TW200815174A - Mold having surface modified non-molding regions - Google Patents

Description

200815174 九、發明說明： 【先前技術】 包含電漿顯示器面祐 曲板（PDP)及電漿尋址液晶顯示器之發 展在内的顯不為技術之；隹丰1 , Τ之進步已引起在玻璃基板上形成電絕 緣間隔肋之興趣。該蓉n阳&， _ 、4隔肋將各個單元分隔開，在該等

• 早元中可猎由一施加於斜里+ L 、對置電極之間的電％激發之一惰性 氣體。該氣體放電在兮I — . 免在。亥早7L内發射紫外線（UV)輻射。在 PDP示例中，該單元内立β、冷 千工μ #塗覆有一當由υν輻射激發時，發 出紅色、綠色或誌务7 g ^ 見光之碟光體。該等單元之大小決 定顯示器中圖像元素（像素）之大小。舉例而言，PDP及 PALC顯不杏可用作向解析度電視(hdtv)或其他數位電子 顯示器裝置之顯示器。 在玻璃基板上形成間隔肋之_種方法係直接模製。此已 涉及將—（例如，撓性）模具層壓至—基板上，其中在此兩 者之間佈置一玻璃或陶 是成形、、且δ物。繼而固化該玻璃或 陶莞成形組合物且移除該模具。最後，在約55〇1至約 1600 C之Μ度下焙燒該等間隔肋將其熔融或燒結。該玻璃 或陶莞成形組合物具有分散於一有機黏合劑中之微米大小 的玻璃料粒子。一有機黏合劑之使用允許在-生培狀離下 固化間隔肋，以便在基板上之適當位置培燒炼融該等玻璃 粒子。 WO 2004/064104 闡述一含一其始 ; 士 ^ a基扳（例如，玻璃）及間隔肋 之電漿顯示器面板背板。一由盥古 ^ 由興有肋區相同之材料製造之 123542.doc 200815174 無肋區佔據間隔肋區周圍之至少一部分。可藉由以一(例 如’撓性)模具模製—可固化模制材料來製備所述電漿顯 示器面板背板。 雖已闡述各種適於用制 . 、、用於板製間隔肋之模具，但工業上將 發現新穎模具之優勢。 【發明内容】 在一實施例中，闡琉“以l 丈（例如’撓性）模具。該等模具適於 在一基板上製造微結構掣σ 稱I σ口（诸如間隔肋）。該模具可係一

