TW200303296A - Method and apparatus for cutting apart a glass substrate, liquid crystal panel, and apparatus for fabricating a liquid crystal panel - Google Patents

Description

200303296 ⑴ 玖、發明說明 、内容、實施方式及圖式簡單說明) (發明說明應敘明：發明_之技術職、先前技術 技術領域 本發明與一種用來切開破璃基板的方法及裝置有關，當 使用作為液晶顯示元件或其同類者之玻璃基板時，該破璃 基板具有形成在其中 < 至少一個表面上的沈積膜層，諸如 :薄膜或樹月旨膜層。本發明也與一種液晶面板（Hquid以灿 panel)有關，該液晶面板是由一對接合在一起的基板單元 (SUbStrateCells)所組成，其中：將液晶密封在其間，以及將 偏振片（polarizer-plates)接合到基板單元之外表面；並且與 一種藉由切開一玻璃基板來製造許多這樣的液晶面板的 裝置有關，該玻璃基板具有：彼此鄰接佈置之許多對將液 晶密封在其間而接合在一起的玻璃基板單元，以及接合到 它們兩個表面的偏振片。 背景技藝 照慣例，通常藉由所謂的刻劃操作來切開破璃基板，明 確地說，首先藉由真空夾持操作（vaeuum chucking)或其同類 者’將玻璃基板牢固在切割機器之工件載物台（〜的“““ stage)上面；然後藉由使用一種有超硬材料（諸如：超硬合 金或鑽石）形成在其最外邊緣處的輪形刀具，將稱為刻書^ 線痕之直線刻痕（linear scratch)形成在玻璃基板之一表面上 ，該刻痕實際上是一種裂痕（在下文中，將該刻痕也稱為 裂痕（crack))，然後藉由使用一種加壓構件（諸如：加壓器 (press)或滾壓器（roller))，沿著刻劃線痕，從其相對表面的 200303296 ^J 發明說w續頁 後面加壓於破璃基板，使得：朝向與基板表面垂直的方向 ，已經形成在玻璃基板上之刻劃線痕中的裂痕逐步擴展 (de^dop)，直到最後該坡璃基板斷開為止。 當今’為了要以低成本方式來製造，藉著將大型 (large-format)玻璃基板材料切開成具有所需尺寸之形狀來 製造諸多液晶顯示元件以及與其類似的其它顯示裝置，該 基板材料具有預先形成在其表面上的薄膜，諸如：ιτ〇膜 一樣的透明電極，絕緣膜，定向膜（〇Hentati〇n film)等等。 當有沈積膜層（在下文中，將它也稱為沈積膜）形成在其上 面的這樣一種玻-璃基板被切開時，在傳統玻璃基板之刻劃 操作中，會發生難以想像的各種問題。譬如說，刻劃有沈 積膜（film deposited)表面終於導致毀壞在刻劃線痕附近的 沈積膜。這樣會使沈積膜以細微粒子之形式散落，因而可 月R導致不能接受的產品品質。甚至於刻劃對面的無沈積膜 表面（non-film-deposited surface)終於導致：因有沈積膜表面 與切割機器之載物台接觸而使沈積膜刮傷或變形 (deformed) 〇 在日本專利特許公開申請案第H11-64834號中提議一種 針對這些不便的解法，其中披露了一種用來將有沈積膜形 成在其上面的大型玻璃基板刻劃成諸多具有所需尺寸之 條形區段（sections)的傳統方法。這種方法試圖克服由刻劃 在有沈積膜表面對面的玻璃表面所導致的上述不便。 現在，參考圖5 2，將要描述披露於日本專利特許公開申 請案第H11-64834號中方法，它主要是從其專利說明書中引 200303296 (5) 發明說叼續頁 用的。玻璃基板101具有形成在其中之一表面上的沈積膜 102。藉由諸如真空夾持器（vacuum)之未圖示夾持構件 (chucking means)，以沈積膜102朝上的方式，將玻璃基板1〇1 牢固在充當工件載物台之平台（SUrface plate) 103的頂面上 ’ 。在平台1 0 3中，依照預定間隔而形成諸多直線形開口 · (rectilinear openings) 104，以便允許充當一種用來形成刻劃 線痕（即：裂痕）的裂痕形成構件（crack_f〇rming means)之刻劃 構件1 0 5 :當刻劃玻璃基板1 〇 1的底面時，沿著開口 1 〇 4而 移動。各自利用氣缸（air cylinder)或其同類者來實現的推進 _ 構件1 0 6和定位構件1 〇 7會一起運作，以便將該玻璃基板 1 0 1依順序移到各個預定位置。推進構件1 〇 6在其尖端處配 備有推進銷（pushing pin) 110，而定位構件1 〇 7在其尖端處則 配備有定位銷（positioning pin) 11卜加壓構件1 〇 9加壓於玻璃 基板1 0 1，從其有沈積膜表面之上方加壓，頂住平台丨〇3 的頂面，以便將玻璃基板i 〇丨固定在適當位置。 其次’將要描述這種方法是如何運作的。當平台1们位 於由點線所指示的位置“a”時，藉由未圖示輸送機器來將 _ 玻璃基板10 1放置在平台上面，然後在定位構件1 〇7之尖端 處的定位銷1 1 1會突然下降（swoops down)在平台1 〇3的表面 上’以回應來自未圖示控制構件之一定位訊號。其次，在 推進構件106之尖端處的推進銷110會延伸，以便將平台 1〇3上的玻璃基板1〇1朝向由圖中之水平箭頭所指示的方 1 向移動，直到玻璃基板101與定位銷111接觸為止。以此方^ 式’將切開波璃基板1 〇 1之處與開口 1 0 4對淮 ^ 。 J卞。其次，控制 -10- 200303296 (6) 發明說明績頁 構件會下達指令，將玻璃基板101夾持在平台1〇3上面，然 後將加壓構件1〇9移到即將執行刻劃操作之處，進而加壓 頂住玻璃基板1 0 1的頂面，然後使刻劃構件i 〇 5刻劃玻璃基 板101的底面。當藉由依照形成刻劃線痕所依據的間隔加 以饋送而從一開口運行（traveHng)到另一開口時，刻劃構件 1 0 5就會重衩刻劃操作。於是，根據這種方法，透過形成 在平台103中的諸多開口 104而從基板底面之下方刻劃玻 璃基板1 0 1。此時’藉由夾持構件來將玻璃基板1 〇 i夾持在 平。1 0 3上面所用的力不足以對抗（⑶由刻劃構件1 〇 5 所施加的刻劃負-載（scribing l〇ad);因此需要補償這種不足 ’其万法是：利用加壓構件丨〇9，從基板有沈積膜表面之 上方加壓於玻璃基板。 適於以上述描述的刻劃（切開）操作之傳統方法及裝置 王要係針對切開一種具有形成在大型玻璃材料上面之保 護膜的玻璃基板而設計。然而，對於一種有諸如ΙΤ〇膜之 薄膜形成在其上面的坡璃基板而言，使用一種常見的加壓 (:者士 ”、、員示於圖52中的石έ碼形（weight_shaped)加壓構 件1 09)來對抗來自下方的刻劃負載，終於導致薄膜正在被 加壓構件本身的負載所毀壞。 針對液晶顯示元件的進一步成本降低而言，已經嘗試在 和薄膜（堵如·偏振片和保護片化^))形成在破 璃材料上面之後再切開大型玻璃材料；而不是像照慣例實 灯的那樣’在切開破璃基板之後再接合那些薄膜。已經習 、為¥的疋·在製造液晶單元（liquid crystai ceii)之過程的 200303296 f明說，讀頁 板的外表面 ⑺ 最後步驟中，將偏振片接合到上下兩個玻璃基 。這種方法涉及薄膜相對於玻璃基板的定位以及需要一項 額外步驟，因而會阻礙成本降低。 沈積膜之厚度會根據其類型而改變；雖然諸如I TO膜之 薄膜是幾微米（μπι)厚或更薄些，但是諸如偏振片之薄膜 層（film layer)則為1 0微米到0.6毫米（mm)厚。對於一種有這 樣的薄膜層形成在其上面的玻璃基板而言，直接地刻劃基 板之有沈積膜表面是不可能的。對適於以上描述的刻劃操 作之傳統方法及裝置而言，薄膜層的存在使它不可能在刻 劃操作之後切開-玻璃基板。 在另一方面，在中小型尺寸液晶面板（特別是那些具有 螢幕尺寸高達大約5吋的液晶面板）的情形下，習以為常的 是：製造它們的方法是首先將已經約略地接合在一起的大 犁玻璃基板切開成諸多條形玻璃基板，然後以預定方式來 處理它們，就像安裝和密封液晶在其間那樣，然後進一步 將它們精細地切開成預定面板尺寸，以產生許多個別單元 ，然後再將偏振片接合到個別單元，以產生許多液晶面 板。 現在，參考圖5 3，將要描述藉由這種傳統方法所製造的 液晶面板。在圖5 3中，顯示有傳統液晶面板的透視外形圖 ，其中：在（a)處的圖顯示其俯視圖（top side)，而在（b)處的 圖則顯示其仰視圖（bottom side)。這種液晶面板550是由一 對接合在一起的基板單元55 la和55 lb所組成。其中將液晶 密封在其間。兩個基板單元其中一個基板單元551a的一端 -12- 200303296 餐明說确績頁 ⑻ 從另一個基板單元551b的一端今 551 大出，並且在突出部份 (protruding portion) 551aa《内表面 元成連接端子（conn ection terminals) 553 ?精由該端子來 動液晶面板。而且， 在基板單元551a和551b的外表面上，/ ^ ^ >別接合偏振片5 5 2 a 和5 52b以便覆蓋顯示區域（未示出火 ^ ^液晶面板被設許传

用在一種藉由透射來自光源的光也、 T 一 <達成顯示之所謂的背 光型（backlit)液晶顯示裝置中時· $，兩個偏振片552a和5 52b 具有約略相等的尺寸，並且佈w 士、^ 、.w _ 置成破此相對，其中將兩個 液晶早元551a和552b包爽在其間。 以上描述的傳統方法涉及將每衾 对请夕偏振片逐一接合到個 別單元，終於導致極差的製造效率。即使當針對該目的而 使用一台專用機器時，靜電影響也會對能夠接合偏振片的 速率（一般說來，每個偏振片需要8到1〇秒鐘）設限。於是 ，為了應付市場上對高良率（yields)的需求（儘可能製造很 多液晶面板），在很多機器上需要同時地處理很多偏振片 片。這樣會大幅增加工廠設備開銷（plant-and equipment spending)，於是增加了當作終端產品之液晶面板的成本。 提議一種避免此事的方法，譬如說，在日本專利特許公 開申請案第H6-342139號中’披露了一種用來製造液晶面板 的方法；藉此’首先將有切割線痕（標記切開處）形成在其 上面之諸多預定位置處的偏振片接合到塑膠基板；然後沿 著切割線痕（cut lines)加以切開塑膠基板，以產生許多液晶 面板。根據這種方法，在基板被切開之前就將偏振片接合 到基板。這樣非系有助於按比例減少（scale down)接合偏振 •13- 200303296 (9) 發：明說明績頁 〜、 - -a 片的步驟本身。於是，改善製造效率而沒有過度增加工廠 設備開銷是可能的。 然而’這種方法具有下列缺點。第一’偏振片本身是由 包夾在兩個三醋酸纖維素（cellulose triacetate#)層中間的聚 ί χ ! Χ) 乙晞醇（polyvinyl alcohol)所形成或者以丙缔k樹脂（acryHc resin)來塗層，進而形成了一種大約0.2到0.6毫米的薄膜。 因此’當在這種偏振片中形成切割線痕時，意外的施加負 載可能使在切割線痕附近的偏振片部份變形，最後導致偏 振片翹曲（warping)或破裂。特別是，當接合到基板時，需 要將偏振片接合到基板，使得切割線痕都被定位在基底上 面的預定位置處。此事需要使用高精密度機器，它對於液 晶面板之成本降低是不利的。 第二’當基板被切開時，偏振片也會被切開（甚至在形 成一切割線痕處，橫跨線痕之偏振片的諸多部份也會互相 分開）°特別是使用易碎的玻璃基板作為基板時，因為基 板和偏振片具有相當不同的性質，所以除非特別小心，否 則玻璃基板可能在一些不適當的位置處破裂，或者是偏振 片可能會意外地剝落。那就是，將它們切開而沒有品質降 低疋非常困難的。於是，這種方法尚須改進。附帶地，日 本專利特許公開申請案第H6-342139號預先假定使用塑膠 基板’其材料與偏振片的材料類似；因為像基板那樣，所 以相當自然地，不需要特別考量切割它們的方法。 另一万面，在顯示於圖5 3中的傳統液晶面板中，因為兩 個個剑基板單元55 1 &和55 1 ^^都挺薄的（當由玻璃形成時，厚 200303296 (ίο) 度大約0.4到ο · 7毫米），所以特別是突出部 械特性是脆弱的。於是，當將液晶面板從— 發明說明績頁 出部份551aa，其機 位置輸送到另 一位置或者組裝在液晶顯示裝置中時，若有碰撞或掉落， 則笑出部份55 laa可能會破裂（cracke(i)或變形，或者會在轉 角處斷裂。於是，需要非常小心處理。 而且，近年來，偏振片本身

所形成。結果疋’在接合到基板單元^ 又偏振片的邊緣處， 經常會有觀察到的毛邊（burrs)及其同類者。這樣會使得將 · 液曰曰面板組裝在-液晶顯示裝置中是挺困難的，或者會造成 偏振片從基板單元意外地剝落。再者，在將一種可拆換 (removable)保護膜舖蓋在偏振片之外表面上以便和它整合 的情形下，當將液晶面板從一位置輸送到另一位置或者組 裝在液晶顯示裝置中時’該保護膜可能會從偏振片意外地 剝落，進而刮傷偏振片本身。 發明之揭露 本發明之一目的是··提供一種用來切開有沈積膜形成在 鲁 其上面之玻璃基板的方法及裝置；藉此，相對於刻劃破璃 基板5能夠切開玻璃基板而沒有受到沈積膜之存在或厚度 的影響。 本發明之另一目的是··提供一種沒有機械強度局部削弱 (local weakening)之憂慮以及沒有偏振片意外剝落之憂慮的 · 液晶面板。同時地，也是本發明之一目的是：提供一種藉 . 由切開具有接合到基板之偏振片的破璃基板來製造許多 -15- (11) 200303296 發明說明續頁 液晶面板的裝置，其中能夠在沒有品質降低卻- ^ 具有改善製 k效率的前提下製造如以上描述的液晶面板。 為了達成上述目的，根據本發明，在一種用 ^ ^ 喱用來切開有沈 %膝形成在其上面之玻璃基板的方法中， 扭膜兩 τ配備有：玻璃基 极+路構件（exposing means)，它用來去除沈於 八 μ /句膜之條形部 伤’以便將條形區域曝露在玻璃基板上面· 、 ，乂及裂痕形成 構件’它用來形成裂痕，以便允許沿著利用 接κ 坡碼基板曝露 構仵所曝露在基板上面的條形區域加 *破璃基板。此 時，沿著裂痕而切開玻璃基板。而且，根據本發明，在一 種用來切開玻審基板的裝置中，包括：工件載物台，將有 沈積膜形成在其上面的玻璃基板放置在該載物台上；牢固 構件（securing means)，它用來將玻璃基板牢固在工件載物 台上面之一預定位置1痕形成構件，它用來形成裂痕在 玻璃基板上面，以便允許沿著裂痕加以切開玻璃基板；以 及啟動構件（actuating means)，它用來將裂痕形成構件移到 -預定位置’纟中：該裝置會沿著裂痕而將玻璃基板切開 成許多區塊（blocks)，配備有一種坡璃基板曝露構件，它用 來去除沈積膜之條形部份，以便將條形區域曝露在玻璃基 板上面。此時，形成了裂痕，以#、乂 A從沿耆利用玻瑀基板曝露 構件所曝露在基板上面的條形區 、，上0日 > 成J：此 /政埤加以切開玻瑀基板。 就有可能去除足以形 著曝露在玻璃基板上 沿著裂痕加以切開破 何類型的沈積膜形成

藉由這種方法以及具備這種裳置， 成欢痕之沈積膜的諸多部份，然後沿 面的條形區域而形成裂痕，以便允許 璃基板。這樣就有可能切開一種有任 -16- 200303296 (12) 箐明乘明續頁 在其上面的玻璃基板而沒有受到沈積膜之存在的影響，該 沈積膜類型是··從諸如塗飾膜（〇verc〇ating m叫或透明電極 之薄膜到諸如偏振片之薄膜層，或者是諸如樹脂膜或保護 膜之高達1到2毫米厚的沈積膜。 而且為了達成上述目的，根據本發明，液晶面板是由 對接D在一起的基板單元所組成，其中··將液晶密封在 其間，以及將偏振片接合到基板單元之外表面。此外，兩 個基板單元其中一個基板單元的一端從兩個基板單元其

中另一個基板單元的-端突ώ，以便形成突出部份；將連 f场子形成在突·出部份之内表面上，藉由該端子來驅動液 ^ 、而偏振片會延伸以便覆蓋突出部份之外表面。於 大出刀藉由偏振片來加強（reinforced)。此結構增強 了機械強度。 而且’根據本發明，读曰品 ^ 履日日面板是由一對接合在一起的』 板單元所組成，並中 曰

、 ”甲·將硬日曰岔封在其間，以及將偏振J :】土板早7C《外表面。此外，形成偏振片之邊緣以4

朝向基板早兀漸漸變薄的縱斷面卜 。此結構會防止偏息 、 片足乂、，彖被偶然地絆住，於是有助；ί 防止其剝落。 且’為了達成上述目的，招 ^ 报據本發明，在一種用來製 U液晶面板的裝置中， 更月確些，在一種藉由切開破 ㈣基板來製造許多以、 芙板且右·佔 田A々硬晶面板的裝置中，該坡璃 .^ 置心许夕對將液晶密封在其間而接 否在一起的坡璃基板單元， 及接合到它們兩個表面的偏 -17- 200303296 (13) 發明說明績頁

