RU2302369C2 - Method for producing nano-diamonds in polymer-like hydrocarbon matrix - Google Patents
Method for producing nano-diamonds in polymer-like hydrocarbon matrix Download PDFInfo
- Publication number
- RU2302369C2 RU2302369C2 RU2005124867/28A RU2005124867A RU2302369C2 RU 2302369 C2 RU2302369 C2 RU 2302369C2 RU 2005124867/28 A RU2005124867/28 A RU 2005124867/28A RU 2005124867 A RU2005124867 A RU 2005124867A RU 2302369 C2 RU2302369 C2 RU 2302369C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- nano
- diamonds
- hydrocarbon
- nanodiamonds
- synthesis
- Prior art date
Links
- 239000002113 nanodiamond Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 title claims abstract description 20
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 title claims abstract description 20
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 title claims abstract description 20
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 title claims abstract description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 8
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 12
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 abstract description 15
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 13
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 abstract description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 6
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 5
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 4
- 238000004880 explosion Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 3
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 3
- 239000003708 ampul Substances 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 2
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 2
- KMUONIBRACKNSN-UHFFFAOYSA-N potassium dichromate Chemical compound [K+].[K+].[O-][Cr](=O)(=O)O[Cr]([O-])(=O)=O KMUONIBRACKNSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 1
- 238000005234 chemical deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005474 detonation Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005520 electrodynamics Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910021402 lonsdaleite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004157 plasmatron Methods 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области синтеза наноалмазов или ультрадисперсных алмазов.The invention relates to the field of synthesis of nanodiamonds or ultrafine diamonds.
Известен метод динамического синтеза микроалмазов из ударно-сжатого графита с использованием энергии взрыва [1]. В результате прямого фазового перехода графит-алмаз получены чешуйчатые образования, отражающие форму исходного графита, из которых изготавливался порошок с размером частиц от 100 мкм. Количество лонсдейлита в мелких фракциях достигало 50%. Недостатком метода является огромные энергетические затраты, связанные с необходимостью разрушения или перестройки исходной кристаллической решетки графита, а также из-за громоздкой и дорогостоящей операции химического растворения металлической составляющей реакционных смесей и высокой стоимости металлической оснастки разового назначения - устройства сохранения.The known method for the dynamic synthesis of micro diamonds from shock-compressed graphite using the energy of the explosion [1]. As a result of the direct graphite-diamond phase transition, flake formations are obtained that reflect the shape of the initial graphite, from which a powder with a particle size of 100 microns or more was made. The amount of lonsdaleite in fine fractions reached 50%. The disadvantage of this method is the huge energy costs associated with the need to destroy or rebuild the initial crystalline lattice of graphite, as well as due to the cumbersome and expensive operation of chemical dissolution of the metal component of the reaction mixtures and the high cost of metal equipment for single use - storage device.
Известен также метод детонационного синтеза наноалмазов [2]. Исходным сырьем для их получения послужил углерод взрывчатых веществ, а высокие давление и температура, необходимые для образования структуры алмаза из атомов углерода, достигались в процессе взрыва. Короткое время взрыва определяло малый размер алмазных кристаллов.Also known is the method of detonation synthesis of nanodiamonds [2]. The raw material for their production was carbon explosives, and the high pressure and temperature necessary for the formation of the diamond structure from carbon atoms were achieved during the explosion. The short explosion time determined the small size of diamond crystals.
Однако взрывные технологии имеют ряд существенных недостатков, главный из которых - обеспечение соответствующей дорогостоящей инфраструктурой и необходимость использования взрывчатых веществ.However, explosive technologies have a number of significant drawbacks, the main of which is the provision of appropriate expensive infrastructure and the need to use explosives.