具有 '一微^結構模制矣WW ..φ 、、表面之早一薄板或連續捲，該微結構模 ^表面包括由具有處於共 U +面之表面之平面部分分隔之 凹槽。該模具在至少兩 對置邊上進一步包括毗鄰周圍平 面部分之非模製區。該辇 #生 等非模製區包括至少一表面修飾， Μ表面修飾在模製期間 j非模製&與一基板之接觸面 積’因而減小模具與該基板之附著力。 兴t而^樣中’可以物理形式修飾該等非模製區之表面。 舉例而^，可減小該等 、Μ1區之至少一部分之厚度。在 另恶樣中，該等非模f區W — 1 能祥 上 、、^ 了匕括一糙化表面。仍在另一 〜…中，该等非模製區可垂所 ^ M (^\ Mr, 只貝上小於該等模製表面微 該等非模製區。、、。構。或者’可以化學方式修飾 :另-實施例中’闇述—種製造微 之方法。該方沐台紅·切， 间W肋） 面倏 · ^供在至少兩個對置邊上具有級矣 面修飾之非模製區之模1 · 有'、、二表 板之間A,在该模具之微結構表面與一美 攸之間k供一可固化材料 一基 ^ (例如，肋前驅物）；使該 123542.doc 200815174 材料固化；及移除該模具， 娜处德错此在該基板上提供經固化之 锨結構（例如，間隔肋）。诵 吊在一灵質上平行於該等經物 理修飾之非模製區之方向上 移除該模具。該等經固化之微 結構（例如，間隔肋）（例如， 、， k、、、σ之前）具有一小於5 〇 ppm之位置誤差。 在其他實施例中，闡述萝一 衣k 一（例如，撓性）微結構模具 之方法。該模具可以已知掣制 轾衣備。在模具製成後，可對 該等對置周圍非模製區進行表 、 仃表面修飾。或者，一轉移模具 及/或主模具可包括適合 物理修飾，然後由該轉移模具 及/或主模具形成該（例如，撓性）模具。 【實施方式】 ^ 現闡述具有一微結構表 "β #衣面之M n模具製造微結 構製ρ口之方法及製造模呈之古 ’、方去。在下文中，將參照一適 於製造微結構（諸如間隔肋） )之撓性杈具解釋本發明之實施 例。該等撓性模具可用於掣摔 於ι &用於顯示器（例如，顯示哭 形成單元）及其他用途（諸如 °° 1 J如具有毛細官通道之電泳 板）之其他微結構製品。 圖！係一顯示一舉例說明之繞性模具1〇〇之局部透視圖。 圖3係一圖1之挽性模具沿線Μ截取之剖面圖。撓性模且 1〇0 一般具有一兩層結構，該兩層結構具有-平面支撐； 110及一設置於支撐層110上之微結構模製表面，本文亦： 為形狀賦予層12〇。該微結構表面包括複數個凹 凹槽130。該等凹槽由平面部分135分隔。平面部分135之 表面處於相同平面。 123542.doc 200815174 圖1之撓性模具u)〇包括一第一組交叉於一第二組平行凹 槽之平仃凹槽’且其適於在一(例如，電漿)顯示器面板之 -(例如，經電極圖案化)背板上製成一柵格狀圖案之間隔 肋:諸如_2_/()641()4中描述，另一普通間隔肋圖案包 括複數個排列成彼此平行（非交又）之肋。 ::賦予層之微結構凹槽13〇之深度、間距及寬度可視 期=完^之製品而變化。該等微結構之深度（例如對應於 間隔肋高度之凹槽）一般至少係100 μΓΠ且通常至少15() 叫比外，該深度通常不大於5〇〇 μιη且通常小於则 μη-該微結構（例如凹槽）之間距在縱向上可不同於在橫向 方向上。該間距-般至少1〇〇μιη且通常至少2〇〇_。該間 距通常不大於_μιη且較佳地小於__。在上表面與下 表面之間该微結構（例如，凹槽）寬度可不同，尤其當㈣ =此形成之間隔肋係錐形時。該寬度—般至少^瓜且通 常至少5〇 μΐη。此外’該寬度通常不大於1〇〇 _且通常小 於 80 μπι。 一典型形狀賦予層之厚度至少係5 μη，通常至少1〇 二且常至少μηι。