振片；該裝置配備有：玻璃基板曝露構件，它用來去除偏 振片之條形部份，以便將條形區域曝露在玻璃基板上面； 以及裂痕形成構件，它用來形成裂痕，以便允許沿著利用 玻璃基板曝露機構所曝露在基板上面的條形區域加以切 開玻璃基板。此時，沿著裂痕而切開玻璃基板。於是，首 先，沿著兩個基板單元之間的邊界加以去除偏振片之諸多 部份，然後沿著曝露在玻璃基板上面之條形區域加以形成 適於切開操作的裂痕作為結果，然後再沿著裂痕而切開玻 璃基板。以此方式，生產出諸多個別基板單元，而每個單 元都會形成一假液晶面板。那就是，切開玻璃基板而沒有 品質降低是可能的。而且，不需要使用特別設備來將偏振 片接合在玻璃基板上面。這樣會提高製造效率。 實行本發明的最佳模式 在下文中，參考諸多附圖，將要逐一詳細地描述：用來 切開玻璃基板之方法及裝置，液晶面板，以及用來製造液 晶面板之方法；它們全都用來具體實施本發明。在諸多個

別實施例之描述中所指出的附圖中，諸如在不同實施例之 中具有相同功能之類的組件都儘可能地利用相同參考數 字加以識別，並且不會重複具重疊性的說明。 首先，將要描述本發明之第一實施例的玻璃基板切割方 法。圖1到3都顯示第一實施例的玻璃基板切割方法。圖1 (a) 是：概略地顯示如何去除形成在玻璃基板上面的沈積膜之 側視圖，而圖1(b)則是：當從其左侧看去時之圖1(a)的前視 圖。圖2更加詳細地圖解說明顯示於圖1中的操作，而圖3 -18- 200303296 (14) 释明辨_續1 則顯示如何在玻璃基板上面形成一刻劃線痕（裂痕”此處 ，沈積膜可能是任何類型的薄膜：從諸如塗飾膜或電極膜 之薄膜到諸如偏振片或者是樹脂膜或保護膜之較厚膜。 在圖1中，參考數字1表示有沈積膜la形成在其上面的玻 璃基板；參考數字2表示像木工鑿一樣的刮削刀具（shaving cutter)，它充當一種玻璃基板曝露構件，用來切割，刮除 ，進而藉以去除沈積膜丨a之條形部份，以便曝露玻璃基板 1，而參考數冬3則表示將玻璃基板放置和牢固在其上面的 工件載物台。如圖1(b)中所顯示，刮削刀具工具有一種實 質上主現V形且—具有開度角（〇pening❿以幻〇的截面。當將刮 削刀具2從左移到右時，像在圖i(a)中看到的那樣，移動方 向與玻璃基板1之頂面平行，其中將在刮削刀具2之尖端處 的切刻邊緣加壓頂任玻璃基板卜以便與沈積膜丨a之底面（ 即··玻璃基板1之玻璃表面）接觸；將沈積膜i a加以切割， 刮削，進而藉此去除以如圖1(a)中所顯示之廢棄條帶（waste strip) lb之形式呈現，該條帶會沿著切削邊緣之實質上呈 現V形溝槽（V-Shaped groove)而剝離。根據沈積膜丨a之厚度 和材料來碉整將刮削刀具2加壓頂住破璃基板所施加的力 。一般說來，對諸如樹脂膜之高達幾十微米厚的沈積膜而 奋’邊壓力是不會高於1牛頓（newton，N);但是，對大約〇 5 毫米厚的膜層而言，它卻等於幾十牛頓。 在圖1(a)中，根據沈積膜1 a之厚度和材料來調整在刮削 刀具2與玻璃基板1的表面之間的最佳角angie)a， 並且利用最佳角來執行沈積膜的刮削操作。在刮削刀具2 200303296 發明說明績頁 而，在沈積 (15) 與其切割邊緣之間的角β通常大約為9 0 ° 。然 膜1 a是一種幾十微米厚的薄膜或者在其它情況下是一種 相當厚的膜層之場合中，會根據沈積膜之厚度和材料來調 整角β，因此以具有最佳結果的方式來執行其刮削操作。 圖2更加詳細地顯示如何藉由顯示於圖1(a)中的刮削刀 具2來達成沈積膜1 a的切割和刮削操作。在其最簡單形式 中，形成刮削刀具2當作一種像V形木工鑿一樣的刀片，

其方法是：將一種具有厚度t的板形（plate-shaped)材料彎成 一種具有開度角Θ之實質上呈現V字形的形狀，如圖1 (b)中 所顯示；然後沿著切割邊緣都會形成間隙角（clearance angle) γ，如圖2中所顯示。

圖3顯示如何在由刮削刀具2所形成的刮削溝槽5中形成 刻劃線痕（裂痕）5 a，其方法是：當將刻劃刀具向下頂壓時 ，會使充當裂痕形成構件的輪形刻劃刀具（scribing cutter) 4 沿著刮削溝槽而滾動。充當裂痕形成構件之刻劃構件4具 有輪形刀具4a，其邊緣是由鑽石，超硬合金或其同類者所 形成，並且在支架軸（support shaft) 4b上可以依樞軸旋轉。 輪形刀具4a的邊緣角會根據玻璃基板之厚度和材料而在 從大約60°到140°的範圍内改變。於是，以下列這樣一種 方式來確定顯示於圖1(b)中之刮削刀具2的開度角：當在玻 璃基板1之表面上形成刻劃線痕5 a時，允許將刮削溝槽5 加以成形（shaped)和定出尺寸（sized)，使得輪形刀具4a不會 妨礙到沈積膜1 a，否則會有不利的影響。 圖4(a)是：顯示在本發明之第二實施例的切割方法之一 -20- (16) 200303296 發明說明績頁 不思圖。當與圖解說 — 月罘一貫施例的圖1相比較時，此處 的輪形刀具1 2具有_蘇 ^ ^ 種不同的截面形狀。顯示於圖4(a)中 的弟-*貫施例第_ 、 〃 灵知例不同在於：刮削刀具1 2之尖端 處的切割邊緣，合愈诚+ /、坡^基板之表面接觸的地方不是呈現 V形開口，而异且古坐—^ 、 仏 R 1 之圓孤形開口（arc-shaped opening)

，如圖4⑷中所顯*。其特徵為刮削刀具i2之切割邊緣的 圓弧形截面之第二實施例和其它一些實施例都具有下列 優點。獲得一種在顯示於圖3中的刮削溝槽5之底部處的寬 度（即：一種在玻璃基板上面之曝露區域（條形區域）中的 寬度）比在第一實施例中的還要寬是可能的。 、 每樣會導致 在輪形刀具4 a之邊緣的定位操作有較大的交 谷限（margin)。而 且，加壓力（pressing force)也不會像在第一會竑 只她例中那樣集 中在刮削刀具之切割邊緣處的一點上。這样古^^ 、 、银有助於將刮削 刀具12之切割邊緣的銳度（sharpness)維持輕ι 伙长一段時間。 像在第一實施例中那樣，根據輪形刀具4a之遠& ^ 心邊緣角和沈積 膜1 a之厚度而適當地確定切割邊緣之半徑R Ί ^ ^ K 1和開度角。 在其它方面，包括如何形成刻劃線痕，第二每、Α , 只施例會以和 第一實施例相同的方式來運作，因此不會重銪m丄 至禝具重疊性的 說明。 圖4(b)顯示本發明之第三實施例的切割方法。 / 。在第三實 施例中，進一步開發第二實施例的特點。明 ^ 隹地說，此處 ，在刮削刀具22之尖端處的切割邊緣之截面來 々狀疋由：與 玻璃基板1的表面接觸之具有寬度L 1的绩μ、 ^ Γ生部份（linear portion)以及切割沈積膜la之具有開度角θ1 的傾斜部份 -21 - 200303296 (17) 發明說明績頁

(slanted portions)所組成。在線性部份與傾斜部份會合處， 它們都是藉由兩個小圓？瓜r 2加以連接在一起。此結構有助 於以具有滿意結果的方式來執行沈積膜1 a之切割和刮削 操作，並且也有助於延長刮削刀具2 2之切割邊緣的工作壽 命。當與第二實施例相比較時，其中在刮削溝槽5之底部 處的寬度是由L 1加以確定的第三實施例會允許比較容易 設定刮削溝槽之尺寸。像在第二實施例中那樣，根據輪形 刀具4 a之邊緣角和沈積膜1 a之厚度而適當地確切割邊緣 之形狀和尺寸（明確地說，就是L 1和θ 1之數值）。在其它方 面，包括如何形-成刻劃線痕，第三實施例會以和第一實施 例相同的方式來運作，因此不會重複具重疊性的說明。

圖5和6顯示本發明之第四實施例的切割方法。圖5(a)是 :顯示在第四實施例中如何藉由佈置成彼此相對的兩個平 板形（flat-plate-shaped)刀具3 2和3 21來切割形成在玻璃基板1 上面之沈積膜1 a的側視圖，而圖5(b)則是當從由圖中之一 箭頭所指示的方向看去時之圖5(a)的前視圖。在本實施例 中，當刻劃玻璃基板時，使輪形刀具4 a之邊緣與玻璃基板 1之玻璃表面接觸，在沈積膜1 a中形成一刮削溝槽，其方 法是：朝向由圖5(a)中之一箭頭所指示的方向，移動實質 上彼此平行地佈置並且保持與沈積膜1 a接觸的兩個刀具 ，以便切割沈積膜1 a。譬如說，將形成具有如圖5(a)中所 顯示之側面形狀的兩個刀具3 2和3 2 ’加以佈置成具有切割 角（cutting angle) ε，根據沈積膜la之厚度和材料而將該角度 適當地確定在譬如說是從2 0 °到5 0 °的範圍内；並且當加 -22- 200303296 (18) 發明辑明績頁 壓頂住玻璃基板時，以像箭頭所指示那樣與玻璃基板1平 行的方式來移動刀具，以便切割沈積膜1 a。如圖5(a)中所 顯示，像在第三實施例中那樣，將兩個刀具3 2和3 2 ^之間 的間隔L2和傾斜角（inclination angle) Θ2加以確定，使得：當 刻劃玻璃基板1時，輪形刀具的邊緣不會妨礙到沈積膜1 a。

在第四實施例中，即使在沈積膜1 a被兩個平板形刀具3 2 和3 2 ’切割之後，沈積膜1 a仍然會以如圖5(b)中所顯示的廢 棄條帶lb之形式呈現，因此在一下游（downstream)步驟中需 刮除和去除這種廢棄條帶1 b。達成此事的方法是：譬如說 ，利用一種像蔣示於4(b)中之刀具那樣的刮削刀具來刮除 和去除條帶，該刮削刀具有一種梯形（trapezoidal)或C字形 (C-shaped)截面，並且具有一種等於或稍微小於圖5(b)中所 顯示之L2的底部寬度L 1。在第四實施例中，切割和刮削 係在不同步驟中進行。然而，此結構使它可能比在第一到 第三實施例中還要銳利地切割沈積膜1 a。於是，甚至於像 1到2毫米一樣厚的沈積膜也能夠以切割表面具有滿意品 質的方式加以切割。而且，藉由使用一種如圖6中所顯示 之為人所熟知又商場上現有的刀片（cutter blade) 32b，就有 可能便宜地購買刀具。 圖7顯示本發明之第五實施例的切割方法。本實施例是 第四實施例的一種進一步開發版本。明確地說，除了使用 如圖7中所顯示之刀具42而不是顯示於圖5中所顯示之刀 具3 2外；在本實施例中如何執行切割，刮削以及刻劃操作 與在第四實施例中的一樣。於是，圖7之左侧或右侧視圖 -23- 200303296 (19) 發明說钫續買

與圖5(b)完全相同，因此將它省略。鑒於第一到第四實施 例中刀具只允許朝向一個方向（即：朝向刀具移動的方向） 而執行沈積膜1 a之切割和剖削操作，在本實施例中將刀具 賦予如圖7中所顯示之側面形狀，以便允許像在圖7中看到 的那樣也會朝著向左和向右兩個方向執行切割操作，當改 變切割方向時並不需要改變刀具佈置。將刀具4 2之兩個切 割角εΐ和ε2加以確定，以便提供適合沈積膜ia之厚度和材 料的最佳切割條件。當使用刀具4 2來執行雙向切割時，通 常將兩個切割角ε 1和ε 2設定成彼此相等。一種與使用在第 四實施例中之方-式類似的方式，朝著向左和向右兩個方向 ’各別地執行廢棄條帶1 b之刮削和去除操作。 圖8顯示本發明之第六實施例的切割方法。在本實施例 中’使用一種由刀片5 2a和刀柄部份（holder portion) 52b所組 成的刮削刀具5 2。在以上描述的第一到第五實施例的切割 方法中’用來切割和刮削沈積膜丨a的任何刀具都可能適應 於本實施例之刀片52a。刀柄部份52b可作為當切割和刮削

沈積膜1 a時固疋刀片5 2 a的手柄之用。此外，藉由將刀柄 部份5 2b之長度和截面形狀加以統一和標準化成譬如說是 種具有預疋尺寸的長万形形狀，在利用固定到夾具㈣ 或機态的刮削刀具5 2來切割和刮削沈積膜的場合中，就有 :能藉由互換在單一夾具或機器上的刀具而使用第一到 第五實施例中的任何刀具。 刀柄部份52b最好是由_絲、+ 、 適當彈性的材料所形成：譬 如說’諸如Duraeon(杜拉唐科 》对脂）或Delrin(戴爾林樹脂）之樹 -24- 200303296 (2〇) 發明說明績頁 --, 脂；或者是更柔軟的橡膠，諸如矽酮橡膠（silc〇ne rubber) 或腈橡膠（nitrile rubber);或者在某些情形下就是木頭。藉 由這麼做’在打算被刮削的沈積膜之厚度或硬度（hardness) 方面縱使有所，交化或其同類者，刀柄部份5 2 b之彈性 二 (elasticity)也會吸收在對切割和刮削操作之阻力（resistance) · 方面的變化。可能使用此結構作為：在一種應用本實施例 之諸多技術的切割裝置中之一安全機構（safety 。可能藉由利用兩個螺旋彈簧（c〇il springs) 77a和77b(參看圖 1 5和1 7)的動作來賦予刮削刀具52彈性，與第九實施例有鲁 關’稍後將會描-述此事。 在第一到第六實施例中用來切割和刮削沈積膜丨&的刀 具之刀片是由一種常見的材料所形成，諸如··含碳工具鋼 (〇n t〇〇l Steel)或馬氏體不銹鋼（martensitic stainless steel)， 依需要藉由熱處理或其同類者使其變硬。然而，針對刀具 4材料並沒有設限，只要它能夠適當地切割和刮削由不同 材料所製成以及具有不同厚度的各種沈積膜i a。而且，在 本只她例中用來切割和刮削沈積膜工&的刀具，它會沿著一 φ 段延長長度而形成其截面形狀，諸如與第一到第五實施例 有關所的形狀。此結構使得反覆地研磨（㈣叫切割邊 、’彖和刀片使用較長一段時間是可能的。 圖9顯示本發明之第七實施例的切割方法。在本實施例。 的切割方法中，在刻劃操作前之一上游(—ham)步驟中，、 依照與在以上描述的第-到第六實施例其中之-實施例· 中相同的方式來刮削和去除沈積膜"。明確地說，在第一 -25- (21) 200303296 第六實施例中’如圖3中所顯示 兩'沈積腊^ 刮削以及去除，、以便在沈積膜1 a中 a u以切割 ，當加壓於刻劃構件時，使刻劃構件沿〜 後 然 元成刮削溝槽- 底部1 c (即··沿著在破璃基板1上面的停 j削4槽5之 J ¥ %區域）滾香 便形成〆條刻劃線痕5 a。在第七實施例中_ /力，以 ^ Y，猎由刻查，丨+ 板之有沈積膜表面對面的基板表面來切開 3在基 _ 吸璃基板。 如圖9中所此、不’藉由諸如真空夾持操作、 一 <未圖示傘 方法，將玻璃基板1牢固在工件載物台3上而. 固 、 在工件栽 台3中，形成狹長開口（elongate opening) 3a，a你人 更允终刻童 構件4加以刻劃玻璃基板1之底面。在本實施例中，^ ㈤ 第一到第六實施例有關所描述的其中之一女 由輿 、 · 法，將刻劃絲 痕5c形成在玻璃基板！之底面上，它位於形成在破璃爲’ 之頂面上的刮削溝槽5之底部1 c的正下方。 板1 在繼刻劃步騾之後的玻璃基板切割步驟中，將加厥 加到在形成刻劃線痕之表面對面的表面，使得在刻气纟她 中的裂痕逐步擴展，直到玻璃基板斷開為 痕 諸多方法 中’其中在形成在沈積膜1 a中的刮削溝槽5之底部i e 上 行刻知作；在繼刻劃步驟之後的切割步驟中，施力 加壓力並且從在刻劃表面對面竹旳基板表 、 甸下万切割坡 璃基板是必要的。於是，譬如說，在諸多方法中， 將玻璃基板之刻劃表面（即··有沈積膜表面）直接放 ’ 台上面，並且藉由加壓器或滾壓器而從上方施加負

到羞L 板；施加用來切開玻璃基板的加壓力可能使直接放置在工 件載物台上面的沈積膜層毁壞或變形。相對照下，在第七 -26- 200303296 (22) 發明說钥續頁 實施例的切割方法，可能朝向由箭頭B所指示的方向而施 加：一種由適應於到削溝槽5之形狀和尺寸的板形加壓夾 具（pressing jig)或滾壓器所施加的加壓力，以便集中在圖9 中所顯示的刮削溝槽5之底部1 c上。此方法允許刻劃線痕 5 c垂直地逐步擴展，進而達成切割操作。於是，切開玻璃 基板而沒有加壓或觸及沈積膜1 a是可能的。

