SU842111A1 - Solution for chemical polishing of copper and its alloys - Google Patents
Solution for chemical polishing of copper and its alloys Download PDFInfo
- Publication number
- SU842111A1 SU842111A1 SU792712349A SU2712349A SU842111A1 SU 842111 A1 SU842111 A1 SU 842111A1 SU 792712349 A SU792712349 A SU 792712349A SU 2712349 A SU2712349 A SU 2712349A SU 842111 A1 SU842111 A1 SU 842111A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- solution
- alkyl
- hydrogen peroxide
- sulfuric acid
- imidazolines
- Prior art date
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 23
- 239000010949 copper Substances 0.000 title claims description 15
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 14
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 title claims description 14
- 239000000126 substance Substances 0.000 title claims description 11
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title claims description 6
- 239000000956 alloy Substances 0.000 title claims description 6
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 46
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 46
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 4
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 4
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 35
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 16
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 8
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 8
- 235000019441 ethanol Nutrition 0.000 description 5
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 5
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 3
- HUVYLRHAZAEUHY-UHFFFAOYSA-N 2-(4,5-dihydroimidazol-1-yl)ethanamine Chemical compound NCCN1CCN=C1 HUVYLRHAZAEUHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000022 2-aminoethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])N([H])[H] 0.000 description 2
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 2
- 125000002091 cationic group Chemical group 0.000 description 2
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 poly (polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- WGKRYMGAGJFZCV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-decyl-4,5-dihydroimidazol-1-yl)ethanamine Chemical compound CCCCCCCCCCC1=NCCN1CCN WGKRYMGAGJFZCV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DRFUISFZQDKCNR-UHFFFAOYSA-N 2-(2-octadecyl-4,5-dihydroimidazol-1-yl)ethanamine Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCCC1=NCCN1CCN DRFUISFZQDKCNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNPURSDMOWDNOQ-UHFFFAOYSA-N 4-methoxy-7h-pyrrolo[2,3-d]pyrimidin-2-amine Chemical compound COC1=NC(N)=NC2=C1C=CN2 CNPURSDMOWDNOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000271566 Aves Species 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000008753 Papaver somniferum Nutrition 0.000 description 1
- 241000218180 Papaveraceae Species 0.000 description 1
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L Sulfate Chemical compound [O-]S([O-])(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Substances C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002847 impedance measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000010534 mechanism of action Effects 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000009456 molecular mechanism Effects 0.000 description 1
- 150000002892 organic cations Chemical class 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 1
- 239000012224 working solution Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F3/00—Brightening metals by chemical means
- C23F3/04—Heavy metals
- C23F3/06—Heavy metals with acidic solutions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- ing And Chemical Polishing (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Description