此外，該形狀賦予層之厚度不 ，_’通常小於綱_且更通常小於7爪。告 該形狀賦予層厚度在田 度。當形狀賦予層之厚产大於1〇〇^不月匕獲传期望肋高 可導致該模具尺寸精確 時，_度⑽ ::含;通 =。微:構模製區相同之材料構成 ‘”、肋）區160。出於各種原因提供該等非模 123542.doc 200815174 製（例如，無肋）區。參照圖2’其繪示一捲撓性模具，在微 結構模製表面區18Ga、18()1)與赚之間提供無肋區⑷以 將該微結構模製表面分成多個大小合適之個別電_示器 面板部分。無肋區143亦可設置於平行於該捲長度之周圍 位“以提供夹緊該等撓性模具之區域以便於處：。舉例 而吕，如果國專利第6,616,887號及公開申請案 2007/0018363號所述，（例如，自動）機器可爽緊該等模具 以拉伸該等模具以對準該等微結構。如在公開 第u、 勘_购號中所述，該等無肋區亦可用作結合二架8 之位置以保持一經拉伸肋之對準。 該等非模製（例如，無肋）區通常設置於該模具周圍之至 少兩個對置邊上。在四邊形形狀模具之情況 般彼此半行。一搵且仏丨^ t ^ 杈具（例如，薄板）之微結構表面之整個周 圍可由非模製區限制。 ° 該非模製區之尺柯變化。對於大小適合 英时電漿顯示器背板之撓性模具，鄰近分立模… 模製區之間的非模|y ε *声 、/、之微結構 麵至-^。^^於^”叫通常至少係10 一至少5随至5〇随之寬非模製區通f具有 <見度（亦即，圖2之(|2)。 進一已==表面修飾至少兩個對置邊上之非_ ,、有非杈製區之撓性模具。一妒而丄 非模製區之表面修舞提供 ：…等 製區。該經減小之接觸面積在模製期間= 與該基板之附著力，因而減小該等模製間隔肋之位 I23542.doc -10- 200815174 置誤差。 =如在WO 〇3/()32353中所闡述，在該模具之使用期間， ^在-經電極圖案化之基板上提供—厚度均勾之聚料塗 曰4塗層之寬度通常不延伸超過該微結構模製表面 圍士凹口（例如，凹槽130a)。當該模具接觸該均勻漿料塗層 2周圍平面部分145之平面表面接觸該基板。然而，婉 “修飾之非模製區⑽之最外表面由於具有一實質經： 小之厚度而根本不接觸該基板或由於其他物理或化學表面 修飾而具有與該基板之實質經減小之接觸。 參照圖1-4，直接田比鄰於該微結構表面之最外周圍凹口 (例如，凹槽UOa)之平面部分145未經修飾，從而使得不阻 礙由凹槽13〇a形成微結構之形成。如圖4中所示，未瘦修 飾’之平面部㈣5冑常延伸該微結構模製表面之長二 (”丨”)。參照圖3，該未經修飾之呼面部分具有一寬度二： 其至少係該凹槽寬度之約1G至2G倍。更典型地’該未评 飾之平面部分之寬度d3至少係該凹槽寬度之3〇倍至5〇倍: 在某些實施例中，未經修飾之平面部分145可具有一係該 最外周圍凹槽寬度100X至500X之寬度。 如圖钟所描述，未經修飾之平面部分145較經表面修飾 之非模製區160通常具有一相對較小接觸面積。未經修飾 之平面部分I45可構成該未經修飾之平面部分與該經修飾 之非模製區組合之總面積之約1%至1〇%(例如，4 6%) 〇 可採用各種方法來以物理方式及/或以化學方式修飾該 123542.doc 200815174 等非模製區。 在一悲樣中’可藉由減小非模製區鄰近未經修飾之周圍 平面部分145之至少部分之厚度來減小該非模製區之接觸 面積。該經物理修飾之非模製區之厚度通常相對於鄰近周 圍平面部分135a減小至少1〇%、2〇%、3〇%或4〇%。在某些 實施例中，100%移除鄰近未經修飾之區域135a之經物理修 飾之非模製區，以便在該等經物理修飾區中僅保留支撐芦 1 1 0 〇 θ

