RU2015117763A - Аппарат и способ для нанесения покрытий на поверхности - Google Patents
Аппарат и способ для нанесения покрытий на поверхности Download PDFInfo
- Publication number
- RU2015117763A RU2015117763A RU2015117763A RU2015117763A RU2015117763A RU 2015117763 A RU2015117763 A RU 2015117763A RU 2015117763 A RU2015117763 A RU 2015117763A RU 2015117763 A RU2015117763 A RU 2015117763A RU 2015117763 A RU2015117763 A RU 2015117763A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- electrode layers
- plasma chamber
- chamber according
- electrodes
- electrode
- Prior art date
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims 6
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims abstract 12
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims abstract 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000004753 textile Substances 0.000 claims abstract 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 5
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 claims 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 claims 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 claims 1
- 230000001331 thermoregulatory effect Effects 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32733—Means for moving the material to be treated
- H01J37/32752—Means for moving the material to be treated for moving the material across the discharge
- H01J37/32761—Continuous moving
- H01J37/3277—Continuous moving of continuous material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D—PROCESSES FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05D1/00—Processes for applying liquids or other fluent materials
- B05D1/62—Plasma-deposition of organic layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/46—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
- C08F2/52—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by electric discharge, e.g. voltolisation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
- C23C16/505—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges
- C23C16/509—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges using radio frequency discharges using internal electrodes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/54—Apparatus specially adapted for continuous coating
- C23C16/545—Apparatus specially adapted for continuous coating for coating elongated substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32091—Radio frequency generated discharge the radio frequency energy being capacitively coupled to the plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32403—Treating multiple sides of workpieces, e.g. 3D workpieces
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
- H01J37/32568—Relative arrangement or disposition of electrodes; moving means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32715—Workpiece holder
- H01J37/32724—Temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32733—Means for moving the material to be treated
- H01J37/32752—Means for moving the material to be treated for moving the material across the discharge
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32733—Means for moving the material to be treated
- H01J37/32752—Means for moving the material to be treated for moving the material across the discharge
- H01J37/32761—Continuous moving
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2239/00—Aspects relating to filtering material for liquid or gaseous fluids
- B01D2239/04—Additives and treatments of the filtering material
- B01D2239/0471—Surface coating material
- B01D2239/0478—Surface coating material on a layer of the filter
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/202—Movement
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
- H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
- H01J2237/332—Coating
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Chemical Or Physical Treatment Of Fibers (AREA)
- Treatment Of Fiber Materials (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
1. Плазменная камера для нанесения на полотно ткани, такое как текстильный материал, покрытия из полимерного слоя, где указанная плазменная камера включает множество электродных слоев, причем каждый из них имеет в целом плоскостную или пластинчатовидную форму, расположенных последовательно в плазменной камере, при этом плазменная камера включает пару высокочастотных электродных слоев и пару заземленных электродных слоев, где по меньшей мере два соседних электродных слоя являются либо высокочастотными электродными слоями, либо заземленными электродными слоями, и где электродные слои скомпонованы на любой стороне от прохода для приема ткани.2. Плазменная камера по п. 1, включающая первый комплект электродов и второй комплект электродов, при этом первый и второй комплекты электродов скомпонованы на любой стороне от прохода для приема ткани, и комплекты электродов включают по меньшей мере три электродных слоя - внутренний электродный слой и пару внешних электродных слоев, где внешняя пара электродных слоев представляет собой либо заземленные электродные слои, либо радиочастотные электродные слои.3. Плазменная камера по п. 2, в которой один или оба из первого и второго комплектов электродов включают либо внутренний электродный слой, представляющий собой высокочастотный электрод, и внешние электродные слои, представляющие собой заземленные электроды, либо внутренний электродный слой, представляющий собой заземленный электрод, и внешние электродные слои, представляющие собой высокочастотные электроды.4. Плазменная камера по любому из предшествующих пп., в которой высокочастотный электродный слой или слои включают
Claims (20)
1. Плазменная камера для нанесения на полотно ткани, такое как текстильный материал, покрытия из полимерного слоя, где указанная плазменная камера включает множество электродных слоев, причем каждый из них имеет в целом плоскостную или пластинчатовидную форму, расположенных последовательно в плазменной камере, при этом плазменная камера включает пару высокочастотных электродных слоев и пару заземленных электродных слоев, где по меньшей мере два соседних электродных слоя являются либо высокочастотными электродными слоями, либо заземленными электродными слоями, и где электродные слои скомпонованы на любой стороне от прохода для приема ткани.
