[go: up one dir, main page]

RU2308115C1 - Direct-current hydrogen ion source - Google Patents

Direct-current hydrogen ion source Download PDF

Info

Publication number
RU2308115C1
RU2308115C1 RU2006104821/28A RU2006104821A RU2308115C1 RU 2308115 C1 RU2308115 C1 RU 2308115C1 RU 2006104821/28 A RU2006104821/28 A RU 2006104821/28A RU 2006104821 A RU2006104821 A RU 2006104821A RU 2308115 C1 RU2308115 C1 RU 2308115C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
anode
magnetic pole
ion source
cathode
stainless steel
Prior art date
Application number
RU2006104821/28A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Юрий Яковлевич Лапицкий (RU)
Юрий Яковлевич Лапицкий
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научный центр Российской Федерации Институт теоретической и экспериментальной физики им. А.И. Алиханова"
Priority to RU2006104821/28A priority Critical patent/RU2308115C1/en
Application granted granted Critical
Publication of RU2308115C1 publication Critical patent/RU2308115C1/en

Links

Landscapes

  • Particle Accelerators (AREA)

Abstract

FIELD: acceleration engineering in science and technology using hydrogen ion beams having medium current intensity of several milliamperes.
SUBSTANCE: proposed DC hydrogen ion source using pin-type cold cathode has solenoidal coil wound on nonmagnetic vacuum chamber and accommodating first magnetic pole with central depression, first stainless steel cathode in the form of flat disk with central cup-shaped depression abutting against first magnetic pole, anode in the form of hollow stainless steel cylinder, second cold cathode in the form of stainless steel disk with depression along its axis and emission hole in center, its protruding part being inserted into second magnetic pole hole; through hole is made in first magnetic pole, first cold cathode, and in ion-source vacuum chamber to receive refractory metal pin one of whose ends is inserted in ion-source vacuum chamber and other end is joined with mechanism affording forward and backward motion of pin along ion source discharge chamber axis. Anode is made in the form of hollow cylinder accommodating central annular bridge; two thin-walled nonmagnetic metal cylinders are inserted into anode on both ends in front of bridge to protect cathode and anode insulator from ingress of vacuum-pump oil carbon.
EFFECT: enhanced service life of ion source at ion direct current of several milliamperes.
1 cl, 1 dwg

Description

Изобретение относится к ускорительной технике и может быть использовано в научной деятельности и технологических процессах, в которых используются пучки водородных ионов со средней интенсивностью тока в несколько миллиампер.The invention relates to accelerator technology and can be used in scientific activities and technological processes that use beams of hydrogen ions with an average current intensity of several milliamps.

Сущность изобретения: использование тонкостенных цилиндров анода в качестве ловушки вакуумного масла в процессе нагрева цилиндров до температуры крекинга вакуумного масла при работе ионного источника в режиме постоянного тока. Этим обеспечивается защита катода и изолятора анода от углерода вакуумного масла вакуумного насоса.The inventive use of thin-walled anode cylinders as a vacuum oil trap in the process of heating the cylinders to a cracking temperature of vacuum oil when the ion source is in direct current mode. This protects the cathode and the anode insulator from the carbon of the vacuum oil of the vacuum pump.

Известна конструкция протонного источника с катодной иглой (1), в которой первый катод содержит вольфрамовый стержень с конусообразным острием. Длина стержня выбрана так, что острие оказывается внутри анода. Для ограничения прямого разряда между анодом и катодами в зазорах между ними введено несколько диафрагм под "плавающими" потенциалами.A known design of a proton source with a cathode needle (1), in which the first cathode contains a tungsten rod with a conical tip. The length of the rod is chosen so that the tip is inside the anode. To limit the direct discharge between the anode and cathodes, several diaphragms under “floating” potentials are introduced in the gaps between them.

