RU2288769C1 - Способ разделения смесей летучих веществ (варианты) - Google Patents
Способ разделения смесей летучих веществ (варианты) Download PDFInfo
- Publication number
- RU2288769C1 RU2288769C1 RU2005120421/15A RU2005120421A RU2288769C1 RU 2288769 C1 RU2288769 C1 RU 2288769C1 RU 2005120421/15 A RU2005120421/15 A RU 2005120421/15A RU 2005120421 A RU2005120421 A RU 2005120421A RU 2288769 C1 RU2288769 C1 RU 2288769C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- target
- selection
- separation
- target product
- fractions
- Prior art date
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 61
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000000926 separation method Methods 0.000 title claims abstract description 26
- 239000003039 volatile agent Substances 0.000 title abstract 2
- 238000004821 distillation Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims description 8
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims description 7
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims 1
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical class Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 10
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 abstract description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 abstract description 2
- 150000004678 hydrides Chemical class 0.000 abstract description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 abstract 1
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000005194 fractionation Methods 0.000 description 7
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 4
- 238000000998 batch distillation Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 6-oxabicyclo[3.2.1]oct-3-en-7-one Chemical compound C1C2C(=O)OC1C=CC2 TVEXGJYMHHTVKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004508 fractional distillation Methods 0.000 description 2
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 2
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 2
- FGRBYDKOBBBPOI-UHFFFAOYSA-N 10,10-dioxo-2-[4-(N-phenylanilino)phenyl]thioxanthen-9-one Chemical compound O=C1c2ccccc2S(=O)(=O)c2ccc(cc12)-c1ccc(cc1)N(c1ccccc1)c1ccccc1 FGRBYDKOBBBPOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N chloromethane Chemical class ClC NEHMKBQYUWJMIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N chlorosilicon Chemical compound Cl[Si] SLLGVCUQYRMELA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001944 continuous distillation Methods 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- PDPJQWYGJJBYLF-UHFFFAOYSA-J hafnium tetrachloride Chemical class Cl[Hf](Cl)(Cl)Cl PDPJQWYGJJBYLF-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910010276 inorganic hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003973 irrigation Methods 0.000 description 1
- 230000002262 irrigation Effects 0.000 description 1
- 238000011031 large-scale manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000000199 molecular distillation Methods 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Abstract
Изобретение относится к способам разделения смесей летучих веществ в процессах химической технологии и может быть использовано для разделения смесей хлорсиланов, гидридов, фторидов, органических продуктов и других продуктов с выделением целевого продукта. Способ включает фракционированную разгонку в ректификационной колонне периодического действия со средним питающим резервуаром. Колонна работает в режиме отбора фракций из верхней и нижней отборных точек, с выделением концентрата целевого продукта путем параллельного отбора целевой и нецелевой фракций из отборных точек по достижении в них заданных составов, вплоть до возможно полного исчерпания целевого продукта из исходной смеси. В сравнении с известными методами ректификационного фракционирования способ обеспечивает повышение производительности более чем в 2 раза при максимально возможной степени извлечения целевого продукта. Для получения чистого целевого продукта последний подвергают очистке известными методами в зависимости от чистоты, требуемой для его использования. 2 н.п. ф-лы, 2 табл.
Description
Предлагаемое изобретение относится к способам разделения смесей летучих веществ в процессах химической технологии и может быть использовано для разделения смесей хлорсиланов, гидридов, фторидов, хлоридов, большого числа разнообразных органических продуктов (растворителей, мономеров и др.) с выделением целевого продукта.
Из физико-химических методов разделения наиболее широкое применение как в лабораторной практике, так и в крупномасштабном производстве нашли дистилляционные методы, включающие в себя различные варианты перегонки, ректификации и молекулярной дистилляции. Каждый из этих методов имеет свои специфические особенности, хотя все они основаны на различии составов жидкости и пара, сосуществующие в ходе процесса разделения в соответствующем разделительном аппарате.
Перегонка является одним из наиболее известных дистилляционных методов разделения многокомпонентной смеси веществ, выделения фракций, обогащенных или обедненных теми или иными компонентами исходной смеси.
Задачей фракционной перегонки является получение концентрата некоего определенного (целевого) компонента смеси.
