200809903 (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於電子槍，能量線發生裝置，電子線發生 裝置，及X線發生裝置。 ^ 【先前技術】 放出電子的電子槍，是例如被使用在X線發生裝置 φ 或電子線發生裝置。在電子槍，眾知爲了放出電子必須施 加例如爲數十kV以上的高電壓，惟確保內部配線等的高 壓部與筐體等之電性絕緣下，爲了確保內部配線的處理等 自由度，以樹脂等的絕緣段覆蓋高壓部的構成。 例如，在專利文獻1，揭示著具有高壓變壓器等的高 壓部以環氧樹脂模塑的構成的電子槍的X線發生裝置。 專利文獻1 :日本特開昭5 8-1 4499號公報 φ 【發明內容】 在揭示於專利文獻1的X線發生裝置中，模塑高壓 部的環氧樹脂被收容高電壓發生筐體的內部。如此地，在 具有高壓部以絕緣段所覆蓋的構成的電子槍，隨著施加高 電壓會發生多量的熱，而有膨脹絕緣段的趨勢。因此，在 絕緣段被收容成覆蓋於容器（參照專利文獻1的第3圖及 第7圖），或是在容器內夾住般地被固定（參照專利文獻 1的第5圖）的情形，則在絕緣段與容器之間，發生起因 於絕緣段的膨脹的應力。結果，其應力的影響會及於絕緣 -4- 200809903 (2) 段側，而絕緣段發生變形等等之虞。 本發明是鑑於上述課題而創作者，其目的是在於提供 可抑制依絕緣段的膨脹所產生的膨脹的影響的電子槍，能 量線發生裝置，電子線發生裝置，及X線發生裝置。 爲了解決上述課題，本發明的電子槍，其特徵爲：具 備：具有朝第一方向互相相對的第一及第二內面，及朝與 上述第一方向交叉的第二方向互相相對的第三及第四內面 φ ，具有從上述第一內面貫通至外面的開口的容器；及接觸 於上述容器的上述第一及第三內面，而且在上述第二及第 四內面之間的間隙所配置的絕緣段；及設於從上述容器的 上述開口所露出的上述絕緣段的部分上的電子放出構件。 在上述的電子槍中，於設有用以配置電子放出構件的 開口的第一內面接觸有絕緣段。電子放出構件是在電子線 發生裝置或X線發生裝置等中被收容於真空容器內。因 此，若接觸於第一內面般地配置絕緣段，則藉由絕緣段可 ^ 氣密地密封容器的開口而較佳。另一方面，若在第二內面 也密接絕緣段，則藉由絕緣段的膨脹在第一方向會發生應 力。在上述的電子槍中，藉由在與第二內面之間隔著間隙 配置有絕緣段，則可充分地避免第一方向的絕緣段的膨脹 〇 又，在上述的電子槍中，藉由將絕緣段配置成與第三 內面接觸，而且在與第四內面之間隔著間隙所配置，則可 充分地避免第二方向的絕緣段的膨脹。而且藉由在所謂第 一及第三內面的複數面密接絕緣段，且確實地可固定容器 -5- 200809903 (3) 內的絕緣段的位置。 亦即，依照本發明的電子槍，則可 段的膨脹所產生的影響。 又，電子槍是容器具有導電性，又 中，覆蓋在與容器之間設有間隙的表面 以。箱由此，可將在與容器之間設有間 電位與容器相同電位（例如接地電位） φ 可發揮對於內部配線等的遮蔽效果。 又，電子槍是容器爲在第三內面具 。藉由此，例如成形由樹脂等所構成的 段凹陷固定在第三內面的凹凸形狀之故 牢固地固定在容器。 又，電子槍是又具備：從容器的外 內面的第三內面的連接器，及塡在絕緣 延伸至電子放出構件的內部配線也可以 φ 在上述的電子槍中，在第一內面接 候，一般配置連接器成爲電子放出方向 方向互相一致（亦即，在第二內面配置 若將連接器配置於第二內面，則爲了避 密接第二內面與絕緣段較佳。