Недостатком конструкции является ограничение среднего ионного тока величиной 0,5 миллиампера из-за разрушения изоляторов диафрагм при тепловых деформациях и при образовании углеродных закороток от крекинга вакуумного масла в объеме разрядной камеры ионного источника, возникающих при интенсификации режима работы ионного источника.The design drawback is the limitation of the average ion current to 0.5 milliamps due to the destruction of the diaphragm insulators during thermal deformations and the formation of carbon shorts from cracking of the vacuum oil in the volume of the discharge chamber of the ion source, arising from the intensification of the ion source operation mode.

Прототипом изобретения является конструкция (2), которая состоит из соленоидальной катушки, надетой на немагнитную вакуумную камеру, внутри которой помещены первый магнитный полюс с центральным углублением, первый катод из нержавеющей стали в виде плоского диска с центральным углублением в виде стакана, примыкающий к первому магнитному полюсу, анода в виде пустотелого цилиндра, выполненного из нержавеющей стали, второго холодного катода в виде диска, выполненного из нержавеющей стали, по оси которого выполнено углубление с отверстием эмиссии в центре, своей выступающей частью вставленного в отверстие второго магнитного полюса, в первом магнитном полюсе, в первом холодном катоде и в вакуумной камере ионного источника выполнено сквозное отверстие, через которые пропущен стержень из тугоплавкого металла, один конец которого введен в разрядную камеру ионного источника, а второй конец соединен с механизмом, с помощью которого осуществляется перемещение стержня в прямом и обратном направлении вдоль оси разрядной камеры источника. Недостатком прототипа является ограниченный ресурс ионного источника из-за разрушения анодного изолятора при возникновении углеродных закоторок от продуктов крекинга вакуумного масла в объеме разрядной камеры ионного источника.The prototype of the invention is the construction (2), which consists of a solenoidal coil worn on a non-magnetic vacuum chamber, inside which is placed the first magnetic pole with a central recess, the first stainless steel cathode in the form of a flat disk with a central recess in the form of a cup adjacent to the first magnetic pole, the anode in the form of a hollow cylinder made of stainless steel, the second cold cathode in the form of a disk made of stainless steel, the axis of which is made a recess with a hole e In the center, with its protruding part inserted into the hole of the second magnetic pole, in the first magnetic pole, in the first cold cathode and in the vacuum chamber of the ion source, a through hole is made through which a rod of refractory metal is passed, one end of which is inserted into the discharge chamber of the ion source and the second end is connected to a mechanism by which the rod is moved in the forward and reverse direction along the axis of the discharge chamber of the source. The disadvantage of the prototype is the limited resource of the ion source due to the destruction of the anode insulator during the occurrence of carbon shorts from the products of cracking of vacuum oil in the volume of the discharge chamber of the ion source.

Поставленная задача достигается тем, что источник постоянного тока водородных ионов, поперечное сечение которого изображено на чертеже, состоит из соленоидальной катушки 4, надетой на змеевик водяного охлаждения 11, который одет на немагнитную вакуумную камеру 3, внутри которой помещены первый магнитной полюс 5 с центральным углублением, первый катод 6 из нержавеющей стали в виде плоского диска с центральным углублением в виде стакана, примыкающего к первому магнитному полюсу 5, анода 7 в виде пустотелого цилиндра, выполненного из нержавеющей стали с кольцевой перемычкой в середине и с двумя тонкостенными цилиндрами 12 из немагнитного тугоплавкого металла, при этом обеспечена затрудненная теплопередача между анодом и цилиндрами, второго холодного катода 8 в виде диска, выполненного из нержавеющей стали, по оси которого выполнено углубление с отверстием эмиссии в центре, своей выступающей частью вставленного в отверстие второго магнитного полюса 9, по оси первого магнитного полюса 5, в первом холодном катоде 6 и в вакуумной камере 3 ионного источника выполнено сквозное отверстие, через которые пропущен стержень 1 из тугоплавкого металла (стержневой катод), один конец которого введен в разрядную камеру ионного источника и является рабочей частью стержневого катода 1, а второй конец соединен с механизмом 2, с помощью которого осуществляется перемещение стержня в прямом и обратном направлении вдоль оси разрядной камеры источника.The problem is achieved in that the direct current source of hydrogen ions, the cross section of which is shown in the drawing, consists of a solenoidal coil 4, worn on a water cooling coil 11, which is dressed on a non-magnetic vacuum chamber 3, inside of which is placed the first magnetic pole 5 with a central recess , the first cathode 6 made of stainless steel in the form of a flat disk with a central recess in the form of a cup adjacent to the first magnetic pole 5, the anode 7 in the form of a hollow cylinder made of stainless steel she became steel with a ring jumper in the middle and with two thin-walled cylinders 12 of non-magnetic refractory metal, while this ensured difficult heat transfer between the anode and the cylinders, the second cold cathode 8 in the form of a disk made of stainless steel, along the axis of which a recess with an emission hole in in the center, with its protruding part of the second magnetic pole 9 inserted into the hole, along the axis of the first magnetic pole 5, a through opening is made in the first cold cathode 6 and in the vacuum chamber 3 of the ion source through which a rod 1 of refractory metal (rod cathode) is passed, one end of which is inserted into the discharge chamber of the ion source and is the working part of the rod cathode 1, and the second end is connected to the mechanism 2, by which the rod is moved in the forward and reverse direction along the axis of the discharge chamber of the source.

