡匣9。 於滾輪41及支撐構材45進入於高密度卡匣9內時， 高密度卡匣9的側面構材25係進入於滾輪41及支撐構材 4 5之間的缺口 3 7之處。此外，於高密度卡匣9之Y軸方 向的兩側上所設置之各個輔助單元29，係互爲同步而進行 動作。再者，如上述般，由於滾輪41及支撐構材45的高 度（Z軸方向的尺寸）抑制爲較低，因此即使高密度卡匣 9於上下方向上以狹窄的間隔（機械手臂無法進入之程度 的狹窄間隔）收納各片基板W，滾輪41及支撐構材45亦 可進入於任意的2片基板W之間。 接下來舉例而詳細說明分類來源卡匣3;分類目的卡 -15- 200817259 (12) 匣5;載入裝置11;分類來源卡匣輔助部17及分類目的 卡匣輔助部1 9。 於分類來源站1 3中，係設置有載置分類來源卡匣3， 並使所載置的分類來源卡匣3可於Z軸方向上自由移動及 定位之卡匣移動定位裝置（與上述卡匣移動定位裝置33 幾乎爲相同構成之卡匣移動定位裝置）14。此外，於分類 目的站15中，亦設置有同樣的卡匣移動定位裝置16。 , 接下來更進一步說明基板分類系統1。 第7圖係顯示基板分類系統1的槪略構成之俯視圖， 爲對應於第1圖之圖式。 第8圖係顯示基板分類系統1的槪略構成之側面圖， 爲第7圖之VIII的箭頭方向之圖式且爲對應於第2圖之 圖式。 爲了更容易觀看，於第8圖中係省略一邊側（第7圖 中的下側）之側邊構材6 1等的表示。 如上述般，分類來源卡匣3例如構成爲幾乎與高密度 卡匣9相同，並形成爲幾乎相同之外形。分類目的卡匣5 亦與分類來源卡匣3爲同樣構成。 從第1圖、第7圖中可理解到，於基板分類系統1 中，於載入裝置11之X軸方向的一邊側上，配置有分類 來源卡匣3及分類目的卡匣5，於載入裝置11之X軸方 向的另一邊側上，配置有高密度卡匣9。 分類來源卡匣輔助部1 7係藉由與上述暫存站側空氣 浮動手段43爲相同構成之分類來源空氣浮動手段47所構 -16- 200817259 (13) 成。分類來源空氣浮動手段47，例如係以於X軸方向上 形成間隔而設置之多數個支撐構材49所構成。各個支撐 構材49可從該各個支撐構材49的上面中噴出空氣。 此外，於上述控制裝置的控制下，以卡匣移動定位裝 置14使分類來源卡匣3於Z軸方向上進行適當的移動及 定位，並從支撐構材49中噴出空氣，藉此，可支撐收納 於分類來源卡匣3的最下方之基板W的重量。 分類目的卡匣輔助部19亦與分類來源卡匣輔助部17 具有同樣的構成，並進行幾乎爲同之動作。 於載入裝置1 1中，係設置有用以於此載入裝置1 1與 分類來源卡匣3及分類目的卡匣5之間進行基板W的搬 送之分類目的卡匣·分類來源卡匣側基板搬送手段51。此 外，於載入裝置1 1中，係設置有用以於此載入裝置1 1與 高密度卡匣9之間進行基板W的搬送之高密度卡匣側基 板搬送手段5 3。 詳細而言，載入裝置11係於下部中具有基座構材 57。此基座構材57係以線性導軌軸承59所支撐，並藉由 伺服馬達等的促動器及球狀螺絲等，而可於Y軸方向上自 由移動及定位。 於上述基座構材57的上面（於水平方向上延展之平 面狀的上面）上，係一體豎設有側邊構材6 1。此側邊構材 6 1係設置於基座構材5 7之Y軸方向的兩端部側。 分類目的卡匣·分類來源卡匣側基板搬送手段5 1係 具備於上述各個側邊構材61之間所設置之移載手臂支撐 -17- 200817259 (14) 構材63。於移載手臂支撐構材63的上部上，係設置有 「L」字形的手臂構材67。手臂構材67係隔著線性導軌 軸承（圖中未顯示）等，以可自由移動之方式而支撐於移 載手臂支撐構材63。