2. Плазменная камера по п. 1, включающая первый комплект электродов и второй комплект электродов, при этом первый и второй комплекты электродов скомпонованы на любой стороне от прохода для приема ткани, и комплекты электродов включают по меньшей мере три электродных слоя - внутренний электродный слой и пару внешних электродных слоев, где внешняя пара электродных слоев представляет собой либо заземленные электродные слои, либо радиочастотные электродные слои.
3. Плазменная камера по п. 2, в которой один или оба из первого и второго комплектов электродов включают либо внутренний электродный слой, представляющий собой высокочастотный электрод, и внешние электродные слои, представляющие собой заземленные электроды, либо внутренний электродный слой, представляющий собой заземленный электрод, и внешние электродные слои, представляющие собой высокочастотные электроды.
4. Плазменная камера по любому из предшествующих пп., в которой высокочастотный электродный слой или слои включают терморегулирующее средство.
5. Плазменная камера по любому из пп. 1-3, в которой плазменная камера включает множество валиков для направления полотна ткани во время эксплуатации между электродными слоями.
6. Плазменная камера по любому из пп. 1-3, дополнительно включающая одно или несколько отделений, где одно или каждое отделение адаптировано для приема одного или нескольких рулонов ткани.
7. Плазменная камера по п. 5, в которой валики скомпонованы с возможность обеспечения перемещения ткани в целях разматывания или наматывания при скорости от 0,1 до 20 м/мин.
8. Плазменная камера по п. 7, в которой рулоны могут быть размотаны или намотаны при скорости от 1 до 5 м/мин.
9. Плазменная камера по п. 5, в которой валики могут приводиться в движение независимо друг от друга и могут быть тонко настроены независимо друг от друга.
10. Плазменная камера по п. 5, в которой валики выполнены с возможностью охлаждения или нагрева для внесения своего вклада в, по существу, более однородную температуру в плазменной камере, тем самым позволяя избежать конденсирования мономера внутри плазменной камеры.
11. Плазменная камера по п. 10, в которой охлаждение или нагрев обеспечивается с использованием жидкости, например воды или масла.
12. Плазменная камера по п. 11, в которой валики могут быть нагреты до20 - 85°C.
13. Плазменная камера по любому из пп. 1-3 или 7-12, имеющая одну или несколько ячеек нагрузки, которые могут быть откалиброваны сразу после достижения предварительно определенного низкого базового давления и перед первой стадией обработки.
14. Плазменная камера по п. 13, в которой для каждого отдельного прогона нанесения покрытия ячейки нагрузки калибруют сразу после достижения базового давления и перед первой стадией обработки, например перед обезгаживанием или перед введением газа и перед включением электромагнитного поля для предварительной обработки или перед введением газа и перед включением электромагнитного поля для стадии нанесения покрытия, в зависимости от того, что происходит сначала.
15. Плазменная камера по п. 13, в которой при эксплуатации натяжение, при котором ткань наматывают, находится в диапазоне от 0,2 до 250 кг (от 2 до 2500 Н).
16. Способ нанесения на полотно ткани, такое как текстильный материал, полимерного покрытия, включающий стадии обеспечения плазменной камеры, включающей множество электродных слоев, последовательно скомпонованных в плазменной камере, при этом плазменная камера включает пару радиочастотных электродных слоев и пару заземленных электродных слоев, где по меньшей мере два соседних электродных слоя являются высокочастотными электродными слоями, или по меньшей мере два соседних электродных слоя являются заземленными электродными слоями; и пропускания полотна ткани между упомянутыми электродными слоями.
17. Способ по п. 16, в котором стадия пропускания полотна ткани между упомянутыми электродными слоями включает использование множества валиков.
18. Полотно ткани, подвергнутое процедуре нанесения покрытия из полимерного слоя с использованием плазменной камеры по любому из пп. 1-15.
