[go: up one dir, main page]

SE503038C2 - Diamantbelagt skärande verktyg av hårdmetall eller keramik - Google Patents

Diamantbelagt skärande verktyg av hårdmetall eller keramik

Info

Publication number
SE503038C2
SE503038C2 SE9302405A SE9302405A SE503038C2 SE 503038 C2 SE503038 C2 SE 503038C2 SE 9302405 A SE9302405 A SE 9302405A SE 9302405 A SE9302405 A SE 9302405A SE 503038 C2 SE503038 C2 SE 503038C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
layer
diamond
chromium
coating
coated
Prior art date
Application number
SE9302405A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9302405L (sv
SE9302405D0 (sv
Inventor
Gregor Kullander
Ingrid Reineck
Helene Brandrup-Wognsen
Original Assignee
Sandvik Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sandvik Ab filed Critical Sandvik Ab
Priority to SE9302405A priority Critical patent/SE503038C2/sv
Publication of SE9302405D0 publication Critical patent/SE9302405D0/sv
Priority to US08/264,937 priority patent/US5543210A/en
Priority to ZA944935A priority patent/ZA944935B/xx
Priority to PCT/SE1994/000676 priority patent/WO1995002078A1/en
Priority to EP94921151A priority patent/EP0707665B1/en
Priority to JP7504003A priority patent/JPH08512362A/ja
Priority to RU96112963/02A priority patent/RU2138396C1/ru
Priority to DE69405753T priority patent/DE69405753T2/de
Priority to AT94921151T priority patent/ATE158346T1/de
Priority to CN94192934A priority patent/CN1128054A/zh
Priority to PL94312496A priority patent/PL312496A1/xx
Publication of SE9302405L publication Critical patent/SE9302405L/sv
Publication of SE503038C2 publication Critical patent/SE503038C2/sv

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/52Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81Coating or impregnation
    • C04B41/89Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0635Carbides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0664Carbonitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/26Deposition of carbon only
    • C23C16/27Diamond only
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/56After-treatment
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00Cutters, for shaping
    • Y10T407/27Cutters, for shaping comprising tool of specific chemical composition
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24273Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including aperture
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975No layer or component greater than 5 mils thick
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/24983Hardness
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264Up to 3 mils
    • Y10T428/2651 mil or less
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/30Self-sustaining carbon mass or layer with impregnant or other layer