此外，手臂構材67係藉由伺服馬達 等的促動器及球狀螺絲等，而可於X軸方向上自由移動及 定位。 於手臂構材67的上部上，係一體設置有可吸附並保 持基板W的下面之做爲保持手段的例子之吸盤71。除了 以吸盤7 1加以保持之外，亦例如可包夾基板W的端部而 加以保持。 此外，於移載手臂支撐構材63的上部上，係設置有 載入空氣浮動手段69。此載入空氣浮動手段69係藉由一 體設置於移載手臂支撐構材63之多數個支撐構材70所構 成。於各個支撐構材70的上面係位於較上述吸盤7 1的上 面稍微下方，此外，各個支撐構材70可從各個支撐構材 49的上面噴出空氣。 此外，若於高度方向上適當的將移載手臂支撐構材63 加以定位，使手臂構材67從移載手臂支撐構材63產生外 伸，並往分類來源卡匣3或分類目的卡匣5側（第8圖中 的右側）延伸出，則可藉由吸盤7 1保持分類來源卡匣3 之基板W的端部下面。 此外，若從上述支撐構材49的上面及各個支撐構材 70的上面中吹出空氣以支撐上述基板W的重量，而拉引 手臂構材67的話（若往第8圖中的左側移動的話），則 -18· 200817259 (15) 可從分類來源卡匣3中’將基板W拉出（搬出）至移載 手臂支撐構材63的幾乎正上方的位置爲止。 於將基板W搬入至分類目的卡匣5時，只需進行與 上述從分類來源卡匣3中搬出基板W的動作爲相反之動 ' 作即可。 高密度卡匣側基板搬送手段53，係具備輸送帶基座構 材73。輸送帶基座構材73係於各個側邊構材6 1之間，隔 / 著線性導軌軸承65由各個側邊構材61所支撐。此外，輸 送帶基座構材73係藉由伺服馬達等的促動器及球狀螺絲 等，而可於Z軸方向上自由移動及定位。 於輸送帶基座構材73的上面（於水平方向上延展之 平面狀的上面）上，係一體設置有多數個滾輪支撐構材 75。這些各個滾輪支撐構材75，例如於Y軸方向上形成 間隔而設置。此外，於各個滾輪支撐構材7 5的上端部 上，係設置有構成用以載置基板W之輸送帶之多數個滾 輪77。 各個滾輪77的迴轉中心軸係於Y軸方向上延伸，並 且隔著馬達等的促動器及齒輪等的動力傳達構材而各自同 步迴轉，或者是可藉由離合器等而與馬達切離並各自自由 迴轉。 再者’輸送帶基座構材73及各個滾輪支撐構材75及 各個滾輪77，可於遠離移載手臂支撐構材63而存在於移 載手臂支撐構材63的下方之位置，與各個滾輪77的上端 僅較吸盤7 1的上端稍微高的位置之間移動。於各個滾輪 -19· 200817259 (16) 77的上端位於較吸盤71的上端還上方的位置等 下，各個滾輪支撐構材75及各個滾輪77係通過移 支撐構材63上所設置之貫通孔。 各個滾輪77的上端僅較吸盤71的上端稍微高 上之上述各個滾輪的上端，與暫存站側輔助部23 滾輪4 1的上端，係成爲相同高度。 於使用高密度卡匣側基板搬送手段5 3，從各 77中將基板W搬入（搬出）至高密度卡匣9時， 當的使各個滾輪77及各個滾輪4 1回轉即可，於從 卡匣9將基板W搬送至各個滾輪77時，只需進行 動作即可。 此外，於基板分類系統1中，上述控制裝置（ 顯示）係根據將收納於分類來源卡匣3之基板W的 以輸入之ID輸入手段（圖中未顯示），以及藉由」 輸入手段所輸入之ID，使分類至分類目的卡匣5 W移動。 具體而言，上述控制裝置係透過天線（圖t 示），將設置於分類來源卡匣 3 之 RFID ( Frequency Identification :射頻識別）標籤（圖 c 示）中所儲存之基板W的資訊（收納於分類來源 之各個基板的資訊；關於基板W的種類、基板W 與否之資訊）加以讀取並輸入，並將此輸入後的各 W的資訊，記憶於圖中未顯示之記憶手段。 