SU276921A1 - Устройство дл выращивани монокристаллов - Google Patents

Claims (1)

1. Известны устройства дл  выращиван монокристаллов кристешлизацией распл ва в лодочках, включающие кристаллиз ционную камеру.с установленным в ее полости нап евателем, отделенный от мефы вакуумным затвором шлюзовой , расположенный по оси нагревател , и систему откачки. Опи Я:1еаемое устройство отличаетс  тем, что пишзовой отсек укреплен на )отной каретке, а вакуумный затвор встроен в корпус . Такое выполнение устройства упрощает его конструкцию. На чертеже изображено опи( лва@4ое устройство, вид.. Устройство имеет кристаллизаадсоиную камеру i, в полости которой устаиовлеи нагреватель 2, шлюзовой отсек 3, расположенный на поворотной каретке 4, и систему откачки 5, соед ненную с К 1мерой и отсеком. отдельными лини ми 6 и 7. в корпус камеры встроен вакуумный затвсф В. Лодочку 9 с исходньм материалом п мацают в отсек Ю камеры, после чего в ней создают, заданные темп (атурные услови  и давление, выращивание осуществл ют перемещением лодочки через кристаллизационную камеру в шлюзовой отсек. Шлизовой отсек отделшот от камеры при псшощи вакуумного затвора и после охлаждени  лодочки отсоедин ют от камеры. Лодочку с выращенным монокристаллом извлекгиот из отсека, в отсек устанавливают другую лодочку и после создани  в отсеке давлени , соответствующего давлению в кристаллизационной камере, процесс выращивани  повтор ют.. Устройство позвол ет выращивать серии монокристаллов в воспроизводиVUXX . услови х. Формула изЬвретени  Устройство дл  выращквани  монокристаллов кристаллизацией расплава в лодочках, включающее кристгшлизационную камеру с установленным в ее полости иагревателш4, отделенный от камеры вакуумным затвором шлюзовой отсек, расположенный по оси нагревател , и систему откачки, соединенную с камерой и отсеком отдельными лини ми, отличающеес  тем, что, с целью упрощени  конструкции , шлюзовой отсек укреплен на поворотной KaiSeTKe, а Вс1куумный зат- вор встроен в корпус камеры.