但是，在 了避免第一方向的絕緣段的膨脹，在第 間隔著間隙，很難將連接器配置於第二 如此地，本發明人等，互相相對於 第二方向的第三及第四內面中，在第三 適當地抑制依絕緣 具備絕緣段的表面 的導電性構件也可 隙的絕緣段表面的 之故，因而適當地 有凹凸形狀也可以 絕緣段之際，絕緣 ，因而可將絕緣段 側貫通配置在第一 段內，而從連接器 〇 觸有絕緣段。這時 另連接器的中心軸 連接器）。但是， 免降低耐壓能力而 上述的電子槍，爲 二內面與絕緣段之 內面。 與第一方向交叉的 內面配置連接器， -6- 200809903 (4) 而且將絕緣段配置成爲與第三內面接觸。藉由此，抑制容 器內的連接器的露出，得到適當地可防止降低耐壓能力的 構成。 又，電子槍是連接器的一部分塡在絕緣段內’而連接 * 器被固定在容器也可以。藉由此，經由連接器牢固地可固 ^ 定絕緣段與容器。 又，電子槍是絕緣段爲除了第一及第三內面之外’隔 ^ 著間隙配置於與所有內面之間也可以。藉由此，更有效地 可抑制依絕緣段的膨脹所產生的影響。 又，本發明的能量線發生裝置，是具備上述的任一電 子槍，出射從電子槍所放出的電子，或是藉由該電子所發 生的放射線。藉由此，可提供可抑制依絕緣段的膨脹所產 生的影響的能量線發生裝置。 又，本發明的電子線發生裝置，是具備：上述的任一 電子槍；及收容電子槍的電子放出構件的真空容器；及設 φ 於真空容器，透過從電子槍所放出的電子而朝真空容器的 外部出射所用的窗材。藉由此，可提供可抑制依絕緣段的 膨脹所產生的影響的能量線發生裝置。 又，本發明的X線發生裝置，是具備：上述的任一 電子槍，及收容電子槍的電子放出構件的真空容器，及接 受從電子槍所放出的電子而放出X射的靶材，及設於真 空容器，透過從靶材所放出的X線而朝真空容器的外部 出射所用的窗材。藉由此，可提供可抑制依絕緣段的膨脹 所產生的影響的能量線發生裝置。 -7- 200809903 (5) 依照本發明，可提供可抑制依絕緣段的膨脹所產生的 膨脹的影響的電子槍，能量線發生裝置，電子線發生裝置 ，及X線發生裝置。 【實施方式】 以下，一面參照圖式一面針對於本發明的電子槍，能 量線發生裝置，電子線發生裝置，及X線發生裝置的最 Φ 適當實施形態詳細地加以說明。又，在圖式的說明中，在 相同或相當部分給予相同符號，省略了重複的說明。 第1實施形態 第1圖是表示具備電子槍，發生電子線或X線所用 的能量線發生裝置的第1實施形態的構成的側視斷面圖。 又，第2圖是表示沿著圖示於第1圖的I-Ι線的斷面的側 視斷面圖。又，第3圖是表示沿著圖示於第1圖的Π-II φ 線的斷面的俯視斷面圖。又，在第1圖至第3圖，爲了說 明方便上，表示著XYZ正交座標系。 本實施形態的能量線發生裝置1 a是具備：出射電子 線EB的電子槍2，及收容電子槍2的電子放出構件而氣 密地密封所用的真空容器3，及出射窗構成部1 〇a (或 10b )，及真空泵20。又，電子槍2是具備：絕緣高壓部 所用的絕緣段的樹脂構件4，及收容樹脂構件4的機殼5 ，及被安裝於機殼5的側面的高耐壓型連接器6 ’及放出 電子所用的電子放出構件的燈絲7 ’及高電壓部的內部配 -8- 200809903 (6) 線9a，9b，及覆蓋樹脂構件4的一部分的導電性構件1 9 〇 機殼5是具備有電子槍2的容器。機殻5是藉由金屬 等的導電性材料所構成，收容後述的樹脂構件4。本實施 ' 形態的機殻5是具有長方體狀的外觀，惟機殼5的外觀是 ' 並不被限定於此者。機殼5是其內部成爲中空，具有內面 5a〜5f。