RU2814312C1 - Способ поддержания оптического разряда - Google Patents
Способ поддержания оптического разряда Download PDFInfo
- Publication number
- RU2814312C1 RU2814312C1 RU2023109619A RU2023109619A RU2814312C1 RU 2814312 C1 RU2814312 C1 RU 2814312C1 RU 2023109619 A RU2023109619 A RU 2023109619A RU 2023109619 A RU2023109619 A RU 2023109619A RU 2814312 C1 RU2814312 C1 RU 2814312C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- discharge
- reflected
- optical
- radiation
- thin
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 33
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000006100 radiation absorber Substances 0.000 claims abstract description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 abstract description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
Abstract
Изобретение относится к способу поддержания оптического разряда с целью получения широкополосного оптического излучения с высокой спектральной яркостью и представляет интерес для приложений в микроэлектронике, спектроскопии, фотохимии и других областях. Технический результат - расширение арсенала технических средств. В способе поддержания оптического разряда, заключающемся в поджиге оптического разряда, расположенного в разрядной камере, что излучение лазера подают на тонкопленочный поляризатор под углом Брюстера, отраженный луч с s-поляризацией пропускают через соответствующую четвертьволновую пластинку отражают от двух зеркал и фокусируют в разрядном объеме. Проходящий луч с p-поляризацией пропускают через соответствующую четвертьволновую пластинку фокусируют в разрядном объеме. Отраженные от плазмы обратные лучи, отражают от двух зеркал, пропускают через четвертьволновые пластинки, направляют на тонкопленочный поляризатор и отводят в поглотитель излучения. 2 ил.
Description
Изобретение относится к способу поддержания оптического разряда с целью получения широкополосного оптического излучения с высокой спектральной яркостью и представляет интерес для приложений в микроэлектронике, спектроскопии, фотохимии и других областях.
Известен способ-аналог поддержания оптического разряда (патент US 7435982 “Laser-driven light source”) заключающийся в облучении сфокусированным с помощью системы фокусировки лазерным излучением камеры, заполненной газовой средой высокого давления. Фактически приведенный способ представляет собой один из вариантов реализации явления непрерывного оптического разряда, обнаруженного в 1970 г. в СССР (Генералов Н.А., Зимаков В.П. и др. «Непрерывно горящий оптический разряд». Письма в ЖЭТФ, 1970, т. 11, с. 447-449).
Важно отметить, что в способе-аналоге яркость излучения увеличивается слабо по мере роста мощности используемого лазера, поскольку вместе с ростом мощности лазера увеличивается и объем излучающей плазмы, генерируемой лазером накачки. Например, при увеличении мощности лазера от 20 Вт (источник EQ-99, Hamamatsu Photonics) до 60 Вт (источник EQ-1500, Hamamatsu Photonics) размер излучающей плазмы по уровню 50% от максимальной яркости увеличивается от 60 мкм × 140 мкм до 125 мкм × 300 мкм, то есть объем плазмы возрастает в 9 раз. Это означает, что мощность энерговыделения в единице объема плазмы с увеличением мощности лазера даже уменьшается. При этом максимальная температура плазмы даже несколько снижается, а рост спектральной яркости достигается менее эффективным способом - за счет увеличения оптической толщины плазмы, в основном прозрачной для собственного теплового излучения. Кроме того, медленный рост яркости лазерной плазмы при увеличении лазерной мощности связан с рефракцией лазерного излучения в нагретом газе: с увеличением мощности лазерного излучения увеличивается и тепловыделение в фокальной области. В результате возрастает размер и оптическая сила «рассеивающей тепловой линзы», возникающей в области излучающей плазмы и вокруг этой области, что ухудшает условия фокусировки лазерного излучения.
Известен способ поддержания оптического разряда (RU157892 U1), принятый за прототип, заключающийся в облучении заполненной газовой средой высокого давления камеры, двумя сфокусированными лазерными лучами, полученными с помощью двух лазеров и двух систем фокусировки, причем угол между направлением излучения лазеров составляет не менее 60°.
