[go: up one dir, main page]

SE436936B - Integrerad kapacitiv givare - Google Patents

Integrerad kapacitiv givare

Info

Publication number
SE436936B
SE436936B SE8100638A SE8100638A SE436936B SE 436936 B SE436936 B SE 436936B SE 8100638 A SE8100638 A SE 8100638A SE 8100638 A SE8100638 A SE 8100638A SE 436936 B SE436936 B SE 436936B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
substrate
capacitive sensor
sensor according
plate
capacitor
Prior art date
Application number
SE8100638A
Other languages
English (en)
Other versions
SE8100638L (sv
Inventor
M Adolfsson
S Goransson
B Hok
Original Assignee
Asea Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asea Ab filed Critical Asea Ab
Priority to SE8100638A priority Critical patent/SE436936B/sv
Priority to DE19823201198 priority patent/DE3201198A1/de
Priority to US06/343,105 priority patent/US4434665A/en
Priority to JP57012502A priority patent/JPS57144417A/ja
Publication of SE8100638L publication Critical patent/SE8100638L/sv
Publication of SE436936B publication Critical patent/SE436936B/sv

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed
    • G01P3/48—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage
    • G01P3/4802—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage by using electronic circuits in general
    • G01P3/4805—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed by measuring frequency of generated current or voltage by using electronic circuits in general by using circuits for the electrical integration of the generated pulses
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/241—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
    • G01D5/2417—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying separation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0073—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a semiconductive diaphragm
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/125—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by capacitive pick-up

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)