其中，內面5a (第一內面）及5b (第二內面） φ ，是互相地相對於所定的第一方向（在本實施形態中爲Z 軸方向）。又，內面5c (第三內面）及5d (第四內面） ，是互相地相對於與第一方向交叉的第二方向（在本實施 形態中爲X軸方向）。又，內面5 e (第五的內面，參照 第2圖及第3圖），及5f (第六的內面，參照第2圖及 第3圖），是互相地相對於與第一及第二方向交叉的第三 方向（在本實施形態中爲Y軸方向）。又，在本實施形 態中，第一至第三方向是分別成正交，惟此些方向是以正 φ 交以外的角度形成交叉也可以。 又，機殼5是具有開口 5g，5h。開口 5g是穿過內部 配線9a，9b所用的圓形開□，貫通內面5a與其背側外面 (上面）般地所形成。又，開口 5h是安裝有連接器6所 用的圓形開口，貫通內面5 c與其背側外面（側面）般地 所形成。 樹脂構件4是藉由例如所謂環氧樹脂的絕緣性樹脂所 構成，設置作爲絕緣電子槍2的高電壓部（內部配線9a ，9b )及其他部分（例如機殼5等）所用的絕緣段。具體 -9 - 200809903 (7) 上，樹脂構件4是具有基部4a，及從該基部4a朝第一方 向（Z軸方向）突出的凸部4b。基部4a是幾乎佔滿機殻 5內部般地被收容在機殼5內。又，凸部4b是藉由從基 部4a穿過開口 5g而突出，由機殼5露出。又，在凸部 ^ 4b (在本實施形態中爲凸部4b的前端附近），配置有燈 ' 絲7。 又，在樹脂構件4的基部4a與機殼5之間，設有間 φ 隙A。具體上，基部4a是接觸於機殼5的內面5a，5c ( 較佳是密接），而且除了內面5 a，5 c之外，在與其他所 有內面5 b，5 d〜5 f之間隔著間隙A所配置。藉由該間隙 A，可避免依熱所產生的樹脂構件4的膨脹。又，在內面 5e形成有凹凸形狀。藉由此，成形樹脂構件4之際，樹 脂構件4凹陷固定於此凹凸形狀之故，因而令樹脂構件4 與內面5 c牢固地被固定。又，作爲在此所說的凹凸形狀 的一例子，有如第1圖所示地溝狀者’或是藉由將內面 φ 5 c的表面作成粗糙所產生的微細的凹凸等。 高耐壓型連接器6，是從能量線發生裝置la的外部 接受電源電壓的供給所用的連接器（插座），從機殼5的 外側（側面）貫通配置至內面5 c。位於機殼5內部的連 接器6的部分6a，是被塡在樹脂構件4的基部4a而被固 定。又，在該部分6 a的表面形成有凹凸形狀。藉由此’ 在成形樹脂構件4之際，凹陷樹脂構件4被固定在此凹凸 形狀之故，因而樹脂構件4與連接器6牢固地被固定。又 ，作爲在此所說的凹凸形狀的一例子，有如第2圖及第3 -10- 200809903 (8) 圖所示地沿著連接器6的中心軸方向周期性地重複凹凸般 的形狀，或是將連接器6的表面作成粗糙所產生的微細的 凹凸等。 又，連接器6，是被固定在機殻5的側壁（構成內面 5 c的側壁），經由連接器6而令樹脂構件4與機殼5牢 ' 固地被固定。在此連接器6’插入有保持從未圖示的電源 裝置所延伸的外部配線前端的電源用插頭。 φ 燈絲7是放出電子所用的本實施形態的電子放出構件 。燈絲7的兩端是分別被連接於從連接器6朝燈絲7延伸 的內部配線9a，9b。因此，當電源用插頭被插入在連接 器6，則燈絲7的兩端，是經由外部配線而與電源裝置電 性地被連接。燈絲7是藉由流著數安培的電流，被加熱成 約25 00 °C，又藉由從另一電源裝置施加數十kV至數百 kV的高電壓，放出電子。又，燈絲7是被覆蓋在形成用 以拉出電子的電場的柵部8。在柵部8，經由未圖示的配 φ 線施加有所定的電壓。