[go: up one dir, main page]

RU2015120589A - Распределитель мощности для определенного последовательного распределения мощности - Google Patents

Распределитель мощности для определенного последовательного распределения мощности Download PDF

Info

Publication number
RU2015120589A
RU2015120589A RU2015120589A RU2015120589A RU2015120589A RU 2015120589 A RU2015120589 A RU 2015120589A RU 2015120589 A RU2015120589 A RU 2015120589A RU 2015120589 A RU2015120589 A RU 2015120589A RU 2015120589 A RU2015120589 A RU 2015120589A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
generator
power distributor
output
power
switch
Prior art date
Application number
RU2015120589A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2666775C2 (ru
Inventor
Даниэль ЛЕНДИ
Original Assignee
Эрликон Серфиз Солюшнз Аг, Трюббах
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эрликон Серфиз Солюшнз Аг, Трюббах filed Critical Эрликон Серфиз Солюшнз Аг, Трюббах
Publication of RU2015120589A publication Critical patent/RU2015120589A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2666775C2 publication Critical patent/RU2666775C2/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/3464Sputtering using more than one target
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/3485Sputtering using pulsed power to the target
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/35Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3411Constructional aspects of the reactor
    • H01J37/3444Associated circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/34Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
    • H01J37/3464Operating strategies
    • H01J37/3467Pulsed operation, e.g. HIPIMS

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Direct Current Feeding And Distribution (AREA)
  • Control Of Eletrric Generators (AREA)
  • Particle Accelerators (AREA)

Abstract

1. Распределитель мощности, выполненный с возможностью последовательно и без перерыва отдачи мощности распределять, по существу, постоянную мощность генератора постоянного тока на более чем две мишени A, B, C … X, отличающийся тем, что распределитель мощности содержит схему, соединяющую выход генератора постоянного тока со всеми более чем двумя мишенями A, B, C ,…, X, а другой выход генератора постоянного тока после омического резистора Rразветвляется в соответствии с числом мишеней, и каждая мишень A, B, C ,…, X соединена с одной из ветвей, причем ветви содержат соответственно по одному соотнесенному с мишенью переключателю S, S, S,…, S, посредством которых может прерываться линия, ведущая к соотнесенной мишени.2. Распределитель мощности по п. 1, отличающийся тем, что между другим выходом генератора постоянного тока и омическим резистором Rпредусмотрен переключатель S.3. Распределитель мощности по п. 2, отличающийся тем, что распределитель мощности имеет прямое соединение между одним выходом и другим выходом генератора постоянного тока.4. Распределитель мощности по п. 3, отличающийся тем, что предусмотрен омический резистор R, подсоединенный при подключенном генераторе постоянного тока через переключатель Sк выходам генератора постоянного тока.5. Распределитель мощности по п. 4, отличающийся тем, что в распределителе мощности предусмотрена схема резистивно-емкостного звена RC, подсоединенного при подключенном генераторе постоянного тока через переключатель Sк выходам генератора постоянного тока.6. Распределитель мощности по п. 5, отличающийся тем, что в распределителе мощности предусмотрена схема поддержки зажигания, содержащая переключатель S, резистор Rи

Claims (9)