Description

15 20 25 50. 8100638-9 *- små. fysiska dimensioner för givaren - kan' framställas i rationell produktion genom utnyttjande av monolit- _ temmlogi ' - givaren kan lätt kalibreras genom oberoende inställningar av de ingående kondensat orerna - långtidsstabiliteten blir ej 'beroende av aktiva komponentparametrar, endast kapacitansvärden 7- samma. substrat kan användas vid flera olika givartyper, endast plattan behöver modifieras -- låg effektförbrulcning, vilket medger optisk effektmatning och styrning - liten störkänslighet för elektromagnetisk påverkan tack vare den optiska matningen och de små fysiska dimensionerna - givaren användbar i svåra miljöer, exempelvis i explosiva miljöer Uppfinningen är närmare exemplifierad i bifogade figurer, av vilka fig 1 visar ett blockschema över givaren, fig 2, 5, 4 och 5 visar några utförande- exempel av givarkondensatorn, fig 6 visar fzmktionen i form av ett tids- diagram, fig 7 visar ett utförandeexempel på en trimmbar kondensator för inställning av nollpwznkt och kalibrerfaktor och fig 8 visar en alternativ utföringsform till fig 1.
Givarens funktion enligt ett utförandeexempel visas till att börja med under hänvisning till fig 1 och 6. Den kapacitiva givarens effekttillför- i sel och styrning sker optiskt från en optisk fiber, vars ända visas vid 29 i fíg 1. En fotoluminiscensdiod 28, exempelvis beskriven i svensk patent- skrift 8004602-2 (422 111), ger en utspänning, som lagras och eventuellt höjs i konaensatom/spämingeaubblaren 26. över 26 erhålles spänninge- försörjning av den övriga elektronikbcetsen. Från kondensatorn 26 matas således givarens övriga elektronik) Fotoluminiscensdioden 28 mottar även optiska styrpzzlser, vilka erhållas via fibern 29 och som detekteras över en utarmningstransistor 25. Denna utarmningstrazxsistor kan även vara ett motstånd, och avsikten med denna är att förhindra att spänningen från 10 15 20 25 50 spänningsdubblaren kortslutes. Sändning av-optisk information tillbaka till fibern 29 sker genom kortslutning av fotoluminiscensdioden 28 med hjälp av mos-ewitenen 27 (falteffçkttraneiëtorn 27).
Em givarkondensator CX (12), en nollpznzktskondensator G1 (15) och en kalibrerkondensator G2 (14) är inkopplade i en integratorlnrets, bestående av en strömgenerator 16, en operationsförstärkare 15 och tre MOS-suitchar 21, 22 och 25. I frånvaro av styrpulser är switchen 25 sluten, varför ut- signalen från integratom är noll. Då en styrpzils (50 i fig 6) kommer, slår en vippa 19 om och en switch 25 öppnar. Vi antar nu att vippan 20 då får ett sådant tillstånd, att switchen 22 är sluten och switchen 21 är öppen. Integratorn komer då att ladda upp seriekapacitazxsen av G1 (15) och 02 (14) till dess att spänningen når värdet V m t.. Efter denna uppladd- ningstid (T1 i fig 6) slår en komparator, ansluten till operationsförstärka- ren 15, om, och en puls 52 (se fig 6) avges från en monovippa 18, ansluten till komparatorn 17, vilken via. vippen 19 sluter switchen 25, och integratorn får åter utsignalen noll. Pulsen 52 från monovippan 18 kortsluter sam- tidigt via switchen 27 fotoluminiscensdioden 28, så att tidsinformationen T1 överföres genom modulering av luminiscensens intensitet.
I fig 6 visas i den översta kurvans y-axel styrpulserna U och på. x-axeln tiden. Under denna. visas utsignalen från integratorn V0 och längst ner utsignalen från fotoluminiscensdioden V18 och på x-axlarna tiden. Vi ser när pulsen 502 inkommer och när nästa styrpuls 51 komer upprepas för- loppet med den skillnaden, att vippan 20 då ställer sig så, att switchen 21 är sluten och switchen 22 öppen. Integrationskapacitane blir då. seriekapacitazxsen av CX (12) och G2 (14). På. motsvarande sätt fås nu efter tiden T en puls 55 från monovippan 18. Pulsen 55 aktiverar foto- luminieeensaioaen za och ger sterställningssignal t111 vippen 19. som framgår av relationerna i följande ekvationer, bär förhållandet 'IEI/T på givarens signalinformation, och denna kvot ger således ett mått på tryck, acceleration, kraft eller vilken mätstorhet som nu avses att mätas.
