RU2311655C1 - Method for reducing errors of hall magnetometer - Google Patents
Method for reducing errors of hall magnetometer Download PDFInfo
- Publication number
- RU2311655C1 RU2311655C1 RU2006116847/28A RU2006116847A RU2311655C1 RU 2311655 C1 RU2311655 C1 RU 2311655C1 RU 2006116847/28 A RU2006116847/28 A RU 2006116847/28A RU 2006116847 A RU2006116847 A RU 2006116847A RU 2311655 C1 RU2311655 C1 RU 2311655C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- hall
- voltage
- contacts
- current
- magnetic field
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000006698 induction Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 9
- 230000009897 systematic effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000009466 transformation Effects 0.000 abstract description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 3
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 238000012795 verification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для уменьшения систематических погрешностей абсолютных измерений индукции магнитного поля магнитометром с четырехконтактным датчиком Холла.The invention relates to measuring technique and can be used to reduce systematic errors in absolute measurements of magnetic field induction by a magnetometer with a four-pin Hall sensor.
Основными систематическими погрешностями, ограничивающими точность измерения индукции магнитного поля с помощью датчика Холла, являются остаточное напряжение, термоЭДС холловских контактов и температурная зависимость константы Холла [1].The main systematic errors limiting the accuracy of measuring the magnetic field induction using the Hall sensor are the residual voltage, thermoEMF of the Hall contacts and the temperature dependence of the Hall constant [1].
Известен способ компенсации температурной погрешности путем питания датчика от источника переменного напряжения, реализованный в милитеслометре Т-2 ВНИИМ [1] и основанный на том, что температурные зависимости константы Холла и входного сопротивления датчика близки. Дополнительная компенсация температурной погрешности достигается включением терморезистора в цепь питания датчика. Недостатком данного способа является недостаточная компенсация температурной погрешности, связанная с вкладом во входное сопротивление датчика сопротивления токовых проводов и контакта металл-полупроводник. Помимо этого, компенсацию температурной погрешности ограничивает разность температур терморезистора и датчика, а также отклонение температурной зависимости сопротивления терморезистора от идеальной. Кроме того, данный способ не позволяет исключить погрешность, обусловленную остаточным напряжением.A known method of compensating for temperature error by supplying a sensor from an AC voltage source, implemented in a T-2 VNIIM militosmeter [1] and based on the fact that the temperature dependences of the Hall constant and the sensor input resistance are close. Additional compensation for temperature error is achieved by connecting a thermistor to the sensor power circuit. The disadvantage of this method is the insufficient compensation of the temperature error associated with the contribution to the input resistance of the resistance sensor of the current wires and the metal-semiconductor contact. In addition, the compensation of the temperature error limits the temperature difference between the thermistor and the sensor, as well as the deviation of the temperature dependence of the resistance of the thermistor from ideal. In addition, this method does not allow to exclude the error due to residual voltage.
Известен способ термостабилизации датчика Холла, основанный на измерении температуры датчика Холла с последующим использованием результата измерения для поддержания температуры датчика постоянной, причем отклонение температуры определяется по амплитуде остаточного напряжения, а направление отклонения - по фазе остаточного напряжения [2]. Недостатком данного способа является недостаточная компенсация температурной погрешности, связанная с фазовыми погрешностями, вносимыми усилителем и самим датчиком Холла, а также с коммутационной помехой. Кроме того, термостабилизация существенно увеличивает размер и инерциальность датчика.There is a method of thermal stabilization of a Hall sensor, based on measuring the temperature of the Hall sensor with the subsequent use of the measurement result to keep the sensor constant, and the temperature deviation is determined by the amplitude of the residual voltage, and the direction of the deviation is determined by the phase of the residual voltage [2]. The disadvantage of this method is the insufficient compensation of the temperature error associated with phase errors introduced by the amplifier and the Hall sensor itself, as well as with switching noise. In addition, thermal stabilization significantly increases the size and inertia of the sensor.
