[go: up one dir, main page]

SE508426C2 - Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning - Google Patents

Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning

Info

Publication number
SE508426C2
SE508426C2 SE9700196A SE9700196A SE508426C2 SE 508426 C2 SE508426 C2 SE 508426C2 SE 9700196 A SE9700196 A SE 9700196A SE 9700196 A SE9700196 A SE 9700196A SE 508426 C2 SE508426 C2 SE 508426C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
protective glass
radiation
edge
photodetector
processing
Prior art date
Application number
SE9700196A
Other languages
English (en)
Other versions
SE9700196L (sv
SE9700196D0 (sv
Inventor
Sven-Olov Roos
Per-Arne Torstensson
Original Assignee
Permanova Lasersystem Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Permanova Lasersystem Ab filed Critical Permanova Lasersystem Ab
Priority to SE9700196A priority Critical patent/SE508426C2/sv
Publication of SE9700196D0 publication Critical patent/SE9700196D0/sv
Priority to PCT/SE1998/000105 priority patent/WO1998033059A1/sv
Priority to KR1019997006690A priority patent/KR20000070453A/ko
Priority to AT98901654T priority patent/ATE357654T1/de
Priority to DE69837379T priority patent/DE69837379T2/de
Priority to JP53191198A priority patent/JP2001509889A/ja
Priority to EP98901654A priority patent/EP0956498B1/en
Priority to HU0000730A priority patent/HUP0000730A2/hu
Publication of SE9700196L publication Critical patent/SE9700196L/sv
Publication of SE508426C2 publication Critical patent/SE508426C2/sv

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/94Investigating contamination, e.g. dust
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/70Auxiliary operations or equipment
    • B23K26/702Auxiliary equipment
    • B23K26/707Auxiliary equipment for monitoring laser beam transmission optics

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
  • Lasers (AREA)

