TW200421637A - Insertion-type liquid metal latching relay array - Google Patents
Insertion-type liquid metal latching relay array Download PDFInfo
- Publication number
- TW200421637A TW200421637A TW092128405A TW92128405A TW200421637A TW 200421637 A TW200421637 A TW 200421637A TW 092128405 A TW092128405 A TW 092128405A TW 92128405 A TW92128405 A TW 92128405A TW 200421637 A TW200421637 A TW 200421637A
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- actuator
- electronic
- contact
- relay array
- item
- Prior art date
Links
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 41
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 78
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 42
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 23
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000009736 wetting Methods 0.000 claims abstract description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 5
- 238000003032 molecular docking Methods 0.000 claims description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims 1
- -1 polysiloxane Polymers 0.000 claims 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 4
- 238000003780 insertion Methods 0.000 abstract description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 abstract description 3
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 abstract 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 24
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 241000199698 Limacodidae Species 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 241000282376 Panthera tigris Species 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000008520 organization Effects 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H29/00—Switches having at least one liquid contact
- H01H29/18—Switches having at least one liquid contact with level of surface of contact liquid displaced by non-electrical contact-making plunger
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H29/00—Switches having at least one liquid contact
- H01H29/02—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H55/00—Magnetostrictive relays
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H57/00—Electrostrictive relays; Piezoelectric relays
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/0036—Switches making use of microelectromechanical systems [MEMS]
- H01H2001/0042—Bistable switches, i.e. having two stable positions requiring only actuating energy for switching between them, e.g. with snap membrane or by permanent magnet
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H29/00—Switches having at least one liquid contact
- H01H2029/008—Switches having at least one liquid contact using micromechanics, e.g. micromechanical liquid contact switches or [LIMMS]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H57/00—Electrostrictive relays; Piezoelectric relays
- H01H2057/006—Micromechanical piezoelectric relay
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H67/00—Electrically-operated selector switches
- H01H67/22—Switches without multi-position wipers
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Contacts (AREA)
Description
200421637 玖、發明說明： 【發明所屬技術領域；j 相關申請案之交互參考 此申請案係有關於延續共同審查中之美國專利申請案 5 ，其係列舉於下並以數字順序排列，該等與本申請案及其 範脅具有相同所有權之申請案係與本申請案有關，並以參 考方式併入本文之中： 10010448-1號申請案，標題為「壓電引動液體金屬切 換器（Piezoelectrically Actuated Metal Liquid Switch)」申請曰 10期為2002年5月2日，並以申請序號i〇/i37,691號加以識別； 10010529-1號申請案，「彎曲型閂鎖繼電器（Bending Mode Latching Relay)」，且其申請曰期係與本申請案相同； 10010531-1號申請案，「高頻彎曲型閂鎖繼電器 (Bending Mode Latching Relay)」，且其申請日期係與本申請 15 案相同； 10010570- 1號申請案，標題為「壓電引動液態金屬切 換器（Piezoelectrically Actuated Metal Liquid Switch)」，申請日 期為2002年5月2日，並以申請序號i〇/i42,〇76號加以識別； 10010571- 1號申請案，「具有表面接點之高頻液態金屬 2〇 問鎖繼電器（High_frequency，Liquid Metal，Latching Relay withFace Contact)」，且其申請曰期係與本申請案相同； 10010572- 1號申請案，「具有表面接點之液態金屬閂鎖 繼電裔（Liquid Metal，Latching Relay with Face Contact)」， 且其申請日期係與本申請案相同； 5 200421637 10010573-1號申請案，「插入式液態金屬閂鎖繼電器 (Insertion Type Liquid Metal Latching Relay)」，且其申請曰 期係與本申請案相同； 10010617- 1號申請案，「高頻液態金屬閂鎖繼電器陣列 5 (High-frequency，Liquid Metal，Latching Relay Array)」，且 其申請曰期係與本申請案相同； 10010618- 1號申請案，「插入式液態金屬閂鎖繼電器 (Insertion Type Liquid Metal Latching Relay)」，且其申請曰 期係與本申請案相同； 10 1〇〇1〇634_1號申請案，「液態金屬光學繼電器（Liquid
