[go: up one dir, main page]

RU2814312C1 - Способ поддержания оптического разряда - Google Patents

Способ поддержания оптического разряда Download PDF

Info

Publication number
RU2814312C1
RU2814312C1 RU2023109619A RU2023109619A RU2814312C1 RU 2814312 C1 RU2814312 C1 RU 2814312C1 RU 2023109619 A RU2023109619 A RU 2023109619A RU 2023109619 A RU2023109619 A RU 2023109619A RU 2814312 C1 RU2814312 C1 RU 2814312C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
discharge
reflected
optical
radiation
thin
Prior art date
Application number
RU2023109619A
Other languages
English (en)
Inventor
Николай Германович Соловьев
Михаил Алтаевич Котов
Сергей Юрьевич Лаврентьев
Андрей Николаевич Шемякин
Михаил Юрьевич Якимов
Original Assignee
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук ИПМех РАН)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук ИПМех РАН) filed Critical Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук ИПМех РАН)
Application granted granted Critical
Publication of RU2814312C1 publication Critical patent/RU2814312C1/ru

Links

Abstract

Изобретение относится к способу поддержания оптического разряда с целью получения широкополосного оптического излучения с высокой спектральной яркостью и представляет интерес для приложений в микроэлектронике, спектроскопии, фотохимии и других областях. Технический результат - расширение арсенала технических средств. В способе поддержания оптического разряда, заключающемся в поджиге оптического разряда, расположенного в разрядной камере, что излучение лазера подают на тонкопленочный поляризатор под углом Брюстера, отраженный луч с s-поляризацией пропускают через соответствующую четвертьволновую пластинку отражают от двух зеркал и фокусируют в разрядном объеме. Проходящий луч с p-поляризацией пропускают через соответствующую четвертьволновую пластинку фокусируют в разрядном объеме. Отраженные от плазмы обратные лучи, отражают от двух зеркал, пропускают через четвертьволновые пластинки, направляют на тонкопленочный поляризатор и отводят в поглотитель излучения. 2 ил.