Для разделения смесей наиболее широкое применение нашел метод ректификации, характеризующийся высокой эффективностью, производительностью и простотой аппаратурного оформления. Известен способ фракционного разделения многокомпонентных смесей с выделением целевой фракции с использованием каскада колонн, работающих в режиме непрерывной ректификации (см., например, А.Г.Касаткин. "Основные процессы и аппараты химической технологии", изд-во "Химия", 1971 г., стр.522).
Недостатком этого способа является то, что количество и состав целевой фракции существенно зависят от состава вводимой смеси. В случае повышенного содержания целевого продукта в смеси его излишек теряется с другими фракциями, что снижает суммарный выход целевого продукта. В случае же смеси, обедненной целевым продуктом, продукт загрязняется другими компонентами смеси, что приводит к ухудшению его качества. Этот эффект связан со строго установленными скоростями ввода смеси и отбора фракций в режиме непрерывной ректификации.
Известен способ разделения смесей, включающий фракционированную разгонку в ректификационной колонне периодического действия с нижним кубом и выделение концентрата целевого продукта (см., например, Г.Г.Девятых, Ю.Е.Еллиев. "Введение в теорию глубокой очистки веществ", М., изд-во "Наука", 1981 г., стр.65-66).
Для получения чистого целевого продукта последний очищают известными методами, в зависимости от требуемой чистоты, например ректификацией (см. там же, стр.135-137).
Вследствие межфазового массообмена в процессе ректификации нижекипящие компоненты разделяемой смеси концентрируются в верхней отборной точке колонны и в виде дистиллята (конденсата) могут оттуда отбираться в качестве целевого продукта. Для этой цели в конденсаторе осуществляется деление потока жидкости, образующейся из поступающего пара, на две части. Одна, меньшая часть, отбирается в сборник дистиллята, а другая, большая часть, возвращается в колонну в противоток в виде орошения - флегмы.
Упомянутый способ взят в качестве прототипа.
Авторы заявляемого изобретения воспроизвели способ, описанный в прототипе. В качестве разделяемой смеси была взята смесь хлорсиланов с выделением дихлорсилана - целевой фракции. При максимально возможной спепени извлечения дихлорсилана из упомянутой смеси производительность способа составляет 0,23 л/мин.
Недостатком прототипа является то, что по мере отбора целевого продукта кубовая смесь обедняется этим продуктом. Снижение концентрации целевого компонента в кубовой смеси значительно увеличивает время его концентрирования в отборной точке, что существенно снижает производительность колонны и, соответственно, способа в целом, а также понижает степень извлечения целевого продукта из исходной смеси.
Эта задача решается за счет того, что в известном способе разделения многокомпонентной смеси летучих веществ, включающем фракционированную разгонку в ректификационной колонне периодического действия с выделением концентрата целевого продукта, согласно изобретению фракционированную разгонку ведут в колонне со средним питающим резервуаром, работающей в режиме отбора фракций из верхней и нижней отборных точек, а выделение целевого продукта ведут путем параллельного отбора целевой и нецелевой фракции из отборных точек по достижении в них заданных составов, вплоть до возможно полного исчерпания целевого продукта из исходной смеси.
Время выделения целевой и нецелевой фракции заданных составов, отбор которых ведут из верхней и нижней отборных точек, зависит от требуемого состава целевого продукта, получаемого в процессе разделения смеси, от объема исходной смеси и содержания в ней целевого продукта. Количество фракций, отбираемых от исходной загрузки, время между отборами целевой и нецелевой фракции, а также конструктивное решение аппарата для каждой смеси подбираются индивидуально.
Полученный концентрат целевого продукта является продуктом технического качества. Потребитель может покупать продукт упомянутого качества и использовать его или очищать до той степени чистоты, которая необходима для его практического использования.
Для ряда областей практического применения, когда потребителю нужен чистый целевой продукт, поставленная задача решается за счет того, что в известном способе разделения многокомпонентной смеси летучих веществ, включающем фракционированную разгонку в ректификационной колонне периодического действия с выделением концентрата целевого продукта и очисткой последнего известными методами, в зависимости от требуемой чистоты, например ректификацией, согласно изобретению фракционированную разгонку ведут в колонне со средним питающим резервуаром, работающей в режиме отбора фракций из верхней и нижней отборных точек, а выделение целевого продукта ведут путем параллельного отбора целевой и нецелевой фракции из отборных точек по достижении в них заданных составов, вплоть до возможно полного исчерпания целевого продукта из исходной смеси.