Metal Optical Relay)」，且其申請曰期係與本申請案相同； 10010640-1號申請案，標題為「縱向壓電光學閂鎖繼 電器（A Longitudinal Piezoelectrically Optical Latching Relay)」，申請曰期為2001年10月31曰，並以申請序號 15 09/999,590號加以識別； 10010643-1號申請案，「剪力型液態金屬切換器（shear Mode Liquid Metal Switch)」，且其申請曰期係與本申請案 相同； 10010644·1號申請案，「彎曲型液態金屬切換器 20 (Bending Mode Liquid Metal Switch)」，且其申請日期係與 本申請案相同； 10010656-1號申請案，標題為「一縱向型光學閂鎖繼 電器（A Longitudinal Mode Optical Latching Relay)」，且其 申請曰期係與本申請案相同； 6 200421637 10010663-1號申請案，「用於推擠型壓電引動液態金屬 切換器之方法與構造（Method and Structure for a Pusher-Mode Piezoelectrically Actuated Liquid Metal Switch) 」，且其申請日期係與本申請案相同； 5 10010664-1號申請案，「用於推擠型壓電引動液態金 屬光學切換器之方法與構造(Method and Structure for a Pusher-Mode Piezoelectrically Actuated Liquid Metal Optical Switch)」，且其申請曰期係與本申請案相同； 10010790-1號申請案’標題為「切換器及其產品（Switch 10 and Production Thereof)」，申請曰期為2002 年 12 月 12曰，並 以申請序號10/317,597號加以識別； 10011055-1號申請案’「具有彎曲切換棒之高頻閂鎖繼 電器（High Frequency Latching Relay with Bending Switch
Bar)」，且其申請曰期係與本申請案相同； 15 10011056-1號申請案，「具有切換棒之閂鎖繼電器 (Latching Relay with Switch Bar)」，且其申請曰期係與本申 請案相同； 10011064-1號申請案，「高頻推擠型閂鎖繼電器（High Frequency Push-Mode Latching Relay)」，且其申請日期係 20 與本申請案相同； 10011065_ 1射請案，「推擠型⑽繼電器（push_M〇de Latching Relay)」，且其申請曰期係與本申請案相同； 10011121-1號中請案，「封閉迴路壓電系(—μ， Piezoelectric Pump)」，且其申請曰期係與本申請案相同； 7 200421637 10011329-1號申請案，標題為「實心金屬塊縱向壓電 閃鎖繼電器（Solid Slug Longitudinal Piezoelectric Latching Relay)」，申請曰期為2002年5月2曰，並以申請序號 10/137,692號加以識別； 5 10011344-1號申請案，「用於金屬塊推擠型壓電引動液 態金屬切換器之方法與構造(Method and Structure for a Slug Pusher-Mode Piezoelectrically Actuated Liquid Metal Switch)」，且其申請日期係與本申請案相同； 10011345-1號申請案，「用於金屬塊輔助縱向壓電引動 10 液態金屬光學切換器之方法與構造(Method and Structure for a Slug Assisted Longitudinal Piezoelectrically Actuated Liquid Metal Optical Switch)」，且其申請日期係與本申請 案相同； 10011397-1號申請案，「用於金屬塊輔助推擠型壓電引 15 動液態金屬光學切換器之方法與構造（Method and Structure for a Slug Assisted Pusher-Mode Piezoelectrically Actuated Liquid Metal Optical Switch)」，且其申請日期係 與本申請案相同； 10011398_1號申請案，「聚合液態金屬切換器 20 (Polymeric Liquid Metal Switch)」，且其申請曰期係與本申 請案相同； 10011410-1號申請案，「聚合液態金屬光學切換器 (Polymeric Liquid Metal Optical Switch)」’且其申請日期係、 與本申請案相同； 8 200421637 10011410-1號申請案，「聚合液態金屬光學切換器 (Polymeric Liquid Metal Optical Switch)」，且其申請曰期係 與本申請案相同； 10011436- 1號申請案，「縱向電磁閂鎖光學繼電器 5 (Longitudinal Electricmagnetic Latching Optical Relay)」，且 其申請曰期係與本申請案相同； 10011437- 1號申請案，「縱向電磁閂鎖繼電器 (Longitudinal Electricmagnetic Latching Relay)」，且其申請 曰期係與本申請案相同； 10 10011458-1號申請案，「阻尼式縱向型光學閂鎖繼電器 (Damped Longitudinal Mode Optical Latching Relay)」，且其 申請曰期係與本申請案相同； 10011459-1號申請案，「阻尼式縱向型閂鎖繼電器 (Damped Longitudinal Mode Latching Relay)」，且其申請曰 15 期係與本申請案相同； 10020013-1號申請案，標題為「切換器及其製造方法 (Switch and Method for Producing the Same)」，申請日期為 2002年12月12日，並以申請序號10/317,963號加以識別； 10020027-1號申請案，標題為「壓電光學繼電器 20 (Piezoelectric Optical Relay)」，申請曰期為2002年3月 28 曰 ，並以申請序號1〇/1〇9,309號加以識別； 1002007M號申請案，標題為「用於整合遮蔽微電路 之電子絕緣液態金屬微切換器（Electrically Isolated Liquid Metal Micro-Switches for Integrally Shielded Microcircuits) j 9 200421637 ，申請曰期為2002年10月8曰，並以申請序號10/266,872號 加以識別； 10020073-1號申請案，標題為「壓電光學多工切換器 (Piezoelectric Optical Demultiplexing Switch)」，申請曰期為 5 2002年4月10日，並以申請序號10/119,503號加以識別； 10020162-1號申請案，標題為「體積調整裝置及使用 方法(Volume Adjustment Apparatus and Method for Use)」， 申請日期為2002年12月12日，並以申請序號10/317,293號加 以識別； 10 1002024M號申請案，「用以將一液態金屬切換器維持 在能夠立即切換狀態之方法與裝置(Method and Apparatus for Maintaining a Liquid Metal Switch in a Ready-to-Switch Condition)」，且其申請曰期係與本申請案相同； 10〇2〇242-1號申請案，標題為「縱向型實心金屬塊光 15 學閂鎖繼電器（A Longitudinal Mode Solid Slug Optical Latching Relay)」，且其申請日期係與本申請案相同； 10020473-1號申請案，標題為「反射楔型光學波長多 路合流 / 分流器（Reflecting Wedge Optical Wavelength Multiplexer/Demultiplexer)」，且其申請曰期係與本申請案 20 相同； 10020540-1號申請案，「用於實心金屬塊履帶式壓電繼 電器之方法與構造(Method and Structure for a Solid Slug