Description

508 426 10 15 20 25 30 35 _ 2 _ grund av spridningen leder detta till att den goda skärpan i de graverade mönstren eller texterna ej kan upprätthål- las.
Det finns dessutom en risk att skyddsglaset spricker om det blir alltför smutsigt. Av dessa skäl måste därför skyddsglasen bytas ut med jämna mellanrum.
Hittills har övervakningen eller kontrollen av skyddsgla- sen främst skett genom en okulärbesiktning vilken är vansklig att genomföra eftersom skyddsglasen kan vara svå- ra att komma ât och inspektera. Bearbetningsprocessen mås- te vidare vara avstängd vid en sådan inspektion med de nackdelar detta innebär.
Det finns därför ett behov av en mer automatisk skydds- glasövervakning som kan ske löpande under arbetets gång och utan att bearbetningsprocessen'behöver avbrytas.
Enligt uppfinningen âstadkommes detta medelst en fotode- tektor som är så anordnad att den känner av (mäter) nivån hos den strålning som spritts av smuts- och dammpartiklar som fastnat på skyddsglaset.
Enligt en fördelaktig utföringsform är fotodetektorn an- bringad så att den "tittar" på skyddsglasets kant, dvs den mäter nivån hos den strålning som spritt sig till skydds- glasets kant.
I det följande skall uppfinningen närmare åskådliggöras under hänvisning till bifogade ritningsfigurer som visar principen för skyddglasövervakningen.
Figur 1 visar ett typiskt, konventionellt arrangemang av skyddsglas vid laserbearbetning, Figur 2 visar ett arrangemang enligt uppfinningen, och 10 15 20 25 30 35 508 426 _ 3 _ figur 3 visar ett alternativt utförande med optisk fiber.
I figur 1 visas schematiskt en fokuseringsoptik, som sym- boliserats med linsen 1, vilken koncentrerar den infallan- de laserstrålningen på ett arbetsstycke 2. Det kan vara fråga om svetsning, gravering av det slag som visas i SE 94 03349-5, skärning eller någon annan form av laserbear- betning. Gemensamt för sådana bearbetningar är att det produceras smuts och dammpartiklar, "sprut" från bearbet- ningsprocessen, runt den detalj som bearbetas. För att in- te dessa partiklar skall tränga in i fokuseringsoptiken är ett skyddsglas 3 anbringat mellan arbetsstycket 2 och fo- kuseringslinsen 1. Skyddsglaset är monterat i en hållare 4 och har en cirkulär kantperiferi.
De smuts- och dammpartiklar som bildas vid bearbetnings- processen kommer istället att lägga sig på skyddsglaset 3.
Därmed förhindras dessa partiklar att tränga in i det mer vitala optiska systemet, men nackdelen är att partiklarna lägger sig på glaset och kommer att sprida en del av den infallande laserstrålningen. Som nämndes inledningsvis måste därför skyddsglasen bytas ut med jämna mellanrum.
I figur 2 visas motsvarande arrangemang som i figur 1 men med detektering av skyddsglasets 3 status med avseende på smuts- och dammpartiklar eller annat som ger en spridning av den infallande laserstrålningen 6. I figuren visas ock- så några partiklar 5 som lagt sig på glaset och ger upphov till spritt ljus 7. Detta spridda ljus kommer delvis att fångas in av skyddsglasets väggar och ledas ut mot skydds- glasets periferi, dvs kanten 9 i figuren.
En fotodetektor 8 är anbringad med den fotokänsliga ytan vänd mot kanten 9 och känner därmed av den spridda strål- ning som uppträder på kanten och som är ett mått på smuts- beläggningen på skyddsglaset. Fotodetektorn mäter hur mycket strålning som spritts av partiklar på skyddsglasets yta. Då detektorsignalen uppgår till en viss nivå kan den 508 426 10 15 20 25 30 35 _.4 _ indikera att det är dags att byta skyddsglas. Fördelen med en sådan detektorövervakning är att statusen på skyddsgla- set kontrolleras löpande under arbetets gång.
Genom att göra skyddsglasets kant 9 mattslipad, så kommer den ljusspridning som genereras av partiklar på skyddsgla- set att vara i stort sett oberoende av var på skyddsglaset som partikeln sitter. Detta beror på att multireflektioner mot skyddsglasets mattslipade kant 9 jämnar ut belysnings- nivån från kanten.
I det alternativa utförande som visas i figur 3 fångas det spridda ljuset på kanten 9 upp av en optisk fiber 10 som leder till en fotodetektor 8 som är placerad på lite av- stånd från det optiska systemet.
Experiment har visat att stor dynamik erhålles i signalen från detektorn. Ett nytt skyddsglas ger även detta spritt ljus med en nivå som kan kallas grundnivån. Då det sprid- da, detekterade ljuset uppgår till 100 gånger grundnivån är skyddsglaset fortfarande användbart, men tydligt ner- smutsat. Då det spridda ljuset uppgår till 1000 gånger grundnivån är skyddsglaset så smutsigt att det bör bytas.
Uppmätning av det spridda ljusets nivå beroende på place- ring av smutspartiklarna visar att med en mattslipad kant så blir signalen i stort sett oberoende av var smutsparti- klarna befinner sig, förutsatt att de befinner sig inom 80% av skyddsglasets diameter.
Istället för att använda den spridda strålningen från den bearbetande laserstrålen (högeffektlasern) kan den spridda strålningen från en annan i huvudsak koaxiell optisk strå- le användas, exempelvis strålningen från en riktlaser av typen HeNe eller en laserdiod. Denna strålning skall då vara av annan våglängd än den bearbetande laserstrålningen och detektorn är försedd med ett optiskt filter för att endast detektera strålning med denna våglängd. 10 15 20 25 30 35 508 426 _ 5 _ En fördel med att använda denna "extra strålning" för skyddsglasövervakningen är att mätningen då kan göras obe- roende av bearbetningsprocessen, dvs mätningen kan göras även då bearbetningslasern ej är igång och mätsignalen blir oberoende av effektvariationer under bearbetningspro- CeSSefl.
Uppfinningen är inte begränsad till de som exempel visade utföringsformerna utan kan varieras inom ramen för de ef- terföljande patentkraven. Uppfinningen kan dessutom kombi- neras med olika metoder att undvika att smuts lägger sig på skyddsglaset, exempelvis crossjet, axialblås.