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Description

503 038 i ningen att döma av maskinbearbetningsprov. En föreslagen utväg mot den dàliga vidhäftningen är att deponera en mellanliggande beläggning med egenskaper att bättre anpassa till diamanten än till det ursprungliga substratmaterialet. I JP-A-59-166671 och JP-A-59-166672 är en metod beskriven för beläggning av hàrdmetall eller metallegeringar med diamant och, dessförinnan, en inre, in- termediär beläggning av olika karbider, nitrider, karbonitrider eller oxykarbonitrider av övergängsmetaller frän grupperna IV, V eller VI i det periodiska systemet, eller av kisel, bor eller aluminium. Möjligheten att ha nagot av dessa slag av beläggningar som den yttersta är även nämnd. Beläggningarna är deponerade med magnetronsputtering. Verktygen pàstàs vara utomordentliga i slit- styrka, men närvaron av en yttersta beläggning (annan än diamant)' är inte sagd att páverka slitstyrkan pá samma sätt som en mellan- liggande beläggning gör.
Ett annat exempel där en mellanliggande beläggning pástàs förbättra vidhäftningen mellan diamantbeläggningen och substratet är US 4,707,384. Detta patent beskriver en kompundkropp som har en tunn beläggning av metaller med hög affinitet till kol, vissa karbider, nitrider och oxider eller en ädelmetall mellan diamant- beläggningen och substratet. Återigen är möjligheten att ha någon av dessa beläggningar som den yttersta nämnd men inte sàsom spe- ciellt fördelaktig.
I "Annals of the CIRP, Vol. 41(l) 1992, p 381" är en metod beskriven där diamantpartiklar är belagda med fungerande skikt av krom eller kromkarbid. Men i denna artikel fokuseras vidhäftning- en mellan de krombelagda diamantpartiklarna och en omgivande mat- ris i vilken partiklarna är blandade.
Den har nu överraskande befunnits att flagningsmotstàndet sä- väl som slitstyrkan hos en diamantbeläggning pà en hárdmetall el- ler keramisk kropp, särskilt ett skär, kan betydligt förbättras om en tunn beläggning av kromnitrid, kromkarbid eller kromkarbo- nitrid är deponerad ovanpá diamantbeläggningen. Även om det krom- innehállande skiktet lätt avlägsnas lokalt under skäroperationen, leder närvaron av skiktet typiskt till ökade prestanda av átmins- tone 50% mätt som antalet bearbetade komponenter eller som tiden 3 503 038 till genombrott hos beläggningen. Den fördelaktiga effekten ökas ytterligare om beläggningen utsatts för mekanisk efterbehandling sàsom blästring eller borstning med hàrda partiklar. Typiskt er- hálls genom den kombinerade behandlingen bestàende av beläggning med ett krominnehàllande skikt och den mekaniska efterbehand- lingen en tväfaldig ökning i prestanda.
Fig 1 är en svepelektronbild i 4000X av en beläggning enligt föreliggande uppfinning vari A - CrN-skikt B - diamantskikt C - hardmetallkropp Enligt föreliggande uppfinning föreligger nu en kropp med en beläggning av átminstone ett diamantskikt och àtminstone ett skikt av kromnitrid, kromkarbid eller kromkarbonitrid, företrä- desvis kromnitrid, utanför diamantskiktet.
I fall av mer än ett diamantskikt är detta diamantskikt det yttersta diamantskiktet av beläggningen. Företrädesvis är det krominnehàllande skiktet i direkt kontakt med diamantskiktet men det kan även finnas, mellan det krominnehàllande skiktet och dia- mantskiktet, ett tunt, <1 um tjockt skikt omfattande ett slit- starkt eller metalliskt material.
Vanligen är det krominnehàllande skiktet det yttersta men det kan även finnas ovanpå detta ytterligare ett, 0.1 - 3 um tjockt skikt omfattande ett annat slitstarkt, metalliskt eller färgat skikt.
I en föredragen utföringsform är diamantskiktet i direkt kon- takt med den belagda kroppen eller skilt därifràn av ett <3 um tjockt skikt av ett slitstarkt eller metalliskt material.
