RU2015151596A - Способ получения нанопрофилированной ультратонкой пленки Al2O3 на поверхности пористого кремния - Google Patents
Способ получения нанопрофилированной ультратонкой пленки Al2O3 на поверхности пористого кремния Download PDFInfo
- Publication number
- RU2015151596A RU2015151596A RU2015151596A RU2015151596A RU2015151596A RU 2015151596 A RU2015151596 A RU 2015151596A RU 2015151596 A RU2015151596 A RU 2015151596A RU 2015151596 A RU2015151596 A RU 2015151596A RU 2015151596 A RU2015151596 A RU 2015151596A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- film
- nanoprofiled
- ultrafine
- producing
- porous silicon
- Prior art date
Links
- 229910021426 porous silicon Inorganic materials 0.000 title claims 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 title 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 title 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 title 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims 4
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims 2
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 claims 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims 1
- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 claims 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82B—NANOSTRUCTURES FORMED BY MANIPULATION OF INDIVIDUAL ATOMS, MOLECULES, OR LIMITED COLLECTIONS OF ATOMS OR MOLECULES AS DISCRETE UNITS; MANUFACTURE OR TREATMENT THEREOF
- B82B3/00—Manufacture or treatment of nanostructures by manipulation of individual atoms or molecules, or limited collections of atoms or molecules as discrete units
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Claims (3)
1. Способ получения нанопрофилированной ультратонкой пленки Al2O3 на поверхности пористого кремния заключается в осаждении наноразмерной пленки Al2O3 в виде ориентированных в одном направлении нанонитей высотой 80-100 нм, расположенных на поверхности на расстоянии 300-500 нм друг от друга, включающий анодное электрохимическое травление в электролите исходного монокристаллического кремния в ячейке электрохимического травления, нанесение методом ионно-плазменного распыления на слой пористого кремния пленки Al2O3.
2. Способ по п. 1 отличается тем, что формирование пленки проводят при рабочем давлении в камере в диапазоне 3-5⋅10-3 мм рт.ст. и потенциала мишени - 400-600 В.
3. Способ по п. 1 отличается тем, что механизм роста пленки задается кристаллографической ориентацией исходной пластины монокристаллического кремния, используемой для создания пористого слоя, методом и условиями создания пористого слоя, а также способом формирования пленки Al2O3 методом ионно-плазменного распыления.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015151596A RU2634326C2 (ru) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | Способ получения нанопрофилированной ультратонкой пленки Al2O3 на поверхности пористого кремния |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2015151596A RU2634326C2 (ru) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | Способ получения нанопрофилированной ультратонкой пленки Al2O3 на поверхности пористого кремния |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2015151596A true RU2015151596A (ru) | 2017-06-06 |
| RU2634326C2 RU2634326C2 (ru) | 2017-10-25 |
Family
ID=59031713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2015151596A RU2634326C2 (ru) | 2015-12-01 | 2015-12-01 | Способ получения нанопрофилированной ультратонкой пленки Al2O3 на поверхности пористого кремния |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2634326C2 (ru) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113387370A (zh) * | 2020-03-11 | 2021-09-14 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种使用低温等离子技术调节沸石分子筛晶体形貌与结构的方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2059322C1 (ru) * | 1991-06-03 | 1996-04-27 | Научно-инженерно-технологический центр "Микроэлектроника" Белорусской инженерной технологической академии | Способ фотохимического осаждения тонких пленок и устройство для его осуществления |
| KR100320796B1 (ko) * | 1999-12-29 | 2002-01-17 | 박종섭 | 게이트 유전체막이 적용되는 반도체 소자의 제조 방법 |
| RU2306631C2 (ru) * | 2004-11-30 | 2007-09-20 | Федеральное Государственное Унитарное Предприятие "Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова" (НИФХИМ им. Л.Я. Карпова) | Способ импульсно-лазерного получения тонких пленок материалов с высокой диэлектрической проницаемостью |
| RU2516366C2 (ru) * | 2012-09-10 | 2014-05-20 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Северо-Осетинский государственный университет имени Коста Левановича Хетагурова" (СОГУ) | СПОСОБ ОСАЖДЕНИЯ НАНОРАЗМЕРНОЙ ПЛЕНКИ АЛЬФА-Al2O3 (0001) НА МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОДЛОЖКИ |
-
2015
- 2015-12-01 RU RU2015151596A patent/RU2634326C2/ru not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113387370A (zh) * | 2020-03-11 | 2021-09-14 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种使用低温等离子技术调节沸石分子筛晶体形貌与结构的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2634326C2 (ru) | 2017-10-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2012061266A3 (en) | Method of forming an array of nanostructures | |
| RU2014109053A (ru) | Двигатель внутреннего сгорания и способ его изготовления | |
| JP2016100593A5 (ru) | ||
| WO2015156874A3 (en) | Integration of epitaxial lift-off solar cells with mini-parabolic concentrator arrays via printing method | |
| CN102041540A (zh) | 三维渐变孔阵列纳米结构阳极氧化铝模板及其制备方法 | |
| WO2015100880A1 (zh) | 掩膜板及其制作方法 | |
| RU2009122487A (ru) | ПЛАСТИНА С ЭПИТАКСИАЛЬНЫМ СЛОЕМ GaN И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ УСТРОЙСТВА И СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПЛАСТИН С ЭПИТАКСИАЛЬНЫМ СЛОЕМ GaN И ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ УСТРОЙСТВ | |
| NO20083569L (no) | Fremgangsmate for a produsere silisiumtynnfilm pa en substratflate ved dampdeponering | |
| RU2018113432A (ru) | Способ изготовления составной подложки из sic | |
| EP2490047A3 (en) | Optical member, method of manufacturing the same, and optical system using the same | |
| EP2570519A3 (en) | Localized, In-Vacuum Modification of Small Structures | |
| JP2015199649A5 (ru) | ||
| RU2015134574A (ru) | Катод в форме таблетки для применения в биосовместимой батарее | |
| WO2014072829A3 (en) | Nanometer sized structures grown by pulsed laser deposition | |
| CN101870453A (zh) | 半导体纳米柱阵列结构的制作方法 | |
| EP2492953A3 (en) | Nitride based light emitting device using patterned lattice buffer layer and method of manufacturing the same | |
| RU2015151596A (ru) | Способ получения нанопрофилированной ультратонкой пленки Al2O3 на поверхности пористого кремния | |
| JP2015214448A5 (ru) | ||
| WO2019083251A3 (ko) | 3차원 세라믹 복합체 계면 구조를 포함하는 고체 산화물 셀의 제조 방법 | |
| EP2737940A3 (en) | Method for producing alumina-crystal-particle-dispersed alumina sol, alumina-crystal-particle-dispersed alumina sol obtained by the method, and aluminum coated member produced using the sol | |
| EP2887386A3 (en) | Method of etching | |
| JP2015061060A5 (ru) | ||
| WO2017099407A3 (ko) | 전극의 식각 방법 및 상기 식각 방법으로 식각된 전극을 포함하는 이차 전지 | |
| WO2017023394A3 (en) | NANOWIRE BENDING FOR PLANAR DEVICE PROCESS ON (001) Si SUBSTRATES | |
| CN109713099B (zh) | 一种图形化蓝宝石衬底结构及其制作工艺 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20181202 |