Известен также метод получения наноалмазов из реакторного графита в ударных волнах при электродинамическом сжатии [3]. Нагружение углеродосодержащего материала осуществляется за счет осесимметричного схлопывания медной оболочки (лайнера). Лайнер деформируется пондеромоторными силами, возникающими при прохождении по нему импульсного электрического тока с амплитудой 2-4 МА. Перед подачей импульса тока разрядная камера вакуумируется до остаточного давления 1-5 кПа. Схлопывание цилиндрического медного лайнера со скоростью ~103 м/с обеспечивает ступенчатое нагружение углеродного материала в ампуле от 5 до 40 ГПа в течение 4 мс. После нагружения сохраненное вещество в ампуле извлекается и подвергается химическому окислению раствором бихромата калия в серной кислоте для удаления металла и окисления графита. В результате химической очистки сохраненного материала получены агломераты, содержащие поликристаллы алмаза со средним размером 1 -2 мкм, выход агломератов ~3%.There is also a known method of producing nanodiamonds from reactor graphite in shock waves under electrodynamic compression [3]. The carbon-containing material is loaded due to the axisymmetric collapse of the copper shell (liner). The liner is deformed by ponderomotive forces that occur when a pulsed electric current with an amplitude of 2-4 MA passes through it. Before applying a current pulse, the discharge chamber is evacuated to a residual pressure of 1-5 kPa. The collapse of a cylindrical copper liner at a speed of ~ 10 3 m / s provides stepwise loading of the carbon material in the ampoule from 5 to 40 GPa for 4 ms. After loading, the stored substance in the ampoule is extracted and subjected to chemical oxidation with a solution of potassium dichromate in sulfuric acid to remove metal and oxidize graphite. As a result of chemical cleaning of the stored material, agglomerates containing polycrystals of diamond with an average size of 1–2 μm were obtained; the yield of agglomerates was ~ 3%.
Недостатком этого метода является низкий процент выхода из-за необходимости выделения зерен алмазной фазы из агрегатов, содержащих также аморфный углерод и графит, а также неравномерности обжатия ампулы и жестких условий химического окисления, приводящих к частичному окислению алмазной фазы.The disadvantage of this method is the low yield because of the need to separate the grains of the diamond phase from aggregates containing also amorphous carbon and graphite, as well as uneven compression of the ampoule and severe chemical oxidation conditions leading to partial oxidation of the diamond phase.
Наиболее близким по технической сущности и техническому результату к предложенному является способ получения алмазных порошков с использованием струйного плазмотрона, в котором плазма образуется из аргона и содержит добавки этилена. При этом струя из плазмотрона направлялась в сопло Лаваля. На выходе из сопла, за счет резкого снижения температуры частиц - продуктов сгорания этилена, образовывался порошок, который содержал более половины алмазных частиц [4].The closest in technical essence and technical result to the proposed one is a method for producing diamond powders using a jet plasmatron, in which the plasma is formed from argon and contains ethylene additives. In this case, the jet from the plasma torch was directed into the Laval nozzle. At the exit from the nozzle, due to a sharp decrease in the temperature of particles — ethylene combustion products, a powder was formed that contained more than half of the diamond particles [4].
Такой способ получения алмазных частиц не связан с большими затратами энергии и не требует сложной аппаратуры. В нем отсутствует необходимость в специфической инфраструктуре, связанной с использованием энергии взрыва и взрывчатых веществ, которые используются в настоящее время в производстве наноалмазов. Однако, так как в результате процесса образуется алмазографитовый порошок, это требует проведения специальных операций химической очистки по выделению алмазного порошка.This method of producing diamond particles is not associated with high energy costs and does not require complex equipment. It lacks the need for a specific infrastructure related to the use of explosive energy and explosives, which are currently used in the production of nanodiamonds. However, since diamond-graphite powder is formed as a result of the process, this requires special chemical cleaning operations to isolate diamond powder.
Кроме того, полученные в результате такой очистки порошки, особенно наиболее мелкие, при высушивании агрегатируют в прочные образования и нуждаются в дополнительной подготовке сухого продукта при их использовании путем механического дробления.In addition, the powders obtained as a result of such cleaning, especially the smallest ones, aggregate into strong formations upon drying and need additional preparation of the dry product when they are used by mechanical crushing.
Целью изобретения является создание упрощенной технологии получения наноалмазных порошков, частицы которых были бы рассредоточены в объемной матрице, исключающей их агрегатирование при длительном хранении, совместимой с обычными технологическими процессами микроэлектронного производства, и обладающей возможностями управления размером и концентрацией наноалмазов.The aim of the invention is to create a simplified technology for the production of nanodiamond powders, the particles of which would be dispersed in a bulk matrix, excluding their aggregation during long-term storage, compatible with conventional technological processes of microelectronic production, and having the ability to control the size and concentration of nanodiamonds.
