[go: up one dir, main page]

SU1000789A1 - Device for remote measuring of temperature - Google Patents

Device for remote measuring of temperature Download PDF

Info

Publication number
SU1000789A1
SU1000789A1 SU803003837A SU3003837A SU1000789A1 SU 1000789 A1 SU1000789 A1 SU 1000789A1 SU 803003837 A SU803003837 A SU 803003837A SU 3003837 A SU3003837 A SU 3003837A SU 1000789 A1 SU1000789 A1 SU 1000789A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
temperature
delay
recorder
acoustic waves
surface acoustic
Prior art date
Application number
SU803003837A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Леонард Иванович Захарьящев
Владимир Дмитриевич Семенченок
Original Assignee
Рязанский Радиотехнический Институт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Рязанский Радиотехнический Институт filed Critical Рязанский Радиотехнический Институт
Priority to SU803003837A priority Critical patent/SU1000789A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU1000789A1 publication Critical patent/SU1000789A1/en

Links

Landscapes

  • Arrangements For Transmission Of Measured Signals (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Description

Изобретение относитсй к измерительной технике, а именно к устройствам дл  дистанционного измерени  температуры. Оно может найти применение в системах точного измерени  и автоматического регулировани  температуры на труднодоступных, удаленных и наход щихс  в т желых услови х эксплуатации объектах. V Известно устройство дл  измерени  температуры, содержащее термочувствительный элемент пА основе поверхностных акустических волн, : .включенным в цепь генератора радиочастотного диапазона, установленного на объекте измерени  .The invention relates to a measurement technique, namely, devices for remote temperature measurement. It can be used in the systems of accurate measurement and automatic temperature control at hard-to-reach, remote and severely operating facilities. V A device for temperature measurement is known, which contains a PA sensing element based on surface acoustic waves,: connected to a radio frequency generator circuit installed at the measurement object.

Недостатком такого устройства  вл етс  ограниченный диапазон йзмер екшх температур, определ емой используеьслми в схеме генератора полупроводниковыми элементами.The disadvantage of such a device is the limited range of measurements of the temperature, which is determined using semiconductor elements in the generator circuit.

Наиболее близким по технической сущности и достигаеквзму результату к изобретению  вл етс  устройство дл  измерени  температуры, содержащее пассивный переизл учатель с линией задержки на поверхностных акустических волнах в качестве термочувствительного элемента, передатчик и приемник оадиоимпульсов и регистратор L 2.The closest in technical essence and achievement of the result of the invention is a device for measuring temperature, containing a passive re-teacher with a delay line on surface acoustic waves as a temperature-sensitive element, a transmitter and receiver of oadipulses and a recorder L 2.

Недостатком такого устройства  вл етс  невысока  точность измере-. ни  и невозможность непосрдественного использовани  дл  автоматического регулировани  температуры объектов . Последнее св зано с монотонным характером зависимости времени The disadvantage of this device is the low accuracy of the measurements. neither is the impossibility of direct use for automatic control of the temperature of objects. The latter is due to the monotonous nature of the time dependence.

10 задержки линии на поверхностных акустических волнах от температуры.10 line delays on surface acoustic waves on temperature.

Цель изобретени  - повышение точности измерени  температуры и расширение функциснальных возможностей The purpose of the invention is to improve the accuracy of temperature measurement and the expansion of functional capabilities

15 устройства.15 devices.

Поставленна  цель достигаетс  тем,-ЧТО в устройстве дл  дистанционного измерени  температурга, содержащем пассивный переизлучатель The goal is achieved through the following: -WPT in a device for remote temperature measurement, containing a passive re-radiator

20 с линией задер у.ки на поверхностных акустических волнах в качестве тер- . мочувствительного элемента, передатчик и приемник радиоимпульсов и. регистратор , в состав пассивного пе25 реизлучател  введена, дополнительна  лини  зсщержки на поверхностшлх акустических волнах, причем обе линии задержки включены параллельно и имеют противоположные по знаку . 20 with a draw line on surface acoustic waves as ter- element, transmitter and receiver of radio pulses and. The recorder, a part of the passive re-radiator, was introduced, an additional line of the trigger on the surface of acoustic waves, with both delay lines connected in parallel and of opposite sign.