圖1 0到1 3顯示本發明之第八實施例的切割方法。當處理 一種有大約0.05毫米到2毫米厚且一般說來諸如樹脂膜的 相對厚沈積膜形成在其上面的玻璃基板時，本實施例被設 計用來達成在刻劃操作之前的令人滿意之沈積膜刮削和 去除操作。此時，將使用在第一和第二實施例中的刮削刀 具之優點結合在一起；明確地說，基於一種圓條形 (round-bar-shaped)材料而形成使用在第一或第二實施例中 的切割邊緣之形狀。此結構允許以具有較佳結果的方式來 到削沈積膜。

圖1 0顯示：使用在本實施例中的刮削刀具6 2之前視圖和 側視圖。將諸如超硬合金或含碳工具鋼的圓條形材料形成 為刮削刀具的形狀。圓條形材料之外徑d 1是根據打算被刮 削之沈積膜的厚度而適當地確定，並且一般說來是5到1 0 毫米。符號F表示扁平刀柄部份，它是藉由切斷與其平行 的一部份圓周d 1而形成，如圖1 0中所顯示。該刀柄部份可 作為一個參考表面之用，相對於該表面而形成其它部份； 並且也會提供一種與顯示於圖8中的刀柄部份5 2b之功能 類似的功能。如此確定刮削刀具6 2的總長L 3，以便配合 -27- 200303296 (23) 發明說明績頁 固定它所用的構件（member)以及使用到它的裝置（apparatus) ;並且在本實施例中將總長度設定等3 5毫米。如在圖i 〇 之薊視圖中所顯示’從刮削刀具62之一端面（end surface) 起，形成刮削刀片長達一段長度L4，該刀片具有一種具 備開度角θη之實質上呈現v形的截面。稍後將要詳細地討

論θη之數值。根據打算被刮削之沈積膜的材料和厚度而 將刀片長度L4確定在從5到1〇毫米的範圍内，並且在本實 施例中將它设定等於7毫米。位於圖中所顯示之部份“ i，， 的右側上面 < 刀片溝槽部份被形成為一種帶有平緩曲線 R3的圓？瓜形溝椿，因此足以平順地彈出（eject)已經被刮除 的直線形廢條帶1 b。在本實施例中，將R3設定等於3 8毫 米。根據沈積膜之材料和厚度以及刻劃刀具之尺寸而將具 有V形截面的刀片之底部的曲線R4確定在從大約〇 5到i Φ米的範圍内。在本實施例中，將R4設定等於〇 · 5毫米。 切割邊緣需要被設計用來徹底地刮削和去除沈積膜；因此 ，如此形成以便在兩個階段中具有兩個尖端角（up仙§1〇们 和Θ8。在圖1〇到13中，tl表示：從切割邊緣到叨與⑽之間 的邊界之距離。將細節部份顯示於從圖12中之方向c看去 的視圖中。在本實施例中，將"設定等於〇·3毫米，㈣ 定等於3G°，以及θ8設定等於40。。藉由設定U等於像0.3 毫米一樣小，當將在切割邊緣部份11中的尖端角θ8設定等 於4 0 °以便在刮削刀且6 2之切金丨丨 /、6 邊緣處獲得足夠的機械 強度時，將有效尖端角07設定成相對小（即：等於3〇。）以 獲得令人滿意的刮削效能是可能的。 -28- (24) 200303296 杳明說明續頁 其次，將要描述第八實施例 解說明於諸多附圖中的事物上 削刀具62來刮削和去除形成在 的運作情況，其焦點放在圖 面。圖1 1顯示··如何藉由刮 坡璃基板1上面的沈積膜i a 。相對於玻璃基板而佈置刮削刀具所形成的角θ9對應於 執行切割和刮削操作所形成的斜角（rake angle)，並且根據 沈積膜之厚度和材料而將該斜角加以適當地確定在從35。 到45的範圍内。在本實施例中，當將此角設定等於43。 時，就會以具有滿意結果的方式來切割和刮削一種i毫米

厚之基於橡膠的（rubber-based)沈積膜。圖丨丨顯示：當朝向只 方向移動時，刮-削刀具62如何切割和刮削沈積膜丨a。沿著 在圖1 0中標記為G的圓弧形溝槽加以平順地彈出被 y 4除 的廢棄條帶1 b。將刮削刀具62垂直地向下加壓頂住破瑪義 板1之表面所施加的加壓力大約是1到40牛頓（N)。較強 v 加壓力在沈積膜下方的玻璃表面上產生剖痕（scratch)，它 對刻劃操作有不利的影響。

現在，將要參考圖12而描述顯示於圖1〇中的θη，圖 是刮削刀具6 2之一放大前視圖。根據刻劃刀具之尖端角而 將由刮削刀真6 2之切割邊緣所形成的開度角θ 3確定在卜 50°到140。的範圍内。使得在距切割邊緣3到1 0毫米之趣 離處所測量的開度角Θ4小於Θ3，相差3。到6。之範圍内的 角度。將要參考圖1 3而描述使得Θ4小於θ3的目的及優點 。圖1 3是：當從上方看去時’沿著直線m-n所採取之_禾 於圖12中的刮削刀具62之切割邊緣的剖視圖。隨著θ4小 於㊀3，當刮肖J刀具6 2朝向以Κ方向移動而切割和刮削沈積 -29- 200303296 (25) 發明說明續頁

膜1 a時，它會形成相對於切割方向之一角度δ 2。這種角δ 2 的存在足以增加在切害!I理論中所謂剪切角（shear angle);藉 此允許以具有較佳結果的方式來切割和刮削沈積膜。在諸 多實驗中，會以比當沒有δ2存在時（即：當將Θ3和Θ4設定 相等時）還高得多的切割1刮削可加工性（workability)和切 割品質的方式，加以切割和刮削一種1毫米厚的樹脂沈積 膜。在本實施例中，譬如說，當將Θ4設定等於80°且將Θ3 設定等於84° (即··隨著Θ4小於Θ3相差4° )時，就會以具有 最佳結果的方式來切割沈積膜；並且，如以上描述的，當 使得Θ4小於Θ 3相_差3 °到6 °之範圍内的角度時，就會獲得 滿意度幾乎可以相比的切割品質。關於一種厚度為0.5毫 米或更多之樹脂或基於橡膠的沈積膜，藉由使得在距刮削 刀具之尖端一段距離處的開度角Θ 4小於在刮削刀具之尖 端處的開度角Θ3來獲得切割品質之改善是可以顯著地觀 察到。

在圖1 0中，δ 1指出··切割邊緣不是垂直於刮削刀具62 之圓周，而是如圖中看出的那樣全部地稍微向内傾斜。這 意謂著：使得Θ3小於Θ4，終於導致產生δΐ。在另一方面 ，在圖1 2中，將Θ 5和Θ 6顯示於當從C方向看去時在切割邊 緣附近的剖視圖中。這意謂著：在圖1 0和1 2中，譬如說， 當將Θ 3設定等8 4 °且將Θ 4設定等於8 0 °時，縱使Θ 7設定等 於30°且將Θ8設定等於40° ，Θ5也會等於大約22°且Θ6也 會等於大約3 1 ° 。 如稍早描述的，製造刮削刀具6 2的方法是：將一種諸如 超硬合金或含碳工具鋼的可熱處理材料（heat-treatable -30- 200303296 發明說明績頁 ——------- 邊緣處或整 (26) material)形成為刀具的形狀，然後以只在切割 個刀具的方式施以熱處理。第八實施例之特徵為··用來刮 削沈積膜的刮削刀具之形狀以及如何刮削沈積膜；而繼刮 削步驟之後的刻劃步騾則是藉由第一實施例作為範例的 方法或第七實施例的方法加以執行。 其次，當作本發明之第九實施例，將要描述使用第一到 第八實施例之切割方法的切割裝置。圖1 4是：用來圖解說 明使用第一到第八實施例之切割方法的切割裝置之前面 (front face)的示意圖。參考數字66表示：一種在底部處配 備有刻劃刀具及-/或刮削刀具的刻劃裝置（scribing unit)。藉 由使用一種利用液壓（hydraulic pressure)，壓縮氣壓 (compressed air pressure)，彈簧之彈性能（resiHence)或其同類 者之未圖示的為人所熟知的加壓構件，當以一預定負載加 壓於刀具而頂住玻璃基板1時，刻劃裝置6 6就會沿著一種 由為人所熟知的球形滑件（ball slide)或其同類者所組成的 導軌（guide rail) 67，像在圖中看到的那樣左右地移動刻劃 刀具和刮削刀具。在顯示於圖丨4中的實例中，將刻劃裝置 66的零件固定到確動皮帶（timing belt) 65。當諸如馬達 (motor)之一未圖示驅動構件（driving means)轉動滑輪（pulley) 64時，繞著滑輪64通過旳確動皮帶65會沿著導軌67而運行 一段所需距離。在示意圖中，刻劃裝置66是由確動皮帶65 所驅動，然而，藏裝置可能由諸如球形螺絲（ball screw)之 為人所熟知的啟動構件以及馬達和驅動它之控制器的一 種組合所驅動。 -31 - (27) 200303296 發明說萌績買. 將底盤（chassis) 60’工件載物台63，以及 . λ/,α 又知架(support stand) 03以口以整合形成。在工件 Μ r t· l 1 、立_ 士 口 中，將諸多吸孔 (suct_ h〇les)垂直地形成在適當位置處以便少$ 一 如真空央持操作之未圖示牢固方法來將玻璃基：二; 工件載物台63的頂面上。藉由安置底盤6〇内之旋轉 !作，當從圖14之上方或下方看去時，工件載物台63和支 ^牙架63a都可以旋轉多達9〇。。 L』私動滑車（C-shaped movable block) 200跨越底盤60的頂面， 卫上·稽田諸如馬達 之一未圖示驅動構件和一未圖示控制構件，使它相對於底 盤60每次都像矣圖中看到的那樣向前或向後移動長達2 段所需距離。如以上描述的，在本實施例的切割裝置中， 刻劃裝置66的滑行移動以及工件載物台63的9〇。旋轉會 允許朝向X和Y兩個方向（即：依照一種格子狀圖案 (grid-like pattern))而刻劃玻璃基板1。 圖1 5是：詳細地顯示在圖1 4中所顯示的刻劃裝置6 6之妹 構的示意圖。裝置底板（unit base plate) 71與顯示於圖1 4中 的確動皮帶65和導軌67相鳴合（engage)，以便允許整個刻 劃裝置66滑動。接頭（joint) 74會將裝置底板7 1接合到刻劃 底板75。將接頭74之後面部份（rear portion) 74b加以整合固 定到裝置底板7 1，其中利用螺絲或其同類者從其後面銜接 裝置底板7 1。藉由諸如顯示於圖中的燕尾接頭（dovetail joint)之滑動構件或者諸如球形滑件之為人所熟知的滑動 構件之動作；接頭74之前面部份（front portion) 74a和後面部 份7 4 b，以及整合固定到前面部份7 4 a的刻劃底板7 5 —起能 -32- 200303296 (28) 凌明說明績頁 夠上下滑動。利用由未圖示螺旋彈簧所施加的張力（tensi〇n) ’相對於裝置底板71，會將接頭74之前面部份74a和整合 接合到該部份的刻劃底板7 5始終保持向上牽引。藉由透過 分厘裝配塊（micrometer fitting block) 73而固定到裝置底板7 1 的分厘螺絲（micrometer screw) 72之尖端來停止向上張力。 分厘螺絲72被使用來微調（fine-adjust)和適當地設定··包栝 刻劃底板7 5之整個裝置的垂直位置，以及稍後描述之刻劃 構件和刮削構件之尖端的垂直位置。

在刻劃底板75上面’支撐有一刮削塊（shaving block) 81和 一刻劃塊（scribing block) 82，兩者是實質上呈現L形，以便 可以繞著轉轴8 3而同軸旋轉。在刻劃底板7 5上面，固定有

一支撐塊（support block) 76，利用兩個調整螺絲76a和76b與 它形成螺絲嚙合（screw-engaged)，在每個螺絲尖端各自形成 一個掛鈎。從這些掛鈎起，將兩個螺旋彈簧7以和77b伸展 到分別旋轉螺絲進入刮削塊8 1和刻劃塊8 2之尖端中的彈 簧末端螺絲7 8 a和7 8 b。在這種結構中，刮削塊8丨和刻劃塊 82始終都被施力，當從圖丨5之前面右側看去時，該力會使 它們繞著轉軸83而反時針旋轉。那就是，始終向下加壓於 刮削構件202和刻劃構件。藉由在與刮削塊8丨和刻劃塊82 之垂直臂部份（vertical arm portions)形成螺絲嚙合的兩個止 動螺絲（stopper screws) 80a和80b之尖端與形成一種固定到 刻劃底板7 5的止動/加壓構件（stopper/pressing means) 79上面 的兩個尖端79a和79b之間的接觸來停止這種反時針旋轉 。當以一種大約10到20牛頓的加壓力向下加壓於刮削構件 -33- (29) (29)200303296 發明說明績買 寺就會以一種大約1到4 〇牛頓的加壓力向下加壓於刻 剑構件1 4 ,那就是，以不同的加壓力向下加壓於它們。因 此依肤會產生適合它們的適當負載之張力來個別地設定 螺旋彈簧77a和77b。藉由將調整螺絲76&和？6b加以旋轉螺 =進出支撐塊76來微調張力。藉由延伸一種與裝配在其尖 崎處《fc測态（detctor)整合的心軸（spin(Jie)以及使用一種諸 如線性標尺（lineai· seale)或差動變壓器加心體) 之為人所熟知的電檢測構件’沈積膜表面檢測構件8 4就會 透過未圖示訊號電纜而檢測出形成在玻璃基板上之沈積 挺的垂直位置。用來檢測沈積膜表面的檢測構件Μ之尖端 …被形成為-種由諸如尼龍（nyl〇n)或特氟龍（漏⑽⑽所 製成的滾壓器（roller);而檢測器則以—種像〇 2牛頓一 樣低或更低的感測力（sensing f〇rce)來運作，以致於不會使 沈積膜la之表面刮傷或變形。圖16⑷是當從上方看去時的 —種用來顯示在圖15中所顯示的諸多主要組件之平面圖 ，其中組件諸如：刮削塊81，刻劃塊82，充當玻璃基板曝 露構件的刮糾構件202，刻劃構件14，以及沈積膜表面檢 測構件84。此圖顯示：當作沈積膜表面檢測構件84的結果 ’將刮削構件202以及刻劃構件14佈置成—排，當刻劃裝 置66沿著一條路徑移動時，同時地刮削沈積膜“和刻劃玻 璃基板1的頂面是可能的。 其次，將要描述本發明之第九實施例的切割裝置之操作 和運作情況。圖17是用來顯示圖14之切割奘罢老士 _ τ 4灰置處在一種狀 態中的前視圖；在該狀態中，刻劃裝置66位於最左的備用 -34- 200303296 ^ } 發濟說哭續頁 (stand-by)位置，即··沈積膜表面檢測構件科的檢測尖端84& ，刮削構件202，以及刻劃構件14全部位於遠離玻璃基板1 的頂面處。在這種狀態中，刮削塊8 1和刻劃塊82都被施加-雖然邊力會藉由螺旋彈簧7 7 a和7 7 b的張力來使它們繞著·_ 轉軸8 3而反時針旋轉，但是會藉由兩個止動螺絲8 0 a和8 0 b · 之大崎與止動加壓構件79的兩個尖端79a和79b接觸來停 止故種反時針旋轉；於是，刮削塊8丨和刻劃塊82繼續保持 靜止。切割裝置操作如下。首先，對第一移動命令訊號作 出回應’刻劃裝置6 6會朝向由圖丨7中之箭頭Μ所指示的方 _ 向而移動。當刮削塊8丨向右移動時，沈積膜表面檢測構件 84的檢測尖端84a會運行在玻璃基板i上面，並且會檢測出 沈％膜1 a义表面的位置。然後，配備在止動加壓構件7 9 中的氣缸會延伸，並且其尖端7 9 a會加壓於止動螺絲8 〇達 到種預足程度，使得：刮削構件2〇2之尖端受到控制， 田根據檢測構件84所提供的檢測結果而校正時，會基於在 破璃基板1上面的沈積膜丨&之厚度而觸及玻璃表面。當刻 劃裳置66移動長達圖17中所顯示的一段距離以時，刮削鲁 構件202就會開始切割和刮削沈積膜“。當刻劃裝置“進 查步移動並且芫成圖丨7中所顯示的一段距離l6時，在刻 劃構件14之尖端的輪形刀具14a會運行在已經刮除沈積膜 1 广：已曝露玻璃基板i的頂面上。刻劃塊82被施力，該力~ 藉由螺狄彈貫77b的張力而使它反時針旋轉；於是，輪、 7刀具14a會在其尖端處施加一種向下動作的預定加壓力· %種加壓力允許玻璃基板1之頂面的刻劃操作。圖18顯 -35- (31) 200303296 發:碎諫明績頁 tjt :剖削構件2 0 2如何刮肖,|、+主> 1 —— - 、. ]沈積胰1a，以及刻劃構件14如 何刻劃己經刮除沈積膜丨之 露 又已曝路破璃基板1的頂面。像 a 稍早描述的那樣，在刻劃構件14之尖端處的輪形刀且“象 被形成為-種像檢測構件尖端m—樣的滾子，並且、j 要像剖削構件202所執行的破璃基板！之表 而 或者輪形刀具14a的尖端之垂t 置 6、檢測 、 崎义垂直位置的碉整。於是，者向 下加壓於刀具時，只是藉由移動被形成為滾子的輪形:且 14 a來達成玻μ基板1之頂面&刻劃操作。於是，在_示於 圖18中的狀態中，用來順時針旋轉刻劃境82的止動:加壓 構件7 9的尖端7 9~b不是正在操作。 在圖17和18中，顯示有一種除塵構件(細一ng_ns) 85之貫例n構件85是—種由軟樹脂或橡膠所製成的軟 管，因而可以和刻劃裝置66_起彎曲式移動。除塵構件85 具有開口位在靠近刮削構件202和刻劃構件14之處，因此 藉由使用-種諸如真空吸塵器（V繼um)的負壓力供應構件 (negative pressure supplying means)就足以去除在刮削和刻劃 操作期間所產生的微粒塵埃（particulate ‘Ο。端視產生的 微粒塵埃之粒子大小和數量而定，可能換成使用一種諸如 噴氣除塵器（sprayed air)的正壓力供應構件。能夠藉由一種 配備在刮削構件202中的去除構件（就像顯示於圖1〇中的 G —樣）來去除已經被刮除的沈積膜。就去除細微刮屑卬以