基板W的資訊係設定爲，於對收納於分類來源 之狀態 載手臂 的位置 的各個 個滾輪 只需適 高密度 相反的 圖中未 ID加 二述ID 之基板 中未顯 Radio 并未顯 卡匣3 的良品 個基板 卡匣3 -20- 200817259 (17) 之各個基板W進行加工之前工程等當中，預先記錄（儲 存）上述RFID標籤中。此外，係設定爲於分類來源卡匣 3中，例如以隨機方式收納有不同種類的基板W。 此外，於將收納於分類來源卡匣3之基板W移動至 '暫存站7時，係將基板W收納（搬入）至高密度卡匣9 '的任意位置上。於收納於分類來源卡匣3之基板W爲搬 空時，可適當的替換爲用以收納基板W之下一個分類來 源卡匣3。 之後，參照上述記憶手段中所記憶之資訊，若例如於 暫存站7中留存特定片數之相同種類的基板W，則將這些 留存之特定片數的基板W移往分類目的卡匣5。此時，係 從暫存站7的任意位置中搬出基板W。因此，可僅將上述 留存特定片數之相同種類的基板W移往分類目的卡匣5， 而進行基板W的分類。 一旦上述相同種類之特定片數的基板W移往分類目 的卡匣5之動作結束，則將分類目的卡匣5替換爲下一個 卡匣，而準備下一次相同種類的基板W之分類。 此外，用以取代RFID標籤或是除了 RFID標籤之 外，亦可藉由分類來源卡匣3上所附加的條碼及各個基板 W上所附加的條碼等，而讓上述控制裝置獲得基板W的 資訊。此外，亦可將控制裝置連接於網路，並透過上述網 路而獲得基板W的資訊。
於基板分類系統1的分類目的站15中，可設置多數 個分類目的卡匣5。此外係構成爲，一旦分類後的基板W -21 · 200817259 (18) 收納於所設置之各個分類目的卡匣5當中的1個分類目的 卡匣5之動作結束後，則可持續進行往上述各個分類目的 卡匣5當中的另1個分類目的卡匣5之分類。所設置之各 個分類目的卡匣5當中的其他分類目的卡匣5，係成爲待 機卡匣。 此外，如第1圖所示般，於基板分類系統1中，係設 置有可載置分類目的卡匣5之置放架79。於分類目的站 f 15及置放架79之間，可使用起重機（圖中未顯示）或是 分類目的卡匣移動機器人等，藉此可使分類目的卡匣5適 當的移動。 接下來說明基板分類系統1的動作。 第9圖〜第1 4圖係顯示用以說明基板分類系統1的動 作之圖式。 基板分類系統1係設定爲在上述控制裝置的控制下進 行動作。於基板分類系統1開始動作之前，例如係設定 爲，收納有種種基板W之分類來源卡匣3係設置於分類 來源站13，未收納基板W之空的分類來源卡匣3設置於 分類目的站1 5，於高密度卡匣9中並未收納基板W而成 爲空的卡匣。 此外，如第9圖所示般，手臂構材67係位於高密度 卡匣9側（第9圖的左側）。分類來源卡匣3係位於，吸 盤7 1的上端位於較收納於分類來源卡匣3的最下側之基 板W的下面還低之處的高度（係位於，支撐構材49的上 面亦位於離收納於分類來源卡匣3的最下側之基板W的 -22- 200817259 (19) 下面還低之處的高度）。此外，滾輪77係位於移 支撐構材63的下方。 於第9圖所示的狀態中，使手臂構材67往分 卡匣3側移動（第9圖的右側），並適當的使分類 匣3往下方移動，直到收納於分類來源卡匣3的最 基板W的下面，與吸盤71的上端幾乎爲一致爲止 收納於分類來源卡匣3的最下側之基板W的下面 較支撐構材49的上面稍微上方之位置爲止）。 