Поставленная цель достигается тем, что синтез наноалмазных порошков осуществляют в СВЧ-плазме паров углеводородных веществ, например этанола, на подложке, на которую одновременно осаждают полимероподобную углеводородную пленку. Управление размером и концентрацией наноалмазов в объемной матрице осуществляют изменением давления паров углеводородных веществ в плазме и температуры подложки в пределах, не исключающих образование на ней углеводородной пленки, причем для увеличения размера и концентрации наноалмазов в объемной углеводородной матрице температуру подложки уменьшают, а давление паров выбирают оптимальным.This goal is achieved in that the synthesis of nanodiamond powders is carried out in a microwave plasma of hydrocarbon vapor, such as ethanol, on a substrate on which a polymer-like hydrocarbon film is deposited. The size and concentration of nanodiamonds in the volumetric matrix are controlled by changing the vapor pressure of hydrocarbon substances in the plasma and the temperature of the substrate to the extent not excluding the formation of a hydrocarbon film on it, and to increase the size and concentration of nanodiamonds in the volumetric hydrocarbon matrix, the temperature of the substrate is reduced and the vapor pressure is chosen optimal .
Для получения таких композиционных наноалмазоуглеводородных материалов использовали плазму СВЧ газового разряда в магнитном поле паров углеродосодержащих веществ, например этанола, при температуре подложки в интервале до 200°С. Давление паров плазмообразующего вещества изменяли в диапазоне от 0,1 до 5-10 Па при вводимой в разряд плотности мощности от 3 до 5 Вт/см2. Толщина осажденной пленки определялась длительностью процесса при скорости осаждения 10-15 нм/мин. Полученные углеродные пленки были "мягкими" и представляли собой пористый материал, состоящий из скопления полимероподобных, слабо связанных между собой агрегатов. Изучение структуры пленок показало, что они представляют собой гетерофазную систему, где в аморфной углеводородной матрице рассеяны наноалмазные кристаллиты в форме пирамид, которые в зависимости от режима осаждения имели диаметры оснований от 0,25 до 0,5 мкм и высоту от 4-5 до 100-150 нм. Наноалмазные частицы были рассредоточены в объемной углеводородной матрице с концентрацией от 0,5·107 до 1,4·108 см-2, которая своим присутствием исключала возможность их агрегатирования при длительном хранении. Управление размером и концентрацией наноалмазов в углеводородной матрице осуществляли изменением температуры подложки и давления паров этанола в плазме, причем с уменьшением температуры средний размер наноалмазов и их концентрация увеличивались для всех давлений рабочего вещества, а максимальные размер и концентрация наноалмазов при низких температурах имели место при оптимальном давлении паров этанола в диапазоне от 0,8 до 1,2 Па.To obtain such composite nanodiamond hydrocarbon materials, microwave gas plasma was used in the magnetic field of vapors of carbon-containing substances, for example ethanol, at a substrate temperature in the range up to 200 ° C. The vapor pressure of the plasma-forming substance was varied in the range from 0.1 to 5-10 Pa with a power density introduced into the discharge from 3 to 5 W / cm 2 . The thickness of the deposited film was determined by the duration of the process at a deposition rate of 10-15 nm / min. The obtained carbon films were “soft” and consisted of a porous material consisting of an accumulation of polymer-like, loosely coupled aggregates. A study of the structure of the films showed that they are a heterophase system, where nanodiamond crystallites in the form of pyramids are scattered in an amorphous hydrocarbon matrix, which, depending on the deposition mode, have base diameters from 0.25 to 0.5 microns and heights from 4-5 to 100 -150 nm. Nanodiamond particles were dispersed in a bulk hydrocarbon matrix with a concentration of from 0.5 · 10 7 to 1.4 · 10 8 cm -2 , which, by its presence, precluded the possibility of their aggregation during long-term storage. The size and concentration of nanodiamonds in the hydrocarbon matrix were controlled by changing the substrate temperature and the ethanol vapor pressure in the plasma, and with decreasing temperature, the average size of the nanodiamonds and their concentration increased for all pressures of the working substance, and the maximum size and concentration of nanodiamonds at low temperatures occurred at optimal pressure ethanol vapor in the range from 0.8 to 1.2 Pa.
Таким образом, предлагаемый способ более технологичен. Он позволяет получать наноалмазные частицы, рассредоточенные в поддерживающей мягкой полимероподобной углеводородной матрице. Это исключает возможность их агрегатирования в прочные образования, которые в случае порошкообразных наноалмазов нуждаются в дополнительной подготовке сухого продукта при изготовлении паст путем механического дробления. Кроме того, при этом способе получения обеспечивается возможность управления размерами и распределением концентрации наноалмазов в объемной матрице, позволяющая создавать структуры с заданными градиентными свойствами. Способ предоставляет широкие возможности для непосредственного нанесения наноалмазов, содержащихся в мягкой углеводородной матрице, на любые подложки и детали.Thus, the proposed method is more technological. It allows one to obtain nanodiamond particles dispersed in a supporting soft polymer-like hydrocarbon matrix. This excludes the possibility of their aggregation into strong formations, which, in the case of powdered nanodiamonds, require additional preparation of the dry product in the manufacture of pastes by mechanical crushing. In addition, with this production method, it is possible to control the size and distribution of the concentration of nanodiamonds in the bulk matrix, which allows you to create structures with specified gradient properties. The method provides ample opportunities for the direct deposition of nanodiamonds contained in a soft hydrocarbon matrix on any substrates and parts.