. Изобретение относитс к химической обработке поверхности металлов в частности к полированию изделий из меди и ее сплавов. Из существующих механических, электрохимических и химических способов полировани деталей наиболее перспективньом вл етс химическое полирование. Известен раствор дл химического полировани меди и ее сплавов 1, который содержит серную кислоту,, перекись водорода с добавками моноэтилового зфира этиленгликол , неионогенного .ПАВ и производных азолов при следующем соотношении компо нентов, г/л: Серна или азотна кислота 10-150 Перекись водорода 50-200 Моноэтиловый эфир гликол 10-20 Триазолы0,01-10 Неионогенные ПАВ 0,5-1 Метиловый или этиловый эфир эти ленгликол 20 мл/л или вместо них 50 мл/л метилового или этилового спирта. Поверхность металла, обработанн таким раствором,получаетс иедоста Ш однородной в результате протравливани металла на различную глубину . Наиболее близким к предлагаемому до технической, сущности вл етс раствор 2, содержащий серную кислоту, йерекись водоррда и поверхностноактивное вещество . Однако блеск поверхности низкий при этом съем металла довольно высокий . Цель изобретени - повышение блеска и снижение растравливани поверхности меди и ее сплавов. Дл достижени указандюй цели в раствор, содержащий серную кислоту, перекись водорода, поверхностно-активное вещество и воду, в качестве ПАВ ввод т гексафторокремниевые соли 2-алкил-1(2 -аминоэтил)-2-имидазолинов или 2-алкил-1(2-полиэтиленполиамин ) -2-имидазолинов общей формулы . . N-CH,N-CHj 1 -СНа 2 били Я-((сИг CH CHaNH (iHtCHeNHVCH C faNHt, 20 4 . R Ид т С-гоН j n 1-5. 20 41 при следующем содержании компонен тов, г/л: Серна кислота ( уд. вес, ) 50-100 Перекись водорода 100-150 Гексафторокремниевые соли 2-алкил-1 ( 2 -с1миноэтил)-2-имидазолинов или 2-алкил-1(2 -полиэтиленполиамин )-21-3 -имидазолинов Гексафторокремниевые соли 2-ал -1(2 -аминоэтил)-2-имидазолинов п чают реакцией взаимодействи 2-ал кил-1 (2 -аминоэтил)-2-имидазолино с гек гафторокремниевой кислотой в среде ацетона при температуре 20 40°С и мольном соотношении исходн компонентов 1:1: -снг N-CHz + H2SiFj- -R-C И-СНг СНгСКг Нг caijCHj или имидазолин-основани 2-алкил . (2 -полиэтиленполиамин)-2-имидазо линов) обшей формулы: ЭТ-СЯг тг-снг ( сНг CHe-NHJ „ СНг где R о т С:,оН. Растворы приготавливают, добав л в ванну к расчетному количест серной кислоты и перекиси водород предлагаемые добавки. Содержимое ванны тщательно перемещивают и до вод т температуру рабочего раство ра до 30-4БС. Полированию подвер гают пластины размером 75 х100 мм Полирование в известных раство провод т в услови х, аналогичных санным выше. Конкретные услови полировани дл каждого отдельного случа отр жены в примерах 1-18, результаты испытаний приведены в таблице. Пример 1. Состав раствор г/л: Серна кислота ( d 1,84 г/см) Перекись водорода Гeкcaфтopioкpeмниeвa соль 2-тетрадецил-1- -(2-ами ноэ тил)-2-имидазолина Полирование обработанной пласт ны из технической меди марк-и М-3 (Си - 99,, Bi - 0,003%, Pb 05% ) провод т в вышеуказанном ре при в течение 1 мин. Пример 2. Состав раствора, : Серна кислота (d 1,84 г/см) Перекись водорода Гексафторокремниева соль 2-додецил-1-(2 -аминоэтил-2-имидазолиПолирование пластины из латуни ки Л-68 осуществл ют при темперае раствора в ванне в тече30 сек. Пример 3. Состав раствора, : Серна кислота (d 1,84 г/см) Перекись водорода Гексафторокремниева соль 2-децил-1-(2- . -аминоэтил)-имидазолина Вода До Г л. Полирование пластины из техничесмеди Марки М-3 провод т при тематуре ЗОС в течение 1 мин. Пример 4. Состав раствора, :Серна кислота ( d 1,84 г/см)100 Перекись водорода 150 Гексафторокремниева соль 2-децил-1-(2-аминоэтил ) -2-имидазолина 3 ВодаДо 1 л Латунь марки Л-68 полируют при С в течение 30 сек. П р и м е р 5. Состав раствора. : Серна кислота (d 1,84 г/см) Перекись водорода Гексафторокремниева соль 2-октадецил-1- (2 -аминоэтил)-2-имидазолина2 Вода До 1 л Пластины из технической меди марки полируют при 35°С в течение 1 мин. . Пример 6. Состав раствора, : Серна кислота Id 1,84 г/см) Перекись водорода Гексафторокремниева соль 2-октадецил-1- (2таминоэтил)-2-имидазолина2 Вода . До 1 л Латунь марки Л-б8 полируют при С в течение 1 мин. Пример 7(используетс извесй раствор) С( . Содержание компонентов, г/л: Серна кислота40 Перекись водорода 50 . The invention relates to the chemical treatment of the surface of metals, in particular, to the polishing of articles made of copper and its alloys. Of the existing mechanical, electrochemical and chemical methods of polishing parts, chemical polishing is the most promising. A known solution for chemical polishing of copper and its alloys 1, which contains sulfuric acid, hydrogen peroxide with ethylene glycol monoethyl ether, non-ionic