TW200815952A - Server and program - Google Patents

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200815952 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於具備例如對於被處理基板進行特定製程之 2以上之製造裝置、及與該2以上之製造裝置連接之伺服器 裝置之群管理裝置，以及伺服器裝置等。 【先前技術】

於以在之群管理系統，實現可自動且正確地將從測定器 送來之資料予以加工之半導體製造裝置之群管理系統之測 疋 > 料加工方法（參考例如專利文獻丨）。於本測定資料加工 方法，接收測定器對於群管理系統之群管理部之測定器通 知部所傳送之各種測定資料。本測定資料加工方法係預先 登錄加工前述測定資料之計算式，接收到前述測定資料 時，將前述測定資料儲存於測定資料接收緩衝器，並且根 據則述測疋:貝料所具有之配方名稱，從前述登錄之計算式 中，選擇適於加工前述測定資料之至少一個具有相同配方 名稱之計算式，並儲存於計算式儲存緩衝器，將儲存之前 述測定資料適用於前述選擇之計算式而計算，將計算結果 記憶於加工完畢資料儲存緩衝器。 一 ’ ☆以往之半導體製造裝置之群管理系統，具有顯 不在半導體製造裝置測定到時 」炙f間序列資訊（以下記載為 田、之功能。於該圖表顯示有君羊管^ ^ ^ ^ ^ ^ 半導體製造裝置之資訊。_ ^系統所官理之硬數 R . 、 …、後，以彺之群管理系統具有使 用圖表進行異常檢測，苴

and cla .f..進仃異吊分類之FDC (加U SS1咖1011 .錯誤檢測及分類)之功能。 120407.doc 200815952 總言之，以往之群管理系統係於使用者所設定之檢查對 象群（期間、裝置群、配方群及/或參數群）中進行異常檢測 後，取入該檢查對象群之所有檢查資料，並由使用者進行 異常分析。而且，作為發生異常之情況時之異常分析方 法，存在有藉由SPC(單變量異常檢測）圖表、相關（2變量 異常檢測）圖表及MC(多變量異常檢測）圖表之分析方法。 [專利文獻1]日本特開平11-354395號公報（第一頁、圖1等） 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 然而，於以往之群管理系統，由於在異常檢測後之異常 分析中，顯示該檢測對象群之所有檢查資料，因此無法立 即分析得知何製造裝置歷經何種經過而成為異常，或何配 方與異常有關等。特別是於祠服器裝置連接有數十至數百 台之製造裝置之情況時，上述異常分析非常困難。 [解決問題之技術手段] 本發明之伺服器裝置係構成具備對於被處理基板進行特 定處理之複數製造裝置及與該複數製造裝置連接之伺服器 裝置，且具有異常檢測後進行異常分析之功能之群管理系 統者；且具備：測定資訊儲存部，其係可儲存複數測定資 訊，該測定資訊係有關在前述複數製造裝置測定之資訊之 時間序列資訊，係具有識別前述製造裝置之裝置識別符或 硪別配方之配方識別符及表示時刻之時刻資訊之資訊；指 示受理部，其係受理包含丨個以上裝置識別符或丨個以上配 方識別符之圖表之輸出指示；圖表構成部，其係於前述指 120407.doc 200815952 ，從前述測定資訊儲存

別之悲樣之圖表；及輸出部， 示受理部受理到輸出指示之情況下 部讀出具有該輸出指示所包含之㈠固 複数踯疋貧訊，從該讀出之 各配方識別符在視覺上可區 其係輸出前述圖表構成部所 構成之圖表。 【實施方式】 以下’參考®式來說明有關群管理系統等之實施型態。 此外’由於實施型態中附有相同符號之構成要素進行:同 之動作’因此有時會省略再一次說明。 (實施型態） 圖1為本實施型態之群管理系統之概念圖。群管理系統 為控制例如半導體製造裝置、液晶面板製造裝置等製造裝 置之系統。而且，群管理系統具有於異常檢測後進行異常 分析之功能。並且，群管理系統具有丨個以上之製造裝置 11(製造裝置11(1)至製造裝置11(n))、伺服器裝置丨2及客戶 端裝置13。 製k裝置11係對於被處理基板進行特定處理之裝置。進 一步具體而言，製造裝置11為半導體製造裝置、液晶面板 裝ie#置專製造裝置。製造裝置11係進行例如成膜裝置、 蝕刻處理、熱氧化處理等對於被處理基板之各種處理。製 造裝置11例如為複合製程型之半導體晶圓製造裝置。於圖 2表示本半導體晶圓製造裝置之例。如圖2所示，本半導體 晶圓製造裝置在結構上具備：對於半導體晶圓進行各種處 120407.doc 200815952 理之例如成膜處理、蝕刻處理或熱氧化處理等之複數（例 如3個）製程處理室l 2，3 ;收容可收納許多片（例如“片） 晶圓W之卡匣Cl，C2之卡匣處理室4, 5 ;及於製程處理室1 2, 3 /、卡匣處理至4，5間進行晶圓w之交付之搬送處理室 6各處理至間係介由閘閥G而開閉自如地連結。於搬送處 理室6内，設置可進行屈伸動作及旋轉動作之例如多關節 • 式之搬送臂7，藉由此搬送臂7來進行處理室間之晶圓界之 ◎ 搬达。卡Eci，C2係於被取入卡ϋ處理室4，5内時反轉90 度並且以u亥卡匣C1，C2之晶圓插拔口朝向搬送處理室6 内之中〜之方式旋轉，設置為可藉由搬送臂7取出、置入 晶圓W。 而且製這裝置11係儲存例如有關對於被處理基板之特 定製程之資訊之配方（通常為製程條件值之集合），使用該 配方控制。 而且伺服器裝置12為構成所謂群管理系統之伺服器裝 〇 =二儲存複數製造裝置"之各種測定資訊，具有對於該測 疋貝汛進仃異常檢測之功能。而且，伺服器裝置Η通常具 彳異常檢測之功能。然後，於伺服器裝㈣，通常於異’常 k測後胃於使用者提供異常分析之功能。此外，異常檢 測之功此係於記錄媒體（例如臨限值儲存部），預先儲存正 系fe圍之臨限值（例如上限臨限值及下限臨限值）或異常範 圍之^限值，並具備使用該臨限值來判斷測定資訊為正常 亦或”㊉之判斷邛’藉由該判斷部之判斷來檢測異常。此 卜〇般之異$檢測之功能為習知技術，因此省略詳細 120407.doc 200815952 說明。 而且’客戶端裝置13係對於伺服器裝置12發出各種要 求，受理伺服器裝置12之處理結果。 圖3為本實施型態之群管理系統之區塊圖。 群管理系統具備1以上之製造裝置丨丨、伺服器裝置12及 ‘ 客戶端裝置13。 • 製造裝置11具備：配方儲存部1101、處理部11 〇2、測定 ^、 部1103、原資訊積存部1104及原資訊傳送部丨丨〇5。 伺服器裝置12具備：測定資訊儲存部12〇1、原資訊接收 邛1202、測疋資訊取得部丨2〇3、測定資訊積存部12〇4、指 示文理部1205、圖表構成部1206、輸出部12〇7及輸出指示 積存部1208。 客戶端裝置13具備：指示輸入部13〇1、指示遞送部 1302、圖表受理部1303及圖表顯示部13〇4。· 配方儲存部1101係儲存為了控制製造裝置u所使用之配 Q 方。配方係有關對於被處理基板之特定製程之資訊，通常 包含製程參數之資訊之集合。製程參數之資訊包含例如種 類名、項目名、參數名、值。種類名係表示製程參數之種 類之名稱，例如「溫度」、「氣體流量」、「板升降機之速 — 度」等。項目名係表示製程參數之屬性之名稱，例如^ 、 下速度」、「旋轉速度」等。參數名為製程參數之 上 $冉，似 如C」、「A」等。值係對於製程參數之變數所賦 值。通常，配方係與識別配方之配方識別符（例如配^之 成對儲存。配方儲存部1101宜為非揮發性記錄媒體，名） 120407.doc -10- 200815952 揮發性之記錄媒體亦可實現。 處理部㈣“方料部11()1找方，按照該配方 來進行對於被處理基板之特定製程。處理部11()2通常可由 MPU或記憶體等來實現。處理部㈣之處理程序通常以軟 體來實現’該軟體記錄於R〇M等記錄媒體。但亦能以硬體 (專用電路）來實現。 Ο 測定部«定製造^叫之溫度、氣體流量或壓 力欠等i種以上之值’取得圖表化之作為測定資訊之本源之 貧訊之原資訊。原資訊為敎之溫度等資訊。原資訊通常 具有表示载之時刻之時刻資訊。原資訊進―步宜具有： 配方識別符，其係識別敎部⑽敎溫度等之值時所處 理之配方；測定之丨独上之值；及表示敎時刻之時刻 資訊。測定部11〇3當然亦可測定複數處之複數溫度、或溫 度及氣體流量等複數值。測定部11〇3能以i以上之溫度感 測器或1以上之流量感測器等感測器等來實現。 原資訊積存部11〇4係將測定部11〇3所取得之原資訊，積 存於未圖示之記錄媒體。原資訊積存部⑽通常可由则 或記憶體等來實現。原資訊積存部11〇4之處理程序通常以 軟體來實現’該軟體記錄於R〇M等記錄媒體。但亦能以硬 體(專用電路)來實現。而且，記錄媒體宜為非揮發性記錄 媒體’但以揮發性記錄媒體亦可實現。 原資訊傳送部係將原資訊積存部11〇4所積存之原資 訊傳送至词服器裝置12。不拘原資訊傳送之觸發。而且，、 原資訊傳送部所傳送之原資訊宜具有測定之值、時刻 120407.doc -11 - 200815952 Ο