Tjockleken av diamantskiktet är i omradet 1 - 20 um, företrä- desvis 4 - 15 um och tjockleken av det Cr-haltiga skiktet är 0.1 - 5 um. Tjockleken av det senare skiktet är alltid <200%, före- trädesvis <50%, av tjockleken av diamantskiktet.
Kornstorleken hos diamantbeläggningen är företrädesvis <15 pm, helst 3-10 um. Kornstorleken hos det Cr-innehållande skiktet är <1 um.
Det krominnehàllande skiktet har en ytfinhet Ra 0.1 - 0.5 um, 503 038 0.2 - 0.3 um.
Kropparna använda för beläggning enligt föreliggande uppfin- företrädesvis ning omfattar hàrdmetaller och keramik sasom Sialon och Si3N4.
Företrädesvis är en hardmetallkropp utarmad i ytzonen med avseen- de pa Co. Detta kan, karburera en eta-fas innehållande kropp som beskrivs i EP 464 012.
Enligt föreliggande uppfinning föreligger ocksa ett sätt att till exempel, vara erhallet genom att delvis tillverka diamantbelagda kroppar med förbättrad vidhäftning.
Kropparna är först belagda med atminstone ett diamantskikt med användning av nagon känd diamant CVD eller PVD beläggningsteknik, till exempel metoder med användning av en varm trad, DC, RF och MW plasmor, halkatod eller ett plasma jet. I dessa metoder an- vänds kolväten och väte i olika blandningsförhallanden och vid lagt tryck (1 - 1000 mbar) för diamantbildning. I nagra metoder kan diamantbeläggningen resultera i ett skikt som endast delvis företrä- täcker kroppen. Utanför det (yttersta) diamantskiktet, desvis ovanpa detta, är atminstone ett skikt av kromkarbid, krom- nitrid eller kromkarbonitrid utfällt. Det Cr-innehållande skiktet kan utfällas med nagon känd CVD- eller PVD-metod som inte nega- tivt paverkar diamantbeläggningen, företrädesvis, PVD-teknik och helst jonplätering.
Företrädesvis är kroppen efter beläggningen utsatt för en me- kanisk efterbehandling för att jämna till ytan. Ett exempel pa sadan mekanisk behandling är en lätt vatblästring med harda par- tiklar t.ex. Al2O3, SiC, WC eller diamant med storlek typiskt 100 - 400 mesh. Ett annat exempel är en lätt borstning med SiC borstar med användning av diamant- eller SiC-pulver (typiskt 100- 300 mesh) som ett borstande medel. Företrädesvis är det yttersta skiktet delvis avlägsnat med en täckning i eggen av 25-75%.
En förklaring till de förbättrade prestanda av maskinbear- betningsegenskaperna för ett diamantbelagt skärande verktyg en- ligt föreliggande uppfinning kan vara reduktionen av skärkrafter under maskinbearbetningsoperationen under beaktande av det faktum att det krominnehallande skiktet är betydligt slätare än en ren CVD-diamantbeläggning. Spanavlägsnandet kan vara underlättat ef- 503 038 tersom spànorna är i kontakt med det jämna, krominnehàllande skiktet.
Uppfinningen har beskrivits med hänvising till diamantbelag- da skärande verktyg men uppfinningen kan även tillämpas pà andra belagda verktyg. t.ex. verktyg för bergborrning och slitdelar.
Ezssmne-.IJ Sex WC-6%Co hàrdmetallskär med en Co-utarmad ytzon, belades först med ett 10 pm tjockt diamantskikt med användning av mikro- vágassisterad plasma CVD. Kornstorleken hos skiktet var omkring um. Ovanpå diamantskiktet var ett andra skikt bestående av 2 pm CrN deponerat i en reaktiv jonpläteringsprocess.
Ett jämnt CrN skikt erhölls med ytfinhet Ra = 0.25 um.
Skären utsattes för ett fräsflagningstest i en Al-9%Si-lege- ring med användning av följande skärdata: v = 1000 m/min f = 0.3 mm/tand a = 1 mm vátbearbetning Den diamant/CrN-belagda satsen av skär varade 320 passeringar i det här provet jämfört med en sats av skär med diamantbelägg- ningar som endast varade 170 passeringar.
Exempel 2 Sex Si3N4 skär belades med ett 10 um tjockt diamantskikt som i Exempel 1. Ett 4 um CrN-skikt var deponerat ovanpå diamantskik- tet som i Exempel 1. Ett jämnt CrN skikt erhölls med ytfinhet Ra = 0.25 um.
Skären utsattes för ett fräsflagningstest i en Al-4%Cu- i0.3%Si-legering med användning av följande skärdata: v = 1000 m/min f = 0.3 mm/tand a = 1 mm vátbearbetning 503 058 é Den diamant/CrN belagda satsen av skär varade 150 passeringar i detta prov jämfört med en sats av skär med diamantbeläggningar som endast varade 70 passeringar.