Description

Изобретение относится к способу поддержания оптического разряда с целью получения широкополосного оптического излучения с высокой спектральной яркостью и представляет интерес для приложений в микроэлектронике, спектроскопии, фотохимии и других областях.
Известен способ-аналог поддержания оптического разряда (патент US 7435982 “Laser-driven light source”) заключающийся в облучении сфокусированным с помощью системы фокусировки лазерным излучением камеры, заполненной газовой средой высокого давления. Фактически приведенный способ представляет собой один из вариантов реализации явления непрерывного оптического разряда, обнаруженного в 1970 г. в СССР (Генералов Н.А., Зимаков В.П. и др. «Непрерывно горящий оптический разряд». Письма в ЖЭТФ, 1970, т. 11, с. 447-449).
Важно отметить, что в способе-аналоге яркость излучения увеличивается слабо по мере роста мощности используемого лазера, поскольку вместе с ростом мощности лазера увеличивается и объем излучающей плазмы, генерируемой лазером накачки. Например, при увеличении мощности лазера от 20 Вт (источник EQ-99, Hamamatsu Photonics) до 60 Вт (источник EQ-1500, Hamamatsu Photonics) размер излучающей плазмы по уровню 50% от максимальной яркости увеличивается от 60 мкм × 140 мкм до 125 мкм × 300 мкм, то есть объем плазмы возрастает в 9 раз. Это означает, что мощность энерговыделения в единице объема плазмы с увеличением мощности лазера даже уменьшается. При этом максимальная температура плазмы даже несколько снижается, а рост спектральной яркости достигается менее эффективным способом - за счет увеличения оптической толщины плазмы, в основном прозрачной для собственного теплового излучения. Кроме того, медленный рост яркости лазерной плазмы при увеличении лазерной мощности связан с рефракцией лазерного излучения в нагретом газе: с увеличением мощности лазерного излучения увеличивается и тепловыделение в фокальной области. В результате возрастает размер и оптическая сила «рассеивающей тепловой линзы», возникающей в области излучающей плазмы и вокруг этой области, что ухудшает условия фокусировки лазерного излучения.
Известен способ поддержания оптического разряда (RU157892 U1), принятый за прототип, заключающийся в облучении заполненной газовой средой высокого давления камеры, двумя сфокусированными лазерными лучами, полученными с помощью двух лазеров и двух систем фокусировки, причем угол между направлением излучения лазеров составляет не менее 60°.
Авторами прототипа обнаружено, что при возбуждении оптического разряда сфокусированным излучением двух лазеров с по существу совпадающими фокусами область высокой яркости такого разряда (например, по уровню 50% от максимальной яркости) сосредоточена вблизи области пересечения фокальных областей каждого из лучей и может быть существенно меньше, чем занимаемая плазмой область для каждого из лазерных лучей в отдельности. Как следствие, при достаточно большом угле θ между направлением оптических осей каждого из лазерных лучей, а именно при θ≥60° резко увеличивается стабильность положения области оптического разряда с максимальной яркостью, яркая область «совместной» плазмы оказывается значительно меньше размера яркой области плазмы, генерируемой каждым из используемых лазеров в отдельности, а яркость излучения плазмы оптического разряда IΣ значительно превосходит арифметическую сумму яркостей плазмы I1+I2, где I1, I2 - яркость плазмы в случае работы только одного лазера (соответственно, первого или второго).
Недостаток прототипа заключается в необходимости применения двух лазеров, а соответственно и двух систем фокусировки и управления излучением. Также, при отражении лазерного излучения от плазмы оптического разряда нежелательное излучение возвращается и причиняет вред выходу оптоволокна лазера, а в случае отсутствия блокиратора - и самому лазеру.
Существуют тонкопленочные поляризаторы Брюстера (http://vicon-se.ru/catalog/optika/polyarizacionnye_komponenty1/tonkij_polyarizator_bryustera/), представляющие собой разновидность оптических поляризаторов, основанных на интерференционных эффектах в многослойном диэлектрическом покрытии. Это покрытие обычно помещают на прозрачную пластину. Если угол падения составляет угол Брюстера, то достигается сильно зависящая от поляризации отражательная способность: s-поляризованный свет отражается, а p-поляризованный свет проходит насквозь. Таким образом легко избежать потерь на отражении проходящего света на задней стороне. Поскольку интерференционные эффекты в многослойном покрытии зависят от длины волны, тонкопленочный поляризатор может работать только в ограниченном диапазоне длин волн и углового диапазона. Такие поляризаторы оптимизируют под основные длины волн лазеров. Преимуществом тонкопленочных поляризаторов является то, что они могут быть выполнены достаточно больших размеров, что позволяет работать с лазерным излучением большой мощности.