因此，從燈絲7所放出的電子，是 從被形成柵部8的一部分的孔被出射作爲電子線EB。又 ，內部配線9a，9b ’是從電源裝置施加如上述的高電壓 之故，因而藉由被塡在絕緣材料所形成的樹脂構件4的內 部，被確保著與機殼5的絕緣。 導電性構件1 9是樹脂構件4的表面中，用以覆蓋在 與機殼5之間設有間隙A表面的導電性構件。具體來說 ，導電性構件1 9是導電性薄膜，或導電性帶的薄構件較 佳’完全地覆蓋樹脂構件4中未密接於機殼5的部分般地 -11 - 200809903 Ο) 黏貼於樹脂構件4。又，導電性構件1 9是導電性塗料或 導電性膜等也可以。 真空容器3是收容電子槍2的燈絲7而用以氣密地密 封的構件。真空容器3是被形成朝第一方向（Z軸方向） 延伸的圓筒狀，具有：用以收容電子槍2的燈絲7，柵部 8 ’及凸部4b的收容室3 a，及朝從電子槍2所出射的電 子線EB的出射方向（z軸方向）延伸的電子通路3b。電 φ 子通路3 b是與收容室3 a連通，而從電子槍2所出射的電 子線EB，是通過電子通路而到達至真空容器3的前端。 在電子通路3b的周圍，設有功能作爲隔著電子通路3b成 對的電磁偏向透鏡的電磁線圏3 1，3 2。 又，真空容器3是朝Z軸方向可分割地構成，藉由在 其分割部具備未圖示的鉸鏈，可開閉地構成收容室3a較 佳。藉由真空容器3具備此種開放型的構成，而容易地可 更換消耗材的燈絲7。 φ 能量線發生裝置1 a是將出射窗構成部1 0a，1 Ob中的 一方具備於真空容器3。出射窗構成部1 〇a，是接受從電 子槍2所出射的電子線EB而發生X線XR，並將此X線 XR朝真空容器3外部出射所用的構造部分。能量線發生 裝置1 a是具備此出射窗構成部1 0a時，則功能作爲X線 發生裝置。又，出射窗構成部1 是將從電子槍2所出射 的電子線EB朝真空容器3外部出射所用的構造部分。能 量線發生裝置1 a是具備此出射窗構成部1 〇 b時，則功能 作爲電子線發生裝置。 -12- 200809903 (10) 真空泵20(參照第2圖），是用以排氣真空容器3 內部的零件。真空容器3是如上述的開放型時，則能量線 發生裝置la是具備真空泵2〇較佳。本實施形態的真空泵 20 ’是沿著機殻5側面中設有連接器6的側面（亦即，內 面5 c的背側側面）以外的側面（例如，內面5 e的背側側 面）所配置。藉由將真空泵20如此地配置，可避免被插 入在連接器6的電源用插頭及外部配線與真空泵2 〇的干 馨 擾’而可小型化能量線發生裝置1 a，真空泵2 0是經由排 氣通路33被連接於真空容器3的收容室3a。 在此’第4(a)圖是具體地表示出射窗構成部1〇a 的構成例的側視斷面圖。又，第4 ( b )圖是具體地表示 出射窗構成部1 〇b的構成例的側視斷面圖。 首先’參照第4(a)圖，出射窗構成部l〇a是具有 :基座11，窗基板12，靶材13，窗材14及堆壓環15。 基座Π是大約圓筒狀構件，被固定在真空容器3(參照 φ 第1圖至第3圖）的前端。基座11是具有與真空容器3 電子通路3b連通的貫通孔11a，及以貫通孔11a的中心 的圓形凹坑1 1 b。窗基板1 2是用以支持固定窗材1 4的構 件。窗基板1 2是呈大約圓板狀，而在其中心部具有與貫 通孔11a連通的貫通孔12a。窗基板12的直徑是成爲與 基座11的凹坑lib的內徑大約相同尺寸，而窗基板12是 被嵌入在凹坑1 1 b ° 靶材1 3是接受從電子槍2所出射的電子線EB而放 出X線XR所用的膜狀構件。