Пример осуществления изобретения.An example embodiment of the invention.
Получение композиционного наноалмазоуглеводородного материала осуществляют в установке СВЧ плазмохимического осаждения в магнитном поле при вводимой в разряд плотности мощности от 3 до 5 Вт/см2 и температуре подложки не превышающей 200°С. В качестве плазмообразующей среды используют пары углеродосодержащих веществ, например этанола. Давление паров плазмообразующего вещества составляет от 0,1 до 5-10 Па.The preparation of composite nanodiamond hydrocarbon material is carried out in a microwave plasma-chemical deposition apparatus in a magnetic field with a power density introduced into the discharge from 3 to 5 W / cm 2 and a substrate temperature not exceeding 200 ° C. As a plasma-forming medium, pairs of carbon-containing substances, for example ethanol, are used. The vapor pressure of the plasma-forming substance is from 0.1 to 5-10 Pa.
Полученные на подложке углеродные пленки представляют собой углеводородную матрицу, в которой рассеяны наноалмазные кристаллиты в форме пирамид. В зависимости от режима осаждения кристаллиты имеют диаметр оснований от 0,25 до 0,5 мкм, высоту от 4-5 до 100-150 нм и концентрацию в углеводородной матрице от 0,5·107 до 1,4·108 см-2. Максимальные размеры и концентрацию наноалмазные кристаллиты имеют при наиболее низкой температуре подложки и давлении паров этанола в диапазоне от 0,8 до 1,2 Па.The carbon films obtained on the substrate are a hydrocarbon matrix in which pyramid-shaped nanodiamond crystallites are scattered. Depending on the deposition mode, the crystallites have a base diameter of 0.25 to 0.5 μm, a height of 4-5 to 100-150 nm and a concentration in the hydrocarbon matrix of 0.5 · 10 7 to 1.4 · 10 8 cm - 2 . The maximum size and concentration of nanodiamond crystallites are at the lowest substrate temperature and ethanol vapor pressure in the range from 0.8 to 1.2 Pa.
Источники информацииInformation sources
1. Бакуль В.Н., Андреев В.Д. Синтетические алмазы. Киев: Наук. Думка, 1975. В.5. С3.1. Bakul V.N., Andreev V.D. Synthetic diamonds. Kiev: Science. Dumka, 1975.V.5. C3.
2. Даниленко В.В. Синтез и спекание алмазов взрывом. М.: Энергоатомиздат, 2003. 272 с.2. Danilenko VV Synthesis and sintering of diamonds by explosion. M .: Energoatomizdat, 2003.272 s.
3. Макаревич И.П., Рахель А.Д., Румянцев Б.В., Фридман Б.Э. ФТТ. 2004, том 46, вып. 4. С.659-661.3. Makarevich I.P., Rachel A.D., Rumyantsev B.V., Fridman B.E. FTT. 2004, Volume 46, Issue 4. S.659-661.
4. Дерягин Б.В., Федосеев Д.В. Наука в СССР. 1989. № 2, с.18.4. Deryagin B.V., Fedoseev D.V. Science in the USSR. 1989. No. 2, p. 18.