19. Полотно ткани, подвергнутое процедуре нанесения покрытия из полимерного слоя с использованием способа по п. 16 или 17.
20. Плазменная камера по п. 5, имеющая одну или несколько ячеек нагрузки, которые могут быть откалиброваны сразу после достижения предварительно определенного низкого базового давления и перед первой стадией обработки.
Applications Claiming Priority (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB201218054A GB201218054D0 (en) | 2012-10-09 | 2012-10-09 | Apparatus and method of using same |
| GB1218054.3 | 2012-10-09 | ||
| GBGB1316113.8A GB201316113D0 (en) | 2013-09-10 | 2013-09-10 | Apparatus and method for applying surface coatings |
| GB1316113.8 | 2013-09-10 | ||
| PCT/EP2013/071020 WO2014056968A1 (en) | 2012-10-09 | 2013-10-09 | Apparatus and method for applying surface coatings |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2015117763A true RU2015117763A (ru) | 2016-12-10 |
Family
ID=49354645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015117763A RU2015117763A (ru) | 2012-10-09 | 2013-10-09 | Аппарат и способ для нанесения покрытий на поверхности |
Country Status (12)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10366868B2 (ru) |
| EP (1) | EP2906739B1 (ru) |
| JP (2) | JP2016502588A (ru) |
| KR (1) | KR102184276B1 (ru) |
| CN (1) | CN104822859B (ru) |
| AU (1) | AU2013328747A1 (ru) |
| BR (1) | BR112015007957A2 (ru) |
| CA (1) | CA2887871A1 (ru) |
| DK (1) | DK2906739T3 (ru) |
| IL (1) | IL238193A0 (ru) |
| RU (1) | RU2015117763A (ru) |
| WO (1) | WO2014056968A1 (ru) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB201316113D0 (en) * | 2013-09-10 | 2013-10-23 | Europlasma Nv | Apparatus and method for applying surface coatings |
| EP3101170B1 (en) | 2015-06-03 | 2018-08-22 | Europlasma NV | Surface coatings |
| ES2952839T3 (es) | 2016-04-14 | 2023-11-06 | Sefar Ag | Membrana de material compuesto y procedimiento para producir una membrana de material compuesto |
| CN107177835B (zh) * | 2017-05-21 | 2018-06-19 | 江苏菲沃泰纳米科技有限公司 | 一种循环大占空比脉冲放电制备多功能性纳米防护涂层的方法 |
| CN111417733B (zh) * | 2017-11-30 | 2022-03-04 | 卡尔蒂格利诺·奥菲希恩公司 | 干燥经过预处理的柔性片材产品的设备 |
| ES3040230T3 (en) * | 2019-02-19 | 2025-10-29 | Xefco Pty Ltd | System for treatment and/or coating of substrates |
| CN114502252A (zh) * | 2019-10-24 | 2022-05-13 | 纱帝股份公司 | 一种用于制备复合过滤介质的方法和用该方法获得的复合过滤介质 |
| CN113324392A (zh) * | 2020-02-28 | 2021-08-31 | 山东泰达染整机械有限公司 | 高效烘干机烘房 |
| CN112030553B (zh) * | 2020-08-31 | 2023-08-04 | 四川轻化工大学 | 用于织物、无纺布与多孔性薄膜的等离子改性方法及系统 |
| EP4291702A1 (en) | 2021-02-12 | 2023-12-20 | AGC Glass Europe | Method of coating onto fabric substrates by means of plasma |
| RU2763379C1 (ru) * | 2021-06-18 | 2021-12-28 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Казанский национальный исследовательский технологический университет» (ФГБОУ ВО «КНИТУ») | Способ получения электропроводящего металлизированного текстильного материала |
| GB202312418D0 (en) * | 2023-08-14 | 2023-09-27 | P2I Ltd | Coating apparatus |
| CN119083070B (zh) * | 2024-10-14 | 2025-10-17 | 高梵(浙江)信息技术有限公司 | 一种芳香型羊绒面料熏蒸装置 |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6039088B2 (ja) * | 1977-12-08 | 1985-09-04 | 東レ株式会社 | 高分子樹脂の放電処理方法 |