Claims (8)

10 15 20 25 30 35 508 426 PATENTKRAV
1. Metod för att under laserbearbetning av ett arbets- stycke detektera status hos ett mellan arbetsstycket och laseroptiken anordnat skyddsglas (3) genom vilket den be- arbetande laserstrålen, och eventuellt annan med den bear- betande laserstrålningen i huvudsak koaxiell strålning, får passera k ä n n e t e c k n a d a v att en fotode- tektor (8) anbringas i anslutning till skyddsglasets kant (9) för att känna av den strålning som spritts till denna kant hos skyddsglaset (3) av smuts- och dammpartiklar (5) som fastnat på skyddsglaset.
2. Metod enligt patentkrav 1 k ä n n e t e c k n a d a v att strålningen från skyddsglaset (3) leds till fotodetek- torn (8) via en optisk fiber (10). ~
3. Anordning för att under laserbearbetning av ett arbets- stycke detektera status hos ett mellan arbetsstycket och laseroptiken anordnat skyddsglas (3) genom vilket den be- arbetande laserstrålen, och eventuellt annan med den bear- betande laserstrålningen i huvudsak koaxiell strålning, är anordnad att passera k ä n n e t e c k n a d a v att en fotodetektor (8) strålning som når skyddsglasets kant (9) och som spritts av smuts- och dammpartiklar (5) som fastnat på skyddsgla- set (3). är anordnad att avkänna den spridda
4. Anordning enligt patentkrav 3 k ä n n e t e c k n a d a v att skyddsglasets kant (9) är mattslipad för att jäm- na ut belysningsnivån från kanten.
5. Anordning enligt patentkrav 3 k ä n n e t e c k n a d a v att en optisk fiber (10) är anordnad att leda strål- ningen från skyddsglaset (3) till fotodetektorn (8). 10 15 25 30 35 ...'?_
6. Anordning enligt patentkrav 5 k ä n n e t e c k n a d a v att skyddsglasets kant (9) är mattslipad för att jämna ut belysningsnivån från kanten innan strålningen leds via nämnda optiska fiber (10) till fotodetektorn (8).
7. Anordning enligt patentkrav 3 k ä n n e t e c k n a d a v att fotodetektorn (8) är anordnad att indikera när detektorsignalen uppgår till en viss nivå.
8. Anordning enligt något av patentkraven 3-7 k ä n n e- t e c k n a d a v att fotodetektorn (8) innehåller ett filter för att detektera endast den spridda strålning som härrör från en med den bearbetande strålningen i huvudsak koaxiell strålning av annan våglängd. 508 426
SE9700196A 1997-01-24 1997-01-24 Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning SE508426C2 (sv)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9700196A SE508426C2 (sv) 1997-01-24 1997-01-24 Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning
PCT/SE1998/000105 WO1998033059A1 (sv) 1997-01-24 1998-01-23 Metod och anordning för att övervaka status hos ett skyddsglas vid laserbearbetning
KR1019997006690A KR20000070453A (ko) 1997-01-24 1998-01-23 레이저 기계가공 장치에 연결된 보호 글라스의 상태를 점검하는 방법 및 장치
AT98901654T ATE357654T1 (de) 1997-01-24 1998-01-23 Verfahren und vorrichtung zur prüfung des zustandes eines schutzglases bei der laserbearbeitung
DE69837379T DE69837379T2 (de) 1997-01-24 1998-01-23 Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung des Zustandes eines Schutzglases bei der Laserbearbeitung
JP53191198A JP2001509889A (ja) 1997-01-24 1998-01-23 レーザー機械加工に関連する保護ガラスの状態を検査するための方法及び装置
EP98901654A EP0956498B1 (en) 1997-01-24 1998-01-23 Method and apparatus for checking the condition of a protective glass in connection with laser machining
HU0000730A HUP0000730A2 (en) 1997-01-24 1998-01-23 Method and apparatus for checking the condition of a protective glass in connection with laser machining