Exempel 3 Ett WC-6%Co hárdmetallskär med en Co utarmad ytzon belades först med ett 5 um tjockt diamantskikt med användning av mikro- vag-assisterad plasma-CVD liknande exempel 1 men kortare beläggningstid. Kornstorleken hos skiktet var omkring 7 um.
Ovanpà diamanten fanns ett andra skikt bestående av l um CrN deponerat i en reaktiv jonpläteringsreaktor. Ovanpá CrN- beläggningen var ett 2 um TiN skikt belagt med användning av jonplätering.
En ytfinhet av Ra = 0.23 um för verktygets yta uppnàddes.
Skäret utsattes för ett svarvprov i en Al-18%Si legering med skärvillkoren: 700 m/min 0.1 mm användning av V = f = a = 0.6 mm vàtbearbetning Det diamant/CrN/TiN belagda skäret varade 44 minuter innan skiktgenombrott erhölls medan ett skär med en 5 um tjock diamant- beläggning endast varade 16 minuter (dä beläggningen flagade av).
Exempel 4 Ett WC-6%Co hàrdmetallskär med en Co utarmad ytzon var belagt med ett 10 um diamantskikt med användning av en varmtrádsreaktor.
Ovanpà diamanten fanns ett andra skikt bestående av 2 um CrN de- ponerat som i Exempel 1. Skäret utsattes därefter för vät- blästring med användning av 200 mesh Al2O3.
Ett jämnt, väl vidhäftande CrN skikt uppnàddes (dvs ingen spontan flagning observerades). Ytfinheten var Ra = 0.2 um. CrN var avlägsnat fläckvis i egglinjen men fäste fortfarande bra pà de andra delarna av skäret.
Skäret utsattes för ett svarvprov i en Al-18%Si-legering med användning av skärvillkoren: , 503 oss v = 700 m/min f = 0.1 mm a = 0.6 mm vàtbearbetning Det diamant/CrN belagda och blästrade skäret varade 240 minu- ter före skiktgenombrott medan ett diamant/CrN belagt skär utan blästring varade 180 minuter och ett skär med en 10 um tjock dia- mantbeläggning endast varade 50 minuter.
Exemgel 5 Ett WC-4%Co hàrdmetallskär med en Co utarmad ytzon var belagt med ett diamantskikt som i Exempel 1. Ovanpà diamanten var ett andra skikt bestáende av 2 um CrN deponerat med användning av PVD jonsputtring. Skäret utsattes sedan för borstning med SiC borstar med användning av 150 mesh diamantpulver som ett borstande medel.
En jämnt väl vidhäftande CrN skikt uppnáddes. Ytfinheten var Ra = 0.2 um. CrN var avlägsnad fläckvis i egglinjen men fäste fortfarande bra pà de andra delarna av skäret.
Skäret utsattes för ett svarvprov i en Al-l8%Si-legering med användning av skärvillkoren: v = 700 m/min f = 0.1 mm a = 0.6 mm vätbearbetning Det diamant/CrN-belagda och borstade skäret varade 200 minu- ter före skiktgenombrott medan ett skär med en 10 um tjock dia- mantbeläggning endast varade 50 minuter.
Exemgel 6 Ett 5 um tjockt diamantskikt var deponerat pä ett WC-6%Co hàrdmetallskär med en Co-utarmad ytzon. Diamanten var dessutom belagd med ett 1 um tjock CrN skikt. Skäret var därefter vät- blästrat med användning av 200 mesh Al2O3 blästringspartiklar.
Skäret utsattes för svarvning av komponenter i en Al-7%Si-le- gering hos en skäranvändare med användning av skärvillkoren: v = 1500 m/min 505 038 8 f = 0.8 mm a = 1-3 mm torrbearbetning Det diamant/CrN-belagda skäret användes för bearbetning av 164 komponenter medan ett skär med en 5 um tjock diamantbeläggn- ing användes endast för 99 komponenter. Haverimekanismen var flagning av beläggningarna.
Exempel 7 Ett 10 um tjock diamantskikt var deponerat pà ett WC-6%Co härdmetallskär med en Co utarmad ytzon. Diamanten var därefter belagd med ett 2 um tjockt CrN skikt.
Skäret utsattes för ett svarvprov i en Al-7%Si legering hos en skäranvändare med användning av följande skärdata: v = 2500 m/min f = 0.25 mm a = 0.5 mm torrbearbetning Det diamant/CrN belagda skäret användes för bearbetning av 136 komponenter medan ett skär med en 10 um tjock diamantbelägg- ning användes för endast 88 komponenter. Haverimekanismen var flagning av beläggningarna.