30 температурные коэффициенты задержки, а приемник радиоимпульсов содержит синхронный детектор и фильтр низких частот, подключенные последовательно к входу регистратора. Регистратор выполнен в виде счет чика полупериодов огибающей амплитуд принимаемых радТюимпульсов. На чертеже приведена электрическа  схема устройства. Устройство содержит пассивный : пёреиэлучатель, установленный на объекте 1 измерени  и включающий в себ  термочувствительный элемент 2 антенну 3, передатчик 4 и приемник 5, работающие на одну общую антенну б, регистратор 7. Термочувствительный элемент 2 представл ет собой подложку из пьезоэлектрика (например, ниобата лити , кварца), на поверхности кото рой сформированы две линии задержки поверхностных акустических волн. Ка дан из ЛИНИЙ задержки образована дв м  преобразовател ми поверхностных волн встречно-штыревого типа (8 и 9 дл  первой линии задержки; 10 и 11 дл  второй) и звукопроводом в виде поверхностного сло  подложки между преобразовател ми (12 дл  первой ли нии задержки и 13 - дл  второй). Пр образователи 8 и 9, 10 и 11 ориенти рованы на поверхности подложки так, что поверхностные акустические волны в первой и второй лини х задержки распростран ютс  вдоль осей Х и соответствующих противоположным значени м температурных коэффициентов задержки, равным по величине и противоположным по знаку. Преобра зователи 8-11 электрическ соединен параллельно и подключены к антенне Передатчик 4 содержит стабильный генератор 14 высокой частоты, импусльный генератор 15, линию 16 задержки , модул тор 17 и ждущий мультивибратор 18. Приемник 5 .содержит электронный коммутатор 19,синхронный детектор 20, фильтр 21 низких частот, фазовращатель 22. Устройство работает следующим об разом. Высокочастотные радиоимпульсы, вырабатываемые передатчиком 4, имеющие период повторени  tT и длитель . ность Тц, , излучаютс  антенной б в направлении антенны 3 пассивного переизлучател  и затем принимаютс  антенной 3, трансформируютс  преобpaзoвaтeл  ш 8-11 в поверхностные акустические волны (акустические импульсы) и распростран ютс  в звукопроводах 12 и 13 первой и второй линий задержки по двум парам встреч ных направлений (волнистые стрелки) Задержанные в звукопроводах 12 к 13 поверхностные акустические волны трансформируютс  преобразовател ми 8-11 в радиоимпульсы, которые сук;мируютс  в фазовых соотношени х, завис щих от температуры подложки или наход щегос  с ней в тепловом контакте объекта измерени . Суммарные импульсные радиосигналы переизлучаютс  антенной 3 в направлении антенны б, принимаютс  антенной б и поступают в приемник 5. Комплексные коэффициенты передачи первой и второй линий задержки в случае линейной зависимости их времен задержки от температуры, равных по величине и противоположных по знаку температурных коэффициентов задержки и равных вносимых потерь , можно представить в виде i(,--KoexpH2-icfToti-fol.r(t-t;); (d) Ч- ое рН2Гс т„ 1-(Г-1о) (2) где К - модуль коэффициента переда° чи линий задержки; j - мнима  единица; f г частота, Гц; - врем  задержки линий при соответсттемпературе L, вующей равенству времен задержки первой и второй линий , как функций температуры , с; с(.-р - абсолютна  величина температурного коэффициента задержки линий, о текуща  температура, с. На основе принципа суперпозиции комплексный коэффициент передачи термочувствительного элемента 2 с точностью до посто нного мно кител , завис щего от условий согласовани  термочувствительного элемента с антенной 3, с учетом (1) и (2) может боть представлен в виде --Koco5i:iirfTofll-rCt°-t;)JexpC-J2-fE{To). а) Дл  получени  наложени  откликов первой и второй линий задержки их длительность должна быть существенно больше максимального изменени  времени задержки линий в измер емом диапазоне температур Д В этом случае амплитуда переизлучаемых антенной 3 радиоимпульсов зависит от температуры по закону косинуса , как это следует из выражени  (3). Нулевое значение амплитуды переизлучаемых рад иоимпульсов соответствует противофазному значению коэффициентов передачи первой и второй линий задержки. Интервал температуры &t между ее лв;м  соседними ypoBHHNM t и ., соответствущими нулевому знгзченик - амплитуды переизлучаемых радиоимпульсов, определ етс  из выражени  (З): где количество акустических длин волн, уклащывак дахс  в звукопроводе первой или второй линии задержки при температуре t. Величина п в лини х задержки на поверхностных акустических волна может достигать при приемлемых потер х не более 40 дБ/10 -10, а вел чина дл  наиболее термочувствител ных материалов, например ниобата лити , достигает Отсюда на основе формулы (k) следует, что величина t йожет быть получена О,1-1,.Тогда точность измере ни  малого отклонени  температуры от уровней, соотретствун цих нулевому значению амйлитуда переизлучен ных радиоимпульсов, может достигать 0,01-0,. Радиоимпульсы передатчика формируютс  путем модул ции высокочасто ного сигнала генератора 14, задержанными в линии 16 задержки на вре м  Т) импульсами генератора 15. Она осуществл етс  в модул торе 17. За держка Т необходима дл  недсжного запирани  приемника паред началом каждого импульса передатчика. Запирание приемника осуществл етс  с помощью электронного коммутатора 19, срабатывающего от импульсов жд щего мультивибратора 18, которые п рекрывают во времени импульсы передатчика . Запуск ждущего мультивибратора осуществл етс  передним фронтом каждого импульса генератора 15. Принимаекые антенной 6 радиоимпульсы , проход  через электронный коммутатор, поступают на один из входов синхронного детектора 20. Н другой вход синхронного детектора через фазовращатель 22 поступает сигнал генератора 14. Фазовращател необходим дл  компенсации рассогла совани  фаз высокочастотного запол нени  принимаемых радиоимпульсов