[go: up one dir, main page]

RU2341805C1 - Компенсационный акселерометр - Google Patents

Компенсационный акселерометр Download PDF

Info

Publication number
RU2341805C1
RU2341805C1 RU2007125219/28A RU2007125219A RU2341805C1 RU 2341805 C1 RU2341805 C1 RU 2341805C1 RU 2007125219/28 A RU2007125219/28 A RU 2007125219/28A RU 2007125219 A RU2007125219 A RU 2007125219A RU 2341805 C1 RU2341805 C1 RU 2341805C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
resistor
amplifier
temperature
accelerometer
circuit
Prior art date
Application number
RU2007125219/28A
Other languages
English (en)
Inventor
Евгений Алексеевич Мокров (RU)
Евгений Алексеевич Мокров
Николай Александрович Макаровец (RU)
Николай Александрович Макаровец
Николай Александрович Платонов (RU)
Николай Александрович Платонов
Антонина Алексеевна Папко (RU)
Антонина Алексеевна Папко
Original Assignee
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт физических измерений"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт физических измерений" filed Critical Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-исследовательский институт физических измерений"
Priority to RU2007125219/28A priority Critical patent/RU2341805C1/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2341805C1 publication Critical patent/RU2341805C1/ru

Links

Images

Landscapes

  • Indication And Recording Devices For Special Purposes And Tariff Metering Devices (AREA)

Abstract

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для измерения ускорений в системе управления движением реактивного снаряда системы залпового огня. Компенсационный акселерометр содержит инерционный элемент (1), колебательную систему (2), преобразователь перемещения (3), усилитель цепи уравновешивания (4), обратный преобразователь (5), узел подключения масштабирующего резистора (6), термокомпенсирующий усилитель (7). Оконечный усилитель цепи прямого преобразования (4) содержит операционный усилитель DА1, инвертирующий вход которого подключен к электрическому соединению резисторов R1, R2, а выход - к обратному преобразователю (5), содержащему обмотку с электрическим сопротивлением г и паразитными индуктивностью L и емкостью С1 и узлом подключения масштабирующего резистора (6), состоящим из резистора RM, соединительных проводников rj и параллельно подключенного к ним корректирующего конденсатора Cдоп. Точка соединения узлов (5) и (6) подключена к термокомпенсирующему усилителю (7), содержащему операционный усилитель DA2, цепь его отрицательной обратной связи в виде резистора R3 и цепи, содержащей последовательный регулирующий резистор RП и параллельное соединение катушки датчика температуры R0(T) и шунтирующего резистора RШ. Техническим результатом является повышение временной стабильности. 4 ил.

