RU2658131C1 - Phase linear displacement sensor - Google Patents
Phase linear displacement sensor Download PDFInfo
- Publication number
- RU2658131C1 RU2658131C1 RU2017129145A RU2017129145A RU2658131C1 RU 2658131 C1 RU2658131 C1 RU 2658131C1 RU 2017129145 A RU2017129145 A RU 2017129145A RU 2017129145 A RU2017129145 A RU 2017129145A RU 2658131 C1 RU2658131 C1 RU 2658131C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- phase
- winding
- ruler
- multiphase
- windings
- Prior art date
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 58
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005405 multipole Effects 0.000 abstract description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 3
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000005526 G1 to G0 transition Effects 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/14—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/02—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using mechanical means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в каналах обратной связи замкнутых позиционных систем автоматического управления для воспроизведения пространственных координат, например, в станках с числовым программным управлением, крупногабаритных промышленных роботах и манипуляторах.The invention relates to measuring technique and can be used in feedback channels of closed position automatic control systems for reproducing spatial coordinates, for example, in numerically controlled machines, large-sized industrial robots and manipulators.
Известны фазовые датчики для измерения линейных перемещений (авт. свид. СССР №392539, №830118) с использованием информационных линеек с размещенными на них обмотками. Например, в линейных индуктосинах на изоляционную основу неподвижной части наносятся печатным способом одну или две обмотки, сдвинутые на четверть периода и имеющие форму меандра. На измерительной подвижной части располагаются соответственно две или одна печатные обмотки.Known phase sensors for measuring linear displacements (ed. Certificate of the USSR No. 392539, No. 830118) using information lines with windings placed on them. For example, in linear inductosines, one or two windings shifted by a quarter period and having the shape of a meander are printed on the insulating base of the fixed part. Two or one printed windings are respectively located on the measuring moving part.
Недостаток таких датчиков заключается в использовании формы витков информационной линейкой в виде меандра, при котором реализация многофазной обмотки для создания бегущего поля затруднена ввиду неизбежных пересечений проводников.The disadvantage of such sensors is the use of the shape of the turns with an information ruler in the form of a meander, in which the implementation of a multiphase winding to create a traveling field is difficult due to the inevitable intersections of the conductors.
Известен фазовый датчик с бегущим полем по пат. РФ №2272244, в котором бегущее поле формируется двух- или трехфазными обмотками, уложенными в пазы линейного магнитопровода. На неподвижной части располагаются синусная и косинусная обмотки, размещенные на явно выраженных полюсах. Число витков на каждом полюсе должно быть строго определенным и изменяемым по синусоидальному закону. На этих же полюсах располагается неподвижная измерительная обмотка с одинаковым числом витков на каждом полюсе. Выходной сигнал формируется с помощью магнитного шунта, который может перемещаться вдоль линейки. Недостатком такого датчика является технологическая сложность при изготовлении магнитопровода и обмоток.Known phase sensor with a running field according to US Pat. RF №2272244, in which a traveling field is formed by two- or three-phase windings laid in the grooves of a linear magnetic circuit. On the fixed part are the sine and cosine windings located at the pronounced poles. The number of turns at each pole must be strictly defined and changeable according to a sinusoidal law. At the same poles there is a stationary measuring winding with the same number of turns at each pole. The output signal is generated using a magnetic shunt that can move along the ruler. The disadvantage of this sensor is the technological complexity in the manufacture of the magnetic circuit and windings.
По технической сущности наиболее близким к заявленному устройству является линейный сельсин по авт. свид. СССР №304562, принятый за прототип. На неподвижной части расположена трехфазная обмотка, уложенная в пазы магнитопровода, являющегося телом вращения. Числа витков обмоток, уложенных в пазы каждой фазы вдоль магнитопровода, соответствуют синусоидальному закону. На подвижной части расположен магнитопровод с однофазной обмоткой, охватывающей неподвижную часть.The technical nature of the closest to the claimed device is a linear selsyn by bus. testimonial. USSR No. 304562, adopted as a prototype. On the fixed part there is a three-phase winding, laid in the grooves of the magnetic circuit, which is the body of rotation. The numbers of turns of the windings laid in the grooves of each phase along the magnetic circuit correspond to a sinusoidal law. On the moving part is a magnetic circuit with a single-phase winding, covering the fixed part.