Авторами прототипа обнаружено, что при возбуждении оптического разряда сфокусированным излучением двух лазеров с по существу совпадающими фокусами область высокой яркости такого разряда (например, по уровню 50% от максимальной яркости) сосредоточена вблизи области пересечения фокальных областей каждого из лучей и может быть существенно меньше, чем занимаемая плазмой область для каждого из лазерных лучей в отдельности. Как следствие, при достаточно большом угле θ между направлением оптических осей каждого из лазерных лучей, а именно при θ≥60° резко увеличивается стабильность положения области оптического разряда с максимальной яркостью, яркая область «совместной» плазмы оказывается значительно меньше размера яркой области плазмы, генерируемой каждым из используемых лазеров в отдельности, а яркость излучения плазмы оптического разряда IΣ значительно превосходит арифметическую сумму яркостей плазмы I1+I2, где I1, I2 - яркость плазмы в случае работы только одного лазера (соответственно, первого или второго).
Недостаток прототипа заключается в необходимости применения двух лазеров, а соответственно и двух систем фокусировки и управления излучением. Также, при отражении лазерного излучения от плазмы оптического разряда нежелательное излучение возвращается и причиняет вред выходу оптоволокна лазера, а в случае отсутствия блокиратора - и самому лазеру.
Существуют тонкопленочные поляризаторы Брюстера (http://vicon-se.ru/catalog/optika/polyarizacionnye_komponenty1/tonkij_polyarizator_bryustera/), представляющие собой разновидность оптических поляризаторов, основанных на интерференционных эффектах в многослойном диэлектрическом покрытии. Это покрытие обычно помещают на прозрачную пластину. Если угол падения составляет угол Брюстера, то достигается сильно зависящая от поляризации отражательная способность: s-поляризованный свет отражается, а p-поляризованный свет проходит насквозь. Таким образом легко избежать потерь на отражении проходящего света на задней стороне. Поскольку интерференционные эффекты в многослойном покрытии зависят от длины волны, тонкопленочный поляризатор может работать только в ограниченном диапазоне длин волн и углового диапазона. Такие поляризаторы оптимизируют под основные длины волн лазеров. Преимуществом тонкопленочных поляризаторов является то, что они могут быть выполнены достаточно больших размеров, что позволяет работать с лазерным излучением большой мощности.
Заявляемый способ поддержания оптического разряда направлен на устранение недостатков прототипа, а именно дает возможность реализовать двухлучевую схему поддержания оптического разряда с применением одного лазера и при этом позволяет отвести нежелательное отраженное излучение от лазера или выхода оптоволокна тем самым избегая причинения им вреда.
Указанный результат достигается тем, что в способе поддержания оптического разряда, заключающемся в поджиге оптического разряда, расположенного в разрядной камере, с помощью двух штыревых электродов, расположенных вблизи оптического разряда, между которыми прикладывают импульс пробойного напряжения, излучение лазера подают на тонкопленочный поляризатор под углом Брюстера, отраженный луч с s-поляризацией пропускают через соответствующую четвертьволновую пластинку отражают от двух зеркал и фокусируют в разрядном объеме, проходящий луч с p-поляризацией пропускают через соответствующую четвертьволновую пластинку фокусируют в разрядном объеме, отраженные от плазмы обратные лучи, отражают от двух зеркал, пропускают через четвертьволновые пластинки, направляют на тонкопленочный поляризатор и отводят в поглотитель излучения.
Указанный результат достигается также тем, что излучение лазера подают на поляризационный куб, направляют на поляризационный куб.
Сущность заявляемого изобретения поясняется примером его реализации и графическими материалами. На Фиг. 1 и Фиг. 2 представлена схема примера реализации заявляемого способа. На Фиг. 1 для наглядности показан ход лучей прямого лазерного излучения, а ход отраженных лучей не показан. На Фиг. 2, наоборот, для наглядности показан ход отраженных лучей, а ход лучей прямого лазерного излучения не показан.