В сравнении с известными методами ректификационного фракционирования способ обеспечивает повышение производительности более чем в два раза при максимально возможной степени извлечения целевого продукта.
Новым в способе является то, что фракционированную разгонку многокомпонентной смеси ведут в ректификационной колонне со средним питающим резервуаром, обеспечивающей возможность вести параллельный отбор целевой и нецелевой фракции при достижении в них заданных составов, при этом отбор фракций можно вести как дискретно, так и непрерывно. За счет параллельного отбора целевой и нецелевой фракции сокращается время накопления целевого продукта более чем в 2 раза в сравнении с известными методами ректификационного фракционирования.
Известны способы очистки веществ ректификацией в колонне со средним питающим резервуаром, позволяющей одновременной проводить очистку веществ от выше- и нижекипящих примесей (см., например, Г.Г.Девятых, А.Д.Зорин. "Летучие неорганические гидриды особой чистоты", М., "Наука", 1974 г., с.208).
Что касается фракционированной перегонки с разделением смеси летучих веществ на несколько фракций с различной температурой кипения в ректификационной колонне со средним питающим резервуаром, то упомянутое в литературе не описано. Проведение ректификации в колонне со средним питающим резервуаром согласно заявляемому способу позволяет вести параллельно отбор целевой и нецелевой фракций, что сокращает время проведения процесса выделения целевого продукта при сохранении высокой степени полноты его извлечения из исходной смеси. Следовательно, заявляемый способ отвечает критерию охраноспособности "изобретательский уровень".
Пример 1. Фракционирование многокомпонентной смеси с выделением целевой фракции проводили на ректификационной колонне со средним питающим резервуаром и двумя разделительными секциями. В качестве многокомпонентной смеси для фракционирования использовали смесь хлорсиланов, в которой концентрация дихлорсилана составляет 20 мольн.%, а также содержатся выше- и ниже кипящие компоненты: монохлорсилан (SiH3Cl), трихлорсилан (SiHCl3) и тетрахлорид кремния (SiCl4). Целевым продуктом является концентрат дихлорсилана, в котором его содержание составляет 90 мольн.%.
Состав отбираемых фракций оценивали эбуллиоскопическим методом.
В куб колонны загружают исходную смесь хлорсиланов. После достижения стационарного состояния колонны проводят отбор из верхней отборной точки жидкой фракции, содержащей монохлорсилан. После отбора и повторного достижения стационарного состояния колонны проводят отборы нецелевой летучей фракции до тех пор, пока в верхней отборной точке не сформируется целевая фракция заданного состава. Целевую фракцию - дихлорсилан отбирают из верхней отборной точки в накопительную емкость. Кроме того, при достижении заданного состава нецелевой фракции в нижней отборной точке проводят отборы из нее.
Параллельные отборы дихлорсилана из верхней и нецелевой фракции из нижней отборной точки повторяют несколько раз до практически полного исчерпания целевого продукта в кубовой смеси.
Для получения чистого целевого продукта последний подвергают очистке известными методами в зависимости от чистоты, требуемой для его использования. Это могут быть методы ректификации, кристаллизации, мембранные или другие известные методы очистки, а также их комбинация.
Данные примера 1 сведены в таблицу 1.
Из таблицы видно, что производительность способа по целевому продукту - дихлорсилану - составляет 0,7 л/мин.