I - 'P1 I - T J' =V G2 C27 ref C C 1+E1â 1+-Ö-2-' x A - E 65 ' CI I d CX(X I O) I G1 81) 059638- 9 ' 10 15 20 25 8100638-9 o c T 2 1 2 1+C n-T (1+ ) x 1 1_ 1_+B-== c'c c-a 531-1-*13-02 .L T C1+C2H do Beteclmingarna enligt ovan än: kondensatorarea relativa dielektricitetstalet dielelctricitetskonstanten plattavsthdet mekanisk insignal *mekanisk kalibrelrfaktor plattavståna vid non mekanisk mignai Qfbdflßflofhmb beteckningar framgår av figurerna 1 oeh 6.
Vi finner således att förhållandet-T/T blir beroende av den mekaniska insignalen x, dvs mätstorheten, och utgör sålunda ett mått på indilcerad mätstorhet .
Genom att välja 01 _ cx då den mekaniska mamman är non fås T1/æ = 1 oberoende av värdet på G2. G1 kan injusteras till detta värde t ex genom att dess kondensator-area A varieras. Då denna injustering är slutförd kan K på motsvarande sätt kalibrerfaktorn trirmnas så., att en Standardiserad ut- signal fås för ett visst värde på. den mekaniska insigilalen x. Detta görs mnoxn inställning av kapaditansen G2. Vi -ser *i fig- 6 styrpulsema 30 och 51 och "resetkpulserna 52 och 55 och de två tidsintervallerrza 'P1 resp T.
Fig 2 visar en givare för absolut tryclcnätning. Substratplattan 1 inne- håller den integrerade lcretsen och ett metalliserat eller högdopat område 4, 10 15 20 V: O u.- V1 som utgör ena kondensatorplattan i gívarkondensatorn. Den andra kondensator- plattan utgöres av ett halvledarmaterial med hög dopning i ytan eller av . en metallbeläggning 3 i elektriskt ledande kontakt med en punkt pårsub- stratplattan. Plattan 2 är utformad så., att en slutenlvolym 7 utbildas mellan substratet 1 och plattan 2. Substratet är i vissa delar isolerat (S), för att ge isolation mellan kondensatorns kontaktpunlcter 4 och 6. volymen 7 är lämpligen evakuerad för att undvika temperaturens inverkan på en innesluten gasvolym. Ett hydrostatiskt tryck påverkar plattan 2 så. att denna böjs (detta hydrostatieka tryck är den storhet som skall mätas), vilket ger en kapacitansändring, eftersom medelavståndet mellan de metall- iska skikten då varieras. Böjutslaget blir beroende av bl a plattans tjocklek och materialets elasticitetsmodul. Alla detaljerna enligt fig 1 ingår i den integrerade kretsen utom fotolxzminiscexxsdioden 28 och fibern 29.
Fig 5 visar en tryckgivare för mätning av relativt tryck. Uppbyggnaden är analog med den som visas i fig 2. Ett hål 8 är här upptaget i substrat- plattan och går till utrynnnet 'I under plattan 2. Detta hål avser att ge tryckutjämning mellan den inneslutna volymen 7 och substratets 1 baksida.
Fig 4 visar en accelerometer, uppbyggd efter samma principer. En massa 9 är anbringad på plattan, som i detta fall inte behöver helt ansluta mot substratet 1 utan lcan ha en öppning 10 mot detta..
Fig 5 visar en absoluttryckgivare, där galvanisk kontakt inte behöver ' upptas mellan substratet och plattan. Givarkapacitansen utgörs i detta fall av seriekapacitaxzsen mellan två delkondensatorer mellan substratet och plattan. Se skikten 4a och 4b i vardera delkondensatorn.
Fig 'I visar ett utförandeexempel på. kondensatorerna G1 (15) eller G2 (14), vilket möjliggör stegvis inställning till lämpligt kapacitansvärde. Den tillgängliga kondensatorarean uppdelad så att arean 56 är 1/2 av arean 55, arean 37 är 1/2 av areaz-.ÉG etc. De olika kondensatorareorna kan sam- mankopplas genom .en rad strömbrytare 54. Dessa är liksom kondensator- areorna belägna på. substratet. Strömbrytarna kan i enklaste fall utgöras av en tunn metallsträng, som kan brytas genom att brännas bort. Alter- nativt kan de vara MOS-transistorer med en minnesfunktion, 't ex MDS-celler eller FAMOS-celler. varvid den slutande eller brytande funktionen kan programmeras som en elektrisk. spänning. Antalet uppdelning-ar av konden- satorarean bestäms av .den önskade inställningsnoggrannheten och den tek- niskt möjliga repeterbarheten i genereringen avmönstret. 8100--638-9