Claims (7)

10 15 20 25 30 35 503 038 9 Patentkrav
1. Kropp av hårdmetall eller keramik, speciellt ett skärande verktyg, belagd med åtminstone ett diamantskikt medelst CVD- eller PVD-teknik, och åtminstone ett skikt av kromkarbid, kromnitrid eller kromkarbonitrid, k ä n n e t e c k n a d av att det krominnehállande skiktet år beläget utanför sagda diamantskikt och att ifall av mer än ett diamantskikt sagda diamantskikt är det yttersta diamantskiktet av beläggningen, varjämte skikt- beläggningen utsatts för en mekanisk efterbehandling såsom blästring eller borstning med hårda partiklar.
2. Kropp enligt krav 1 eller 2, k ä n n e t e c k n a d av att sagda diamantskikt är i direkt kontakt med den belagda kroppen eller skilt därifrån av ett <3 um tjockt skikt av ett slitstarkt eller metalliskt material.
3. Kropp enligt krav 1 eller 2, k ä n n e t e c k n a d av att det krominnehállande skiktet är i direkt kontakt med sagda diamantskikt eller skilt därifrån av ett <1 um tjockt skikt av ett slitstarkt eller metalliskt skikt.
4. Kropp enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k n a d av att det krominnehállande skiktet är det yttersta skiktet eller försett med ett 0.1 - 3 um tjockt skikt av ett annat slitstarkt, metalliskt eller färgat skikt.
5. Kropp enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k n a d av att kroppen efter beläggningen har en ytfinhet av Ra 0.1 - 0.5 um, företrädesvis 0.2 - 0.3 um. 503 038 w
6. Kropp enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k n a d av att tjockleken av sagda diamantskikt är 2 - 15 um och tjockleken av det krom- innehållande skiktet är 0.2 - 5 um.
7. Kropp enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k n a d av att kroppen är en hårdmetall- kropp med en Co-utarmad ytzon.
SE9302405A 1993-07-09 1993-07-09 Diamantbelagt skärande verktyg av hårdmetall eller keramik SE503038C2 (sv)

Priority Applications (11)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9302405A SE503038C2 (sv) 1993-07-09 1993-07-09 Diamantbelagt skärande verktyg av hårdmetall eller keramik
US08/264,937 US5543210A (en) 1993-07-09 1994-06-24 Diamond coated body
ZA944935A ZA944935B (en) 1993-07-09 1994-07-07 Diamond coated body
PL94312496A PL312496A1 (en) 1993-07-09 1994-07-08 Shaped element coated with diamonds
EP94921151A EP0707665B1 (en) 1993-07-09 1994-07-08 Diamond coated body
PCT/SE1994/000676 WO1995002078A1 (en) 1993-07-09 1994-07-08 Diamond coated body
JP7504003A JPH08512362A (ja) 1993-07-09 1994-07-08 ダイヤモンド被覆物品
RU96112963/02A RU2138396C1 (ru) 1993-07-09 1994-07-08 Подложка с алмазным покрытием
DE69405753T DE69405753T2 (de) 1993-07-09 1994-07-08 Diamantbeschichteter körper
AT94921151T ATE158346T1 (de) 1993-07-09 1994-07-08 Diamantbeschichteter körper
CN94192934A CN1128054A (zh) 1993-07-09 1994-07-08 金刚石涂覆体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9302405A SE503038C2 (sv) 1993-07-09 1993-07-09 Diamantbelagt skärande verktyg av hårdmetall eller keramik