資訊及識別製造裝置u之製造裝置識別符。並且 傳送部⑽所料U訊宜具有：敎之值、時= 訊、及識別製造裝置u之製造裝置識別符、配方識別符。、 總吕之，原資訊積存部蘭所積存之原資訊及原資訊傳送 部1105所傳送之原資訊，其構造或結構不同亦可。而且， 原資訊亦可對於複數測定值，具有i個製造裝置識別符或/ 及1個配方識別符而構成。並且’原資訊傳送部11〇5以不 同時序來傳送敎之值與時刻資訊之配組、及製造裝置識 別符、配方識別符等屬性值亦可。原資訊傳送部1105能以 無線或有線之通信機構等來實現。 測定資訊儲存部1201可儲存複數測定資訊。複數測定資 訊係有關在複數製造褒置U所測定到之資訊之時間序列資 訊，其為具有識別製造裝置U之裝置識別符及表示時刻之 時刻資訊之資訊。而且，複數測定資訊係進一步有關在複 數製造裝置11所測定到之資訊之時間序列資訊，其為具有 識別製造裝置11之裝置識別符、識別配方之配方識別符及 表不時刻之時刻資訊之資訊亦可。測定資訊儲存部以…宜 為非揮發性記錄媒體，但以揮發性記錄媒體亦可實現。此 外，測定資訊儲存部12〇1之測定資訊為測定資訊積存部 1204所積存之資訊、從製造裝置丨丨直接接收之資訊、或從 未圖示之記錄媒體讀出之資訊均可。 原資訊接收部1202係從複數製造裝置11，接收作為複數 測定資訊之本源之資訊之原資訊。原資訊接收部12〇2能以 無線或有線之通信機構等來實現。 120407.doc -12- 200815952 測定資訊取得部1203係對於原資訊接收部1202所接收到 2複數原資訊進行特定運算，取得複數測定資訊。特定運 才係例如於每特定時間間隔，算出複數原資訊所具有之複 值之平均值、取得最大值、取得最小值、算出標準差或 1值之運鼻。而且’特定運算係例如於配方内之每 寺疋V驟，算出複數原資訊所具有之複數值之平均值、取 侍最大值、取得最小值、算出標準差或取得中間值之運算 Ο Ο 亦可’則定貪訊取得部1203係例如讀出預先保持之特定運 开式，於該運算式代入複數原資訊而取得複數測定資訊。 測疋貝訊取得部1203通常可由MPU或記憶體等來實現。測 定資訊取得部1203之處理程序通常由軟體來實現，該軟體 σ己錄於R0M等記錄媒體。但亦能以硬體（專用電路）來實 現0 測定資訊積存部1204係將測定資訊取得部12〇3所取得之 複數測定資訊，積存於測定資訊儲存部1201。此外，測定 資訊積存12〇4宜僅將測定資訊取得部丨2〇3所取得之複數 測定資訊中，纟圖示之判斷部判斷為異常之測定資訊及與 忒測疋貧訊具有一定關係之測定資訊（與異常之測定資訊 同一製造裝置之測定資訊、同一配方之測定資訊），積存 於測定貝矾儲存部12〇1。測定資訊積存部12〇4通常可由 MPU或纪憶體等來實現。測定資訊積存部1204之處理程序 通常由軟體來實現，該軟體記錄於R〇M等記錄媒體。但亦 能以硬體（專用電路）來實現。