接著以吸盤71將收納於分類來源卡匣3的最 基板W的下端部（載入裝置1 1側的下端部）加以 從支撐構材49的上面噴出空氣，使收納於分類來源 的最下側之基板W僅上升些許程度（參照第1 0圖： 接下來一邊從支撐構材70的上面噴出空氣， 手臂構材67往高密度卡匣9側（第1 0圖的左側） 而從分類來源卡匣3中搬出基板W。搬出後的基板 位於移載手臂支撐構材63的幾乎正上方的位置（ 1 1圖、第12圖）。 接下來使各個滾輪77上升，並使各個滾輪77 的高度與基板W的下面的高度幾乎呈一致（使各 77的上端的高度成爲僅較支撐構材70的上面的高 上方），以滾輪77支撐基板W的兩側邊部下面， 吸盤7 1對基板W的保持。 於第12圖中，爲了避免圖式不易觀看，因此 手臂構材67等的表示。 載手臂 類來源 來源卡 下側之 (直到 ，位於 下側之 保持， 卡匣3 〇 一邊使 移動， W，係 參照第 的上端 個滾輪 度稍微 並解除 係省略 -23- 200817259 (20) 於第1 2圖所示的狀態中，將高密度卡匣9定位於適 當的高度，並將滾輪41及支撐構材45插入於高密度卡匣 9的內部，使滾輪77、滾輪41迴轉驅動而將基板W搬入 至高密度卡匣9內。 之後使高密度卡匣9僅上升些許，將所搬入的基板W ‘載置於高密度卡匣9的纜線2 7。之後係返回與第9圖所示 的狀態幾乎爲相同之狀態。 重複進行此動作，一旦於高密度卡匣9中，留存特定 片數之相同種類的基板W，則將這些留存之特定片數的基 板W移往分類目的卡匣5。此移動係如上述般，係以與從 分類來源卡匣3將基板移載至高密度卡匣9之動作幾乎爲 相反之動作而進行。從高密度卡匣9往分類目的卡匣5移 動時，係從暫存站7的任意位置中搬出基板W。因此，可 僅將上述留存特定片數之相同種類的基板W移往分類目 的卡匣5，而進行基板W的分類。 一旦上述相同種類之特定片數的基板W移往分類目 的卡匣5之動作結束，則將分類目的卡匣5替換爲下一個 卡匣，而準備下一次相同種類的基板w之分類。 根據基板分類系統1，一旦於暫存站7中留存特定片 數之特定種類的基板W，則可僅將這些特定片數的基板W 移往分類目的卡匣5，因此’不須於分類目的卡匣5及置 放架79之間進行分類目的卡匣5的替換’而可有效率進 行基板W之分類。此外’由於可於暫存站7中以高密度 收納多數片的基板w，因此可避免暫存站7的大型化’使 -24 - 200817259 (21) 基板分類系統1達到小型化。 此外，藉由使基板分類系統1達到小 板分類系統1的設置面積。若可縮小基板 置面積，則於無塵室內使用基板分類系統 爲昂貴設備之無塵室的大小。 此外，根據基板分類系統1，係構成 ID，使分類至分類目的卡匣5之基板W 到基板分類系統1之更進一步的自動化， 且正確的進行基板W之分類。 此外，根據基板分類系統1，係構成 基板W收納於各個分類目的卡匣5當中 卡匣5之動作結束後，則可持續進行往各 5當中的另1個分類目的卡匣5之分類， 送目的的分類目的卡匣5有所改變，亦不 11的動作，而有效率進行基板W之分類< [第2實施型態] 第14圖係顯示本發明的第2實施型 統1 〇 1的槪略構成之側面圖，爲對應於第 第2實施型態之基板分類系統1 0 1， 輸送帶而進行分類來源卡匣3與載入裝濯 類目的卡匣5與載入裝置11之間之基板 看，係與第1實施型態之基板分類系統1 與基板分類系統1幾乎相同而構成，並 >型化，可縮小基 分類系統1的設 1時，可縮小做 爲根據所輸入之 移動，因此可達 並且可更有效率 爲一旦分類後的 的1個分類目的 個分類目的卡匣 因此即使基板搬 需中斷載入裝置 態之基板分類系 2圖之圖式。 