RU2016116051A - Устройство для нанесения покрытий в вакууме - Google Patents
Устройство для нанесения покрытий в вакууме Download PDFInfo
- Publication number
- RU2016116051A RU2016116051A RU2016116051A RU2016116051A RU2016116051A RU 2016116051 A RU2016116051 A RU 2016116051A RU 2016116051 A RU2016116051 A RU 2016116051A RU 2016116051 A RU2016116051 A RU 2016116051A RU 2016116051 A RU2016116051 A RU 2016116051A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- wall
- housing
- vertical axis
- water cooling
- magnetic system
- Prior art date
Links
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Claims (3)
1. Устройство для нанесения покрытий в вакууме, содержащее плоскую мишень (1), выполненную из металла, установленную на основании (2) и закрепленную на нем с помощью прижима (3), содержащее также первую магнитную систему (4), расположенную внутри корпуса (5) с первым каналом водяного охлаждения (6), при этом основание (2) установлено на корпусе (5), содержащее также источник питания электрического разряда (7), отрицательным полюсом соединенный с корпусом (5), а положительным полюсом соединенный с заземляющим проводником (8), при этом мишень (1), основание (2), первая магнитная система (4) и корпус (5) расположены коаксиально вертикальной оси (9), отличающееся тем, что в него введен источник ионов газа (10), расположенный коаксиально вертикальной оси (9), содержащий внутренний полюсный наконечник (11), включающий первую стенку (12), содержащий также внешний полюсный наконечник (13), включающий вторую стенку (14), при этом первая стенка (12) и вторая стенка (14) расположены друг напротив друга и образуют выходную апертуру (15), расположенную со стороны плоской мишени (1), при этом внутренний полюсный наконечник (11) и внешний полюсный наконечник (13) охватывают корпус (5) с внешней стороны и отделены от него изолятором (16), содержащий также кольцевой анод (17) со вторым каналом водяного охлаждения (18), плиту (19) с третьим каналом водяного охлаждения (20), вторую магнитную систему (21), коаксиально расположенные вокруг корпуса (5), содержащий также высоковольтный источник питания (22), положительным полюсом соединенный с кольцевым анодом (17), а отрицательным полюсом соединенный с заземляющим проводником (8), причем первый канал водяного охлаждения (6) расположен в первой магнитной системе (4).
2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первая стенка (12) и вторая стенка (14) выходной апертуры (15) расположены параллельно вертикальной оси (9).
3. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что первая стенка (12) и вторая стенка (14) выходной апертуры (15) наклонены в сторону мишени (1) и образуют с вертикальной осью (9) угол δ.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2016116051A RU2634534C2 (ru) | 2016-04-25 | 2016-04-25 | Устройство для нанесения покрытий в вакууме |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2016116051A RU2634534C2 (ru) | 2016-04-25 | 2016-04-25 | Устройство для нанесения покрытий в вакууме |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2016116051A true RU2016116051A (ru) | 2017-10-30 |
| RU2634534C2 RU2634534C2 (ru) | 2017-10-31 |
Family
ID=60263662
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2016116051A RU2634534C2 (ru) | 2016-04-25 | 2016-04-25 | Устройство для нанесения покрытий в вакууме |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2634534C2 (ru) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000144399A (ja) * | 1998-10-30 | 2000-05-26 | Applied Materials Inc | スパッタリング装置 |
| RU2311492C1 (ru) * | 2006-04-28 | 2007-11-27 | Виктор Иванович Чайрев | Устройство для высокоскоростного магнетронного распыления |
| RU2401882C1 (ru) * | 2009-02-27 | 2010-10-20 | ОАО "Кварц" | Узел катода магнетронного распылителя |
-
2016
- 2016-04-25 RU RU2016116051A patent/RU2634534C2/ru active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2634534C2 (ru) | 2017-10-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2016129486A (ru) | Система и способ для лечения плазмой с использованием энергетической системы направленного диэлектрического барьерного разряда | |
| RU2015134534A (ru) | Источник плазмы | |
| MY174916A (en) | Plasma source | |
| RU2011132528A (ru) | Патрон дистанционного электрошокового оружия | |
| RU2016116051A (ru) | Устройство для нанесения покрытий в вакууме | |
| RU2013128809A (ru) | Ионный двигатель | |
| RU2014101919A (ru) | Устройство для использования атмосферного электричества "русэлектро 2" | |
| RU2014110349A (ru) | Ионный двигатель | |
| RU2012100143A (ru) | Генератор высокочастотного излучения на основе разряда с полым катодом | |
| RU2013112086A (ru) | Устройство для защиты смотрового окна вакуумной камеры | |
| UA116822C2 (uk) | Пристрій для виготовлення тривимірних об'єктів | |
| CN109473334A (zh) | 一种新型离子源 | |
| RU2012142744A (ru) | Электронно-лучевая пушка | |
| RU2012146190A (ru) | Магнитогидродинамическое устройство (варианты) | |
| UA111417C2 (uk) | Газорозрядна електронна гармата | |
| RU2013127847A (ru) | Установка ионно-плазменного нанесения покрытий | |
| RU2015120561A (ru) | Источник ионов | |
| RU2014108841A (ru) | Высоковольтный фоточувствительный прибор проксимити типа | |
| TH12521A3 (th) | หัวเพนนิงแมกนีตรอนสปัตเตอริงสำหรับการเคลือบฟิล์มบางสารแม่เหล็ก | |
| RU2013116463A (ru) | Устройство для синтеза покрытий | |
| TH12521C3 (th) | หัวเพนนิงแมกนีตรอนสปัตเตอริงสำหรับการเคลือบฟิล์มบางสารแม่เหล็ก | |
| RU2018110138A (ru) | Гибридный плазмохимический реактор | |
| RU2013141782A (ru) | Двигатель с замкнутым дрейфом электронов | |
| RU2012146484A (ru) | Ускорительная трубка | |
| RU2007143589A (ru) | Электронно-лучевая пушка |