1. Распределитель мощности, выполненный с возможностью последовательно и без перерыва отдачи мощности распределять, по существу, постоянную мощность генератора постоянного тока на более чем две мишени A, B, C … X, отличающийся тем, что распределитель мощности содержит схему, соединяющую выход генератора постоянного тока со всеми более чем двумя мишенями A, B, C ,…, X, а другой выход генератора постоянного тока после омического резистора RТ разветвляется в соответствии с числом мишеней, и каждая мишень A, B, C ,…, X соединена с одной из ветвей, причем ветви содержат соответственно по одному соотнесенному с мишенью переключателю SA, SB, SC ,…, SX, посредством которых может прерываться линия, ведущая к соотнесенной мишени.
2. Распределитель мощности по п. 1, отличающийся тем, что между другим выходом генератора постоянного тока и омическим резистором RT предусмотрен переключатель ST.
3. Распределитель мощности по п. 2, отличающийся тем, что распределитель мощности имеет прямое соединение между одним выходом и другим выходом генератора постоянного тока.
4. Распределитель мощности по п. 3, отличающийся тем, что предусмотрен омический резистор RD, подсоединенный при подключенном генераторе постоянного тока через переключатель SD к выходам генератора постоянного тока.
5. Распределитель мощности по п. 4, отличающийся тем, что в распределителе мощности предусмотрена схема резистивно-емкостного звена RC, подсоединенного при подключенном генераторе постоянного тока через переключатель SRC к выходам генератора постоянного тока.
6. Распределитель мощности по п. 5, отличающийся тем, что в распределителе мощности предусмотрена схема поддержки зажигания, содержащая переключатель SI, резистор RI и конденсатор СI, причем резистор RI и конденсатор СI включены параллельно друг другу, а схема поддержки зажигания при подключенном генераторе постоянного тока подсоединена к выходам генератора постоянного тока.
7. Распределитель мощности по п. 6, отличающийся тем, что в распределителе мощности предусмотрен защитный диод TVSI, подсоединенный при подключенном генераторе постоянного тока к выходам генератора постоянного тока.
8. Распределитель мощности по п. 7, отличающийся тем, что по меньшей мере один из переключателей, предпочтительно несколько переключателей и особенно предпочтительно все переключатели выполнены в виде биполярных транзисторов с изолированным затвором.
9. Установка для нанесения покрытий, содержащая генератор постоянного тока и несколько мишеней, выполненных в виде катодов ионного распыления, отличающаяся тем, что мишени подсоединены к генератору постоянного тока с возможностью подключения через распределитель мощности по п. 7.
RU2015120589A 2012-11-01 2013-10-29 Распределитель мощности для определенного последовательного распределения мощности RU2666775C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102012021346.8A DE102012021346A1 (de) 2012-11-01 2012-11-01 Leistungsverteiler zur definierten sequenziellen Leistungsverteilung
DE102012021346.8 2012-11-01
PCT/EP2013/003251 WO2014067650A1 (de) 2012-11-01 2013-10-29 Leistungsverteiler zur definierten sequenziellen leistungsverteilung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2015120589A true RU2015120589A (ru) 2016-12-20
RU2666775C2 RU2666775C2 (ru) 2018-09-12

Family

ID=49596228

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2015120589A RU2666775C2 (ru) 2012-11-01 2013-10-29 Распределитель мощности для определенного последовательного распределения мощности

Country Status (10)

Country Link
US (1) US10074976B2 (ru)
EP (1) EP2915181B1 (ru)
JP (1) JP6262753B2 (ru)
KR (1) KR102085704B1 (ru)
CN (1) CN105027255B (ru)
AR (1) AR093305A1 (ru)
CA (1) CA2892697C (ru)
DE (1) DE102012021346A1 (ru)
RU (1) RU2666775C2 (ru)
WO (1) WO2014067650A1 (ru)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111679621B (zh) * 2020-07-15 2020-12-08 南京科远智慧科技集团股份有限公司 一种三重冗余中提高电流输出可靠性的电路方法
EP3945669A1 (en) 2020-07-27 2022-02-02 TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. Hv switch unit, pulsing assembly and method of avoiding voltage imbalances in an hv switch
EP3945541A1 (en) * 2020-07-29 2022-02-02 TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. Pulsing assembly, power supply arrangement and method using the assembly
EP3952083A1 (en) 2020-08-06 2022-02-09 TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. Hv switch unit