Claims (19)

8100638-91 I fig 1 visas hur den mekaniska insignalen får påverka plattavståndet d i kondensatorn. Med C - A - SEO/d för en vanlig' plattkondensator kan man även mekaniskt modulera arean A eller dielektricitetskonstanten 6 . I dessa fall är det ur linearitetssynpunzlct fördelaktigt att modifiera kretsen i fig 1 enligt fig 8. MOS-switcharna visas vid 54 och 35. I anordningen kan även ingå don för olika inkopplingssekvenser av kondensa- torerna. Anordníngen enligt ovan kan varieras på mångahanda sätt inom ramen för nedanstående patentkrav. PATENTKRAV
1. Kapacitiv givare för indikering/registrering' av mätstorheter i form av mekaniska signaler såsom tryck, temperatur, acceleration, töjning, lcraft etc, vilka signaler är anordnade att åstadkomma små relativa rörelser mellan två elektriskt ledande skikt i minst en givarkondensator (12), varav åtmins- tone den ena belägganingen är styvt förbunden med ett substrat, vilket kan innehålla integrerade passiva och aktiva halvledarkomponenter, k ä n n e - t e c k n a d därav, att substratet (1) innehåller minst två kondensatorer (C1, G2) förutom minst en givarkondensator (12, CX), samt att var och en av dessa kondensatorer är tillordnad ett separat, styrbart svitchelement (21, 22, 23), lämpligen integrerat i substratet.
2. Kapacitiv givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att de i substratet integrerade halvledarkomponentema är anordnade att omvandla den till givaren påförda mekaniska signalen till minst ett av elektriska signaler definierat tidsintervall. å.
3. Kapacitiv givare enlig-t patentkrav 1,, k "a". n n e t e c k n a d därav, att en av de på substratet befintliga kondensatorerrla (15) är anordnad att lcunna givas (kalibreras till) väsentligen samma kapacitansvärde som gfivarkondonsatonw (12) utan pålagfi .mekanisk signal.
4. Kapacitiv givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, attren av de på substratet befintliga kondensatorerna (14) är anordnad att kunna ínstíillas till ett givet värde på givarens kalibrerfaktor, väsentligen utan inverkan på givarens nollpuxxlctsinställning. 8100638-9
5. S. Kapacitiv givare enligt patentlcrav 1, k ä. n n e t e ck n a d därav, att givarkondensatorns (12) ena ledande skikt är anbringat på. en platta (2), som i åtminstone en punkt är fast förbunden med substratet (1) och som _ genom böjning kan fås att röra sig relativt-substratet. '
6. Kapacitiv givare enligt patentlorav 5, k ä n n e t e c k n a d därav, att plattan (2) är utförd i ett material med väsentligen sazmna temperatur- koefficient -som substratet (1).
7. Kapacitiv 'givare enligt patentln-av 6, k ä n n e t e c k n a d därav, att plattan (2) är utförd -i samma material som eubstratet
8. Kapacitiv givare enligt patenthav 1, k ä. n n e t e c k n a d därav, att givaren innehåller medel (28) för mottagning av optisk energi.
9. Kapacitiv givare enligt patentkrav 1, 'k ä n n e t e c k n a d därav, att givaren innehåller medel för att avge optisk information. '
10. Kapacitiv givare enligt patentkrav 8-9, k ä. n n e t e c k n a d därav, att i givaren ingår en s k .Cotolumizfisoensdiod (28) för mottagning och utsändning av optisk energi.
11. Kapacitiv givare enligt patentki-av 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att givarkondensatorn (12) jämte de på substratet befintliga kon- densatorema ingår i en integrator, vars insignal utgöres av en konstant ström eller spänning.
12. Kapacitiv givare enligt patentkrav fj, k ä. n :rent e c k n a d därav, att substratet och plattan åtminstone delvis åtskiljs av en sluten volym -
13. Kapacitiv givare enligt patentkrav 5, k ä n n e t e c k n a d därav, att substratet och plattan delvis åtskiljs av en volym, som är sluten så när som på ett hål (8), upptaget i~ substratet eller i form av en kanal mellan plattan och substratet.
14. Kapacitiv givare enligt patentkrav 5, k ä n n' e t e c k n a d därav, att-plattan står i mekanisk förbindelse med* en massa (9), vara kraftpåverkarx på plattan. orsakar en böjning av densamma. 8100638-9
15. Kapacitiv givare enligt patentkrav 5, 6 eller 7,7 k ä n n e t e c k - n a d därav, att ena kondensatorplattan på vardera av kondensatorerna“ (12, 15, 14) är samamopplaae :in en punkt, '
16. Kapacitiv givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att i omkopplaren (omkopplarfunktionen) ingår minst tre transis- torer (21-25), t ex fälteffekttransistorer av MOS-tyç, för tre ingående omkopplarfunktioner. I
17. Kapacitiv givare enligt patentkrav 1, k ä n n e t e c k n a d därav, att i omkopplaren ingår minst en minnesfunktion för minst en av de ingående inkopplarfunktionerna.
18. Kapacitiv givare enligt patentkrav 1, k ä n n e_t e c k n a d därav, att i omkopplaren ingående omkopplarfunktioner åtminstone i vissa av fallen utgöres av en brytbar metallförbíndelse.
19. Kapacitiv givare enligt något eller några av föregående patentkrav, k ä n n e t e c k n a d därav, att i anordningen ingår don för olika inkopplingssekvenser av kondensatorerna.
SE8100638A 1981-01-29 1981-01-29 Integrerad kapacitiv givare SE436936B (sv)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE8100638A SE436936B (sv) 1981-01-29 1981-01-29 Integrerad kapacitiv givare
DE19823201198 DE3201198A1 (de) 1981-01-29 1982-01-16 "kapazitiver geber zur anzeige oder registrierung von messgroessen"
US06/343,105 US4434665A (en) 1981-01-29 1982-01-27 Integrated capacitive transducer
JP57012502A JPS57144417A (en) 1981-01-29 1982-01-28 Capacitive converter