Известен способ компенсации температурной погрешности датчика Холла путем включения следящей обратной связи в цепь компенсации разбаланса датчика [3]. Недостатком данного способа является компенсация только части температурной погрешности, связанной с зависимостью от температуры концентрации носителей в датчике, а погрешность, обусловленная температурной зависимостью подвижности носителей, остается нескомпенсированной. Кроме того, подключение источников к потенциальным контактам датчика изменяет распределение тока в нем и вносит падение напряжения на контактах, что искажает результаты измерения.A known method of compensating for the temperature error of the Hall sensor by incorporating tracking feedback into the sensor unbalance compensation circuit [3]. The disadvantage of this method is the compensation of only part of the temperature error associated with the temperature dependence of the carrier concentration in the sensor, and the error due to the temperature dependence of the carrier mobility remains uncompensated. In addition, connecting sources to potential sensor contacts changes the current distribution in it and introduces a voltage drop across the contacts, which distorts the measurement results.
Наиболее близким по своей сущности является способ, заключающийся в том, что на датчике Холла измеряются первое напряжение между первым и вторым холловскими контактами при протекании тока между первым и вторым токовыми контактами, второе напряжение между первым и вторым холловскими контактами при протекании тока между вторым и первым токовыми контактами, третье напряжение между первым и вторым токовыми контактами при протекании тока между первым и вторым холловскими контактами и четвертое напряжение между первым и вторым токовыми контактами при протекании тока между вторым и первым холловскими контактами, причем мерой магнитной индукции является холловское напряжение, равное разности суммы первого и четвертого напряжений и суммы второго и третьего напряжений, а мерой остаточного напряжения является разность суммы первого и третьего напряжений и суммы второго и четвертого напряжений [4].The closest in essence is the way that the first voltage between the first and second Hall contacts is measured at the Hall sensor when the current flows between the first and second current contacts, the second voltage is between the first and second Hall contacts when the current flows between the second and first current contacts, the third voltage between the first and second current contacts when current flows between the first and second Hall contacts and the fourth voltage between the first and second current terminals cycles when the current flows between the second and first Hall contacts, and the measure of magnetic induction is the Hall voltage equal to the difference between the sum of the first and fourth voltages and the sum of the second and third voltages, and the measure of the residual voltage is the difference between the sum of the first and third voltages and the sum of the second and fourth voltages [four].
Недостатком этого способа является невозможность компенсировать температурную зависимость константы Холла.The disadvantage of this method is the inability to compensate for the temperature dependence of the Hall constant.
Задача изобретения - уменьшение погрешностей холловского магнитометра путем компенсации температурной зависимости константы Холла.The objective of the invention is to reduce the errors of the Hall magnetometer by compensating for the temperature dependence of the Hall constant.