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9302405D0 SE9302405D0 (sv) 1993-07-09
SE9302405L SE9302405L (sv) 1995-01-10
SE503038C2 true SE503038C2 (sv) 1996-03-11

Family

ID=20390597

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9302405A SE503038C2 (sv) 1993-07-09 1993-07-09 Diamantbelagt skärande verktyg av hårdmetall eller keramik

Country Status (11)

Country Link
US (1) US5543210A (sv)
EP (1) EP0707665B1 (sv)
JP (1) JPH08512362A (sv)
CN (1) CN1128054A (sv)
AT (1) ATE158346T1 (sv)
DE (1) DE69405753T2 (sv)
PL (1) PL312496A1 (sv)
RU (1) RU2138396C1 (sv)
SE (1) SE503038C2 (sv)
WO (1) WO1995002078A1 (sv)
ZA (1) ZA944935B (sv)

Families Citing this family (35)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE509362C2 (sv) * 1994-03-18 1999-01-18 Sandvik Ab Diamantbelagd kropp
DE19503070C1 (de) 1995-02-01 1996-08-14 Karlsruhe Forschzent Verschleißschutzschicht
DE19602730A1 (de) * 1996-01-26 1997-07-31 Brodbeck Maschb Gmbh Vorrichtung zum Schneiden von Rohren
AT411070B (de) * 1996-03-25 2003-09-25 Electrovac Verfahren zur herstellung eines substrates mit einer polykristallinen diamantschicht
US5921856A (en) * 1997-07-10 1999-07-13 Sp3, Inc. CVD diamond coated substrate for polishing pad conditioning head and method for making same
US6344149B1 (en) * 1998-11-10 2002-02-05 Kennametal Pc Inc. Polycrystalline diamond member and method of making the same
KR100305315B1 (ko) 1999-04-09 2001-09-13 박호군 다이아몬드 막이 코팅된 절삭공구 및 그 제조방법
DE19916336C2 (de) * 1999-04-12 2001-03-01 Edenta Ag, Au Rotierendes Werkzeug zur spanabhebenden Bearbeitung von Werkstücken
US6517424B2 (en) * 2000-03-10 2003-02-11 Abrasive Technology, Inc. Protective coatings for CMP conditioning disk
US6588934B2 (en) * 2001-10-29 2003-07-08 United Technologies Corporation Silver-containing copper alloys for journal bearings
JP2003251503A (ja) * 2001-12-26 2003-09-09 Sumitomo Electric Ind Ltd 表面被覆切削工具
US8105692B2 (en) 2003-02-07 2012-01-31 Diamond Innovations Inc. Process equipment wear surfaces of extended resistance and methods for their manufacture
US7927700B2 (en) * 2003-07-25 2011-04-19 Nv Bekaert Sa Substrate covered with an intermediate coating and a hard carbon coating