Специфика осциллирующего разряда в рассматриваемом ионном источнике заключается в том, что за счет осевых углублений в первом 5 и втором 9 магнитных полюсах магнитное поле на оси оказывается минимальным, что приводит к дрейфу осциллирующих электронов к оси источника, возникновению термоэмиссии с торца стержневого катода 1 и формированию интенсивного приосевого разряда.The specificity of the oscillating discharge in the ion source under consideration is that due to the axial recesses in the first 5 and second 9 magnetic poles, the magnetic field on the axis is minimal, which leads to a drift of the oscillating electrons to the source axis, thermal emission from the end of the rod cathode 1, and formation intense axial discharge.

Наряду с интенсивным осциллирующим приосевым разрядом в источнике всегда существует прямой неосциллирующий слаботочный разряд между анодом и катодами, а наличие в объеме разрядной камеры источника паров вакуумного масла вызывает осаждение углерода на всех деталях разрядной камеры. Поэтому тонкостенные цилиндры анода, нагреваемые плазмой разряда в процессе работы ионного источника, работают как ловушка вакуумного масла, предотвращая загрязнение деталей разрядной камеры источника.Along with an intense oscillating axial discharge in the source, there is always a direct non-oscillating low-current discharge between the anode and cathodes, and the presence of a vacuum oil vapor source in the volume of the discharge chamber causes carbon deposition on all parts of the discharge chamber. Therefore, thin-walled anode cylinders, heated by the discharge plasma during the operation of the ion source, act as a vacuum oil trap, preventing contamination of the parts of the discharge chamber of the source.

Экспериментальная проверка работы источника проводилась при постоянном токе водородных ионов 5 миллиампер.An experimental verification of the source operation was carried out at a constant current of hydrogen ions of 5 milliamps.

Использование заявляемого технического решения найдет применение на протонных ускорителях и протонных имплантерах, где необходимо работать при постоянном ионном токе в несколько миллиампер.The use of the claimed technical solution will find application on proton accelerators and proton implants, where it is necessary to work with a constant ion current of several milliamps.

ЛитератураLiterature

1. Лапицкий Ю.Я. Усовершенствование электростатического инжектора синхротрона на 7 ГэВ и разработка импульсных протонных источников с большим током. Дисстертация на соиск. уч. степ. к.т.н., М., 1971 г., с.63 и 75.1. Lapitsky Yu.Ya. Improvement of the 7 GeV synchrotron electrostatic injector and development of pulsed proton sources with high current. Dysestration for a job. student step. Ph.D., M., 1971, p. 63 and 75.

2. Лапицкий Ю.Я. Импульсный источник водородных ионов со стержневым холодным катодом. Патент №RU 2249880, С2 Н01J 27/04.2. Lapitsky Yu.Ya. Pulse source of hydrogen ions with a cold rod cathode. Patent No.RU 2249880, C2 H01J 27/04.