Description

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для прецизионного измерения ускорений в системах коррекции дальности полета реактивных снарядов.
Известен компенсационный акселерометр [1], содержащий инерционный элемент, механическую колебательную систему, преобразователь перемещения в электрический сигнал, подключенный через предварительный усилитель к оконечному усилителю цепи прямого преобразования, выход которого соединен с первой обмоткой обратного преобразователя, и канал демпфирования, содержащий подключенный к выходу предварительного усилителя дифференцирующий усилитель и вторую обмотку обратного преобразователя канала демпфирования, усилитель постоянного тока, вход которого подключен к выходу дифференцирующего усилителя, дополнительный усилитель постоянного тока, вход которого подключен к выходу дифференцирующего усилителя, а выход к второй обмотке обратного преобразователя канала демпфирования.
Недостатком акселерометра является сложность конструкции чувствительного элемента из-за необходимости выполнения и подключения к выходу усилителя демпфирующей обмотки, а также уменьшение эффективности преобразования электрического тока в уравновешивающую силу. Последний недостаток приводит либо к увеличению тока компенсации, либо к уменьшению верхней границы диапазона измерений. Другими недостатками акселерометра являются сложность регулирования динамических характеристик и усложнение схемы акселерометра, связанное с введением к нее двух дополнительных усилителей.
Известен акселерометр [2], содержащий корпус, установленную на нем первую пластину, имеющую внешнюю подвижную часть, внутреннюю неподвижную часть и соединяющие их две упругие перемычки, оси изгиба которых образуют ось упругого шарнира, дифференциальный емкостный преобразователь положения, магнитоэлектрический силовой преобразователь с магнитом дисковой формы на корпусе и кольцевой компенсационной катушкой, груз, усилитель, газовый демпфер, характеристики которого изменяются путем изменения давления во внутренней полости акселерометра.
Недостатком указанного акселерометра является значительная сложность регулирования давления в полости акселерометра с целью достижения заданных динамических характеристик и виброустойчивости.
Известен акселерометр [3], содержащий чувствительный элемент, датчик положения, магнитоэлектрический силовой преобразователь с постоянным магнитом и компенсационной катушкой, первый вывод которой подсоединен к выходу усилителя, соединенные последовательно своими первыми выводами первый и второй масштабирующие резисторы, логическое устройство, управляющее работой реле, контакты которого в зависимости от значения измеряемого ускорения замыкают или размыкают один из масштабирующих резисторов, изменяя тем самым коэффициент преобразования акселерометра.
Существенным недостатком этого устройства является неудовлетворительная временная стабильность выходного сигнала вследствие увеличения разрешающей способности за счет уменьшения глубины уравновешивания. Кроме того, при протекании тока, пропорционального измеряемому ускорению, по масштабирующим резисторам, контактам реле и электрическим проводникам, соединяющим указанные элементы из-за различия сечений и материалов, из которых выполнены проводники, контакты реле и выводы масштабирующих резисторов, возникают термо-ЭДС и эффект Пельтье [4], увеличивающие нелинейность функции преобразования и способствующие увеличению нестабильности выходного сигнала и акселерометра по мере возрастания измеряемого ускорения. Общим недостатком рассмотренных устройств является значительная систематическая составляющая температурной погрешности из-за изменения индукции в зазоре магнитной системы магнитоэлектрического преобразователя.
В свою очередь нестабильность выходного сигнала ограничивает возможности улучшения метрологических характеристик акселерометра за счет ухудшения качества введения поправок в результат измерений на систематическое влияние различных эксплуатационных факторов.
Наиболее близким техническим решением к заявляемому является компенсационный акселерометр [5], содержащий инерционный элемент, механическую колебательную систему, датчик перемещения, обратный преобразователь, оконечный усилитель, выход которого соединен с последовательным соединением зашунтированной конденсатором обмотки обратного преобразователя и масштабирующего резистора, резистор цепи отрицательной обратной связи усилителя, один вывод которого подключен к его инвертирующему входу, а другой вывод к точке соединения обмотки обратного преобразователя и сигнального вывода масштабирующего резистора.