Caterpillar Piezoelectric Relay)」，且其申請曰期係與本申請 案相同； 10 200421637 1002054M號申請案，標題為「用於實心金屬塊履帶 式壓電光學繼電器之方法與構造(Method and Structure for a Solid Slug Caterpillar Piezoelectric Optical Relay)」，且其 申請曰期係與本申請案相同； 5 丨0030438-1號申請案，「插入式指狀液態金屬繼電器 (Inserting-flnger Liquid Metal Relay)」，且其申請日期係與 本申請案相同； 10030440-1號申請案，「插入式指狀液態金屬閂鎖繼電 器（Inserting-finger Liquid Metal Latching Relay)」，且其申請 10曰期係與本申請案相同； 1003052M號申請案，「壓力引動光學閂鎖繼電器 (Pressure Actuated Optical Latching Relay)」，且其申請曰期 係與本申請案相同； 10030522-1號申請案，「壓力引動實心金屬塊光學閂鎖 15 繼電器（Pressure Actuated Solid Slug Optical Latching Relay) 」’且其申請曰期係與本申請案相同；及 10030546-1號申請案，「用於金屬塊履帶式壓電反射光 學繼電器之方法與構造(Method and Structure for a Slug Caterpillar Piezoelectric Reflective Optical Relay)」，且其申 20 請日期係與本申請案相同。 發明領域 本發明係有關於一種插入式液態金屬閂鎖繼電器陣 列0 I：先前技術3 11 200421637 發明背景 液態金屬（諸如水銀)係已用於電子切換器之中，以便在 兩導體之間提供—電子路徑。一範例係為水銀恒溫切換器 ，其中一雙金屬條帶線圈對溫度產生反應，並改變容納水 5銀之細長腔室的角度。由於高表面張力，使位於腔室中之 水銀形成-單獨液滴。重力依照腔室之角度，將該水銀液 滴移動到腔室含有電子接點之尾端或是另一尾端。在一手 動式液態金屬切換器中係使用一永久磁鐵移動位於腔室内 的水銀液滴。 1〇 液態金屬亦係用於繼電器中，一液態金屬液滴能夠藉 由許多技術（包括靜電力）加以移動，並藉著熱膨脹/收縮以 及磁性流動力改變幾何形狀。 習用之壓電繼電器不會進行閂鎖、或使用殘留在該壓 電材料中之電荷進行閂鎖，或是引動一接觸一閂鎖機構之 15 切換器。 高電流的快速切換係用於各種不同裝置之中，但由於 電流中斷時之電弧對於以固體接點為主之繼電器會產生問 通。電弧會對接點產生損害，並由於使電極表面留下凹痕 而降低其傳導性。 20 已經發展出微形切換器，其使用液態金屬作為切換元 件’並利用氣體膨脹(加熱時)移動液態金屬，且啟動切換功 能。液態金屬具有某些優於其他微型機械製造技術之優點 ’諸如無須微型焊接或是使切換機構過熱，而能夠使用金 屬對金屬接點切換相當高的電力（約l〇〇mW)之能力。然而 12 200421637 ，使用加熱氣體具有許多缺點，其需要相當大量之能量以 改變切換器的狀態，且如果切換工作週期高，則藉由切換 所產生之熱量必須有效率地加以排除。另外，其引動率相 對較低，最大率係限制於幾百赫茲(Hertz)。 5 【發明内容】 發明概要 揭路-種在其切換機構中使用—傳導液體之高頻電子 繼電器陣列，該繼電器陣列中之各個繼電器使用一引動器（ 諸如-壓電元件)將該切換引動器插入位於一靜態切換接 10點構造中的一腔室内。該腔室具有數個側面，且在其尾端 上具有-襯墊，該等側面與襯墊係能約藉著傳導液體沾濕 該腔至係充滿傳導液體，該傳導液體可為液態金屬。將 切換引動器插入腔室會使傳導液體向外排開，並與切換引 動器上之接點襯墊相接觸。傳導液體之體積係加以選擇， X致於备引動器回到其停靠位置時，能夠藉由表面張力以 及沾濕位於靜態切換接點構造與引動器上之接點襯墊保持 電子接觸。當切換引動器自靜態切換接點構造縮回時，位 於固疋切換接點構造中之傳導液體可用體積會增加，且傳 I液體移動進入腔室、再加上切換引動器上之接點襯墊自 20傳導液體的體積移開，會使得該固定與移動接點襯墊之間 #傳導液體連接切斷。當切換引動器回到其停靠位置時， 由於未受干擾之傳導液體不足以橋接間隙 ，故接點仍然維 #電子斷開。高頻能力係藉由總成中之額外導體所提供， /、使《亥切換器成為一同軸構造。該繼電器陣列係能夠藉由 13 200421637 微型機械製造技術加以製造。 圖式簡單說明 本發明之嶄新特性係特別在所附申請專利範圍中提 出，然而，本發明本身（組織與操作方法）以及其目的與優點 5 能夠藉由參考以下之發明詳細說明（其說明本發明之某些 特定示範性實施例），並結合所附圖式而得到最佳了解，其 中： 第1圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 器陣列之示範性實施例的圖式。 10 第2圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 器陣列之端視圖。 第3圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 器陣列之剖面圖。 第4圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 15 器陣列之另一剖面圖。 第5圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 器陣列處於封閉切換狀態中之剖面圖。 第6圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 器陣列處於封閉切換狀態中之一切換層的另一圖式。 20 第7圖係為與本發明之某些實施例一致的一閃鎖繼電 器陣列之一覆蓋層的圖式。 第8圖係為使用與本發明之某些實施例一致的一閂鎖 繼電器陣列之矩陣多工器的圖式。 【實施方式3 14 200421637 較佳實施例之詳細說明 /儘管本發明能夠具有許多不同形式之實施例，圖式中 係顯不並於文中洋細說明一個或更多特定實施例，且理解 到本揭路内容係視為本發明之原理的示範性說明，且並非 5預計用以將本發明限制於所顯示與說明之該等特定實施例 在以下之說明中，相同之參考數字係用以說明相同、類 似、或是圖式中數個視圖的對應部件。 本發明之繼電器陣列結合一些電子切換元件或繼電器 。各個繼電器使用一傳導液體(諸如液態金屬）橋接兩個電子 10接點之間的間隙，並從而在該等接點之間完成一電子回路 。各個繼電器使用一引動器（諸如一壓電元件）以便將切換引 動器插入位於一固定切換接點構造中之腔室中。該腔室數 個侧面，且在其尾端上具有一襯墊，該等側面與襯墊係能 夠藉著傳導液體沾濕。該腔室係充滿傳導液體，將引動器 15插入腔室會使傳導液體向外排開，並與引動器上之接點襯 墊相接觸。傳導液體之體積係加以選擇，以致於當引動器 回到其停靠位置時，能夠藉由表面張力以及沾濕位於靜態 切換接點構造與引動器上之接點襯墊保持電子接觸。當切 換引動器自靜態切換接點構造縮回時，位於固定切換接點 20構造中之傳導液體可用體積會增加，且傳導液體移動進入 腔室、再加上切換引動器上之接點襯墊自傳導液體的體積 移開會使得該固定與移動接點襯墊之間的傳導液體連接切 斷。當切換引動器回到其停靠位置時’由於未受干擾之傳 導液體不足以橋接間隙，故接點仍然維持電子斷開。高頻 15 200421637 能力係藉由總成中之額外導體所提供，其使該切換器成為 /同軸構造。 在一示範性實施例中，該傳導液㈣為金屬（諸 如水銀），其具有高傳導性、低揮發性以及高表面張力4 引動器係為-壓電㈣器’但是亦能夠使用其他的引動器( 諸如磁致伸縮引動器）。以下，壓電引動器與磁致伸縮引動 器將統稱為「壓電引動器」。 10 在一示範性實施例中，該陣列包含-個或更多堆疊層 ，且各個堆疊層包含—個或更多並排之繼電器。以此方^ 形成一繼電器之矩形格栅。第1圖係為本發明之-關繼電 器之-不性實施例。參考第…，繼電器1()()包含兩層， 15 下層包含-下覆蓋層1G2、-切換層1()4以及—上覆蓋層1〇丨 ’上層具有-類似構造，並包含__下覆蓋層⑽、一切換肩 U〇以及—上覆蓋層112。下覆蓋層1G2與1G8將電子接頭3 樓到位於切換yf巾之元件，並對該切換層提供下護蓋。