礼不党理部12〇5受理指示。該指示通常從客戶端裝置U 120407.doc -13- 200815952 接收：但亦可從連接於伺服器裝置12之鍵盤或滑氣等受 理彳日不叉理部1205所受理之指示為例如包含丨以上之 置識別符之圖表之輸出指示、包含⑴上之配方識別符: 圖表之輸出指示、或與輸出指示積存部12〇8所積存之輸出 指示相對應之圖表之輸出指示等。輸出指示係於異常檢測 後用以進行異常分析之輸出指示。而且，冑出指示亦可包 έ圖表之種類（SPC圖表、相關圖表或MD圖表等）之資气。 Ο Ο 而且’輸出指示亦可包含圖表輸出之對象之資料類型(溫 度、氣體流量或壓力等測定資訊）。而且，輸出指示亦可 包含構成圖表之點或/及線之屬性資訊。屬性資訊係指點 顏色、點種類（形狀）、線顏色、線種類冑。並且，輪出指 不包3配方識別符之情況時，通常該配方識別符表示具有 複數裝置之同一識別符之複數配方。指示受理部1205係由 例如無線或有線之接收機構所組成。指示之輸入機構係藉 由數字鍵盤、鍵盤、滑鼠或選單晝面等者，任何均可。指曰 示受理部1205能以數字鍵盤或鍵盤等輸入機構之元件驅動 器、或選單畫面之控制軟體等來實現。 圖表構成部1206係於指示受理部12〇5受理到輸出指示之 情況時，從測定資訊儲存部12〇1，讀出具有該輸出指示所 包含之1以上之裝置識別符中之任一之複數測定資訊，從 該讀出之測定資訊，構成各裝置識別符之測定資訊在視覺 上可區別之態樣之圖表。而且，圖表構成部12〇6係於指示 文理部1205受理到輸出指示之情況時，從測定資訊儲存部 1201，讀出具有該輸出指示所包含之i以上之配方識別符 120407.doc -14- 200815952 Ο 中之任一之複數測定資訊，從該讀出之測定資訊，構成各 配方識別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣之圖表。於 此，視覺上可區別各裝置識別符之測定資訊之態樣之圖 表，係指輸出指示包含2以上之裝置識別符之情況時，各 裝置識別符之測定資訊在不同之點種類（四角及圓圈之形 Τ、顏色、大小）所輸出之圖表、或各裝置識別符之測定 資訊以不同之線顏色所連結之圖表等。而且，視覺上可區 別各裝置識別符之測定資訊之態樣之圖表，係指於輸出指 不僅包含！個裝置識別符之情況時，由該一震置識別符之 稷數測定資訊所組成之圖表。而且，視覺上可區別各配方 識別符之測定資訊之態樣之圖表，係指輸出指示包含2以 上之配方識別符之情況時，各配方識別符之測定資訊在不 2之㈣類㈣及圓圈之形狀、顏色、大小）、或各配方 ‘別付，測定資訊以不同之線種類（實線及虛線等）所連結 之圖表等。而且，視覺上可區別各配方識別符之測定資訊 =態樣之圖表，係指於輸出指示僅包含1個配方識別符： :況時，由該-配方識別符之複數測定資訊所組成之圖 '而且’圖表構成部1206係按照指示受理部1205所受理 之指不’讀出與積存m示相對應 示，按照該輸出指示來構成^ 翰出才曰 h “ I構成圖表°而且’圖表構成部1206 亦可於‘示受理部12〇5受 f ^立 輸出指不之情況時’從測定 貝Λ儲存邛1201，讀出具有 步罟询,这輸出私不所包含之1以上之 、§ 1付中之任一之複數測定資訊，從兮4 Φ 訊來構成SPC円矣广朽曰 、〇攸〜5貝出之測定資 圖表（早❹異常檢測圖幻，其係各裝置識 120407.doc 200815952 別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣，且依1種測定資 §孔所具有之時刻資訊所示之時刻順序，將前述讀出之複數 測定資訊予以標繪之圖表。SPC圖表係用以監視單變量而 進行異常檢測之圖表。於SPC圖表中，宜預先設定（圖表構 成部1206所預先保持）監視對象之上下限值（管理值），於成 • 為管理值以外之值之情況時，檢測異常，並視覺上地顯示 * 檢測到之異常。而且，圖表構成部1206亦可於指示受理部 1205受理到輸出指示之情況時，從測定資訊儲存部12〇1， 碩出具有該輸出指示所包含之1以上之裝置識別符中之任 一之複數測定資訊，從該讀出之測定資訊來構成相關圖表 (2變量異常檢測圖表），其係各裝置識別符之測定資訊在視 覺上可區別之態樣，且表示2種測定資訊之相關之圖表。 相關圖表係監視2變量之相關關係之圖表。圖表構成部 1206亦可於指示受理部12〇5受理到輸出指示之情況時，從 測疋資訊儲存部120 1，讀出具有該輸出指示所包含之工以 U 上之裝置識別符中之任一之複數測定資訊，從該讀出之測 定資訊來構成MD圖表（多變量異常檢測圖表），其係各裴置 識別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣，且表示3種以 上之測定資訊之相關之圖表。MD圖表係監視多變量而進 •行異常檢測，且匯總處理複數SPC圖表之圖表。然後，例 如圖表構成部1206宜使用馬哈朗諾比斯距離來進行異常判 斷’並輸出在視覺上顯示異常或正常之MD圖表。而且， 圖表構成部1206亦可於指示受理部1205受理到輸出指示之 f月況時，從測定資訊儲存部12〇1，讀出具有該輸出指示所 120407.doc -16- 200815952 包含之1以上之配方識別符中之任一之複數測定資訊，從 該讀出之測定資訊來構成SPC圖表，其係各配方識別符之 測定資訊在視覺上可區別之態樣，且依1種測定資訊所具 有之時刻資訊所示之時刻順序’將讀出之複數測定資訊予 以標繪之圖表。而且，圖表構成部1206亦可於指示受理部 1205受理到輸出指示之情況時，從測定資訊儲存部12〇1， 讀出具有該輸出指示所包含之1以上之配方識別符中之任 一之複數測定資訊，從該讀出之測定資訊來構成相關圖 表，其係各配方識別符之測定資訊在視覺上可區別之態 樣’且表示2種測定資訊之相關之圖表。而且，圖表構成 部1206亦可於指示受理部1205受理到輸出指示之情況時， 從測定資訊儲存部12 01，讀出具有該輸出指示所包含之1 以上之配方識別符中之任一之複數測定資訊，從該讀出之 測定資訊來構成MD圖表，其係各裝置識別符之測定資訊 在視覺上可區別之態樣，且表示3種以上之測定資訊之相 關之圖表。圖表之構成係例如按照時間軸，以線來連結複 數測定資訊而獲得圖表之處理。於被賦予複數具有值及時 刻資訊之測定資訊之情況時，由於構成圖表之處理為習知 技術，因此省略詳細說明。而且，於被賦予複數具有值及 時刻資訊之測定資訊之情況時，由於構成spc圖表、相關 圖表或MD圖表之處理為習知技術，因此省略詳細說明。 而且，2種測定資訊亦包含一測定資訊中含2種測定值（例 如溫度及氣體流量）之資訊。而且，3種以上之測定資訊亦 包含一測定資訊中含3種以上之測定值（例如溫度、氣體流 120407.doc -17- 200815952 里及壓力）®表構成部1206通常可由⑽υ或記憶體等來 貝現圖表構成部！2〇6之處理程序通常以軟體來實現，該 軟體記錄於R〇M等記錄媒體。但亦能以硬體（專用電路）來 實現。 輸出部1207係輸出由圖表構成部12〇6所構成之圖表。於 此，輸出通常指對於客戶端褒置13之傳送。其中，輸出部 録連接於缝器裝置12之顯示器、顯示圖表、往列印 Ο

(J 子或對外°卩裴置傳送均可。輸出部1207能以無線或 有線之通L機構來實現。其中，輸出部亦能以輸出裝 置之驅動器軚體’或以輸出裝置之驅動器軟體及 等來實現。 1 輸出指令積存部1208係積存具有點或/及線之屬性資訊 才匕^置識別符、或點或/及線之屬性資訊及配方識別符等 ^曰不之輸出指不。輸出指示積存部1208係於例如指示受理 P 〇一5又理到積存圖表之設定(包含顏色資訊)之指示之積 、^ 月/兄日f，積存具有點或/及線之屬性資訊及裝置 一、，、β <"、或/及線之屬性資訊及配方識別符之輸出指 每而a ’輸出指示積存部1208通常可由MPU或記憶 只a °輸出指示積存部而之處理程序通常以軟體 來貝現，該姑辨 軟體圮錄於R〇M等記錄媒體。但亦能以硬體 (專用電路)來實現。 體 圖ΪΠΓ-”3。1輸人各種指示。各種指示為起動指示、 點顏色等)之變:表屬：值(線種Θ線顏色、點種類或 又更扣不等。於此，圖表之輸出指示或圖表 120407.doc •18- 200815952 之屬性值（線種類、線顏色、點種類或點顏色等）之變更指 示等，係於使用者被通知異常檢測後，為了進行異常分析 所輸入之指示。指示之輸入機構係藉由數字鍵盤、鍵盤、 滑鼠或選單晝面等者，任何均可。指示輸入部13〇1能以數 子鍵盤或鍵盤等輸入機構及其元件驅動器、或選單晝面之 • 控制軟體等來實現。 指示遞送部1302係將輸入自指示輸入部13〇1之指示，遞 ◎ 迗至伺服器裝置12。在此之遞送通常指使用通信機構之傳 送。指示遞送部13 02能以無線或有線之通信機構等來實 現。 圖表受理部1303係從伺服器裝置12受理圖表之資訊。在 此之受理通常指使用通信機構之接收。圖表受理部13〇3能 以無線或有線之通信機構等來實現。 圖表顯示部1304係將圖表受理部1303所受理之圖表之資 訊顯示於顯示部。圖表顯示部13〇4視為包含或不包含顯示 Q 器均可。圖表顯不部13 04能以顯示器之驅動器軟體、或顯 示器之驅動器軟體及顯示器等來實現。 接著，說明有關群管理系統之動作。首先，使用圖4之 流程圖來說明有關製造裝置丨丨之動作。 (步驟S401)處理部Π02讀出配方儲存部11〇1之配方。 (步驟S402)處理部11〇2將1代入計數器}。 (步驟S403)處理部1102係判斷步驟S4〇1所讀入之配方 中，是否存在第i道處理步驟。若存在第丨道處理步驟，則 岫往步驟S404，若不存在第i道處理步驟，則前往步驟 120407.doc -19- 200815952 S409 ° (步驟S4〇4)處理部11〇2執行第i道步驟之處理。 (步驟S405)測定部1103進行預先決定之測定， 訊（在此之原資訊通常僅具有值）。於此之測定亦 ^ 2 種 ίΛ 上之值（例如溫度、氣體流量及壓力等）。 Ο u