sulfate and azo derivatives with the following ratio of components, g / l: Sulfuric or nitric acid 10-150 Hydrogen peroxide 50-200 Glycol monoethyl ether 10-20 Triazoles 0.01-10 Non-ionic surfactants 0.5-1 Methyl or ethyl ether these glycol glycol 20 ml / l or 50 ml / l methyl alcohol or ethyl alcohol instead. The surface of the metal treated with such a solution is obtained by uniformly uniformly by etching the metal to different depths. The closest to the proposed technical essence is solution 2 containing sulfuric acid, hydrogen chloride and a surfactant. However, the surface gloss is low while metal removal is quite high. The purpose of the invention is to increase the gloss and reduce the etching of the surface of copper and its alloys. To achieve the desired purpose, hexafluoro-silicon 2-alkyl-1 (2-amino-ethyl) -2-imidazoline or 2-alkyl-1 (2) is added as a surfactant to the solution containing sulfuric acid, hydrogen peroxide, surfactant and water. poly (polyethylene polyamine) -2-imidazolines of the general formula. . N-CH, N-CHj 1 -CHa 2 beat I - (((sIG CH CHaNH (iHtCHeNHVCH C faNHt, 20 4. R Go C-goH jn 1-5. 20 41 with the following content of components, g / l: Sulfuric acid (spd. Weight) 50-100 Hydrogen peroxide 100-150 Hexafluoro-silicon 2-alkyl-1 (2 -s1-amino-ethyl) -2-imidazoline salts or 2-alkyl-1 (2-polyethylene-polyamine) -21-3-imidazolines Hexafluorosilicon salts of 2-al-1 (2-amino-ethyl) -2-imidazolines are prepared by reacting 2-alkyl-1 (2-amino-ethyl) -2-imidazolino with hexafluorosilicic acid in acetone at a temperature of 20–40 ° C and molar ratio 1: 1 source components: -cng N-CHz + H2SiFj- -RC I-CHg C NgSCg Ng caijCHj or imidazoline-base 2-alkyl. (2-polyethylenepolyamine) -2-imidazolines) overall formula: ET-Syag tg-cng (cng CHe-NHJ „СНг where R о С С:, оН. Solutions are prepared, Supplied additives are added to the bath to the calculated amount of sulfuric acid and hydrogen peroxide. The contents of the bath are carefully transferred and the temperature of the working solution is adjusted to 30-4BS. Polishing is carried out on plates 75 x 100 mm in size. similar to the sleigh above. The specific polishing conditions for each individual case are reflected in examples 1-18, the test results are shown in the table. Example 1. The composition of the solution is g / l: Sulfuric acid (d 1.84 g / cm) Hydrogen peroxide Hydroxycopyne salt 2-tetradecyl-1- - (2-amine tere) -2-imidazoline Polishing treated sheets from technical copper mark -and M-3 (Cu - 99 ,, Bi - 0.003%, Pb 05%) is carried out in the above mentioned re for 1 min. Example 2. The composition of the solution: Sulfuric acid (d 1.84 g / cm) Hydrogen peroxide Hexafluoro-silicon salt 2-dodecyl-1- (2-amino-ethyl-2-imidazole) The polishing of the brass plate L-68 is carried out at a temperature of solution in the bath for 30 seconds Example 3. Composition of the solution: Sulfuric acid (d 1.84 g / cm) Hydrogen peroxide 2-decyl-1- (2-. -aminoethyl) -imidazoline Hexafluoro-silicon-silicon salt Water Up to Hl. Polishing a plate from technical media Grades M-3 are carried out with the AIA theme for 1 minute. Example 4. Solution composition: Sulfuric acid (d 1.84 g / cm) 100 Hydrogen peroxide 150 Hexafluoro silicon salt of 2-decyl-1- (2-aminoethyl) -2-imidazoline 3 Water up to 1 l L-68 brand brass is polished at C for 30 seconds. Example 5: Solution composition: Sulfuric acid (d 1.84 g / cm) Hydrogen peroxide Hexafluoro-silicon salt 2-octadecyl-1- (2-amino-ethyl) -2-imidazoline 2 Water Up to 1 l Plates of technical copper grade are polished at 35 ° C for 1 minute Example 6. Composition solution,: Sulfuric acid Id 1.84 g / cm) Hydrogen peroxide Hexafluoro-silicon salt 2-octadecyl-1- (2-taminoethyl) -2-imidazoline2 Water. Up to 1 L Brass of the grade L-B8 is polished at C for 1 min. Example 7 (used solution solution) C (. Content of components, g / l: Sulfuric acid40 Hydrogen peroxide 50
Аэотна кислота20Azoic acid20
1-амино-1,2,3-триаэол 5 Метанол50 мл/л1-amino-1,2,3-triaol 5 Methanol 50 ml / l
Неионогенный ПАВ 2 мл/л ВодаДо 1 лNonionic surfactant 2 ml / l Vodo Do 1 L
Полирование пластин из меди мар М-3 провод т при в растворе в течение 1 мин.Polishing of copper plates M-3 was carried out in solution for 1 min.