Поставленная задача решается следующим образом. Четырехконтактный датчик Холла, содержащий первый и второй токовые контакты и первый и второй холловские контакты, является линейным четырехполюсником, причем холловское напряжение uX, пропорциональное измеряемой индукции магнитного поля В, является антивзаимным, а остаточное напряжение uH - взаимным [5]. Поэтому для первого напряжения u1 между первым и вторым холловскими контактами при протекании тока между первым и вторым токовыми контактами, второго напряжения u2 между первым и вторым холловскими контактами при протекании тока между вторым и первым токовыми контактами, третьего напряжения u3 между первым и вторым токовыми контактами при протекании тока между первым и вторым холловскими контактами и четвертого напряжения u4 между первым и вторым токовыми контактами при протекании тока между вторым и первым холловскими контактами получаем:The problem is solved as follows. The four-pin Hall sensor containing the first and second current contacts and the first and second Hall contacts is a linear four-terminal device, and the Hall voltage u X proportional to the measured magnetic field induction B is anti-reciprocal, and the residual voltage u H is mutual [5]. Therefore, for the first voltage u 1 between the first and second Hall contacts when current flows between the first and second current contacts, the second voltage u 2 between the first and second Hall contacts when current flows between the second and first current contacts, the third voltage u 3 between the first and second current contacts when current flows between the first and the second and fourth contacts the Hall voltage u 4 between the first and second current contacts when current flows between first and second Hall contacts the floor AEM:
u1=uX+uH+uТ1+uСМ, u2=-uХ-uН+uТ1+uСМ,u 1 = u X + u H + u Т1 + u СМ , u 2 = -u Х -u Н + u Т1 + u СМ ,
u3=-uX+uH+uТ2+uСМ, u4=uX-uН+uТ2+uСМ,u 3 = -u X + u H + u Т2 + u СМ , u 4 = u X -u Н + u Т2 + u СМ ,
где uX=К(Т)В - часть холловского напряжении, пропорциональная измеряемой индукции магнитного поля, uH(Т) - остаточное напряжение, uT1 - термоЭДС холловских контактов, uT2 - термоЭДС токовых контактов, uСМ - сумма напряжения смещения измерителя и части холловского напряжения, обусловленного магнитным полем тока i0, К(Т)=H(T)i0 - крутизна преобразования, Н(Т) - константа Холла, Т - температура датчика, В - нормальная к плоскости датчика компонента измеряемой индукции магнитного поля, i0 - ток через датчик Холла.where u X = K (T) B is the part of the Hall voltage proportional to the measured magnetic field induction, u H (T) is the residual voltage, u T1 is the thermoEMF of the Hall contacts, u T2 is the thermoEMF of the current contacts, u SM is the sum of the meter bias voltage and part of the Hall voltage due to the magnetic field of the current i 0 , K (T) = H (T) i 0 is the steepness of the transformation, N (T) is the Hall constant, T is the temperature of the sensor, B is normal to the sensor plane of the component of the measured magnetic induction field, i 0 - current through the Hall sensor.
Следовательно,Hence,
4uX=(u1+u4)-(u2+u3), 4uH=(u1+u3)-(u2+u4).4u X = (u 1 + u 4 ) - (u 2 + u 3 ), 4u H = (u 1 + u 3 ) - (u 2 + u 4 ).
Таким образом, при измерении описанным способом холловского напряжения исключены систематические погрешности, обусловленные остаточным напряжением датчика, термоЭДС контактов, напряжением смещения измерителя и магнитным полем тока, протекающего через датчик Холла, а остаточное напряжение измеряется по четырехзажимной схеме и не включает падение напряжения на токовых проводах, контактах металл-полупроводник, а также термоЭДС контактов и напряжение смещения измерителя.Thus, when measuring the Hall voltage in the described way, systematic errors due to the residual voltage of the sensor, thermoEMF of the contacts, the bias voltage of the meter and the magnetic field of the current flowing through the Hall sensor are eliminated, and the residual voltage is measured using a four-clamp circuit and does not include the voltage drop across the current wires, metal-semiconductor contacts, as well as thermoEMF of contacts and bias voltage of the meter.
Компенсация температурной зависимости константы Холла основана на том, что в слабых магнитных полях с индукцией, меньшей 0,1 Тл, когда существенны погрешности, обусловленные остаточным напряжением датчика, термоЭДС контактов, напряжением смещения измерителя и магнитным полем тока, протекающего через датчик Холла, зависимостью константы Холла и проводимости материала датчика от индукции магнитного поля можно пренебречь. В этом случае константа Холла обратно пропорциональна зависящей от температуры концентрации носителей в датчике, а остаточное напряжение обратно пропорционально концентрации носителей в датчике и их подвижности, которая гораздо меньше зависит от температуры, чем концентрация носителей [1]. Поэтому температурная зависимость константы Холла может быть представлена ее зависимостью от остаточного напряжения, которая близка к линейной и может быть аппроксимирована полиномом невысокой степени.Compensation of the temperature dependence of the Hall constant is based on the fact that in weak magnetic fields with an induction of less than 0.1 T, when errors are significant due to the residual voltage of the sensor, thermoEMF of contacts, the bias voltage of the meter and the magnetic field of the current flowing through the Hall sensor, the dependence of the constant The hall and conductivity of the sensor material from the induction of the magnetic field can be neglected. In this case, the Hall constant is inversely proportional to the temperature-dependent concentration of carriers in the sensor, and the residual voltage is inversely proportional to the concentration of carriers in the sensor and their mobility, which is much less dependent on temperature than the concentration of carriers [1]. Therefore, the temperature dependence of the Hall constant can be represented by its dependence on the residual voltage, which is close to linear and can be approximated by a low degree polynomial.