ShaVmgS)而言5可能配備一種刷形除屑器（brush-like remover) 緊接在刮削構件202後面。 在圖1 8中’當刻劃裝置6 6進一步移動直到檢測構件8 4 -36- 200303296 (32) 的檢測尖端84a跌落低於沈積膜ia之表面位置為止時就 會產生一種指示刻劃步驟結束的訊號。從這個時候起，刻 劃裝置66會進一步移動表長達—段比檢測尖端8乜與刮削 構件202的尖端之間的距離（即：顯示於圖丨7中的尺寸 达長的距離。在疋成刮削操作之後，止動/加壓構件7 9的 尖端79a會在未圖示控制構件的控制之下進一步延伸其氣 缸，使得：將到削構件2〇2向上移動，遠離了玻璃基板ι 的表面。就像關於刮削構件2〇2那樣，在刻劃裝置Μ已經 移動長達一段距離之後可能會將刻劃構件"向上釋放，該 距離對應於圖17中所顯示的檢測尖端8牦與輪形刀具i4a 之間的距離L6。$而，在刻劃操作期$，將止動/加壓構 件79的尖端79b保持遠離止動螺絲8〇b的尖端，並且當完成 刻劃操作時，輪形刀具14a—跌落低於玻璃基板1的頂面， 該尖端79b就會在螺旋彈簧77b的張力之下與止動螺絲8扑 的尖端接觸。#是，可能使用此方法來接通電接點(ekic contact)以延伸氣缸，並且藉ιϊ:μ轉：# —|…^ , 精此釋放刻劃構件1 4到玻璃基板 上方。後面的方法在技術上較為簡單。以此方式，在將沈 積膜u刮削以及將已經刮削沈積膜u之玻璃基板i的表面 加以刻劃之後，就會將刻劃裝置66移動回到備用位置，其 中：將刮削構们02和刻劃構件14舉#，以便不會妨礙到 玻=基板。其後’當每次將參考圖14所描述的㈣滑車2〇〇 向前或向後移動長達一段所需距離時，就會重複刮削和刻 劃操作。以此方式’能夠將有沈積膜形成在其上面的玻璃 基板刻劃成諸多依照所需間隔而侔置的條形區域。然後， -37- (33) 200303296 發嗍說明績買 笛::丨:::丨丨織彳:雜繼爾;漏_丨;丨鶴;丨 將參考圖14所描述的工件載物台63旋轉多達9^^^ 4 一 一 亚且巩 ::二通似步驟，以便將有沈積膜破璃基板刻劃成格子狀 :由利用參考圖14之和稍早描述的下列事實，也能夠達 、從有沈積膜玻璃基板起依照格子 ^ - 97, . 口木木刮削沈積膜 子狀圖案來刻劃基板，該事實是：刻劃裝置66 曰中|出的那樣左右地移自，而移動滑車_則會 像在圖14中看到的那樣來回移動。也可能構築工件載物2 :3 ’以便如圖14中看出的那樣來回移重力。在那種情形下， 需要將顯示於郾14中之裝配在刻劃裝 3虛 蚩丨丨播从4 4處的刻 d構件和刮削構件加以構築，以便整合成可以相對於玻璃 :板表面而旋轉多達90。。明確地說，採用-種像顯示41 的移動裝置（m〇vable unit) 41〇之結構—樣的結構，哕 示稍後y、+、 Μ圖乳、 mm的第十人到第二十-“例。在顯示於圖4ι 、：移動裳置41〇中’參考數字430表示：用來切割偏振片 :人：成彼此相對的兩個輪形刀具之組合。藉由採用這種 正0〜構，其中：兩個輪形刀具代替單一輪形刀具

劃換作> m 亥1J 用，而切割機構4 6 0則代替刮削構件， U Ιέ/ ~jr g 加以 疋及的90。旋轉能力是可能的。再者，藉 轉食匕* "口丄⑽旋 b ’朝向x和γ兩個方向而去除沈積膜和刻童丨丨其扣3 可能的。 』-1基板是 上刮削構件202和刻劃構件14會以不同時序來分別起動和 停止刮削和刻劃操作。在完成刮削和刻劃操作之 & ° 書丨J裝W 1交’ §刻 一蒗置66返回到備用位置時，就需要藉由舉起來釋放刮削 -38- 200303296 { } 發明說明績頁 構件202和刻劃構件14，以便不會接觸或妨礙到玻璃基板

。於是，配備在止動/加壓構件79中且其延伸程度和時序 皆由未圖示㈣器所控制的氣缸必須各別地配備在兩個 不同位置處，以便個別地致動：針對刮削塊81的尖端“a 和針對刻劃塊82的尖端79b。在第九實施例中，如圖以中 所顯示，刮削構件202具有與第一實施例有關所描述的刮 削刀具’利用刀具裝配螺絲（cutter fitting screw) 86，將刀具 固定到刮削8 1。然而，可能將使用在第一到第六及第八會 施例有關所描述的切割方法中之任何刮削刀具應用到本 貝知例的切割裝_置。當刮削沈積膜丨a時，需要將刮削構件 202的尖端加以準確地定位在玻璃基板丨的表面處。藉由將 兩個止動螺絲80a或80b其中對應之一止動螺絲旋轉進去 或出來，就能夠適當地設定每個尖端的垂直位置。刮削構 件2 0 2之尖端的垂直位置需要最精細的定位操作，因此在 起動刮削步驟之前就立即要將此尖端定位在玻璃基板1的 頂面處。最後，藉由調整分厘螺絲72來準確地調整尖端的 位置。在為了調整而已經將止動螺絲8 〇旋轉進去和出來之 後’就利用螺母2 0 3加以固定。而且，在第九實施例中， 如圖1 8中所顯示，藉由旋轉螺絲進入形成在刮削塊8丨中之 一溝槽中來固定刮削構件2 〇 2。然而，可能使相對於破璃 基板表面之到削構件的切割角變成可調整的。明確地說， 雖然並未圖示出，但是達成此事的方法是：分開刮削塊8 i 的水平臂邵份（horizontal arm portion)，使得比其中心還稍微 接近刮削構件2 0 2的部份被鬆弛式固定，以便可以繞著轉 -39- (35) 200303296 ^ 發明說明續買 軸而旋轉；亦 Β '- M 1 ^且、供一種機構，在將刮削構件202刮削沈 和版1 a所形成〜 用種m 周整到最佳角之後’這種機構會允許利 π 一裡柑伍；^ # τ (clamping means)來箝位此部份。 九=例:要Γ本…第十實施例的切割裝置。在第 方向，將刮削二6⑷中所顯示’相對於刻劃裝置移動的 當刻劃裝置Λ劃構件14体置成—排，使得·· 耆#、路徑移動時，同時地執行刮肖彳沈積μ 和刻劃基板。在第+ H 士、 丁司1尤和艇 構件202和刻气構犯’’依照一種間隔來佈置刮削 諸多條…： ’ M間隔等於執行刻劃操作以形成 之平面圍中^依省的間隔。圖㈣顯示：像在本實施例中 ^ 到那1，刮削塊81，與刻劃塊之間的位置 资…。若假定當執行刻劃操作 劃裝置备朝6 士闽 沁成為夕條形區段時，刻 曰朝向由圖16(b)中之箭頭所指示 必須將刮削堍罢— 万向而和動；則 削操作=置動方向的前端，以便先執行刮 μ與刻：：：整間隔片—2°4的厚^ 形成，14之間的間隔S1調整成執行刻劃操作以 本二V 段所依據的間隔(即：間距—)。於是 貫她例與第九實施例相同在 ））、疋， 刻劃裝置時，就會執行刮削沈積/和二二條路徑而移動 的不同則在於:刻劃裝置备 & "挺作；然而其間 秒去 跨越一段對應於間π从 和動到已經完成沈積膜的刮、£的距離而 溝槽而執行刻劃操作。當依明—^ /槽，然後再沿著 基板時，本實施例會要求移’、疋1 Ε而刻劃大型坡璃 的還多兩…。然而，1:1劃裝置比第九實施例要求 …九實施例相比較時，此時 -40- (36) 200303296 發明諱明續頁 不需要朝向刻劃裝置移動的方 —— ]万向而延伸切割裝置，這樣有 助於使切割裝置在其寬度方向 又件挺緊治、（compact)。而且 ，有可能配置一種適當的廢查 J W 去除構件（waste shaving removing means)，它在刮削構件 、、、、 傅什202艾移動方向的後面具有 寬裕的2間，-這樣有助於试炫士 、在刻^操作期間留在刮削溝 槽中之廢棄刮削的影響。在並， 住”匕万面，本實施例之切割裝 置基本上具有與第九實施例夕处 <、、、σ構相同的結構，因此不會 重複具有重疊性的說明。 曰

參考圖19，將要描述本發明之第十一實施例的破璃基古 切刻方法及裝置♦下。在第九實施例中，將—種用來^ 電訊號的檢測構件（它充當一種在刻劃步驟開始時用來來 刮削刀具的尖端準確地定位在玻璃基板之頂面處的構件 配備在刮削構件的前端以檢測出沈積膜之頂面的位置，轉 後藉由一種諸如可程式規劃控制器（pr〇grammaMe⑺时叫的 控制構件來校正沈積膜之厚度，然後再將刮削構件的尖端 足位在破璃基板之頂面處。然而，關於1亳米或更厚的沈 積膜la，在其厚度和其它因素方面的變化可能會使刮削構 件的尖端被定位在玻璃基板表面之上，因而導致不充足的 沈積膜刮削操作，沈積膜會留在刮削溝槽之底部處；或者 可能會使刮削構件的尖端被定位在玻璃基板表面之下，因 而導致刮削構件的尖端妨礙到玻璃基板的邊緣，並且在最

壞情況下’甚至會導致毁壞刻劃裝置。這種問題有可能會 發生’尤其是在玻璃基板的邊緣處，即：當開始刮削沈積 膜1 a時。第十一實施例被設計用來克服這種問題。明確地 -41 - 200303296 (37) 發明咖•頁 說9沿著打算被刮削的大型玻璃基板之邊緣而形成間隙部 份（典沈積膜部份）；並且，當切開玻璃基板時，將無沈積 膜部份加以捨棄。在顯示於圖19(a)中的方法中，沿著大型 玻璃基板（即：原料（raw material))之邊緣而形成間隙部份 (clearance portion) S，在該處沒有形成沈積膜。尺寸s會根據 沈積膜的厚度以及切割裝置的控制能力而改變，並且將它 設足等於譬如說是2到1 0毫米。在這種方法中，首先，使 刮削構件的尖端與在具有尺寸S的間隙部份s内之玻璃表 面接觸，然後再移動刻劃裝置。在尺寸8内，吸收在刮削 刀具尖端之揸制-方面的變化，使得該尖端與破璃基板表面 牢固地接觸；進而能夠以具有從沈積膜軎 、、、 九躓胰邊緣中獲得的容限 之方式來到削沈積膜。在顯示於圖丨9(b)中、、 3万法中’不是 預先去除在間隙部份S中的沈積膜，塞余^ 晉具上則是用施加一 種大約1到40牛頓的向下加壓力於 j構件的尖端來刮削 沈積膜。刮削構件的尖端會從接近在 、 ㈤友側之有沈積膜玻 璃的邊緣之一點起開始刮削沈積膜，舍全 八 、 ®里了 一條如圖中所 顯π的曲線R 5時，該尖端隨後备鰱$ +、 叮 曰觸及在邵份S，内的 基板表面。邵份的沈積膜會留在圖中 ， ^ 丁 < In線部份中·

此，當切開玻璃基板時，將該部份 W 1切S加以捨棄。若 19(b)是顯示朝向γ方向的刻劃操作， a σ - 疋圖 行朝向X方向的刮削和刻劃操作以 經執 风到削溝槽5 >饴 如何以類似的方式來執行朝向離開9〇。、、 心俊， 之方向的在1 刻劃操作以形成一種格子狀圖案。在太余、 〜削和 仕·伞貫施例中，& 璃基板刻劃成格子狀圖案時，在兩插 ’㊄將坡 種万法（a)和（b)中，需 -42- 200303296 (38) 發:明說績頁 要形成間隙部份s或s ’遍及觫女、息給 ^ ^ 久所有邊緣。s丨和s 2表示執彳丁刻 劃操作以形成諸多條形區殽时你M_ A 4 π 权所依據的間距，並且通常被汉 定成彼此相等。 第十一實施例應用到如以μ γ、+、α ^ . 以上描述的一種切割方法和切 割裝置。在一種用來刻劃有、十猝瞒沾、 y七 J,沈和胰破碡的方法中，甚至在 一種以手動方式刮削沈積滕4τ、山 領胰的極端情形下，會發生的問題 是：在刻劃和切割操作之前，力士 0 Α π J在大型破璃基板的邊緣處留 下未刮削的沈積膜。如第十一會竑点 貫驰例中所描述的，藉由沿 著邊緣而形成典沈積膜部來克服這 而， 、稷問題。在另一万面 在第九實施例的切割裝置中，在制w τ 在刮削操作開始時就將刮削 構件的尖端定位在玻璃基板的玻域本 ^ 7现增表面處，其方法是：藉

由使用檢測構件來檢測出沈積膜矣I ϋ賴月吴表面的位置，然後校正沈

積膜之厚度，然後在刮削操作開妒咕I "時加以設定刮削構件的 尖端之垂直位置。然而，當在沈積 、腰 < 厚度方面有挺大的 變化時，要以具有滿意準確度的大 乃式來實現此事是挺困難 的。像在第十一實施例中那樣，藉由α _ 、 由Α耆坡璃基板之邊緣 而形成無沈積膜部份也會解決這稀Μ 硬問邊。此方法會大幅減 輕關於切割裝置之設計和構造方雨的負擔 圖20是：用來圖解說明本發明之m 卞一實施例的切割裝 置之原理的示意圖。在本實施例中 T 知參考圖9之稍早描 述的第七實施例之切割方法應用到一 J 一種切割裝置。在本實 施例的切割裝置中，如圖20(a)中所顧— 〜不’在工件載物台3 中，依照一種適當的佈置而形成社夕 "夕負壓力供應路徑 (supplying paths) 209，以便允許藉由— —♦如真空吸夾的未 -43- 200303296 (39) 發明滅明續買 圖示負壓力供應方法來牢固玻璃基板1 ;並且，也會依照 對應於刻劃間距的間隔而形成諸多狹長開口 3 a，以便允許

刻劃構件4從基板底面下方加以刻劃玻璃基板1。在本實施 例的切割裝置中，當從它們移動的方向看去時，將用來利 削形成在玻璃基板1上面的沈積膜1 a之刮削構件的尖端以 及刻劃構件4的尖端都定位在一條垂直線上，並且/起移 動它們。於是，在由刮削構件所形成的刮削構件5之正下 方會形成刻劃線痕5。在本實施例中，在刻劃操作之後的 玻璃基板切割步驟中，必須沿著形成在沈積膜中的剖削溝 槽5而執行切割操作。於是’如圖20(a)中所顯示，當從刀 具移動方向看去時，雖然必須將在刻劃構件4之尖端處的 輪形刀具4 a像以上描述那樣定位在刮削溝槽5的垂直正下 方，但是在向前/向後的方向（即：朝向刀具移動的方向）則不 需要那麼準確定位。需要以一種施加其上之大約1 〇牛頓的