П р и лл е р 8. Состав раствора такой, как в примере 7.PRI lle R 8. Composition of the solution is the same as in example 7.
Полирование пластин из латуни мки Л-68 провод т погружением их в раствор при 45С в течение 30 сек.Polishing of L-68 brass plates is carried out by immersing them in a solution at 45 ° C for 30 seconds.
Пример 9. Состав раствора г/л:Example 9. The composition of the solution g / l:
Серна кислотаSulfuric acid
Ы 1,84 г/см)50N 1.84 g / cm) 50
Перекись водорода 100 Вода До 1 лHydrogen peroxide 100 Water Up to 1 l
Пластины из меди марки М-3 полируют цри в течение 1 мин.Plates of copper grade M-3 polished ri for 1 min.
Пример 10. Раствор приготовлен по рецептуре, приведенной в |Примере 9. Полирование пластины и латуни марки Л-68 провод т в течен 1 мин при температуре раствора-..ЗОExample 10. The solution was prepared according to the formula shown in Example 9. Polishing the plate and brass of the grade L-68 was carried out for 1 minute at a solution temperature - 30%.
Пример 11. Состав раствор г/л: Example 11. The composition of the solution g / l:
Серна кислота,Sulfuric acid
(d 1,84 г/см) 60(d 1.84 g / cm) 60
Перекись водорода 90Hydrogen peroxide 90
2-тетрадецил-1(2 -диаминодиэтил )-2-имидазолина22-tetradecyl-1 (2-diaminodiethyl) -2-imidazoline2
ВодаДо 1 лWater up to 1 l
Полирование пластины из меди маки М-3 провод т при в течение 1 мин.Polishing a plate of copper poppies M-3 was carried out for 1 min.
Пример 12. Состав раствора г/л:Example 12. The composition of the solution g / l:
Серна кислотаSulfuric acid
(d 1,84 г/см)(d 1.84 g / cm)
60 9060 90
Перекись водородаHydrogen peroxide
2-тетрадецил-1(2 -диаминодиэтил )-22 1 л2-tetradecyl-1 (2-diaminodiethyl) -22 1 l
-имидазолииа-imidazolium
ВодаДоWater
Полирование пластины из латуни Л-68 проводили при 40с в течение 1 мин.Polishing a plate of brass L-68 was carried out at 40 s for 1 min.
Пример 13. Состав раствор . г/л:Example 13. The composition of the solution. g / l:
Серна кислота50Sulfuric Acid50
Перекись водорода 100Hydrogen peroxide 100
2-децил-1(2 -гекса .аминоэтил)-2-имидазолина . 12-decyl-1 (2-hexa. Amino-ethyl) -2-imidazoline. one
ВодаДо 1 л Water up to 1 l
Полирование -пластины из меди маки М-3 провод т при в течение 1 мин. The polishing of the α-3 copper plates M-3 is carried out for 1 min.
Пример 14. Состав раствор г/л:Example 14. The composition of the solution g / l:
Серна кислотаSulfuric acid
(d 1,84 г/см) 100(d 1.84 g / cm) 100
Перекись водорода . 150Hydrogen peroxide . 150
2-децил-1(2 -гексааминоэтил )-2-имидазолина .2 .2-decyl-1 (2-hexaaminoethyl) -2-imidazoline. 2.
ВодаДо 1 лWater up to 1 l
Полирование пластины из латуни марки Л-68 провод т при 45с в течение 30 сек.Polishing a plate made of brass of the grade L-68 was carried out at 45 s for 30 seconds.