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE9700196A SE508426C2 (sv) 1997-01-24 1997-01-24 Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning

Publications (3)

Publication Number Publication Date
SE9700196D0 SE9700196D0 (sv) 1997-01-24
SE9700196L SE9700196L (sv) 1998-07-25
SE508426C2 true SE508426C2 (sv) 1998-10-05

Family

ID=20405507

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE9700196A SE508426C2 (sv) 1997-01-24 1997-01-24 Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning

Country Status (8)

Country Link
EP (1) EP0956498B1 (sv)
JP (1) JP2001509889A (sv)
KR (1) KR20000070453A (sv)
AT (1) ATE357654T1 (sv)
DE (1) DE69837379T2 (sv)
HU (1) HUP0000730A2 (sv)
SE (1) SE508426C2 (sv)
WO (1) WO1998033059A1 (sv)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102728951A (zh) * 2011-04-13 2012-10-17 普雷茨特两合公司 用于固定激光加工头内的光学元件的盒子

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10113518B4 (de) * 2001-03-20 2016-05-19 Precitec Kg Verfahren zur Messung des Verschmutzungsgrades eines Schutzglases eines Laserbearbeitungskopfs sowie Laserbearbeitungsanlage zur Durchführung des Verfahrens
DE50304140D1 (de) * 2003-06-20 2006-08-17 Trumpf Laser Gmbh & Co Kg Verfahren und Laserbearbeitungskopf mit einer Einrichtung zur Überwachung eines optischen Elements eines Bearbeitungskopfes einer Maschine zur thermischen Bearbeitung eines Werkstücks
DE20314918U1 (de) * 2003-09-25 2005-02-03 Scansonic Gmbh Vorrichtung zur Überwachung eines Schutzglases einer Laseroptik auf Bruch und/oder Verschmutzung
DE102004041682B4 (de) * 2004-08-25 2007-09-13 Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh CO2-Laserbearbeitungskopf mit integrierter Überwachungseinrichtung
EP1643281A1 (de) 2004-10-02 2006-04-05 Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Optisches Element einer Laserbearbeitungsmaschine und Halterung des optischen Elements
CN101341000B (zh) 2005-12-15 2011-08-24 通快机床两合公司 用于激光装置的光学元件的状态识别的方法以及激光装置
DE102007003023B4 (de) * 2007-01-20 2009-05-07 Sick Ag Optoelektronischer Sensor und Verfahren zum Lichtdurchlässigkeitstest der Schutzscheibe durch Totalreflexion
EP2148228A1 (en) * 2008-07-22 2010-01-27 CCS Technology, Inc. Method for operating an apparatus for connecting optical waveguides and apparatus
EP2643906B1 (en) * 2010-11-23 2020-07-15 IPG Photonics Corporation Method and system for monitoring output of high power fiber laser system
JP5997965B2 (ja) * 2011-08-09 2016-09-28 株式会社アマダホールディングス レーザ加工ヘッド
EP2769799B1 (en) * 2011-10-17 2019-04-03 Kabushiki Kaisha Toshiba Laser irradiation device and method for diagnosing integrity of laser irradiation head
DE102012102221A1 (de) * 2012-03-16 2013-09-19 Krones Ag Vorrichtung zur verwendung bei einer inspektion eines behälters, inspektionssystem und inspektionsverfahren
DE102012102785B3 (de) 2012-03-30 2013-02-21 Marius Jurca Verfahren und Überwachungseinrichtung zur Erfassung und Überwachung der Verschmutzung einer optischen Komponente in einer Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung
DE202012101155U1 (de) 2012-03-30 2013-07-01 Marius Jurca Überwachungseinrichtung zur Erfassung und Überwachung der Verschmutzung einer optischen Komponente in einer Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung
DE102013226961B4 (de) 2013-12-20 2019-02-21 Lessmüller Lasertechnik GmbH Prüfvorrichtung und Verfahren zur rechnergestützten Überwachung eines an einer Bearbeitungsoptik angebrachten Werkzeugteils einer Vorrichtung zur Materialbearbeitung sowie Vorrichtung zur rechnergestützten Materialbearbeitung
JP6097796B2 (ja) * 2015-07-09 2017-03-15 アイピージー フォトニクス コーポレーション 高出力ファイバ型レーザシステムの出力を監視する方法およびシステム
CN105772961A (zh) * 2016-03-29 2016-07-20 同高先进制造科技(太仓)有限公司 基于散射光检测激光头保护镜片污染监控装置及工作方法
DE102016112159A1 (de) * 2016-07-04 2018-01-04 Krones Aktiengesellschaft Vorrichtung und Verfahren zum Inspizieren von Objekten mit Schutzglas
CN106353338B (zh) * 2016-10-14 2024-01-30 无锡科技职业学院 用于监控激光保护镜片清洁度的装置
DE102016123000B3 (de) * 2016-11-29 2017-12-14 Scansonic Mi Gmbh Verfahren zur Überwachung eines Schutzglases und Überwachungsvorrichtung
JP6608885B2 (ja) 2017-08-24 2019-11-20 ファナック株式会社 ガルバノスキャナ及びレーザ加工システム
JP6982450B2 (ja) * 2017-09-28 2021-12-17 株式会社アマダ 保護ガラス汚れ検知システム及び方法
JP7179278B2 (ja) * 2018-05-08 2022-11-29 株式会社Nishihara 保護ガラスの汚れ検知装置及び保護ガラスの汚れ検知方法
DE102018210270B4 (de) 2018-06-25 2020-01-30 Trumpf Laser Gmbh Lichtleiterkabel mit Claddinglichtsensor und zugehörige Justage-, Prüf- und Überwachungsvorrichtungen und Verfahren zum Überwachen eines Lichtleiterkabels
JP7240885B2 (ja) * 2019-02-01 2023-03-16 株式会社アマダ レーザ加工機
JP7274319B2 (ja) * 2019-03-20 2023-05-16 株式会社アマダ レーザ加工機、及び保護ガラスの汚れ監視方法
JP2020179405A (ja) * 2019-04-24 2020-11-05 株式会社Nishihara 保護ガラスのヒューム汚れ検知装置及び検知方法
EP3978179B1 (en) * 2019-06-03 2023-10-04 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Laser processing head and laser processing device provided with same
EP3928914A1 (de) * 2020-06-25 2021-12-29 TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Laserbearbeitungskopf mit überwachter schwenkeinheit zum wechseln von kollimationslinsen
DE102021103493C5 (de) * 2021-02-15 2024-08-22 Novanta Europe Gmbh Verfahren für eine Scanfeldkorrektur mindestens einer Laserscannervorrichtung, Laserscannervorrichtung, Streumusterelement, Streumusterhaltevorrichtung und Scanfeldkorrektursystem
JP7600072B2 (ja) 2021-10-15 2024-12-16 株式会社アマダ 保護ガラス汚れ検知装置及び保護ガラス汚れ検知方法
DE102022112524A1 (de) 2022-05-18 2023-11-23 Dmg Mori Additive Gmbh Analysevorrichtung zur Zustandsüberwachung eines Schutzglases einer Fertigungsanlage und Fertigungsanlage für ein additives Fertigungsverfahren
DE102022120714A1 (de) * 2022-08-17 2024-02-22 Trumpf Laser Gmbh Ortsaufgelöste Messung der Verschmutzung eines Schutzglases eines Laserwerkzeugs
IT202300001419A1 (it) * 2023-01-31 2024-07-31 Utpvision S R L Apparato per la rilevazione di difetti superficiali in oggetti