^ 子接頭係佈_末端護蓋114與116，其提供額外之電判 表並對於繼電器陣列提供互連。電路層1〇2與1〇8可由作 ===:氧所製造’且能夠藉由微型機械製議 20 :用以製造微型電子元件之技術。切換層10, 與110可由例如陶 瓷或玻璃加以製造，或是藉由塗佈有一鮮 之金屬所製造。 視圖第2參圖:第=，圖中所示之繼咖 國’其具有二個通道通過各個切換層1〇4輿 °虎導體118係位於各通道之一尾端，該訊號導選 16 200421637 係電子結合到繼電器之其中一個切換接點。接地遮罩12〇可 視需要圍繞各個切換通道，該等接地遮罩係藉由電介質層 122而與訊號導體118電子絕緣。在示範性實施例中，該等 接地遮罩120係部分形成沉積於上覆蓋層1〇6與丨12之下側 5 以及下覆蓋層與108之上側上的跡線。上覆蓋層1〇6與 係分別覆蓋與密封切換層1〇4與11〇。上覆蓋層1〇6與112 可由例如陶瓷、玻璃、金屬或聚合物、或是這些材料之混 合物所製造。在示範性實施例中能夠使用玻璃、陶瓷或金 屬，以便提供一氣密密封。 10 第3圖係為本發明之一閂鎖繼電器陣列100的實施例之 一剖面圖，該剖面係藉由第2圖中之線3_3加以表示。參考 第3圖中之下層，該切換層併入一切換腔室3〇2，該腔室可 充滿一惰性氣體。一訊號導體304佔用穿過該切換層之通道 的一尾端，該訊號導體304係藉由電介質層124而與接地導 15體120電子絕緣。一固定電子接點306係附裝到該訊號導體 之尾端，該電子接點306之部分係成為凹面，並在訊號導體 3〇4之尾端中形成一腔室，其他部分形成一覆蓋該訊號導體 3 04之4为内部尾端的概墊。在另一實施例中，該液體井係 緊鄰接點306,但與該接點隔開。液體井亦能夠形成於訊號 2〇導體304以外的構造中。引動器3〇8之一尾端係附接到訊號 導體118，而另一尾端係突入固定接點3〇6之凹陷部分，一 可移動電子接點310係附接到該引動器。在操作中，引動器 308之長度係增加與減少，以便將可移動電子接點31〇移向 或移開該固定電子接點306。在一示範性實施例中，該引動 17 200421637 器包括一壓電引動器。可移動接點310能夠以位於引動器 308上之一傳導塗層所形成，其中接點312係為接點31〇之延 伸部分。或者，接點312能夠置於引動器之一側上，且將接 點310置於另一側上，以降低引動器之彎曲。在另一實施例 5 中，接點312係加以省略，固定與可移動電子接點之表面係 能夠藉由一傳導液體沾濕。在操作中，可移動接點31〇支撐 傳導液體之一液滴314,該液滴係由於液體之表面張力而保 持在定位。由於液滴314之小體積，表面張力主導液滴上任 何的本體力’故將該液滴保持在定位。固定接點3〇6之凹陷 10部分產生一液體井，其係充滿傳導液體316，該液體316亦 會沾濕接點306之襯墊部分。可移動接點31〇係以非沾濕塗 層31S加以部分塗佈，以避免傳導液體沿著該接點移動。訊 號導體118係藉由電介質層122與接地導體120電子絕緣，而 訊號導體304係藉由電介質層124與接地導體120電子絕緣。 15 末端護蓋116亦顯示於第3圖中，末端護蓋116支撐電路 系統322 ’以便能夠連接到訊號導體118、以及電路系統324 ,以便連接到接地遮罩120。這些電路係導到末端護蓋之邊 緣或外部表面，以便容許外部連接到繼電器。設置類似之 電路系統，以容許連接到繼電器陣列中之各個繼電器。 20 第4圖係為第1圖中所示之閂鎖繼電器沿著剖面4_4的 一剖面圖。參考第4圖，該固定接點306排列在位於訊號導 體304中之一腔室的内側，並形成一液體井。傳導液體316 係容納於該液體井中，且係藉由表面張力保持在定位。接 地導體120圍繞該訊號導體3〇4與固定接點3〇6，如此有助於 18 200421637 繼電器之高頻切換。 5 穿過該繼電器之電子回路係藉由對引動器通電，使复 延伸進入傳導液體井而達成，如第5圖中之剖面圖所示^ 考第5圖，引動器期伸人容納於㈣接㈣^凹陷部分; =導液體之井。在此同時’可移動接點31。係接 =Γ器插入井中迫使某些傳導液體離開液體井 二使，、橋接：固定接點3〇6與可移動接點31〇之間的間隙。 如此形成一單獨體積之傳導、、存辦 10 訊號導體118與304之間的電子回路。該傳導液體314完成 回。傳導供電，並自該液體井抽 液體能夠持續橋_接點㈣傳導 該等::::的電子，完整，二 15 電，以便使其長度減少。㈣二=目=向對引動器供 移動接點更加遠_定無^自㈣絲回，並使可 中，表面祥*击Μ 傳導液體係拉回到該液體井 ，故二 20 當引動器再度停止供電時，並沒=式切斷電姊 隙，故電路會維持斷開，如第3圖中所^液體以橋接該間 在另-實施例中，兩種 丁 動器運作用以從—液體井 ^為固定接點，且引 電子接點之間的間隙。 傳導液體，以致於使其橋接 儘e已經說明弓|動器在延伸模式之操作，亦可使用能 19 200421637 夠改變該引動ϋ插人固定接點之腔室部分的體積之其他 操作模式。 使用水銀或疋其他具有高表面張力之液態金屬以形成 一撓性、非接觸性的電子接夠使-«H具有高電流 5容量，其避免藉由局部加熱而產生腐餘與氧化物增加。接地 導體提供-圍繞該訊號路徑之遮罩，其有利於高頻切換。 第7圖係為上覆蓋層1〇6之下表面的一圖式。該上覆蓋 層106對於位在切換層中之通道提供一封口。接地跡線7叫 各個位於切換層中之切換通道皆有一個接地跡線）係沉積 〇於《亥上覆蓋層之表面上，且形成接地遮罩之一側，該等接 地遮罩係與訊號導體以及切換機構同軸。類Υ以之接地跡線 係沉積於下覆蓋層之上表面上。 第8圖係為本發明之另一實施例。第8圖中係顯示一五 層式繼電器陣列100,其每層皆具有五個切換元件。為求清 15楚起見，陣列本體800之各層細節係加以省略。第一末端護 蓋114支樓電路系統806，以便使其能夠連接到第一訊號導 體(未顯示）。第二末端護蓋116支撐電路系統322,以便使其 能夠連接到第二訊號導體。額外之電路系統(未顯示）容許將 輸入sfL遽802連接到連接電路系統322，並用以將電路系统 20 806連接到輸出804。在此實施例中，對於該陣列之各層（列 )提供一個輸入訊號，並對於該陣列之各行提供一個輸出訊 號。陣列之元件容許將任何輸入訊號結合到任何輸出。該 陣列之作用如同一矩陣訊號多工器。 在一示範性實施例中，固定接點構造、位於引動器上 20 200421637 之傳導塗層、以及訊號導體具有類似之外部尺寸，用以得 到最佳電子性能，以便使阻抗不協調降到最低。 儘管已經結合特定實施例說明本發明，對於普通熟諳 此技藝之人士而言，按照先前之說明，許多變化、修正、 5 變更與改變係顯而易見。因此，本發明係預定包含所有屬 於所附申請專利範圍之範疇中的此等變化、修正與改變。 【圖式簡單說明】 第1圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 器陣列之示範性實施例的圖式。 10 第2圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 器陣列之端視圖。 第3圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 器陣列之剖面圖。 第4圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 15 器陣列之另一剖面圖。 第5圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 器陣列處於封閉切換狀態中之剖面圖。 第6圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 器陣列處於封閉切換狀態中之一切換層的另一圖式。 20 第7圖係為與本發明之某些實施例一致的一閂鎖繼電 器陣列之一覆蓋層的圖式。 第8圖係為使用與本發明之某些實施例一致的一閂鎖 繼電器陣列之矩陣多工器的圖式。 【圖式之主要元件代表符號表】 21 200421637 100···繼電器陣列 306…固定接點 102···下覆蓋層 308…引動器 104…切換層 310…可移動接點 106···上覆蓋層 312…接點 108···下覆蓋層 314…液滴 110…切換層 316…傳導液體 112···上覆蓋層 318…非沾濕塗層 114···末端護蓋 322…電路系統 116···末端護蓋 324…電路系統 118···訊號導體 702…接地跡線 120···接地遮罩/接地導體 800…陣列本體 122···電介質層 802···輸入訊號 124···電介質層 804…輸出 302···切換腔室 806…電路系統 304···訊號導體
22
Claims (1)