又，窗材14是透過從靶材 -13- 200809903 (11) 1 3所放出的χ線xr而朝真空容器3的外部所出射所用 的板狀構件。窗材1 4的其中一方的面！ 4 a是位於真空容 器3的外側’而接觸於大氣。又，窗材14的一面14 b是 位於真空容器3的內側。靶材1 3是形成於窗材14的一面 14b上。靶材13是由接受電子線EB而發生X線XR的材 料（例如鎢）所形成，窗材14是由有效率地可透過X線 XR的材料（例如鈹）所形成。推壓環〗5是用以窗基板 φ 12的外周部分推向基座1 1而被固定的構件。推壓環1 5 是具有用以露出窗材14的開口 15a，又，藉由與基座11 螺合而構成可裝卸之狀態。 又，參照第4 ( b )圖，出射窗構成部1 Ob是具有基 座1 1，窗基板12，推壓環1 5，窗材1 6，焊材料17，及 固定板1 8。此些中，針對於基座1 1，窗基板12，及推壓 環15的構成，與表示於第4(a)圖的出射窗構成部l〇a 同樣。又，第4 ( b )圖的焊材料17是表示在製程中熔融 φ 前的狀態。 窗材16是從電子槍2所出射的電子線EB而出射至 真空容器3的外部所用的板構件。窗材1 6是關閉窗基板 12的貫通孔12a的一端般地被固定在窗基板12°窗材16 的其中一方的一面1 6 a是位於真空容器3的外側，而接觸 於大氣。又，窗材16的另一方的一面16b是位於真空容 器3的內側。窗材16是由有效率地透過電子線EB的材 料（例如鈹）所形成。 焊材料17及固定板18是用以將窗材16固疋在窗基 -14- 200809903 (12) 板12的構件。焊材料17及固定板18是被形成大約圓板 狀，分別具有用以通過電子線EB的開口。焊材料1 7及 固定板1 8是以此順序重疊於窗基板12上。又，焊材料 17是在製造出射窗構成部l〇b時，藉由高溫被熔融，而 互相固定著固定板18，窗材16及窗基板12。 ‘ 在出射窗構成部l〇a，10b中，藉由可裝卸地構成著 基座11，成爲可更換窗基板12(以及附屬於此的窗材14 φ ，16或靶材1 3等）。又，如此地窗基板12作成可更換 時，能量線發生裝置1 a是地具備真空泵20較佳。 針對於具備以上構成的本實施形態的能量線發生裝置 1 a的動作加以說明。首先，藉由真空泵2 0，令真空容器 3的內部被排氣，而成爲真空狀態。又，準備於能量線發 生裝置la外部的電源用插頭被插入在連接器6。藉由此 ，令電源裝置與內部配線9 a，9 b互相地被電性地連接。 之後，從電源裝置施加有數安倍的電流，及從其他電源裝 φ 置施加有數十kV至數百kV的電源電壓。此電源電壓是 經由內部配線9a，9b被供給至燈絲7，而從燈絲7放出 電子。 從燈絲7所放出的電子，是藉由柵部8朝Z軸正方向 ，成爲電子線EB。電子線EB是通過電子通路3b達到出 射窗構成部10a (或10b)。此時，電子線EB是藉由電 磁線圈3 1被聚束。又，電子線EB是也有藉由電磁線圈 32進行軸修正的情形。能量線發生裝置1 a具備出射窗構 成部l〇a[第4 ( a)圖]的情形，藉由電子線EB入射靶材 -15- 200809903 (13) 1 3，從靶材1 3放出X線XR。X線XR是透過窗材14，被 出射至能量線發生裝置1 a的外部。又，在能量線發生裝 置la具備出射窗構成部i〇b [第4 ( b )圖]的情形。電子 線EB是透過窗材1 6，而被出射至能量線發生裝置1 a的 • 外部。 ' 針對於本實施形態的電子槍2及能量線發生裝置la 所具有的效果，與發明的經緯一起說明。