SE500337C2 - Spegelugn - Google Patents
SpegelugnInfo
- Publication number
- SE500337C2 SE500337C2 SE8900749A SE8900749A SE500337C2 SE 500337 C2 SE500337 C2 SE 500337C2 SE 8900749 A SE8900749 A SE 8900749A SE 8900749 A SE8900749 A SE 8900749A SE 500337 C2 SE500337 C2 SE 500337C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- parabolic
- mirror
- segment
- focal
- ellipsoid
- Prior art date
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 4
- 238000000926 separation method Methods 0.000 abstract 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 7
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 7
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000008207 working material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B13/00—Single-crystal growth by zone-melting; Refining by zone-melting
- C30B13/16—Heating of the molten zone
- C30B13/22—Heating of the molten zone by irradiation or electric discharge
- C30B13/24—Heating of the molten zone by irradiation or electric discharge using electromagnetic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/0033—Heating devices using lamps
- H05B3/0038—Heating devices using lamps for industrial applications
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Control Of Resistance Heating (AREA)
Description
' 10 15 20 25 30 35 däremellan liggande (exakt eller approximativt) ellipsoid- segment.
I en utföringsform sammanfaller brännpunkterna för den ena eller båda parabolspeglarna med ellipsoidspegelns brännpunkter.
I brännpunkterna är anordnat en strålningskälla (t.ex. en glödspiral eller en gasurladdningslampa) vars strålning fokuse- ras på det område på materialet som skall smältas, nämligen - till viss del genom enkel reflektion via ellipsoidspegeln och - för det andra genom dubbel reflektion via de paraboliska speglarna, varvid den första parabolspegeln ger i det närmaste parallellt ljus som faller på den andra parabolspegeln och där fokuseras på provmaterialet.
Härigenom uppnås en omfattande radiell och axiell symmetri hos energiinstrålningen på arbetsmaterialet i området för smält- zonen varigenom definierade tillväxtbetingelser för kristallen råder. Uppfinningen medför en tydlig förstoring av draglängden vid samma ytterdiameter hos spegeln som hos tidigare ellipsoid- ugnar. 1 Vidare blir det möjligt att kontinuerligt ändra längden av smältzonen oberoende av temperaturen.
Genom uppfinningen fokuseras den reflekterande strålningen punkt- eller ringformigt, varvid diametern hos ringfokus kan vara lika med eller mindre än smältzonens diameter. Därvid kan diametern för fokus vara olika för det enkelt och för det dubbelt reflekterade ljuset.
I denna enkla utföringsform sammanfaller brännpunkten hos vardera ellipsoiden med brännpunkten hos den närbelägna para- boloiden.
I en annan utföringsform sammanfaller inte brännpunkterna för de paraboliska och ellipsoida segmenten utan kan befinna sig på avstånd från varandra. 10 15 20 25 30 _51 D ca (JJ CN »in I en föredragen utföringsform kan en eller flera av de nämnda spegelsegmenten vara förskjutbara relativt varandra längs spegelugnens huvudaxel, varvid brännpunkterna för de parabo- liska och elliptiska segmenten kan dras ifrån varandra och därigenom längden på smältzonen kontinuerligt förändras.
Uppfinningen skall närmare beskrivas i anslutning till en figur.
Figuren visar en spegelugn vars reflekterande ytor består av paraboliska segment 1 och 3 och av ett ellipsoidsegment 2.
Dimensionerna för segmenten 1, 2, 3 har härvid valts så att segmenten 1 och 3 når till i höjd med brännpunkterna 4 och 7. I brännpunkten 4 är en strålningskälla anordnad.
Hänvisningssiffrorna 5 och 6 betecknar två strålar vilka är riktade mot det material 8 som skall bearbetas. Strålen 5 träffar ellipsoidytan 2 och reflekteras där en gång och når sedan in i smältzonen i fokusområdet 7. Strålen 6 når först det paraboliska segmentet 1 och reflekteras därifrån till det paraboliska segmentet 3 och når därifrån smältzonen i fokus- området 7.
Vid en icke visad utföringsform är ett eller flera av spegel- segmenten 1, 2, 3 axiellt förskjutbara i förhållande till varandra, varigenom en kontinuerlig ändring av längden av smältzonen i området 7 uppnås. Därvid kan den eller de upp- stående mellanrummen täckas av ytterligare spegelsegment med t.ex. cylinderform.