就以使用滾輪之 :1 1之間以及分 W的搬送之點來 爲不同，其他係 可達到同樣的效 -25- 200817259 (22) 果。 亦即’於基板分類系統101中，係去除移載手臂支撐 構材63、手臂構材67、吸盤71等，並且各個輔助部17、 19具備以促動器所迴轉驅動之滾輪1〇2而構成。各個滾輪 102的上端的高度、各個滾輪77的上端的高度、及各個滾 輪4 1的上端的局度係互爲一致。此外，藉由適當的驅動 各個滾輪77、102，可於分類來源卡匣3與載入裝置11之 間以及分類目的卡匣5與載入裝置11之間進行基板|的 搬送。 [第3實施型態] 第1 5圖係顯示本發明的第3實施型態之基板分類系 統11〇的槪略構成之側面圖，爲對應於第2圖之圖式。 第3實施型態之基板分類系統11〇，就使用與手臂構 材67、吸盤71爲同樣構成且設置於移載手臂支撐構材63 之手臂構材67a、吸盤71a，而進行載入裝置11與高密度 卡匣9之間之基板W的搬送之點來看，係與第1實施型 態之基板分類系統1爲不同，其他係與基板分類系統1幾 乎相同而構成，並可達到同樣的效果。 此外，於暫存站側輔助部23中，係去除滾輪41。 [第4實施型態] 第4實施型態之基板分類系統（圖中未顯示），與第 1實施型態之基板分類系統1相反，係以使用由促動器所 -26- 200817259 (23) 驅動之滾輪之輸送帶’而進行分類來源卡匣3與載入裝置 1 1之間以及分類目的卡匣5與載入裝置1 1之間之基板W 的搬送，並使用手臂構材67a、吸盤71a而進行高密度卡 匣9與載入裝置11之間之基板W的搬送。 [第5實施型態] 第16圖係顯示本發明的第5實施型態之基板分類系 統1 3 0的槪略構成之俯視圖’爲對應於第1圖之圖式。 第1 7圖係顯示本發明的第5實施型態之基板分類系 統130的槪略構成之側面圖，爲第16圖之XVII的箭頭方 向之圖式。 第5實施型態之基板分類系統1 3 0，就使用基板移載 手臂132而進行分類來源卡匣3與載入裝置11的主體部 1 7之間，以及分類目的卡匣5與載入裝置1 1的主體部1 7 之間之基板W的搬送之點來看，係與第1實施型態之基 板分類系統1爲不同，其他係與基板分類系統1幾乎相同 而構成，並可達到同樣的效果。 亦即，於基板分類系統1 3 0中，係於與移載手臂支撐 構材63幾乎爲相同構成之移載手臂支撐構材63a中，設 置有可藉由促動器於X軸方向上自由移動及定位之梳狀的 基板移載手臂132。之後，可將基板移載手臂〗32插入於 分類來源卡匣3及分類目的卡匣5內而載置基板W並加 以運送。於移載手臂支撐構材63a之高密度卡匣9側的上 面上，設置有用以支撐基板W的重量之滾輪136,於將基 -27- 200817259 (24) 板從滾輪77搬送至滾輪4 1時’係以滾輪1 3 6支撐基板W 的重量，而可平順的進行基板w的運送。 此外，關於分類來源卡匣及分類目的卡匣，可不採用 纜線卡匣，而可採用於Y軸方向的兩端部上支撐基板W 之一般的卡匣。 [第6實施型態] 第6實施型態之基板分類系統（圖中未顯示），就使 用與手臂構材67、吸盤71爲同樣構成且設置於移載手臂 支撐構材 63之手臂構材 67a、吸盤 71a (參照第15 圖），而進行載入裝置11的主體部17與高密度卡匣9之 間之基板W的搬送之點來看，係與第5實施型態之基板 分類系統1 3 0爲不同，其他係與基板分類系統1 3 0幾乎相 同而構成，並可達到同樣的效果。 此外，於輔助部23 (參照第3圖）中，係與第3實施 型態之基板分類系統110同樣去除滾輪41。 