負載來刻劃玻璃基板，端視玻璃厚度而定。於是，在一種 k下方刻劃玻璃基板的切割裝置中’由刻劃構件4所施加 的向上加壓力可能會使玻璃基板1脫離配備在工件載物台 3上面的夾持構件。要防止此事，配備一種用來平衡負載 之顯示於圖20(a)中的平衡輪（balance wheel) 205緊接在朝向 其移動方向之刮削構件的後面。平衡輪2 〇 5在其尖端處具 有一個自由滾動輪，它實質上具有與在刻劃構件4之尖端 處的輪形刀具4a相同的尺寸和形狀，並且是由一種諸如聚 氨基甲酸酯橡膠（p〇lyurethane rubber)的軟質材料所形成。要 將玻璃基板1穩固在工件載物台3上面，平衡輪2 〇 5被定位 -44- (40) 200303296 發明說明績頁 緊接在刮削構件的後面，以便在施加一種平衡刻劃負載 p 1之加壓力p 2的時候好像追隨著刮削構件而移動。使用 一種缺碼形加載構件（load applying means)來直接施加負載 到沈積膜表面以加強牢固玻璃基板所施加的力，此舉可能 會毁壞或刮傷保護膜。相對照下，在本實施例中，在從基 板底面下方刻劃玻璃基板的同時，使得被施加所需加壓力 的負載平衡輪會沿著藉由用來刮削沈積膜表面的刮削構 件而形成在玻璃基板之頂面上的刮削溝槽之底部而滾動 。此方法使得以穩固玻璃基板的方式來執行刻劃操作而沒 有觸及和藉此刮-傷或在其它情況下會損壞沈積膜w的風 險是可能的。在圖20(a)中，省略了刮削構件。 在刻劃操作之後，切開（分開）玻璃基板的方法是：從在 刻劃表面對面的基板表面下方施加負載，以便逐步擴展在 刻劃線痕中的裂痕。於是，在第九到第十一實施例中，沿 著刮削溝槽5之底部而形成刻劃線痕，並且在有沈積膜表 面對面的基板表面下方施加負載，以便達成切割操作。相 對照下，在第十二實施例中，在玻璃其姑夕念工u此 #敬碉丞扳之展面上執行刻 劃操作的同時’將在刻劃線痕正上古的、士择_上 上万的沈積膜加以刮削， 以便形成具有 種具備所需尺寸和來处#艺、t 〜了和形狀的截面之刮削溝 槽。然後，如圖20(b)中所顯千，#丄u ^ 鸠不，將由諸如氨基甲酸酯 (urethane)之樹月日或者金屬所开？占η甘士、 、 叮开y成且其有週當尺寸的線207 舖設在刻劃線痕5 e正上方的刮肖丨、、番播 J巧削4槽5中；並且將一種在 其尖端處具有與線適度地嚙合夕、、菩祕、二广 口 <溝槽的澴壓器2 〇 6放置在 線上，以便在透過線施加5〇刭〇ΠΛ *上 〇到200牛頓之負載Ρ3的時候沿 '45- (41) 200303296 發明說确續頁: 著線滾動。以此方式，實現一種允許從玻璃基^^ 膜以及刻劃和㈣玻璃基板而没有將玻璃基板反轉過^ 的切劍裝置可能的。參考數字208表示切割時所使用的— 種緩衝材料（CUshi〇nmaterial)。在本實施例中，可能將在巧 劃操作之後的玻璃割開操作整合在—種能夠刻劃和割開 之附帶配備有割開功能（cleaving function)的切割裝置中；2 者是可能在切劃裝置上先刻劃玻璃，然後在刻開機器上將 玻璃割開。在本實施例中，在從破璃基板之刻劃到切割操 作的任何步驟中，其中包括將基板牢固在裝置上面，根本 沒有必要觸及或-加壓於有沈積膜表面。此方法使得維持和 保護沈積膜之品質是可能的。不是滾壓器2 〇 6，而是匕 * g月匕 使用一種位置挺配合刮削溝槽5之底部的板形加壓構件來 達成切割操作。 圖2 1和2 2顯示本發明之第十三實施例。本實施例之特徵 在於··大體上，將刮削沈積膜之步驟以及刻劃步驟當作分 開步驟來執行；並且在成為下游步驟的刻劃步驟中，將諸 多廢棄邵份（waste portions) 11c形成在有沈積膜表面上，使 得：在形成在玻璃基板之有沈積膜表面上的諸多廢棄部份 11c處，在形成在顯示於圖22中人工件載物台上面的諸多 凸處（projections) 13a上支撐著玻璃基板。 圖2 1圖解說明：如何以分開產品部份（product protions)和 廢棄部份的這樣一種方式來刮削沈積膜11 a，該產品部份 打算被使用作為諸如液晶顯示裝置之產品。圖2 2顯示：在 圖2 1中，在刮削沈積膜1 1 a之後，如何在位於刮削溝槽正 -46- (42) 200303296 發明說明續頁、 下方（在顯示於圖2 2中沾a印 的位置關係中則是正上方）之玻璃 基板的相對表面上執行刻劃操作。 在 > 考、示方、諸多除圖中的事物，將要描述本實施 例的運作情況和其它特點。像使用在以上描述的諸多實施 例中之玻璃基板一樣的破璃基板Η具有形成在其中之一 面上的沈和膜1 1 a。在工件載物台3中，依照預定間距而形 成许多吸力路徑（suction paths) 6，以便允許藉由一種諸如 真芝吸爽的負壓力供應方法來牢固玻璃基板n。從關於玻 璃基板1 1之彳曰不為A的邊緣起，依照對應於廢棄部份 lie和產品部你lld之寬度方向尺寸（width-directi〇n dimension)的間距，利用未圖示刮削刀具來形成諸多刮削溝 槽15。如何形成刮削溝槽15則是與在第一和第二實施例中 的相同，因此不會重複詳細的說明。根據玻璃基板n和沈 和胰1 1 厚度以及與機械強度有關的條件（諸如：顯示於 圖2 2中的產w #份！丨d之尺寸和吸力路徑1 6之尺寸）而確 定廢棄部份1 1 c之尺寸。應該將最後被捨棄的廢棄部份i ic 製作得儘可能小。然而，在斷開（切開）玻璃基板的步騾中 ，在一種藉由施加負載到在刻劃表面對面的表面來切開基 板“形了 ”與破璃基板! i之厚度相比較時，若將廢棄 T份製作得太小，則可能挺困難執行切割操作。當確定廢 棄部份之尺寸時就必須考量此事，然而要注意的是：該尺 寸大於顯示在圖22中且稍後要描述的工件載物台凸處 ㈣灿_) 13a之最小所需尺寸。根據諸如液晶顯示裝置 U W Μ㈣增加精製操作容限咖响丽—s)而 -47- 200303296

(43) 確定產品部份11 d之尺寸。 圖22圖解說明：在顯示於圖2 1中的刮削步驟之後女 將玻璃基板1 1倒放並且牢固在工件載物台丨3上面，使〜何 刮削表面對面的表面被刻劃。在本實施例中， 于在 j米執行刻 劃操作的工件載物台1 3與顯示於圖2丨中的工件载物a 同，並且具有諸多四處13a和凹處（recess)13b，將它交 佈置在對應於形成在刮削步驟中的諸多廢棄部份之尺寸 和間距的適當位置。凸處13a的頂面都是平整的，因此: 固地支撐著顯示於圖21中之廢棄部份llc的有沈積膜表面 這一區，離開該-區則是沈積膜lla已經被刮削和去除。此 時’利用像照慣例所使用那樣的相同負壓力供應方法，透 過諸多吸力路徑1 6來達成牢固岁伊 干U无知杈作。在這種狀態中， 像在顯示於圖2 2中的位置關係中丟 關係中看到的那樣，藉由位於形 成在破璃基板1 1上面的刮削溝梓 再心1 5正上方的刻劃刀具4來 形成刻劃線痕。達成位於刮削溝槽15正上方㈣㈣作如 於邊緣八’藉由使用：諸如光學感測器（。咖心叫 或定位夾具之為人所熟知的檢測構件，諸如球形螺絲或由 词服馬達（servo motor)所驅動的念 如 力的確動皮帶之一用來驅動刻 4刀具4的構件，以及諸如 技制器（numerical controller) <控制構件的一種組合，就能麫巧、 一 沈&夠很容易地在對應於形成顯 不於圖21中的刮削溝槽lla之 U置的破璃基板之相對表面 上的所需位置處形成刻割埯诡 ^ 却八 一」、，泉痕。凹處13b有助於防止產品 #份1 Id之有沈積膜部份觸 件载物台1 3以及因此而刮 或教:壞。 -48- (44) 200303296 她例中，在有沈穑 -— 到p a — 、胰表面對面之破璃基板的表面 W ί来作。這樣就有 了把執仃刻劃操作而沒有受到 银中之沈積膜的。 J AA 以备而且，將在刻劃表面對s 的沈積膜加以刮削” ^ ，以便在對應於刻劃線痕的位 刮削溝槽。於县 主 万、疋，甚至斷開玻璃基板的步驟也不 :膜層之存在的影響。在上文中將本實施例插迷 丁 ]削沈％膜步驟然後再執行刻劃操作的方 噙上描述的，因為藉由使用以上提及的控制 /可處要形成刮削溝槽1 5和刻劃線痕1 5 a是挺容 以也可-能先執行顯示於圖22中的刻劃步驟。 在本實 上 在 之 置 會 成 法 構 易 述 實 玻 將 種 些 步 處 是 板 削 關 執行刻 刻劃步 表面上 處形成 受到沈 一種先 。然而 件來控

的，所 其八參考圖23，將要描述本發明之第十四實施例。插 万、上的第二實施例討論在一種有沈積膜形成在其中之 表面上的坡璃基板上面執行刮削沈積膜和刻劃操作。本 施例討論針對一種有沈積膜形成在其中兩個表面上的 璃基板之切割方法。本實施例與第三實施例相同在於、· 玻璃基板21分成諸多廢棄部份21c和產品部份2id。將—

有為夕凸處2 3 a和凹處2 3 b依照尺寸地形成在對應於之 部份之位置處的工件載物台23使用在刮削和刻劃兩〶 驟中。藉由使用具有像圖2 3中所顯示那樣形成的諸多凸 2 3 a和凹處2 3 b的工件載物台2 3，執行刮削沈積膜的方、去 :首先刮削在有沈積膜形成在其中兩個表面上的破璃基 之一表面上的沈積膜，然後將玻璃基板2丨倒放，並且刮 在相對表上的沈積膜。藉由使用以上提及的控制構件， 於邊緣A，很容易地達成：形成諸多刮削溝槽之位置以 -49- (45) (45)200303296 及形成諸多刻劃線痕於兩個表面上之彳、 (vertica丨alignment)。在本實施例中 ^ =置的垂直對準 面上的沈積膜之後才是 "先刮削在一表 …町衣面上的、才圭 行在一表面上的刻劃操作之 ‘月馭，然後再執

fcr , 不疋在相對矣I 操作，兩者擇其一地，也有可能在 上的刻劃 之後才執行刻劃操作，然後二：表面上先刮削沈積膜 如以上描述的，在描述於 丁埯兩項步驟。 像需要形成裂痕一樣寬的諸多膣Λ施例中，先將 4 7凡才貝胰條形 ，然後再沿著在破磕其刼μ二α 知加以去除 切割二='上=::條形… 何類型沈積膜形成在其上面的玻璃基板H切割有任 膜之存在的影響的切割方法和切割裝：:…積 且 邊沈積膜猶刑毒 從諸如塗飾膜或透明電極之薄膜到諸如偏振片之薄：， 或者是諸如樹脂膜或保護膜之高達i 旲 ^ ^ 毛未厚的沈積膜 。要瞭解的是··可能以和明確地描述於 n l 、 又諸多實施例不 同的任何方式來實行本發明；並且在本菸 权^ <範圍内，各 種改變和修改都有可能。 在專利說明書的下列部份中，參考諸多糾面 义丨付圖，將要描述 諸多液晶面板以及根據本發明而製造它們 、 3裝置。首先， 將要詳細描述本發明之第十五實施例的曰 '從日曰面板。圖24 是用來顯示第十五實施例之液晶面板的外麁、* J外硯又透視圖，其 中將正面圖（obverse side)顯示在（a)處， 亚且將反面圖 (reverse side)顯示在（b)處；而圖25則是潘曰二， 從日曰面板之縱斷面 圖。 -50- 200303296 發明說明績頁 單元3 5 1 a和 (46) 液晶面板350是由一^對接合在一起的基板 3 5 lb所組成，其中將液晶密封在其間（此處，基板單元351a 是TFT(薄膜電晶體）基板，因此在下文中也將它指稱為 “TFT基板單元’’（TFT substrate cell);基板單元351b是濾色片 基板，因此在下文中也將它稱為“濾色片基板單元，，（color filter substrate cell))。TFT基板單元351a其中一端從濾色片基 板單元351b的一端突出’因而形成突出部份351 aa;並且在 突出部份351 aa之内表面形成連接端子3 5 3，藉由該端子來 驅動液晶面板。將一種軟性印刷電路（flexible printed circuit ，簡稱FPC)或玻璃上晶片（chip on glass，簡稱COG)連接到這 些端子3 5 3，當液晶面板3 5 0被納入液晶顯示裝置中時，就 會接收電訊號，並且在液晶面板3 5 0上達成顯示。 液晶面板3 5 0被設計使用在背光型液晶顯示裝置中，於 是具有分別接合到基板單元351a*351b之外表面的偏振片 352a和352b，它們幾乎涵蓋遍及基板整個區域（此處，偏振 片3 52a位於TFT基板單元35 la這一側上，因此在下文中也 將它指稱為“TFT側偏振片單元，，（TFT_side p〇laHzer ρ1_ ceU) ’而偏振片352b則位於濾色片基板單元3511^這一侧上，因 此在下文中也將它指稱為“濾色片側偏振片單元，，）。從偏 振片352a和352b所需功能的觀點，它們只須要覆蓋顯示區 域（未示出）；那就是，只須要將它們製作成實質上同樣大 小以及佈置成彼此相對，其中將基板單元351&和35化包爽 在，、間然而，在本發明的液晶面板3 50中，將丁FT側偏 振片單元352a延伸以覆蓋突出部份351心之外表面。其理由 -51 - 200303296 (47) 發明說明續買 - ^ 1--------- 如下。 構成液晶面板3 5 0的基板單元35 la* 3 5 lb各個都是非常 薄的，譬如說，當以玻璃形成時，它大約是〇.4到〇·7毫米 。於是，雖然它們已經增加在將它們接合在一起而具有兩 倍厚度處（即：在顯示區域上方和附近）的機械強度，但是 在TFT基板單元35 la單獨存在處且像它一樣厚的突出部份 35 laa卻具有低機械強度。在另一方面，TFT側偏振片單元 352a大約是0.2到0.6毫米厚，並且利用此厚度來加強突出 邵份35 laa。這就是將TFT側偏振片單元352a延伸覆蓋突出 邵份351aa之外表面的理由。此結構會增加突出部份351心 的機械強度。結果是，當將液晶面板從一位置輸送到另一 位置或者組裝在液晶顯示裝置中時，若有碰撞或掉落，則 突出部份351aa較少有可能會破裂或變形，或者會在轉角 處斷裂。 藉由在TFT側偏振片單元352a的邊緣與突出部份351心的 邊緣之間留有1毫米或更小的距離h(參見圖2 5 )，即：玻璃 向外曝露所形成的寬度；就能夠很滿意地增加突出部份 351aa的機械強度。在偏振片352a* 352b的另一邊緣與基板 單元3 5 1 a和3 5 1 b的邊緣之間獲得類似寬度。 而且，偏振片352a和352b的邊緣352aa* 352ba全都是這麼 形成的，以便具有一種朝向基板單元351a*351b漸漸變薄 的縱斷面。明確地說，藉由一種配備在稍後將要詳細描述 的液晶面板製造裝置400中的雷射輻射機構（laser radiating mechanism) 420或切割機械（cutting meehanism) 46〇來形成這 -52- 200303296 (48) 發明說明續頁 些邊緣352aa和352ba ’以便具有斜面或曲面。當將液晶面 板3 50從一位置輸送到另一位置或者組裝在液晶顯示裝置 中時’此結構會防止偏振片352a和352b的邊緣352aa* 352ba( 尤其是在轉角處）被偶然地綷住，進而藉此防止剝落。在 一種將保護膜形成在偏振片352a和352b之外表面上以便和 它整合的情形下’上述結構會防止這些保護膜從偏振片 352a和352b剝落。 現在’將要描述邊緣352aa和352ba的較佳組態 (configuration) °為了評估邊緣352a^ 352ba的各種組態，使 用稍後詳細描逃的第十八實施例之當作典型（representative) 的液晶面板製造裝置400，從事諸多實驗；以便看出改變 其切割機構4 6 0的刀片4 6 1之切割邊緣的形狀（就像藉由互 換具有如圖32(a)和32(b)中所顯示之c形和梯形截面的刀片 那樣）會怎樣影響基板單元35 la*351b。將結果顯示於圖26 中 0 圖26是：概略地顯示在圖25中所顯示的偏振片352a和 352b之邊緣的傾斜角g(即··刀片46丨之側面切割邊緣的上 升角（rising angle))與因此得到的諸多性質之間的關係（即 ••傾斜角g如何影響偏振片3520a 352b以及基板單元351a和 3 5 1 b)之一示意圖。針對從9 〇。到丨3 5。以上的傾斜角而言， 加以評估下列四個項目：突出部份351aa的機械強度，在 偏振片352a和352b中的三角形切削碎屑（deita-shaped chipping) ’保護膜剝落’以及將基板單元351a和351b及偏振片352&和 352b接合在一起的黏著劑殘留物（^丨加以〇fthe adhesive)。針 200303296 發明聲明績頁 估結果分類 (49) 對不同範圍的傾斜角g而言，將每個項目的評 成三種等級（明確地說，就是：好（g〇〇d)，中等（fair)，以及 差（poor))其中之一等級。如圖26中所顯示，當傾斜角§是 在仗90以上到135。的範圍内時，在所有的項目中皆獲得 好或中等性貝。於疋’將邊緣352aa和352ba的較佳組態 形成為依照在該範圍内之角度而傾斜的表面。 要〉王意的是：在諸多上述實驗中所發現的較佳條件適用 於將邊緣352aa和352ba形成為具有斜面（inclined surface)的情

形中。不用說，可能換成是將邊緣351a和351b形成為具有 曲面（curved surface)，只要它們具有一種朝向基板單元35u 和35ib漸漸變薄的縱斷面。基板單元352心和352ba可能由與 玻璃不同的任何材料所形成。在製造效率不是最優先考慮 的場合中’藉由先切開個別基板單元351a和351b，然後再 接合到已經被切割成預定尼的偏振片，就可能達成偏振片 352a和352b的接合操作。