US20050025973A1 (en) * 2003-07-25 2005-02-03 Slutz David E. CVD diamond-coated composite substrate containing a carbide-forming material and ceramic phases and method for making same
JP2006152424A (ja) * 2004-12-01 2006-06-15 Osg Corp 硬質被膜および硬質被膜被覆加工工具
DE102006010916A1 (de) * 2006-03-01 2007-09-06 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zur Bearbeitung von Oberflächen einer Beschichtung aus hartem Kohlenstoff
JP4854445B2 (ja) * 2006-09-25 2012-01-18 三菱マテリアル株式会社 Cmpコンディショナおよびその製造方法
EP2119807B1 (en) * 2006-11-14 2017-09-06 Kabushiki Kaisha Riken Process for producing chromium nitride coating film by ion plating for piston ring
CN101605629B (zh) * 2006-11-30 2011-03-09 特固克有限会社 带涂层的切削刀片的表面处理方法
RU2475338C2 (ru) * 2007-02-28 2013-02-20 Элемент Сикс (Продакшн) (Пти) Лтд Компонент обрабатывающего инструмента
US20100143054A1 (en) * 2007-02-28 2010-06-10 Cornelius Johannes Pretorius Method of machining a workpiece
US20100215448A1 (en) * 2007-02-28 2010-08-26 Cornelius Johannes Pretorius Method of machining a substrate
DE102008046673A1 (de) * 2008-09-10 2010-03-11 Grohe Ag Verbundkörper
WO2011014884A1 (en) 2009-07-31 2011-02-03 Diamond Innovations, Inc. Precision wire including surface modified abrasive particles
US8652226B2 (en) 2008-09-16 2014-02-18 Diamond Innovations, Inc. Abrasive particles having a unique morphology
JP5282911B2 (ja) * 2010-03-26 2013-09-04 三菱マテリアル株式会社 ダイヤモンド被覆切削工具
RU2577638C2 (ru) * 2010-11-09 2016-03-20 Томеи Дайамонд Ко., Лтд. Подложка для химического осаждения из паровой фазы (cvd) алмаза и способ его получения
JP5769599B2 (ja) * 2011-11-23 2015-08-26 オーエスジー株式会社 工具の製造方法
AT512041B1 (de) * 2012-05-04 2013-05-15 Mikroelektronik Ges Mit Beschraenkter Haftung Ab Verfahren zur Herstellung eines metallisierten Substrats
CN103962551A (zh) * 2014-04-15 2014-08-06 昆明理工大学 一种微波加热条件下在人造金刚石表面镀铬的方法
JP6515387B2 (ja) * 2015-09-15 2019-05-22 日本製鉄株式会社 超硬工具及びその製造方法
US10612132B2 (en) 2015-11-27 2020-04-07 Cemecon Ag Coating a body with a diamond layer and a hard material layer
RU2687788C1 (ru) * 2018-12-07 2019-05-16 Акционерное общество "Дальневосточная генерирующая компания" Многослойное эрозионностойкое покрытие
US11222878B2 (en) 2019-04-30 2022-01-11 Ab Mikroelektronik Gesellschaft Mit Beschraenkter Haftung Electronic power module
TWI844759B (zh) * 2020-02-07 2024-06-11 日商佑能工具股份有限公司 印刷電路板用鑽頭