在另一態樣中，該等非模製區之某些至少部分可包括一 糙化表面。該等無肋區可由其他方法噴砂或磨Α，從而提 供-至少1微米之表面粗糙度Ra。通常，該表面粗糙度不 大於約10微米。 以物理方式修飾部分非模製區之另—方式係使該非模製 區微結構化。該等微結構—般實f上小於該模具之微結構 表面之微結構（例如，凹槽）。舉例而言，該等無肋區之微 。構在大小上可在该模具之微結構表面之微結構大小之自 約1%至約10〇/。之範圍。 或者，如在s前技術中已知，可藉由將該表面塗覆以氣 化材料或聚秒氧材料來以化學方式修飾該等非模製區。 I使用本文闡述之任—物理及/或化學修飾或其組合。 。藉由首先根據先前技術中之已知方法製造該具有非模製 區之撓性模具且繼而表面修飾該撓性模具之至少兩、 邊^之非桓製區之—部分’可將該等表面修飾併人該繞性 H而另—選擇為，可將該等物理修飾併人該繞性模 123542.doc -12- 200815174 具從中形成之轉移模具及/或併入該轉移模具從中形成之 主模具。自一主模具製備一轉移模具係已知，如在美國專 利公開案2005/0206034中所描述。此外，一主模具之製備 亦係已知，如在公開申請案第US 2006/0225463號中所描 述。 自一轉移模具製備一撓性模具係已知，如在美國公開申 請案第2_/()23 1728號中所描述。在製作—撓性模具之具 體方法中，至少在-具有與該撓性模具相應之相反微結構 表7圖案之（例如’聚合物）轉移模具之微結構表面之凹口 :提供一可聚合樹脂組合物。此可藉由已知習用塗覆構件 (者如^刀式塗佈機或—棒狀刮塗器）來完成。將含_ 撓性聚合物膜之支樓層堆疊至該經可聚合樹脂填充之模且 ，使得該樹脂接觸該支撐層。當以此方式堆疊時，固化 =聚合樹脂組合物。光固化通常較佳。對此實施例，較 用 錢&件及该可聚合組合物係充分光學透明，以便 ;口化之輪射光射線可透 使支撐……入還i亥支撐層。-旦固化，將該 狀… 至由該經固化之可聚合樹脂形成之形 、g上的撓性模具自該轉移模具上分離。 適於製備該撓性模具之形 脂組合物亦係已知…賦予層之可光固化可聚合樹 號中所描述。 °吳國公開申請案第2006/023 1728 如在it::具前’通常在-濕度㈣^ 最小二相對濕度)中調節該轉移模具及支揮膜，以 …尺寸變化。亦期望在由該撓性模具製造間隔 123542.doc 200815174 肋之方法期間保持一恆定濕度及溫度。該等調節進一步描 述於WO 2〇〇4/010452、2〇〇4年4月丨日申請之w〇 2〇〇4/ 043664及日本申請案第2004-108999號中。 雖然該支撐件可視需要包括與該形狀賦予層相同之材 料，例如，藉由以一超過僅填充該等凹口所需之量將該可 - 聚合組合物塗覆至該轉移模具上，但該支撐層通常係一預 ' 成型聚合物臈。該聚合物支撐膜之厚度通常至少係〇.〇25 毫米’且更通常至少0.075毫米。此外，該聚合物支樓膜 • 之厚度-般小於〇·5毫米且通常小於0.175毫米。該聚合物 支撐膜之抗拉強度一般至少係約5 kg/mm2且通常至少約1〇 kg/mm2。該聚合物支撐膜通常具有一約6〇<3c至約之 玻璃化轉變溫度（Tg)。可將包括乙酸丁酸纖維素、乙酸丙 酸纖維素、㈣石風、聚甲基丙稀酸甲酷、聚胺基甲酸g旨、 聚S曰及聚氣乙烯在内之各種材料用於該撓性模具之支撐 件。該支撐層表面可將處理以促進黏著至該可聚合樹月旨組 # 合物。適合以聚對苯二甲酸乙二醇酿為主之材料之實例包 含相片級聚對苯二曱酸乙二醇酉旨及具有一根據美國專利第 4,340,276號所描述之方法形成之表面的聚對苯二甲酸乙二 醇酯（PET)。 藉由撓性模具製造微結構製品之方法亦係已知，如在公 開申請案第US 2006/0235107號中所描述。在一具體方法 中，提供一具有一電極圖案（例如，條紋狀）之平坦透明（例 如，玻璃）基板。藉由（例如）使用一傳感器（諸如，一電荷 耦合裝置攝像機）定置本文所描述之撓性模具，以便該模 123542.doc 200815174 具之間隔圖案對準該經圖案化之基板。可以多種方式在該 基板與該撓性模具之形狀賦予層之間提供一可固化陶究聚 料。可將該可固化材料直接置於該模具之圖案中，繼而: 該模具及材料放置在該基板上；可將該材料放置在該基板 上，繼而將該模具按壓在該基板上之材料上；或當莽由機 械或其他方式將模具與基板組合在一起時，將該材料引入 模具與基板之間的一間隙。舉例而言，可使用一(例如， 橡膠m使撓性模具與間隔肋前驅㈣合。肋前驅物散佈 f玻璃純與模具之形狀賦予表面之間，填充模具之凹槽 部分。換言之，肋前驅物實質從而取代該等凹槽部分之空 氣。隨後’使肋前驅物固化。肋前驅物較佳地藉由輻射： 露於透過該透明基板及/或透過該模具之光線（例如’ w) 下進行固化。移除換性模具，同時形成之經固 結合至基板。 保将 該可固化肋前驅物（亦稱為"漿液"或”黎料"）包括至少三 種組份。第-組份係-玻璃或陶究成形顆粒材料(例二7 t末）° μ末將最終藉由培燒㈣或燒結以形成微姓 構。第二組份係-能夠成型且隨後藉由固化、加熱或冷= 可固Γ有機黏合劑。該黏合劑允許該聚液成型成剛 :剛性生坯狀態"之微結構。該黏合劑通常在脫黏及 一 」口而亦％為一”短效黏合劑”。第三組份係 奸且w 17亥稀釋劑通常在該黏合劑材料硬化後促進自該 ==放。：一選擇係或除此之外，在培燒該等微結構 一料之則，在脫黏期間，該稀釋劑可促進該黏合劑 123542.doc 200815174 之快速且實質完全燒盡。該稀釋劑較佳地在該黏合劑硬化 後保持液態，以便在硬化期間該稀釋劑自該黏合劑材料相 分離。該肋前驅物具有一較佳地小於20,000 cps且更佳地 小於5,000 cps之黏度以均勻填充撓性模具之所有微結構凹 槽部分而無陷獲空氣。該肋前驅物組合物較佳具有一在 0.1/秒之剪切速率下在約20至600 Pa-S之間且在100/秒之剪 切速率下在1至20 Pa-S之間的黏度。適合之陶瓷漿料組合 物係已知，如在美國公開申請案第2006/0235 107號中所描 述。 在某些實施例中，形狀賦予層之可聚合組合物之感光起 始劑不同於美國公開案第2006/01 13713號中所描述之陶瓷 漿料之感光起始劑。 可用於本文所描述發明中之各種其他態樣在先前技術中 已知，但不限於下列專利之每一者：美國專利第6,247,986 、6,537,645 、6,352,763 、6,843,952 、6,306,948 、 6,761，607、6,821，178 號、PCT 公開案 WO 99/60446、WO 2004/062870、WO 2004/007166、WO 03/032354、WO 03/032353、WO 2004/010452、WO 2004/064104、WO 2004/043664、WO 2005/042427、WO 2005/019934、WO 2005/021260 及 WO 2005/013308、WO 2005/052974、WO 2005/068 148、WO 2005/097449、美國公開案第 2006/ 0043 647、2006/0043 63 8、2006/0043634號及美國公開申請 案第 2007/0018363 、 2006/0231728 、 2007/0018348 、 2006/0235107 、 2007/0071948號 〇 123542.doc -16- 200815174 本發月藉由下述非限制性實例加以闡釋。該等實例中所 用之組分i ^ _ 由如下表1加以闡述：