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3243372A1 (de) * 1982-11-24 1984-05-24 Klaus-Peter Dipl.-Ing. 5100 Aachen Schleisiek Vorrichtung zur optischen abtastung einer oberflaeche einer durchsichtigen scheibe
US4808813A (en) * 1986-05-05 1989-02-28 Hughes Aircraft Company Self contained surface contamination sensor for detecting external particulates and surface discontinuities
DE3619208A1 (de) * 1986-06-07 1987-12-10 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zum optischen erfassen von fremdkoerpern
DE3715798A1 (de) * 1987-05-12 1988-01-07 Erich Ing Grad Huber Opto-elektronische einrichtung zum erkennen von verschmutzung transparenter schutzscheiben und ausloesen der reinigungsmassnahmen

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102728951A (zh) * 2011-04-13 2012-10-17 普雷茨特两合公司 用于固定激光加工头内的光学元件的盒子
CN102728951B (zh) * 2011-04-13 2017-03-01 普雷茨特两合公司 用于固定激光加工头内的光学元件的盒子

Also Published As

Publication number Publication date
HUP0000730A2 (en) 2000-07-28
DE69837379T2 (de) 2007-12-13
KR20000070453A (ko) 2000-11-25
EP0956498B1 (en) 2007-03-21
SE9700196L (sv) 1998-07-25
EP0956498A1 (en) 1999-11-17
SE9700196D0 (sv) 1997-01-24
JP2001509889A (ja) 2001-07-24
WO1998033059A1 (sv) 1998-07-30
ATE357654T1 (de) 2007-04-15
DE69837379D1 (de) 2007-05-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE508426C2 (sv) Metod och anordning för att övervaka renheten hos ett skyddsglas vid laserbearbetning
US8094036B2 (en) Monitoring device for a laser machining device
US6118527A (en) Method for monitoring the functionality of the transparent protective element of a transparent laser optical system, and a device for carrying out this method
JP6675420B2 (ja) レーザ加工装置
SE512097C2 (sv) Metod och anordning för att övervaka status hos ett skyddsglas vid laserbearbetning
US20130258321A1 (en) Method and monitoring device for the detection and monitoring of the contamination of an optical component in a device for laser material processing
EP2265407B1 (en) Process monitoring
US20060043077A1 (en) CO2 laser machining head with integrated monitoring device
JP6535480B2 (ja) レーザ加工状態判別方法及び装置
JP7179278B2 (ja) 保護ガラスの汚れ検知装置及び保護ガラスの汚れ検知方法
JP2012071340A (ja) レーザ加工装置
JP6757018B2 (ja) 保護ガラスの汚れ検出装置とそれを備えるレーザ加工機及び保護ガラスの汚れ検出方法
WO2019068823A2 (en) APPARATUS FOR MACHINING A PIECE BY LASER BEAM
JP6982450B2 (ja) 保護ガラス汚れ検知システム及び方法
JP2020179405A (ja) 保護ガラスのヒューム汚れ検知装置及び検知方法
SE504861C2 (sv) Förfarande och anordning att detektera smuts på en optisk fiber
TW201937247A (zh) 自動化螢光檢測系統
US20190061051A1 (en) Laser Machining Nozzle for a Laser Machining Device, and Laser Machining Device
JP2001334381A (ja) レーザー加工機の出力ヘッド
CZ251499A3 (cs) Způsob a zařízení ke kontrole stavu ochranného skla v souvislosti s laserovým obráběním
WO2003100471A3 (en) Distributed contaminant optical monitoring system
JPH03195918A (ja) 位置決めセンサ
Gedicke et al. Comparison of different process monitoring methods for laser beam micro welding
DE202012101155U1 (de) Überwachungseinrichtung zur Erfassung und Überwachung der Verschmutzung einer optischen Komponente in einer Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung
JPH07110303A (ja) 表面検査方法および表面検査装置