Заявляемый способ поддержания оптического разряда направлен на устранение недостатков прототипа, а именно дает возможность реализовать двухлучевую схему поддержания оптического разряда с применением одного лазера и при этом позволяет отвести нежелательное отраженное излучение от лазера или выхода оптоволокна тем самым избегая причинения им вреда.
Указанный результат достигается тем, что в способе поддержания оптического разряда, заключающемся в поджиге оптического разряда, расположенного в разрядной камере, с помощью двух штыревых электродов, расположенных вблизи оптического разряда, между которыми прикладывают импульс пробойного напряжения, излучение лазера подают на тонкопленочный поляризатор под углом Брюстера, отраженный луч с s-поляризацией пропускают через соответствующую четвертьволновую пластинку отражают от двух зеркал и фокусируют в разрядном объеме, проходящий луч с p-поляризацией пропускают через соответствующую четвертьволновую пластинку фокусируют в разрядном объеме, отраженные от плазмы обратные лучи, отражают от двух зеркал, пропускают через четвертьволновые пластинки, направляют на тонкопленочный поляризатор и отводят в поглотитель излучения.
Указанный результат достигается также тем, что излучение лазера подают на поляризационный куб, направляют на поляризационный куб.
Сущность заявляемого изобретения поясняется примером его реализации и графическими материалами. На Фиг. 1 и Фиг. 2 представлена схема примера реализации заявляемого способа. На Фиг. 1 для наглядности показан ход лучей прямого лазерного излучения, а ход отраженных лучей не показан. На Фиг. 2, наоборот, для наглядности показан ход отраженных лучей, а ход лучей прямого лазерного излучения не показан.
Изобретение работает следующим образом. Лазерное неполяризованное излучение 1 лазера 2 подают на тонкопленочный поляризатор 3 под углом Брюстера. Тонкопленочный поляризатор 3 подбирают под длину волны лазера 2. Тонкопленочный поляризатор 3 пропускает луч 4, имеющий линейную p-поляризацию и отражает луч 5, имеющий линейную s-поляризацию. Лучи 4 и 5 пропускают через четвертьволновые пластинки 6 и 7. Четвертьволновые пластинки 6 и 7 подбирают под длину волны лазера 2. Четвертьволновые пластинки 6 и 7 располагают их медленными или быстрыми осями под углом 45 градусов к плоскости поляризации падающих лучшей 4 и 5. Таким образом, выходящие из них лучи 8 и 9 имеют круговую поляризацию. Луч 9 отражают от двух зеркал 10 для создания необходимого (более 60 градусов) угла между лучами 8 и 9. Лучи 8 и 9 фокусируют линзами 11 так, чтобы они пересекались внутри герметичной камеры 12, заполненной газовой смесью, способной пропускать как лазерное излучение для поджига и поддержания плазмы оптического разряда, так и широкополосное выходное излучение самого оптического разряда 13. Линзы 11 подбираются таким образом, чтобы пропускать излучение на длине волны лазера 2 и блокировать остальные диапазоны, для защиты оборудования от ультрафиолетового излучения плазмы оптического разряда 13. Для первоначального поджига оптического разряда 13 применяют два штыревых электрода (на фиг. 1, 2 не показаны), расположенных вблизи оптического разряда 13, между которыми прикладывают импульс пробойного напряжения либо внешний импульсный лазер (на фиг. 1, 2 не показан) излучение которого фокусируют на пересечении лучей 8 и 9, либо увеличением мощности используемого для оптического разряда 13 лазера 2. При этом на пересечении сфокусированных лучей 8 и 9 лазерного излучения образуется облако плазмы оптического разряда 13, интенсивно поглощающей лазерное излучение. Далее плазму оптического разряда 13 поддерживают за счет поглощения излучения лазера 2. Часть излучения лучей 8 и 9 отражается от плазмы оптического разряда 13 и возвращается в виде лучей 14 и 15, причем круговая поляризация при отражении сохраняется, а фаза при отражении от плазмы оптического разряда 13 (которая по сути является проводником), меняется на 180 градусов). При пропускании лучей 14 и 15 через четвертьволновые пластинки 6 и 7 их поляризация из круговой превращается в линейную, при этом луч 16 получает s-поляризацию, а луч 17 - p-поляризацию. Луч 16 отражают от тонкопленочного поляризатора 3 в поглотитель излучения 18, а луч 17 пропускают сквозь тонкопленочный поляризатор 3 в поглотитель излучения 18.
Таким образом, одновременно достигается поглощение нежелательного отраженного лазерного излучения при эффективном поддержании оптического разряда на пересечении двух лучей с помощью одного лазера.