表1 1匕學名 -—'—__ _；__ 廠家名稱 商標標 識縮寫 功能 ' γ-甲基丙烯醯氧基內 基三甲氧基石夕、_ Nippon Unicar 有限公司 A174 玻璃基板底層 塗料 以聚θ旨為主的丙歸 酸胺基甲酸酯 Daicel-UCB 有限公司 EB 8402 寡聚物 雙紛Α 一縮水甘油_ 之一甲基丙歸酸酉旨 Kyoeisya Chemical 有限公司 Epoxyester 3000M 寡聚物 丙烯酸苯氧乙基酯 Osaka Organic Chemical有限公司 POA 模具稀釋^^ 三乙二醇二甲基丙 烯酸醋 Wako Pure Chemical 工業有限公司 TEGDMA 可固化黏合劑 1，3-丁二醇 Wako Pure Chemical 工業有限公司 l?3-butane- diol (”1，3-BD") 漿料稀釋 磷酯 3M公司 POCAII 穩定劑 2·經基-2-曱基-1-苯基丙-1-酉同 CIBA Specialty Chemical Darocure 1173 感光起始劑 1-[4·(2-羥基乙氧基)-苯基]-2-每基-2·甲 基-1，丙燒-1-酉同 CIBA Specialty Chemical Irgacure 2959 感光起始劑 鉛硼矽酸鹽 玻璃粉末 Asahi Glass有限公司 RFW-030 填充劑 微結構撓性模具之製備 123542.doc -17- 200815174 以一含80重量份（pbw)之Ebecryl 270丙烯酸化胺基甲酸 酯寡聚物及20 pbw之POA及1 pbw之Darocure-1 1 73感光起 始劑之可聚合組合物製備一微結構模具。在環境溫度下混 合該可聚合組合物且將其塗覆至一具有晶格圖案（其與最 終間隔肋一樣）之轉移模具之表面上。圖4中顯示該模具之 微結構模製表面及非模製區之尺寸。該模具之微結構表面 具有兩組平行交叉凹槽，每一組均具有一 3 0 0 μπι肋間距、 200 μιη肋高度及80 μιη肋頂寬。非模製（例如，無肋）區之 厚度係250 μπι。將250微米厚之聚酯膜（PET)(由Teijin Dupont製造，商標名稱Tetron膜）層壓至該經塗覆表面之頂 部且使用一具有峰值波長為352 nm之螢光燈（由Mitsubishi Electric Osram LTD製造）以3,000 mj/cm2之紫外光固化在 PET中。自該正型工具中拆卸具有經固化樹脂之塑膠膜， 以獲得一 5 00微米厚、撓性、具有一負型圖案之透明模 具。 可光固化前驅物漿料之製備 使用調節混合器AR-250(由THINKY公司製造）在環境溫 度混合 21.0 gms 之環氧酯 3000M、9.0 gms 之 TEGDMA、 3 0.0 gms 之 1，3-丁 二醇、3·0 gms 之 POCA II、0.3 gms Irgacure 819及180 gms之玻璃料RFW-030直到均勻。 表面粗糙度之量測 透過KEYENCE公司製造的一鐳射顯微鏡VK9500之一 20X透鏡觀察五個0.1 5毫米乘0.15毫米面積之樣品。以一 0.2 微米之深度間隔來量測表面粗糙度且根據JIS B 0601-1994 123542.doc -18- 200815174 计异輪廓（Ra)之平均算術平均偏差及標準偏差。 微結構位置誤差之量測 在该板具上選取一點且在該經固化間隔肋圖案上定位相 應點。藉由使用一座標量測機器（由S〇k]da Fine System_ 限公司製造）來量測該點至一參照標記之距離。在該模具 及該經固化間隔肋圖案之長（1〇〇〇 mm)及短（5〇〇維度 兩者中進行五次量測。計算該模具上之點之量測值與在該 經固化肋上相應點之量測值之間的最大差值。