於上述各項實施型態中，係使分類來源卡匣3、分類 目的卡匣5、高密度卡匣9於上下方向上移動而進行基板 W的搬出及搬入，但亦可預先於高度方向上固定分類來源 卡匣3、分類目的卡匣5、高密度卡匣9，並且使移載手臂 支撐構材63等於上下方向上移動，而藉此進行基板w的 搬出及搬入。 此外，本發明並不限定於上述發明的實施型態，可藉 由進行適當的變更而於其他型態中加以實施。 -28- 200817259 (25) 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明的第1實施型態之基板分類系統 的槪略構成之俯視圖。 第2圖係顯示基板分類系統的槪略構成之側面圖，爲 第1圖之II的箭頭方向之圖式。 第3圖係顯示暫存站的槪略斜視圖。 第4圖係顯示構成暫存站之高密度卡匣之斜視圖。 第5圖係顯示第3圖之V的箭頭方向之圖式。 第6圖係顯示第5圖之VI的箭頭方向之圖式。 第7圖係顯示基板分類系統的槪略構成之俯視圖，爲 對應於第1圖之圖式。 第8圖係顯示基板分類系統的槪略構成之側面圖，爲 第7圖之VIII的箭頭方向之圖式且爲對應於第2圖之圖 式。 第9圖係顯示用以說明基板分類系統的動作之圖式。 第1 0圖係顯示用以說明基板分類系統的動作之圖 式。 第1 1圖係顯示用以說明基板分類系統的動作之圖 式。 第1 2圖係顯示用以說明基板分類系統的動作之圖 式。 第1 3圖係顯示用以說明基板分類系統的動作之圖 式。 -29- 200817259 (26) 第1 4圖係顯示本發明的第2實施型態之基板分類系 統的槪略構成之側面圖，爲對應於第2圖之圖式。 第1 5圖係顯示本發明的第3實施型態之基板分類系 統的槪略構成之側面圖，爲對應於第2圖之圖式。 第1 6圖係顯示本發明的第5實施型態之基板分類系 統的槪略構成之俯視圖，爲對應於第1圖之圖式。 第1 7圖係顯示本發明的第5實施型態之基板分類系 統的槪略構成之側面圖，爲第16圖之XVII的箭頭方向之 圖式。 第1 8圖係顯示以往的基板分類系統的槪略構成之俯 視圖。 第19圖係顯示基板分類系統的正面圖，爲第18圖之 XIX的箭頭方向之圖式。 【主要元件符號說明】 1、101、1 10、130、200 :基板分類系統 3、202:分類來源卡匣 5、204 :分類目的卡匣 7 :暫存站 9 :高密度卡匣 11 :載入裝置 1 3 :分類來源站 14、16、33:卡匣移動定位裝置 1 5 :分類目的站 -30- 200817259 (27) 1 7 :分類來源 1 7 :主體部 1 9 :分類目的 2 3 :暫存站側 25 :側面構材 26 :開口部 2 7 :線狀構材 2 9 :輔助單元 3 1、57 :基座 3 3 :卡匣移動 3 5 : Y軸托架 3 7 :缺口 41 、 77 、 102、 43 :暫存站側 45 、 49 、 70 : 47 :分類來源 5 1 :分類目的 53 :高密度卡 5 9、6 5 :線性 61 :側邊構材 63 、 63a ：移 _ 67、67a ：手臂 6 9 :載入空氣 71、 71a ：吸盤 卡匣輔助部 卡匣輔助部 輔助部 (纜線） 構材 定位裝置 1 3 6 :滾輪 空氣浮動手段 支撐構材 空氣浮動手段 卡匣·分類來源卡匣側基板搬送手段 匣側基板搬送手段 導軌軸承 €手臂支撐構材 f構材 浮動手段 -31 - 200817259 (28) 73 :輸送帶基座構材 75 :滾輪支撐構材 7 9、2 1 0 :置放架 132 :基板移載手臂 206 :基台 208 :機器人 W :基板 •32