RU2350552C1 - Способ очистки трифторида азота - Google Patents
Способ очистки трифторида азота Download PDFInfo
- Publication number
- RU2350552C1 RU2350552C1 RU2007122332/15A RU2007122332A RU2350552C1 RU 2350552 C1 RU2350552 C1 RU 2350552C1 RU 2007122332/15 A RU2007122332/15 A RU 2007122332/15A RU 2007122332 A RU2007122332 A RU 2007122332A RU 2350552 C1 RU2350552 C1 RU 2350552C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- adsorber
- nitrogen trifluoride
- adsorption
- desorption
- ppm
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 41
- QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(dinaphthalen-2-ylamino)phenyl]phenyl]-n-naphthalen-2-ylnaphthalen-2-amine Chemical compound C1=CC=CC2=CC(N(C=3C=CC(=CC=3)C=3C=CC(=CC=3)N(C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C3=CC4=CC=CC=C4C=C3)=CC=C21 QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 35
- 238000000746 purification Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 239000002594 sorbent Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000003795 desorption Methods 0.000 claims abstract description 19
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000002336 sorption--desorption measurement Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 claims description 15
- 239000000047 product Substances 0.000 abstract description 19
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 4
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 abstract description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 abstract description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 abstract description 2
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 abstract description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 abstract 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 abstract 1
- 238000011027 product recovery Methods 0.000 abstract 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 19
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 18
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 12
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 12
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052675 erionite Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 6
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 6
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910018503 SF6 Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 4
- WMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N hexafluoroethane Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)F WMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 229910052680 mordenite Inorganic materials 0.000 description 4
- SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N sulfur hexafluoride Chemical compound FS(F)(F)(F)(F)F SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229960000909 sulfur hexafluoride Drugs 0.000 description 4
- JEWHCPOELGJVCB-UHFFFAOYSA-N aluminum;calcium;oxido-[oxido(oxo)silyl]oxy-oxosilane;potassium;sodium;tridecahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.O.O.O.O.O.O.O.[Na].[Al].[K].[Ca].[O-][Si](=O)O[Si]([O-])=O JEWHCPOELGJVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UNYSKUBLZGJSLV-UHFFFAOYSA-L calcium;1,3,5,2,4,6$l^{2}-trioxadisilaluminane 2,4-dioxide;dihydroxide;hexahydrate Chemical compound O.O.O.O.O.O.[OH-].[OH-].[Ca+2].O=[Si]1O[Al]O[Si](=O)O1.O=[Si]1O[Al]O[Si](=O)O1 UNYSKUBLZGJSLV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910052676 chabazite Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001743 phillipsite Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 CF 4 - 800 ppm Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000013065 commercial product Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000005485 electric heating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000012013 faujasite Substances 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000012025 fluorinating agent Substances 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000012264 purified product Substances 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
Изобретение относится к способу очистки трифторида азота от инертных примесей и тетрафторида углерода адсорбционным способом. Трифторид азота используется в химической промышленности как фторирующий агент и окислитель для горючего, в микроэлектронной промышленности в процессах сухого травления. Способ очистки трифторида азота адсорбцией трифторида азота твердым сорбентом и последующая его десорбция, при этом согласно изобретению стадию адсорбции проводят при температуре от -40°С и выше, десорбцию осуществляют за счет снижения давления между адсорбером и коллектором и/или повышения температуры в десорбере, и циклы адсорбции/десорбции повторяют. Способ проводят, многократно повторяя циклы адсорбции/десорбции, до достижения требуемой чистоты продукта. Способ может быть проведен в каскаде, состоящем из 2 и более адсорберов. В качестве сорбента могут быть использованы цеолиты с размером пор около 5Å. Изобретение позволяет очищать трифторид азота от инертных примесей методом адсорбции с извлечением целевого продукта из адсорбента созданием разности давления на стадиях адсорбции и десорбции. 3 з.п. ф-лы, 1 табл., 1 ил.
Description
Настоящее изобретение относится к технологии получения трифторида азота и, в частности, к способу очистки трифторида азота. Изобретение относится к способу очистки трифторида азота от тетрафторида углерода и других слабосорбируемых примесей адсорбционным способом.