Существенными недостатками прототипа являются ограниченные возможности по формированию требуемых динамических характеристик и виброустойчивости из-за низкой устойчивости оконечного усилителя тока вследствие включения в цепь его прямого преобразования или цепь от преобразователя перемещения датчика до точки соединения обмотки и масштабирующего резистора, катушки обратного преобразователя с паразитными параметрами в виде активного сопротивления, корректирующей емкости и неучтенной в нем индуктивности, образующих высокочастотный колебательный контур. Указанное включение способствует появлению на выходе оконечного усилителя высокочастотной генерации значительной амплитуды, приводящей к потере работоспособности как самого усилителя, так и акселерометра в целом.
Действительно, уточненная передаточная функция (ПФ) усилителя цепи уравновешивания устройства - прототипа W(p), определенная из [6] с учетом приведенной в нем формулы (7.14) и информации, представленной в таблицах I и III приложения, равна
Figure 00000002
Выражение (1) получено с учетом следующих допущений, обоснованных в [6]:
1) операционный усилитель имеет ПФ вида А/τр+1, где А - коэффициент усиления микросхемы усилителя, τ - характеризующая инерционность усилителя постоянная времени, соответствующая частоте среза или частоте, на которой амплитудно-частотная характеристика указанной микросхемы имеет затухание на уровне минус 3 dB, p - оператор Лапласа;
2) схема электрическая усилителя цепи уравновешивания устройства-прототипа, приведенная в его описании, классифицируется как параллельный преобразователь «напряжение ток»;
3) с целью обеспечения высокой глубины уравновешивания в нем реализовано условие R2>>R1, R2>>R3;
4) ПФ полного сопротивления катушки обратного преобразователя Z(p) с учетом паразитных индуктивностей L, емкости С и активного сопротивления r равна
Figure 00000003
(см. узел 2 на фиг.1)
Судя по виду характеристического уравнения (знаменателю) выражения (1), оно имеет относительно оператора р третий порядок, что соответствует неустойчивому состоянию усилителя, наблюдаемому в действительности.
Для обеспечения устойчивой работы усилителя необходимо в соответствии с рекомендациями [7] снизить порядок характеристического уравнения, например подключением корректирующего конденсатора Ск параллельно резистору R2. В этом случае ПФ усилителя станет равной
Figure 00000004
Из выражения (2) видно, что введение сомножителя (τкр+1) в его знаменатель снижает порядок характеристического уравнения на единицу, что соответствует устойчивому состоянию усилителя. Однако при этом усилитель в целом приобретает инерционные свойства, что подтверждается наличием этого же сомножителя во второй части выражения. Согласно [8] введение инерционного звена в цепь прямого преобразования за пределами механической колебательной системы приводит к потере виброустойчивости акселерометра.
Проявление эффекта усиливается при увеличении диапазона измерений, связанном с уменьшением сопротивления масштабирующего резистора.
Целями предлагаемого изобретения являются повышение стабильности метрологических характеристик, уменьшение систематической составляющей температурной погрешности акселерометра, обеспечение заданных динамических характеристик и виброустойчивости.
Поставленная цель достигается тем, что компенсационный акселерометр, содержащий инерционный элемент, колебательную систему, датчик перемещения, усилитель цепи уравновешивания, выход которого соединен с последовательно соединенными обмоткой обратного преобразователя и масштабирующим резистором, резистор цепи отрицательной обратной связи усилителя, один вывод которого подключен к его инвертирующему входу, снабжен дополнительными усилителем, резистором его обратной связи и подключенной к его инвертирующему входу цепью, содержащей параллельное включение медной обмотки датчика температуры и шунтирующего ее резистора RШ, соединенной последовательно с резистором RП, а также дополнительным конденсатором СДОП, подключенным параллельно к масштабирующему резистору, а свободный вывод резистора отрицательной обратной связи усилителя цепи уравновешивания подключен к его выходу, полное электрическое сопротивление
Figure 00000005
цепей подключения масштабирующего резистора RM выбирается из условия
Figure 00000006
а электрическое сопротивление резисторов RП, RШ и емкости конденсатора Сдоп. определяются из выражений
Figure 00000007
Figure 00000008
Figure 00000009
где γ - назначенное значение составной части общей погрешности;
R0 - электрическое сопротивление медной катушки при температуре, соответствующей середине температурного интервала;
αM, αR - температурные коэффициенты сопротивлений резистора RП и медной катушки R0;
n - установленное отношение температурных приращений сопротивлений RП и R0 (n>1);
ΔТ - приращение температур относительно середины интервала температуры, воздействующей на акселерометр;
D, ω0 - заданные значения относительного коэффициента демпфирования и собственной частоты акселерометра.
На фиг.1 показана схема предлагаемого компенсационного акселерометра, где 1 - инерционный элемент, 2 - колебательная система, 3 - преобразователь перемещения, 4 - усилитель цепи уравновешивания, 5 - обратный преобразователь, 6 - узел подключения масштабирующего резистора, 7 - термокомпенсирующий усилитель.