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2924507A1 (de) * 1979-06-18 1981-01-15 Rudolf Paul Fritsch Schneckenmaschine zur bearbeitung schuettfaehiger, plastischer oder zaehviskoser massen
US4403015A (en) * 1979-10-06 1983-09-06 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Compound sintered compact for use in a tool and the method for producing the same
JPS5739106A (en) * 1980-08-14 1982-03-04 Hiroshi Ishizuka Production of diamond ultrahard alloy composite
CA1216158A (en) * 1981-11-09 1987-01-06 Akio Hara Composite compact component and a process for the production of the same
JPS59166671A (ja) * 1983-03-11 1984-09-20 Mitsubishi Metal Corp 耐摩耗性のすぐれた表面被覆工具部材
JPS59166672A (ja) * 1983-03-11 1984-09-20 Mitsubishi Metal Corp 耐摩耗性のすぐれた表面被覆工具部材
SE453474B (sv) * 1984-06-27 1988-02-08 Santrade Ltd Kompoundkropp belagd med skikt av polykristallin diamant
US4605343A (en) * 1984-09-20 1986-08-12 General Electric Company Sintered polycrystalline diamond compact construction with integral heat sink
DE3574738D1 (de) * 1984-11-13 1990-01-18 Santrade Ltd Gesinterte hartmetallegierung zum gesteinsbohren und zum schneiden von mineralien.
JPS6221778A (ja) * 1985-07-17 1987-01-30 東芝タンガロイ株式会社 立方晶窒化ホウ素被覆体及びその製造方法
CA1313762C (en) * 1985-11-19 1993-02-23 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Hard sintered compact for a tool
SE456428B (sv) * 1986-05-12 1988-10-03 Santrade Ltd Hardmetallkropp for bergborrning med bindefasgradient och sett att framstella densamma
JPH0623394B2 (ja) * 1987-10-21 1994-03-30 猛雄 沖 被覆砥粒およびその製法
US4931363A (en) * 1988-02-22 1990-06-05 General Electric Company Brazed thermally-stable polycrystalline diamond compact workpieces
SE9002136D0 (sv) * 1990-06-15 1990-06-15 Sandvik Ab Cement carbide body for rock drilling, mineral cutting and highway engineering
US5126207A (en) * 1990-07-20 1992-06-30 Norton Company Diamond having multiple coatings and methods for their manufacture
SE9003251D0 (sv) * 1990-10-11 1990-10-11 Diamant Boart Stratabit Sa Improved tools for rock drilling, metal cutting and wear part applications
IL98174A0 (en) * 1991-05-17 1992-06-21 Iscar Ltd Chemical vapor deposition of diamond coatings on hard substrates
KR930701638A (ko) * 1991-06-24 1993-06-12 홍고오 므쯔미 다이어몬드류 피복부재 및 그 제조방법
JP3283574B2 (ja) * 1992-06-30 2002-05-20 日本たばこ産業株式会社 たばこ製造機の紙巻たばこ軸方向移動装置
JP2808996B2 (ja) * 1992-07-24 1998-10-08 富士通株式会社 半導体装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
PL312496A1 (en) 1996-04-29
CN1128054A (zh) 1996-07-31
ATE158346T1 (de) 1997-10-15
SE9302405L (sv) 1995-01-10
ZA944935B (en) 1995-02-20
JPH08512362A (ja) 1996-12-24
WO1995002078A1 (en) 1995-01-19
DE69405753T2 (de) 1998-01-08
US5543210A (en) 1996-08-06
EP0707665A1 (en) 1996-04-24
DE69405753D1 (de) 1997-10-23
RU2138396C1 (ru) 1999-09-27
EP0707665B1 (en) 1997-09-17
SE9302405D0 (sv) 1993-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE503038C2 (sv) Diamantbelagt skärande verktyg av hårdmetall eller keramik
JP5363445B2 (ja) 切削工具
EP2287359B1 (en) Coated cutting tool insert
EP2074241B1 (en) Coated cutting tool
CN101688314A (zh) 有涂层的切削工具及其制造方法
JP3671623B2 (ja) 被覆超硬合金
CN101960052B (zh) 涂覆有氧化物的切削刀片及其制作方法和用途
JP3658948B2 (ja) 被覆超硬合金
KR20100126356A (ko) 산화물 코팅된 절삭 인서트
JP2007075989A (ja) 物理蒸着法で被覆した切削工具
JP4184712B2 (ja) 被覆された切削工具
GB2378187A (en) Wear Resistant Metal Boride Coatings
US5962071A (en) Diamond coated body and method of its production
JP2917312B2 (ja) 切削・耐摩工具用表面被覆超硬部材
CN1163631C (zh) 涂敷的车削刀片
KR930010709B1 (ko) 우수한 내마모성을 갖는 표면 피복 경질 부재
JP3519260B2 (ja) 耐剥離性に優れたダイヤモンド膜被覆硬質部材
JPH04280974A (ja) 窒化ホウ素被覆硬質材料
JP2926882B2 (ja) 耐摩耗性に優れた表面被覆硬質部材
US5858539A (en) Diamond coated body and method of its production
JP2001009605A (ja) 被覆工具
JP2987963B2 (ja) 窒化ホウ素被覆硬質材料
JPH0623601A (ja) ダイヤモンド被覆超硬合金工具
JP2000024808A (ja) 被覆超硬合金切削工具
JPH07126833A (ja) 切削工具用硬質被覆体

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed