RU2015120589A - Распределитель мощности для определенного последовательного распределения мощности - Google Patents
Распределитель мощности для определенного последовательного распределения мощности Download PDFInfo
- Publication number
- RU2015120589A RU2015120589A RU2015120589A RU2015120589A RU2015120589A RU 2015120589 A RU2015120589 A RU 2015120589A RU 2015120589 A RU2015120589 A RU 2015120589A RU 2015120589 A RU2015120589 A RU 2015120589A RU 2015120589 A RU2015120589 A RU 2015120589A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- generator
- power distributor
- output
- power
- switch
- Prior art date
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims 1
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 abstract 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3464—Sputtering using more than one target
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/3485—Sputtering using pulsed power to the target
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3444—Associated circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3464—Operating strategies
- H01J37/3467—Pulsed operation, e.g. HIPIMS
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Direct Current Feeding And Distribution (AREA)
- Control Of Eletrric Generators (AREA)
- Particle Accelerators (AREA)
Abstract
1. Распределитель мощности, выполненный с возможностью последовательно и без перерыва отдачи мощности распределять, по существу, постоянную мощность генератора постоянного тока на более чем две мишени A, B, C … X, отличающийся тем, что распределитель мощности содержит схему, соединяющую выход генератора постоянного тока со всеми более чем двумя мишенями A, B, C ,…, X, а другой выход генератора постоянного тока после омического резистора Rразветвляется в соответствии с числом мишеней, и каждая мишень A, B, C ,…, X соединена с одной из ветвей, причем ветви содержат соответственно по одному соотнесенному с мишенью переключателю S, S, S,…, S, посредством которых может прерываться линия, ведущая к соотнесенной мишени.2. Распределитель мощности по п. 1, отличающийся тем, что между другим выходом генератора постоянного тока и омическим резистором Rпредусмотрен переключатель S.3. Распределитель мощности по п. 2, отличающийся тем, что распределитель мощности имеет прямое соединение между одним выходом и другим выходом генератора постоянного тока.4. Распределитель мощности по п. 3, отличающийся тем, что предусмотрен омический резистор R, подсоединенный при подключенном генераторе постоянного тока через переключатель Sк выходам генератора постоянного тока.5. Распределитель мощности по п. 4, отличающийся тем, что в распределителе мощности предусмотрена схема резистивно-емкостного звена RC, подсоединенного при подключенном генераторе постоянного тока через переключатель Sк выходам генератора постоянного тока.6. Распределитель мощности по п. 5, отличающийся тем, что в распределителе мощности предусмотрена схема поддержки зажигания, содержащая переключатель S, резистор Rи
Claims (9)
1. Распределитель мощности, выполненный с возможностью последовательно и без перерыва отдачи мощности распределять, по существу, постоянную мощность генератора постоянного тока на более чем две мишени A, B, C … X, отличающийся тем, что распределитель мощности содержит схему, соединяющую выход генератора постоянного тока со всеми более чем двумя мишенями A, B, C ,…, X, а другой выход генератора постоянного тока после омического резистора RТ разветвляется в соответствии с числом мишеней, и каждая мишень A, B, C ,…, X соединена с одной из ветвей, причем ветви содержат соответственно по одному соотнесенному с мишенью переключателю SA, SB, SC ,…, SX, посредством которых может прерываться линия, ведущая к соотнесенной мишени.
2. Распределитель мощности по п. 1, отличающийся тем, что между другим выходом генератора постоянного тока и омическим резистором RT предусмотрен переключатель ST.
3. Распределитель мощности по п. 2, отличающийся тем, что распределитель мощности имеет прямое соединение между одним выходом и другим выходом генератора постоянного тока.
4. Распределитель мощности по п. 3, отличающийся тем, что предусмотрен омический резистор RD, подсоединенный при подключенном генераторе постоянного тока через переключатель SD к выходам генератора постоянного тока.
5. Распределитель мощности по п. 4, отличающийся тем, что в распределителе мощности предусмотрена схема резистивно-емкостного звена RC, подсоединенного при подключенном генераторе постоянного тока через переключатель SRC к выходам генератора постоянного тока.
6. Распределитель мощности по п. 5, отличающийся тем, что в распределителе мощности предусмотрена схема поддержки зажигания, содержащая переключатель SI, резистор RI и конденсатор СI, причем резистор RI и конденсатор СI включены параллельно друг другу, а схема поддержки зажигания при подключенном генераторе постоянного тока подсоединена к выходам генератора постоянного тока.
7. Распределитель мощности по п. 6, отличающийся тем, что в распределителе мощности предусмотрен защитный диод TVSI, подсоединенный при подключенном генераторе постоянного тока к выходам генератора постоянного тока.
8. Распределитель мощности по п. 7, отличающийся тем, что по меньшей мере один из переключателей, предпочтительно несколько переключателей и особенно предпочтительно все переключатели выполнены в виде биполярных транзисторов с изолированным затвором.
9. Установка для нанесения покрытий, содержащая генератор постоянного тока и несколько мишеней, выполненных в виде катодов ионного распыления, отличающаяся тем, что мишени подсоединены к генератору постоянного тока с возможностью подключения через распределитель мощности по п. 7.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102012021346.8A DE102012021346A1 (de) | 2012-11-01 | 2012-11-01 | Leistungsverteiler zur definierten sequenziellen Leistungsverteilung |
| DE102012021346.8 | 2012-11-01 | ||
| PCT/EP2013/003251 WO2014067650A1 (de) | 2012-11-01 | 2013-10-29 | Leistungsverteiler zur definierten sequenziellen leistungsverteilung |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2015120589A true RU2015120589A (ru) | 2016-12-20 |
| RU2666775C2 RU2666775C2 (ru) | 2018-09-12 |
Family
ID=49596228
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015120589A RU2666775C2 (ru) | 2012-11-01 | 2013-10-29 | Распределитель мощности для определенного последовательного распределения мощности |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10074976B2 (ru) |
| EP (1) | EP2915181B1 (ru) |
| JP (1) | JP6262753B2 (ru) |
| KR (1) | KR102085704B1 (ru) |
| CN (1) | CN105027255B (ru) |
| AR (1) | AR093305A1 (ru) |
| CA (1) | CA2892697C (ru) |
| DE (1) | DE102012021346A1 (ru) |
| RU (1) | RU2666775C2 (ru) |
| WO (1) | WO2014067650A1 (ru) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111679621B (zh) * | 2020-07-15 | 2020-12-08 | 南京科远智慧科技集团股份有限公司 | 一种三重冗余中提高电流输出可靠性的电路方法 |
| EP3945669A1 (en) | 2020-07-27 | 2022-02-02 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | Hv switch unit, pulsing assembly and method of avoiding voltage imbalances in an hv switch |
| EP3945541A1 (en) * | 2020-07-29 | 2022-02-02 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | Pulsing assembly, power supply arrangement and method using the assembly |
| EP3952083A1 (en) | 2020-08-06 | 2022-02-09 | TRUMPF Huettinger Sp. Z o. o. | Hv switch unit |
Family Cites Families (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4438463C1 (de) * | 1994-10-27 | 1996-02-15 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Schaltung zur bipolaren pulsförmigen Energieeinspeisung in Niederdruckplasmen |
| JP3660018B2 (ja) * | 1995-05-17 | 2005-06-15 | 株式会社アルバック | 真空装置の異常放電消滅装置 |
| DE19702187C2 (de) * | 1997-01-23 | 2002-06-27 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Einrichtung zum Betreiben von Magnetronentladungen |
| JP2002091576A (ja) * | 2000-09-13 | 2002-03-29 | Toshiba Corp | 電源装置および電源安定化方法 |
| JP4101554B2 (ja) * | 2001-08-17 | 2008-06-18 | 株式会社神戸製鋼所 | スパッタ装置及び方法 |
| JP2005521202A (ja) * | 2002-03-15 | 2005-07-14 | ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト | 真空プラズマ発生器 |
| US6972079B2 (en) * | 2003-06-25 | 2005-12-06 | Advanced Energy Industries Inc. | Dual magnetron sputtering apparatus utilizing control means for delivering balanced power |
| DE102005017382A1 (de) * | 2005-04-14 | 2006-10-19 | Dorma Gmbh + Co. Kg | Gelenkband für Pendeltüren |
| DE102006017382A1 (de) | 2005-11-14 | 2007-05-16 | Itg Induktionsanlagen Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten und/oder zur Behandlung von Oberflächen |
| JP5112921B2 (ja) * | 2008-03-21 | 2013-01-09 | 新電元工業株式会社 | スパッタ装置用電源回路 |
| JP5429772B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2014-02-26 | 株式会社アルバック | 電源装置 |