(步驟S 4 0 6)測定部110 3從未圖示之時鐘取得時央〗,兮礼 對於測定之資訊（1種以上之值）賦予時刻資訊，構成原資 訊。而且，測定部1103讀出預先儲存之製造裝置識別符I 配方識別符，於此，亦可附加於原資訊。該配方識別符係 被執行處理之配方之識別資訊。 (步驟S407)原資訊積存部丨丨04係將步驟S4〇6中所構成之 原資訊’積存於未圖示之記錄媒體。 並回到步驟 (步驟S408)處理部11〇2係將計數器i遞增j S403 〇 (步驟S409)原資訊傳送部11〇5係判斷是否為傳送原資訊 之時序。若為傳送原資訊之時序，制資訊傳送部⑽前 往步驟S410’若非傳送原資訊增，則結束處理。此 外’未傳送原資訊之情況，通f以另外之機構（例如經過 可搬型之記錄媒體等）’使原資訊讀入於伺服器裝置匕。 (步驟S4H))原資訊傳送部讀出原資訊積存部職所 積存之原資訊。 (步驟S4U)原資訊傳送部㈣制製造裝置^ 造裝置識別符及配方識別符，對於步驟剛所讀出之原資 訊賦予而構成傳送之原資訊。此外，製造裝置識別符係預 120407.doc -20- 200815952 先由製造裝置11所保持。製造裝置識別符及配方識別符宜 儲存於製造裝置11之非揮發性之記錄媒體，但亦可儲存於 非揮發性之記錄媒體。 (步驟S412)原資訊傳送部1105係將步驟§411所構成之原 資訊傳送至伺服器裝置12。此外，原資訊傳送部11〇5保持 用以與伺服器裝置12通信之資訊（例如伺服器裝置12之15> 位址等）。 此外，於圖4之流程圖中，將配方識別符及製造裝置識 別符賦予原資訊而傳送。然而，亦可分為丨種以上之值與 時刻資訊之配組、與配方識別符及製造裝置識別符而傳送 至伺服器裝置12。並且，該情況下，亦可每當取得丨個由^ 種以上之值與時刻資訊之配組所組成之原資訊，即傳送至 伺服器裝置12。然後，於所有配方之步驟之處理結束後， 將配方識別符及製造裝置識別符傳送至伺服器裝置12亦 可。總言之，不拘原資訊之傳送時序、原資訊之一部分 (值與時刻資訊之配組、製造裝置識別符等）之各個之傳送 時序。 接著，使用圖5之流程圖來說明有關伺服器裝置12之動 作。 (步驟S501)為了於異常檢測後進行異常分析，指示受理 部1205判斷是否受理到指示。若受理到指示，則前往步驟 S502，若未受理到指示，則前往步驟S5〇7。 (步驟S502)圖表構成部1206係判斷步驟S501所受理到之 指示是否為圖表之輸出指示。若為圖表之輸出指示，則前 120407.doc •21 - 200815952 往步驟S503，若非圖表之輸出指示，則前往步驟S508。 (步驟S503)圖表構成部12〇6取得步驟S501所受理到之指 示所具有之1以上之裝置識別符、或/及1以上之配方識別 符。 (步驟S504)圖表構成部1206係將步驟S503或步驟S510所 取得之1以上之裝置識別符或/及1以上之配方識別符作為 鍵，檢索測定資訊儲存部1201，取得1以上之測定資訊。 此外，測定資訊至少具有1種以上之值（溫度或氣體流量之 值等）及時刻資訊。於此，圖表構成部1206係取得具有輸 出指示所包含之1以上之裝置識別符中之任一之測定資 訊、或/及具有輸出指示所包含之1以上之配方識別符中之 任一之測定資訊。 (步驟S505)圖表構成部1206係從步驟S504所檢索到之測 定資訊，構成按照受理到之輸出指示之圖表。此外，圖表 之線之屬性值為步驟S 5 10所取得之屬性值、指示之屬性值 或預設之屬性值等，圖表構成部1206使用該屬性值來構成 圖表。構成之圖表係視覺上可區別各裝置識別符之測定資 訊之態樣之圖表、或/及視覺上可區別各配方識別符之測 定資訊之態樣之圖表。而且，構成之圖表係按照具有輸出 指示之圖表之種類之資訊（SPC圖表、相關圖表、MD圖表 等）之圖表。 (步驟S506)輸出部1207係輸出步驟S5〇6中所構成之圖 表。於此’輸出係指對於客戶端裝置13之傳送。回到步驟 S501 〇 120407.doc -22- 200815952 (步驟S507)原資訊接收部1202判斷是否從製造裝置1工接 收到原資訊。若接收到原資訊，則前往步驟S514，若未接 受原資訊，則回到步驟S501。 (步驟S508)圖表構成部1206判斷是否為按照步驟85〇1所 受理到之指示所積存之圖表之輸出指示之圖表之輸出指 示。若為該圖表之輸出指示’則前往步驟S5〇9，若非該圖 表之指示，則前往步驟S510。