| US4331526A (en) * | 1979-09-24 | 1982-05-25 | Coulter Systems Corporation | Continuous sputtering apparatus and method |
| US4282077A (en) * | 1980-07-03 | 1981-08-04 | General Dynamics, Pomona Division | Uniform plasma etching system |
| US4389970A (en) * | 1981-03-16 | 1983-06-28 | Energy Conversion Devices, Inc. | Apparatus for regulating substrate temperature in a continuous plasma deposition process |
| US4829189A (en) * | 1986-07-18 | 1989-05-09 | Sando Iron Works Co., Ltd. | Apparatus for low-temperature plasma treatment of sheet material |
| US4968918A (en) * | 1987-07-06 | 1990-11-06 | Kanebo, Ltd. | Apparatus for plasma treatment |
| JPH0630877Y2 (ja) * | 1988-08-19 | 1994-08-17 | 鐘紡株式会社 | プラズマ処理装置 |
| JPH0369657A (ja) * | 1989-08-08 | 1991-03-26 | Naigai Tokushu Senko Kk | 長尺シート状物の搬送装置及びその搬送装置に用いる長尺シート状物の張力調整装置、並びに前記搬送装置を備えた長尺シート状物の処理装置 |
| DE4117332C2 (de) * | 1991-05-31 | 1995-11-23 | Ivanovskij Ni Skij Eksperiment | Verfahren zur Behandlung von laufendem Substrat mit Hilfe eines elektrischen Entladungsplasmas und Vorrichtung zu dessen Durchführung |
| JP3571785B2 (ja) * | 1993-12-28 | 2004-09-29 | キヤノン株式会社 | 堆積膜形成方法及び堆積膜形成装置 |
| JPH09176855A (ja) * | 1995-12-22 | 1997-07-08 | Fuji Electric Corp Res & Dev Ltd | 薄膜形成装置 |
| US6638359B2 (en) * | 2000-01-31 | 2003-10-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Deposited film forming apparatus and deposited film forming method |
| US20030116281A1 (en) * | 2000-02-11 | 2003-06-26 | Anthony Herbert | Atmospheric pressure plasma system |
| US20060118242A1 (en) * | 2001-02-12 | 2006-06-08 | Anthony Herbert | Atmospheric pressure plasma system |
| JP2002322558A (ja) * | 2001-04-25 | 2002-11-08 | Konica Corp | 薄膜形成方法、光学フィルム、偏光板及び画像表示装置 |
| GB0208261D0 (en) * | 2002-04-10 | 2002-05-22 | Dow Corning | An atmospheric pressure plasma assembly |
| CA2435639A1 (en) | 2003-07-21 | 2005-01-21 | Robert C. Rajewski | Timing apparatus |
| GB2419358B (en) * | 2003-08-28 | 2008-01-16 | Surface Innovations Ltd | Apparatus for the coating and/or conditioning of substrates |
| BRPI0709199A2 (pt) * | 2006-03-26 | 2011-06-28 | Lotus Applied Technology Llc | sistema e método para depositar uma pelìcula fina em um substrato flexìvel |
| JP5455405B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2014-03-26 | 日本碍子株式会社 | シリコン系薄膜量産方法 |
| JP5241383B2 (ja) * | 2008-08-27 | 2013-07-17 | 株式会社神戸製鋼所 | 連続成膜装置 |
| JP5240782B2 (ja) * | 2009-05-18 | 2013-07-17 | 株式会社神戸製鋼所 | 連続成膜装置 |
| BE1019159A5 (nl) | 2010-01-22 | 2012-04-03 | Europlasma Nv | Werkwijze voor de afzetting van een gelijkmatige nanocoating door middel van een lage druk plasma proces. |
| JP5648402B2 (ja) * | 2010-09-30 | 2015-01-07 | 住友金属鉱山株式会社 | スパッタリング装置、スパッタリング方法及び金属ベース層付樹脂フィルムの製造方法 |
| GB2489761B (en) | 2011-09-07 | 2015-03-04 | Europlasma Nv | Surface coatings |
-
2013
- 2013-10-09 DK DK13776455.1T patent/DK2906739T3/en active
- 2013-10-09 CA CA2887871A patent/CA2887871A1/en not_active Abandoned
- 2013-10-09 AU AU2013328747A patent/AU2013328747A1/en not_active Abandoned