Изобретение работает следующим образом. Лазерное неполяризованное излучение 1 лазера 2 подают на тонкопленочный поляризатор 3 под углом Брюстера. Тонкопленочный поляризатор 3 подбирают под длину волны лазера 2. Тонкопленочный поляризатор 3 пропускает луч 4, имеющий линейную p-поляризацию и отражает луч 5, имеющий линейную s-поляризацию. Лучи 4 и 5 пропускают через четвертьволновые пластинки 6 и 7. Четвертьволновые пластинки 6 и 7 подбирают под длину волны лазера 2. Четвертьволновые пластинки 6 и 7 располагают их медленными или быстрыми осями под углом 45 градусов к плоскости поляризации падающих лучшей 4 и 5. Таким образом, выходящие из них лучи 8 и 9 имеют круговую поляризацию. Луч 9 отражают от двух зеркал 10 для создания необходимого (более 60 градусов) угла между лучами 8 и 9. Лучи 8 и 9 фокусируют линзами 11 так, чтобы они пересекались внутри герметичной камеры 12, заполненной газовой смесью, способной пропускать как лазерное излучение для поджига и поддержания плазмы оптического разряда, так и широкополосное выходное излучение самого оптического разряда 13. Линзы 11 подбираются таким образом, чтобы пропускать излучение на длине волны лазера 2 и блокировать остальные диапазоны, для защиты оборудования от ультрафиолетового излучения плазмы оптического разряда 13. Для первоначального поджига оптического разряда 13 применяют два штыревых электрода (на фиг. 1, 2 не показаны), расположенных вблизи оптического разряда 13, между которыми прикладывают импульс пробойного напряжения либо внешний импульсный лазер (на фиг. 1, 2 не показан) излучение которого фокусируют на пересечении лучей 8 и 9, либо увеличением мощности используемого для оптического разряда 13 лазера 2. При этом на пересечении сфокусированных лучей 8 и 9 лазерного излучения образуется облако плазмы оптического разряда 13, интенсивно поглощающей лазерное излучение. Далее плазму оптического разряда 13 поддерживают за счет поглощения излучения лазера 2. Часть излучения лучей 8 и 9 отражается от плазмы оптического разряда 13 и возвращается в виде лучей 14 и 15, причем круговая поляризация при отражении сохраняется, а фаза при отражении от плазмы оптического разряда 13 (которая по сути является проводником), меняется на 180 градусов). При пропускании лучей 14 и 15 через четвертьволновые пластинки 6 и 7 их поляризация из круговой превращается в линейную, при этом луч 16 получает s-поляризацию, а луч 17 - p-поляризацию. Луч 16 отражают от тонкопленочного поляризатора 3 в поглотитель излучения 18, а луч 17 пропускают сквозь тонкопленочный поляризатор 3 в поглотитель излучения 18.
Таким образом, одновременно достигается поглощение нежелательного отраженного лазерного излучения при эффективном поддержании оптического разряда на пересечении двух лучей с помощью одного лазера.
Claims (1)
- Способ поддержания оптического разряда, заключающийся в по джиге оптического разряда, расположенного в разрядной камере, отличающийся тем, что излучение лазера подают на тонкопленочный поляризатор под углом Брюстера, проходящий через тонкопленочный поляризатор луч с р-поляризацией пропускают через соответствующую четвертьволновую пластинку и фокусируют в разрядном объеме, отраженный от тонкопленочного поляризатора луч с s-поляризацией пропускают через соответствующую четвертьволновую пластинку отражают от двух зеркал и фокусируют в разрядном объеме, зеркала располагают таким образом, чтобы лучи пересекались в разрядном объеме, а угол между лучами составлял более 60 градусов, отраженные от плазмы обратные лучи с измененной относительно прямых лучей поляризацией пропускают по их оптическим путям обратно до тонкопленочного поляризатора и отводят в поглотитель излучения.