現在，參考諸多附圖，將要描述適合用來製造以上描述 的液晶面板3 5 0之根據本發明的液晶面板製造裝置。最後 將會明確地描述如何製造液晶面板3 5 〇。 首先，將要描述本發明之第十六實施例的液晶面板製造 裝置。圖27是：概略地顯示第十六實施例的液晶面板製造 裝置之外觀的透視圖，而圖28則是破璃基板之一主要部份 的放大圖。如圖27中所顯示，液晶面板製造裝置4〇〇基本 上是由充當工件載物台之基座（未示出）和可以水平地移 動遍及基座（bed)的移動裝置410所組成，在該基座上則放 -54- 200303296 (5〇) 發确説明續頁 置一種有偏振片3 0 2接合在其頂面上的條形破璃基板3 〇 i 。移動裝置4 1 0具有·雷射輻射機構4 2 〇，適於刻劃操作的 輪形刀具430，以及裝配成向下突出的距離感測器（以^⑽“-sensor) 440。這些組件會隨著移動裝置4丨〇 一起移動。 : 雷射輻射機構4 2 0是一種像使用在常用的雷射切割/成 · 形機器（laser cutting/shaping machine)中那樣的二氧化碳（c〇2) 雷射裝置5它會發射一種高功率雷射光束（laser beam)。如 稍後將要描述的輪形刀具4 3 0會在玻璃基板3 0 1中形成裂 痕，以便允許切開基板。輪形刀具43〇具有大約2.5毫米的 < 直徑ul，並且具有大約120。到150。之鈍角切割邊緣角w；l (參見圖29)。透過彈簧或者氣塾（air Spring)來將輪形刀具 4 3 0支撐在移動裝置4 1 0上，以便施加一種預定加壓力到玻 璃基板30 1。距離感測器440是一種接觸感測器（touch sens〇r) ’它用來檢測出在放置於基座上之玻璃基板3 〇丨上面的偏 振片302之頂面的位移（displacement)，並且被使用來將從雷 射輻射機構4 2 0和輪形刀具4 3 0到偏振片3 0 2之頂面的兩種 距離保持恆定。執行這種控制以便穩定由雷射輻射機構 < 4 2 0所發射之雷射光束的焦點和穩定由輪形刀具4 3 〇所施 加的加壓力。納入這些組件，移動裝置4 1 〇會以一種大約 2 0 0到5 0 0毫米/秒的速度移動，該速度是移動輪形刀具4 3 〇 所依據的適當速度。不用說，雷射輻射機構420被假定會 產生足以應付該速度的雷射輸出功率。 其次’將要描述以上所描述的液晶面板製造裝置4〇〇之 操作。如圖2 7中所顯示，移動裝置4 1 〇會沿著在玻璃基板 -55- (51) 200303296 發明碑明績買 3〇1上的兩個#元之間的邊界而朝向由箭頭D所指示的方 向移動。此時，正在朝向佤以 偏振片302而發射雷射光束的雷 射輻射機構420會在輪形刀具43〇前面移動。於是，利用雷 射光束加以輻照（irradiate)之偏振片3〇2的部份會被熔化， 並且利用熱加以去除，目而在該處曝露玻璃基板3()1，以 便形成條形區域3 i丨。追隨著雷射輻射機構42〇，輪形刀具 43 0會沿著條形區域311而移動，並且在該處形成供切割操 作之用的一條裂痕3丨2 (在下文中也將它指稱為一條“刻劃 線痕”）（參見圖2 8)。 以此方式，沿-著在玻璃基板3〇1上的兩個單元之間的邊 界而形成裂痕312。其後，t依需要而施加負載到玻璃基 板3 0 1時玻璃基板3 0 1就會沿著裂痕3丨2而迅速地斷開， 因而產&❹液晶面板。即使沒有施加負載到玻璃基板 3〇1，當形成裂痕日争，它也有可能會逐步擴展而使玻璃基 板3 0 1斷開。並且，在廷種情形下，會沿著裂痕3丨2而切開 玻璃基板301。實際上，針對較高製造效率而言，移動裝 置41〇會沿著所有的兩個單元之間的邊界而水平地移動， 以便重複液晶面板製造裝置4〇〇之上述的操作，然後將玻 璃基板3 0 1倒放然後使用輪形刀具4 3 0而在玻璃基板3 0 1 的反面上也執行刻劃操作，然後再切開玻璃基板3〇1。在 也將偏振片302接合到反面的情形下，也會在此面上執行 液晶面板製造裝置4〇〇之上述的操作。 如以上描述的’液晶面板製造裝置4〇〇在有效地製造高 品質液晶面板方面之所以極有效率是因為：它會防止玻璃 -56- 200303296 (52) ΓΖ'τ — 基板301在一些不適的位置處破 久衣，並且即僅杏# 有偏振片302與其接合的破璃其 ^ —種 3。2偶然地剝落。 ’基板…時’也會防止偏振片 雷射輻射機構420可能是與c + ^ 2运射装置不同的杯# & 型。輪形刀具430可能具有不间认 〕任何類 々形狀和尺寸。距齙咸、ϊ 器440可能是與接觸感測器不 離感測 U的任何類型。 其次，參考圖3 0，將要描述太欢。 晶面板製造裝置。在此圖中，i 2 七實施例的液 諸如具有相 圖27到29中一樣目的之類 门名私和、供與

々郤疋以相同春者盤A 以識別，因此將-會省，各具重疊性的說明 :數子加 用於稍後描述的第十八到二+ 一 A 万式也會適 丁 貫施例。第+ I奋、A ,、 第十六實施例不同在於：輪形刀且 只驰到與 • /、30為一種噴氣機構（gas SPrayingmeChaniSm) 450所代替。如圖30中所顯示，在繼Γ 射^射機構4 2 〇之後的階&中，移動裝置4 ! 〇具有—種具: 喷嘴（n〇Zzle) 451的噴氣機構45㈣過喷嘴將氣體嘴射到在 玻if板3〇1上面的條形區域311。透過噴嘴451而噴出的 氣體是：譬如說，壓縮空氣或惰性氣體（諸如··氮氣卜 雖然這種液晶面板製造裝置4〇〇基本上會以和上述的第 十/、只施例 < 方式相同的方式來操作，但是當形成刻劃線 痕時其操作則有所不同。其差異如下。從雷射輻射機構42〇 所發射的雷射光束不但會加熱和熔化以及藉此去除一部 份的偏振片3 02，而且會同時地加熱曝露在玻璃基板3 〇 i 上面的條形區域311，結果使條形區域311變熱。然後藉由 從追隨著雷射輻射機構4 2 0之喷氣機構4 5 0的噴嘴4 5 1所喷 -57- (53) 200303296 $ 3 1 1 〇 it樣會使條 在本實施例中， 使 出的氣體來迅速地冷卻變熱的條形區 形區域3 1 1收縮（contract)而產生裂痕。 用此裂痕作為裂痕312。 其次，參考圖3 1和32，將要描述本發明之第十八余、 的液晶面板製造裝置。第十八實施例與第十六實施例不同 在於·雷射輻射機構420為一種切割機構46〇所代替。$ 如圖

31中所顯示，在輪形刀具43〇之前的階段中，移動裝置々I

具有一種由刀具461所組成的切割機構“Ο,該刀片以相對〇 於偏振片302的一種預定角度突出。 雖然這種液晶_面板製造裝置4〇〇基本上會以和上述的第 十六實施例之方式相同的方式來操作，但是當去除偏振= 3 02之諸多部份時其操作則有所不同。其差異如下。當切 』機拼4 6 0沿著在玻璃基板3 0 1上的兩個單元之間的邊界 移動時，藉由刀具461來刮除一部份的偏振片3〇2就好像利 用木工鑿刮削一樣，因此會將條形區域3 1 1曝露在玻璃基

板3 0 1上面。被刮除之偏振片3 02的廢棄條帶302a會沿著刀 片4 6 1而彈出。 a備這種液晶面板製造裝置4 0 0，就很容易地形成諸多 心、添區域3 1 1。此外，切割機構460只需要一種機械結構。 這樣使得切割深度（⑶⑴叩心^化)之控制以及維護挺容易的。 現在’參考圖3 2，將要描述刀片4 6 1的切割邊緣之形狀 白勺/ t " 焉例。利用一種具有如圖32(a)中所顯示之C形截面 的刀片’就有可能以具有恆定寬度的方式來刮削偏振片 3 〇 2。這樣有助於穩定曝露在玻璃基板3 0 1上面之條形區域 -58- 200303296 (54) 發明說_績頁 3 1 1的寬度。利用一種具有如圖32(b)中所顯示之梯形截面 的刀片，除了獲得與利用上述之具有C形截面的刀片一樣 的優點外，留在玻璃基板3 0 1上面的偏振片3 0 2之切割面也 都是傾斜的。這樣使得偏振片3 0 2很少有可能會偶然地剝 落。而且，會減少由刀片4 6 1所施加在被刮除之偏振片3 0 2 的廢棄條帶3 02a上的磨擦阻力（friction drag)。這樣會允許廢 莱條帶3 0 2 a沿·著刀片4 6 1而平順地彈出。

利用一種具有如圖32(c)中所顯示之半圓形截的刀片，除 了獲得與利用上述之刀片一樣的優點外，還會進一步減少 由刀片46 1所施加在被刮除之廢棄條帶3〇2a上的磨擦阻力 ，而且能夠很容易地製造刀片4 6 1本身。然而，應該注意 的疋·會以具有較小寬度的方式來曝露條形區域3丨】。利 用一種具有如圖32(d)中所顯示之圓形截面的刀片，除了 獲得與利用上述之具有半圓形截面的刀片一樣的優點外 ，還有可能藉由附帶地配備一瀚也、A & _… 商 種用來万疋轉切割邊的旋轉機 構來使用切割邊緣的整個圓周 ，

U 以供切割操作之用。這樣 有助於延長刀片4 6 1的工作鎏合 .. 乍砰P 。然而，在這種情形下， 也需要附帶地配備一種％ t ϋ φ 裡用永淨出曆棄條帶3〇2a的機構。 其次，參考圖3 3到3 6，將要；^、+、本☆ 將妥描述本發明之第十九實施例

的液晶面板製造裝置。第余、A 十九只她例與第十八眚施例不同 在於：切割機構460具有一種p伙 ^ 一 ¥ 種已修改構造。如圖33中所顯 不·，在輪形刀具430之前的階❸击 丰又中，移動裝置4 1 0具有切割 機構4 6 0，如圖3 4和3 5 Φ邮％ - 中所頌不，切割機構46〇具有：一對 刀片4 6 2和4 6 3，將它們依昭 ^疋間隔v而佈置成彼此相對 -59- (55) (55)200303296 ，並且各自具有一切割邊緣；以及一刀片464，將它佈置 在這兩個刀片462和463之間的底部處。刀片斗㈣具有一種 等於預定間隔7的寬度’於是足以使兩個刀片“2和463不 斷地，持間隔v。在兩個刀片462和463之間的頂部處佈置 有支撐構件（support member) 465，它像刀片仞4 一樣且有一 種等於預定間隔v的寬度。藉由移動裝置川來支撐該支撐 構件465。為了容易更換而利用_些螺絲或㈣（『㈣來將 這些刀片462 ’ 463及464以及支撐構件“5構築成一組件 (single unit) 〇 雖然像以上描-述那樣構築的液晶面板製造裝置基本 會以和上述的第十八實施例之方式相同的方式來操作，但 是當去除偏振片302之諸多部份時其操作則有所不同。其 差兴如下0如*圖3 3和3 6 Φ所蔬早，木士 τ α μ 々Μ甲所_ 7F，當切割機構46〇朝向基 板之較短邊的方向而沿著在玻璃基板301上的兩個單元2 之-邊界移動時；首先，兩個刀片462和463會切開偏振片 302之一條形部份。其次’藉由刀片464來將因此而切開的 偏振片302之條形部份刮除離開玻璃基板3〇1，並且將它冬 作廢棄條帶302a而沿著刀片464加以去除。同時地，2 Ζ 了在玻璃基板3 0 1上面之一條形區域。 ” 利用這種切割機構46〇，就會獲得與藉由上逑的第十八 實施例所獲得-樣的優點。此外，因為切割機構⑽是由 譬如說是許多刀片所組成，所以只是藉由互換刀片卞 能夠改變在皮璃基板301上面之條形區域3U的寬度。而二 ，當諸多刀片中有一個或兩個破損時，能夠只針對那此刀 -60- 200303296 (56) 發興諱聪績買 片而個別地更換。那就是’能夠很容易地應付條形區域3 i i 的變動寬度9並且有效地降低刀片本身的運行費用 (running costs) °

其次’參考圖37，將要描述本發明之第二十實施例的液 晶面板製造裝置。第二十實施例與第十九實施例不同在於 :將一對刀462和463賦予已修改形狀，以便減少對偏振片 3 0 2的切割阻力（cutting resistance)。當兩個刀片462和463各 自其有像在第十九實施例中那樣的單一切割邊緣時，利用 它們來切割厚偏振片3 02，就會不可避免地導致將高切割 負載（cutting loadMp在它們的切割邊緣上。換言之，對偏振 片3 02的切割阻力是挺高的，並且此阻力會在切割時引起 偏振片3 02變形’或者在切割結束時造成三角形切削碎屑 。為了克服這些問題，在本實施例中，如圖37中所顯示， 兩個刀片462,和463,各自配備有許多（在圖中，有兩個）切割 邊緣，它們在朝向切刻方向（在圖中，由箭頭〇所指示的 方向）具有漸漸變小的切割深度。此結構會減少加在每個 切割邊緣上的切割負載，於是減少對偏振片3〇2的切割阻 力’因而較少有可能發生上述諸多問題。 其次，參考圖38和39,將要描述本發明之μ _ — 〜昂—^十 >一貫 例的液晶面板製造裝置。第二十一實施例遍 : 4只罘十九實施 不同在於：一對刀片462和463為輪形刀且娇△ κ ，、听代替。如圖 中所顯示，在輪形刀具4 3 0之前的階段中， ’移動裝置4 具有一種切割機構4 6 0 ;並且，如圖3 9中祕μ 一 W _示，這種 割機構460具有依照一種預定間隔ν而同畆u… Ν轴地佈置成彼 -61 - 200303296 v ; 發明m明績頁- 相對的一… 、對輪形刀具466和467，而不是顯示於圖34和35 中白勺一

中刀片462和463。具備這種結構，就有可能進一步 減少對偏振片302的切割阻力。此時，將兩個輪形刀具466 和467賦予—種在從30。到90。之範圍内的銳角（acute)切割 邊緣角W2,當防止留在玻璃基板3〇1上面的偏振片3〇2在 其中之切割邊緣處偶然地剝落時，就會獲得足夠切割深 度。將兩個輪形刀具466和467賦予一種在5到1〇毫米之範 園内的直徑U2，以便獲得適於其轉軸的足夠空間，以便獲 得適於快速切割操作的足夠圓周速率（pedpheral speed)，並 且獲彳于在輪形刀具4 6 6和4 6 7它們本身中的足夠機構強度。

現在，將要給予第十八到第二十一實施例共有的輔助描 述。在根據本發明的液晶面板製造裝置400中，藉由刀片 或輪形刀具來刮除和去除偏振片3 02的諸多條形部份。同 時，若刀片或其同類者觸及玻璃基板301，則刀片或其同 類者的切割邊緣可能會碎裂（chip)，或者可能會刮傷玻璃 基板3 0 1。特別是，這樣一種刮傷是不合要求的，因為它 會造成玻璃基板301在一個意想不到的位置處破裂，因而 使其品質降低。在另一方面，實際上，在玻璃基板3 0 1與 偏振片302之間，存在有一種將它們接合在一起的非常薄 黏著層（adhesive layer)。因此，最初將刀片或其同類者的切 别邊緣加以設定位於黏著層内’以便不會觸及玻璃基板 3 〇 1 ;此外，在切割操作中間’藉由一種距離感測器4 4 0 加監控。兩者擇其一地’也可能使用一種比偏振片3 02還 要硬但是比玻璃基板3 0 1還要軟的材料當作刀片材料。 -62- (58) 200303296 將在玻璃基板3 〇 1上面的諸多條形區域3 1 1皆賦予〜 從1到3毫米之範圍内（最好是在從1到2 · 5毫米之範圍内、 的寬度。這樣有助於獲得在每個個別液晶面板中之偏振片 3 0 2上面的足夠有效區域，並且允許很容易地形成適 \於切 開操作的裂痕3 1 2而沒有降低品質。於是，刀片或其 一 Η類 者的尺寸需要如前所述地設定。特別是在第十九到二十 實施例中，藉由將在一對刀片462和463或者兩個輪形 4 6 6與467之間的間隔ν設定在上述的範圍内，就能夠容易 達成此事。

而且，為了允—許平順地彈出被刮除的偏振片3〇2之廢棄 條帶302a而沒有累積在刀片或其同類者上面，就得以特氣 龍（Teflon (R))或鑽石來塗層刀片或其同類者以防止廢物 302a黏上。這樣會延長刀片或其同類者之工作壽命。

