SU235900A1 - TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP - Google Patents
TURBOMOLECULAR VACUUM PUMPInfo
- Publication number
- SU235900A1 SU235900A1 SU1207467A SU1207467A SU235900A1 SU 235900 A1 SU235900 A1 SU 235900A1 SU 1207467 A SU1207467 A SU 1207467A SU 1207467 A SU1207467 A SU 1207467A SU 235900 A1 SU235900 A1 SU 235900A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- drum
- shaft
- vacuum pump
- turbomolecular vacuum
- blades
- Prior art date
Links
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 2
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical compound [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
Description
Известны турбомолекул риые вакуумные насосы, содержащие корпус и размещенный в нем на валу роторный барабан с рабочими ,1опатками, чередующимис с укреиленными на внутренней иоверхности корпуса наиравл ющими лопатками.Turbomolecular vacuum pumps are known, comprising a housing and a rotor drum mounted on the shaft with working blades alternating with paddle blades mounted on the inner surface of the housing.
Предлагаемый насос отличаетс от известны .к тем, что барабан выполнен полым с радиальными внутренними перегородками и образует с валом отсеки серповидного сечени . В каждом отсеке расиоложена подпружиненна пластина, перемещаема в косом пазу вала.The proposed pump differs from those known in that the drum is hollow with radial internal partitions and forms crescent-shaped compartments with the shaft. In each compartment there is a spring-loaded plate, moved in an oblique groove of the shaft.
С торцов барабан снабжен заборниками чащеобразной формы, открытыми навстречу вращению, дл иодачи газов с лопаток в отсеки .From the ends, the drum is provided with intakes of a more frequent form, open to rotation, for iodine gases from the blades into the compartments.
Вал имеет радиальные отверсти с клапанами , подключенные к выхлопному отсеку, и выполнен полым дл отвода газов в атмосферу . При этом вал может быть установлен неподвижно или с возможностью вращени в направлении вращени барабана с иным числом оборотов или в противоположном направлении .The shaft has radial holes with valves connected to the exhaust compartment, and is hollow to divert gases into the atmosphere. In this case, the shaft can be mounted stationary or rotatably in the direction of rotation of the drum with a different number of revolutions or in the opposite direction.
Этс обеспечивает откачку объема от атмосферного давлени .ETS provides volume pumping from atmospheric pressure.
На фиг. 1 схематически изображен предлагаемый насос; на фиг. 2 - насос с овальной внутренней полостью барабана, поперечное сечение.FIG. 1 schematically shows the proposed pump; in fig. 2 - pump with an oval internal cavity of the drum, the cross section.
Насос имеет корпус /, подключенный при патрубка 2 к откачиваемому объему. При этом насос может быть как двухпоточного , так и одноиоточного исполнени . В корпусе размещен роторный барабан 3 с рабочими лопатками 4, чередующимис с направл юп ими лопатками 5. Барабан установлен на валу 6 и вращаетс в подщипниках 7 от приводной передачи 8. Барабан выполненThe pump has a housing / connected with the nozzle 2 to the pumped volume. In this case, the pump can be both double-flow and single-flow. A rotor drum 3 with working blades 4 alternating with blades 5 is placed in the housing. The drum is mounted on shaft 6 and rotates in the spindle 7 from drive transmission 8. The drum is made
полым. Полость барабана может иметь форму иилиндра, эксиентрично размещенного относительно оси вала и барабана или форму овала с нейтральной осью, совпадающей с .осью вала. В последнем варианте обеспечиваетс лучща балансировка барабана. Барабан с помощью радиальных перегородок образует с валом отсеки 9 серповидного сечени . В каждом отсеке расположена продольна подпружиненна пластина 10, перемещаема в косом пазу вала. Пластина делит серповидное пространство отсека на две части, одна из которых иериодически увеличивающегос , а друга периодически уменьщающегос объема.hollow. The cavity of the drum may be in the form of an ilindra, which is eclectically placed relative to the axis of the shaft and the drum, or an oval with a neutral axis that coincides with the axis of the shaft. In the latter version, a better drum balancing is provided. The drum forms 9 crescent sections with the shaft by means of radial partitions. In each compartment there is a longitudinal spring-loaded plate 10, which is moved in an oblique groove of the shaft. The plate divides the crescent-shaped compartment space into two parts, one of which is periodically increasing, and the other periodically decreasing volume.
Откачиваемые газы с лопаток подаютс в отсеки с помощью заборников // чашеобразной формы, открытых навстречу вращению и расположеиных по торцам барабана.Pumped gases from the blades are fed into the compartments with the help of intakes // cup-shaped, open to the rotation and located on the ends of the drum.
Вал также выполнен полым и имеет радиThe shaft is also hollow and has
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU235900A1 true SU235900A1 (en) |
Family
ID=
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4797068A (en) * | 1986-06-12 | 1989-01-10 | Hitachi, Ltd. | Vacuum evacuation system |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4797068A (en) * | 1986-06-12 | 1989-01-10 | Hitachi, Ltd. | Vacuum evacuation system |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2470184C2 (en) | Rotary compressor | |
| JPH0264218A (en) | Hydraulic pump for oil pressure driven fan system | |
| KR100322269B1 (en) | Oscillating Rotary Compressor | |
| US2015307A (en) | Rotary pump, compressor, or driven motor | |
| CN101498306A (en) | Rotary compressor | |
| RU94025915A (en) | ROTARY BLANK MOTOR | |
| SU235900A1 (en) | TURBOMOLECULAR VACUUM PUMP | |
| US5332375A (en) | Rotary piston machine | |
| US5803713A (en) | Multi-stage liquid ring vacuum pump-compressor | |
| JP2993299B2 (en) | Rotary compressor | |
| US3351272A (en) | Vacuum pump | |
| US1210042A (en) | Fluid engine and pump. | |
| US767028A (en) | Motor and pump. | |
| RU2744877C2 (en) | Downhole pump unit with submersible multistage pump of rotor-piston type on the basis of ryl hydraulic machine | |
| US1106617A (en) | Rotary engine. | |
| RU2208681C2 (en) | Hydraulic and gas machine | |
| JP2002303283A (en) | Fluid pump | |
| WO2020159382A1 (en) | Rotation machine | |
| US11143028B2 (en) | Composite piston machine combining rotary oscillating and pendular movements | |
| RU2817259C1 (en) | Rotary vane supercharger | |
| RU131822U1 (en) | ROTARY PUMP | |
| RU34654U1 (en) | RADIAL PISTON PUMP | |
| RU2239069C1 (en) | Blade-crankless machine (versions) | |
| RU2322615C1 (en) | Two-stage liquid-ring machine | |
| EP2751393B1 (en) | Lubricant vane pump |