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005124867/28A RU2302369C2 (en) | 2005-08-04 | 2005-08-04 | Method for producing nano-diamonds in polymer-like hydrocarbon matrix |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005124867/28A RU2302369C2 (en) | 2005-08-04 | 2005-08-04 | Method for producing nano-diamonds in polymer-like hydrocarbon matrix |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005124867A RU2005124867A (en) | 2007-02-10 |
| RU2302369C2 true RU2302369C2 (en) | 2007-07-10 |
Family
ID=37862315
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005124867/28A RU2302369C2 (en) | 2005-08-04 | 2005-08-04 | Method for producing nano-diamonds in polymer-like hydrocarbon matrix |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2302369C2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2360314C1 (en) * | 2008-03-28 | 2009-06-27 | Открытое акционерное общество "Тантал" | Method of nanomaterials receiving with specified properties |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5602439A (en) * | 1994-02-14 | 1997-02-11 | The Regents Of The University Of California, Office Of Technology Transfer | Diamond-graphite field emitters |
| RU2094891C1 (en) * | 1995-02-17 | 1997-10-27 | Акционерное общество "Дигазкрон" | Material for cathode |
| RU2137242C1 (en) * | 1997-12-23 | 1999-09-10 | Акционерное общество закрытого типа "Карбид" | Material on basis of diamond with low threshold of field emission of electrons |
| WO2000008346A1 (en) * | 1998-08-07 | 2000-02-17 | Dana Corporation | Bearing material |
| RU2149477C1 (en) * | 1998-08-12 | 2000-05-20 | Акционерное общество закрытого типа "Карбид" | Field-effect electron emitter |
-
2005
- 2005-08-04 RU RU2005124867/28A patent/RU2302369C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5602439A (en) * | 1994-02-14 | 1997-02-11 | The Regents Of The University Of California, Office Of Technology Transfer | Diamond-graphite field emitters |
| RU2094891C1 (en) * | 1995-02-17 | 1997-10-27 | Акционерное общество "Дигазкрон" | Material for cathode |
| RU2137242C1 (en) * | 1997-12-23 | 1999-09-10 | Акционерное общество закрытого типа "Карбид" | Material on basis of diamond with low threshold of field emission of electrons |
| WO2000008346A1 (en) * | 1998-08-07 | 2000-02-17 | Dana Corporation | Bearing material |
| RU2149477C1 (en) * | 1998-08-12 | 2000-05-20 | Акционерное общество закрытого типа "Карбид" | Field-effect electron emitter |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2360314C1 (en) * | 2008-03-28 | 2009-06-27 | Открытое акционерное общество "Тантал" | Method of nanomaterials receiving with specified properties |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2005124867A (en) | 2007-02-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6752782B2 (en) | Equipment and methods for plasma synthesis of graphite products containing graphene | |
| KR102240358B1 (en) | Continuous mass manufacturing method of graphene using high temperature plasma spinning and graphene manufactured by using the same | |
| CA3031297A1 (en) | Manufacture of tungsten monocarbide (wc) spherical powder | |
| JPWO2010104200A1 (en) | Onion-like carbon and method for producing the same | |
| Shenderova et al. | Production and purification of nanodiamonds | |
| US20150353363A1 (en) | Method and System to Produce Large Size Diamonds | |
| CN103482623A (en) | Method for preparing nano diamonds by using direct-current arc process | |
| RU2302369C2 (en) | Method for producing nano-diamonds in polymer-like hydrocarbon matrix | |
| Do et al. | Ion Molecule and Dust Particle Formation in Ar/CH4, Ar/C2H2 and Ar/C3H6 Radio‐frequency Plasmas | |
| JP5370887B2 (en) | Method for producing nanodiamond | |
| Choudhary et al. | Manufacture of gem quality diamonds: a review | |
| CN105540558A (en) | Nitrogen polymer and preparation method thereof | |
| Luo et al. | Synthesis of high-quality graphite-coated iron composite nanoparticles by a rapid gas-phase chemical reaction | |
| JP3500423B2 (en) | Nanodiamond and its manufacturing method | |
| CN102210999B (en) | A method for synthesizing nano-diamonds by irradiating graphite suspension with high-current pulsed electron beams | |
| WO2010092996A1 (en) | Process for the production of diamond materials | |
| CN111686637B (en) | Method for synthesizing superhard material | |
| JP2017154960A (en) | Diamond sintered body with excellent thermal conductivity, and method for producing same | |
| WO2022020990A1 (en) | Diamond, and diamond synthesis method and device | |
| Kang et al. | One-step synthesis of the green phosphor Ce-Tb-Mg-Al-O system with spherical particle shape and fine size | |
| RU2015152977A (en) | METHOD FOR PRODUCING DIAMOND FILM ON TURBO-ALLOY PRODUCTS FROM TUNGSTEN CARBIDE | |
| CN109704315A (en) | A kind of preparation method of graphene | |
| RU2137709C1 (en) | Method of preparing metal-light nonmetal compounds | |
| Ilyin et al. | Carbide-nanopowders produced by electrical explosion of wires | |
| KR100324500B1 (en) | Diamond thin film formation method by laser ablation combined with high voltage discharge plasma CVD, and diamond bulk fabrication method under the conditions of high temperature and high pressure |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20090805 |