SE508426C2 - Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning - Google Patents
Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetningInfo
- Publication number
- SE508426C2 SE508426C2 SE9700196A SE9700196A SE508426C2 SE 508426 C2 SE508426 C2 SE 508426C2 SE 9700196 A SE9700196 A SE 9700196A SE 9700196 A SE9700196 A SE 9700196A SE 508426 C2 SE508426 C2 SE 508426C2
- Authority
- SE
- Sweden
- Prior art keywords
- protective glass
- radiation
- edge
- photodetector
- processing
- Prior art date
Links
- 239000011521 glass Substances 0.000 title claims abstract description 46
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 title claims abstract description 44
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract description 8
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 title description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 27
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 14
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 5
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000005336 safety glass Substances 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/94—Investigating contamination, e.g. dust
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
- B23K26/707—Auxiliary equipment for monitoring laser beam transmission optics
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Pathology (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
508 426 10 15 20 25 30 35 _ 2 _ grund av spridningen leder detta till att den goda skärpan i de graverade mönstren eller texterna ej kan upprätthål- las.
Det finns dessutom en risk att skyddsglaset spricker om det blir alltför smutsigt. Av dessa skäl måste därför skyddsglasen bytas ut med jämna mellanrum.
Hittills har övervakningen eller kontrollen av skyddsgla- sen främst skett genom en okulärbesiktning vilken är vansklig att genomföra eftersom skyddsglasen kan vara svå- ra att komma ât och inspektera. Bearbetningsprocessen mås- te vidare vara avstängd vid en sådan inspektion med de nackdelar detta innebär.
Det finns därför ett behov av en mer automatisk skydds- glasövervakning som kan ske löpande under arbetets gång och utan att bearbetningsprocessen'behöver avbrytas.
Enligt uppfinningen âstadkommes detta medelst en fotode- tektor som är så anordnad att den känner av (mäter) nivån hos den strålning som spritts av smuts- och dammpartiklar som fastnat på skyddsglaset.
Enligt en fördelaktig utföringsform är fotodetektorn an- bringad så att den "tittar" på skyddsglasets kant, dvs den mäter nivån hos den strålning som spritt sig till skydds- glasets kant.
I det följande skall uppfinningen närmare åskådliggöras under hänvisning till bifogade ritningsfigurer som visar principen för skyddglasövervakningen.
Figur 1 visar ett typiskt, konventionellt arrangemang av skyddsglas vid laserbearbetning, Figur 2 visar ett arrangemang enligt uppfinningen, och 10 15 20 25 30 35 508 426 _ 3 _ figur 3 visar ett alternativt utförande med optisk fiber.
I figur 1 visas schematiskt en fokuseringsoptik, som sym- boliserats med linsen 1, vilken koncentrerar den infallan- de laserstrålningen på ett arbetsstycke 2. Det kan vara fråga om svetsning, gravering av det slag som visas i SE 94 03349-5, skärning eller någon annan form av laserbear- betning. Gemensamt för sådana bearbetningar är att det produceras smuts och dammpartiklar, "sprut" från bearbet- ningsprocessen, runt den detalj som bearbetas. För att in- te dessa partiklar skall tränga in i fokuseringsoptiken är ett skyddsglas 3 anbringat mellan arbetsstycket 2 och fo- kuseringslinsen 1. Skyddsglaset är monterat i en hållare 4 och har en cirkulär kantperiferi.
De smuts- och dammpartiklar som bildas vid bearbetnings- processen kommer istället att lägga sig på skyddsglaset 3.
Därmed förhindras dessa partiklar att tränga in i det mer vitala optiska systemet, men nackdelen är att partiklarna lägger sig på glaset och kommer att sprida en del av den infallande laserstrålningen. Som nämndes inledningsvis måste därför skyddsglasen bytas ut med jämna mellanrum.