Пример 15. Состав раствора, г/л:Example 15. The composition of the solution, g / l:
Серна кислотаSulfuric acid
(d 1,84 г/см)50(d 1.84 g / cm) 50
Перекись водорода 100 2-октадецил-1(2-диаминодиэтил )-2-ими0 дазолина1Hydrogen peroxide 100 2-octadecyl-1 (2-diaminodiethyl) -2-imi0 dazolin1
Вода До 1 лWater Up to 1 l
Полирование пластины из меди марки М-3 провод т при 30°С в течение 1 мин.Polishing a plate of copper grade M-3 was carried out at 30 ° C for 1 min.
5five
Пример 16. Состав раствора, г/л:Example 16. The composition of the solution, g / l:
Серна кислотаSulfuric acid
(d 1,S4 г/см)50(d 1, S4 g / cm) 50
Перекись водорода 150 2-октадецил-1(2-ди0 аминодиэтил) -2-имидазолина2Hydrogen peroxide 150 2-octadecyl-1 (2-di 0-aminodiethyl) -2-imidazoline 2
ВодаДо 1 лWater up to 1 l
Полирование пластины из латуни марки Л-68 провод т при 45с.в тече5 ние 30 сек.Polishing a plate made of brass of the grade L-68 is carried out at 45 seconds. For 5 seconds.
Пример 17 (используетс известный раствор 2).Example 17 (known solution 2 is used).
Состав раствора,авес.: Перекись водорода 15 The composition of the solution, aves .: hydrogen peroxide 15
0 Серна -кислота (d 1,84 г/см) 9,95 Этанол50 Sulfuric acid (d 1.84 g / cm) 9.95 Ethanol5
Неионогенное ПАВ . 0,1 ВодаОстальноеNonionic surfactant. 0.1 Water Else
5five
Полирование пластины провод т при Polishing the plate is carried out at
45С в течение 30 сек дл меди марки М-3.45C for 30 sec for copper grade M-3.
Пример 18 (раствор такой, как в примере 17).Example 18 (solution as in example 17).
00
Состав раствора, вес.%: Перекись водорода 15 Серна кислотаThe composition of the solution, wt.%: Hydrogen peroxide 15 Sulfuric acid
(d 1,84 г/см)9,95(d 1.84 g / cm) 9.95
Этанол 5Ethanol 5
Неионогенное ПАВ0,1Nonionic surfactant 0,1
5five
ВодаОстальноеWaterEverything
Полирование пластины из латуни марки Л-68 провод т при 45 С в течение 30 сеК.The polishing of a plate made of brass of the grade L-68 was carried out at 45 ° C for 30 sec.
Раствор, согласно изобретению, The solution according to the invention
0 дл химического полировани меди и ее сплавов содержит гексафторокремниевые соли 2-алкил-(2-аминоэтил)-2-имидазолинов . Это катионоактивные органические вещества или имидазо5 лин-основани 2-алкил-(2 -полиэтиленполиамин ) -2-имидазолинов, которые в сернокислых растворах образуют сернокислые соли (в растворах других кислот, например в азотной - соответственно азотнокислые соли и т.д.). 0 for the chemical polishing of copper and its alloys contains 2-alkyl- (2-amino-ethyl) -2-imidazolines hexafluoro-silicon salts. These are cationic organic substances or imidazo5 lin bases of 2-alkyl- (2-polyethylene polyamine) -2-imidazolines, which form sulfuric acid salts in sulfuric acid solutions (for solutions of other acids, for example, in nitric acid, respectively, nitric acid salts, etc.).
0 Основна роль, как видно из таблицы, принадлежит органическому катиону, что подтверждаетс кулоностатическими и импедансометрическими измеi , рени ми.0 The main role, as can be seen from the table, belongs to the organic cation, which is confirmed by the coulostatic and impedance measurement, rhenium.
5five
В известном растворе 2 в состав вход т спирты (метанол, этанол) вещества молекул рного типа, а также неионо енное ПАВ, действующее, как и спирты, по молекул рному механизму .In the known solution 2 alcohols (methanol, ethanol) are composed of substances of the molecular type, as well as non-ionic surfactants, acting, like alcohols, by a molecular mechanism.
Следовательно, механизм действи катионоактивных веществ и веществ молекул рного типа различный, что и наблюдаетс из результатов эксперимента . Важным фактором вл етс уменьшение съема металла (е 0,350 ,37 мкм/мин в Чистом растворе до 0,16-0,20 мкм/мин в присутствии добавок).Consequently, the mechanism of action of cationic substances and substances of molecular type is different, which is observed from the experimental results. An important factor is the reduction in metal removal (e 0.350, 37 µm / min in Pure solution to 0.16-0.20 µm / min in the presence of additives).
