RU2350982C2 - Passive identification mark on surface acoustic waves with resonator - Google Patents
Passive identification mark on surface acoustic waves with resonator Download PDFInfo
- Publication number
- RU2350982C2 RU2350982C2 RU2007114811/28A RU2007114811A RU2350982C2 RU 2350982 C2 RU2350982 C2 RU 2350982C2 RU 2007114811/28 A RU2007114811/28 A RU 2007114811/28A RU 2007114811 A RU2007114811 A RU 2007114811A RU 2350982 C2 RU2350982 C2 RU 2350982C2
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic waves
- resonator
- passive identification
- groups
- Prior art date
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 9
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 9
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 abstract description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 4
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 1
- 230000036039 immunity Effects 0.000 description 1
- 238000011089 mechanical engineering Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000000844 transformation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
Description
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано в приборостроении и машиностроении для одновременной идентификации объекта и измерения физических величин деформации, давления, сил, ускорения, температуры и перемещения. Целью изобретения является расширение функциональных возможностей идентификационных меток.The invention relates to the field of measurement technology and can be used in instrumentation and mechanical engineering for the simultaneous identification of an object and measurement of physical quantities of deformation, pressure, forces, acceleration, temperature and displacement. The aim of the invention is to expand the functionality of identification tags.
Известна идентификационная метка на поверхностных акустических волнах (ПАВ), состоящая из пластины пьезоэлектрика, на которой сформированы встречно-штыревые преобразователи (ВШП) и система из групп отражающих структур [патент №2001120341 RU. Опрашиваемый по радио элемент на поверхностных акустических волнах с оптимальным объемом кода / СИМЕНС АКЦИЕНГЕЗЕЛЛЬШАФТ (DE)]. В данной конструкции реализуется позиционный способ кодирования сигнала.A known identification tag on surface acoustic waves (SAW), consisting of a piezoelectric plate on which the interdigital transducers (IDT) and a system of groups of reflecting structures are formed [patent No. 20011120341 RU. Radio-interrogated element on surface acoustic waves with optimal code size / SIEMENS AKTSIENGESELLSHAFT (DE)]. In this design, a positional signal coding method is implemented.
Недостатком этого устройства является отсутствие возможности одновременного измерения параметров внешней среды (температуры, давления, деформации и т.д.), в которой находится идентификационная метка.The disadvantage of this device is the inability to simultaneously measure the parameters of the external environment (temperature, pressure, deformation, etc.) in which the identification mark is located.
Известно также устройство на ПАВ, совмещающее функции идентификации и измерения параметров среды [Pohl A. A review of wireless SAW sensors // IEEE Trans. on ultrasonics, ferroelectrics and frequency control. Vol.47. №2. P.317-332]. Данное устройство состоит из ВШП и групп отражающих структур. При этом для идентификации используется позиционный способ кодирования, а для измерения параметров среды - изменение времени задержки отраженных сигналов.There is also known a device for SAW, combining the functions of identification and measurement of environmental parameters [Pohl A. A review of wireless SAW sensors // IEEE Trans. on ultrasonics, ferroelectrics and frequency control. Vol. 47. No. 2. P.317-332]. This device consists of IDT and groups of reflective structures. In this case, a positional coding method is used for identification, and for measuring the parameters of the medium, a change in the delay time of the reflected signals is used.
Недостатком данного устройства является низкая точность, обусловленная малым изменением времени задержки при изменении параметров внешней среды [1].The disadvantage of this device is the low accuracy due to the small change in the delay time when changing the parameters of the environment [1].
Наиболее близким по технической сущности к заявленному изобретению является пассивный датчик [Карапетьян Г.Я., Катаев В.Ф. Пассивный датчик на поверхностных акустических волнах для дистанционного контроля параметров // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. №5. 2006. С.53-54]. Данное устройство состоит из ВШП и металлизированных отражающих структур, соединенных с нагрузкой, величина которой зависит от измеряемого параметра внешней среды.The closest in technical essence to the claimed invention is a passive sensor [Karapetyan G.Ya., Kataev V.F. Passive sensor on surface acoustic waves for remote control of parameters // Technology and design in electronic equipment. No. 5. 2006. S. 53-54]. This device consists of IDT and metallized reflective structures connected to a load, the magnitude of which depends on the measured environmental parameter.