I figur 2 visas motsvarande arrangemang som i figur 1 men med detektering av skyddsglasets 3 status med avseende på smuts- och dammpartiklar eller annat som ger en spridning av den infallande laserstrålningen 6. I figuren visas ock- så några partiklar 5 som lagt sig på glaset och ger upphov till spritt ljus 7. Detta spridda ljus kommer delvis att fångas in av skyddsglasets väggar och ledas ut mot skydds- glasets periferi, dvs kanten 9 i figuren.
En fotodetektor 8 är anbringad med den fotokänsliga ytan vänd mot kanten 9 och känner därmed av den spridda strål- ning som uppträder på kanten och som är ett mått på smuts- beläggningen på skyddsglaset. Fotodetektorn mäter hur mycket strålning som spritts av partiklar på skyddsglasets yta. Då detektorsignalen uppgår till en viss nivå kan den 508 426 10 15 20 25 30 35 _.4 _ indikera att det är dags att byta skyddsglas. Fördelen med en sådan detektorövervakning är att statusen på skyddsgla- set kontrolleras löpande under arbetets gång.
Genom att göra skyddsglasets kant 9 mattslipad, så kommer den ljusspridning som genereras av partiklar på skyddsgla- set att vara i stort sett oberoende av var på skyddsglaset som partikeln sitter. Detta beror på att multireflektioner mot skyddsglasets mattslipade kant 9 jämnar ut belysnings- nivån från kanten.
I det alternativa utförande som visas i figur 3 fångas det spridda ljuset på kanten 9 upp av en optisk fiber 10 som leder till en fotodetektor 8 som är placerad på lite av- stånd från det optiska systemet.
Experiment har visat att stor dynamik erhålles i signalen från detektorn. Ett nytt skyddsglas ger även detta spritt ljus med en nivå som kan kallas grundnivån. Då det sprid- da, detekterade ljuset uppgår till 100 gånger grundnivån är skyddsglaset fortfarande användbart, men tydligt ner- smutsat. Då det spridda ljuset uppgår till 1000 gånger grundnivån är skyddsglaset så smutsigt att det bör bytas.
Uppmätning av det spridda ljusets nivå beroende på place- ring av smutspartiklarna visar att med en mattslipad kant så blir signalen i stort sett oberoende av var smutsparti- klarna befinner sig, förutsatt att de befinner sig inom 80% av skyddsglasets diameter.
Istället för att använda den spridda strålningen från den bearbetande laserstrålen (högeffektlasern) kan den spridda strålningen från en annan i huvudsak koaxiell optisk strå- le användas, exempelvis strålningen från en riktlaser av typen HeNe eller en laserdiod. Denna strålning skall då vara av annan våglängd än den bearbetande laserstrålningen och detektorn är försedd med ett optiskt filter för att endast detektera strålning med denna våglängd. 10 15 20 25 30 35 508 426 _ 5 _ En fördel med att använda denna "extra strålning" för skyddsglasövervakningen är att mätningen då kan göras obe- roende av bearbetningsprocessen, dvs mätningen kan göras även då bearbetningslasern ej är igång och mätsignalen blir oberoende av effektvariationer under bearbetningspro- CeSSefl.
Uppfinningen är inte begränsad till de som exempel visade utföringsformerna utan kan varieras inom ramen för de ef- terföljande patentkraven. Uppfinningen kan dessutom kombi- neras med olika metoder att undvika att smuts lägger sig på skyddsglaset, exempelvis crossjet, axialblås.
Claims (8)
1. Metod för att under laserbearbetning av ett arbets- stycke detektera status hos ett mellan arbetsstycket och laseroptiken anordnat skyddsglas (3) genom vilket den be- arbetande laserstrålen, och eventuellt annan med den bear- betande laserstrålningen i huvudsak koaxiell strålning, får passera k ä n n e t e c k n a d a v att en fotode- tektor (8) anbringas i anslutning till skyddsglasets kant (9) för att känna av den strålning som spritts till denna kant hos skyddsglaset (3) av smuts- och dammpartiklar (5) som fastnat på skyddsglaset.