- 200421637 拾、申請專利範圍： 1. 一種電子繼電器陣列，其包含複數個切換元件，該複數 個切換元件之切換器包含： 一第一電子接點，其具有一可沾濕表面； 5 一第一傳導液體體積，其與該地一電子接點沾濕接 觸； 一第二電子接點，其與該地一電子接點隔開，並具 有一可沾濕表面； 一井支撐構造，其緊鄰該第一與第二電子接點，該 10 井支撐構造具有一液體井形成於其中； 一第二傳導液體體積，其位於該液體井中，並與該 第二電子接點沾濕接觸；及 一具有一停靠位置之引動器，其至少部分位於該液 體井中； 15 其中引動器延伸會使液體井之體積減少，並排開第 二液體，從而使第一與第二傳導液體體積接合，並完成 第一與第二電子接點之間的電子回路；且縮回引動器會 使液體井之體積增加，從而使第一與第二傳導液體體積 分離，並斷開電子回路。 20 2.如申請專利範圍第1項之電子繼電器陣列，其進一步包 含： 一第一訊號導體，其電子結合到該第一電子接點； 及 一第二訊號導體，其電子結合到該第二電子接點。 23 200421637 3. 如申請專利範圍第2項之電子繼電器陣列，其中該第二 訊號導體提供井支撐構造。 4. 如申請專利範圍第2項之電子繼電器陣列，其進一步包 含： 5 一接地遮罩，其包含該第一與第二電極接點、以及 第一與第二訊號導體； 一第一電介質層，其位於接地遮罩與第一訊號導體 之間，該第一電介質層使接地遮罩與第一訊號導體電子 絕緣；及 10 一第二電介質層，其位於接地遮罩與第二訊號導體 之間，該第二電介質層使接地遮罩與第二訊號導體電子 絕緣。 5. 如申請專利範圍第1項之電子繼電器陣列，其中該第一 電子接點係附裝到引動器。 15 6.如申請專利範圍第5項之電子繼電器陣列，其中引動器 一伸展使第一電子接點朝向第二電子接點移動；且該引 動器之收縮使第一電子接點移開第二電子接點。 7.如申請專利範圍第1項之電子繼電器陣列，其中該引動 器包含一壓電引動器或是磁致伸縮引動器其中之一者。 20 8.如申請專利範圍第1項之電子繼電器陣列，其中該第一 與第二傳導液體體積係為液態金屬體積。 9. 如申請專利範圍第8項之電子繼電器陣列，其中該第一 與第二傳導液體體積係為水銀。 10. 如申請專利範圍第1項之電子繼電器陣列，其中選定該 24 200421637 第一與第二傳導液體體積之尺寸，使得當引動器回到其 停靠位置時，令該等傳導液體接合後的體積保持接合。 11. 如申請專利範圍第1項之電子繼電器陣列，其進一步包 含一非沾濕塗層，該塗層部分覆蓋第一電子接點，以避 5 免傳導液體沿著第一電子接點移動。 12. 如申請專利範圍第1項之電子繼電器陣列，其進一步包 含： 一將電子接頭支撐到引動器之電路基質； 一覆蓋層； 10 一切換層，其置於該電路基質與覆蓋層之間，並有 一通道形成於其中； 其中該第一與第二電子接點以及引動器係置於該 通道中。 13. 如申請專利範圍第12項之電子繼電器陣列，其進一步包 15 含： 一第一訊號導體，其電子結合到該第一電子接點； 一第二訊號導體，其電子結合到該第二電子接點； 一第一末端護蓋，其將電子接頭支撐到各個繼電器 元件之第一訊號導體；及 20 —第二末端護蓋，其將電子接頭支撐到各個繼電器 元件之第二訊號導體。 14. 如申請專利範圍第13項之電子繼電器陣列，其中連到引 動器之該電子接頭包含跡線，該跡線沉積於下覆蓋層之 表面上，並電子結合到位於第一末端護蓋與第二末端護 25 200421637 蓋其中一者上的接頭。 15.如申請專利範圍第13項之電子繼電器陣列，其中連到引 動器之該電子接頭包含跡線，該跡線沉積於電路基質上 之表面上。 5 16.如申請專利範圍第13項之電子繼電器陣列，其係藉由微 型機械製造之方法加以製造：。 17.如申請專利範圍第13項之電子繼電器陣列，其中該覆蓋 層係由陶究、玻璃、金屬、聚石夕氧與聚合物其中一者加 以製造。 10 18.如申請專利範圍第13項之電子繼電器陣列，其中該電路 基質係由陶瓷、玻璃、聚矽氧與聚合物其中一者加以製 造。 19. 一種用以在一第一接點與一第二接點（其係由一繼電器 陣列之複數個第二接點中所選出）之間完成一電子回路 15 的方法，該第一接點支撐一第一傳導液滴，且複數個第 二接點之各個接點支撐一第二液滴，該方法包含： 對於複數個第二接點之各個未選擇的第二接點而 對引動器供電，以便從一傳導液體井抽回，從而 20 將傳導液體抽入井中，並使第一與第二傳導液滴分 離，使電子回路斷開；及 對於選定之第二接點而言： 對引動器供電，以插入傳導液體井中，從而 將傳導液體自井中排開，並使第一與第二傳導液滴 26 200421637 接合，且完成電子回路。 20. 如申請專利範圍第19項之方法，其中該第一接點係附裝 到引動器。 21. 如申請專利範圍第20項之方法，其中當引動器插入井中 5 ，該第一接點係朝向第二接點移動；且當引動器從井中 抽出時移開第二接點。 22. 如申請專利範圍第19項之方法，其進一步包含： 對於複數個第二接點之各個未選擇的第二接點而 一上· · 10 在傳導液滴分離以後對引動器停止供電；及 對於選定之第二接點而言： 在傳導液滴結合以後對引動器停止供電。 23. 如申請專利範圍第19項之方法，其中該引動器係為一壓 電引動器，且其中對該引動器供電包含施加一電壓穿過 15 壓電引動器。 24. 如申請專利範圍第19項之方法，其中該引動器係為一磁 致伸縮引動器，且其中對該引動器供電包含施加一電 壓，以產生一穿過該磁致伸縮引動器之電場。 27
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US10/412,880 US6879088B2 (en) | 2003-04-14 | 2003-04-14 | Insertion-type liquid metal latching relay array |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW200421637A true TW200421637A (en) | 2004-10-16 |
Family
ID=32298251
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW092128405A TW200421637A (en) | 2003-04-14 | 2003-10-14 | Insertion-type liquid metal latching relay array |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6879088B2 (zh) |
| JP (1) | JP2004319481A (zh) |
| DE (1) | DE10356802A1 (zh) |
| GB (1) | GB2400739B (zh) |
| TW (1) | TW200421637A (zh) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9601284B2 (en) | 2007-03-14 | 2017-03-21 | Zonit Structured Solutions, Llc | Hybrid relay |
| KR101051732B1 (ko) * | 2009-11-12 | 2011-07-25 | 한국전자통신연구원 | 미세 액체 금속 액적의 형상 변화를 이용한 ｒｆ ｍｅｍｓ 스위치 |
| US11948760B2 (en) * | 2013-03-15 | 2024-04-02 | Zonit Structured Solutions, Llc | Hybrid relay |
| US9762236B2 (en) * | 2015-02-02 | 2017-09-12 | Uneo Inc. | Embedded button for an electronic device |
| US11149803B1 (en) * | 2020-06-07 | 2021-10-19 | Textron Innovations Inc. | Mechanism and method to engage/disengage a sprag clutch using actuators |
Family Cites Families (84)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2312672A (en) | 1941-05-09 | 1943-03-02 | Bell Telephone Labor Inc | Switching device |
| US2564081A (en) | 1946-05-23 | 1951-08-14 | Babson Bros Co | Mercury switch |
| GB1143822A (zh) | 1965-08-20 | |||
| DE1614671B2 (de) | 1967-12-04 | 1971-09-30 | Siemens AG, 1000 Berlin u. 8000 München | Lageunabhaengiges quecksilberrelais |