示 裝 (步驟S509)圖表構成部1206按照步驟S5〇i所受理到之指 ，讀出步驟S512所積存之輸出指示，從該輸出指示取得 置識別符或/及配方識別符、或圖表之點或線之屬性值 (點顏色、點形狀、點大小 等）。前往步驟S504。 線顏色、線種類、線粗細 (步驟S510)輸出指示積存部讓判斷步驟S50 i所受理到 之指示是否為積存指示。若為積存指*，則前往步驟 S511，若非積存指示，則回到步驟S5〇i。 Ο (步驟S511)輸出指示積存部㈣取得輸出之圖表之輸出 指示之資訊。輸出之圖表夕鈐山4b— ^ 圆表之輸出指不之資訊係指裝置識別 付或/及配方識別符、或志 ^ι 次圖表之點或線之屬性值（點或線之 顏色、點或線之種卖員、點或線之粗細等）等。 (步驟S512)輸出指示積存部㈣係、將步驟加所取得之 輸出指示之資訊，積存於特定記憶媒體。回到步驟S501。 (步驟S5U)測定資訊取得部係對於步驟测中 資訊接收部1202所接收之適叙広次 、 吹之複數原資訊進行特定運算，取得 1以上之測定資訊。 τ 120407.doc •23- 200815952 (步驟SS14)測定資訊積存部⑶4係將步驟叫3所取^之 i以上之測定資訊積存於測定資訊儲存部1201β回到Z驟 S501 。 y 此外，於圖5之流程圖’藉由插入電源關閉或處理結束 而結束處理。 而且’於圖5之流程圖中，原f訊及測定資訊亦可為相 同資訊。該情況下’於步驟S513中進行讀出原資訊之處 理。 Ο u 而且，於圖5之流程圖中’使用者輸入圖表之種類或線 顏色等圖表之屬性值，本伺服器裝置受理該輸入，並輸出 按照該輸入之圖表亦可。 而且，於圖5之流程圖中，省略伺服器裝置12之異常檢 測處理。上述異常檢測之功能可藉由習知技術來實現。 並且，於圖5之流程圖中，亦可預先積存原資訊，於執 行圖表輸出時，對於複數原資訊進行特定運算，取得 上之測定身訊，使用該1以上之測定資訊來構成圖表而輸 出。總言之，不拘構成測定資訊之時序。 接著，說明有關客戶端裝置13之動作。客戶端裝置13之 指示輸入受理部1301從使用者受理到圖表之輸出指示之情 況時，指示受理部1302係將該輸出指示遞送至伺服器裝置 ^，圖表受理部1303受理在伺服器裝置12之處理結果之圖 表之資訊，圖表顯示部1304則顯示圖表。 以下’說明有關本實施型態之群管理系統之具體動作。 群管理系統之概念圖為圖1。 120407.doc •24- 200815952 於本具體例中’將複數製造裝置n所測定之例如 造裝置内之溫度資訊之原資訊，陸續 貝Λ |土、、只得迗至伺服器裝置 12。原資訊之例為圖6。原資訊具有溫度、時刻資訊、配 方識別符、裝置識別符。時刻資訊為表示時刻之資訊，其 為特定到時/分/秒之資訊，或僅曰時、及時之資訊均可了 - ι方識別符為識別配方之資訊’其為敎出該當溫度時所 ' 執行之配方之ID。裝置識別符係識別測定到溫度之製造裝 〇 £U之資訊°而且’於本具體例中，原資訊係於h秒在 各製造裝置11測定而取得。 然後，伺服器裝置12之原資訊接收部12〇2陸續從複數製 k凌置11接收原資訊而積存。於此，伺服器裝置12首先直 接積存原資訊。該積存之複數原資訊表示於圖7之原資訊 吕理表。原資訊官理表所具有之複數原資訊係具有複數製 造裝置11使複數配方執行時之測定部11〇3之測定結果。 接著，使用者從客戶端裝置13輸入用以檢測異常之指 U 示。藉由該指示，伺服器裝置12之測定資訊取得部1203對 於圖7之原資訊管理表之各記錄之值進行特定運算，獲得 代表值。於此’特定運算係指例如在構成配方之3步驟之 執行時間所測定之溫度中，取得最大溫度之處理。然後， 〃代表值相對應之時刻資訊為3步驟之執行時間之最初之 時刻貪訊。然後，測定資訊取得部12〇3獲得圖8之資訊（測 疋資訊官理表），並暫時儲存於記憶體上。然後，未圖示 之判斷部係從圖8之資訊檢測異常值，並通知使用者。對 於使用者之異常提示為圖表、蜂鳴音等、異常之一覽表等 120407.doc -25· 200815952 均可0此外，如上述，里當佶々认、日士、+从 ”书值之;^測方法為習知技術， 此省略說明。 接著’為了於異常檢測後進行異常分析，使用者從客戶 :裝置13 ’輸入具有裝置識別符「裝置Α」之圖表之輪出 指不。然後，指示輸入部13〇1受理該輸出指示。然後，指 示遞送部13〇2係對於伺服器裝置12傳送具有裝置識^ 厂裝置A」之圖表之輸出指示。 Ο