На фиг.2 представлена принципиальная электрическая схема включения оконечного усилителя цепи прямого преобразования 4, содержащего операционный усилитель DA1, инвертирующий вход которого подключен к электрическому соединению резисторов R1, R2, а выход - к обратному преобразователю 5, содержащему обмотку с электрическим сопротивлением r и паразитными индуктивностью L и емкостью С1 и узлом подключения масштабирующего резистора 6, состоящим из резистора RM, соединительных проводников rj и параллельно подключенного к ним корректирующего конденсатора Сдоп. Точка соединения узлов 5 и 6 подключена к термокомпенсирующему усилителю 7, содержащему операционный усилитель DA2, цепь его отрицательной обратной связи в виде резистора R3 и цепи, содержащей последовательный регулирующий резистор RП и параллельное соединение катушки датчика температуры R0(T) и шунтирующего резистора RШ.
На фиг.3, 4 показаны номограммы, представляющие собой графическое отображение математического описания поведения термокомпенсирующего усилителя и позволяющие определить электрические сопротивления резисторов, обеспечивающих требуемую компенсацию температурной погрешности акселерометра.
Акселерометр работает следующим образом. При воздействии ускорения на инерционный элемент, частью которого является катушка обратного преобразователя, возникает сила, преобразуемая колебательной системой в перемещение и датчиком перемещения в электрический сигнал. Этот сигнал усиливается в предварительном усилителе и с его выхода подается на оконечный усилитель цепи прямого преобразования 1 акселерометра, на выходе которого включена обмотка обратного преобразователя 2. Выходной сигнал оконечного усилителя вызывает протекание тока по обмотке 2, узлу 3 в виде масштабирующего резистора 3 и подключенному к нему параллельному конденсатору в случае, если измеряемое ускорение изменяется по частоте, или на вход акселерометра действует также вибрационное ускорение. Взаимодействие токов с полем постоянного магнита приводит к возникновению сил, стремящихся возвратить инерционный элемент в исходное состояние.
В соответствии с принципом действия акселерометра и его узлов 1, 2, 3 ток iк(р)ток, протекающий с выхода цепи прямого преобразования 1 по обратному преобразователю 2 и цепям подключения масштабирующего резистора г, пропорционален измеряемому ускорению.
Уменьшение электрических сопротивлений проводников rj до установленного уровня приводит к тому, что влияние их перегрева, изменяющиеся в зависимости от измеряемого ускорения током iк(р), на изменение электрических сопротивлений и значения термо-ЭДС, возникающих в точках а-а', в-в', с-с', становится пренебрежительно малым, приводя к существенному уменьшению нестабильности выходного сигнала акселерометра в точке электрического соединения узлов 2 и 3 фиг.1.
Имеющее систематический характер влияние изменения тока компенсации iк(р), вызванное нестабильностью индукции в зазоре магнитоэлектрического преобразователя при изменении температуры окружающей среды, уменьшается за счет введения в предлагаемый акселерометр узла 4 фиг.1, содержащего операционный усилитель ДА2, резистор его обратной связи R3 и термозависимую цепь, состоящую из последовательного регулирующего резистора RП и параллельно включенных медной обмотки датчика температуры с номинальным сопротивлением R0 и регулирующего резистора RШ.
Тип примененного датчика температуры не имеет принципиального значения, если временная стабильность его метрологических характеристик и линейность функции преобразования не уступают аналогичным параметрам датчика из медного провода.
В соответствии с электрической схемой узла 4 значение компенсируемой погрешности Kt в интервале от изменения температуры окружающей среды от минус ΔТ до +ΔТ равно
Figure 00000010
Условие выбора электрического сопротивления резистора RП может быть получено из анализа варианта исполнения узла 4 без резистора RШ, показывающего, что схема прекращает выполнять свои функции в том случае, когда температурные приращения сопротивлений резистора ΔRП=±RПαRΔТ становятся равными температурным приращениям сопротивления медной катушки ΔR0=R04αMΔT. Если задаться условием, при котором значение ΔR0 в n раз превышает возможное предельное значение ΔRП, то можно определить приемлемое значение электрического сопротивления RП по формуле
Figure 00000011
Необходимость ограничения тока через датчик температуры, сохранения эффективности и точности процесса термокомпенсации не позволяет проводить дальнейшие изменения резистора RП, значению которого соответствует фиксированная величина Кt, доведение которой до требуемого обеспечивается плавным изменением электрического сопротивления резистора RШ. Из-за сложности аналитического определения функции RШ=f(Kt) из выражения (3) требуемое значение резистора RШ определяют по графикам, полученным путем моделирования на ЭВМ и представленным на фиг.2, фиг.3.