| US3639165A (en) | 1968-06-20 | 1972-02-01 | Gen Electric | Resistor thin films formed by low-pressure deposition of molybdenum and tungsten |
| US3600537A (en) | 1969-04-15 | 1971-08-17 | Mechanical Enterprises Inc | Switch |
| US3657647A (en) | 1970-02-10 | 1972-04-18 | Curtis Instr | Variable bore mercury microcoulometer |
| US4103135A (en) | 1976-07-01 | 1978-07-25 | International Business Machines Corporation | Gas operated switches |
| FR2392485A1 (fr) | 1977-05-27 | 1978-12-22 | Orega Circuits & Commutation | Interrupteur a contacts mouilles, et a commande magnetique |
| SU714533A2 (ru) | 1977-09-06 | 1980-02-05 | Московский Ордена Трудового Красного Знамени Инженерно-Физический Институт | Переключающее устройство |
| FR2418539A1 (fr) | 1978-02-24 | 1979-09-21 | Orega Circuits & Commutation | Commutateur a contact liquide |
| FR2458138A1 (fr) | 1979-06-01 | 1980-12-26 | Socapex | Relais a contacts mouilles et circuit plan comportant un tel relais |
| US4419650A (en) | 1979-08-23 | 1983-12-06 | Georgina Chrystall Hirtle | Liquid contact relay incorporating gas-containing finely reticular solid motor element for moving conductive liquid |
| US4245886A (en) | 1979-09-10 | 1981-01-20 | International Business Machines Corporation | Fiber optics light switch |
| US4336570A (en) | 1980-05-09 | 1982-06-22 | Gte Products Corporation | Radiation switch for photoflash unit |
| DE8016981U1 (de) | 1980-06-26 | 1980-11-06 | W. Guenther Gmbh, 8500 Nuernberg | Quecksilber-Elektrodenschalter |
| DE3138968A1 (de) | 1981-09-30 | 1983-04-14 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Optische steuervorrichtung zum steuern der in einem optischen wellenleiter gefuehrten strahlung, insbesondere optischer schalter |
| DE3206919A1 (de) | 1982-02-26 | 1983-09-15 | Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg | Vorrichtung zum optischen trennen und verbinden von lichtleitern |
| US4475033A (en) | 1982-03-08 | 1984-10-02 | Northern Telecom Limited | Positioning device for optical system element |
| FR2524658A1 (fr) | 1982-03-30 | 1983-10-07 | Socapex | Commutateur optique et matrice de commutation comprenant de tels commutateurs |
| US4628161A (en) | 1985-05-15 | 1986-12-09 | Thackrey James D | Distorted-pool mercury switch |
| GB8513542D0 (en) | 1985-05-29 | 1985-07-03 | Gen Electric Co Plc | Fibre optic coupler |
| US4652710A (en) | 1986-04-09 | 1987-03-24 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Mercury switch with non-wettable electrodes |
| US4742263A (en) | 1986-08-15 | 1988-05-03 | Pacific Bell | Piezoelectric switch |
| US4804932A (en) | 1986-08-22 | 1989-02-14 | Nec Corporation | Mercury wetted contact switch |
| US4797519A (en) | 1987-04-17 | 1989-01-10 | Elenbaas George H | Mercury tilt switch and method of manufacture |
| JPS63276838A (ja) | 1987-05-06 | 1988-11-15 | Nec Corp | 導電液体接点リレ− |
| JPH01294317A (ja) | 1988-05-20 | 1989-11-28 | Nec Corp | 導電液体接点スイッチ |
| US5278012A (en) | 1989-03-29 | 1994-01-11 | Hitachi, Ltd. | Method for producing thin film multilayer substrate, and method and apparatus for detecting circuit conductor pattern of the substrate |
| US4988157A (en) | 1990-03-08 | 1991-01-29 | Bell Communications Research, Inc. | Optical switch using bubbles |
| FR2667396A1 (fr) | 1990-09-27 | 1992-04-03 | Inst Nat Sante Rech Med | Capteur pour mesure de pression en milieu liquide. |
| US5415026A (en) | 1992-02-27 | 1995-05-16 | Ford; David | Vibration warning device including mercury wetted reed gauge switches |
| DE69220951T2 (de) | 1992-10-22 | 1998-01-15 | Ibm | Nahfeld-Phatonentunnelvorrichtungen |
| US5972737A (en) | 1993-04-14 | 1999-10-26 | Frank J. Polese | Heat-dissipating package for microcircuit devices and process for manufacture |
| US5886407A (en) | 1993-04-14 | 1999-03-23 | Frank J. Polese | Heat-dissipating package for microcircuit devices |