Недостатком данного устройства-прототипа является низкая точность, обусловленная амплитудным характером измерений.The disadvantage of this prototype device is the low accuracy due to the amplitude nature of the measurements.
Причиной, препятствующей получению указанного ниже технического результата, при использовании для измерения параметров внешней среды известного пассивного датчика-прототипа является следующий его недостаток: низкая помехозащищенность амплитудных измерений при амплитудной модуляции радиосигнала в дистанционной системе измерения параметров внешней среды.The reason that impedes the obtaining of the technical result indicated below when using the known passive prototype sensor for measuring environmental parameters is its following disadvantage: low noise immunity of amplitude measurements with amplitude modulation of a radio signal in a remote system for measuring environmental parameters.
Задачей настоящего изобретения является повышение точности измерения параметров внешней среды при одновременной идентификации датчика.The objective of the present invention is to improve the accuracy of measuring environmental parameters while identifying the sensor.
Технический результат достигается тем, что в пассивной идентификационной метке на поверхностных акустических волнах с резонатором, состоящей из пластины пьезоэлектрика, на одной стороне которой сформирован встречно-штыревой преобразователь и группы отражающих структур, формирующих идентификационный код, часть групп отражающих структур совместно со встречно-штыревым преобразователем образует резонатор на поверхностных акустических волнах.The technical result is achieved by the fact that in a passive identification tag on surface acoustic waves with a resonator consisting of a piezoelectric plate on one side of which a interdigital transducer and groups of reflective structures forming an identification code are formed, some groups of reflective structures together with an interdigital transducer forms a resonator on surface acoustic waves.
Формирование отражающих структур в пассивной идентификационной метке с учетом выполнения условий акустического синхронизма [1] позволяет одновременно с идентификационной меткой реализовать одновходовый резонатор на ПАВ, содержащий не по одной однотипной группе отражающих структур по разные стороны от ВШП, как в стандартном резонаторе [1], а распределенные в области распространения ПАВ несколько (не менее двух) групп отражающих структур, допускающих различие в топологиях от группы к группе.The formation of reflective structures in a passive identification tag, taking into account the fulfillment of the conditions of acoustic synchronism [1], allows simultaneously with the identification tag to realize a single-input SAW resonator containing not one of the same type of reflective structures on opposite sides of the IDT, as in a standard resonator [1], but several (at least two) groups of reflecting structures distributed in the area of surfactant distribution, allowing for differences in topologies from group to group.
Разбиение отражающих структур резонатора на ПАВ на распределенные по поверхности группы отражающих структур позволяет реализовать позиционную систему кодирования, не нарушая условий существования резонанса ПАВ. Таким образом, одна и та же топология используется и как идентификационная метка, и как резонатор.The division of the reflecting structures of the resonator into SAWs into groups of reflecting structures distributed over the surface allows implementing a positional coding system without violating the conditions for the existence of SAW resonance. Thus, the same topology is used both as an identification tag and as a resonator.
Проведенный заявителем анализ уровня техники установил, что аналоги, характеризующиеся совокупностями признаков, тождественными всем признакам заявленного устройства, пассивной идентификационной метки на поверхностных акустических волнах с резонатором, отсутствуют, следовательно, заявленное изобретение соответствует условию "новизна".The analysis of the prior art carried out by the applicant has established that there are no analogs characterized by sets of features identical to all the features of the claimed device, passive identification tags on surface acoustic waves with a resonator, therefore, the claimed invention meets the condition of "novelty."