2. Metod enligt patentkrav 1 k ä n n e t e c k n a d a v att strålningen från skyddsglaset (3) leds till fotodetek- torn (8) via en optisk fiber (10). ~
3. Anordning för att under laserbearbetning av ett arbets- stycke detektera status hos ett mellan arbetsstycket och laseroptiken anordnat skyddsglas (3) genom vilket den be- arbetande laserstrålen, och eventuellt annan med den bear- betande laserstrålningen i huvudsak koaxiell strålning, är anordnad att passera k ä n n e t e c k n a d a v att en fotodetektor (8) strålning som når skyddsglasets kant (9) och som spritts av smuts- och dammpartiklar (5) som fastnat på skyddsgla- set (3). är anordnad att avkänna den spridda
4. Anordning enligt patentkrav 3 k ä n n e t e c k n a d a v att skyddsglasets kant (9) är mattslipad för att jäm- na ut belysningsnivån från kanten.
5. Anordning enligt patentkrav 3 k ä n n e t e c k n a d a v att en optisk fiber (10) är anordnad att leda strål- ningen från skyddsglaset (3) till fotodetektorn (8). 10 15 25 30 35 ...'?_
6. Anordning enligt patentkrav 5 k ä n n e t e c k n a d a v att skyddsglasets kant (9) är mattslipad för att jämna ut belysningsnivån från kanten innan strålningen leds via nämnda optiska fiber (10) till fotodetektorn (8).
7. Anordning enligt patentkrav 3 k ä n n e t e c k n a d a v att fotodetektorn (8) är anordnad att indikera när detektorsignalen uppgår till en viss nivå.
8. Anordning enligt något av patentkraven 3-7 k ä n n e- t e c k n a d a v att fotodetektorn (8) innehåller ett filter för att detektera endast den spridda strålning som härrör från en med den bearbetande strålningen i huvudsak koaxiell strålning av annan våglängd. 508 426
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE9700196A SE508426C2 (sv) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning |
| PCT/SE1998/000105 WO1998033059A1 (sv) | 1997-01-24 | 1998-01-23 | Metod och anordning för att övervaka status hos ett skyddsglas vid laserbearbetning |
| KR1019997006690A KR20000070453A (ko) | 1997-01-24 | 1998-01-23 | 레이저 기계가공 장치에 연결된 보호 글라스의 상태를 점검하는 방법 및 장치 |
| AT98901654T ATE357654T1 (de) | 1997-01-24 | 1998-01-23 | Verfahren und vorrichtung zur prüfung des zustandes eines schutzglases bei der laserbearbeitung |
| DE69837379T DE69837379T2 (de) | 1997-01-24 | 1998-01-23 | Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung des Zustandes eines Schutzglases bei der Laserbearbeitung |
| JP53191198A JP2001509889A (ja) | 1997-01-24 | 1998-01-23 | レーザー機械加工に関連する保護ガラスの状態を検査するための方法及び装置 |
| EP98901654A EP0956498B1 (en) | 1997-01-24 | 1998-01-23 | Method and apparatus for checking the condition of a protective glass in connection with laser machining |
| HU0000730A HUP0000730A2 (en) | 1997-01-24 | 1998-01-23 | Method and apparatus for checking the condition of a protective glass in connection with laser machining |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SE9700196A SE508426C2 (sv) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SE9700196D0 SE9700196D0 (sv) | 1997-01-24 |
| SE9700196L SE9700196L (sv) | 1998-07-25 |
| SE508426C2 true SE508426C2 (sv) | 1998-10-05 |
Family
ID=20405507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SE9700196A SE508426C2 (sv) | 1997-01-24 | 1997-01-24 | Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0956498B1 (sv) |