и сигнала генератора 14, которые поступают на входы синхронного детектора 20. Несуща  частота рсщиоимпульсов может выбиратьс  в диапазоне 10 1000 МГц, в котором могут использо ватьс  линии задержки поверхностны акустических волн. Выбор определ етс  особенност ми радиоканала, его длиной, требовани ми к констру ции и габаритам антенн 3 и 6. Из спектра выходного сигнала синхронного детектора 20 с помощью фильтра низких 21 частот выдел етс  огибающа  амплитуд принимаемых радиоимпульсов, котора  несет информацию о температуре объекта 1 измерени  и подаетс  на регистратор 7. Дл  измерени  температуры, измен ющейс  в широких пределах (в отличие от ее малого изменени  от одного из уровней), или определени  номера уровн  регистратор 7 может быть выполнен в виде счетчика, фиксирующего количество периодов или полупериодов ошбающей амплитуд принимаемых радиоимпульсов, которое пропорционально температуре объекта или номеру уровн . Термочувствительный элемент должен быть защищен от действи  агрессивных сред путем помещени  его в вакуумированный корпус (не показан). Тепловой контакт с объектом измерени  может осуществл тьс  через стенку корпуса или через инфракрасное излучение объекта. В последнем случае корпус должен быть прозрачным (например, из кварцевого стекла). Конструкци  термочувствительного элемента может отличатьс  от вышеописанной . Перва  и втора  линии .задержки могут изготавливатьс  на двух подложках из разных пьезоэлектриков . Подложка может быть и непьезоэлектрической , например, из плавленного кварца. При этом линии задержки выполн ютс  на основе пвезоэлектрических пленок, например нитрида алюмини , способного работать при температурах до 1000°. Передатчик 4 может содержать усилитель мощности, включаег-Флй на выходе модул тора 17, а приемник - уси- литель посто нного тока на выходе фильтра 21 низких частот. В приемник 5 могут также быть введены входна  цепь.и усилитель высокой часто- ты между коммутатором 19 и синхронным детектором 20. При- высоком уровне помех и большом затухании радиосигналов и термочувствительном элементе 2 наличие этих устройств в приемо-передающей части становитс  необходимым . Использу  устройство, можно измер ть температуры объектов от криогенной , где- параметры устройств на поверхностных акустических волнах даже выше, чем при нормальной. (20 С), до нескольких сотен градусов при ис пользовании таких распространенных пьезоэлектриков, как ниобат лити  и кварц. Верхний предел может быть увеличен, если применить более термостойкие пьезоэлектрики. Предлагаемое устройство обеспечивает высокую точность дистанционного измерени  и регулировани  температуры . Оно легко поддаетс  миниатюризации , технологично и имеет высокую воспроизводимость параметров, характерную дл  приборов, использующих поверхностные акустические волны .30 temperature delay coefficients, and the radio pulse receiver contains a synchronous detector and a low-pass filter connected in series to the recorder's input. The recorder is designed as a half-period counter of the amplitude envelope of received radio pulses. The drawing shows the electrical circuit of the device. The device contains a passive: a transducer mounted on the measurement object 1 and includes a temperature-sensitive element 2, an antenna 3, a transmitter 4 and a receiver 5 operating on one common antenna b, a recorder 7. The temperature-sensitive element 2 is a piezoelectric substrate (for example, niobate lithium, quartz), on the surface of which two delay lines of surface acoustic waves are formed. The kan from the LINE delay is formed by two counter-pin surface wave transducers (8 and 9 for the first delay line; 10 and 11 for the second) and a sound guide as a surface layer of the substrate between the transducers (12 for the first delay line and 13 - for the second). The drivers 8 and 9, 10 and 11 are oriented on the substrate surface so that the surface acoustic waves in the first and second delay lines propagate along the X axis and the corresponding opposite values of the temperature coefficients of the delay equal in magnitude and opposite in sign. Transducers 8-11 are electrically connected in parallel and connected to the antenna. Transmitter 4 contains a stable high frequency generator 14, an impulse generator 15, a delay line 16, a modulator 17 and a standby multivibrator 18. Receiver 5. Contains an electronic switch 19, a synchronous detector 20, a filter 21 low frequencies, a phase shifter 22. The device operates as follows. High-frequency radio pulses produced by transmitter 4, having a repetition period of tT and a duration. Tc,, are radiated by antenna b in the direction of the antenna 3 of the passive re-radiator and then received by antenna 3, the transformer sh 8-11 transforms into surface acoustic waves (acoustic impulses) and propagates in the sound ducts 12 and 13 of the first and second delay lines over two pairs of encounters directions (wavy arrows) Surface acoustic waves delayed in the 12-by-13 ducts are transformed by converters 8-11 into radio pulses that are bitches; they are combined in phase relationships depending on the substrate temperature. or are luminant with it in thermal contact with the measurement object. The total pulsed radio signals are reradiated by antenna 3 in the direction of antenna b, received by antenna b and fed to receiver 5. The complex transfer coefficients of the first and second delay lines in the case of a linear dependence of their delay times on temperature, equal in magnitude and opposite in sign temperature coefficients of delay and the insertion loss can be represented as i (, - KoexpH2-icfToti-fol.r (tt;); (d) The pH of the pH is 2 Gs m „1- (G-1o) (2) where K is the modulus of the transfer coefficient ° delay lines; j - imaginary unit; f g frequency, Hz; - time in holding lines at an appropriate temperature L, which is equal to the delay times of the first and second lines as functions of temperature, s; s (.