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE8100638A SE436936B (sv) 1981-01-29 1981-01-29 Integrerad kapacitiv givare

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE8100638L SE8100638L (sv) 1982-07-30
SE436936B true SE436936B (sv) 1985-01-28

Family

ID=20343019

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE8100638A SE436936B (sv) 1981-01-29 1981-01-29 Integrerad kapacitiv givare

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4434665A (sv)
JP (1) JPS57144417A (sv)
DE (1) DE3201198A1 (sv)
SE (1) SE436936B (sv)

Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE441127B (sv) * 1984-01-25 1985-09-09 Asea Ab Accelerometer
FI69932C (fi) * 1984-05-31 1986-05-26 Vaisala Oy Maetningsfoerfarande foer kapacitanser speciellt foer smao kapacitanser vid vilker man anvaender tvao referenser
FR2578323B1 (fr) * 1985-03-01 1987-11-20 Metravib Sa Capteur integre de grandeurs mecaniques a effet capacitif et procede de fabrication.
US4982351A (en) * 1986-05-05 1991-01-01 Texas Instruments Incorporated Low cost high precision sensor
US5051937A (en) * 1986-05-05 1991-09-24 Texas Instruments Incorporated Low cost high precision sensor
US4951236A (en) * 1986-05-05 1990-08-21 Texas Instruments Incorporated Low cost high precision sensor
FR2599833B1 (fr) * 1986-06-10 1992-02-14 Metravib Sa Capteur de grandeurs mecaniques integre sur silicium et procede de fabrication
DE3625411A1 (de) * 1986-07-26 1988-02-04 Messerschmitt Boelkow Blohm Kapazitiver beschleunigungssensor
DE3642088A1 (de) * 1986-12-10 1988-06-23 Wolfgang Brunner Anordnung zur messung von kraftverteilungen
US4963729A (en) * 1989-03-03 1990-10-16 Simmonds Precision Products, Inc. Optically powered sensor system with improved signal conditioning
JP2582160B2 (ja) * 1989-07-20 1997-02-19 株式会社日立製作所 センサ装置
US5365768A (en) * 1989-07-20 1994-11-22 Hitachi, Ltd. Sensor
US5092174A (en) * 1989-10-19 1992-03-03 Texas Instruments Incorporated Capacitance accelerometer
US5258868A (en) * 1990-02-02 1993-11-02 Rosemount Inc. Optical process variable transmitter
US5528409A (en) * 1994-10-13 1996-06-18 Nt International, Inc. Fiber-optic interface system
US5528520A (en) * 1994-12-08 1996-06-18 Ford Motor Company Calibration circuit for capacitive sensors
US6484585B1 (en) 1995-02-28 2002-11-26 Rosemount Inc. Pressure sensor for a pressure transmitter
US5637802A (en) * 1995-02-28 1997-06-10 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates
FR2734057B1 (fr) * 1995-05-11 1997-06-20 Suisse Electronique Microtech Capteur accelerometrique capacitif miniature
US5665899A (en) * 1996-02-23 1997-09-09 Rosemount Inc. Pressure sensor diagnostics in a process transmitter
US6508129B1 (en) 2000-01-06 2003-01-21 Rosemount Inc. Pressure sensor capsule with improved isolation
US6516671B2 (en) 2000-01-06 2003-02-11 Rosemount Inc. Grain growth of electrical interconnection for microelectromechanical systems (MEMS)
US6505516B1 (en) 2000-01-06 2003-01-14 Rosemount Inc. Capacitive pressure sensing with moving dielectric
US6561038B2 (en) 2000-01-06 2003-05-13 Rosemount Inc. Sensor with fluid isolation barrier
US6520020B1 (en) 2000-01-06 2003-02-18 Rosemount Inc. Method and apparatus for a direct bonded isolated pressure sensor
US6848316B2 (en) * 2002-05-08 2005-02-01 Rosemount Inc. Pressure sensor assembly
JP4895604B2 (ja) * 2005-12-22 2012-03-14 京セラ株式会社 圧力検出装置用パッケージおよび圧力検出装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3753373A (en) 1965-10-22 1973-08-21 Bissett Berman Corp Transducer system
DE2148775B2 (de) * 1971-09-30 1979-03-08 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Messeinrichtung mit kapazitivem abgriff
US4145619A (en) * 1976-12-03 1979-03-20 Robertshaw Controls Company Two wire capacitance transmitter
US4227419A (en) * 1979-09-04 1980-10-14 Kavlico Corporation Capacitive pressure transducer
US4301492A (en) 1980-01-28 1981-11-17 Paquin Maurice J Pressure-sensing transducer
US4322977A (en) 1980-05-27 1982-04-06 The Bendix Corporation Pressure measuring system

