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TW200815265A - Conveying device and method of electronic element of testing area - Google Patents

Conveying device and method of electronic element of testing area Download PDF

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TW200815265A
TW200815265A TW95136020A TW95136020A TW200815265A TW 200815265 A TW200815265 A TW 200815265A TW 95136020 A TW95136020 A TW 95136020A TW 95136020 A TW95136020 A TW 95136020A TW 200815265 A TW200815265 A TW 200815265A
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Ming-Da Xie
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Hon Tech Inc
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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Description

200815265 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 -2”其提供—_雜置於_座上方並可作三軸向 替移载至檢測站,並以穩定的水平件輪 檢測作業,_綠製似提升;站執行 載裝置及方法㈠。咐鱗㈣&藥之電子元件移 【先前技術】 其係為台灣專利申請第93110783號 一 Μ裝置(―)』專利案’該檢測裝置包含有測試台 :、=取料機構2 0、3 0及入、出料機構4 〇、5 〇 , ίίί台1〇之兩侧設有第—、二取料機構2 〇、3 0,ΐ取料 橫Γ構及升降結構,各橫移結構係於機 ^ 3 1及橫向螺桿2 2、3 2,而橫向螺 ^ 、3 2由馬達2 3、3 3驅動,-具有螺套2 41、、 41及橫向滑座2 4 2、3 4 2之滑動件2 4、3 4,係取署 於橫向滑執2 1、3 1及橫向螺桿2 2、3 2上,並2 滑座2 4 3' 3 4 3 ’而升降結構係於一底面具吸ί 於说5、3 5側面設有縱向滑執2 5 1、3 5 1,以滑置 件^ 4、34之縱向滑座2 4 3、3 4 3中,該橫移結構 ;料器2 5、3 5之頂面設有一橫向滑座2 5 2、3 5 2, 於-支架26、36之橫向滑執261、3612= 並於該支架2 6、3 6之另面設有二縱向滑座2 6 2、升 ^ 2及-螺套2 6 3、3 6 3 ’以分別組裝麟架之縱向滑執 =7及縱向螺桿2 8、3 8上,而縱向螺桿2 8、3 8由 二達2 9、3 9驅動,進而當各橫移結構之馬達2 3、3 3驅 ^螺桿2 2、3 即帶動滑動件2 4、3 4之橫向滑座 2、3 4 2及取料器2 5、3 5之橫向滑座2 5 2、3 5 2, 5 200815265
Iff軌21、31及支架26、3 6之橫向滑軌 之:向向?桿2 8、3 8時’即帶動支架2 6、3 6 2 5 2、2 6 2及取料器2 5、3 5之縱向滑執 Μμδ π κ ^ l, 3 3 4 3上作z方向往復位移,另該入料 設載構:?係分別設於測試台10之前、後方,各 34= 5 1之载台結構,用以載送1 C,及-具有