| GB9309327D0 (en) | 1993-05-06 | 1993-06-23 | Smith Charles G | Bi-stable memory element |
| JP2682392B2 (ja) | 1993-09-01 | 1997-11-26 | 日本電気株式会社 | 薄膜キャパシタおよびその製造方法 |
| GB9403122D0 (en) | 1994-02-18 | 1994-04-06 | Univ Southampton | Acousto-optic device |
| JPH08125487A (ja) | 1994-06-21 | 1996-05-17 | Kinseki Ltd | 圧電振動子 |
| FI110727B (fi) | 1994-06-23 | 2003-03-14 | Vaisala Oyj | Sähköisesti moduloitava terminen säteilylähde |
| JP3182301B2 (ja) | 1994-11-07 | 2001-07-03 | キヤノン株式会社 | マイクロ構造体及びその形成法 |
| US5675310A (en) | 1994-12-05 | 1997-10-07 | General Electric Company | Thin film resistors on organic surfaces |
| US5502781A (en) | 1995-01-25 | 1996-03-26 | At&T Corp. | Integrated optical devices utilizing magnetostrictively, electrostrictively or photostrictively induced stress |
| EP0761011B1 (en) | 1995-03-27 | 1999-07-21 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Method of manufacturing an electronic multilayer component |
| JPH08330507A (ja) | 1995-05-30 | 1996-12-13 | Motorola Inc | ハイブリッド・マルチチップ・モデュールおよびその製造方法 |
| US5751074A (en) | 1995-09-08 | 1998-05-12 | Edward B. Prior & Associates | Non-metallic liquid tilt switch and circuitry |
| US5732168A (en) | 1995-10-31 | 1998-03-24 | Hewlett Packard Company | Thermal optical switches for light |
| KR0174871B1 (ko) | 1995-12-13 | 1999-02-01 | 양승택 | 랫칭형 열구동 마이크로 릴레이 소자 |
| US6023408A (en) | 1996-04-09 | 2000-02-08 | The Board Of Trustees Of The University Of Arkansas | Floating plate capacitor with extremely wide band low impedance |
| JP2817717B2 (ja) | 1996-07-25 | 1998-10-30 | 日本電気株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
| US5874770A (en) | 1996-10-10 | 1999-02-23 | General Electric Company | Flexible interconnect film including resistor and capacitor layers |
| US5841686A (en) | 1996-11-22 | 1998-11-24 | Ma Laboratories, Inc. | Dual-bank memory module with shared capacitors and R-C elements integrated into the module substrate |
| GB2321114B (en) | 1997-01-10 | 2001-02-21 | Lasor Ltd | An optical modulator |
| US6180873B1 (en) | 1997-10-02 | 2001-01-30 | Polaron Engineering Limited | Current conducting devices employing mesoscopically conductive liquids |
| TW405129B (en) | 1997-12-19 | 2000-09-11 | Koninkl Philips Electronics Nv | Thin-film component |
| US6021048A (en) | 1998-02-17 | 2000-02-01 | Smith; Gary W. | High speed memory module |
| US6351579B1 (en) | 1998-02-27 | 2002-02-26 | The Regents Of The University Of California | Optical fiber switch |
| EP1062537B1 (de) | 1998-03-09 | 2006-08-02 | Bartels Mikrotechnik GmbH | Optischer schalter und modulares schaltsystem aus optischen schaltelementen |
| US6207234B1 (en) | 1998-06-24 | 2001-03-27 | Vishay Vitramon Incorporated | Via formation for multilayer inductive devices and other devices |
| US6212308B1 (en) | 1998-08-03 | 2001-04-03 | Agilent Technologies Inc. | Thermal optical switches for light |
| US5912606A (en) | 1998-08-18 | 1999-06-15 | Northrop Grumman Corporation | Mercury wetted switch |
| US6323447B1 (en) | 1998-12-30 | 2001-11-27 | Agilent Technologies, Inc. | Electrical contact breaker switch, integrated electrical contact breaker switch, and electrical contact switching method |
| EP1050773A1 (en) | 1999-05-04 | 2000-11-08 | Corning Incorporated | Piezoelectric optical switch device |
| US6373356B1 (en) | 1999-05-21 | 2002-04-16 | Interscience, Inc. | Microelectromechanical liquid metal current carrying system, apparatus and method |
| US6396012B1 (en) | 1999-06-14 | 2002-05-28 | Rodger E. Bloomfield | Attitude sensing electrical switch |
| US6304450B1 (en) | 1999-07-15 | 2001-10-16 | Incep Technologies, Inc. | Inter-circuit encapsulated packaging |
| US6487333B2 (en) | 1999-12-22 | 2002-11-26 | Agilent Technologies, Inc. | Total internal reflection optical switch |