Claims (1)

  1. Способ поддержания оптического разряда, заключающийся в по джиге оптического разряда, расположенного в разрядной камере, отличающийся тем, что излучение лазера подают на тонкопленочный поляризатор под углом Брюстера, проходящий через тонкопленочный поляризатор луч с р-поляризацией пропускают через соответствующую четвертьволновую пластинку и фокусируют в разрядном объеме, отраженный от тонкопленочного поляризатора луч с s-поляризацией пропускают через соответствующую четвертьволновую пластинку отражают от двух зеркал и фокусируют в разрядном объеме, зеркала располагают таким образом, чтобы лучи пересекались в разрядном объеме, а угол между лучами составлял более 60 градусов, отраженные от плазмы обратные лучи с измененной относительно прямых лучей поляризацией пропускают по их оптическим путям обратно до тонкопленочного поляризатора и отводят в поглотитель излучения.
RU2023109619A 2023-04-14 Способ поддержания оптического разряда RU2814312C1 (ru)

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2023132322A Division RU2815740C1 (ru) 2023-12-07 Способ получения оптического разряда

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2814312C1 true RU2814312C1 (ru) 2024-02-28

Family

ID=

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2828172C1 (ru) * 2024-04-16 2024-10-07 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) Способ поджига оптического разряда

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2554302A1 (fr) * 1983-11-01 1985-05-03 Zeiss Jena Veb Carl Source de rayonnement pour appareils d'optique, notamment pour systemes de reproduction par photolithographie
US7435982B2 (en) * 2006-03-31 2008-10-14 Energetiq Technology, Inc. Laser-driven light source
RU2539970C2 (ru) * 2012-12-17 2015-01-27 Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" Источник света с лазерной накачкой и способ генерации излучения
RU157892U1 (ru) * 2015-03-16 2015-12-20 Игорь Георгиевич Рудой Источник широкополосного оптического излучения с высокой яркостью
RU2667335C1 (ru) * 2017-11-29 2018-09-18 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук (ИАиЭ СО РАН) Двухлучевой интерферометр (варианты)

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2554302A1 (fr) * 1983-11-01 1985-05-03 Zeiss Jena Veb Carl Source de rayonnement pour appareils d'optique, notamment pour systemes de reproduction par photolithographie
US7435982B2 (en) * 2006-03-31 2008-10-14 Energetiq Technology, Inc. Laser-driven light source
RU2539970C2 (ru) * 2012-12-17 2015-01-27 Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" Источник света с лазерной накачкой и способ генерации излучения
RU157892U1 (ru) * 2015-03-16 2015-12-20 Игорь Георгиевич Рудой Источник широкополосного оптического излучения с высокой яркостью
RU2667335C1 (ru) * 2017-11-29 2018-09-18 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук (ИАиЭ СО РАН) Двухлучевой интерферометр (варианты)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2828172C1 (ru) * 2024-04-16 2024-10-07 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) Способ поджига оптического разряда
RU2848932C1 (ru) * 2025-06-24 2025-10-21 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) Способ поджига оптического разряда перемещением электродов

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102588483B1 (ko) 고효율의 레이저-지속 플라즈마 광원
CN104380544B (zh) 具有快速功率控制的二氧化碳激光器
EP2185308B1 (en) Method for partitioning and incoherently summing a coherent beam
CN107624207B (zh) 具有变量反馈控制的密集波长射束合并
TWI421543B (zh) 雙脈衝光產生裝置及其雙脈衝光產生的方法
WO2011064059A1 (en) Optical arrangement for homogenizing a laser pulse
WO2008010956A1 (en) Amorphous silicon crystallization using combined beams from optically pumped semiconductor lasers
LT6240B (lt) Skaidrių terpių lazerinis pjovimo būdas ir įrenginys
US9925620B2 (en) Carbon monoxide laser machining system
CN102267010B (zh) 偏振方位角调整装置以及激光加工装置
US10884255B2 (en) Linear polarization of a laser beam
RU2814312C1 (ru) Способ поддержания оптического разряда
US7259914B2 (en) Attenuator for high-power unpolarized laser beams
RU2809338C1 (ru) Способ генерации оптического разряда
RU2815740C1 (ru) Способ получения оптического разряда
US20120312790A1 (en) Pulse circulator
CN109709685A (zh) 一种非偏振激光转线偏振激光的装置
RU2812336C1 (ru) Способ формирования оптического разряда
RU2144722C1 (ru) Лазерная система и двухимпульсный лазер
EP3495871B1 (en) Method and device for converging laser beams
CN117784436B (zh) 一种多波段激光合束系统及光束控制方法
EP3929652B1 (en) Optical converter, optical coupler, optical device, and method for generating polarized radiation
RU2017294C1 (ru) Лазер
CN114342195A (zh) 激光振荡装置
CN116009266A (zh) 脉冲展宽单元的装调装置