| Таблица 1. Экспериментальные результаты по фракционированию смеси хлорсиланов на ректификационной колонне со средним питающим резервуаром с применением параллельных отборов целевой фракции - дихлорсилана - из верхней отборной точки и нецелевой фракции - трихлорсилана и тетрахлорида кремния - из нижней отборной точки. |
||||
| Номер отбора | Отбираемая фракция V, л | Время до отбора t, мин | ||
| головная фракция | целевая фракция, ДХС | нецелевая фракция | ||
| 7 | 2 | 3 | 4 | 5 |
| 1 | 1 | 240 | ||
| 2 | 1 | 1 | 40 | |
| 3 | 1 | 18 | ||
| 4 | 1 | 18 | ||
| 5 | 1 | 1 | 18 | |
| 6 | 1 | 18 | ||
| 7 | 1 | 18 | ||
| 8 | 1 | 1 | 18 | |
| 9 | 1 | 17 | ||
| 10 | 1 | 17 | ||
| 11 | 1 | 1 | 17 | |
| 12 | 1 | 15 | ||
| 13 | 1 | 15 | ||
| 14 | 1 | 15 | ||
| 15 | 1 | 1 | 15 | |
| 16 | 1 | 13 | ||
| 17 | 1 | 13 | ||
| 18 | 1 | 13 | ||
| 19 | 1 | 13 | ||
| 20 | 1 | 1 | 13 | |
| 21 | 1 | 11 | ||
| 22 | 1 | 11 | ||
| 23 | 1 | 11 | ||
| 24 | 1 | 11 | ||
| 25 | 1 | 11 | ||
| 26 | 1 | 1 | 13 | |
| ΣV=1 | ΣV=7 | ΣV=25 | Σt=632 мин = 10,5 ч. | |
Пример 2. (воспроизведение прототипа). Разделение смеси хлорсиланов проводили в ректификационной колонне периодического действия с нижним кубом. Проводили только отбор целевой фракции - дихлорсилана - из верхней отборной точки. Производительность способа по целевой фракции составляет 0,23 л/мин.
Данные примера 2 сведены в таблицу 2.
| Таблица 2. Экспериментальные результаты по фракционированию смеси хлорсиланов на ректификационной колонне с нижним кубом с проведением отборов целевой фракции - дихлорсилана - из верхней отборной точки. |
|||
| Номер отбора | Отбираемое вещество V, л | Время до отбора t, мин. | |
| головная фракция | целевая фракция | ||
| 1 | 1 | 240 | |
| 2 | 1 | 45 | |
| 3 | 1 | 53 | |
| 4 | 1 | 65 | |
| 5 | 1 | 85 | |
| 6 | 1 | 120 | |
| 7 | 1 | 210 | |
| 8 | 1 | 850 | |
| ΣV=1 | ΣV=7 | Σt=1669 мин = 27,8 ч. | |
Заявляемый способ обеспечивает повышение производительности более чем в 2 раза при максимально возможном извлечении целевого продукта при разделении смесей, например хлорметанов, тетрахлоридов гафния и циркония и др.
Claims (2)
1. Способ разделения смесей летучих веществ, включающий фракционированную разгонку в ректификационной колонне периодического действия с выделением концентрата целевого продукта, отличающийся тем, что фракционированную разгонку ведут в колонне со средним питающим резервуаром, работающей в режиме отбора фракций из верхней и нижней отборных точек, а выделение целевого продукта ведут путем параллельного отбора целевой и нецелевой фракции из отборных точек по достижении в них заданных составов вплоть до возможно полного извлечения целевого продукта из исходной смеси.