Трифторид азота (NF3) используется в химической промышленности как фторирующий агент и окислитель для горючего. Трифторид азота применяется также и в микроэлектронной промышленности в процессах сухого травления. Использование в микроэлектронной промышленности предъявляет высокие требования к качеству продукта. Так, содержание основного продукта должно быть более 99,99% (об.), а содержание ряда примесей, в том числе слабосорбируемых - менее 5 м.д. (здесь и далее м.д. - миллионные доли (ppm) - или млн-1, объемные). Под слабосорбируруемыми примесями в данной области техники понимают следующие вещества: тетрафторид углерода, азот, кислород, гексафторид серы, гексафторэтан, всегда присутствующие в техническом NF3. Особую сложность вызывает очистка от тетрафторида углерода (CF4) вследствие его близких физических свойств с NF3 - таких как температура кипения и размер молекулы.
Известные способы очистки NF3 от указанных примесей можно разделить на 2 основных: метода: ректификация и адсорбция. Недостатком ректификации является необходимость использования больших колонн с высокими значениями потоков флегмы, что требует значительных затрат на строительство и эксплуатацию таких установок. Более просты в технологическом оформлении способы, относящиеся к методам адсорбционной очистки.
Известен способ очистки NF3 от CF4 адсорбционным методом с использованием цеолитов в качестве сорбентов [патент США 5069887, кл. B01D 53/02, оп.03.12.1991]. В соответствии с указанным способом смесь NF3 с CF4 содержанием последнего до 200 м.д. подвергают адсорбции при температуре не выше 10°С на синтетическом цеолите со средним размером пор около 4,9 Å (ангстрем) и содержании кристаллитной воды в цеолите 1-10% (мас.). Указанный цеолит сорбирует преимущественно NF3 и в меньшей степени CF4. Адсорбцию прекращают, когда концентрация CF4 в потоке, выходящем из адсорбера, становится примерно такой же, как в исходном газе. После этого адсорбер продувают гелием для удаления CF4 из газовой фазы адсорбера и проводят десорбцию NF3 вакуумированием адсорбера с дальнейшим сбором очищенного NF3. Выход очищенного NF3 составляет 90,3%. Недостатком способа является необходимость продувки гелием, что удорожает процесс.
Наиболее близким техническим решением является способ [патент РФ 2206499, кл. С01В 21/08, оп.20.06.2003], по которому NF3 очищают от CF4, причем содержание последнего в исходной смеси составляет до 9000 м.д. Указанную смесь подают в адсорбер, заполненный цеолитом NaКЭ (эрионит) при температуре от -30 до +30°С до насыщения сорбента смесью. Процесс адсорбции ведут с малой скоростью, чтобы не допустить «проскока» NF3 в выходящих из адсорбера газах. Адсорбер продувают подходящим инертным газом, например азотом, с целью удаления CF4, после чего производят десорбцию содержимого адсорбера предварительно подогретым до 60°С азотом. Затем выполняется очистка NF3 от азота. В результате получается NF3 с содержанием CF4 менее 10 м.д. Выход очищенного NF3 составляет до 95,5%.
Недостатком способа является использование большого количества инертного газа для продувки адсорбента, что вызывает необходимость использования дополнительной стадии очистки NF3 от упомянутого инертного газа.
Другим недостатком способа является медленная скорость процесса в целом.
Так, 1300 г смеси на очистку пропускают через адсорбер объемом 56,5 л в течение 24 ч и проводят десорбцию в течение еще 3 ч, то есть производительность процесса составляет 0,85 г/л в час. Таким образом, для промышленного производства требуются адсорберы большого объема.
Задачей изобретения является разработка способа очистки трифторида азота от инертных примесей - тетрафторметана, азота, кислорода, гексафторида серы, гексафторэтана методом адсорбции, без применения дополнительных агентов для извлечения целевого продукта из адсорбента, а только созданием разности давления на стадиях адсорбции и десорбции. Решение этой задачи позволит увеличить производительность и эффективность процесса очистки трифторида азота не только от тетрафторметана, но и от других слабосорбируемых примесей.