在本實施形態的 φ 能量線發生裝置1 a中，燈絲7是被收容在真空容器3的 內部（收容室3a )，惟在藉由樹脂構件4的基部4a氣密 地密封用以確保此燈絲7的電惟連接的機殼5的開口 5 g 之目的，在機殻5的各內面5a〜5f中設有開口 5g的內面 5a (第一內面）密接樹脂構件4 (基部4a )。又，一般， 爲了減小高壓部及絕緣用構件的尺寸，來自燈絲的電子線 的中心軸線與真空容器的中心軸線互相地一致般地配置有 連接器的情形較多。但是，在本實施形態中，若將連接器 φ 6配置於內面5b (第二內面），則爲了避免降低連接器6 露出於機殼5的內部空間所產生的耐壓能力而密接內面 5b與樹脂構件4較佳。又，也接觸於內面5a般地配置基 部4a。因此，成爲樹脂構件4接觸於互相相對的內面5a ，5 b的雙方，很難充分地避免Z軸方向的樹脂構件4的 膨脹。 亦即，在內面5 b也密接樹脂構件4，則藉由樹脂構 件4的膨脹會發生應力於Z軸方向。對於此，在本實施形 態的電子槍2中，在與內面5b之間隔著間隙A配置有樹 -16 - 200809903 (14) 脂構件4之故，因而可充分地避免z軸方向的樹脂構件4 的膨脹。 又，針對於依樹脂構件4的膨脹所產生的影響，有關 於與Z軸方向交叉的X軸方向也可說同樣的情形。在本 實施形態中配置成互相相對的內面5 c，5 d (第三及第四 內面）中’樹脂構件4接觸於內面5 c。又，藉由相對於 內面5 c的內面5 d與樹脂構件4之間設置間隙a，可充分 φ 地避免x軸方向的樹脂構件4的膨脹。又，藉由在樹脂 構件4所接觸的內面5c配置連接器6，抑制機殻5的內 部的連接器6的露出，適當地可防止降低耐壓能力。 又’與本實施形態相反地，在內面5b (第二內面） 密接樹脂構件4，隔離內面5 a (第一內面）與樹脂構件4 的情形，則可抑制依樹脂構件4的膨脹所產生的應力，惟 依樹脂構件4的膨脹所產生的電子放出構件（燈絲7)的 位置變化成爲更顯著。具體而言，在機殻5的各內面5a φ 〜5f中距燈絲7最遠離的內面5b成爲固定樹脂構件4。 因此，在此情形下，不但受到凸部4 b的膨脹的影響，而 加上基部4a的樹脂構件4全體的膨脹對燈絲7的位置有 所影響。對於此，對此，在本實施形態下，在距燈絲7最 近的內面5 a固定樹脂構件4之故，因而燈絲7的位置變 化是僅成爲凸部4 b的膨張所產生的變化分量，可將對燈 絲7的位置的影響抑制在最小限定。 又’隔離內面5 a與樹脂構件4的情形，以樹脂構件 4未密封機殼5的開口 5 g。因此，爲了將電子出射路徑作 -17- 200809903 (15) 成真空，也必須將機殼5內作成真空。此情形，除了完全 地排氣機殻5的間隙A的領域的困難性之外，還成爲機 殻5本體地被要求高氣密性。對於此，在本實施形態中， 因在內面5 a密接樹脂構件4，因此可適當地密封開口 5 g ’ ，而可簡單地構成機殼5。 ' 如此地，依照本實施形態的電子槍2，藉由將樹脂構 件4的形狀想辦法，朝Z軸方向及X軸方向可設置間隙 φ A，因此可充分地避免此些方向的樹脂構件4的膨脹。亦 即，依照本實施形態的電子槍2及能量線發生裝置1 a， 有效果地可抑制依樹脂構件4的膨脹所產生的各種影響。 又，藉由想辦法來配置連接器6，也不會導致降低連接器 6的耐壓能力。 又，依照本實施形態的電子槍2，來自燈絲7的電子 放出方向（Z軸正方向）與連接器6的中心軸方向互相地 交叉般地配置著連接器6之故，因而可縮短能量線發生裝 φ 置1 a的全長度。