| JP (1) | JP2001509889A (sv) |
| KR (1) | KR20000070453A (sv) |
| AT (1) | ATE357654T1 (sv) |
| DE (1) | DE69837379T2 (sv) |
| HU (1) | HUP0000730A2 (sv) |
| SE (1) | SE508426C2 (sv) |
| WO (1) | WO1998033059A1 (sv) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102728951A (zh) * | 2011-04-13 | 2012-10-17 | 普雷茨特两合公司 | 用于固定激光加工头内的光学元件的盒子 |
Families Citing this family (34)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10113518B4 (de) * | 2001-03-20 | 2016-05-19 | Precitec Kg | Verfahren zur Messung des Verschmutzungsgrades eines Schutzglases eines Laserbearbeitungskopfs sowie Laserbearbeitungsanlage zur Durchführung des Verfahrens |
| DE50304140D1 (de) * | 2003-06-20 | 2006-08-17 | Trumpf Laser Gmbh & Co Kg | Verfahren und Laserbearbeitungskopf mit einer Einrichtung zur Überwachung eines optischen Elements eines Bearbeitungskopfes einer Maschine zur thermischen Bearbeitung eines Werkstücks |
| DE20314918U1 (de) * | 2003-09-25 | 2005-02-03 | Scansonic Gmbh | Vorrichtung zur Überwachung eines Schutzglases einer Laseroptik auf Bruch und/oder Verschmutzung |
| DE102004041682B4 (de) * | 2004-08-25 | 2007-09-13 | Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh | CO2-Laserbearbeitungskopf mit integrierter Überwachungseinrichtung |
| EP1643281A1 (de) | 2004-10-02 | 2006-04-05 | Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Optisches Element einer Laserbearbeitungsmaschine und Halterung des optischen Elements |
| CN101341000B (zh) | 2005-12-15 | 2011-08-24 | 通快机床两合公司 | 用于激光装置的光学元件的状态识别的方法以及激光装置 |
| DE102007003023B4 (de) * | 2007-01-20 | 2009-05-07 | Sick Ag | Optoelektronischer Sensor und Verfahren zum Lichtdurchlässigkeitstest der Schutzscheibe durch Totalreflexion |
| EP2148228A1 (en) * | 2008-07-22 | 2010-01-27 | CCS Technology, Inc. | Method for operating an apparatus for connecting optical waveguides and apparatus |
| EP2643906B1 (en) * | 2010-11-23 | 2020-07-15 | IPG Photonics Corporation | Method and system for monitoring output of high power fiber laser system |
| JP5997965B2 (ja) * | 2011-08-09 | 2016-09-28 | 株式会社アマダホールディングス | レーザ加工ヘッド |
| EP2769799B1 (en) * | 2011-10-17 | 2019-04-03 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Laser irradiation device and method for diagnosing integrity of laser irradiation head |
| DE102012102221A1 (de) * | 2012-03-16 | 2013-09-19 | Krones Ag | Vorrichtung zur verwendung bei einer inspektion eines behälters, inspektionssystem und inspektionsverfahren |
| DE102012102785B3 (de) | 2012-03-30 | 2013-02-21 | Marius Jurca | Verfahren und Überwachungseinrichtung zur Erfassung und Überwachung der Verschmutzung einer optischen Komponente in einer Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung |
| DE202012101155U1 (de) | 2012-03-30 | 2013-07-01 | Marius Jurca | Überwachungseinrichtung zur Erfassung und Überwachung der Verschmutzung einer optischen Komponente in einer Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung |
| DE102013226961B4 (de) | 2013-12-20 | 2019-02-21 | Lessmüller Lasertechnik GmbH | Prüfvorrichtung und Verfahren zur rechnergestützten Überwachung eines an einer Bearbeitungsoptik angebrachten Werkzeugteils einer Vorrichtung zur Materialbearbeitung sowie Vorrichtung zur rechnergestützten Materialbearbeitung |
