SU1366709A1

SU1366709A1 - Turbomolecular vacuum pump

Info

Publication number: SU1366709A1
Application number: SU864033528A
Authority: SU
Inventors: Константин Евгеньевич Демихов; Анатолий Сергеевич Скоркин; Михаил Геннадьевич Сапежинский; Илья Игоревич Оглоблин
Original assignee: МВТУ им.Н.Э.Баумана
Priority date: 1986-03-05
Filing date: 1986-03-05
Publication date: 1988-01-15

Abstract

Изобретение позвол ет повысить степень сжати насоса. Лопатки 2 и 3 соответственно статорных и роторных дисков в меридиональном сечении наклонены к оси корпуса 1. Повышение степени сждти обусловлено сближением боковых граней межлопаточного канала вследствие наклона лопаток к оси корпуса. Этот фактор вл етс более Существенным, чем уменьшение окружной скорости в результате по влени изгибающих усилий при обеспечении одинакового запаса прочности. 1 ил.The invention makes it possible to increase the degree of compression of the pump. The blades 2 and 3, respectively, of the stator and rotor disks in the meridional section are inclined to the axis of the housing 1. The increase in the degree of pressure is caused by the approach of the side faces of the inter-blade channel due to the inclination of the blades to the axis of the housing. This factor is more significant than the reduction in peripheral speed as a result of the appearance of bending forces while ensuring the same margin of safety. 1 il.

Description

(Л(L

со а а VIco aa vi

соwith

Изобретение относитс к вауумной технике, а именно к конструкци м турбомолекул рных вакуумных насосов.The invention relates to vacuum technology, in particular to designs of turbomolecular vacuum pumps.

Целью изобретени вл етс повьше- ние степени сжати насоса.The aim of the invention is to increase the degree of compression of the pump.

На чертеже представлен предлагаемый насос, продольный разрез.The drawing shows the proposed pump, a longitudinal section.

Турбомолекул рный вакуумный насос содержит корпус 1 и расположенные в нем ,по оси статорные и роторные диски с лопатками 2 и 3 соответственно, в меридиональном сечении наклоненными к оси корпуса 1.The turbomolecular vacuum pump comprises a housing 1 and stator and rotor disks arranged axially in it with blades 2 and 3, respectively, in a meridional section inclined to the axis of the housing 1.

Насос работает следующим образом.The pump works as follows.

Молекулы откачиваемого газа, попада в насос на стороне всасывани , взаимодействуют с поверхност ми лопаток 2 и 3 и перенос тс - на сторо- ну нагнетани .The molecules of the evacuated gas, entering the pump on the suction side, interact with the surfaces of the blades 2 and 3 and are transferred to the discharge side.

Повышение степени сжати обусловлено сближением боковых граней межлопаточного канала вследствие наклона лопаток 2 и 3 к оси корпуса 1, причем этот фактор вл етс более существеннь1м, чем уменьшение окружной скорости в результате по влени ч изгибающих усилий при обеспечении одинакового запаса прочности.The increase in the degree of compression is due to the approach of the lateral faces of the interscapular canal due to the inclination of the blades 2 and 3 to the axis of the housing 1, and this factor is more significant than the decrease in peripheral speed as a result of the appearance of bending forces while ensuring the same margin of safety.

Claims

Invention Formula

A turbomolecular vacuum pump comprising a housing and stator and rotor disks arranged axially in it with blades forming interscapular ducts, characterized in that, in order to reduce the degree of compression, the vanes in the meridional section are inclined to the axis of the housing.