Технической сущностью изобретения является осуществление адсорбционной очистки трифторида азота, отличающейся тем, что проводят адсорбцию трифторида азота твердым сорбентом, стадию адсорбции проводят при температуре от -40°С и выше, после чего проводят сдувку слабосорбируемых примесей за счет понижения избыточного давления в адсорбере, а последующую десорбцию трифторида азота осуществляют за счет снижения давления в адсорбере и/или повышения температуры в адсорбере.
Способ проводят, многократно повторяя циклы адсорбции/десорбции, до достижения требуемой чистоты продукта.
Способ может быть проведен в каскаде, состоящем из двух и более адсорберов.
В качестве сорбента используются цеолиты с размером пор приблизительно 5 Å. Способ может быть проведен с использованием в качестве сорбента синтетических цеолитов СаА, NaКЭ (эрионит) и природных цеолитов из группы шабазита, морденита, филлипсита, гейландита, фожазита.
Десорбцию NF3 осуществляют за счет создания пониженного давления (вакуумирования) или повышения температуры в адсорбере или адсорберах. Способ проводят в одном адсорбере, либо в двух и более (в каскаде) адсорберов, с отбором продукта из последнего адсорбера. Можно осуществлять рецикл десорбированного продукта как на предыдущий адсорбер, так и на первый, после прохождения всего каскада адсорберов. Количество адсорберов и стадий адсорбции зависит от желаемой степени чистоты продукта.
Способ проводят следующим образом.
Технический продукт, в основном содержащий NF3, подают в адсорбер. При этом слабосорбируемые примеси (тетрафторметан, азот, кислород, гексафторид серы, гексафторэтан) преимущественно остаются в газовой фазе, а более сорбирующийся NF3 поглощается сорбентом. Газовую фазу, обогащенную тетрафторметаном, азотом, кислородом, гексафторидом серы, гексафторэтаном, сдувают сбросом избыточного давления и таким образом удаляют из адсорбера без использования продувки инертным газом. Удаление газовой фазы осуществляется за счет разницы давления внутри адсорбера и вне его.
Затем десорбируют трифторид азота путем понижения давления в адсорбере или повышения в нем температуры, или обоими способами одновременно. Выходящий из первого адсорбера десорбированный продукт подвергают дополнительной адсорбционной очистке, которую проводят в следующем адсорбере. Использование такого решения позволяет проводить очистку более эффективно.
В качестве сорбентов используют цеолиты с размером пор приблизительно 5 Å, такие как синтетические СаА, NaКЭ (эрионит), или природные цеолиты из группы шабазита, морденита, филлипсита и других. Природные цеолиты имеют подходящий размер и форму пор для избирательной сорбции трифторида азота, но вследствие непостоянства состава для стабильной работы процесса предпочтительным является использование синтетических цеолитов.
Изобретение иллюстрируется примерами, таблицей и чертежом.
Пример 1
Для проведения процесса очистки используют снабженный рубашкой и электрообогревом адсорбер с внутренним диаметром 40 мм и длиной 0,4 м, снабженный термопарами и манометром. Адсорбер заполняют цеолитом СаА сферической формы диаметром 2 мм. Предварительно цеолит был подготовлен к работе продувкой нагретым до 400°С азотом в течение 4 часов с последующим вакуумированием, после чего охлажден до комнатной температуры (20°С). Адсорбер при комнатной температуре заполняют в течение 40 мин трифторидом азота до давления 1,5 ат (здесь и далее «ат» означает атмосферы избыточные) в количестве 28 г. Состав подаваемого в адсорбер трифторида азота: азот - 0,45% (об.), кислород - 0,05% (об.), CF4 - 1000 м.д., SF6 - 50 м.д., C2F6 - 20 м.д., NF3 - остальное. Слабосорбируемые газы сдувают из адсорбера, то есть выпускают упомянутые газы в коллектор, при этом давление в адсорбере понижается до 1,1 ат. После этого проводят десорбцию NF3 конденсацией его в предварительно отвакуумированную и захоложенную жидким азотом емкость, при этом по завершении процесса в адсорбере остается давление 0,01 ат. В емкости собирают 25,6 г трифторида азота состава: азот - 10 м.д., кислород отсутствует, CF4 - 800 м.д., SF6 <5 м.д., C2F6 отсутствует, NF3 - остальное. Предел обнаружения примесей - менее 5 ррт. На этом сорбенте было проведено 15 циклов, в результате сорбент сохранил первоначальную сорбирующую способность.