| JP6097796B2 (ja) * | 2015-07-09 | 2017-03-15 | アイピージー フォトニクス コーポレーション | 高出力ファイバ型レーザシステムの出力を監視する方法およびシステム |
| CN105772961A (zh) * | 2016-03-29 | 2016-07-20 | 同高先进制造科技(太仓)有限公司 | 基于散射光检测激光头保护镜片污染监控装置及工作方法 |
| DE102016112159A1 (de) * | 2016-07-04 | 2018-01-04 | Krones Aktiengesellschaft | Vorrichtung und Verfahren zum Inspizieren von Objekten mit Schutzglas |
| CN106353338B (zh) * | 2016-10-14 | 2024-01-30 | 无锡科技职业学院 | 用于监控激光保护镜片清洁度的装置 |
| DE102016123000B3 (de) * | 2016-11-29 | 2017-12-14 | Scansonic Mi Gmbh | Verfahren zur Überwachung eines Schutzglases und Überwachungsvorrichtung |
| JP6608885B2 (ja) | 2017-08-24 | 2019-11-20 | ファナック株式会社 | ガルバノスキャナ及びレーザ加工システム |
| JP6982450B2 (ja) * | 2017-09-28 | 2021-12-17 | 株式会社アマダ | 保護ガラス汚れ検知システム及び方法 |
| JP7179278B2 (ja) * | 2018-05-08 | 2022-11-29 | 株式会社Nishihara | 保護ガラスの汚れ検知装置及び保護ガラスの汚れ検知方法 |
| DE102018210270B4 (de) | 2018-06-25 | 2020-01-30 | Trumpf Laser Gmbh | Lichtleiterkabel mit Claddinglichtsensor und zugehörige Justage-, Prüf- und Überwachungsvorrichtungen und Verfahren zum Überwachen eines Lichtleiterkabels |
| JP7240885B2 (ja) * | 2019-02-01 | 2023-03-16 | 株式会社アマダ | レーザ加工機 |
| JP7274319B2 (ja) * | 2019-03-20 | 2023-05-16 | 株式会社アマダ | レーザ加工機、及び保護ガラスの汚れ監視方法 |
| JP2020179405A (ja) * | 2019-04-24 | 2020-11-05 | 株式会社Nishihara | 保護ガラスのヒューム汚れ検知装置及び検知方法 |
| EP3978179B1 (en) * | 2019-06-03 | 2023-10-04 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Laser processing head and laser processing device provided with same |
| EP3928914A1 (de) * | 2020-06-25 | 2021-12-29 | TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Laserbearbeitungskopf mit überwachter schwenkeinheit zum wechseln von kollimationslinsen |
| DE102021103493C5 (de) * | 2021-02-15 | 2024-08-22 | Novanta Europe Gmbh | Verfahren für eine Scanfeldkorrektur mindestens einer Laserscannervorrichtung, Laserscannervorrichtung, Streumusterelement, Streumusterhaltevorrichtung und Scanfeldkorrektursystem |
| JP7600072B2 (ja) | 2021-10-15 | 2024-12-16 | 株式会社アマダ | 保護ガラス汚れ検知装置及び保護ガラス汚れ検知方法 |
| DE102022112524A1 (de) | 2022-05-18 | 2023-11-23 | Dmg Mori Additive Gmbh | Analysevorrichtung zur Zustandsüberwachung eines Schutzglases einer Fertigungsanlage und Fertigungsanlage für ein additives Fertigungsverfahren |
| DE102022120714A1 (de) * | 2022-08-17 | 2024-02-22 | Trumpf Laser Gmbh | Ortsaufgelöste Messung der Verschmutzung eines Schutzglases eines Laserwerkzeugs |
| IT202300001419A1 (it) * | 2023-01-31 | 2024-07-31 | Utpvision S R L | Apparato per la rilevazione di difetti superficiali in oggetti |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3243372A1 (de) * | 1982-11-24 | 1984-05-24 | Klaus-Peter Dipl.-Ing. 5100 Aachen Schleisiek | Vorrichtung zur optischen abtastung einer oberflaeche einer durchsichtigen scheibe |
| US4808813A (en) * | 1986-05-05 | 1989-02-28 | Hughes Aircraft Company | Self contained surface contamination sensor for detecting external particulates and surface discontinuities |
| DE3619208A1 (de) * | 1986-06-07 | 1987-12-10 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zum optischen erfassen von fremdkoerpern |
| DE3715798A1 (de) * | 1987-05-12 | 1988-01-07 | Erich Ing Grad Huber | Opto-elektronische einrichtung zum erkennen von verschmutzung transparenter schutzscheiben und ausloesen der reinigungsmassnahmen |
-
1997