Claims (1)

Источник постоянного тока водородных ионов со стержневым холодным катодом, состоящий из соленоидальной катушки, надетой на немагнитную вакуумную камеру, внутри которой помещены первый магнитный полюс с центральным углублением, первый катод из нержавеющей стали в виде плоского диска с центральным углублением в виде стакана, примыкающего к первому магнитному полюсу, анода в виде пустотелого цилиндра, выполненного из нержавеющей стали, второго холодного катода в виде диска, выполненного из нержавеющей стали, по оси которого выполнено углубление с отверстием эмиссии в центре, своей выступающей частью вставленного в отверстие второго магнитного полюса, в первом магнитном полюсе, в первом холодном катоде и в вакуумной камере ионного источника выполнено сквозное отверстие, через которые пропущен стержень из тугоплавкого металла, один конец которого введен в разрядную камеру ионного источника, а второй конец соединен с механизмом, с помощью которого осуществляется перемещение стержня в прямом и обратном направлении вдоль оси разрядной камеры источника, отличающийся тем, что анод выполнен в виде пустотелого цилиндра с центральной кольцевой перемычкой внутри, с двух сторон в анод до перемычки вставлены два тонкостенных цилиндра из немагнитного металла, при этом обеспечена затрудненная теплопередача между анодом и цилиндрами.A direct current hydrogen ion source with a cold rod cathode, consisting of a solenoidal coil worn on a non-magnetic vacuum chamber, inside of which is placed the first magnetic pole with a central recess, the first stainless steel cathode in the form of a flat disk with a central recess in the form of a cup adjacent to the first the magnetic pole, the anode in the form of a hollow cylinder made of stainless steel, the second cold cathode in the form of a disk made of stainless steel, along the axis of which is made an angle a reduction with an emission hole in the center, with its protruding part of the second magnetic pole inserted in the hole, in the first magnetic pole, in the first cold cathode and in the vacuum chamber of the ion source, a through hole is made through which a rod of refractory metal is passed, one end of which is inserted into the discharge the ion source chamber, and the second end is connected to a mechanism by which the rod is moved in the forward and reverse direction along the axis of the discharge chamber of the source, characterized in of the anode is designed as a hollow cylinder with a central annular web inside from both sides in the anode to bridge two thin-walled cylinder made of nonmagnetic metal are inserted, the heat transfer is hindered provided between the anode and the cylinder.
RU2006104821/28A 2006-02-16 2006-02-16 Direct-current hydrogen ion source RU2308115C1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006104821/28A RU2308115C1 (en) 2006-02-16 2006-02-16 Direct-current hydrogen ion source

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2006104821/28A RU2308115C1 (en) 2006-02-16 2006-02-16 Direct-current hydrogen ion source

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2308115C1 true RU2308115C1 (en) 2007-10-10

Family

ID=38953044

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2006104821/28A RU2308115C1 (en) 2006-02-16 2006-02-16 Direct-current hydrogen ion source

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2308115C1 (en)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106057614A (en) * 2016-08-12 2016-10-26 兰州大学 Cold-cathode penning ion source
CN108717927A (en) * 2018-05-23 2018-10-30 宁波盘福生物科技有限公司 Multichannel glow discharge Penning ion source device
RU2686668C1 (en) * 2018-03-06 2019-04-30 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Институт теоретической и экспериментальной физики имени А.И. Алиханова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт" Hydrogen ions source in direct current mode with electrons oscillation and cold cathode in form of movable string
RU2776866C1 (en) * 2021-11-16 2022-07-28 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" Ion source of hydrogen ions in dc mode with automatic cathode string shift

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1465177A (en) * 1973-05-15 1977-02-23 Philips Electronic Associated Ion source
US4135093A (en) * 1978-01-24 1979-01-16 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Use of predissociation to enhance the atomic hydrogen ion fraction in ion sources
SU1625257A1 (en) * 1989-03-20 1992-04-07 Предприятие П/Я В-8315 Pulse source of ions
US5675606A (en) * 1995-03-20 1997-10-07 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Solenoid and monocusp ion source
RU2249880C2 (en) * 2003-06-24 2005-04-10 Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Министерство Российской Федерации по Атомной Энергии Pulsed hydrogen ion source with cold pin cathode
RU2256979C1 (en) * 2003-10-27 2005-07-20 Нархинов Валерий Прокопьевич Penning-discharge plasma electron source using radially converging ribbon beams