接著’祠服11裝置12之指*受理部12()5接受具有裳置識 別'「裝置A」之圖表之輸出指示。接著，圖表構成： 1206係將「裝置A」作為鍵而檢索圖8之測定資訊管理表。 然後，圖表構成部1206取得圖9之圖表資訊。圖表資訊係 指成為構成圖表之本源之資訊。圖9之圖表資訊係從圖8之 測定資訊管理表，過濾具有裝置識㈣「裝置A」之記錄 後之資訊。 接著，圖表構成部12〇6讀出圖9之資訊而構成圖表。本 圖表係杈軸表示時刻資訊之時刻，縱軸為值之折線圖。 接著，輸出部1207係將圖表構成部12〇6所構成之折線圖 傳送至客戶端裝置13。 接著’客戶端裝置13之圖表受理部13〇3接收該折線圖， 圖表顯不部1304如圖1〇所示而於顯示器顯示折線圖。 •藉由以上處理，使用者於異常檢測後，僅著眼於在所需 製4農置測定之值，即可得知製造裝置之製造狀態，對於 製造裝置之異常分析極為有效。 接著’例如使用者從客戶端裝置13，輸入具有配方識別 120407.doc -26- 200815952 '配方Y」之圖表之輪出指示。然後，指示輸入部13 01 又理違輸出指不。然後，指示遞送部13G2係對於伺服器裝 置12傳迗具有配方識別符「配方γ」之圖表之輸出指示。 接著，伺服器裝置12之指示受理部12〇5接受具有配方識 別符酉己方Υ」之圖表之輸出指示。接著，圖表構成部 、係將配方Υ」作為鍵而檢索圖8之測定資訊管理表。 • ^後，圖表構成部1206取得圖U之圖表資訊。圖表資訊係 〇 #成為構成圖表之本源之資訊。圖11之圖表資訊係從圖8 之測疋貝訊管理表，過濾具有配方識別符「配方γ」之記 錄後之資訊。 接著，圖表構成部1206讀出圖11之資訊而構成圖表。本 圖表係橫軸表示時刻資訊之時刻，縱軸為值之折線圖。 接著，輸出部1207係將圖表構成部1206所構成之折線圖 傳送至客戶端裝置13。 接著，客戶端裝置13之圖表受理部13〇3接收該折線圖， 〇 圖表顯示部1304如圖12所示而於顯示器顯示折線圖。 藉由以上處理，使用者僅著眼於在執行所需配方時所測 疋之值，即可得知配方之良莠，對於配方之問題檢測極為 • 有效。 • 而且，輸出圖10、圖13等之圖表時，使用者可設定線顏 色或線種類等圖表之屬性資訊。然後，該情況下，圖表構 成部1206構成按照圖表之設定資訊之圖表。 而且’客戶端裝置13之使用者輸入有輸出指示之積存指 不之情況時，輸出指示積存部1208取出並積存具有使用者 120407.doc -27- 200815952 所指定之裝置識別符 之屬性資似们方識別符、及線顏色等圖表 積存之輪出指示，來叫出者後、，可猎由指定已 出指示之圖表。”出該§輸出指示’輪出按照該當輸 若根據本實施型態，為了昱 取出各裝置或各配方之測定資气而顯分析’可 析之精度高，且可容易進行 其結果’異常分 Ο “二若根據本實施型態’可積存並再利用為了有用之 :1:圖表輸出用之輸出指示。藉由該功能，即使已 仍了再利用現場所積存之有效之異常分析方 法，而且可於其他現場再利用。 卜於本只^型恶中，如圖Η所示，輸出之圖表係於 U檢測後’從測定資訊儲存部讀出具有包含異常分 析用之輸出指示之！以上之裂置識別符之任一、或…以 ^之配方識別符之任一之複數測定資訊，從該讀出之測定 貝訊，各裝置識別符或/及各配方識別符之測定資訊在視 覺上可區別之態樣，且依1種測定資訊所具有之時刻資訊 斤示之夺亥J順序，標緣有讀出之複數測定資訊之圖表之 SPC圖表亦可。此外，圖13所示之spc圖表為例如由1個裝 置識別符之測定資訊所構成之SPC圖表。而且，於圖13所 不之SPC圖表中，輸出有管理值（上限）及管理值（下限）。成 為该官理值以外之值之情況時，顯示為異常。管理值（上 限）及官理值（下限）係由圖表構成部1206或未圖示之機構預 先保持。 120407.doc -28- 200815952 =，於本實施型態中，如圖14所示，輸出之圖表係於 j後’從前㈣定資訊儲存部讓讀出具有包含異 申刀析用之輸出指示之!以上之裝置識別符之任一、或，及 1以Λ之配方識別符之任"'之複數測定資訊，從該讀出之 測疋貝Λ，各裝置識別符或/及各配方識別符之測定資訊 在視覺上可區別之態樣，且表示2種測定資訊（例如溫度及 堡力等）之相關之圖表之相關圖表亦彳。此外，圖14所示 Ο Ο 之相關圖表係由例如1個裝罟1 』1U衣罝識別符之2種測定資訊所構成 之：關圖纟。而且，於圖14所示之相關圖表中，輸出有2 種管理值。成為該2個管理值之範圍外之值之情況時，則 顯不為異常。 而且，於本實施型態中，如圖15所示，輸出之圖表係於 異常檢測後，從測定資訊儲存部12〇1讀出具有包含異常分 析用之輸出指示之1以上之裝置識別符之任一、或以 上之配方識別符之任一之複數測定資訊，從該讀出之測定 資訊，各裝置識別符或/及各配方識別符之測定資訊在視 覺上可區別之態樣，且表示3種以上之測定資訊（例如2處 之溫度、氣體流量及壓力）之相關之圖表之MD圖表。此 外，圖15所示之MD圖表係由例如丨個裝置識別符之測定資 訊所構成之MD圖表。而且，圖15所示iMD圖表係使用例 如馬哈朗諾比斯距離來進行異常判斷之圖表。進一步具體 而言，圖15所示之MD圖表係將正常時之資料予以模型 化，使用馬哈朗諾比斯距離，將異常時之程度以數值表示 之圖表。而且，於圖15所示之MD圖表中，輸出有2個管理 120407.doc -29- 200815952 值。成為該2個管理值之範圍外之值之情況時，則顯示為 異常。 而且’於本實施型態之具體例中，輸出之圖表係表示有 一裳置識別符或一配方之測定資訊之圖表，其為依1種測 定貧訊所具有之時刻資訊所示之時刻順序，連結讀出之複 數測疋資訊之一折線圖。然而，如圖16所示，輸出之圖表 • 亦可為從測定資訊儲存部1201，讀出具有輸出指示所包含 之3個裝置識別符之複數測定資訊，從該讀出之測定資 V 1 訊’各裝置識別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣之圖 表’且依1種測定資訊所具有之時刻資訊所示之時刻順 序’標繪讀出之複數測定資訊之3個圖表。該情況下，輸 出指示係包含例如「裝置A」、「裝置B」、「裝置c」之3個 I置識別符。然後，圖表構成部1206係將「裝置a」、「裝 置B」、「裝置C」分別作為鍵，3次檢索測定資訊儲存部 1201，3次取得測定資訊，針對各個鍵，個別地構成不同 (J 2或線之屬性值之圖表，取得3個圖表。然後，輸出3個圖 表。 於本實施型態中，由於如上述可自由選擇3個以上之圖 表（SPC圖表、相關圖表、MD圖表等）之顯示型態，因此可 實現因應全數檢查結果之異常分析。 而且，於本實施型態之具體例中，原資訊或測定資訊亦 可預先由伺服器裝置12來保持。該情況下，原資訊或測定 資訊係由未圖示之機構而從製造裝置丨丨取得，並經由記錄 媒體等而交付至伺服器裝置12。 120407.doc -30- 200815952 而且，於本實施型態之具體 t 6 ^ ^ Λ. ^ ^ ^ 中扣疋衣置識別符或配 方識別付而輸出圖表，但亦 J ^日疋1以上之裝置識別符及1 之配方識別符而輸出圖表。 衣使用者輸入有包含1以上 之名置識別符及1以上之 <配方識別符之輸出指定之情況 ^，圖表構成部1206係將指定之1 、 《日疋您1以上之各裝置識別符及1 以上之各配方識別符分別作 J灯刀引作為鍵而檢索測定資訊（或原資 訊），以構成圖表。 、 Ο Ο 而且，於本實施型態中，佶 去 便用者且輸入放大所著眼之圖 表之一部分之指示，改_兮主Wrr \ ^ 又文该圖表之一部分之縮放比例（改 變測定資訊之時間間隔或步驟之間隔）而輸出圖表。 而且，於本實施型態中，原資訊及測定資訊為相同構成 亦可。該情m需㈣定f訊取得部或敎資訊積存 部〇 而且，於本實施型態中，未必須於製造裝置與伺服器裝 置間傳迗、接收原資訊。