實例1 藉由以一剃刀刀片切割且移除該經固化非模製區之部分 將材料自兩個對置非模製區之周圍移除。參照圖4，該經 矛夕除部分具有一 5 mm之寬度、520 長度及25〇微米之 深度。 藉由以一用IPA稀釋之1%至2%之A_174溶液塗覆一玻璃 基板表面且在環境溫度下乾燥15分鐘來底塗玻璃基板。 將可光固化前驅物漿料塗覆至一經底塗之玻璃基板上且 藉由使用一輥輪將該模具層壓至該經塗覆之玻璃。藉由一 具有一峰值波長為400-500 nmi螢光燈（菲利普牌）以〇 μ 讀/cm2之光透過該撓性模具輻射達3〇秒來使該可固化货 料固化。繼而分開該模具，使該經固化之間隔肋結合至= 玻璃基板。確定間隔肋之最大微結構位置誤差係Μ m 實例2 ’、PPm ° 參照圖4.，使用#180砂紙將兩個單獨樣品之兩個對置真 之部分非模製區糙化至- 17·95微米Ra之表面粗键度，: i23542.doc -19- 200815174

中Σ為1·95微米。以與實例！相同之方式使用該模具製造間 隔肋微結構。確定經固化之間隔肋之最大微結構位置誤差 為 34 ppm 〇 比較實例A 根據上述方法製備—模具’只是該等非模製區未經物理 修飾。以與實例1相同之方式使用該模具模製間隔肋微結 構。確定間隔肋之最大微結構位置誤差為ιΐ5卯瓜。 【圖式簡單說明】

圖1係-適於製造間隔肋之說明性撓性模具之透視圖 圖2係具有周圍非模製區之一捲撓性模具。 圖3係一沿圖 圖0 之模具之線3-3截 取之撓性模具之剖面

圖4係一顯示一說明性撓性模具之（例如 構模製區及非模製區尺寸之平面圖。 【主要元件符號說明】 100 撓性模具 110 平面支撐層 120 M結構模製表面/形狀賦予層 130 凹槽 間隔肋）微結 135 145 160 142 143 平面部分 周圍平面部分/未經修飾之平 非模製區 無肋區 無肋區 面部分 123542.doc •20· 200815174

180a 微結構模製表面區 180b 微結構模製表面區 18 0 c 微結構模製表面區 130a 凹槽 123542.doc -21 -

Claims (1)