Из них видно, что пределы компенсируемой температурной погрешности для различных значений RШ и при фиксированном значении RП колеблются в пределах от 0,04 до 2%/100°С, позволяющих решать реальные задачи термокомпенсации.
Процедура термокомпенсации состоит из двух этапов. На первом этапе экспериментально определяется температурная погрешность акселерометра KΣ. Если KΣ не удовлетворяет заданным требованиям, то по графикам, приведенным на фиг.2 или фиг.3, определяется значение компенсирующей погрешности Kt0, соответствующей установленным в акселерометре сопротивлениям резисторов RП, RШ, R0. По сумме значений КΣ и Kt0, с учетом знака КΣ определяется фактическое значение погрешности KA=KΣ+|Kt0|, используемое далее для определения требуемого значения компенсирующей погрешности Kt и соответствующее ему сопротивление резистора RШ. На втором этапе экспериментально подтверждается ожидаемое уменьшение общей температурной погрешности акселерометра.
Формирование заданных динамических характеристик и виброустойчивость акселерометра обеспечены путем выведения обратного преобразователя 2 из состава узла 1 фиг.1, а также введением в узел 3 дополнительного конденсатора Сдоп. При этом усилитель узла 1 приобретает абсолютную устойчивость за счет изменения порядка, описывающего его работу дифференциального уравнения и отделения от его выхода низкоомной резистивной RM и емкостной нагрузок Сдоп. Действительно в этом случае предлагаемая структура построения усилителя цепи уравновешивания классифицируется в соответствии с [6] как инвертор напряжения, ПФ которого равна
Figure 00000012
Анализируя выражение (4), видим, что его характеристическое уравнение имеет первый порядок, свойственный абсолютно устойчивым системам, не требующим никаких мер по обеспечению повышения запасов устойчивости при сколь угодном увеличении отношения R2/R1. Кроме того, усилитель является практически безынерционным звеном, обеспечивающим широкие возможности формирования заданных динамических характеристик и виброустойчивости.
В то же время указанный контур не оказывает значимого влияния на устойчивость низкочастотной цепи уравновешивания акселерометра, включающей в себя узлы 1, 2 и 3 фиг.1. Вследствие этого предложенные решения обеспечивают выполнение принципов реализации структуры построения низкочастотного виброустойчивого акселерометра. Одновременно обеспечиваются также широкие возможности по формированию динамических характеристик компенсационного акселерометра, собственная частота ω0 которого плавно регулируется изменением коэффициента усиления оконечного усилителя ДА1, а коэффициент демпфирования D регулируется изменением произведения собственной частоты и емкости корректирующего конденсатора Сдоп.
Таким образом, предлагаемое решение по обеспечению временной стабильности позволяет с высокой точностью скомпенсировать погрешность акселерометра в условиях воздействия изменений температуры окружающей среды, а уменьшение инерционности оконечного усилителя цепи прямого преобразования позволяет не только увеличить точность акселерометра за счет повышения глубины уравновешивания, но и обеспечивает широкие возможности формирования заданных динамических характеристик и повышение виброустойчивости.
Эффективность предлагаемых решений подтверждена разработками, серийным выпуском акселерометров в ФГУП "НИИ физических измерений" и результатами натурных испытаний.
Источники информации
1. А.с. СССР № 1775671, МКИ5 G01Р 15/08. Компенсационный акселерометр / А.А.Папко, В.Н.Колганов, С.Н.Вяткин, Т.И.Балашова. - №4916740/10; заявл. 05.03.91; опубл. 15.11.92, Бюл. №42. - 3 с.: ил.
2. Пат. РФ №2193209, МПК7, G01Р 15/13. Компенсационный акселерометр / Баженов В.И., Будкин В.П., Вдовенко И.В., Джанджгава Г.И., Рязанов В.А., Соловьев; заявитель и патентообладатель Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро". - №2001123261/28; заявл. 21.08.01; опубл. 20.11.02.
3. Пат. РФ №2155965, МПК7, G01Р 15/13. Компенсационный акселерометр / Баженов В.И., Бражник В.М., Краснов В.В.; заявитель и патентообладатель Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро". №99115633/28; заявл. 19.07.99; опубл. 10.09.00.
4. Бельцев А.В., Богатов В.В., Каржавин А.В. и др. Термоэлектрические преобразователи температуры. Теория, практика, развитие // Приборы, 2004, №3(45), с.53-63.
5. Пат. РФ №2138822, МПК6, G01Р 15/08. Компенсационный акселерометр / Колганов В.Н., Папко А.А., Малкин Ю.М.; заявитель и патентообладатель Научно-исследовательский институт физических измерений. №97108268/28; заявл. 20.05.97; опубл. 27.09.99, Бюл. №27, 4 с.: ил.
6. Достал И. Операционные усилители. М.: Мир, 1982, 512 с.
7. Бесекерский В. А., Попов Е. П. Теория систем автоматического регулирования. М.: Наука, 1975, 767 с.