2. Способ разделения смесей летучих веществ, включающий фракционированную разгонку в ректификационной колонне периодического действия с выделением концентрата целевого продукта и очисткой последнего известными методами, в зависимости от требуемой чистоты, отличающийся тем, что фракционированную разгонку ведут в колонне со средним питающим резервуаром, работающей в режиме отбора фракций из верхней и нижней отборных точек, а выделение целевого продукта ведут путем параллельного отбора целевой и нецелевой фракции из отборных точек по достижении в них заданных составов вплоть до возможно полного извлечения целевого продукта из исходной смеси.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005120421/15A RU2288769C1 (ru) | 2005-07-01 | 2005-07-01 | Способ разделения смесей летучих веществ (варианты) |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2005120421/15A RU2288769C1 (ru) | 2005-07-01 | 2005-07-01 | Способ разделения смесей летучих веществ (варианты) |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2288769C1 true RU2288769C1 (ru) | 2006-12-10 |
Family
ID=37665528
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005120421/15A RU2288769C1 (ru) | 2005-07-01 | 2005-07-01 | Способ разделения смесей летучих веществ (варианты) |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2288769C1 (ru) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1575379A1 (ru) * | 1988-05-24 | 1992-04-30 | Институт химии АН СССР | Способ расфасовки высокочистых веществ |
| US5735141A (en) * | 1996-06-07 | 1998-04-07 | The Boc Group, Inc. | Method and apparatus for purifying a substance |
| RU2152902C2 (ru) * | 1998-05-13 | 2000-07-20 | Товарищество с ограниченной ответственностью фирма "ХОРСТ" | Способ получения силанов |
| RU2214362C1 (ru) * | 2002-07-19 | 2003-10-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" | Способ получения моносилана высокой чистоты |
| US6905576B1 (en) * | 1998-12-24 | 2005-06-14 | Solarworld Ag | Method and system for producing silane |
-
2005
- 2005-07-01 RU RU2005120421/15A patent/RU2288769C1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SU1575379A1 (ru) * | 1988-05-24 | 1992-04-30 | Институт химии АН СССР | Способ расфасовки высокочистых веществ |
| US5735141A (en) * | 1996-06-07 | 1998-04-07 | The Boc Group, Inc. | Method and apparatus for purifying a substance |
| RU2152902C2 (ru) * | 1998-05-13 | 2000-07-20 | Товарищество с ограниченной ответственностью фирма "ХОРСТ" | Способ получения силанов |
| US6905576B1 (en) * | 1998-12-24 | 2005-06-14 | Solarworld Ag | Method and system for producing silane |
| RU2214362C1 (ru) * | 2002-07-19 | 2003-10-20 | Федеральное государственное унитарное предприятие "Государственный научно-исследовательский институт химии и технологии элементоорганических соединений" | Способ получения моносилана высокой чистоты |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ДЕВЯТЫХ Г.Г., ЕЛЛИЕВ Ю.Е. Введение в теорию глубокой очистки веществ. - М.: Наука, 1981, с.65-66, 135-137. ДЕВЯТЫХ Г.Г., ЗОРИН А.Д. Летучие неорганические гидриды особой чистоты. - М.: Наука, 1974, с.160-166. * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2446099C2 (ru) | Обработка борсодержащих потоков хлорсиланов | |
| JP3147380B2 (ja) | フッ化水素の除去方法 | |
| US4127598A (en) | Process for removing biphenyls from chlorosilanes | |
| JP6328850B2 (ja) | 蒸留および吸着によるクロロシランの精製 | |
| EP1551522A2 (en) | Purification of n,n-dimethylacetamide | |
| CN105531229A (zh) | 多晶硅的制造方法 | |
| CA2876281C (en) | Process for the production of methylbutinol | |
| JP2022110129A (ja) | ＨＣＦＯ－１２３３ｚｄを乾燥する方法 | |
| CN102232058A (zh) | 盐酸的精制方法 | |
| JP2006510693A5 (ru) | ||
| RU2288769C1 (ru) | Способ разделения смесей летучих веществ (варианты) | |
| US20120177559A1 (en) | Apparatus and method for producing polycrystalline silicon having a reduced amount of boron compounds by forming phosphorus-boron compounds | |
| CA1200963A (en) | Separation of chlorosilanes | |
| TWI568673B (zh) | 三氯矽烷之純化 | |
| CN1260212C (zh) | N－(2－羟基乙基)－2－吡咯烷酮的精制方法 | |
| RU2303570C2 (ru) | Способ очистки гексафторида вольфрама | |
| JP2006514087A5 (ru) | ||
| US3658658A (en) | Separation and recovery of 1,1,1-trichloroethane by extractive distillation | |
| JPH08231473A (ja) | アミンヒドロフルオライド錯体の処理方法 | |
| JPS6225673B2 (ru) | ||
| RU1835386C (ru) | Способ очистки хлорсиланов | |
| RU2341457C1 (ru) | Способ выделения высокочистого трихлорсилана из реакционной смеси метилхлорсиланов | |
| US20050096247A1 (en) | Azeotrope-like compositions of iodine heptafluoride and hydrogen fluoride | |
| JP3387484B2 (ja) | フッ化水素の除去方法 | |
| SU1597341A1 (ru) | Способ выделени трихлорсилана и четыреххлористого кремни из смеси хлорсиланов |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20190702 |