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1465177A (en) * 1973-05-15 1977-02-23 Philips Electronic Associated Ion source
US4135093A (en) * 1978-01-24 1979-01-16 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Use of predissociation to enhance the atomic hydrogen ion fraction in ion sources
SU1625257A1 (en) * 1989-03-20 1992-04-07 Предприятие П/Я В-8315 Pulse source of ions
US5675606A (en) * 1995-03-20 1997-10-07 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Solenoid and monocusp ion source
RU2249880C2 (en) * 2003-06-24 2005-04-10 Российская Федерация, от имени которой выступает государственный заказчик - Министерство Российской Федерации по Атомной Энергии Pulsed hydrogen ion source with cold pin cathode
RU2256979C1 (en) * 2003-10-27 2005-07-20 Нархинов Валерий Прокопьевич Penning-discharge plasma electron source using radially converging ribbon beams

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106057614A (en) * 2016-08-12 2016-10-26 兰州大学 Cold-cathode penning ion source
RU2686668C1 (en) * 2018-03-06 2019-04-30 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Институт теоретической и экспериментальной физики имени А.И. Алиханова Национального исследовательского центра "Курчатовский институт" Hydrogen ions source in direct current mode with electrons oscillation and cold cathode in form of movable string
CN108717927A (en) * 2018-05-23 2018-10-30 宁波盘福生物科技有限公司 Multichannel glow discharge Penning ion source device
CN108717927B (en) * 2018-05-23 2024-03-19 宁波盘福生物科技有限公司 Multichannel glow discharge penning ion source device
RU2776866C1 (en) * 2021-11-16 2022-07-28 Федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт" Ion source of hydrogen ions in dc mode with automatic cathode string shift

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20160133426A1 (en) Linear duoplasmatron
RU2004101768A (en) PLASMA ACCELERATOR
JP2020509539A5 (en)
WO2012138311A1 (en) Vacuum-arc evaporator for generating a cathode plasma
US7624566B1 (en) Magnetic circuit for hall effect plasma accelerator
RU2167466C1 (en) Plasma ion source and its operating process
RU2308115C1 (en) Direct-current hydrogen ion source
US20070034501A1 (en) Cathode-arc source of metal/carbon plasma with filtration
JPS6037700A (en) Anionic ion source
Burdovitsin et al. A plasma-cathode electron source for focused-beam generation in the fore-pump pressure range
TW201737285A (en) Indirectly heated cathode ion source and repeller for use within an ion source chamber
CN108419356A (en) Method and ion source apparatus for promoting the cyclotron internal ion-source service life
RU2249880C2 (en) Pulsed hydrogen ion source with cold pin cathode
JP2010251323A (en) Ion source for generating particle beam, electrode for ion source, and method for introducing ionized gas into ion source
Belchenko et al. Development of surface-plasma negative ions sources at the Budker Institute of nuclear physics
RU2671960C1 (en) Pulse source of hydrogen ions with electron oscillation in a inhomogeneous longitudinal magnetic field
RU2231162C2 (en) Source with cathode cone of high-frequency pulses of ions of hydrogen
RU2209483C2 (en) Electron-and-ion source
RU2699765C1 (en) Axial electron gun
RU2098883C1 (en) Proton pulse source with cathode cone
RU2371803C1 (en) Plasma ion source
RU2686668C1 (en) Hydrogen ions source in direct current mode with electrons oscillation and cold cathode in form of movable string
JP2016085963A (en) Method and device for generating electrical discharge
JP4534078B2 (en) Arc discharge cathode and ion source
RU159300U1 (en) ELECTRONIC SOURCE WITH PLASMA EMITTER

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20100217