В настоящее время автору не известны пассивные идентификационные метки на поверхностных акустических волнах с резонатором, которые позволяли бы проводить измерение параметров внешней среды с такой точностью, которую обеспечивает предлагаемая конструкция пассивной идентификационной метки на поверхностных акустических волнах с резонатором, при одновременной пассивной идентификации устройства.At present, the author does not know the passive identification tags on surface acoustic waves with a resonator, which would make it possible to measure the parameters of the environment with such accuracy as the proposed design of the passive identification tags on surface acoustic waves with a resonator, while simultaneously passively identifying the device.
Результаты поиска известных технических решений в данной и смежных областях техники с целью выявления признаков, совпадающих с отличительными от прототипов признаками заявленного изобретения, показали, что они не следуют явным образом из уровня техники.Search results for known technical solutions in this and related fields of technology in order to identify features that match the distinctive features of the claimed invention from the prototypes have shown that they do not follow explicitly from the prior art.
Из определенного заявителем уровня техники не выявлена известность влияния предусматриваемых существенными признаками заявленного изобретения преобразований на достижение указанного технического результата, следовательно, заявленное изобретение соответствует "изобретательскому уровню".From the prior art determined by the applicant, the influence of the transformations provided for by the essential features of the claimed invention on the achievement of the specified technical result has not been revealed, therefore, the claimed invention corresponds to the "inventive step".
Сущность изобретения поясняется чертежом, на котором приведена структура пассивной идентификационной метки на поверхностных акустических волнах с резонатором. Пассивная идентификационная метка на поверхностных акустических волнах с резонатором состоит из пластины пьезоэлектрика 1, нескольких групп отражающих структур 2 и ВШП 3.The invention is illustrated in the drawing, which shows the structure of a passive identification tag on surface acoustic waves with a resonator. A passive identification tag on surface acoustic waves with a resonator consists of a piezoelectric plate 1, several groups of reflecting structures 2, and IDT 3.
Каждая группа отражающих структур содержит не менее одной отражающей канавки или штыря. Группы отражающих структур 2 могут содержать различное количество отражающих структур и иметь различную топологию.Each group of reflective structures contains at least one reflective groove or pin. Groups of reflective structures 2 may contain a different number of reflective structures and have a different topology.
Минимальное расстояние между ближайшими к встречно-штыревому преобразователю отражающими структурами, расположенными по разные стороны от встречно-штыревого преобразователя, может быть больше, чем максимальное расстояние от встречно-штыревого преобразователя до наиболее удаленной отражающей структуры.The minimum distance between the reflective structures closest to the interdigital transducer located on opposite sides of the interdigital transducer may be greater than the maximum distance from the interdigital transducer to the most distant reflective structure.
Топология части или всех групп отражающих структур 2 рассчитана так, чтобы ВШП 3 и группы отражающих структур 2 совместно образовывали одновходовый резонатор.The topology of part or all of the groups of reflective structures 2 is designed so that IDT 3 and groups of reflective structures 2 together form a single-input resonator.
Формирование ВШП реализовано по технологии фотолитографии и травления [1]. Могут быть использованы и другие технологические процессы формирования металлических структур на пьезоплатах. Формирование канавок отражающих структур реализовано по технологии травления через маску [1]. Отражающие структуры могут быть выполнены также в виде штырей. Штыри могут быть вытравлены в пьезоплате, при этом материал штырей будет идентичен материалу пьезоплаты. В другом варианте штыри могут быть сформированы по технологии фотолитографии, в этом случае штыри будут или металлическими, или из другого материала [1].The formation of IDT is implemented using photolithography and etching technology [1]. Other technological processes of forming metal structures on piezoelectric boards can also be used. The grooves of the reflecting structures are formed using the etching technology through a mask [1]. Reflecting structures can also be made in the form of pins. The pins can be etched in the piezoelectric plate, with the material of the pins being identical to the material of the piezoelectric plate. In another embodiment, the pins can be formed using photolithography technology, in this case, the pins will be either metal or from another material [1].
Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.
С внешнего приемопередатчика (на чертеже не показан) передается запросный радиоимпульс для идентификации на заданной несущей частоте (например, 915 МГц). Встречно-штыревой преобразователь 3 пассивной идентификационной метки на поверхностных акустических волнах с резонатором принимает этот радиоимпульс и возбуждает ПАВ.An external radio transceiver (not shown in the drawing) transmits a request radio pulse for identification at a given carrier frequency (for example, 915 MHz). The interdigital transducer 3 of the passive identification tag on the surface acoustic waves with the resonator receives this radio pulse and excites the SAW.
Распространяясь по поверхности пластины пьезоэлектрика 1, поверхностная акустическая волна последовательно отражается от групп отражающих структур 2, расположенных по обе стороны от ВШП 3.Propagating along the surface of the piezoelectric plate 1, the surface acoustic wave is successively reflected from groups of reflecting structures 2 located on both sides of IDT 3.
Отраженная ПАВ через определенное время (время задержки) возвращается к ВШП 3 и излучается в виде радиосигнала отклика идентификационной метки. Излученный ВШП 3 радиосигнал отклика идентификационной метки принимается внешним приемопередатчиком (на чертеже не показан).The reflected surfactant after a certain time (delay time) returns to IDT 3 and is emitted in the form of a radio signal response identification tags. The emitted IDT 3 radio signal response identification tags are received by an external transceiver (not shown).
Идентификация реализуется в соответствии с позиционным способом кодирования на основе анализа времен задержек [2].Identification is implemented in accordance with the positional coding method based on an analysis of the delay times [2].
Одновременно с запросным радиоимпульсом для идентификации или в другое время передается запросный радиоимпульс для измерения параметров внешней среды (деформации, давления, сил, ускорения, температуры, перемещения). Этот запросный радиоимпульс также принимается ВШП 3, который возбуждает ПАВ.Simultaneously with the interrogation radio pulse for identification or at another time, the interrogation radio pulse is transmitted to measure environmental parameters (deformation, pressure, forces, acceleration, temperature, displacement). This interrogation radio pulse is also received by IDT 3, which excites the surfactant.
Запросные радиоимпульсы для идентификации и измерения параметров внешней среды могут иметь одну или несколько различных несущих частот.Request radio pulses for identifying and measuring environmental parameters can have one or more different carrier frequencies.
Группы отражающих структур 2 могут отличаться друг от друга по количеству отражающих структур (канавок, штырей).Groups of reflective structures 2 may differ from each other in the number of reflective structures (grooves, pins).
При изменении параметров внешней среды изменяются параметры подложки пьезоэлектрика 1, в частности изменяется геометрический размер штырей (электродов) ВШП 3, расстояния между электродами, ширина, период следования отражающих структур в группах отражающих структур 2 и расстояния между отражающими структурами 2. В соответствии с условием акустического синхронизма [1] изменяется и резонансная частота резонатора, реализованного группами отражающих структур 2. В случае замены отражающих канавок на отражающие штыревые структуры резонансная частота изменяется аналогично [1].When changing the parameters of the environment, the parameters of the substrate of the piezoelectric 1 change, in particular, the geometric size of the IDT 3 pins (electrodes) 3, the distance between the electrodes, the width, the period of the reflecting structures in the groups of reflecting structures 2 and the distances between the reflecting structures 2 change. In accordance with the acoustic condition In synchronism [1], the resonant frequency of the resonator realized by the groups of reflective structures 2 also changes. If the reflective grooves are replaced with reflective pin structures, the resonant the frequency changes in the same way [1].
Величина девиации частоты зависит от местного относительного удлинения и местной скорости ПАВ, а также от абсолютного изменения геометрических размеров штырей ВШП 3 резонатора и отражающих структур в группах отражающих структур 2.The magnitude of the frequency deviation depends on the local elongation and local speed of the surfactant, as well as on the absolute change in the geometric dimensions of the IDT 3 pins of the resonator and reflective structures in the groups of reflective structures 2.