可能以和明確地描述於上之諸多實施例不同的任何方 式來構築根據本發明的液晶面板製造裝置，並且在如本發 明所S %的中請專利範圍内，許多變化和修改都有可能。 譬如說，利用任何類型的黏著劑，其中諸多實例包括一些 系見勺基方；丙少布酉义或石夕酉同的⑶ne_based)黏著 劑，將玻璃基板301和偏振片3〇2接合在一起。特別是在第 十九到第_ ^ 貫施例中，藉由刀片464來刮削偏振片302 ’因此’選擇當提供足夠強的黏附力（adhesi〇n)時能夠很容 易地被刮除以便製造可接受產品的一種黏著劑很適宜的 。將一種保護積層膜fiim)接合在偏振片 3 0 2的表面上是很適罝的，這是因為··當裝運產品時，隨後藉 -63- 200303296 發明說明續頁 〜 ，， r r 上的熔化粒 (59) 由去除保護積層膜，就有可能去除沈積在表面 子和碎玻璃（cullet)[當切割玻璃時所使用的細微玻璃粒子 (fine glass particles)]。在上述諸多實施例中，移動裝置41〇 相對於基座而移動；兩者擇其一地，可能使得基座可以和 放置在其上面的玻璃基板3 0 1 —起移動。 其次，參考諸多附圖，將要詳細地描述如何藉由使用如 以上描述的液晶面板製造裝置400來製造稍早描述的液晶 面板350。圖40是：顯示形成液晶面板350的玻璃基板之外 觀的透視圖。圖4 1是：概略地顯示關於玻璃基板之液晶面 板製造裝置的側-視圖’而圖42則是：在經過液晶面板製造 裝置的搡作之後的玻璃基板之縱斷面圖。圖4 3是··顯示玻 璃基板之外觀的透視圖，其中將基板之TFT側的表面顯示 在（a)處’並且將在基板之濾色片側的表面上的諸多切刻 位置顯示在（b)處。當作典型，使用了第十八實施例的液 晶面板製造裝置400(參見圖3 1);並且，當作其切割機構 4 60的刀片461，使用了具有一種具備梯形截面的切割邊緣 之刀片（參考圖32(b))。 首先’製備一種當作形成液晶面板3 5 0之材料的破璃基 板301 ’它是由一對接合在一起的TFT基板3〇la和濾色片基 板30lb所組成。這種玻璃基板3〇1具有：依照一種格子狀 圖案而彼此鄰接佈置之許多TFT基板單元35 la和許多滤色 片基板單元35 lb。將液晶密封在每一對TF丁基板單元351a 與濾、色片基板單元35 lb之間。而且，分別將TFT側偏振片 3〇2a和濾色片側偏振片302b接合到TFT基板301a和濾色片 200303296 爹?月斌明續頁 早元351a(圖 (60) 基板30lb的外表面，以便覆蓋所有的TFt基板 4 0)。TFT側偏振片3〇2a和濾色片側偏振片302b具有舖蓋在 其外表面上的保護膜。 其次’將玻璃基板301放置在液晶面板製造裝置400的基 座上面，其令TFT基板30la朝上。然後，移動裝置410會沿 著兩個鄰接TFT基板單元35 la之間的諸多互相平行邊界U1 ，U2，···（參考圖43)其中之一邊界U1，從玻璃基板301之一 邊緣到另一邊緣’朝向一個方向（朝向由圖3 1和4 1中之箭 多負D所指示的方向）而移動。結果是，藉由刀4 6 1來刮除T F T 側偏振片302a之-一部份，因而將一條形區域3 11 a(參見圖42) 曝露在TFT基板301 a上面。隨後，輪形刀具430會沿著該條 形區域3 11 a而移動，以便形成一條刻劃線痕3 12a(參見圖4 2)。 其後’在一水平平面（horizontal plane)内，以平移方式移 勤玻璃基板3 0 1，使得：沿著邊界U2，U3，…而連續地重 複上述操作。其次，在一水平平面内，將玻璃基板3 〇丨旋 轉多達90° ，使得：沿著與邊界ui，U2，…垂直的邊界Q1 ’ Q2 ’ ···（參見圖43(a))而重複上述操作，以便形成多刻劃 線痕312b 。 其次’將玻璃基板30 1倒放，並且在濾色片基板30lb上 面重複上述操作。然而，此時執行操作與當在TFT基板301a 上面執行時不同。明確地說，執行該操作不但沿著兩個濾 色片基板單元之間的諸多邊界Vi，V2，·.·（參見圖43(b))， 它們都位於以上提及的諸多邊界Ul，U2，…的正對面；而 且沿著與那邊界VI ’ V2 ’…平行且相隔一段預定距離而運 -65- 200303296 (61) 發明說明續買 行的諸多邊界Wl，W2，···（參見圖43(b))，以便形成諸多突 出部份3 5 1 aa。於是，移動裝置4 1 0會依照V1，W1，V2，W2 ，…之順序而交錯地沿著兩種邊界，從玻璃基板3 〇丨之一 邊緣到另一邊緣，朝向一個方向（朝向由圖3 1和4 1中之箭 頭D所指TF的方向）而移動。 結果是’藉由刀片46 1來刮除滤色片側偏振片3〇2b的諸 多部份，因而將諸多條形區域311c和3lid(參見圖42)交錯地 曝露在濾色片基板30lb上面。隨後，輪形刀具43 〇會沿著 諸多條形區域311c和3 lid而移動，以便形成諸多刻劃線痕 312c和 312d(參見圖 42)。 其後，在一水平平面内，將玻璃基板3〇1旋轉多達9〇。 ’使得：沿著兩個濾色片基板單元351b之間的諸多邊界Tl ，丁2 ’···（參見圖43b)而重複上述操作，這些邊界都位於以 上提及的諸多邊界Ql，Q2，…的正對面；以便形成諸多刻 劃線痕312e。 然後，依需要，施加負載到玻璃基板3 〇 1，以便沿著諸 多刻劃線痕312a到3 12e而將它切開成許多對TFT基板單元 a和’慮色片基板早元351b。在這個時候，將位於刻劃線 Ί 3 12 e與刻劃線痕3 12 d之間的濾、色片基板3 〇 1 b (包括滤色片 侧偏振片302b)的諸多部份3 54(在42圖中，以陰影線表示） 田作'^用邵份加以去除。在每對中，此方法會在TFT基板 單元35la中產生突出部份351 aa。最後，將一種COG(玻璃 上晶片）或F P C (軟性印刷電路）連接到形成在突出部份 200303296 (62) I發明說明續買 3 5 1 aal内表面上的連接端子3 5 3，以便製造當作終端產品 的液晶面板3 5 0 (參見圖2 4 )。 當液曰曰面板3 5 0以此種方法製造時，接合τ F τ側偏振片 -單兀352a ’以便幾乎覆蓋著包括突出部份351aa之TFT基板 單元35 la的整個外表面；並且接合濾色片側偏振片單元· 3 5 2b ’以便幾乎覆蓋著濾色片基板單元35ib的整個外表 面 〇 而且’ TFT侧偏振片單元352a和濾色片侧偏振片單元 352b加以切割，以便在其邊緣352“和3521^處具有反映出刀 _ 片4 6 1的側面切割邊緣之上升角的斜面。而且，將τ f τ基 板單元351a和濾色片基板單元351b曝露在其外表面上之邊 緣處所具有的寬度大約等於刀片461之底部切割邊緣寬度 的一半。於是，藉由調整刀片461的形狀和尺寸，就有可 月匕獲彳寸種如以上描述的結構，該結構提供液晶面板之所 需機械強度以及對偏振片剥落之所需阻力。 不用說’藉由如以卜奸、θ 、 上描述的相同私序，可能會使用與第 十八實施例不同之任何杂 _ 了貝她例的液曰曰面板製造裝置4 〇 〇來 製造液晶面板350。 大31破璃基板切開成諸多個 橫兩個方向（X和Y兩個方向） 而’端视玻璃基板被分割 附帶地’當以這種方式來將 別液晶面板時’需要朝向縱和 而執行上述的切割操作。然 。又，霄發生下列問題。現在， 44到48，將要描述如何發 &生廷種問磚。首先，如廣 顯示，當朝向X方向而切判一 ° 種有偏振片3 02和毛 -67- (63) 200303296 發明說明續頁 玻璃基板3 0 1時，將移動裝置4 1 〇朝向X方向而 w不夕j力，以使 刮除和去除偏振片3 0 2 ’並且同時地執行刻劃操作兮移 動裝置具有：充當玻璃基板曝露構件的一種由馨如^是刀 片461所組成的切割機構460,以及追隨在它後面的輪形刀 具430。然後’在刮除偏振片302以曝露一條形區域3 i j的 同時，沿著在條形區域311上面的中間線而形成—條刻劃 線痕（一條裂痕，沿著裂痕切開）312。然後’如圖4T5^所 顯示，以和朝向X方向相同的方式，將具有刀片46丨以及 追隨在它後面之輪形刀具430的移動41〇朝向與χ方向垂 直的γ方向而移動，以便刮除和去除偏振片3〇2，並且同 時地執行刻劃操作。在這種切割方法中，刀片461運行在 輪形刀具430的前面。此方法使得在約略等於只切開一玻 璃片（glass sheet)之一步驟所需時間的一段時間中切開一種 有偏振片和它接合的玻璃基板是可能的。 然而，如圖46中所顯#，當朝向與朝向χ方向之先前形

成的刻劃線痕3 1 2垂直的γ古a ;孩命^ ^ L 且们Y万向而移動刀片4 6丨時，加壓頂 住破璃基板3 0 1上面的條來γ七 ]畑形£域3 1 1足刀片4 6丄的切割邊緣 會與藉由刻劃操作所开）# ^成的诸夕衣痕（刻劃線痕）3丨2的肩 部（shoulders)呈現垂直诎α田0 亚才里。、、、口果疋，如圖47中所顯示 ’液晶面板可能會在鼓 、 在轉角處（即：在兩條切割線痕之間的 截面處）碎裂；或去Η , 疋如圖4 8中所顯示，刀片4 6 1之切割邊 緣可能會碎裂461a。该蘇达…a > _ 义種情形會縮短刀片46 1的工作壽命 ’藉此增加運行眘闲 、 " ’並且也降低液晶面板3 5 0之品質。 於是，當刮除去除偏彳 振片312時，以刀片不會與先前形成 -68- 200303296 _ (64) 顯酵萌續t; 的刻劃線痕3 1 2交又的這樣一種方式來運行刀片4 6 1是很 適宜的。 參考圖49到5 1，將要描述一種避免此問題的切割方法於 下。首先，如圖4 9中所顯示，將用於刻劃操作的輪形刀具 4 3 0縮回（retracted)，並且將移動裝置4 1 0朝向X方向而移動 ，其中只有刀片46 1加壓頂住玻璃基板3 0 1。那就是，當第 一次將移動裝置4 1 0朝向X方向移動時，雖然將偏振片3 0 2 加以刮削和去除，以便形成一條形區域3 1 1，但是在此條 形區域3 1 1中卻沒有形成刻劃線痕3 1 2。 其次’如圖5 0_中所顯示，以稍早描述的方式，朝向玻璃 基板3 0 1中的Y方向而刮削偏振片，並且同時地執行刻劃 操作。那就是，形成了諸多條形區域3 1 1和刻劃線痕3 1 2 。此時，當第一次將移動裝置4 1 0朝向X方向而移動時， 在偏振片3 0 2即將被刮削處（即：在條形區域3 1 1中）並沒有 形成刻劃線痕。於是，刀片4 6 1能夠平順地刮削玻璃基板 3 0 1而沒有與刻劃線痕3 1 2碰撞。 最後，如圖5 1中所顯示，隨著此時將刀片4 6 1縮回，只 有輪形刀具430沿著當第一次將移動裝置410朝向X方向 而移動時所形成的諸多條形區域3 1 1而運行，使得：朝向 玻璃基板3 0 1的X方向而執行刻劃操作，以便形成諸多刻 劃線痕3 1 2來達成切割操作。以此方式，藉由依照：先朝 向X方向，之後朝向γ方向，然後再朝向X方向的這種順序 來執行分割操作（sectioning)，透過增加操作時間，就有可 能大幅延長刀片的工作壽命以及提高液晶面板的品質。 -69- 200303296 (65) I發明轉明績頁 在容許有更多時間的情形下，也有可能先朝向X和Y方 向而刮削偏振片3 0 2，以便朝向兩個方向而形成諸條形區 域3 11 ;然後再執行到削操作。兩者擇其一地5也有可能 各別地構築一種專用於刮削和去除偏振片的裝置以及另 一種專用於刻劃操作的裝置，以便各別地執行兩種過程。 產業適用性（Industrial applicability)

在與液晶顯示裝置有關的技術領域中，根據本發明之用 來切開玻璃基板之方法及裝置，液晶面板，以及用來製造 液晶面板之裝置都是挺有用的。 附圖概述 - 圖1是：概略地顯示在本發明伐第一實施例的玻璃基板 切割方法中如何去除沈積膜之一示意圖，其中將側視圖顯 不在（a)處，並且將前視圖顯在（b)處。 圖2是：圖1(a)之放大圖（enlarged view)。

圖3是··概略地顯示在第一實施例中如何形成裂痕（刻劃 線痕）之前視圖。 圖4是：概略地圖解說明在本發明之第二和第三實施例 的切割方法_如何去除沈積膜之前視圖。 圖5是：概略地圖解說明在本發明之第四實施例的切割 方法中如何去除沈積膜之一示意圖，其中將側視圖顯示在 (a)處，並且將前視圖顯示在（b)處。 圖6是：概略地顯示在第四實施例之另一實例的侧視圖。 圖7是··概略地圖解說明在本發明之第五實施例的切割 方法中如何去除沈積膜之前視圖。 -70- 200303296 v ; 發明說明績買 圖解說明在本發明之第六實施例的切割 方法中如何去除沈積膜之側視圖。 圖9是：概略地顯示在本發明之筮，^ 系七實施例的切割方法 中如何形成裂痕之前視圖。 圖10是：使用在本發明第八實施例 W的切割方法中（刀具 的外形圖（external view)。 圖11是：概略地圖解說明在第八會、A ， , 只施例中如何去除沈積 膜之側視圖； 之刀具的前面詳細圖； 中之直線m-n的剖視圖 @破璃基板切割裝置之前

圖1 2是：使用在第八實施例中 圖13是：沿著顯示於圖12 (sectional view)； 圖14是：本發明之第九實施例 視圖； 圖1 5是·使用在第九實施例之切割裳置的裂痕形成構件 (刻劃裝置）之透視圖（perspective view);

圖1 6是：當從上方看去時，本發明之第九和第十實施例 的切割裝置之平面圖（plan view” 圖1 7是··在沈積膜去除操作之前的狀態中，第九實施例 的切割裝置之前視圖； 圖1 8是：在沈積膜去除操作中間的狀態中，第九實施例 的切割裝置之前視圖； 圖1 9是：概略地圖解說本發明之第十一實施例的玻璃基 板切割方法之原理以及如何藉由採用該方法之裝置來去 除一部份沈積膜之一示意圖； -71 · 200303296 (67) 齋明說明績買 圖20是：概略地圖解說本發明之第十二實施例的玻璃基 板切割方法之原理以及如何藉由採用該方法之裝置來去 除一部份沈積膜和形成裂痕之一示意圖； 圖2 1是：顯示在本發明第十三實施例的玻璃基板切割方 法中如何去除沈積膜之諸多部份的剖視圖； 圖22是：顯示在第十三實施例的切割方法中如何形成裂 痕的剖視圖；

圖23是：顯示在本發明之第十四實施例的切割方法中如 何去除沈積膜之諸多部份和形成裂痕的剖視圖； 圖24是··顯示本發明之第十五實施例的液晶面板之外觀 的透視圖； 圖25是：第十五實施例之液晶面板的縱斷面圖（vertical sectional view) •’

圖26是：概略地顯示當偏振片之邊緣角（edge angle)改變 時第十五實施例之液晶面板的性質如何改變之一示意圖； 圖2 7是：概略地顯示本發明之第十六實施例的液晶面板 製造裝置之外觀的透視圖； 圖28是：玻璃基板之一主要部份的放大圖； 圖2 9是：適於刻劃操作之輪形刀具的外形圖； 圖3 0是：概略地顯示本發明之第十七實施例的液晶面板 製造裝置之外觀的透視圖； 圖3 1是：概略地顯示本發明之第十八實施例的液晶面板 製造裝置之外觀的透視圖； 圖3 2是··顯示使用在第十八實施例的液晶面板製造裝置 -72- 200303296 (68) 發明說明續頁 中之刀片形狀的一些實例之外形透視圖； 圖3 3是··概略地顯示本發明之第十九實施例的液晶面板 製造裝置之夕卜觀的透視圖； 圖34是：概略地顯示使用在第十九實施例之液晶面板製 造裝置中的刀片之外觀的透視圖； 圖35是：顯示於圖34中之刀片的爆炸透視圖（exploded perspective view)；

圖36是··圖解說明第十九實施例的液晶面板製造裝置之 操作的剖視圖； 圖3 7是：顯示使用在本發明之第二十實施例的液晶面板 製造裝置中之刀片的剖視圖； 圖3 8是：概略地顯示本發明之第二十一實施例的液晶面 板製造裝置之外觀的透視圖； 圖3 9是：顯示使用在第二十一實施例的液晶面板製造裝 置中之刀片的外形圖；

圖40是：顯示一種使用作為具體實施本發明的液晶面板 之材料的玻填基板之外觀的透視圖； 圖4 1是：顯示關於顯示在圖4 0中之玻璃基板的液晶面板 製造裝置之一實例的側視圖； 圖42是：在經過顯示於圖4 1中之液晶面板製造裝置處理 之後的玻璃基板之縱斷面圖， 圖43是：在經過顯示於圖4 1中之液晶面板製造裝置處理 之後的玻璃基板之外觀的透視圖； 圖44是：顯示朝向X方向運行之本發明的液晶面板製造 -73- 200303296 (69) 發明說明續頁 裝置之透視圖； 圖45是：顯示朝向Y方向運行之本發明的液晶面板製造 裝置之透視圖； 圖46是：顯示朝向Y方向運行之本發明的液晶面板製造 裝置之縱斷面圖； 圖47是：藉由顯示於圖44到46中之液晶面板製造裝置的 操作所產生之一液晶面板的外形透視圖；

圖48是：使用在顯示於圖44到46中之液晶面板製造裝置 的操作中之刀片的外形透視圖·· 圖49是：顯示_朝向X方向運行之本發明的液晶面板製造 裝置之透視圖，當作該裝置之較佳操作的一個實例； 圖5 0是：顯示在經過朝向X方向運行之後現在則朝向Y 方向運行之顯示於圖49中的液晶面板製造裝置之透視圖； 圖5 1是：顯示在經過朝向Y方向運行之後現在則再度朝 向X方向運行之顯示於圖50中的液晶面板製造裝置之透 視圖；

圖52是：顯示一種傳統玻璃基板切割裝置之一實例的前 視圖；以及 圖5 3是：顯示一種傳統液晶面板的外觀之透視圖。 圖式代表符號說明 1，11，21 玻璃基板 la，11a 沈積膜 lb 廢棄條帶 1c 刮削溝槽之底部 -74- 200303296 (70) 2, 12, 22, 52, 62 3, 13, 23, 63 3a 4 4a，14a 4b 5, 15, 25 5a，5c，15a, 25a 6, 16, 26 11c, 21c _ lid, 21d 13b, 23b 14 13a，23a 32, 32，，42 32b，52a 52b 60 63a 64 65 66 67 71 刮削刀具 工件載物台 狹長開口 刻劃刀具（構件） 輪形刀具 支架軸 刮削溝槽 刻劃線痕（裂痕） 吸力路徑 廢棄部份 產品部份 工件載物台凹處 刻劃構件 工件載物台凸處 刀具 刀片 刀柄部份 底盤 支撐架 滑輪 確動皮帶 刻劃裝置 導軌 裝置底板 發明說势績頁