Пример 2
В рубашку подают теплоноситель от циркуляционного термостата. Используют тот же адсорбер и сорбент, как в примере 1, но температура адсорбера составляет - 40°С. Адсорбер заполняют трифторидом азота состава, аналогичного примеру 1. Всего подают 60,7 г NF3. Сдувку и десорбцию проводят, как в примере 1. Собрано 55 г очищенного NF3 состава: азот 10 м.д., кислорода и прочих газов <5 м.д., CF4 - 500 м.д., SF6 <5 м.д., C2F6 отсутствует, NF3 - остальное. Было проведено 12 циклов, в результате сорбент сохранил первоначальную сорбирующую способность.
Пример 3
Используют тот же адсорбер, как в примере 1, причем в качестве сорбента применяют NaКЭ (эрионит). Адсорбер заполняют трифторидом азота состава, указанного в примере 1. Всего подают 21,2 г исходного трифторида азота.
Сдувку и десорбцию проводят, как в примере 1.
Собрано 19,1 г очищенного NF3 состава: азот - 10 м.д., кислород <5 м.д., CF4 - 50 м.д., SF6 <5 м.д., C2F6 <5 м.д., NF3 - остальное. Было проведено 14 циклов, в результате сорбент сохранил первоначальную сорбирующую способность.
Пример 4
Используют тот же адсорбер, как в примере 1, в качестве сорбента применяют NaКЭ (эрионит). Адсорбер заполняют трифторидом азота состава, указанного в примере 1. Всего подают 21,3 г исходного NF3. Сдувку проводят, как в примере 1. На стадии десорбции в рубашку подают теплоноситель от циркуляционного термостата. Десорбцию проводят при температуре сорбента +80°С. Собрано 20,1 г очищенного трифторида азота состава: азот - 10 м.д., кислород <5 м.д., CF4 - 45 м.д., SF6 - <5 м.д., C2F6 <5 м.д., NF3 - остальное. Было проведено 14 циклов, в результате сорбент сохранил первоначальную сорбирующую способность.
Пример 5
Используют тот же адсорбер, как в примере 1, но применяют в качестве сорбента морденит. Адсорбер заполняют трифторидом азота состава, указанного в примере 1. Всего подают 20,1 г трифторида азота. Сдувку и десорбцию проводят, как в примере 1. Собирают 18,2 г очищенного NF3 состава: азот - 10 м.д., кислород <5 м.д., CF4 - 400 м.д., SF6 <5 м.д., C2F6 <5 м.д., NF3 - остальное. Было проведено 15 циклов, в результате сорбент сохранил первоначальную сорбирующую способность.
Пример 6
Для работы используют установку, представленную на чертеже.
Исходный трифтрид азота имеет состав: азот - 0,45% (об.), кислород - 0,05% (об.), CF4 - 1000 м.д., SF6 - 50 м.д., C2F6 - 20 м.д., NF3 - остальное. Адсорберы 1, 2, 3 емкостью 3,8 л снабжены термопарами и манометрами. Адсорберы заполняют цеолитом NaКЭ (эрионит) сферической формы диаметром зерна 2 мм. Предварительно цеолит готовят к работе продувкой нагретым до 400°С азотом в течение 4 ч с последующим вакуумированием, после чего охлаждают до комнатной температуры. Адсорбер 1 при комнатной температуре по линии 4-5 заполняют трифторидом азота до давления 1,5 ат в течение 10 мин. Затем по линии 6-11 в течение 5-10 с газовую фазу из адсорбера 1 через вакуум-компрессор 19 сдувают в адсорбер 2, после чего проводят десорбцию из адсорбера 1 путем его вакуумирования вакуум-компрессором 20 до остаточного давления 0,01-0,03 ат в течение 20 мин. Десорбированный продукт подают в адсорбер 3 по линии 7-8. Количество десорбированного продукта составляет 80-90% (мас.) от количества поданного продукта в адсорбер 1, затем цикл заполнения, сдувки и десорбции повторяют. При достижении в адсорбере 2 давления 1,3 ат газовую фазу по линии 12 сдувают до достижения в адсорбере 2 атмосферного давления и затем проводят десорбцию вакуумированием вакуум-компрессором 21. Десорбированный продукт по линии 11-13-5 подают в адсорбер 1. В адсорбер 2 набирают продукт, образовавшийся в результате проведения 4-5 циклов адсорбция-десорбция в адсорбере 1. При достижении в адсорбере 3 избыточного давления 1,5 ат газовую фазу по линии 16-13-5 вакуум-компрессором 21 подают в адсорбер 1, затем проводят десорбцию из адсорбера 3 вакуумированием вакуум-компрессором 22. Десорбированный продукт по линии 17-18 выводят из системы и собирают как товарный продукт. В адсорбер 3 набирают продукт, образовавшийся в результате проведения десорбции из адсорбера 1.