Величина собственной частоты резонатора измеряется, например, по амплитудно-частотной характеристике (например, с использованием сетевого анализатора HP E5070B) или с использованием генераторных схем [1]. На основе градуировочной зависимости (частота - деформация) изменению собственной частоты можно соотнести величину изменения параметров внешней среды.The value of the natural frequency of the resonator is measured, for example, by the amplitude-frequency characteristic (for example, using a network analyzer HP E5070B) or using generator circuits [1]. Based on the calibration dependence (frequency - deformation), the change in the natural frequency can be correlated with the magnitude of the change in the parameters of the external environment.
Таким образом, предложенная пассивная идентификационная метка на поверхностных акустических волнах с резонатором является устройством для совместного измерения параметров внешней среды и идентификации самого устройства.Thus, the proposed passive identification tag on surface acoustic waves with a resonator is a device for joint measurement of environmental parameters and identification of the device itself.
Библиографические данныеBibliographic data
1. Морган Д. Устройства обработки сигналов на поверхностных акустических волнах / Пер. с англ. М.: Радио и связь, 1990. - 416 с.1. Morgan D. Devices for processing signals on surface acoustic waves / Per. from English M .: Radio and communications, 1990 .-- 416 p.
2. Hartman С.S. A global SAW ID tag with large data capacity // Proc. IEEE ultrasonic symposium. Munich. October. 2002.2. Hartman C.S. A global SAW ID tag with large data capacity // Proc. IEEE ultrasonic symposium. Munich. October 2002.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007114811/28A RU2350982C2 (en) | 2007-04-19 | 2007-04-19 | Passive identification mark on surface acoustic waves with resonator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007114811/28A RU2350982C2 (en) | 2007-04-19 | 2007-04-19 | Passive identification mark on surface acoustic waves with resonator |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2007114811A RU2007114811A (en) | 2008-10-27 |
| RU2350982C2 true RU2350982C2 (en) | 2009-03-27 |
Family
ID=40543136
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007114811/28A RU2350982C2 (en) | 2007-04-19 | 2007-04-19 | Passive identification mark on surface acoustic waves with resonator |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2350982C2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2422774C1 (en) * | 2010-01-11 | 2011-06-27 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Радар ммс" | Sensitive element for remote measurement |
| RU2425396C1 (en) * | 2009-11-30 | 2011-07-27 | Открытое акционерное общество "Авангард" | Method of monitoring state of underground metropolitan structures and system for realising said method |
| RU2738454C1 (en) * | 2020-05-28 | 2020-12-14 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Method for measuring the speed of surface acoustic waves in a piezo-substrate |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1228722A3 (en) * | 1984-08-24 | 1994-02-28 | Алейникова Елизавета Абрамовна | Method of manufacturing surface-acoustic wave resonators |
| RU93003579A (en) * | 1993-01-25 | 1996-02-20 | Товарищество с ограниченной ответственностью Фирма "Аванти" | The method of manufacture of devices on surface acoustic waves |
| US5691698A (en) * | 1994-04-15 | 1997-11-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Identification and/or sensor system |
| RU2244908C2 (en) * | 2002-02-19 | 2005-01-20 | Заренков Вячеслав Адамович | Device for remote measuring of pressure |
| RU2253149C2 (en) * | 1998-12-23 | 2005-05-27 | Сименс Акциенгезелльшафт | Radio-queried element on surface acoustic waves with optimal code volume |
| RU2290697C1 (en) * | 2005-05-20 | 2006-12-27 | Вячеслав Адамович Заренков | Marking device |
-
2007
- 2007-04-19 RU RU2007114811/28A patent/RU2350982C2/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1228722A3 (en) * | 1984-08-24 | 1994-02-28 | Алейникова Елизавета Абрамовна | Method of manufacturing surface-acoustic wave resonators |
