[go: up one dir, main page]

RU2014117178A - Покрытие из нитрида алюминия-титана с адаптированной морфологией для повышенной износостойкости при операциях обработки резанием и соответствующий способ - Google Patents

Покрытие из нитрида алюминия-титана с адаптированной морфологией для повышенной износостойкости при операциях обработки резанием и соответствующий способ Download PDF

Info

Publication number
RU2014117178A
RU2014117178A RU2014117178/02A RU2014117178A RU2014117178A RU 2014117178 A RU2014117178 A RU 2014117178A RU 2014117178/02 A RU2014117178/02 A RU 2014117178/02A RU 2014117178 A RU2014117178 A RU 2014117178A RU 2014117178 A RU2014117178 A RU 2014117178A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
applying
parts
grain size
pvd method
Prior art date
Application number
RU2014117178/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2624876C2 (ru
Inventor
Денис КУРАПОВ
Зигфрид КРАССНИТЦЕР
Original Assignee
Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах filed Critical Эрликон Трейдинг Аг, Трюббах
Publication of RU2014117178A publication Critical patent/RU2014117178A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2624876C2 publication Critical patent/RU2624876C2/ru

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0617—AIII BV compounds, where A is Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/228—Gas flow assisted PVD deposition
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/24983—Hardness
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/24992—Density or compression of components
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678—Of metal

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)

Abstract

1. Покрытие из (Al,Ti)N, обладающее по меньшей мере двумя разными частями покрытия, А и В, с размером зерна нанометрового порядка величины, характеризующееся тем, что часть А покрытия обладает более крупным размером зерна и более высоким модулем упругости, чем часть В покрытия.2. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что часть В покрытия нанесена на часть А покрытия.3. Покрытие из (Al,Ti)N по любому из пп. 1 и 2, характеризующееся тем, что содержание алюминия в атомных процентах по отношению к титану и/или напряжение сжатия, измеренное(ые) в части А покрытия, являются/является по меньшей мере слегка меньшим(и), чем измеренное(ые) в части В покрытия.4. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что размер зерна в частях А и В покрытия составляет между 5 нм и 50 нм, предпочтительно между 5 нм и 30 нм.5. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что размер зерна в части А покрытия, gz, является по меньшей мере в 1,25 раза большим, чем в части В покрытия, gz, предпочтительно gz1,5·gz, более предпочтительно 10·gz≥gz≥1,5·gz, еще более предпочтительно 4·gz≥gz≥1,8·gz.6. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1 , характеризующееся тем, что обе части А и В покрытия обладают гранецентрированными кубическими кристаллическими структурами и кристаллографической текстурой преимущественно (200).7. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что обе части А и В покрытия обладают значениями твердости между37 ГПа и 55 ГПа и/или значениями модуля упругости между 410 ГПа и 450 ГПа.8. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что толщина части А покрытия, th, является меньшей, чем толщина части В покрытия, th, предпочтительно 1,2·th≤th≤8·th, более предпочтительно 1,5·th≤th≤3·th.9. Подложка

Claims (22)