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2023132322A Division RU2815740C1 (ru) | 2023-12-07 | Способ получения оптического разряда |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2814312C1 true RU2814312C1 (ru) | 2024-02-28 |
Family
ID=
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2828172C1 (ru) * | 2024-04-16 | 2024-10-07 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) | Способ поджига оптического разряда |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2554302A1 (fr) * | 1983-11-01 | 1985-05-03 | Zeiss Jena Veb Carl | Source de rayonnement pour appareils d'optique, notamment pour systemes de reproduction par photolithographie |
| US7435982B2 (en) * | 2006-03-31 | 2008-10-14 | Energetiq Technology, Inc. | Laser-driven light source |
| RU2539970C2 (ru) * | 2012-12-17 | 2015-01-27 | Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" | Источник света с лазерной накачкой и способ генерации излучения |
| RU157892U1 (ru) * | 2015-03-16 | 2015-12-20 | Игорь Георгиевич Рудой | Источник широкополосного оптического излучения с высокой яркостью |
| RU2667335C1 (ru) * | 2017-11-29 | 2018-09-18 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук (ИАиЭ СО РАН) | Двухлучевой интерферометр (варианты) |
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2554302A1 (fr) * | 1983-11-01 | 1985-05-03 | Zeiss Jena Veb Carl | Source de rayonnement pour appareils d'optique, notamment pour systemes de reproduction par photolithographie |
| US7435982B2 (en) * | 2006-03-31 | 2008-10-14 | Energetiq Technology, Inc. | Laser-driven light source |
| RU2539970C2 (ru) * | 2012-12-17 | 2015-01-27 | Общество с ограниченной ответственностью "РнД-ИСАН" | Источник света с лазерной накачкой и способ генерации излучения |
| RU157892U1 (ru) * | 2015-03-16 | 2015-12-20 | Игорь Георгиевич Рудой | Источник широкополосного оптического излучения с высокой яркостью |
| RU2667335C1 (ru) * | 2017-11-29 | 2018-09-18 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук (ИАиЭ СО РАН) | Двухлучевой интерферометр (варианты) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2828172C1 (ru) * | 2024-04-16 | 2024-10-07 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) | Способ поджига оптического разряда |
| RU2848932C1 (ru) * | 2025-06-24 | 2025-10-21 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт проблем механики им. А.Ю. Ишлинского Российской академии наук (ИПМех РАН) | Способ поджига оптического разряда перемещением электродов |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102588483B1 (ko) | 고효율의 레이저-지속 플라즈마 광원 | |
| CN104380544B (zh) | 具有快速功率控制的二氧化碳激光器 | |
| EP2185308B1 (en) | Method for partitioning and incoherently summing a coherent beam | |
| CN107624207B (zh) | 具有变量反馈控制的密集波长射束合并 | |
| TWI421543B (zh) | 雙脈衝光產生裝置及其雙脈衝光產生的方法 | |
| WO2011064059A1 (en) | Optical arrangement for homogenizing a laser pulse | |
| WO2008010956A1 (en) | Amorphous silicon crystallization using combined beams from optically pumped semiconductor lasers | |
| LT6240B (lt) | Skaidrių terpių lazerinis pjovimo būdas ir įrenginys | |
| US9925620B2 (en) | Carbon monoxide laser machining system | |
| CN102267010B (zh) | 偏振方位角调整装置以及激光加工装置 | |
| US10884255B2 (en) | Linear polarization of a laser beam | |
| RU2814312C1 (ru) | Способ поддержания оптического разряда | |
| US7259914B2 (en) | Attenuator for high-power unpolarized laser beams | |
| RU2809338C1 (ru) | Способ генерации оптического разряда | |
| RU2815740C1 (ru) | Способ получения оптического разряда | |
| US20120312790A1 (en) | Pulse circulator | |
| CN109709685A (zh) | 一种非偏振激光转线偏振激光的装置 | |
| RU2812336C1 (ru) | Способ формирования оптического разряда | |
| RU2144722C1 (ru) | Лазерная система и двухимпульсный лазер | |
| EP3495871B1 (en) | Method and device for converging laser beams | |
| CN117784436B (zh) | 一种多波段激光合束系统及光束控制方法 | |
| EP3929652B1 (en) | Optical converter, optical coupler, optical device, and method for generating polarized radiation | |
| RU2017294C1 (ru) | Лазер | |
| CN114342195A (zh) | 激光振荡装置 | |
| CN116009266A (zh) | 脉冲展宽单元的装调装置 |