吸嘴42伽1之取放結構’用以取放1C;該人料機構40之 一取料機構1上,以載台4 1載送至第 器2 5之吸嘴於# 4 i\ 弟—取料機構2 〇令取料 行測mu、戟σ 4 1上及取1 c,並置人於測試台1 0中進 當 ::立第二取料機構3 0之取料器台上二 料機構4 Q之載台4 1上吸取铜1 C, 料機構5 ⑦3後並取料器2 5横向位移至出 載台51上送出^取料器25下降將1C放置於 XI太〜出在守,弟二取料機構30之取料哭3 5作 構二;時,該 之4Q之载台41上吸附又-待測Ic,者第-&人於入料 進行:广取料機構2 0即可將待測I C置入於測= 、二取_構2。、3。依序忿=中 由於該第—、二取料機構2 Q、3 〇具吸嘴之取料器2 5、 6 200815265 3 5僅能作X-Ζ兩軸向的位移,使 放位置及測試位置無法作χ〜γ— 2 5、3 5於各取 4 1、5 1姆_試台! Q的置微調,因此載台 配設計上都必須具有絕對的位置,於裝 X-Z兩軸向的位移限制下,準葡月、b厂厂态2 5、3 5在 f高精度的製作需求,即造成製財易Ϊ大幅二 較差之水平ί =以品質3 5 3壓抵待測之! C,可能產生 f:有 移:方、差 器,以微s位 執業,此即為本於製作及穩定 【考·^明内】 方法—鎌麻之€子元件_裝置及
八G括有^欢/貝]站、位於檢測站一側之固定—处划莽Q
9 | ^ ▼' 〆卜 、\第一移載取放器及A二移I 取放裔,其中,該第-移載取放器及第二移載取放 Ϊ係升I条桿独滑執組分別架置於檢測站上方“ 二:別2二軸向的滑移作動,使得進行檢測作業時,第-及弟二移載取放器可作三軸向滑移,而以微調位I的 對、固定式供料載具、固定式收料載具間之各相 子f f的决差,進而達到易於製作及降低製作成本之目的。 ^日巧另-目的赌供—麵測區之電子 ,其中,該第一移載 架檢測站上方之機架,而可分別作三轴向ΐ /月乍動’於執订檢測作業時,升降桿可帶動吸嘴準確於檢測站 7 200815265 正上方移入電子元件,並 =執行檢測作業,達到提升=ί:;的—壓抵電子元 L貝施方式】 較42例進—步之深入瞭解, 類機===機用,該測試分 f供:載具8 1,檢測區8 〇内固定式收料載具 式收料载具8 2、第4载2;^=於站另側之固定 =,?置完測之電子元器ΚίΠΐ ίί^ΐΓΓ 8 4 1 ' 8 5 1 8 3 ί 8 4A^Ztt sV^Z7a9, 4 1^851^ ^#8 42^8 5 2^4; iLti、8 5 3帶動吸嘴8 4 4、8 5 4作三轴向«-γΐ)的 /月移作動’以移載電子元件至檢測站執行檢測作業。 、 於檢圖/本發明迴旋往復式之電子元件移載方法,其 電子元件11帽 ,位於固Μ供料载具8準備取置待檢測之電g 件111 ’请參閱第8圖,當電子元件工工〇完成檢測後,第二 8 200815265 % 移載取放裔8 5將完測之電子元件ii〇蒋截5同a :’同時第一移載取放器84將待檢=之匕:^具 吸取賴至檢泰8 3上,並下顧抿電子元件1 1 .第9圖,於電子元件111執行 迴旋移動至固定式供·具8 1處,由於輸人端,將會 12輸送至固定式供料載具“上,因以 測之電子元件1 1 2,而固定式收料組待檢 1 1 ΐ載二Γ,接著當電子树111完成檢測後,i 時第二移餘放器8 5將待檢測之電 3將g U载取放器8 4及第二移載取放器8 替的f電子兀件移載並執行檢測作業。 輪 明參閱第11圖’本發明直線往復式之電 〇執行檢測作業時,其第 1位於 ,之電子元件110移載至固定式收料載ί FI ΐί出端輸送機觀至收料機構分類放置;“ 巧;準,置下:個由輸入端輸 TL :ΪΚίί吸取完測之電子元件111;請參閱第 於ίϊί :载取放器8 4將待檢測電子元件112吸取 2取:/二Li並壓抵電子元件112執行檢測作業,而第二 【則Γ移?