Недостатком является технологическая сложность выполнения магнитопровода и обмоток, особенно при большой длине перемещения. Для обеспечения синусоидального закона изменения индукции вдоль магнитопровода необходимо обеспечить точное число витков по пазам, меняющееся по синусоидальному закону. Так как число витков может быть только целым, то имеет место методическая погрешность воспроизведения синусоидального закона. Такую же погрешность имеют приведенные выше устройства - аналоги.The disadvantage is the technological complexity of the implementation of the magnetic circuit and windings, especially with a large length of movement. To ensure a sinusoidal law of variation of induction along the magnetic circuit, it is necessary to ensure the exact number of turns along the grooves, which varies according to the sinusoidal law. Since the number of turns can be only integer, there is a methodological error in the reproduction of a sinusoidal law. The same error has the above devices - analogues.
Целью данного изобретения является повышение точности и технологичности датчиков линейных перемещений.The aim of this invention is to improve the accuracy and adaptability of linear displacement sensors.
Поставленная цель достигается тем, что датчик, содержащий неподвижную линейку, на которой размещена многофазная обмотка, подключенная к многофазному генератору электрического напряжения, и подвижную часть в виде разомкнутого магнитопровода с однофазной обмоткой, расположенную над линейкой, в котором, согласно изобретению, многофазная обмотка выполнена в виде вложенных друг в друга плоских секций по числу фаз, каждая из которых образована путем намотки на линейку обычного провода в прямом и обратном направлениях с одинаковым шагом, при этом намотка в обратном направлении осуществлена со смещением на полпериода так, что участки проводников, формирующие активные контура полюсов каждой отдельной фазы, сохраняют ромбовидную форму.This goal is achieved by the fact that the sensor contains a fixed ruler, on which a multiphase winding is placed, connected to a multiphase voltage generator, and a movable part in the form of an open magnetic circuit with a single-phase winding, located above the ruler, in which, according to the invention, the multiphase winding is made in in the form of flat sections nested into each other according to the number of phases, each of which is formed by winding on a ruler a conventional wire in the forward and reverse directions with the same pitch, with this winding in the opposite direction is offset half a period so that the sections of the conductors that form the active contours of the poles of each individual phase retain a diamond shape.
На фиг. 1 приведено устройство-прототип; на фиг. 2 - плоская линейка с однофазной обмоткой; на фиг. 3 - плоская линейка с трехфазной обмоткой, секции которой вложены друг в друга в одной плоскости; на фиг 4 - обмотки нескольких датчиков, соединенные последовательно в общую звезду; на фиг. 5 - взаимное расположение подвижной и неподвижной частей фазового датчика; на фиг. 6 - размещение информационной линейки на несущей раме деревообрабатывающего станка длиной 2200 мм; на фиг. 7 - фрагмент обмотки на линейки (без защитного покрытия); на фиг. 8 - расположение неподвижной и подвижной частей датчика на упомянутом станке.In FIG. 1 shows a prototype device; in FIG. 2 - a flat ruler with a single-phase winding; in FIG. 3 - a flat ruler with a three-phase winding, sections of which are embedded in each other in the same plane; in Fig. 4 - windings of several sensors connected in series to a common star; in FIG. 5 - the relative position of the movable and fixed parts of the phase sensor; in FIG. 6 - placement of the information line on the supporting frame of a woodworking machine with a length of 2200 mm; in FIG. 7 - a fragment of a winding on a ruler (without a protective coating); in FIG. 8 - the location of the stationary and moving parts of the sensor on the said machine.