| JP2010065240A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-25 | Kobe Steel Ltd | スパッタ装置 |
| DE202010001497U1 (de) * | 2010-01-29 | 2010-04-22 | Hauzer Techno-Coating B.V. | Beschichtungsvorrichtung mit einer HIPIMS-Leistungsquelle |
| SG194568A1 (en) * | 2011-04-20 | 2013-12-30 | Oerlikon Trading Ag | Method for supplying sequential power impulses |
-
2012
- 2012-11-01 DE DE102012021346.8A patent/DE102012021346A1/de not_active Ceased
-
2013
- 2013-10-29 CN CN201380069485.3A patent/CN105027255B/zh active Active
- 2013-10-29 WO PCT/EP2013/003251 patent/WO2014067650A1/de not_active Ceased
- 2013-10-29 US US14/439,815 patent/US10074976B2/en active Active
- 2013-10-29 KR KR1020157014364A patent/KR102085704B1/ko active Active
- 2013-10-29 CA CA2892697A patent/CA2892697C/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-10-29 EP EP13792254.8A patent/EP2915181B1/de active Active
- 2013-10-29 JP JP2015540067A patent/JP6262753B2/ja active Active
- 2013-10-29 RU RU2015120589A patent/RU2666775C2/ru active
- 2013-10-31 AR ARP130103974A patent/AR093305A1/es active IP Right Grant
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2014067650A1 (de) | 2014-05-08 |
| CA2892697C (en) | 2020-09-01 |
| CA2892697A1 (en) | 2014-05-08 |
| US20160043546A1 (en) | 2016-02-11 |
| RU2666775C2 (ru) | 2018-09-12 |
| EP2915181B1 (de) | 2020-03-25 |
| KR20150079930A (ko) | 2015-07-08 |
| AR093305A1 (es) | 2015-05-27 |
| CN105027255B (zh) | 2017-07-14 |
| JP6262753B2 (ja) | 2018-01-17 |
| US10074976B2 (en) | 2018-09-11 |
| JP2015536386A (ja) | 2015-12-21 |
| EP2915181A1 (de) | 2015-09-09 |
| CN105027255A (zh) | 2015-11-04 |
| KR102085704B1 (ko) | 2020-03-06 |
| DE102012021346A1 (de) | 2014-08-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CY1119210T1 (el) | Συστημα διανομης ισχυος | |
| WO2017174102A8 (de) | Modul für einen multilevelkonverter | |
| ES2693321T3 (es) | Péptidos antiinflamatorios y composición que comprende los mismos | |
| RU2015120589A (ru) | Распределитель мощности для определенного последовательного распределения мощности | |
| EP4230644A3 (en) | Cell penetrating peptide, conjugate comprising same, and composition comprising conjugate | |
| MX2015013373A (es) | Proteccion y control, asistido por topologia adaptable, de sistema de suministro de energia electrica. | |
| WO2015112178A3 (en) | Voltage regulation for battery strings | |
| WO2016025566A3 (en) | Shared resource system | |
| IN2014DN08268A (ru) | ||
| MX2016016653A (es) | Aparato interruptor electrico, y puente y metodo asociado para el mismo. | |
| BR112016030703A8 (pt) | sistema de conversão de energia elétrica | |
| MX2020000925A (es) | Interruptor de carga para redes de energia electrica fragiles. | |
| MX359036B (es) | Dispositivo de electroterapia. | |
| WO2015131042A8 (en) | Automatic transfer switch maintenance bypass cabinet | |
| PH12017502008A1 (en) | Method for implementing circuit redundancy network protection for smart substation | |
| BR112017001801A8 (pt) | Disposição para gerar um pulso de corrente zero para gerar uma passagem de corrente zero em um componente elétrico e uso de uma disposição | |
| BR112015031540A2 (pt) | polímeros hiper-ramificados | |
| FR3027877B1 (fr) | Systeme de distribution d'alimentation electrique avec unites localisees de conversion de distribution | |
| MX2018015332A (es) | Sistemas de conexion de cable para sistemas electroquirurgicos. | |
| EA201270324A1 (ru) | Двигательная система | |
| RU2016151681A (ru) | Светодиодная осветительная схема, питаемая от источника тока | |
| RU2013152181A (ru) | Коммутатор напряжения с защитой от перегрузки по току | |
| RU149397U1 (ru) | Устройство защиты от переполюсовки электрических приборов | |
| WO2013039324A3 (ko) | 다채널 발광 다이오드 구동 장치 | |
| AU2012101546A4 (en) | Wireless lighting for adjustable shelving |