Пусть uX0(uH)=uX(B0, uH) - зависимость холловского напряжения от остаточного напряжения, зарегистрированная при калибровке магнитометра в постоянном магнитном поле с индукцией B0 при изменении температуры датчика. Тогда К(uH)=uX0(uH)/В0 - зависимость крутизны преобразования от остаточного напряжения при фиксированном токе i0 через датчик Холла. При измерении регистрируются холловское и остаточное напряжения, а индукция магнитного поля вычисляется как В=uX(В, uH)/К(uH).Let u X0 (u H ) = u X (B 0 , u H ) be the dependence of the Hall voltage on the residual voltage recorded when calibrating the magnetometer in a constant magnetic field with induction B 0 when the temperature of the sensor changes. Then K (u H ) = u X0 (u H ) / В 0 is the dependence of the steepness of the conversion on the residual voltage at a fixed current i 0 through the Hall sensor. During the measurement, the Hall and residual stresses are recorded, and the magnetic field induction is calculated as B = u X (B, u H ) / K (u H ).
Проверка заявленного способа проводилась с помощью магнитометра, блок-схема которого приведена на чертеже. Датчик Холла 1 содержит первый X1 и второй Х2 холловские контакты, а также первый Т1 и второй Т2 токовые контакты. Ток через датчик Холла 1 создается источником питания 2 (5 В) и устанавливается резистором R1. Напряжения на контактах датчика 1 измеряются микроконтроллером 3 (ADUC834BS), аналоговые входы которого А1, А2, A3 и А4 подключены к контактам Т1, Т2, X1 и Х2 датчика соответственно. Выбор измеряемого напряжения осуществляется программно коммутатором 4, входящим в микроконтроллер 3, направление тока через датчик Холла 1 задается ключами К1-К8, управляемыми программно через буфер 5, входящий в микроконтроллер 3. Опорное напряжение, пропорциональное току i0 через датчик Холла 1, подается на микроконтроллер 3 с резистора R2, что исключает погрешность, связанную с нестабильностью тока i0. Программируемый усилитель 6, входящий в микроконтроллер 3, задает коэффициент усиления, такой чтобы аналого-цифровой преобразователь 7, входящий в микроконтроллер 3, использовал полный динамический диапазон. Оцифрованные преобразователем 7 данные заносятся в память блока управления 8, входящего в микроконтроллер 3, который также осуществляет программное управление процессом измерения, хранит зависимость константы Холла от остаточного напряжения, производит необходимые вычисления и выводит результаты на индикацию. В момент коммутации и до окончания переходных процессов в измерительной цепи и действия коммутационных помех входы микроконтроллера 3 программно блокируются. Измерение на постоянном токе в установившемся режиме исключает как коммутационные, так и фазовые погрешности.Verification of the claimed method was carried out using a magnetometer, a block diagram of which is shown in the drawing. Hall sensor 1 contains the first X1 and second X2 Hall contacts, as well as the first T1 and second T2 current contacts. The current through the Hall sensor 1 is created by a power source 2 (5 V) and installed by a resistor R1. The voltages at the contacts of the sensor 1 are measured by microcontroller 3 (ADUC834BS), the analog inputs of which A1, A2, A3 and A4 are connected to the contacts T1, T2, X1 and X2 of the sensor, respectively. The choice of the measured voltage is carried out programmatically by the switch 4, which is included in the microcontroller 3, the direction of the current through the Hall sensor 1 is set by keys K1-K8, controlled programmatically through the buffer 5, which is included in the microcontroller 3. The reference voltage proportional to the current i 0 through the Hall sensor 1 is supplied to microcontroller 3 with resistor R2, which eliminates the error associated with the instability of the current i 0 . The programmable amplifier 6 included in the microcontroller 3 sets the gain so that the analog-to-digital converter 7 included in the microcontroller 3 uses the full dynamic range. The data digitized by the converter 7 is recorded in the memory of the control unit 8, which is included in the microcontroller 3, which also provides program control of the measurement process, stores the dependence of the Hall constant on the residual voltage, performs the necessary calculations and displays the results on the display. At the time of switching and until the end of transient processes in the measuring circuit and the action of switching noise, the inputs of the microcontroller 3 are programmatically blocked. DC measurement in steady state eliminates both switching and phase errors.