Согласованная работа трех адсорберов осуществляется в соответствии с предварительно составленной временной диаграммой. В случае несогласования работы адсорберов 1 и 3 продукт подают вакуум-компрессором 20 в емкость 23 по линии 9 и затем из нее отбирают по линии 10. В случае несогласования работы адсорберов 1, 2 продукт подают вакуум-компрессором 21 в емкость 24 по линии 14, и затем из нее отбирают по линии 15.
Всего за 7,5 часов было подано 1245 г подлежащего очистке трифторида азота. Адсорбер 1 при этом проработал 15 циклов. Получено 1197 г очищенного продукта состава: азот 10 м.д., кислород <5 м.д., CF4 - 10 м.д., SF6 <5 м.д., C2F6 <5 м.д. NF3 - остальное. Было проведено 50 циклов, в результате сорбент сохранил первоначальную сорбирующую способность.
Выход очищенного NF3 составил 96,5%. Производительность установки составила 14 г/л в час.
| Таблица 1. | ||||||||
| Примеры проведения способа очистки трифторида азота на различных сорбентах | ||||||||
| № примера | Сорбент | Температура °С (Исходн.) | Состав трифторида азота до очистки м.д. | |||||
| N2 | O2 | CF4 | SF6 | C2F6 | ||||
| 4500 | 500 | 1000 | 50 | 20 | ||||
| Состав трифторида азота после очистки, м.д. | Колич. циклов | |||||||
| 1 | СаА | 20 | 10 | <5 | 800 | <5 | <5 | 15 |
| 2 | СаА | -40 | 10 | <5 | 500 | <5 | <5 | 12 |
| 3 | NaКЭ-эрионит | -35 | 10 | <5 | 50 | <5 | <5 | 14 |
| 4 | NaКЭ-эрионит | 20, 80 - стадия десорбции | 10 | <5 | 45 | <5 | <5 | 14 |
| 5 | Морденит | 20 | 10 | <5 | 400 | <5 | <5 | 15 |
| 6 | NaКЭ-эрионит | 20 | 10 | <5 | 10 | <5 | <5 | 50 |
Claims (4)
1. Способ очистки трифторида азота адсорбцией твердым сорбентом, отличающийся тем, что проводят адсорбцию трифторида азота при температуре от -40°С и выше, после чего проводят сдувку слабо сорбируемых примесей за счет понижения избыточного давления в адсорбере, а последующую десорбцию трифторида азота осуществляют за счет снижения давления и/или повышения температуры в адсорбере.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что способ проводят, многократно повторяя циклы адсорбции/десорбции, до достижения требуемой чистоты продукта.
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что способ проводят в каскаде, состоящем из 2 и более адсорберов.
4. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что в качестве сорбента используются цеолиты с размером пор около 5Å.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007122332/15A RU2350552C1 (ru) | 2007-06-18 | 2007-06-18 | Способ очистки трифторида азота |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2007122332/15A RU2350552C1 (ru) | 2007-06-18 | 2007-06-18 | Способ очистки трифторида азота |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2350552C1 true RU2350552C1 (ru) | 2009-03-27 |
Family
ID=40542788
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2007122332/15A RU2350552C1 (ru) | 2007-06-18 | 2007-06-18 | Способ очистки трифторида азота |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2350552C1 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2744357C1 (ru) * | 2020-07-14 | 2021-03-05 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Федеральный исследовательский центр «Институт катализа им. Г.К. Борескова Сибирского отделения Российской академии наук» (Институт катализа СО РАН, ИК СО РАН) | Способ очистки трифторида азота от примеси тетрафторида углерода |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5069887A (en) * | 1990-01-10 | 1991-12-03 | Central Glass Company, Limited | Method of refining nitrogen trifluoride gas |
| RU2095123C1 (ru) * | 1993-10-06 | 1997-11-10 | Эр Продактс Энд Кемикалз, Инк. | Адсорбционный способ очистки сырой газовой смеси высокого давления в отношении ее менее прочно адсорбированного компонента |
| RU2206499C1 (ru) * | 2002-02-26 | 2003-06-20 | Игумнов Сергей Михайлович | Способ очистки газообразного трифторида азота |
-
2007
- 2007-06-18 RU RU2007122332/15A patent/RU2350552C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5069887A (en) * | 1990-01-10 | 1991-12-03 | Central Glass Company, Limited | Method of refining nitrogen trifluoride gas |
| RU2095123C1 (ru) * | 1993-10-06 | 1997-11-10 | Эр Продактс Энд Кемикалз, Инк. | Адсорбционный способ очистки сырой газовой смеси высокого давления в отношении ее менее прочно адсорбированного компонента |
| RU2206499C1 (ru) * | 2002-02-26 | 2003-06-20 | Игумнов Сергей Михайлович | Способ очистки газообразного трифторида азота |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Химическая энциклопедия. - М.: Большая Российская энциклопедия, 1998, т.1, с.43. ДАНИЕЛЬС Ф., АЛЬБЕРТИ Р. Физическая химия. - М.: Высшая школа, 1967, с.58. * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2744357C1 (ru) * | 2020-07-14 | 2021-03-05 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Федеральный исследовательский центр «Институт катализа им. Г.К. Борескова Сибирского отделения Российской академии наук» (Институт катализа СО РАН, ИК СО РАН) | Способ очистки трифторида азота от примеси тетрафторида углерода |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5417742A (en) | Removal of perfluorocarbons from gas streams | |
| US8398747B2 (en) | Processes for purification of acetylene | |
| US5488185A (en) | Process for the production of ethanol and isopropanol | |
| JP2011506065A (ja) | 二酸化炭素を回収するためのプラント及び方法 | |
| TW555587B (en) | Process for the decarbonation of gas flows using zeolite adsorbents | |
| NZ280470A (en) | Purifying air; method of removing carbon dioxide from gas streams by subjecting the stream to adsorption using type x zeolite; method of separating air by cryogenic distillation | |
| RU2707767C1 (ru) | Процесс криогенной адсорбции для извлечения ксенона | |
| JP2010172804A5 (ru) | ||
| JPH0798648B2 (ja) | Ｎｆ３ガスの精製方法 | |
| US5069690A (en) | Process for kinetic gas-solid chromatographic separations | |
| JP2003286013A (ja) | ガス状三フッ化窒素の精製法 | |
| JPS63278520A (ja) | 改良された吸着精製方法 | |
| WO1990011117A1 (fr) | Procede permettant d'extraire efficacement un gaz adsorbable d'un gaz le contenant en faible concentration | |
| CN101626831A (zh) | 一氧化碳吸附剂、气体纯化方法及气体纯化装置 | |
| US5500035A (en) | Pressure swing adsorption process for chlorine plant offgas | |
| JP2008537720A (ja) | 三フッ化窒素の精製 | |
| JP4070399B2 (ja) | ヘリウムガスの精製方法 | |
| RU2350552C1 (ru) | Способ очистки трифторида азота | |
| KR860001167B1 (ko) | 공기 분리방법 | |
| JPS6137970B2 (ru) | ||
| EP0744210A1 (en) | Purification of gas streams | |
| JPH01176416A (ja) | 燃焼排ガスの清浄化方法 | |
| JP2023097966A (ja) | 圧力変動吸着式ガス分離装置 | |
| EP0648728A1 (en) | Process for the production of ethanol and isopropanol | |
| JPS621767B2 (ru) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20090619 |