- 1997-01-24 SE SE9700196A patent/SE508426C2/sv unknown
-
1998
- 1998-01-23 EP EP98901654A patent/EP0956498B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1998-01-23 DE DE69837379T patent/DE69837379T2/de not_active Expired - Lifetime
- 1998-01-23 KR KR1019997006690A patent/KR20000070453A/ko not_active Withdrawn
- 1998-01-23 WO PCT/SE1998/000105 patent/WO1998033059A1/sv not_active Ceased
- 1998-01-23 JP JP53191198A patent/JP2001509889A/ja active Pending
- 1998-01-23 AT AT98901654T patent/ATE357654T1/de not_active IP Right Cessation
- 1998-01-23 HU HU0000730A patent/HUP0000730A2/hu unknown
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102728951A (zh) * | 2011-04-13 | 2012-10-17 | 普雷茨特两合公司 | 用于固定激光加工头内的光学元件的盒子 |
| CN102728951B (zh) * | 2011-04-13 | 2017-03-01 | 普雷茨特两合公司 | 用于固定激光加工头内的光学元件的盒子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| HUP0000730A2 (en) | 2000-07-28 |
| DE69837379T2 (de) | 2007-12-13 |
| KR20000070453A (ko) | 2000-11-25 |
| EP0956498B1 (en) | 2007-03-21 |
| SE9700196L (sv) | 1998-07-25 |
| EP0956498A1 (en) | 1999-11-17 |
| SE9700196D0 (sv) | 1997-01-24 |
| JP2001509889A (ja) | 2001-07-24 |
| WO1998033059A1 (sv) | 1998-07-30 |
| ATE357654T1 (de) | 2007-04-15 |
| DE69837379D1 (de) | 2007-05-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| SE508426C2 (sv) | Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning | |
| US8094036B2 (en) | Monitoring device for a laser machining device | |
| US6118527A (en) | Method for monitoring the functionality of the transparent protective element of a transparent laser optical system, and a device for carrying out this method | |
| JP6675420B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| SE512097C2 (sv) | Metod och anordning för att övervaka status hos ett skyddsglas vid laserbearbetning | |
| US20130258321A1 (en) | Method and monitoring device for the detection and monitoring of the contamination of an optical component in a device for laser material processing | |
| EP2265407B1 (en) | Process monitoring | |
| US20060043077A1 (en) | CO2 laser machining head with integrated monitoring device | |
| JP6535480B2 (ja) | レーザ加工状態判別方法及び装置 | |
| JP7179278B2 (ja) | 保護ガラスの汚れ検知装置及び保護ガラスの汚れ検知方法 | |
| JP2012071340A (ja) | レーザ加工装置 | |
| JP6757018B2 (ja) | 保護ガラスの汚れ検出装置とそれを備えるレーザ加工機及び保護ガラスの汚れ検出方法 | |
| WO2019068823A2 (en) | APPARATUS FOR MACHINING A PIECE BY LASER BEAM | |
| JP6982450B2 (ja) | 保護ガラス汚れ検知システム及び方法 | |
| JP2020179405A (ja) | 保護ガラスのヒューム汚れ検知装置及び検知方法 | |
| SE504861C2 (sv) | Förfarande och anordning att detektera smuts på en optisk fiber | |
| TW201937247A (zh) | 自動化螢光檢測系統 | |
| US20190061051A1 (en) | Laser Machining Nozzle for a Laser Machining Device, and Laser Machining Device | |
| JP2001334381A (ja) | レーザー加工機の出力ヘッド | |
| CZ251499A3 (cs) | Způsob a zařízení ke kontrole stavu ochranného skla v souvislosti s laserovým obráběním | |
| WO2003100471A3 (en) | Distributed contaminant optical monitoring system | |
| JPH03195918A (ja) | 位置決めセンサ | |
| Gedicke et al. | Comparison of different process monitoring methods for laser beam micro welding | |
| DE202012101155U1 (de) | Überwachungseinrichtung zur Erfassung und Überwachung der Verschmutzung einer optischen Komponente in einer Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung | |
| JPH07110303A (ja) | 表面検査方法および表面検査装置 |