Claims (1)

  1. Компенсационный акселерометр, содержащий инерционный элемент, колебательную систему, датчик перемещения, усилитель цепи уравновешивания, выход которого соединен с последовательно соединенными обмоткой обратного преобразователя и масштабирующим резистором, резистор цепи отрицательной обратной связи усилителя, один вывод которого подключен к его инвертирующему входу, отличающийся тем, что он снабжен дополнительными усилителем, резистором его обратной связи и подключенной к его инвертирующему входу цепью, содержащей параллельное включение медной обмотки датчика температуры и шунтирующего ее резистора RШ, соединенной последовательно с резистором RП, а также дополнительным конденсатором Cдоп, подключенным параллельно к масштабирующему резистору, а свободный вывод резистора отрицательной обратной связи усилителя цепи уравновешивания подключен к его выходу, полное, электрическое сопротивление
    Figure 00000013
    цепей подключения масштабирующего резистора RM выбирается из условия
    Figure 00000014
    а электрическое сопротивление резисторов RП, RШ и емкости конденсатора Сдоп определяются из выражений
    Figure 00000015
    Figure 00000016
    Figure 00000017
    где γ - назначенное значение составной части общей погрешности;
    R0 - электрическое сопротивление медной катушки при температуре, соответствующей середине температурного интервала;
    αМ, αR - температурные коэффициенты сопротивлений резистора RП и медной катушки R0;
    n - установленное отношение температурных приращений сопротивлений RП и R0 (n>1);
    ΔT - приращение температур относительно середины интервала температуры, воздействующей на акселерометр;
    D, ω0 - заданные значения относительного коэффициента демпфирования и собственной частоты акселерометра.
RU2007125219/28A 2007-07-03 2007-07-03 Компенсационный акселерометр RU2341805C1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007125219/28A RU2341805C1 (ru) 2007-07-03 2007-07-03 Компенсационный акселерометр