完測之電子元件111至至固定式收 ’ 進而由第一移載取放器8 4及第二移載取放器 9 200815265 8 5交互接替的將電子元件移載並執行檢測作業。 ,發明之第一移載取放器84及第二移載取放器85由 ,因此可以微雜移的方式補償與檢測站、固定 式供料載具、固定式收料載具間之各相對位置_ 到易:製作,低製作成本之效益。 、差進而達 4參閱第14圖,本發明之第一移載取放器8 4及第 取放器8 5由於可作三減的滑移,而於執行測 #了2 端之吸嘴844、8 54可丄檢= μ ^入電子70件,亚且以較佳的水平度,提供平均的下壓力, 知、疋=壓抵電子元件以執行檢猶業,翻提升健品質之。 ^此,本發明不僅可易於製作及降低製作成本,且有效 松測作業品質,實為—㈣實雜及進步性之料,然未 品及遍公開,從而允符發明專财請要件,爰依法提出 【圖式簡單說明】 第1圖·係為台灣專利申請第93110783號『IC檢 利案之配置示意圖。 m—j』辱 第2圖·係為台灣專利申請第9311〇783號『IC檢測裝置 利案第一取料機構之示意圖。 第3圖·係為台灣專利申請第9311〇783號『IC檢 第4圖 第5圖 第6圖 第7圖 第8圖 弟9圖 利案第二取料機構之示意圖。 导 本發明配置於測試分類機之配置示意圖。 本發明之架構圖。 " 本發明移載取放器之示意圖。 本發明迴旋往復式移載之動作示意圖(一)。 本發明迴旋往復式移載之動作示意圖(二)。 十―…本發明迴旋往復式移載之動作示意圖(三)。 =10圖:本發明迴旋往復式移载之動作示意圖(四)。 第11圖·本發明直線往復式移載之動作示意圖(一)。 200815265 第12圖··本發明直線往復式 。,本發明直線往復,部;=3: 弟1 4:圖·本發明移載取放裔下壓執行測試作業之示旁圖 【主要元件符號說明】 〜口 習式部份: 10:測試台 2 0 :第一取料機構 21 :橫向滑轨 2 2 :橫向螺桿 2 3 :馬達 2 4 :滑動件 2 4 1 :螺套 2 4 2 :橫向滑座 2 4 3 :縱向滑座 2 5 :取料器 2 51 :縱向滑軌 2 5 2 :橫向滑座 2 6 :支架 2 6 1 _·橫向滑執 2 6 2 :縱向滑座 2 7 :縱向滑軌 2 8 :縱向螺桿 3 0 :第二取料機構 3 1 :橫向滑軌 3 2 :橫向螺桿 3 4 :滑動件 3 41 :螺套 3 4 2 :橫向滑座 3 5 :取料器 3 51 :縱向滑執 3 5 2 :橫向滑座 3 6 :支架
2 5 3 ··下壓吸嘴 2 6 3 :螺套 2 9 :馬達 3 3 :馬達 3 4 3 :縱向滑座 3 5 3 :下壓吸嘴 3 61 :橫向滑軌 3 7 :縱向滑執 4 0 :入料機構 5 0 :出料機構 本發明部份: 6 0 :供料機構 8 0 :檢測區 3 6 2 :縱向滑座 3 8 :縱向螺桿 4 1 :载台 5 1 :載台 7 0 :輸入端輸送機構 3 6 3 :螺套 3 9 :馬達 4 2 :吸嘴 5 2 :吸嘴 11 200815265 81 :供料載具 8 2 :收料載具 8 3 :檢測站 8 4 :第一移載取放器 8 41 :滑執組 8 4 2 :升降桿 8 4 3 :橫向面板 8 4 4 :吸嘴 8 5 :第二移載取放器 8 5 1 :滑軌組 8 5 2 ··升降桿 8 5 3 :橫向面板 8 5 4 :吸嘴 9 0 :輸出端輸送機構 1 0 0 :收料機構 1 2 :電子元件 1 10 :電子元件 111 :電子元件 1
12

Claims (1)