-75- 200303296 (71) 昝明說明續頁 72 分厘螺絲 73 分厘裝配塊 74 接頭 74a 前面部份 74b 後面部份 75 刻劃底板 76 支撐塊 76a，76b 調整螺絲 77a, 77b 螺旋彈簧 78a，78b _ 彈簧末端螺絲 79 止動/加壓構件 79a，79b 止動/加壓構件之尖端 80a, 80b 止動螺絲 8 1，81， 刮削塊 82, 82， 刻劃塊 83 轉軸 84 沈積膜表面檢測構件 84a 檢測構件之尖端，檢測尖端 85 除塵構件 86 刀具裝配螺絲 101，301 玻璃基板 102 沈積膜 103 平台 104 直線形開口 -76- 200303296 發确說明績頁 (72) 1 05 刻劃構件 1 06 推進構件 1 07 定位構件 1 09 加壓構件 1 10 推進銷 111 定位銷 200 C型移動滑車 202 刮削構件（裝置） 203 螺母 204 _ 間隔片 205 平衡輪 206 滾壓器 207 線 208 緩衝材料 209 負壓力供應路徑 301 玻璃基板 3 02, 552a，552b 偏振片 302a 廢棄條帶 3 11 條形區域 3 12 刻劃線痕 3 50, 550 液晶面板 351a TFT(薄膜電晶體）基板單元 351b 濾色片基板單元 3 52a TFT側偏振片單元

-77- 200303296 (73) 鮝明說明績買 352b 滤色片側偏振片單元 353, 553 連接端子 3 5 laa9 55 1 aa 突出部份 400 液晶面板製造裝置 410 移動裝置 420 雷射輪射機構 430, 466, 467 輪形刀具 440 距離感測器 450 噴氣機構 451 _ 噴嘴 460 切割機構 461 〜464, 462% 463’ 刀片 465 支撐構件 551a，551b 基板單元 301a TFT基板 301b 滤色片基板 302a TFTM則偏振片 302b 濾色片側偏振片 354 無用部份

-78-

Claims (1)

1. 200303296 拾、申請專利範圍 L 一種用來切開有'沈積膜形成甘 法，包括： 彺”上面义玻璃基板的方 坡璃基板曝露構件，它用來 、 j木去除沈積膜之條形部份 9以便將條形區域曝露在基板上；以及 裂痕形成構件，它用來形成 成灰痕，以便允許沿著由 玻㈣基板曝露構件所造成之 ^ +路在基板上面的條形區 域而切開玻璃基板， 其中沿著裂痕加以切開坡璃基板。 其中 2·據申請專利範圍第1項之切開玻璃基板的方法 衣痕形成構件會在條形區域上面形成裂痕。 其中 3 ·根據申請專利範園 刻 罘、< 切開破塥基板的方法 农、艮形成構件會在條形區$ , 形成裂痕。 成對面《-玻璃基板表面上 4·根據申請專利範園 ΛΛ ^，、其中一項 < 切開玻璃基板 的万法，其中裂痕形成構件是輪形刀具。 5·根據申請專利範圍第15 板的女i ，、其中足一項 < 切開玻璃基 板的万法，進一步包括·· 並 載物口 ，在其上面放置玻璃基板， 和廢棄部^基板疋由主現交錯地佈置的諸多產品部份 為產σ W α所組成’產品部份會在切開之後被使用作 # ^ 邵份則會在切開之後被捨棄，並且在 工件载物会μ A ^ 6 ^成有用來支撐玻璃基板在其廢 200303296 申譜專射範獨績頁 :獅鋼;麵灣!:灘讎錄爾襲顧__资:靈額麵|:;濯巧_. 棄部份處的諸多凸處。 6.根據申請專利範圍第1到3項其中之一項之切開玻璃基 板的方法5 其中玻璃基板曝露構件是一種會刮除和藉以去除沈 積膜之諸多部份的切割機構。 7. 根據申請專利範圍第6項之切開玻璃基板的方法， 其中根據沈積膜之厚度和材料而確定切割機構所用 的角度和加壓力。

   8. 根據申請專利範圍第6項之切開玻璃基板的方法， 其中切割機構是由刮除沈積膜之條形部份的刀片所 組成，該刀片具有一種具備實質上呈現V形，圓弧形 ，或者梯形截面的切割邊緣。 9. 根據申請專利範圍第8項之切開玻璃基板的方法， 其中確定刀片之切割邊緣的截面尺寸，以便用具有 一種足以允許形成裂痕的寬度之方式來曝露條形區域。 10. 根據申請奉利範圍第8或9項之切開玻璃基板的方法，

   其中刀片之開度角在離開刀片尖端部份的部份比在 尖端部份還小3 °到6 ° 。 11. 根據申請拳利範圍第8或9項之切開玻璃基板的方法， 其中刀片是狹長形，並且具有相同截面形狀遍及刀片 之-段長度。 12. 根據申請參利範圍第6項之切開玻璃基板的方法， 其中切割機構是依照一種預定間隔而固定在一起的 兩個刀具之組合。 200303296 13。 其中佈置兩個刀具，以便用具有— 痕的寬度之方式來曝露條形區域。 根據申請專利範圍第！ 2項之 f章專:利範園續頁 切開破璃基板的方法， 種足以允許形成裂 14.根據申請專利範圍第6項之切開破璃基板的方法， 其中切割機構是由直接刮除沈積膜之諸多部份的刀 片部份以及固定刀片部份的刀柄部份所組成。 K根據申請專利範圍第6項之切開破璃基板的方法，

   其中：當施加一種預定加壓力到破璃基板時，切割機 構刮除和藉以去除沈積膜之諸多部份。 16.根據申請專利羞圍第15項之切開破璃基板的方法， 其中加壓力是一種由彈性構件（elastic member)所施加 的彈性力（elastic force)。 17·根據申請奉利範圍第6項之切開破璃基板的方法， 其中：沿著玻璃基板的邊緣，配備有一種無沈積膜部 份，在該處沒有形成沈積膜。 18·—種用來切開玻璃基板的裝置，該裝置包括：一工件載 物台，將有沈積膜形成在其上面的玻璃基板放置在該載 物台上；牢固構件，它用來將玻璃基板牢固在工件載物 台上面之一預定位置；裂痕形成構件，它用來形成裂痕 在玻璃基板上面，以便允許沿著裂痕加以切開玻璃基板 •，以及啟動構件，它用來將裂痕形成構件移到一預定位 置；會沿著裂痕而將玻璃基板切開成許多區塊的裝置， 包括： 一波璃基板曝鉻構件’它用來去除沈積膜之條形部份 200303296 事考轉園績頁 ——； _· ’以便將條形區域曝露在玻璃基板上面， 其中形成諸多裂痕，以便沿著由玻璃基板曝露構件所 造成之曝露在基板上面的條形區域而切開破璃基板。 19·根據申請專利範圍第丨8項之切開玻璃基板的裝置， 其中該裝置使用了根據申請專利範圍第1到3，第7到9 ，以及第12到17項其中之一項之切開玻璃基板的方法。 2〇·根據申凊專利範圍第丨8項之切開玻璃基板的裝置， 其中該裝置會執行：使玻璃基板曝露構件去除沈積膜 又條形部份的步驟，以及使裂痕形成構件形成裂痕在破 璃基板上面的_步驟。 21·根據申請專利範圍第18或2〇項之切開玻璃基板的裝置， 八中致動構件會朝向一個相同方向而移動玻璃基板 曝露構件和裂痕形成構件。 •根據申請專利範圍第1 8或20項之切開玻璃基板的裝置， 其中將玻璃基板曝露構件和裂痕形成構件沿著啟動 構件移動的方向而佈置成一排。 。根據申請專利範圍第18或2〇項之切開玻璃基板的裝置， 〃中玻璃基板曝露構件和裂痕形成構件都是藉由啟 動構件依照一種預定間隔加以整合固定，並且朝向與啟 動構件移動方向平行的方向而移動。 · 才艮 > κ 嫁申請專利範園第23項之切開玻璃基板的裝置， 、其中孩預足間隔等於將玻璃基板切開成諸多條形區 域所依據的間隔。 25·根妙、 豕申請專利範圍第i 8，2 〇以及2 4項其中之一項之切開 200303296 申讀專剎旄園績頁 玻璃基板的裝置，進一步包括： 檢測構件，控制構件，以及導引構件（guiding means) ，用來將玻璃基板曝露構件導引到在將沈積膜形成在其》 上面的玻璃基板之一玻璃表面上之一位置。 ^ 26·根據申請專利範圍第2 5項之切開玻璃基板的裝置， ， 其中··檢測構件會相對於玻璃基板而垂直地延伸和收 縮，並且在其尖端處具有一種由彈性材料所形成之可以 自由旋轉的浪動探針（rolling probe)。 27.根據申請專利範圍第2 6項之切開玻璃基板的裝置， 其中檢測構-件以一種〇.2牛頓（N)或更少的感測力來 操作。 28·根據申巧專利乾圍第1 8，2 0，2 4，2 6以及2 7項其中之一 項之切開玻璃基板的裝置， 其中依照一種格子狀圖案，將諸多條形區域和裂痕形 成在玻璃基板上面。 29.根據申請專利範圍第2 8項之切開玻璃基板的裝置， 其中工件載物台可以旋轉多達9〇。。 30·根據申請專利範圍第2 8項之切開玻璃基板的裝置， 其中工件載物台可以朝向與裂痕形成構件移動方向 垂直的方向而移動。 31 ·根據申印專利乾圍第1 8 ’ 2 9以及3 0項中之一項之切開玻 璃基板的裝置， 其中·將裂痕形成構件和玻璃基板曝露構件加以整合 形成，並且在與工件載物台的表面平行之一平面中，它 200303296 申請專利範圍績頁 們都可以一起旋轉。 32. 根據申請專利範圍第1 8，2 0，2 4，2 6，2 7，2 9以及3 0 項其中之一項之切開玻璃基板的裝置，進一步包括： 去除構件，它用來去除：由玻璃基板曝露構件所產生 之沈積膜的廢棄刮屑（waste shavings)，以及由裂痕形成構 件所產生之玻璃基板的粒子。 33. 根據申請專利範圍第3 2項之切開玻璃基板的裝置， 其中去除構件是：負壓力供應構件，正壓力供應構件 ’或者刷形去除構件。 34. 根據申請專利_範圍第1 8，20，24，26，27，29，30以及 3 3項其中一項之切開玻璃基板的裝置， 其中玻璃基板曝露構件是一種會刮除和藉以去除沈 積膜之諸多部份的切割機構， 該裝置進一步包括： 一微調構件，它用來將切割機構之刀片部份的尖端導 引到在將沈積膜形成在其上面的玻璃基板之一玻璃表 面上之一位置。 35·根據申請專利範圍第1 8，2 0，2 4，2 6，2 7，2 9，3 0以及 3 3項其中一項之切開玻璃基板的裝置， 其中在工件載物台中形成一狹長開口， 配置裂痕形成構件以便可以沿著開口而移動， 跨越玻璃基板而將玻璃基板曝露構件配置在裂痕形 成構件對面’ 裂痕形成構件和玻璃基板曝露構件都是藉由致動構 200303296 一 ................. 件加以整合移動。 36·根據申請專利範圍第3 5項之切開玻璃基板的裝置， 其中：玻璃基板曝露構件是一種會刮除和藉以去除沈 和膜之諸多部份的切割機構，並且具有一種相對於裝置 運订方向而配置在後面的滾壓器，藉由致動構件而使滾 壓器和破璃基板曝露構件一起移動，當加壓於條形區域 時二就會在玻璃基板上面的條形區域上滚動；並且， 當裂痕形成構件形成裂痕Bi A 其板h 灰痕時，藉由.罕固構件將玻璃 土板牛固在工件載物台上 構件 面所施加的力，玻璃基板曝露 々再什知壓於玻肩基板所施 加壓於 、 勺力，以及*滾壓器滚動時 形區域所施加的力 * ^ ^ ^ 孓—複合力（composite f()ree) 私破，基板固定在工件栽物台上面。 37·根據申請專利範 並丄 、< 切開玻璃基板的裝置， 〃中：裂痕形成構件是輪 種軟性从^ 知形刀具，而滾壓器則是由一 形狀和尺寸。 ，、有貫質上與輪形刀具相同的 38· 一種液晶面板是由一對接人 ，其中將液晶密封在其間，；起的基板單元所組成 兀之外表面， 々接口到基板早 其中：兩個基板單元其中〜y 兩個基板單元Jt中另, 固基板單兀的至少一端從 便，成I基板單元的至少-端突出，以 便形成一哭出部份，將連接 出以 面上，蕤士二、、 予形成在突出部份之内表 ’曰由孩端子來驅動液曰 便覆嘗突八、,. 曰曰面板，並且延伸偏振片以 文復|大出邵份（外表面。 200303296 :申請專利範圍績肓 39. 根據申請專利範圍第3 9項之液晶面板’ 其中偏振片的邊緣都位在從基板單元的邊緣起向内1 毫米或更小處。 40. —種液晶面板是由一對接合在一起的基板單元所組成 ，其中將液晶密封在其間，並且將偏振片接合到基板單 元之外表面， 其中形成偏振片的邊緣，以便具有一種朝向基板單元 漸漸變薄的縱斷面。 41. 根據申請專利範圍弟4 0項之液晶面板’ 其中偏振片-之邊緣都是相對於基板單元之外表面而 傾斜一種大於90°但不會大於135°的角度。 42. 根據申請專利範圍第4 1項之液晶面板， 其中將可拆換保護膜舖蓋在偏振片之外表面上，以便 和它整合。 43. —種用來製造液晶面板的裝置，該裝置藉由切開一玻璃 基板來製造許多根據申請專利範圍第3 8或40項之液晶 面板，該玻璃基板具有：彼此鄰接佈置之許多對將液晶 密封在其間而接合在一起的玻璃基板單元，以及接合到 它們兩個表面的偏振片，該裝置包括： 玻璃基板曝露構件，它用來去除偏振片之條形部份， 以便將條形區域曝露在玻璃基板上面，以及 裂痕形成構件，它用來形成裂痕，以便允許沿著由玻 璃基板曝露構件所造成之曝露在基板上面的條形區域 而切開玻璃基板， 200303296 申請專利範園績頁 其中沿著裂痕加以切開玻璃基板。 44. 根據申請專利範圍第43項之用來製造液晶面板的裝置， 其中玻璃基板曝露構件是一種雷射輻射機構，它利用 雷射光束加以輻照偏振片。 45. 根據申請專利範圍第44項之用來製造液晶面板的裝置， 其中裂痕形成構件是一種喷氣機構，它會噴出一種迅 速冷卻氣體到玻璃基板上面的條形區域，該區域則是由 雷射光束輻照所加熱。 46. 根據申請專利範圍第43項之用來製造液晶面板的裝置， 其中玻璃基-板曝露構件是一種會刮除和藉以去除偏 振片之條形部份的切割機構。 47. 根據申請專利範圍第46項之用來製造液晶面板的裝置， 其中切割機構是由刮除偏振片之條形部份的刀片所 組成，該刀片具有一種具備實質上呈現C形，梯形，半 圓形，或者圓形截面的切割邊緣。 48. 根據申請專利範圍第4 6項之用來製造液晶面板的裝置， 其中切割機構是由第一和第二刀片以及第三刀片所 組成，該第一和第二刀片會依照預定間隔而被佈置成彼 此相對，並且會刮除偏振片之條形部份，而該第三刀片 則被佈置在第一和第二刀片之間，並且會將由第一和第 二刀片所刮除的偏振片之條形部份刮削離開玻璃基板。 49. 根據申請專利範圍第4 8項之用來製造液晶面板的裝置， 其中將該預定間隔設定在從1到3毫米的範圍内。 50. 根據申請專利範圍第4 8或4 9項之用來製造液晶面板的 200303296 申讀專利範國、績頁 裝置， 其中第一和第二刀片是以同轴方式加以整合固定在 一起的一對輪形刀具，各自具有一種在從3 0 °到9 0 °之 範圍内的切割邊緣角。 51. 根據申請專利範圍第5 0項之用來製造液晶面板的裝置， 其中構成第一和第二刀片之輪形刀具都具有一種在 從5毫米到1 0毫米之範圍内的直徑。

   52. 根據申請專利範圍第48或49項之用來製造液晶面板的 裝置， 其中一和第-二刀片都是只有在朝向它們刮削偏振片 的方向才可以相關地移動，並且各自配備有許多切割邊 緣9它們在朝向刀片刮削偏振片的方向具有漸漸變小的 切割深度。 53. 根據申請專利範圍第4 8，4 9以及5 1項其中之一項之用來 製造液晶面板的裝置，

   其中佈置第一和第二刀片，使得它們的切割邊緣不會 與玻璃基板接觸。 54. 根據申請專利範圍第4 7到4 9以及5 1項其中之一項之用 來製造液晶面板的裝置， 其中構成切割機構的刀片具有一種形成在其上面的 塗層（coating)，使得偏振片的去除部份不會黏上。 55. 根據申請專利範圍第47到49以及5 1項其中之一項之用 來製造液晶面板的裝置， 其中裂痕形成構件是輪形刀具。 -10- 200303296 申請事刺範園績頁 56. 根據申請專利範圍第5 5項之用來製造液晶面板的裝置 ，進一步包括： 一種用來選擇性地啟動玻璃基板曝露構件和裂痕形 成構件的啟動機構。 57. 根據申請專利範圍第5 6項之用來製造液晶面板的裝置， 其中啟動機構會依照一條路徑的這樣一種順序而啟 動玻璃基板曝露構件和裂痕形成構件，構成切割機構的 刀片沿著該路徑運行而不會與裂痕交叉。 58. 根據申請專利範圍第5 7項之用來製造液晶面板的裝置， 其中：啟動機構首先只啟動玻璃基板曝露構件，以便 形成第一群組（group)的條形區域；然後朝向與第一群組 的條形區域垂直的方向而啟動玻璃基板曝露構件和裂 痕形成構件，以便形成第二群組的條形區域和第一群組 的裂痕；然後沿著第一群組的條形區域而只啟動裂痕形 成構件，以便形成第二群組的裂痕。

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