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU2007125219/28A RU2341805C1 (ru) 2007-07-03 2007-07-03 Компенсационный акселерометр

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2341805C1 true RU2341805C1 (ru) 2008-12-20

Family

ID=40375288

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007125219/28A RU2341805C1 (ru) 2007-07-03 2007-07-03 Компенсационный акселерометр

Country Status (1)

Country Link
RU (1) RU2341805C1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2528119C2 (ru) * 2012-12-26 2014-09-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") Термоинвариантный измеритель линейного ускорения
RU2536855C1 (ru) * 2013-05-22 2014-12-27 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Компенсационный акселерометр
RU2615221C2 (ru) * 2015-04-30 2017-04-04 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") Способ обеспечения виброустойчивости маятникового акселерометра линейных ускорений с цифровой обратной связью и виброустойчивый маятниковый акселерометр

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5396439A (en) * 1991-08-20 1995-03-07 Nec Corporation Acceleration sensing device having negative feedback loop
RU2138822C1 (ru) * 1997-05-20 1999-09-27 Научно-исследовательский институт физических измерений Компенсационный акселерометр
RU2155965C1 (ru) * 1999-07-19 2000-09-10 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" Компенсационный акселерометр
JP2001308652A (ja) * 2000-04-25 2001-11-02 Murata Mfg Co Ltd 電荷型センサ用増幅回路
RU2193209C1 (ru) * 2001-08-21 2002-11-20 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" Компенсационный акселерометр

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5396439A (en) * 1991-08-20 1995-03-07 Nec Corporation Acceleration sensing device having negative feedback loop
RU2138822C1 (ru) * 1997-05-20 1999-09-27 Научно-исследовательский институт физических измерений Компенсационный акселерометр
RU2155965C1 (ru) * 1999-07-19 2000-09-10 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" Компенсационный акселерометр
JP2001308652A (ja) * 2000-04-25 2001-11-02 Murata Mfg Co Ltd 電荷型センサ用増幅回路
RU2193209C1 (ru) * 2001-08-21 2002-11-20 Открытое акционерное общество "Раменское приборостроительное конструкторское бюро" Компенсационный акселерометр

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2528119C2 (ru) * 2012-12-26 2014-09-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") Термоинвариантный измеритель линейного ускорения
RU2536855C1 (ru) * 2013-05-22 2014-12-27 Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" Компенсационный акселерометр
RU2615221C2 (ru) * 2015-04-30 2017-04-04 Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственный центр автоматики и приборостроения имени академика Н.А. Пилюгина" (ФГУП "НПЦАП") Способ обеспечения виброустойчивости маятникового акселерометра линейных ускорений с цифровой обратной связью и виброустойчивый маятниковый акселерометр

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4336718A (en) Control circuit for accelerometer
Depari et al. Autobalancing analog front end for full-range differential capacitive sensing
JP2936286B2 (ja) 精密容量性トランスデューサ回路と方法
CA2196712C (en) Resistance bridge and its use in conversion systems
JPH0719807A (ja) 歪量検出装置並びにその駆動回路及び増幅回路
US6075754A (en) Single-coil force balance velocity geophone
KR20100010930A (ko) 아날로그 리셋을 구비하는 용량성 마이크로공학적 센서용 작동 방법 및 스위치 배열
US20240272214A1 (en) Circuits and methods for precise capacitance measurement
CN108732414B (zh) 电流传感器及断路器
RU2341805C1 (ru) Компенсационный акселерометр
EP1424562B1 (en) Sensor capacity sensing apparatus and sensor capacity sensing method
CN116087557A (zh) 一种自动优化调整性能状态的静电加速度计
Sisinni et al. Full-analog parasitic capacitance compensation for AC-excited differential sensors
Nihtianov et al. An interface circuit for RC impedance sensors with a relaxation oscillator
EP3687071B1 (en) Circuit for sensing an analog signal generated by a sensor, corresponding electronic system and method
Lei et al. An oversampled capacitance-to-voltage converter IC with application to time-domain characterization of MEMS resonators
RU2107301C1 (ru) Компенсационный акселерометр
RU2566655C1 (ru) Способ измерения кажущегося ускорения и пьезоэлектронный акселерометр для его реализации
RU191613U1 (ru) Схема измерения параметров входных и передаточных характеристик операционных усилителей и компараторов напряжения
RU2638919C1 (ru) Электронная система компенсационного акселерометра
RU2096785C1 (ru) Компенсационный акселерометр
JP7407617B2 (ja) 加速度測定装置および加速度測定方法
EP3803314B1 (en) Measuring system and method for measuring the displacement of at least one point of a bridge
RU2536855C1 (ru) Компенсационный акселерометр
Peddiraju et al. Performance Comparison of Instrumentation Amplifiers–A Beginner’s View

Legal Events

Date Code Title Description
PD4A Correction of name of patent owner