Also Published As

Publication number Publication date
JPS57144417A (en) 1982-09-07
SE8100638L (sv) 1982-07-30
DE3201198A1 (de) 1982-09-02
US4434665A (en) 1984-03-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE436936B (sv) Integrerad kapacitiv givare
US7098748B2 (en) Integrated CMOS high precision piezo-electrically driven clock
US8823396B2 (en) Apparatus and associated methods
KR100641664B1 (ko) 시측 장치로서 사용가능한 무배터리 무발진기형 2진 시간 셀, 그 셀의 프로그래밍 방법, 장치 및 그에 관련된 컴퓨터 판독가능 기록 매체
US7026812B2 (en) Magnetic sensor
US7145350B2 (en) Process and a circuit arrangement for evaluating a measuring capacitance
US4009447A (en) Amplifier arrangement with zeroing device for piezoelectric transducers
US7479791B2 (en) Circuit arrangement for a capacitive proximity switch
CA2158370A1 (en) Apparatus and methods for measuring and detecting variations in the value of a capacitor
JP4727754B1 (ja) 静電容量式タッチパネル
KR20170065535A (ko) 레벨 센서 및 방법
CN103852194A (zh) 模拟前端补偿
SE508136C2 (sv) Anordning och förfarande för tangentbordsavläsning
US4583399A (en) Precipitation gauge
US5315884A (en) Capacitive proximity sensor
US3060748A (en) Accelerometer
CN113155012B (zh) 一种电容接近开关传感器
US20220163411A1 (en) Force detection circuit and device, and force input device
JPS62267636A (ja) センサ
CN115515395B (zh) 一种电路阵列和电子设备
Heidary et al. An integrated interface circuit with a capacitance-to-voltage converter as front-end for grounded capacitive sensors
US7683637B2 (en) Touch sensor with electrostatic immunity and sensing method thereof
Broeders et al. Smart electronics for high accuracy wave height measurements in the open ocean
CN109387261A (zh) 一种非接触电容感应式液位传感器
Bull Methods of accurately measuring capacitive rh sensors

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed

Ref document number: 8100638-9

Effective date: 19691201

Format of ref document f/p: F