| US6320994B1 (en) | 1999-12-22 | 2001-11-20 | Agilent Technolgies, Inc. | Total internal reflection optical switch |
| IL150969A0 (en) | 2000-02-02 | 2003-02-12 | Raytheon Co | Microelectromechanical micro-relay with liquid metal contacts |
| US6356679B1 (en) | 2000-03-30 | 2002-03-12 | K2 Optronics, Inc. | Optical routing element for use in fiber optic systems |
| US6446317B1 (en) | 2000-03-31 | 2002-09-10 | Intel Corporation | Hybrid capacitor and method of fabrication therefor |
| NL1015131C1 (nl) | 2000-04-16 | 2001-10-19 | Tmp Total Micro Products B V | Inrichting en werkwijze voor het schakelen van elektromagnetische signalen of bundels. |
| US6470106B2 (en) | 2001-01-05 | 2002-10-22 | Hewlett-Packard Company | Thermally induced pressure pulse operated bi-stable optical switch |
| JP2002207181A (ja) | 2001-01-09 | 2002-07-26 | Minolta Co Ltd | 光スイッチ |
| US6490384B2 (en) | 2001-04-04 | 2002-12-03 | Yoon-Joong Yong | Light modulating system using deformable mirror arrays |
| JP4420581B2 (ja) | 2001-05-09 | 2010-02-24 | 三菱電機株式会社 | 光スイッチおよび光導波路装置 |
| US20030035611A1 (en) | 2001-08-15 | 2003-02-20 | Youchun Shi | Piezoelectric-optic switch and method of fabrication |
| US7078849B2 (en) | 2001-10-31 | 2006-07-18 | Agilent Technologies, Inc. | Longitudinal piezoelectric optical latching relay |
| US6512322B1 (en) | 2001-10-31 | 2003-01-28 | Agilent Technologies, Inc. | Longitudinal piezoelectric latching relay |
| US6515404B1 (en) | 2002-02-14 | 2003-02-04 | Agilent Technologies, Inc. | Bending piezoelectrically actuated liquid metal switch |
| US6633213B1 (en) | 2002-04-24 | 2003-10-14 | Agilent Technologies, Inc. | Double sided liquid metal micro switch |
| US6756551B2 (en) * | 2002-05-09 | 2004-06-29 | Agilent Technologies, Inc. | Piezoelectrically actuated liquid metal switch |
| US6559420B1 (en) | 2002-07-10 | 2003-05-06 | Agilent Technologies, Inc. | Micro-switch heater with varying gas sub-channel cross-section |
| US6740829B1 (en) * | 2003-04-14 | 2004-05-25 | Agilent Technologies, Inc. | Insertion-type liquid metal latching relay |
-
2003
- 2003-04-14 US US10/412,880 patent/US6879088B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2003-10-14 TW TW092128405A patent/TW200421637A/zh unknown
- 2003-12-04 DE DE10356802A patent/DE10356802A1/de not_active Withdrawn
-
2004
- 2004-03-30 GB GB0407173A patent/GB2400739B/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-04-07 JP JP2004113289A patent/JP2004319481A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB2400739B (en) | 2006-07-05 |
| US20040201309A1 (en) | 2004-10-14 |
| DE10356802A1 (de) | 2004-11-25 |
| GB2400739A (en) | 2004-10-20 |
| US6879088B2 (en) | 2005-04-12 |
| JP2004319481A (ja) | 2004-11-11 |
| GB0407173D0 (en) | 2004-05-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW200421637A (en) | Insertion-type liquid metal latching relay array | |
| US6903492B2 (en) | Wetting finger latching piezoelectric relay | |
| US6730866B1 (en) | High-frequency, liquid metal, latching relay array | |
| US6740829B1 (en) | Insertion-type liquid metal latching relay | |
| US6876130B2 (en) | Damped longitudinal mode latching relay | |
| US6831532B2 (en) | Push-mode latching relay | |
| US6894424B2 (en) | High frequency push-mode latching relay | |
| US6900578B2 (en) | High frequency latching relay with bending switch bar | |
| US6762378B1 (en) | Liquid metal, latching relay with face contact | |
| US6876133B2 (en) | Latching relay with switch bar | |
| US6885133B2 (en) | High frequency bending-mode latching relay | |
| US6876131B2 (en) | High-frequency, liquid metal, latching relay with face contact | |
| US6903493B2 (en) | Inserting-finger liquid metal relay | |
| US6882088B2 (en) | Bending-mode latching relay | |
| TW200421644A (en) | Method and structure for a solid slug caterpillar piezoelectric relay |