Claims (4)
1. Spegelugn med ett, eventuellt modifierat, ellipsoidsegment (2), i vars första fokusområde (4) en strålningskälla är anordnad och i vars andra fokusområde (7) det för behandling avsedda materialet (8) är anordnat, k ä n n e t e c k - n a d a v två, eventuellt modifierade, paraboliska segment (1, 3) vid spegelugnens ändar.
2. Spegelugn enligt krav 1, k ä n n e t e c k n a d a v att fokusområdena för åtminstone det ena paraboliska segmentet och för ellipsoidsegmentet (2) sammanfaller.
3. Spegelugn enligt krav 1 eller 2, k ä n n e t e c k - n a d att åtminstone det ena paraboliska segmentet (1, 3) och/eller ellipsoidsegmentet (2) är förskjutbara utmed spegel- a v ugnens huvudaxel.
4. Spegelugn enligt något av föregående krav, k ä n n e - t e c k n a d a v att de paraboliska segmenten (1, 3) vardera sträcker sig från änden av ugnen till i höjd med närmaste brännpunkt (4, 7).
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3807302A DE3807302A1 (de) | 1988-03-05 | 1988-03-05 | Spiegelofen |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE8900749D0 SE8900749D0 (sv) | 1989-03-03 |
| SE8900749L SE8900749L (sv) | 1989-09-06 |
| SE500337C2 true SE500337C2 (sv) | 1994-06-06 |
Family
ID=6348989
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE8900749A SE500337C2 (sv) | 1988-03-05 | 1989-03-03 | Spegelugn |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5038395A (sv) |
| JP (1) | JP2669884B2 (sv) |
| DE (1) | DE3807302A1 (sv) |
| FR (1) | FR2628192B1 (sv) |
| SE (1) | SE500337C2 (sv) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5517005A (en) * | 1988-05-19 | 1996-05-14 | Quadlux, Inc. | Visible light and infra-red cooking apparatus |
| US5204534A (en) * | 1990-11-07 | 1993-04-20 | Dubuit Jean Louis | Ultraviolet radiation drying oven and drying enclosure thereof |
| FR2669412B1 (fr) * | 1990-11-16 | 1993-02-19 | Dubuit Jean Louis | Enceinte de sechage a rayonnement ultraviolet. |
| DE4039546A1 (de) * | 1990-12-11 | 1992-06-17 | Battelle Institut E V | Vorrichtung zur herstellung von fehlerarmen kristallen im zonenschmelzverfahren |
| RU2047876C1 (ru) * | 1993-03-30 | 1995-11-10 | Научно-производственная фирма "МГМ" | Устройство для светолучевой обработки |
| US6093252A (en) | 1995-08-03 | 2000-07-25 | Asm America, Inc. | Process chamber with inner support |
| JP3841866B2 (ja) * | 1996-03-04 | 2006-11-08 | 三菱電機株式会社 | 再結晶化材料の製法、その製造装置および加熱方法 |
| US5960158A (en) | 1997-07-11 | 1999-09-28 | Ag Associates | Apparatus and method for filtering light in a thermal processing chamber |
| US5990454A (en) | 1997-09-23 | 1999-11-23 | Quadlux, Inc. | Lightwave oven and method of cooking therewith having multiple cook modes and sequential lamp operation |
| US6013900A (en) | 1997-09-23 | 2000-01-11 | Quadlux, Inc. | High efficiency lightwave oven |
| US5958271A (en) | 1997-09-23 | 1999-09-28 | Quadlux, Inc. | Lightwave oven and method of cooking therewith with cookware reflectivity compensation |
| US5930456A (en) | 1998-05-14 | 1999-07-27 | Ag Associates | Heating device for semiconductor wafers |
| US5970214A (en) | 1998-05-14 | 1999-10-19 | Ag Associates | Heating device for semiconductor wafers |
| US6210484B1 (en) | 1998-09-09 | 2001-04-03 | Steag Rtp Systems, Inc. | Heating device containing a multi-lamp cone for heating semiconductor wafers |
| US6771895B2 (en) | 1999-01-06 | 2004-08-03 | Mattson Technology, Inc. | Heating device for heating semiconductor wafers in thermal processing chambers |
| US6383330B1 (en) | 1999-09-10 | 2002-05-07 | Asm America, Inc. | Quartz wafer processing chamber |
| US7169233B2 (en) | 2003-11-21 | 2007-01-30 | Asm America, Inc. | Reactor chamber |