Оптимальна добавка находитс в пределах 1-3 г/л. Увеличение концен-. трации почти не вли ет на качество обрабатываемой поверхности.The optimal additive is in the range of 1-3 g / l. The increase in the concentration. Traction almost does not affect the quality of the treated surface.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792712349A SU842111A1 (en) | 1979-01-10 | 1979-01-10 | Solution for chemical polishing of copper and its alloys |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792712349A SU842111A1 (en) | 1979-01-10 | 1979-01-10 | Solution for chemical polishing of copper and its alloys |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU842111A1 true SU842111A1 (en) | 1981-06-30 |
Family
ID=20805012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU792712349A SU842111A1 (en) | 1979-01-10 | 1979-01-10 | Solution for chemical polishing of copper and its alloys |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU842111A1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5059391A (en) * | 1987-09-11 | 1991-10-22 | Bayer Aktiengesellschaft | Use of polyaralkylamines as corrosion inhibitors |
| RU2574459C1 (en) * | 2014-11-24 | 2016-02-10 | Акционерное общество "НПО "Орион" | Composition of polishing etching agent for chemical-mechanical polishing of cadmium-zinc telluride |
-
1979
- 1979-01-10 SU SU792712349A patent/SU842111A1/en active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5059391A (en) * | 1987-09-11 | 1991-10-22 | Bayer Aktiengesellschaft | Use of polyaralkylamines as corrosion inhibitors |
| RU2574459C1 (en) * | 2014-11-24 | 2016-02-10 | Акционерное общество "НПО "Орион" | Composition of polishing etching agent for chemical-mechanical polishing of cadmium-zinc telluride |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3668131A (en) | Dissolution of metal with acidified hydrogen peroxide solutions | |
| US3785939A (en) | Tin/lead plating bath and method | |
| US4086176A (en) | Solutions for chemically polishing surfaces of copper and its alloys | |
| CH513254A (en) | Acid polishing of stainless steel - with oxidising pretreatment - in alkaline medium | |
| EP0575244B1 (en) | Process for treating aluminium-based substrates before their anodisation, bath used in this process and concentrate for preparing this bath | |
| SU842111A1 (en) | Solution for chemical polishing of copper and its alloys | |
| Smith et al. | The passivation of nickel in aqueous solutions—II. An in situ investigation of the passivation of nickel using optical and electrochemical techniques | |
| US3341384A (en) | Dissolution of metal with acidified hydrogen peroxide containing dibasic acid | |
| US2703781A (en) | Anodic treatment of aluminum surfaces | |
| GB2076429A (en) | Electrolytic process for exposing silicon crystals at the surface of a body of an aluminium alloy with a high silicon content | |
| US2542779A (en) | Electropolishing composition and process | |
| CN113584488A (en) | Kovar alloy (4J29) normal-temperature chemical polishing method | |
| JP2678867B2 (en) | Chemical polishing liquid composition for aluminum and aluminum alloy | |
| FR2709312A1 (en) | Bath and electroplating process of white palladium. | |
| US3841982A (en) | Method to improve the brightness of zinc from an alkaline zincate electrodeposition bath | |
| FR2692903A1 (en) | New 1: 2 asymmetric metal complexes, their preparation and their use as anionic dyes. | |
| US4270991A (en) | Anodic oxidation of aluminum and aluminum alloys with a lignin electrolyte solution | |
| FR2555615A1 (en) | ALUMINUM TREATMENT BATH AND METHOD USING THE BATH, ESPECIALLY IN THE FIELD OF SATINING AND CHEMICAL MACHINING | |
| CA2131474A1 (en) | Preparation of hydroxyoxaalkylmelamines | |
| JP4234246B2 (en) | Aqueous processing fluid for magnetic disk substrate | |
| CN114774004B (en) | Silicon wafer polishing additive, polishing liquid and preparation method and application thereof | |
| CA2186401A1 (en) | Baths and method for chemically polishing stainless steel surfaces | |
| US3386897A (en) | Electroplasting bright nickel | |
| SU1458430A1 (en) | Composition for photochemical milling of copper and copper alloys | |
| JP2983158B2 (en) | Platinum electropolishing rack and platinum electropolishing method |