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4438463C1 (de) * 1994-10-27 1996-02-15 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Schaltung zur bipolaren pulsförmigen Energieeinspeisung in Niederdruckplasmen
JP3660018B2 (ja) * 1995-05-17 2005-06-15 株式会社アルバック 真空装置の異常放電消滅装置
DE19702187C2 (de) * 1997-01-23 2002-06-27 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Einrichtung zum Betreiben von Magnetronentladungen
JP2002091576A (ja) * 2000-09-13 2002-03-29 Toshiba Corp 電源装置および電源安定化方法
JP4101554B2 (ja) * 2001-08-17 2008-06-18 株式会社神戸製鋼所 スパッタ装置及び方法
JP2005521202A (ja) * 2002-03-15 2005-07-14 ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト 真空プラズマ発生器
US6972079B2 (en) * 2003-06-25 2005-12-06 Advanced Energy Industries Inc. Dual magnetron sputtering apparatus utilizing control means for delivering balanced power
DE102005017382A1 (de) * 2005-04-14 2006-10-19 Dorma Gmbh + Co. Kg Gelenkband für Pendeltüren
DE102006017382A1 (de) 2005-11-14 2007-05-16 Itg Induktionsanlagen Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten und/oder zur Behandlung von Oberflächen
JP5112921B2 (ja) * 2008-03-21 2013-01-09 新電元工業株式会社 スパッタ装置用電源回路
JP5429772B2 (ja) * 2008-06-30 2014-02-26 株式会社アルバック 電源装置
JP2010065240A (ja) * 2008-09-08 2010-03-25 Kobe Steel Ltd スパッタ装置
DE202010001497U1 (de) * 2010-01-29 2010-04-22 Hauzer Techno-Coating B.V. Beschichtungsvorrichtung mit einer HIPIMS-Leistungsquelle
SG194568A1 (en) * 2011-04-20 2013-12-30 Oerlikon Trading Ag Method for supplying sequential power impulses

Also Published As

Publication number Publication date
WO2014067650A1 (de) 2014-05-08
CA2892697C (en) 2020-09-01
CA2892697A1 (en) 2014-05-08
US20160043546A1 (en) 2016-02-11
RU2666775C2 (ru) 2018-09-12
EP2915181B1 (de) 2020-03-25
KR20150079930A (ko) 2015-07-08
AR093305A1 (es) 2015-05-27
CN105027255B (zh) 2017-07-14
JP6262753B2 (ja) 2018-01-17
US10074976B2 (en) 2018-09-11
JP2015536386A (ja) 2015-12-21
EP2915181A1 (de) 2015-09-09
CN105027255A (zh) 2015-11-04
KR102085704B1 (ko) 2020-03-06
DE102012021346A1 (de) 2014-08-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CY1119210T1 (el) Συστημα διανομης ισχυος
WO2017174102A8 (de) Modul für einen multilevelkonverter
ES2693321T3 (es) Péptidos antiinflamatorios y composición que comprende los mismos
RU2015120589A (ru) Распределитель мощности для определенного последовательного распределения мощности
EP4230644A3 (en) Cell penetrating peptide, conjugate comprising same, and composition comprising conjugate
MX2015013373A (es) Proteccion y control, asistido por topologia adaptable, de sistema de suministro de energia electrica.
WO2015112178A3 (en) Voltage regulation for battery strings
WO2016025566A3 (en) Shared resource system
IN2014DN08268A (ru)
MX2016016653A (es) Aparato interruptor electrico, y puente y metodo asociado para el mismo.
BR112016030703A8 (pt) sistema de conversão de energia elétrica
MX2020000925A (es) Interruptor de carga para redes de energia electrica fragiles.
MX359036B (es) Dispositivo de electroterapia.
WO2015131042A8 (en) Automatic transfer switch maintenance bypass cabinet
PH12017502008A1 (en) Method for implementing circuit redundancy network protection for smart substation
BR112017001801A8 (pt) Disposição para gerar um pulso de corrente zero para gerar uma passagem de corrente zero em um componente elétrico e uso de uma disposição
BR112015031540A2 (pt) polímeros hiper-ramificados
FR3027877B1 (fr) Systeme de distribution d'alimentation electrique avec unites localisees de conversion de distribution
MX2018015332A (es) Sistemas de conexion de cable para sistemas electroquirurgicos.
EA201270324A1 (ru) Двигательная система
RU2016151681A (ru) Светодиодная осветительная схема, питаемая от источника тока
RU2013152181A (ru) Коммутатор напряжения с защитой от перегрузки по току
RU149397U1 (ru) Устройство защиты от переполюсовки электрических приборов
WO2013039324A3 (ko) 다채널 발광 다이오드 구동 장치
AU2012101546A4 (en) Wireless lighting for adjustable shelving