| US10446386B1 (en) * | 2017-07-16 | 2019-10-15 | Carlos Botero | High-pressure heat bulb |
| US12544727B2 (en) | 2020-01-24 | 2026-02-10 | Asm Ip Holding B.V. | Process chamber with side support |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1286217B (de) * | 1967-03-10 | 1969-01-02 | Telefonbau & Normalzeit Gmbh | Verfahren zum Herstellen von Schutzrohrkontakten |
| US3627590A (en) * | 1968-12-02 | 1971-12-14 | Western Electric Co | Method for heat treatment of workpieces |
| FR2040636A5 (sv) * | 1969-04-08 | 1971-01-22 | Anvar | |
| JPS4936523B1 (sv) * | 1970-09-18 | 1974-10-01 | ||
| US3801773A (en) * | 1970-10-23 | 1974-04-02 | Nippon Electric Co | Apparatus for heating a sample with radiation energy concentrated by a reflector essentially composed of spheroidal surface portions |
| JPS5029405B1 (sv) * | 1971-02-06 | 1975-09-23 | ||
| DE2209558A1 (de) * | 1972-02-29 | 1973-09-06 | Nold Demmig & Co Tech Buero Ha | Geschicklichkeits - kugelspiel |
| US3956611A (en) * | 1973-12-17 | 1976-05-11 | Ushio Electric Inc. | High pressure radiant energy image furnace |
| DE2420545C3 (de) * | 1974-04-27 | 1979-01-25 | H. Maihak Ag, 2000 Hamburg | Infrarotstrahleranordnung |
| JPS53135037A (en) * | 1977-04-28 | 1978-11-25 | Nichiden Kikai Kk | Heating apparatus |
| JPS6086091A (ja) * | 1983-10-18 | 1985-05-15 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | 浮遊帯域溶融装置 |
| DE3541988C1 (de) * | 1985-11-28 | 1986-07-24 | Dornier System Gmbh, 7990 Friedrichshafen | Vorrichtung zum Ziehen von Kristallen |
-
1988
- 1988-03-05 DE DE3807302A patent/DE3807302A1/de active Granted
-
1989
- 1989-02-27 JP JP1046391A patent/JP2669884B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1989-03-02 FR FR898902713A patent/FR2628192B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1989-03-03 SE SE8900749A patent/SE500337C2/sv unknown
- 1989-03-06 US US07/320,083 patent/US5038395A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2669884B2 (ja) | 1997-10-29 |
| DE3807302A1 (de) | 1989-09-14 |
| US5038395A (en) | 1991-08-06 |
| FR2628192B1 (fr) | 1991-02-15 |
| SE8900749L (sv) | 1989-09-06 |
| FR2628192A1 (fr) | 1989-09-08 |
| DE3807302C2 (sv) | 1991-04-18 |
| SE8900749D0 (sv) | 1989-03-03 |
| JPH01310291A (ja) | 1989-12-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE500337C2 (sv) | Spegelugn | |
| US4095881A (en) | Efficient illumination system | |
| US3703635A (en) | Zoom light | |
| US4897771A (en) | Reflector and light system | |
| US4357075A (en) | Confocal reflector system | |
| US4408266A (en) | Optical system for airport semi-flush approach lights | |
| US5272408A (en) | Lamp and reflector assembly | |
| US5418420A (en) | Arc lamp with a triplet reflector including a concave parabolic surface, a concave elliptical surface and a convex parabolic surface | |
| JPH07261031A (ja) | 光ガイドへの輝度を増大する照明システム | |
| EP0584071B1 (en) | Lamp and reflector assembly | |
| EP0264245B1 (en) | Lighting apparatus | |
| US4557569A (en) | Distended point source reflector having conical sections | |
| US6554456B1 (en) | Efficient directional lighting system | |
| US6270243B1 (en) | Multiple beam projection lighting system | |
| RU2047876C1 (ru) | Устройство для светолучевой обработки | |
| HUT75480A (en) | Incandescent reflector lamp | |
| US6586864B2 (en) | Reflector lamp having a reflecting section with faceted surfaces | |
| JP4405266B2 (ja) | 反射型ランプ | |
| KR100420874B1 (ko) | 반사코팅된백열전등 | |
| US5249111A (en) | Reflector for use with spotlight | |
| JP2003265465A (ja) | X線照準器の照明システム | |
| SE442905B (sv) | Automobilstralkastarreflektor | |
| US1133955A (en) | Reflector. | |
| EP0319621A1 (en) | Light source | |
| JPH0216502A (ja) | フレネル・レンズ型複合反射装置 |