- p is the absolute value of the temperature coefficient of delay of the lines, o current temperature, s. Based on the superposition principle, the complex transfer coefficient of the temperature-sensitive element 2 up to a constant set depending on the conditions of matching the temperature-sensitive element with antenna 3, taking into account (1) and (2), it can be represented as -Koco5i: iirfTofll-rCt ° -t;) JexpC-J2-fE {To). a) In order to obtain the superposition of the responses of the first and second delay lines, their duration must be significantly longer than the maximum change in the delay time of the lines in the measured temperature range D In this case, the amplitude of the 3 radio pulses re-emitted by the antenna depends on the cosine law, as follows from the expression (3 ). The zero value of the amplitude of reradiated rad pulses corresponds to the antiphase value of the transmission coefficients of the first and second delay lines. The temperature interval & t between its lv; m adjacent ypoBHHNM t and. Corresponding to zero voltage — amplitudes of re-emitted radio pulses, is determined from the expression (3): where is the number of acoustic wavelengths placed in the acoustic conductor of the first or second delay line at temperature t . The value of n in the lines of the surface acoustic wave can reach with acceptable losses of no more than 40 dB / 10 -10, and the order for the most heat-sensitive materials, such as niobate lithium, reaches Hence, on the basis of formula (k) it follows that It can be obtained as O, 1-1,. Then the accuracy of measuring the small deviation of temperature from the levels, corresponding to a zero value of the amplitude of the re-emitted radio pulses, can reach 0.01-0. Radio transmitter pulses are generated by modulating the high-frequency signal of generator 14, delayed in delay line 16 at time T) by generator pulses 15. It is carried out in modulator 17. Holding T is necessary to lock the receiver until the transmitter starts each pulse. The receiver is locked by means of an electronic switch 19, triggered by the pulses of the waiting multivibrator 18, which closes the transmitter pulses in time. The standby multivibrator is triggered by the leading edge of each pulse of the generator 15. Radio pulses received by the antenna 6, passing through the electronic switch, are fed to one of the inputs of the synchronous detector 20. The other input of the synchronous detector passes through the phase shifter 22 the generator 14. phases of the high-frequency filling of received radio pulses and the signal of the generator 14, which are fed to the inputs of the synchronous detector 20. The carrier frequency of the radio pulse may be selected in the range of 10 1000MHz, which can vats uses the delay line surface acoustic waves. The choice is determined by the characteristics of the radio channel, its length, the design requirements and the dimensions of the antennas 3 and 6. The envelope amplitudes of the received radio pulses, which carries information about the temperature of the measurement object 1, are separated from the spectrum of the output signal of the synchronous detector 20 and supplied to the recorder 7. To measure the temperature, which varies widely (as opposed to its small change from one of the levels), or to determine the level number, the recorder 7 can be made as a counter, fixed iruyuschego number of periods or half-periods oshbayuschey amplitudes of the received RF pulse that is proportional to temperature of the object or number of levels. The thermal element must be protected from aggressive media by placing it in an evacuated body (not shown). Thermal contact with the object of measurement can be made through the wall of the housing or through infrared radiation of the object. In the latter case, the body must be transparent (for example, from quartz glass). The design of the temperature-sensitive element may differ from that described above. The first and second lines of delay can be made on two substrates of different piezoelectrics. The substrate may be non-piezoelectric, for example, of fused quartz. In this case, delay lines are made on the basis of piezoelectric films, for example aluminum nitride, capable of operating at temperatures up to 1000 °. Transmitter 4 may contain a power amplifier, including on-output at the output of the modulator 17, and receiver — a direct current amplifier at the output of the low-pass filter 21. The input circuit can also be entered into the receiver 5. A high frequency amplifier between the switch 19 and the synchronous detector 20 can be input. With a high level of interference and high attenuation of radio signals and a temperature-sensitive element 2, the presence of these devices in the transmitting-receiving part becomes necessary. Using the device, it is possible to measure the temperature of objects from a cryogenic one, where the parameters of devices on surface acoustic waves are even higher than during normal. (20 C), up to several hundred degrees when using such common piezoelectrics as niobate lithium and quartz. The upper limit can be increased by applying more heat-resistant piezoelectrics. The proposed device provides high accuracy of remote measurement and temperature control. It is easily miniaturized, technologically advanced and has a high reproducibility of parameters characteristic of devices using surface acoustic waves.