又，在如將電子線EB或X線XR朝垂直 上方出射般地設置著能量線發生裝置1 a的情形，也令連 接器6被配置於能量線發生裝置1 a的側面之故，因而可 將下面作成平坦，使得設置之際保養成爲容易。 又，作爲密接機殼5的內面5 a，5 b與樹脂構件4， 並在其他內面5b，5d〜5f與樹脂構件4之間設置間隙A 的製造方法，有例如如下的製造方法。首先，將成爲樹脂 構件4的樹脂，與構成機殼5的內面5 c的構件一體地進 行硬化。這時候，因在內面5 c形成有凹凸形狀，因此可 -18- 200809903 (16) 將樹脂與內面5c固定作成牢固。之後’將構成機殼5的 內面5 a的構件，使用可保持真空氣密的黏接劑黏貼於樹 脂構件4。可保持此真空氣密的黏接劑，是保持構成機殻 5的內面5a的構件與樹脂構件4之間的真空氣密的構件 • 的一例。之後，裝配構件機殻5的其他內面5b，5d〜5f ' 各構件。這時候，將構成機殼5的內面5a〜5f的各構件 的尺寸，設計成設有所期望的間隔的間隙A較佳。藉由 φ 此，適當地可製造機殼5及樹脂構件4的上述構成。 又，如本實施形態地，電子槍2是具備覆蓋樹脂構件 4的表面中，與機殼5間設有間隙A的表面導電性構件 1 9較佳。藉由此，因可將在與機殼5之間設有間隙A的 樹脂構件4表面的電位作成與機殼5相同電位（例如接地 電位），因此，即使在樹脂構件4與機殼5之間設置間隙 A的構成，也適當地可發揮對於內部配線9 &，9 b等的遮 蔽效果。 φ 又，如本實施形態地，在機殼5的內面5 c的表面具 有凹凸形狀較佳。藉由此，在成形樹脂構件4之際，因此 樹脂構件4凹陷至內面5c的凹凸形狀而變硬，因此牢固 地可固定樹脂構件4與內面5c。 又’如本實施形態地，連接器6的一部分塡在樹脂構 件4內，令連接器6被固定在機殼5較佳。藉由此，經由 連接器6牢固地可固定樹脂構件4與機殼5。 又’如本實施形態地，樹脂構件4是並不被限定於內 面5b，5d，在與內面5e，5f (亦即，除了內面5a，5e的 -19- 200809903 (17) 所有內面）之間也隔著間隙A所配置較佳。藉由此，更 有效地可抑制依樹脂構件4的膨脹所產生的影響。 第2實施形態 第5圖是表示具備電子槍，用以發生電子線或X線 _ 的能量線發生裝置的第2實施形態的構成的側視斷面圖。 又，在第5圖爲了說明的方便，表示著XYZ正交座標系 ⑩。 本實施形態的能量線發生裝置1 b與上述第1實施形 態的能量線發生裝置la的不同處，是真空泵21的配置。 針對於除了真空泵2 1的配置之外的其他構成，及能量線 發生裝置1 b的動作，因與第1實施形態的能量線發生裝 置1 a同樣，因此，省略詳細的說明。 本實施形態的能量線發生裝置1 b是代替第1實施形 態的真空泵2 0而具備真空泵21。真空泵2 1是用以排氣 φ 真空容器3的內部的零件。真空泵21是配置於與設有連 接器6的機殼5的側面相同側的連接器3的側面（亦即， 與X軸方向交叉的側面）。又，真空泵21是爲了避免與 被插入於連接器6的電源用插頭及外部配線的干擾，從真 空容器3的側面朝X軸方向突出所配置。真空泵21是經 由排氣通路34被連接於真空容器3的收容室3&。 能量線發生裝置的真空泵是如本實施形態的真空泵 21地配置也可以。藉由此，連接器6與真空泵2 1對於能 量線發生裝置1 b的中心軸線配置在相同方向之故，因而 -20- 200809903 (18) 對於連接器6的電源用插頭的插扳，及真空泵的維修成爲 容易。 第3實施形態 * 第6圖是表示具備電子槍，用以發生電子線或X線 ' 的能量線發生裝置的第2實施形態的構成的側視斷面圖。 