原資訊亦可經由例如記錄媒體而 從製造裝置賦予伺服器裝置。 而且，於本實施型態中，群管理系統亦可不具有客戶端 裝置13。該情況下，使用者係對於伺服器裝置12輸入輸出 指不等指不。 並且，本實施型態之處理亦能以軟體來實現。然後，亦 可藉由軟體下載等來發送該軟體。而且，亦可將該軟體記 錄於CD-ROM等記錄媒體而傳布。此外，實現本實施型態 之伺服器裝置之軟體係如下之程式。總言之，該程式係於 電腦，儲存複數有關在對於被處理基板進行特定製程之複 120407.doc -31- 200815952 數製造裝置測定之資訊之時間序列資訊，且具有識別前述 製造裝置之裝置識別符及表示時刻之時刻資訊之資訊之測 疋資訊，該私式用以使電腦執行以下步驟··指示受理步 驟，其係於異常檢測後進行異常分析之情況下，受理包含 1以上之裝置識別符之圖表之輸出指示；圖表構成步驟， 其係於前述指示受理步驟受理到輸出指示之情況下，讀出 具有該輸出指示所包含之丨以上之裝置識別符中之任一之 ⑬數測定資訊，從該讀出之測定資訊，構成各裝置識別符 之測定資訊在視覺上可區別之態樣之圖表；及輸出步驟， 其係輸出前述圖表構成步驟所構成之圖表。 而且，實現伺服器裝置之程式係於電腦，儲存複數有關 在對於被處ί里基板進行特定製程之複數製造裝㈣定之資 λ之時間序列倉訊，且具有識別配方之配方識別符及表示 時刻之時刻資訊之資訊之測定資訊；該程式用以使電腦執 行^下步驟：指示受理步驟，於異常檢測後進行異常分析 〇 之ν况下，又理包含1以上之配方識別符之圖表之輸出指 示；圖表構成步驟，其係於前述指示受理步驟受理到輸出 • #示之情況下，讀出具有該輸出指示所包含之W上之配 方硪別符中之任一之複數測定資訊，從該讀出之測定資 • m ’構成各配方識別符之測定資訊在視覺上Τ區別之態樣 之圖表；及輸出步驟，其係輸出前述圖表構成步驟所構成 之圖表。 而且，上述私式係進一步使電腦執行以下步驟之程式·· 原貝接收步驟，其係從前述複數製造裝置，#收作為前 120407.doc 32 - 200815952 述稷數測定貧訊之本源之資訊之原資訊；測定資訊取得步 驟，=係對於前述原資訊接收步驟所接收之複數原資訊進 兮特疋運^Γ以取得複數測定資訊；及測定資訊積存步 驟，其係積存前述測定資訊取得步驟所取得之複數測 訊。 ' Ο Ο 而且，於上述程式，輸出指示亦宜包含構成圖表之點或/ 及線之屬性資訊，·宜使電腦進一步執行輸出指示積存步 驟’其係積存具有該點或/及線之>1性資訊及前述裝置識 別符、或㈣或/及線之屬性資訊及前述配方識別符之輪 出指示；前述指示受理步驟中’亦宜受理與前述輸出心 積存部所積存之輸出指示相對應之圖表之輸出指示之積存 輸出指示；前述圖表構成步驟中，宜於前述指示受理步驟 受理到積存輸出指示之情況下，讀出與前述積存輸 相對應之圖表之輸出指示，按照該輸出指示構成圖表 述輸出步驟中，宜輸出前述圖表構成步驟所構成之圖表Γ 而且，於上述程式之前述圖表構成步驟中，宜 示受理步驟受理到輸出浐干夕卜主π 、引述才曰 示所包含之U上之二下，讀出具有該輪出指 ^ 《表置識別付中之任-之複數測定眘 訊n買出之測；t資訊來構成SPC圖表，其係各 、 別符之測定資訊在視覺上可 、置識 引之怨樣，且依1種測定次 訊所具有之時刻資訊所示之時刻順序，將前述 = 測定資訊予以標繪之圖表。 < 後數 而且’於上述程式之前述圖表構成步驟中，宜 示受理步驟受理到輪出指示之情況下，讀出具有該輪= 120407.doc -33- 200815952 示所包含之μ上之裝置識別符中之任—之複數測定資 訊，從該讀出之測定資訊來構成相關圖表，其係各裝置气 別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣，且表示2種測= 資訊之相關之圖表。 心 η c j 而且，於上述程式之前述圖表構成步驟中，宜於前述护 示受理步驟受理到輸出指示之情況下，讀出具有該輸出 示所包含之1以上之裝置識別符中之任一之複數測定^ 訊，從該讀出之測定資訊來構成MD圖表，其係各 別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣，且表示3種以上 之測定資訊之相關之圖表。 而且，於上述程式之前述圖表構成步驟中，宜於前述指 示受理步驟受理到輸出指示之情況下，讀出具有該輪出 示所包含之1以上之配方識別符中之複數測定資訊，從4 讀出之測定資訊來構成SPC圖表，其係各配方識別符2 = 定資訊在視覺上可區別之態樣，且依丨種測定資訊所具有 之時刻資訊所示之時刻順序，將前述讀出之複數測 予以標繪之圖表。 ' 而且，於上述程式之前述圖表構成步驟中，宜於前述指 示受理步驟受理到輸出指示之情況下，讀出具有該輪出指 不所包含之1以上之配方識別符中之複數測定資訊，從該 讀出之測定資訊來構成相關圖表，其係各配方識別符之測 定資訊在視覺上可區別之態樣，且表示2種測定資訊之相 關之圖表。 而且，於上述程式之前述圖表構成步驟中，宜於前述指 120407.doc -34- 200815952 不步驟受理到輸出指示之情況下，讀出具有該輸出指 示所包含之！以上之配方識別符中之任—之複數測定資 訊’從該讀出之測定資訊來構成MD圖表，其係各配方識 別符之測定資訊在視覺上可區別之態樣，且表示3種以： 之測定資訊之相關之圖表。 2且，於上述各實施型態中，各處理（各功能）係藉由利 用早一裝置（系統）進行集中處理來實現’或藉由利用複數 Ο ϋ 裝置進行分散處理來實現。 此外，於上述程式巾，傳送資訊之傳❹驟或接收資訊 之接收步驟等，並不包含藉由硬體所進行之處理，例如傳 达y驟中以數據機或介面卡等所進行之處理（僅以硬體進 行之處理）。 而且，執行上述程式之電腦為單一或複數均可。亦即， 進行集中處理或分散處理均可。 而且，於上述各實施型態中，存在於一裝置之2以上之 通信機構（指示受理部等）當然在物理上亦能以一媒體來實 現0 本發明不限定於以上實施型態，可進行各種變更，當然 其等亦包含於本發明之範圍内。 而且，於2006年5月8日申請之日本專利申請案號2〇〇6_ 129105之包含詳細說明、圖式、申請專利範圍在内之揭 示，係藉由參考其全體而含於本揭示中。 [產業上之可利用性] 如以上，關於本發明之群管理系統係於異常檢測後進行 120407.doc -35- 200815952 異常分析之情況下，可取出各製造裝置或各配方之時 列資訊而顯示，其結果，具有可非常有效地進行異常：析 之效果，例如作為具備對於被處理基板進行特定製程之2 =上之製造U、及與該2以上之製造裝置連接之伺服器 裝置之群管理系統等有用。 【圖式簡單說明】 圖1係表示實施型態之群管理系統之概念圖。 圖2係表示該半導體晶圓製造裝置之例之圖。 圖3為該群管理系統之區塊圖。 圖4係說明有關該製造裝置之動作之流程圖。 圖5係說明有關該伺服器裝置之動作之流程圖。 圖6係表示該原資訊之例之圖。 圖7係表示該原資訊管理表之圖。 圖8係表示該測定資訊管理表之圖。 圖9係表不該圖表資訊之例之圖。 圖10係表示該客戶端裝置之圖表之輸出例之圖。 圖11係表示該圖表資訊之例之圖。 圖丨2係表示該客戶端裝置之圖表之輸出例之圖。 圖13係表示該客戶端裝置之圖表之輸出例之圖。 圖14係表示該客戶端裝置之圖表之輸出例之圖。 圖15係表示該客戶端裝置之圖表之輸出例之圖。 圖16係表示該客戶端裝置之圖表之輸出例之圖。 【主要元件符號說明】 i，2, 3 製程處理室 120407.doc -36- 200815952 4, 5 6 7 11，11(1)，11(2)， ll(n) 12 13 1101 f、 1102 1103 1104 1105 1201 1202 1203 1204