| RU93003579A (en) * | 1993-01-25 | 1996-02-20 | Товарищество с ограниченной ответственностью Фирма "Аванти" | The method of manufacture of devices on surface acoustic waves |
| US5691698A (en) * | 1994-04-15 | 1997-11-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Identification and/or sensor system |
| RU2253149C2 (en) * | 1998-12-23 | 2005-05-27 | Сименс Акциенгезелльшафт | Radio-queried element on surface acoustic waves with optimal code volume |
| RU2244908C2 (en) * | 2002-02-19 | 2005-01-20 | Заренков Вячеслав Адамович | Device for remote measuring of pressure |
| RU2290697C1 (en) * | 2005-05-20 | 2006-12-27 | Вячеслав Адамович Заренков | Marking device |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2425396C1 (en) * | 2009-11-30 | 2011-07-27 | Открытое акционерное общество "Авангард" | Method of monitoring state of underground metropolitan structures and system for realising said method |
| RU2422774C1 (en) * | 2010-01-11 | 2011-06-27 | Открытое акционерное общество "Научно-производственное предприятие "Радар ммс" | Sensitive element for remote measurement |
| RU2738454C1 (en) * | 2020-05-28 | 2020-12-14 | Российская Федерация, От Имени Которой Выступает Министерство Промышленности И Торговли Российской Федерации | Method for measuring the speed of surface acoustic waves in a piezo-substrate |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2007114811A (en) | 2008-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20070046479A1 (en) | Concrete maturity monitoring system using passive wireless surface acoustic wave temperature sensors | |
| Buff et al. | Passive remote sensing for temperature and pressure using SAW resonator devices | |
| Borrero et al. | Design and fabrication of SAW pressure, temperature and impedance sensors using novel multiphysics simulation models | |
| CN102042844B (en) | Sound surface wave measuring sensor and parameter analytical method | |
| Myers et al. | Toward integrating structural health monitoring with Internet of Things (IoT) | |
| WO2011121180A1 (en) | Non-linear resonating sensor and a method | |
| RU2001120341A (en) | RADIO INTERVIEWED ELEMENT ON SURFACE ACOUSTIC WAVES WITH OPTIMAL CODE VOLUME | |
| WO2007030440A1 (en) | Passive hybrid lc/saw/baw wireless sensor | |
| CN107329142B (en) | SAW RFID tag ranging method based on multi-frequency phase difference | |
| Kuypers et al. | Maximum accuracy evaluation scheme for wireless SAW delay-line sensors | |
| RU2350982C2 (en) | Passive identification mark on surface acoustic waves with resonator | |
| Varadan et al. | Fabrication, characterization and testing of wireless MEMS-IDT based microaccelerometers | |
| Chernenko et al. | Wireless passive pressure sensor using frequency coded SAW structures | |
| RU2537751C2 (en) | Sensitive element of surface acoustic waves for temperature measurement | |
| RU2494358C1 (en) | Sensitive element for temperature measurement | |
| RU2393444C1 (en) | Detecting element of physical quantity sensor with reflecting structures | |
| CN107228641A (en) | Micro- position sensor based on surface acoustic wave | |
| RU2658596C1 (en) | Sensitive element on surface acoustic waves for measuring pressure of liquids and gases | |
| RU2661288C1 (en) | Method of the objects radio-frequency identification and system for its implementation | |
| Ha et al. | A study of the effect of IDTs and input signals on the amplitude of propagation waves of the passive SAW structure | |
| RU2396526C2 (en) | Deformation detecting element with dispersion structures | |
| Ha et al. | A calculation method of the passive wireless surface acoustic wave sensor response phase | |
| RU2756413C1 (en) | Method and device for temperature monitoring based on passive delay lines on surface acoustic waves with anti-collision function | |
| Hollinger et al. | Wireless surface-acoustic-wave-based humidity sensor | |
| RU2457450C1 (en) | Detecting element for measuring mechanical stress |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20090420 |