Проведенные исследования показали, что при измерении магнитного поля с индукцией 1 мТл погрешность, обусловленная остаточным напряжением, уменьшается в 1000 раз, а температурная погрешность в диапазоне температур 10...50°С - в 100 раз.The studies showed that when measuring a magnetic field with an induction of 1 mT, the error due to the residual voltage decreases 1000 times, and the temperature error in the temperature range 10 ... 50 ° C - 100 times.
Источники информацииInformation sources
1. Средства измерения параметров магнитного поля / Ю.В.Афанасьев, Н.В.Студенцов, В.Н.Хореев и др. Л.: Энергия, 1979, 320 с.1. Means of measuring magnetic field parameters / Yu.V. Afanasyev, N.V. Studentsov, V.N. Khoreev, etc. Leningrad: Energia, 1979, 320 p.
2. И.Н.Сапранов. Способ термокомпенсации датчика Холла. Авторское свидетельство СССР №467303 по кл. G01R 33/06.2. I.N. Sapranov. The method of thermal compensation of the Hall sensor. USSR copyright certificate No. 467303 by class. G01R 33/06.
3. С.А.Азимов, М.Н.Мирзаев, К.Д.Потапенко. Устройство для температурной компенсации датчика Холла. Авторское свидетельство СССР №783730 по кл. G01R 33/06.3. S.A. Azimov, M.N. Mirzaev, K.D. Potapenko. Device for temperature compensation of the Hall sensor. USSR copyright certificate No. 783730 according to class. G01R 33/06.
4. В.К.Игнатьев, А.Г.Протопопов. Магнитометр на основе преобразователя Холла. Приборы и техника эксперимента. 2003, №4, с.116-120 (прототип).4. V.K. Ignatiev, A.G. Protopopov. Hall-based magnetometer. Instruments and experimental technique. 2003, No. 4, p.116-120 (prototype).
5. Фаин В.М., Ханин Я.И. Квантовая радиофизика. М.: Советское радио, 1965, с.126.5. Fain V.M., Khanin Ya.I. Quantum Radiophysics. M .: Soviet Radio, 1965, p.126.