1. 200815174 十、申請專利範圍： 1. -種適於在-基板上製造間隔肋之模具，其包括： 適於棋m隔肋之微結構表面，其中該微結構表面 包括由具有—處於一共同平面之表面之平面部分分隔之 凹槽及在至少兩㈣置邊上_周圍平面部分之非模繁 • 區’其中該等非模製區包括至少-減小該等非模製區接 觸面積之表面修飾。 2. 如請求項1之模具，其中該等周圍平面部分具有-係一 毗鄰凹槽寬度之至少10至20倍之寬度。 ’、 3’ ：：求項1之模具’其中該等非模製區具有-相對於該 專周圍平面部分已減小10%至100%之高度。 面d項1之;^具’其中該等非模製區包括—經輪化表 俨^求項4之楔具’其中該表面具有一至少約1微米之粗 I 之模具’其中該等非模製區包括—具有實質 二寺間隔肋為小之微結構之微結構表面。 I如明求項1之模具，其中該模具係透光。 8·如請求W之模具，其中該模具具换性。 9 ·如請求項1 科署# 具，其中該模具之該微結構表面包括一 又；〜聚合物支撐膜上之經固化聚合材料。 10· —種在〜甘1 B 土板上製造間隔肋之方法，其包括·· 豆包括一適於模製間隔助之微結構表面之模具， 項結構表面包括由具有—處於—共同平面之表面 123542.doc 200815174 之平面部分分隔之凹槽及在至少兩個對置邊上毗鄰周圍 平面部分之周圍非模製區，其中該等非模製區包括至少 一減小該等非模製區與該基板接觸之表面修飾； 在该模具之該微結構表面與該基板之間提供一肋前驅 物材料，藉此填充該等凹槽及周圍非模製區； 使該肋前驅物材料固化；及 移除該模具，藉此在一基板上提供經固化之間隔肋。 11·如明求項1G之方法，其中在_實質平行於該等經物理修 飾之非模製區之方向上移除該模具。 / 1如請求項H)之方法，其中該等間隔肋包括—小於5〇啊 之最大位置誤差。 S长員10之方法’其中该基板係一無機材料且該方法 包括燒結該等該基板上之該等經固化間隔肋。 14·如請求項1G之方法，其中該模具、基板或其組合物係可 透光且透過該基板、透過該模呈 、/、次/、一組合物使該肋前 驅物材料光固化。 I5. —種製造一微結構模具之方法，其包括： 提供一模具，其包括-適於模製_肋之微結構表 面，其中該微結構表面包括由具有—處於—共同平面之 表面之平面部分分隔之凹槽及鄰近周圍平面部分之周圍 非抵製區，其中該等非模製區 匕栝至 > 一減小該等非模 ‘區接觸面積之表面修飾；及 減小該等非模製區之部分接觸面積。 16·如請求項15之方法，其中藉 保y或減小該等非模製區 123542.doc 200815174 之至少部分之厚度來減小該非模製區之表面。 17.種製造適於製造間隔肋之微結構模具之方 括： ，、匕 提供-轉移模具或用於製造一轉移模具之主模且，发 具有一適於模製間隔肋之微結構表面，其中該微結構^ 面包括由具有H同平面巾之表面之平面部分界定 之凹乜及在至少兩個對置邊上毗鄰周圍平面部分之周圍 非模製區； 以物理方式修飾該轉移模具、主工具或其組合之該等 非模製區之至少部分以減小該等非模製區之接觸面積； 視需要使用該主工具來製造一轉移模具；及 使用該轉移模具來製造一微結構模具。 18.如請求項17之方法’其中該轉移模具具有-實質上與該 等間隔肋相同之微結構表面； 且該微結構模具由以下步驟製備： 在該轉移模具之該微結構表面之至少日口中提供一可 聚合樹脂； 將一聚合物膜支撐層堆疊至該轉移模具上； 使該可聚合樹脂固化；及 自該轉移模具移除該經固化之聚合樹脂組合物以及該 支樓層。 19· -種適於在一基板上製造微結構之模具，其包括： 匕括適於Μ製微結構之微結構表面，其中該微結構 表面包括由具有一處於一共同平面之表面之平面部分分 123542.doc 200815174 丨用 < 四口及在 模f區h 卩分之周圍非 、…、、中該等非模製區包括至少一減小該 區接觸面積之表面修飾„ 、氣 2〇.種製造微結構之方法，其包括： 提供如請求項19之模具； 在痃杈具之該微結構表面與該基板之間提供一可固化 材料，藉此填充該模具之該等凹口 ； 使該可固化材料固化；及

   移除該模具 藉此在一基板上提供經固化之微結構。

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