又，在第6圖爲了說明的方便，表示著XYZ正交座標系 •。 本實施形態的能量線發生裝置lc與上述第1實施形 態的能量線發生裝置1 a的不同處，是保持構成機殼5的 內面5 a構件及樹脂構件4之間的真空氣密的構件。針對 於除了此構件之外的其他構成，及能量線發生裝置1 c的 動作，因與第1實施形態的能量線發生裝置1 a同樣，因 此省略詳細的說明。 本實施形態的能量線發生裝置1 c，是代替可保持第1 φ 實施形態的真空氣密的黏接劑，具備：形成於機殻5的內 面5a環狀溝部40a，及被收容於溝部40a內的〇形環40 ，Ο形環40是保持構成機殼5的內面5 a的構件與樹脂構 件4之間的真空氣密的構件的一例。Ο形環40是爲了提 高真空容器3的收容室3a的氣密性的零件。〇形環40是 配置在構成機殼5的內面5 a的構件與樹脂構件4之間。 因本實施形態的能量線發生裝置1 c是具有上述構成 ，因而可減低在將收容室3 a內保持在真空之際，從黏接 劑被放出至收容室3 a內的氣體的影響。 -21 - 200809903 (19) 依本發明的電子槍，能量線發生裝置，電子線發生裝 置，及X線發生裝置，是並不被限定於上述的各實施形 態者，其他也可做各種變形。例如，在上述各實施形態中 表示朝一方向（Z軸方向）出射電子線EB或X線XR的 ' 構成，惟本發明的能量線發生裝置，電子線發生裝置，或 ' X線發生裝置，是例如具備將X軸方向或Y軸方向作爲 長度方向的線狀窗材，並朝此些方向可掃描電子線EB或 φ X線XB的構成也可以。又，在上述各實施形態中針對於 所謂開放型的能量線發生裝置加以說明，惟本發明是也可 適用在無法更換電子放出構件的型式的能量線發生裝置。 又，在上述各實施形態，作爲絕緣段的一例說明了環 氧樹脂所構成的樹脂構件。本發明的絕緣段是並不被限定 於環氧樹脂，而例如藉由陶瓷或聚矽氧樹脂的其他絕緣性 材料所構成也可以。又，在上述各實施形態中針對於由連 接器供應高電壓的構成加以說明，惟在絕緣段內部具備昇 Φ 壓電路也可以。 【圖式簡單說明】 第1圖是表示具備電子槍，用以發生電子線或X線 的能量線發生裝置的第1實施形態的構成的側視斷面圖。 第2圖是表示沿著圖示於第1圖的I-Ι線的斷面的側 視斷面圖。 第3圖是表示沿著圖示於第1圖的II-II線的斷面的 側視斷面圖。 -22- 200809903 (20) 第4(a)圖及第4(b)圖是具體地表示出射窗構成 部的構成例的側視斷面圖。 第5圖是表示備電子槍，用以發生電子線或X線的 能量線發生裝置的第2實施形態的構成的側視斷面圖。 第6圖是表示備電子槍，用以發生電子線或X線的 能量線發生裝置的第3實施形態的構成的側視斷面圖。 【主要元件符號說明】 1 a，1 b，1 c :能量線發生裝置 2 :電子槍 3 :真空容器 4 :樹脂構件 4a :基部 4b :凸部 5 :機殻 5 a〜5 f :內面 5g，5h :開口 6 :連接器 7 :燈絲 8 :柵部 9a，9b :內部配線 l〇a，l〇b :出射窗構成部 1 1 :基座 12 :窗基板 -23 - 200809903 (21) 13 :靶材 14 :窗材 15 :堆壓環 1 7 :焊材料 1 8 :固定板 1 9 :導電性構件 2 0，21 :真空泵
3 1，3 2 :電磁線圈 A :間隙 XR ·· X 線 EB :電子線
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