O 1205 1206 ' 1207 1208 1301 1302 1303 13 04 120407.doc 卡匣處理室 搬送處理室 搬送臂 製造裝置 伺服器裝置 客戶端裝置 配方儲存部 處理部 測定部 原資訊積存部 原資訊傳送部 測定資訊儲存部 原資訊接收部 測定資訊取得部 測定資訊積存部 指示受理部 圖表構成部 輸出部 輸出指示積存部 指示輸入部 指示遞送部 圖表受理部 圖表顯示部 -37- 200815952

Cl，C2

G

W 卡匣 閘閥 晶圓

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Claims (1)

1. 200815952 十、申請專利範圍： 1 · 一種伺服器裝置，其係包含對於被處理基板進行特定處 理之複數製造裝置及與該複數製造裝置連接之伺服器裝 置且構成具有異常檢測後進行異常分析之功能之群管 理系統者；且包含： 測定資訊儲存部，其係可儲存複數測定資訊，該测定 資訊係有關在前述複數製造裝置測定之資訊之時間序列 資訊，且係具有識別前述製造裝置之裝置識別符及表示 時刻之時刻資訊之資訊； 指示受理部，其係受理包含丨個以上裝置識別符之圖 表之輸出指示； 圖表構成部，其係於前述指示受理部受理到輸出指示 之情況下，從前述測定資訊儲存部，讀出具有該輸出指 示所包含之1個以上裝置識別符中之任一個之複數測定 資訊’從該讀出之測定資訊構成各裝置識別符之測定資 訊在視覺上可區別之態樣之圖表；及 輸出部，其係輸出前述圖表構成部所構成之圖表。 2· 一種伺服器裝置，其係構成包含對於被處理基板進行特 定處理之複數製造裝置及與該複數製造裝置連接之伺服 器裝置，且具有異常檢測後進行異常分析之功能之群管 理系統者；且包含： 測定資訊儲存部，其係可儲存複數測定資訊，該測定 資訊係有關在前述複數製造裝置測定之資訊之時間序列 資吼，且係具有識別配方之配方識別符及表示時刻之時 120407.doc 200815952 刻資訊之資訊； 指不受理部，其係受理包含Hgl以上配方識 表之輸出指示； 之圖 囷表構成°卩，其係於前述指示受理部受理到輸出於八 之情況下’從前述測定資訊儲存部，讀出具有該輪出 1 =所包含之⑽以上配方識別符中之任—個之複數測^ 資π彳火*亥項出之測定資訊構成各配方識別符之測定資 訊在視覺上可區別之態樣之圖表；及 貝 輸出部’其係輸出前述®表構成部所構成之圖表。 3.如請求们之飼服器裝置，其中進—步包含：原資訊接 收部’其係從前述複數製造裝置接收作為前述複數測定 資訊本源之資訊之原資訊； 測定資訊取得部，其係對於前述原資訊接收部所接收 之複，原資訊進行特定運算，以取得複數測定資訊·及 ϋ 測疋資訊積存部’其係將前述測定資訊取得部所取得 之複數測定資訊積存於前述測定資訊儲存部。 4·如請求項2之伺服器裝置’其中進-步包I原資訊接 收部’其餘前述複數製造裝置純作為前述複數測定 資訊本源之資訊之原資訊； 測疋資§fl取得部，其係對於前述原資 貝訊接收部所接收 複數原貧訊進行特定運算，以取得複數測定資1.及 測7資訊積存部，其係將前述測定資訊取得部所取得 之複數測定資訊積存於前述測定資訊儲存邱。 5.如請求項1之飼服器裝置，其中前述輸出指：亦包含構 120407.doc 200815952 成圖表之點或/及線之屬性資訊； 進步包含輸出指示積存部 線之屬性眘1 A、，X 係積存具有該點或/及 二生訊及w述製置識別符、或 貝，述配方識別符之輸出指示； 前述指示受理部亦受理作為 積存之tr + p- iou 〃 述輪出指示積存部所 示；㈣不相對應之圖表之輸出指示之積存輸出指 Ο 則述圖表構成部係於 指示之情況下，讀出與前述積存理到積存輸出 之，指示，按照該輪出指示構成‘;不相對應之圖表 6如1=出部輸出前述圖表構成部所構成之圖表。 .二項2之飼服器裝置，其中前述輪出指示亦包人構 成圖表之點或/及線之屬性資訊丨 W曰不亦包合構 進一步包含輸出指示積存部， Ο :之屬性資訊及前述裝置識別符、或該：:二了或/及 資：及前述配方識別符之輸出指示，· 之屬性 積部亦受理作為與前述輸出指示積存邻所 積存之輪出指示相對應之圖 心丁積存部所 示； 殉出丸不之積存輸出指 前述圖表構成料於前㈣以 指：之情況下’讀出與前述積存輸出二:積存輪出 之輸出指示，按照該輸出指示構成圖表.子應之圖表 前述輪出部輸出前述圖表構成 7.如請求们之飼服器裝置 ：成之圖表。 “迷圖表構成部於前述 120407.doc 200815952 指示受理部受理到輸出指示之情況下，從前述測定資％ 儲存部’讀出具有該輪出指示所包含之^以上裂 別符中之任一個之複數測宏次# ^ ^ 邱 文双成I疋貝訊，從該讀出之測定資 構成SPC圖表，其係各奘罢、 τ合裝置識別符之測定資訊在視 可區別之態樣之圖表，择片 係依1種測定資訊所具有之時刻 資訊所示之時刻順序，椤洛1 ^ 铩繪别述讀出之複數測定資訊之 圖表。 8. Ο 9. Ο ίο. 如請求項1之伺服器裝置，士 >、+、门士 一 /、中則述圖表構成部於前述 指示受理部受理到輪，屮扣- ^ J出才曰不之情況下，從前述測定資旬 儲存部讀出具有該輸出於- 、 出才日不所包含之1個以上裝詈 符中之任一個之複數測# t °B別 数利疋資訊’從該讀出之測定資钱 成相關圖表，其係各裝詈％ μ 、° 合忒置識別符之測定資訊在視覺 區別之態樣之圖表，且传 糸表不2種測疋資訊相關之圖 如請求項1之伺服器裝詈， 共一/ 攻置，其中丽述圖表構成部於前 才曰不受理部受理到輸出指 下之b況下，從前述測定眘 儲存部讀出具有該輸出指 、 j出才日不所包含之1個以上裝置識 付中之任一個之複數测 貝Λ 攸該碩出之測定資邹 成MD圖表，其係各裝置 ^ 、β ^ , 置識別付之測定資訊在視覺上 區別之態樣之圖表，且係矣仕視見上 之圖表。 係、表不3種以上之測定資訊相 如請求項2之伺服器裝 指示受理部受理到輸出 儲存部讀出具有該輸出 置，其中前述圖表構成部於前述 才曰不之情況下，從前述測定資訊 兆不所包含之丨個以上配方識別 120407.doc 200815952 符中之任一個之複數測定資訊’從該讀出之測定資訊構 成SPC圖表，其係各配方識別符之敎資訊在視覺上可 區別之態樣之圖表’且係依旧測定資訊所具有之時刻 資訊所示之時刻順序，標繪前述讀出之複數敎資訊之 圖表。 11 Ο 12. Ο 13. •如明求項2之@服ϋ 1置’其中前述圖表構成部於前述 指示受理部受理到輸出指示之情況下，從前述測定資訊 儲存部讀出具有該輸出指示所包含之！個以上配方識別 符中之任一個之複數測定資訊，從該讀出之測定資訊構 成相關圖表，其係各配方識別符之測m在視覺上可 區別之悲樣之圖表，且係表示2種測定資訊相關之圖 表0 如請求項2之伺服器裳置，其中前述圖表構成部於前述 指示受理部受_輸出指示之情況下，從前述測定資訊 儲存部讀出具有該輸出指示所包含之丨個以上配方識別 符中之任一個之複數測定資訊，從該讀出之測定資訊構 成MD圖表，其係各配方識別符之測定資訊在視覺上可 區別之態樣之圖表，且係表示3種以上之測定資訊相關 之圖表。 一種圯錄程式之電腦可讀取之記錄媒體，其係用於使電 月甸儲存複數測定資訊，該測定資訊係有關在對於被處理 基板進行特定處理之複數製造裝置測定之資訊之時間序 列貧訊，且係具有識別前述製造裝置之裝置識別符及表 示時刻之時刻資訊之資訊；並執行以下步驟： 120407.doc 200815952 指示受理步驟，其係於異常檢測後進行異常分析之情 況下’受理包含【個以上裝置識別符之圖表 示； 匕圖表構成步驟，其係於前述指示受理步驟受理到輸出 扣不之情況下’讀出具有該輸出指示所包含之1個以上 2識別符中之任一個之複數測定資訊，從該讀出之測 定資訊構成各裝置識別符之測定資訊在視覺上可區別之 態樣之圖表；及 輸出步驟，其係輸出於前述圖表構成步驟所構成之圖 表。 ° 14. 一種記錄程式之電腦可讀取之記錄媒體，其係用於使電 腦儲存複數測定資訊，該測定資訊係有關在對於被處理 基板進行特定處理之複數製造裝置測定之資訊之時間序 列資訊，且係具有識別配方之配方識別符及表示時刻之 時刻賀訊之負，並執行以下步驟： 指示受理步驟，其係於異常檢測後進行異常分析之情 況下’文理包含1個以上配方識別符之圖表之輸出指 示； 圖表構成步驟’其係於前述指示受理步驟受理到輸出 指示之情況下，碩出具有該輸出指示所包含之丨個以上 配方識別符中之任一個之複數測定資訊，從該讀出之測 定資訊構成各配方識別符之測定資訊在視覺上可區別之 態樣之圖表；及 輸出步驟，其係輸出於前述圖表構成步驟所構成之圖 120407.doc 200815952 表。 15·如明求項13之記錄程式之電腦可讀取之記錄媒體，其中 進一步使電腦執行以下步驟： ^ 原資訊接收步驟，其係從前述複數製造裝置接收作為 別述複數測定資訊本源之資訊之原資訊； 測疋貝汛取得步驟，其係對於前述原資訊接收步騍所 . 接&之複數原f訊進行特定$ #，以#得複數測定資 訊；及 、 〇 ^ 測定貝A積存步驟，其係積存於前述測定資訊取得步 驟所取得之複數測定資訊。 少 16·如請求項14之記錄程式之電腦可讀取之記錄媒體，其中 進一步使電腦執行以下步驟： 原資訊接收步驟，其係從前述複數製造裝置接收作為 前述複數測定資訊本源之資訊之原資訊； 測疋貝δκ取得步驟，其係對於前述原資訊接收步驟所 U 接收之複數原貝讯進行特定運算，以取得複數測定資 訊，及 Μ定貝Α積存步驟’其係積存於前述測定資訊取得步 驟所取得之複數測定資訊。 120407.doc