Claims (1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006116847/28A RU2311655C1 (en) | 2006-05-17 | 2006-05-17 | Method for reducing errors of hall magnetometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2006116847/28A RU2311655C1 (en) | 2006-05-17 | 2006-05-17 | Method for reducing errors of hall magnetometer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2311655C1 true RU2311655C1 (en) | 2007-11-27 |
Family
ID=38960375
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2006116847/28A RU2311655C1 (en) | 2006-05-17 | 2006-05-17 | Method for reducing errors of hall magnetometer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2311655C1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2596905C1 (en) * | 2015-08-11 | 2016-09-10 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" | Method for reducing temperature error of hall sensor |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU900228A1 (en) * | 1980-04-07 | 1982-01-23 | Предприятие П/Я В-8117 | Method and device for measuring magnetic field |
| SU983605A1 (en) * | 1981-02-23 | 1982-12-23 | Физико-Технический Институт Ан Турсср | Magnetic field strength measuring method |
| JP2001337147A (en) * | 2000-03-23 | 2001-12-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic field sensor |
| JP2002303661A (en) * | 2000-03-23 | 2002-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic field detection method |
-
2006
- 2006-05-17 RU RU2006116847/28A patent/RU2311655C1/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU900228A1 (en) * | 1980-04-07 | 1982-01-23 | Предприятие П/Я В-8117 | Method and device for measuring magnetic field |
| SU983605A1 (en) * | 1981-02-23 | 1982-12-23 | Физико-Технический Институт Ан Турсср | Magnetic field strength measuring method |
| JP2001337147A (en) * | 2000-03-23 | 2001-12-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic field sensor |
| JP2002303661A (en) * | 2000-03-23 | 2002-10-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic field detection method |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ИГНАТЬЕВ В.К., ПРОТОПОПОВ А.Г. Магнитометр на основе преобразователя Холла. ПТЭ, 2003, № 4, с.116-120. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2596905C1 (en) * | 2015-08-11 | 2016-09-10 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" | Method for reducing temperature error of hall sensor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Li et al. | A closed-loop operation to improve GMR sensor accuracy | |
| TWI503646B (en) | Method and system for measuring the resistance of a resistive structure | |
| US9239365B2 (en) | Magnetic element control device, magnetic element control method and magnetic detection device | |
| JP5795152B2 (en) | MR sensor aging correction method and current measurement method | |
| WO2008109339A2 (en) | Method and apparatus for measuring the temperature of a gas in a mass flow controller | |
| JPWO2014208105A1 (en) | Temperature compensated magnetic sensor element and magnetic sensor and power measuring device using the same | |
| Siegenthaler et al. | A computer-controlled calibrator for instrument transformer test sets | |
| Zapf et al. | Crosstalk in elliptical sensor arrays for current measurement | |
| Voljc et al. | Direct measurement of AC current by measuring the voltage drop on the coaxial current shunt | |
| US10088439B2 (en) | Thermophysical property measurement method and thermophysical property measurement apparatus | |
| Callegaro et al. | On the calibration of direct-current current transformers (DCCT) | |
| RU2311655C1 (en) | Method for reducing errors of hall magnetometer | |
| Renella et al. | An overview of commercially available teslameters for applications in modern science and industry | |
| Samarin et al. | Features of the cryogenic temperature controller development | |
| Scherer et al. | Electrometer calibration with sub-part-per-million uncertainty | |
| EP3644080B1 (en) | Sensor circuit with offset compensation | |
| JP7033292B2 (en) | Thermoelectric property measuring device and thermoelectric property measuring method | |
| KR102914138B1 (en) | Driving method for thin film magneto resistance sensor | |
| Woodfield et al. | Techniques for accurate resistance measurement in the transient short-hot-wire method applied to high thermal-diffusivity gas | |
| Kim et al. | The Establishment of High DC Shunt Calibration System at KRISS and Comparison With NRC | |
| Gomasang et al. | A Study of Thermal Effect on High-Current Standard Resistor | |
| RU2664880C1 (en) | Compensating type tracking current converter | |
| JP2001337146A (en) | Sensitivity calibration device for magnetic sensor | |
| JP2000074750A (en) | Measuring device using bridge circuit | |
| JPH05149977A (en) | Comparing apparatus for ac/dc difference of thermoelectric ac/dc converter |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| QB4A | Licence on use of patent |
Effective date: 20080925 |
|
| QB4A | Licence on use of patent |
Free format text: LICENCE Effective date: 20110504 |
|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20170518 |