Claims (2)

Формула изобретени  1, Устройство дл  дистанционного измерени  температуры, содержащее пассивный переизлучатель с линией задержки на поверхностных акустических волнах в качестве термочувствительного элемента, передатчик и приемник радиоимпульсов, и регистратор , отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности измерени  температуры и расширени  функциональных возможностей, . в состав пассивного переизлучател  введена дополнительна  лини  задержки на поверхностных акустических волнах, причем обе линии задержки включены параллельно и имеют противоположные по знаку температурные коэффициенты задержки, а приемник радиоимпульсов содержит синхронный детектор и фильтр низких частот, подключенны последовательно к входу регистратора ,Claim 1, A device for remote temperature measurement, comprising a passive re-emitter with a delay line on surface acoustic waves as a temperature-sensitive element, a transmitter and receiver of radio pulses, and a recorder, characterized in that, in order to increase the accuracy of temperature measurement and enhance functionality,. An additional delay line on surface acoustic waves was added to the passive re-emitter, with both delay lines connected in parallel and with opposite signs of temperature delay coefficients, and the radio pulse receiver contains a synchronous detector and a low-pass filter connected in series to the recorder input, 2. Устройство по nil, отличающеес  тем, что регистратор выполнен в виде счетчика числа полупериодов огибающей амплитуд принимаемых радиоимпульсов.2. The device according to nil, characterized in that the recorder is designed as a counter of the number of half-periods of the envelope of the amplitudes of the received radio pulses. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизеSources of information taken into account in the examination 1.Патент Франции 2423762,1.Patent of France 2423762, кл. G 01 К 11/22, опублик. 20.04.78.cl. G 01 K 11/22, published. 04.20.78. 2.Авторское свидетельство СССР №923263, кл. G 01 К 11/22, 16.10.80 (прототип).2. USSR author's certificate No. 923263, cl. G 01 K 11/22, 10.16.80 (prototype).
SU803003837A 1980-11-06 1980-11-06 Device for remote measuring of temperature SU1000789A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU803003837A SU1000789A1 (en) 1980-11-06 1980-11-06 Device for remote measuring of temperature