Конструкция прототипа содержит неподвижный 1 магнитопровод, в пазах которого уложена трехфазная обмотки 2, и подвижный 3 магнитопровод с обмоткой 4. Принцип работы известных устройств переменного тока, имеющих многофазные обмотки, одинаков. Например, в прототипе (фиг. 1) поданное на обмотку 4 подвижной части переменное напряжение наводит ЭДС в фазные обмотки 2, по амплитудам которых можно однозначно определить положение подвижной части в пределах одного полюсного деления обмоток фаз. Линии индукции магнитного поля замыкаются через неподвижный магнитопровод 1. Известно что все электрические машины обратимы: питающее напряжение можно подавать на неподвижные фазные обмотки, а информацию снимать с обмотки подвижной части. В современной автоматике сельсины, вращающиеся трансформаторы, индуктосины и родственные им устройства наиболее часто используются в режиме фазовых датчиков: на неподвижную многофазную обмотку подают симметричное многофазное напряжение с соответствующим числом фаз и формируют вращающееся или бегущее магнитное поле. Обмотка 4 подвижной части, чаще однофазная, измеряет ЭДС, значение модуля которой остается неизменным, а значение фазы однозначно отображает координату подвижной части в пределах одного полюсного деления. Такой принцип предпочтительнее, так как фаза является наиболее удобным и естественным параметром для дальнейшей цифровой обработки.The design of the prototype contains a fixed
В предлагаемом устройстве неподвижные обмотки не имеют собственного магнитопровода, их наматывают на плоскую линейку 5 из изоляционного материала. На фиг. 2 показана обмотка 6 одной фазы. Ее наматывают сначала в прямом, затем в обратном направлении с одинаковым шагом L прямыми участками, поэтому витки образуют треугольную форму с вершинами 7. В конце линейки 5 намотку начинают в обратном направлении таким образом, чтобы вершины 8 ее треугольников оказались напротив вершин 7 прямого направления, то есть для этого витки прямого и обратного направлений сдвигают на полпериода, образуя ромбовидные контуры 9. При этом направления плотностей токов соседних контуров оказываются противоположными, как показано круглыми стрелками на фиг. 2. Противоположными будут и магнитные полюса соседних контуров.In the proposed device, the fixed windings do not have their own magnetic circuit, they are wound on a
На фиг. 3 показана трехфазная обмотка, секции 10 которой вложены друг в друга в одной плоскости. Секции соединяются в треугольник или звезду. Важным качеством такой конфигурации обмоток является технологическая простота обеспечения геометрического равенства конфигураций фаз, и, следовательно, идентичность электрических параметров. Это повышает точность всего устройства.In FIG. 3 shows a three-phase winding,
Дальнейшее повышение точности может быть достигнуто простым увеличением числа фаз. Очевидно, что максимальное число фаз будет ограничено минимально возможным диаметром намоточного провода. Кроме того, при данном способе укладки обмоток перекрещивание электрических связей, как это имеет место при «меандровой» укладке, отсутствует, что повышает технологичность изготовления и эксплуатационную надежность устройства. Наличие промежутков между проводниками исключает межвитковое замыкание. Линейка достаточно легко монтируется на криволинейную поверхность.A further increase in accuracy can be achieved by simply increasing the number of phases. Obviously, the maximum number of phases will be limited by the minimum possible diameter of the winding wire. In addition, with this method of laying the windings, there is no crossing of electrical connections, as is the case with "meander" laying, which increases the manufacturability and operational reliability of the device. The presence of gaps between the conductors eliminates the interturn circuit. The ruler is quite easy to mount on a curved surface.
Для обеспечения преобразований линейных перемещений по нескольким координатам, например в многокоординатной автоматической системе, обмотки нескольких датчиков могут быть соединены параллельно или последовательно в соответствии с правилами соединения многофазных схем. Например, на фиг. 4 приведена схема двух датчиков 11 и 12, соединенных в общую звезду.To ensure linear motion transformations in several coordinates, for example, in a multi-coordinate automatic system, the windings of several sensors can be connected in parallel or in series in accordance with the rules for connecting multiphase circuits. For example, in FIG. 4 shows a diagram of two