- 2013-10-09 CN CN201380062956.8A patent/CN104822859B/zh active Active
- 2013-10-09 EP EP13776455.1A patent/EP2906739B1/en active Active
- 2013-10-09 JP JP2015536112A patent/JP2016502588A/ja active Pending
- 2013-10-09 BR BR112015007957A patent/BR112015007957A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2013-10-09 RU RU2015117763A patent/RU2015117763A/ru unknown
- 2013-10-09 KR KR1020157012353A patent/KR102184276B1/ko active Active
- 2013-10-09 WO PCT/EP2013/071020 patent/WO2014056968A1/en not_active Ceased
- 2013-10-09 US US14/434,525 patent/US10366868B2/en active Active
-
2015
- 2015-04-12 IL IL238193A patent/IL238193A0/en unknown
-
2018
- 2018-10-04 JP JP2018188756A patent/JP6998852B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2019035153A (ja) | 2019-03-07 |
| JP2016502588A (ja) | 2016-01-28 |
| IL238193A0 (en) | 2015-05-31 |
| AU2013328747A1 (en) | 2015-05-28 |
| CA2887871A1 (en) | 2014-04-17 |
| DK2906739T3 (en) | 2017-03-13 |
| KR102184276B1 (ko) | 2020-12-01 |
| EP2906739B1 (en) | 2016-11-30 |
| WO2014056968A1 (en) | 2014-04-17 |
| US10366868B2 (en) | 2019-07-30 |
| BR112015007957A2 (pt) | 2017-07-04 |
| KR20150065890A (ko) | 2015-06-15 |
| CN104822859B (zh) | 2019-03-12 |
| EP2906739A1 (en) | 2015-08-19 |
| JP6998852B2 (ja) | 2022-01-18 |
| US20150255252A1 (en) | 2015-09-10 |
| CN104822859A (zh) | 2015-08-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2015117763A (ru) | Аппарат и способ для нанесения покрытий на поверхности | |
| US11661703B2 (en) | Cellulose based film structure and method for producing the same | |
| RU2013154756A (ru) | Способ комбинированного прокатывания и вытягивания лент | |
| US9682542B2 (en) | Method for producing graphite film, method for rewinding same, and method for producing graphite composite film and graphite die-cutting product | |
| AR113048A1 (es) | Sistema y métodos de revestimiento de telas y calandrado | |
| CN105620008B (zh) | 单向层合物及其制备方法和系统、无纬布及防护制品 | |
| US10122045B2 (en) | Solid electrolyte membrane with film and method for producing same | |
| RU2013109940A (ru) | Лист из текстурированной электротехнической стали и способ его изготовления | |
| CN105008552B (zh) | 在涂饰工序期间用于干燥生皮的方法及装置 | |
| WO2013023058A3 (en) | Inerted plate dryer and method of drying solvent based coating | |
| WO2012030596A3 (en) | Process of expediting activation of heat-expandable adhesives/coatings used in making packaging substrates | |
| WO2013030290A3 (en) | Process for stretching a film web | |
| CN101879419B (zh) | 多层聚四氟乙烯膜及其制备方法及装置 | |
| TW201623730A (zh) | 新穎超高分子量聚乙烯纖維及其製造方法 | |
| JP2017023906A (ja) | ウエブ塗工装置及びウエブ塗工方法 | |
| WO2012163283A1 (zh) | 一种纤维展宽装置 | |
| CN106223103A (zh) | 一种聚酯间位芳纶复合纸的制备方法 | |
| NO133483B (ru) | ||
| CN207566535U (zh) | 一种多层放卷展平装置及锂电池隔膜生产线 | |
| JP5341704B2 (ja) | 積層シートの製造装置及び製造方法 | |
| GB2572701A (en) | Method of making a multi-layer magneto-dielectric material | |
| KR101889610B1 (ko) | 필름의 제조 방법, 전지용 세퍼레이터 필름, 비수 전해액 이차 전지용 세퍼레이터 및 비수 전해액 이차 전지 | |
| JP2016204093A (ja) | ウエブの皺延ばし装置 | |
| JP5465912B2 (ja) | フィルムの製造方法 | |
| JP5691824B2 (ja) | 不織布プレス方法及び不織布プレス装置 |