  1. 200815265 十、申請專利範圍: 子元件移載裝置㈠,其主要包括有: 乂松測站:係供待檢測之電子元件移入,以執行電子元 至小一 ”、件的檢測作業; 供料載具·係位於檢測站之一侧,並可承置待檢測之 至、、 電子元件; 收料載具·係位於檢測站之另侧,並可承置完測之 、 子元件; 一移載取放11:係架置於檢_上方之機架,並可作三軸 向的滑移作動,以吸取移載電子元件執行 w一 、 檢測作業; 弟二移载取放器:係架置驗測站上方之機架,並可作三轴 2 向的滑移作動,以吸取移載電子元件執 & 檢測作業。 3 (!_)4=範圍第1項所述之檢測區之電子元件移載裝置 #由亥供料載具係為固定式供料载具。 4 第1項所述之檢測區之電子元件移載展置 .依“ill該,載具係為固定式收料載具。 月1 i乾圍第1項所述之檢測區之電子元件移載裝置 上方)之該第—移載取放11係以滑執組架置於檢測站 .ΐί以,而可作三轴向的滑移作動。 (-)圍?1項所述之檢測區之電子元件移载裝置 上方之機加雜—移載取放讀爲雜組架置於檢测站 • if綠,而可作三軸向的滑移_。 (L)4^1範,1項所述之檢測區之電子元件移載震置 而可將S伽移載取放器係以升降桿頭端裝設吸嘴, 並下_蝴载具間, 13 200815265 7 ,申请專利範圍第6項所述之檢測區之電子元件移載裝置 ϋ吸ίΓ,該第—移載取放器之升降桿頭端係以橫向面板 8 圍第i項所述之檢測區之電子元件移载裝置 而"^將二移載取放器係以升降桿頭端裝設吸嘴, 並下壓二载i之電子元件移載於檢測站及收料載具間, 亚下反电子70件執行測試作業。 9 2 ϋ!1巳圍第8項所述之檢測區之電子元件移載裝置 裝;及/,該第二賴取放11之升降桿頭端細橫向面板 1 0 · &麵測區之電子元件移載方法㈠,其迴旋往復式包括 Α.第二移載,放器位於供料载具處準備取置待檢測之電子 執行檢測業 之Ϊ子元件完成檢測後,第二移載取放器將完 則蔣往^件移載至收料載具放置,而第一移載取放器 c於伽:則之電子元件移載至檢測站執行檢測作業; :器將會同時’第二移載取 子元件·秒動至1枓载具處準備取置下一組待檢測之電 之f子^件完成檢測後,第一移載取放器將完 則將ΐίΓ件移载至收料載具放置’而第二移載取放器 作^待檢測之電子元件移載至檢測站上執行檢測 子元件執行檢測作業的同時’第一移载取 子ί::移動至供料載具處準備取置下一組待檢測之電 .1依申明專利圍第丄〇項所述之檢測區之電子元件移载方 200815265 狀電子元件移 執行檢測作業。f料’侧時下碰抵電子元件以 2 二(申」;專Q 娜之電子元件移载方 載至檢測站執行檢&之電子元件移 執行檢測作業。 料,係_下麵抵電子元件以 入端輸送機具上之待制電子元件係由輪 14 端於$她μ於、3, 收料载具上之完測電子元件係由輸出 15 — 鳊輸运栈構輸运至收料機構分類放 ^種檢_之電子元件輯方法㈠,其直線往復式包括 Α· ί 於檢測站上方待電子元件執行檢測 料i具放置Ϊ移载取放&則將完測之電子元件移載至收 b.當檢測站内之電子元件完 具處’準備取置下-個待:測=;移 而^一移載取放器則移動至檢測座準備吸取完測之電子 元件; C.接著第-移載取放器將下一個待檢測之電子元件吸取移 巧測2執行檢測作業,而第二移載取放器則吸取移 載完測之電子元件至收料載具。 •依申請專利範圍第15項所述之檢測區之電子元件移載方 法(一),其中,該第一移載取放器將待檢測之電子元件吸 取移載至檢測站執行檢測作業時,係同時下壓壓抵 件以執行檢測作業。 一 15 16 200815265 17 8 · ,依申請專繼鮮1 叙檢灌之電 法(;)、:更包含於該供料載具上之待檢測:載方 入端輸送機構輸送放置。 、 兀件係由輪 ㈡專^第丄5項所述之檢 ,更包含於該收料載具上之1i〜件移戴方 _機構輸送至收料機構分類放电疋件係由輪出
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