Измерительный элемент, т.е. подвижная часть предлагаемого устройства, представляет собой трансформатор с разомкнутым магнитопроводом 13 П- или Ш-образной формы, размещенным над линейкой 5. Расстояние между полюсами равно половине (или близко к ней) шага обмотки L (фиг. 2). Взаимное расположение подвижной и неподвижной частей датчика приведено на фиг. 5. Текстолитовая или пластмассовая информационная линейка 5 с многофазной обмоткой 14 наклеивается непосредственно на несущую конструкцию объекта 15, например автоматической системы, через изоляционную прокладку 16. Поверх линейки 5 наклеивается защитное покрытие 17 из текстолита или пластмассы. Магнитопровод 13 содержит однофазную обмотку 18. Магнитное поле, создаваемое многофазной обмоткой 14, замыкается через конструкцию объекта 15 и магнитопровод 13, расположенный на подвижной части системы. При питании многофазной обмотки симметричной системой многофазных напряжений создается бегущее магнитное поле, которое наводит в однофазной обмотке 18 подвижной части ЭДС постоянной амплитуды и фазой, значение которой пропорционально линейному перемещению подвижной части относительно неподвижной. Преобразование фазы сигнала в обмотке 18 в сигнал управления, например постоянное напряжение, производится известными широко применяемыми схемотехническими средствами.Measuring element i.e. the movable part of the proposed device is a transformer with an open magnetic circuit 13 U- or W-shaped, located above the
Апробация устройства проведена на многокоординатном деревообрабатывающем станке с числовым программным управлением. Трехфазное напряжение в виде сдвинутых на угол 120 град, меандров вырабатывается микропроцессорной системой управления станком. После усиления оно подается через согласующий трансформатор на несколько датчиков по числу координат системы, включенных, например, по схеме на фиг. 4. Информационным параметром является фаза первой гармоники в обмотке трансформатора, которая выделяется фильтрацией. При «меандровой» форме напряжений в многофазной обмотке 14 сигнал в однофазной обмотке 18 будет иметь ступенчато-синусоидальную форму. Как известно из теории трехфазных систем, третья гармоника и кратные ей при симметричной системе напряжений отсутствуют, поэтому фильтрация первой гармоники упрощается. Предлагаемая конструкция позволяет технологически просто увеличить число фаз, а создание многофазной системы меандров для микропроцессорной системы не представляет трудностей. Это повышает синусоидальность выходного сигнала в однофазной обмотке 18 датчика за счет увеличения числа его ступеней, следовательно, повышается точность воспроизведения фазы и упрощается фильтрация.The device was tested on a multi-axis woodworking machine with numerical control. Three-phase voltage in the form of a meander shifted by an angle of 120 degrees is generated by a microprocessor control system of the machine. After amplification, it is fed through a matching transformer to several sensors according to the number of system coordinates included, for example, according to the circuit in FIG. 4. The information parameter is the phase of the first harmonic in the transformer winding, which is distinguished by filtration. With the "meander" form of voltage in the multiphase winding 14, the signal in the single-phase winding 18 will have a step-sinusoidal shape. As is known from the theory of three-phase systems, the third harmonic and multiples of it are absent for a symmetric system of voltages, so filtering of the first harmonic is simplified. The proposed design makes it technologically easy to increase the number of phases, and the creation of a multiphase meander system for a microprocessor system is not difficult. This increases the sinusoidality of the output signal in the single-
На фиг. 6 показана установка линейки на несущую раму станка с длиной 2200 мм, на фиг. 7 фрагмент обмотки информационной линейки (защитное покрытие не установлено). Шаг обмотки 14 составляет 36 мм, поэтому функционально такой датчик идентичен многополюсной электрической машине или многооборотному датчику с вращающимся полем. Эти устройства широко используются в современной автоматике. На фиг 8 показано взаимное расположение подвижной и неподвижной частей датчика.In FIG. 6 shows the installation of a ruler on a machine frame with a length of 2200 mm, FIG. 7 fragment of the winding information line (protective coating not installed). The pitch of the winding 14 is 36 mm; therefore, such a sensor is functionally identical to a multi-pole electric machine or a multi-turn sensor with a rotating field. These devices are widely used in modern automation. On Fig shows the relative position of the movable and stationary parts of the sensor.
Магнитопровод 13 трансформатора располагается на расстоянии 1-5 мм от поверхности линейки 5. Изменение расстояния в процессе работы влияет только на амплитуду сигнала в обмотке 18 трансформатора и практически не влияет на его фазу. Мало влияет также угловое и поперечное смещение в плоскости линейки 5. Надежная механическая защита и жесткость крепления частей датчика на элементах конструкции системы обеспечивает стабильность параметров и высокую эксплуатационную надежность всей системы с датчиками данного типа.The
Предлагаемое изобретение выгодно отличается от устройства-прототипа за счет достижения следующих положительных качеств:The present invention compares favorably with the prototype device by achieving the following positive qualities:
- высокая технологичность изготовления устройства, особенно при большой длине информационной линейки;- high manufacturability of the device, especially with a large length of the information line;
- увеличение точности воспроизведения требуемой конфигурации магнитного поля достигается простым добавлением числа фаз многофазной обмотки;- increasing the accuracy of reproducing the desired configuration of the magnetic field is achieved by simply adding the number of phases of the multiphase winding;