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU803003837A SU1000789A1 (en) 1980-11-06 1980-11-06 Device for remote measuring of temperature

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1000789A1 true SU1000789A1 (en) 1983-02-28

Family

ID=20925910

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU803003837A SU1000789A1 (en) 1980-11-06 1980-11-06 Device for remote measuring of temperature

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1000789A1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2362980C1 (en) * 2008-01-09 2009-07-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Омский научно-исследовательский институт приборостроения" Device to measure temperature
RU2494358C1 (en) * 2012-04-06 2013-09-27 Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Радар ммс" Sensitive element for temperature measurement
RU2585487C1 (en) * 2015-01-19 2016-05-27 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие Ордена Трудового Красного Знамени Научно-Исследовательский Институт Радио (Фгуп Ниир) Passive temperature sensor operating on surface acoustic waves
WO2019240609A1 (en) * 2018-06-15 2019-12-19 Научно-Технический Центр "Радиотехнических Устройств И Систем" С Ограниченной Ответственностью Temperature monitoring based upon surface acoustic wave passive delay lines with an anticollision function

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2362980C1 (en) * 2008-01-09 2009-07-27 Федеральное государственное унитарное предприятие "Омский научно-исследовательский институт приборостроения" Device to measure temperature
RU2494358C1 (en) * 2012-04-06 2013-09-27 Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Радар ммс" Sensitive element for temperature measurement
RU2585487C1 (en) * 2015-01-19 2016-05-27 Федеральное Государственное Унитарное Предприятие Ордена Трудового Красного Знамени Научно-Исследовательский Институт Радио (Фгуп Ниир) Passive temperature sensor operating on surface acoustic waves
WO2019240609A1 (en) * 2018-06-15 2019-12-19 Научно-Технический Центр "Радиотехнических Устройств И Систем" С Ограниченной Ответственностью Temperature monitoring based upon surface acoustic wave passive delay lines with an anticollision function
RU2756413C1 (en) * 2018-06-15 2021-09-30 Научно-Технический Центр "Радиотехнических Устройств И Систем" С Ограниченной Ответственностью Method and device for temperature monitoring based on passive delay lines on surface acoustic waves with anti-collision function

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Seifert et al. Mechanical sensors based on surface acoustic waves
Reindl et al. Wireless measurement of temperature using surface acoustic waves sensors
CN102853934B (en) Wireless temperature and humidity sensor and system and measuring method
US7434989B2 (en) SAW temperature sensor and system
CN1181814A (en) Wireless Q&A Surface Wave Technology Sensors
KR940704031A (en) Passive SURFACE WAVE SENSOR WHICH CAN BE WIRELESSLY INTERROGATED
US20140043946A1 (en) Surface acoustic wave tag-based coherence multiplexing
US4117731A (en) Pseudo continuous wave instrument
RU2387051C1 (en) Detector of physical value on surface acoustic waves
Plessky et al. SAW tags: New ideas
US3548306A (en) Surface wave spectrum analyzer and interferometer
SU1000789A1 (en) Device for remote measuring of temperature
RU2585487C1 (en) Passive temperature sensor operating on surface acoustic waves
JPH03209157A (en) Instrument for measuring solution by utilizing surface acoustic wave and method for measuring specific material in solution
JPH07260746A (en) Solution sensor
Stelzer et al. Wireless sensor marking and temperature measurement with SAW-identification tags
RU2244908C2 (en) Device for remote measuring of pressure
US11509285B2 (en) Wireless sensor system for harsh environment
US4195244A (en) CdS Solid state phase insensitive ultrasonic transducer
Daniel et al. Acoustic radiation by interdigitated grids on LiNbO3
RU2339925C1 (en) Pressure remote measuring device
Boyle et al. Non-contact thermoacoustic imaging of tissue with airborne ultrasound detection
JPS59162412A (en) Ultrasonic distance measuring device
RU2485676C1 (en) Device for remote measurement of atmospheric parameters
Hollinger et al. Wireless surface-acoustic-wave-based humidity sensor