- высокая эксплуатационная надежность устройства за счет отсутствия перекрещивающихся электрических связей и наличия изоляционных промежутков как между витками, так и фазами;- high operational reliability of the device due to the absence of intersecting electrical connections and the presence of insulating gaps both between turns and phases;
- технологичность монтажа на конструкции автоматических устройств (станков, роботов, манипуляторов);- manufacturability of mounting on the design of automatic devices (machines, robots, manipulators);
- возможность монтажа на криволинейные поверхности.- the ability to mount on curved surfaces.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017129145A RU2658131C1 (en) | 2017-08-15 | 2017-08-15 | Phase linear displacement sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017129145A RU2658131C1 (en) | 2017-08-15 | 2017-08-15 | Phase linear displacement sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2658131C1 true RU2658131C1 (en) | 2018-06-19 |
Family
ID=62620066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017129145A RU2658131C1 (en) | 2017-08-15 | 2017-08-15 | Phase linear displacement sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2658131C1 (en) |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU304562A1 (en) * | М. Ф. Зарипов, Хакимов , Р. Р. Ибрагимова | LINE ALCON | ||
| US2769969A (en) * | 1955-03-30 | 1956-11-06 | Norton Co | Electromagnetic micrometer |
| US2988697A (en) * | 1960-01-06 | 1961-06-13 | Hirsch Albert | Linear selsyn or syncro-transmitter |
| SU368482A1 (en) * | 1970-03-02 | 1973-01-26 | ||
| SU399896A1 (en) * | 1971-07-30 | 1973-10-03 | Авторы изобретени | INDUCTIVE PHASE MOVEMENT SENSOR |
| GB2089515A (en) * | 1980-12-13 | 1982-06-23 | Russell Alexander | Inductive Displacement Transducers |
| US4644355A (en) * | 1983-11-11 | 1987-02-17 | Sacol Powerline Limited | Displacement measurement devices |
| WO1988009479A2 (en) * | 1987-05-28 | 1988-12-01 | Auchterlonie Richard C | Absolute position sensor using multiple wavelengths of offset pitch phase patterns |
| US20150048817A1 (en) * | 2012-03-27 | 2015-02-19 | Beckhoff Automation Gmbh | Position detection device and a drive device |
-
2017
- 2017-08-15 RU RU2017129145A patent/RU2658131C1/en active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU304562A1 (en) * | М. Ф. Зарипов, Хакимов , Р. Р. Ибрагимова | LINE ALCON | ||
| US2769969A (en) * | 1955-03-30 | 1956-11-06 | Norton Co | Electromagnetic micrometer |
| US2988697A (en) * | 1960-01-06 | 1961-06-13 | Hirsch Albert | Linear selsyn or syncro-transmitter |
| SU368482A1 (en) * | 1970-03-02 | 1973-01-26 | ||
| SU399896A1 (en) * | 1971-07-30 | 1973-10-03 | Авторы изобретени | INDUCTIVE PHASE MOVEMENT SENSOR |
| GB2089515A (en) * | 1980-12-13 | 1982-06-23 | Russell Alexander | Inductive Displacement Transducers |
| US4644355A (en) * | 1983-11-11 | 1987-02-17 | Sacol Powerline Limited | Displacement measurement devices |
| WO1988009479A2 (en) * | 1987-05-28 | 1988-12-01 | Auchterlonie Richard C | Absolute position sensor using multiple wavelengths of offset pitch phase patterns |
| US20150048817A1 (en) * | 2012-03-27 | 2015-02-19 | Beckhoff Automation Gmbh | Position detection device and a drive device |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR102551009B1 (en) | inductive motion sensor | |
| JPH06213614A (en) | Position detection device | |
| US9810550B2 (en) | Position detection device | |
| JP6739436B2 (en) | Inductive motion sensor | |
| KR20170118724A (en) | Induction motion sensor | |
| CN102474217A (en) | Distributed-arrangement linear motor and method for controlling a distributed-arrangement linear motor | |
| CN103644834A (en) | Time grating linear displacement sensor | |
| US11320288B2 (en) | Induction machines | |
| US10605627B2 (en) | Electromagnetic induction type position detector | |
| JP2014153294A (en) | Detected position correction method of electromagnetic induction type position detector | |
| US2915721A (en) | Reduction of single-turn loop coupling in position-measuring transformers | |
| CN106338234B (en) | Grating straight-line displacement sensor when a kind of double-row type | |
| WO2014044043A1 (en) | Brushless linear rotary transformer | |
| CN112857194B (en) | Plane two-dimensional displacement sensor based on eddy current effect | |
| RU2658131C1 (en) | Phase linear displacement sensor | |
| US3956618A (en) | Mechanical-electrical transducer | |
| JP7514136B2 (en) | Conveying device, control device and control method | |
| JP6234497B2 (en) | Encoder device and motion guide device with encoder device | |
| SU848985A1 (en) | Displacement transducer | |
| CN108267072B (en) | A time grating linear displacement sensor | |
| JPS6350717A (en) | Apparatus for measuring moving quantity | |
| SU1744442A1 (en) | Induction pick-up for angle displacements | |
| CN219658534U (en) | Resolver, rotation detection device, and motor system | |
| CN120092167B (en) | Multiple rotation angle detection device and segment counter for the same | |
| Antineskul | Novel algorithm for mover position measurement in linear motion systems |