1. Покрытие из (Al,Ti)N, обладающее по меньшей мере двумя разными частями покрытия, А и В, с размером зерна нанометрового порядка величины, характеризующееся тем, что часть А покрытия обладает более крупным размером зерна и более высоким модулем упругости, чем часть В покрытия.
2. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что часть В покрытия нанесена на часть А покрытия.
3. Покрытие из (Al,Ti)N по любому из пп. 1 и 2, характеризующееся тем, что содержание алюминия в атомных процентах по отношению к титану и/или напряжение сжатия, измеренное(ые) в части А покрытия, являются/является по меньшей мере слегка меньшим(и), чем измеренное(ые) в части В покрытия.
4. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что размер зерна в частях А и В покрытия составляет между 5 нм и 50 нм, предпочтительно между 5 нм и 30 нм.
5. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что размер зерна в части А покрытия, gzA, является по меньшей мере в 1,25 раза большим, чем в части В покрытия, gzB, предпочтительно gzA≥1,5·gzB, более предпочтительно 10·gzB≥gzA≥1,5·gzB, еще более предпочтительно 4·gzB≥gzA≥1,8·gzB.
6. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1 , характеризующееся тем, что обе части А и В покрытия обладают гранецентрированными кубическими кристаллическими структурами и кристаллографической текстурой преимущественно (200).
7. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что обе части А и В покрытия обладают значениями твердости между
37 ГПа и 55 ГПа и/или значениями модуля упругости между 410 ГПа и 450 ГПа.
8. Покрытие из (Al,Ti)N по п. 1, характеризующееся тем, что толщина части А покрытия, thA, является меньшей, чем толщина части В покрытия, thB, предпочтительно 1,2·thA≤thB≤8·thA, более предпочтительно 1,5·thA≤thB≤3·thA.
9. Подложка, по меньшей мере частично покрытая покрытием из (Al,Ti)N по любому из пп. 1-8.
10. Подложка по п. 9, характеризующаяся тем, что подложка является инструментом, в частности, она является режущим инструментом, конкретнее, она является режущим инструментом, содержащим и состоящим из стали и/или цементированного карбида, и/или керамики, и/или кубического нитрида бора.
11. Способ покрытия подложки по любому из пп. 9 и 10, характеризующийся тем, что по меньшей мере часть А покрытия и/или часть В покрытия у покрытия из (Al,Ti)N наносят посредством методов PVD.
12. Способ по п. 11, характеризующийся тем, что по меньшей мере для нанесения части А покрытия и/или части В покрытия у покрытия из (Al,Ti)N используют методы нанесения реакционным ионно-дуговым осаждением, при этом в качестве исходного материала используют по меньшей мере одну мишень, содержащую титан и алюминий, а для формирования покрытия в качестве реакционноспособного газа используют азот или газ, содержащий преимущественно азот.
13. Способ по п. 11, характеризующийся тем, что по
меньшей мере для нанесения части А покрытия и/или части В покрытия у покрытия из (Al,Ti)N используют дуговой испаритель, включающий в себя катод, расположенный в непосредственной близости от катода анод и магнитное средство, причем магнитное средство позволяет вести силовые линии магнитного поля к аноду.
14. Способ по п. 11, характеризующийся тем, что для нанесения части А покрытия используют более высокое значение тока катушки, чем для нанесения части В покрытия.
15. Способ по п. 11, характеризующийся тем, что для нанесения части В покрытия у покрытия из (Al,Ti)N на покрываемую подложку подают напряжение смещения с более отрицательным значением по сравнению с подаваемым для нанесения части А покрытия.
16. PVD способ нанесения на подложку покрытия, имеющего по меньшей мере две разные части покрытия, А и В, имеющие разный размер зерна, предпочтительно нанометрового порядка величины, причем часть А покрытия обладает большим средним размером зерна, чем у части В покрытия, характеризующийся тем, что плазма, получаемая во время нанесения части А покрытия, обладает более низкой электронной температурой и/или более низкой ионизацией реакционноспособного газа по сравнению с получаемой во время нанесения части В покрытия.
17. PVD способ по п. 16, характеризующийся тем, что PVD способ является PVD способом с реакционным электродуговым испарением.
18. PVD способ по п. 17, характеризующийся тем, что для нанесения части А покрытия и/или нанесения части В покрытия
используют по меньшей мере один дуговой испаритель, включающий в себя катод, расположенный в непосредственной близости от катода анод и магнитное средство, причем магнитное средство позволяет вести силовые линии магнитного поля к аноду.
19. PVD способ по п. 16, характеризующийся тем, что для нанесения части А покрытия используют более высокий ток катушки, чем для нанесения части В покрытия.
20. PVD способ по п. 16, характеризующийся тем, что для нанесения части А покрытия на покрываемую подложку подают отрицательное напряжение смещения, абсолютное значение которого ниже, чем у подаваемого для нанесения части В покрытия.
21. PVD способ по п. 16, характеризующийся тем, что для нанесения частей А и В покрытия используют одинаковый тип материала мишени, состоящий из одинаковых элементов и имеющий одинаковый химический состав в атомных процентах.
22. PVD способ по п. 16, характеризующийся тем, что по меньшей мере одна из мишеней, используемых для нанесения частей А и/или В покрытия, изготовлена методами порошковой металлургии.
RU2014117178A 2011-09-30 2012-09-19 Покрытие из нитрида алюминия-титана с адаптированной морфологией для повышенной износостойкости при операциях обработки резанием и соответствующий способ RU2624876C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP11007997 2011-09-30
EP11007997.7 2011-09-30
PCT/EP2012/003896 WO2013045039A2 (en) 2011-09-30 2012-09-19 Aluminum titanium nitride coating with adapted morphology for enhanced wear resistance in machining operations and method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014117178A true RU2014117178A (ru) 2015-11-10
RU2624876C2 RU2624876C2 (ru) 2017-07-07

Family

ID=46934508

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014117178A RU2624876C2 (ru) 2011-09-30 2012-09-19 Покрытие из нитрида алюминия-титана с адаптированной морфологией для повышенной износостойкости при операциях обработки резанием и соответствующий способ

Country Status (19)

Country Link
US (1) US9447488B2 (ru)
EP (1) EP2761058B1 (ru)
JP (1) JP6236606B2 (ru)
KR (1) KR102109988B1 (ru)
CN (1) CN103958738B (ru)
AR (1) AR088183A1 (ru)
BR (1) BR112014007639B1 (ru)
CA (1) CA2850270C (ru)
DK (1) DK2761058T3 (ru)
ES (1) ES2750572T3 (ru)
HU (1) HUE046095T2 (ru)
MX (1) MX345799B (ru)
MY (1) MY165165A (ru)
PH (1) PH12014500707B1 (ru)
PL (1) PL2761058T3 (ru)
PT (1) PT2761058T (ru)
RU (1) RU2624876C2 (ru)
SG (1) SG11201401080RA (ru)
WO (1) WO2013045039A2 (ru)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9168664B2 (en) 2013-08-16 2015-10-27 Kennametal Inc. Low stress hard coatings and applications thereof
US9896767B2 (en) 2013-08-16 2018-02-20 Kennametal Inc Low stress hard coatings and applications thereof
JP6387190B2 (ja) * 2015-07-15 2018-09-05 住友電気工業株式会社 被膜
US11346359B2 (en) 2015-10-30 2022-05-31 Baker Hughes Oilfield Operations, Llc Oil and gas well pump components and method of coating such components
KR102064172B1 (ko) * 2017-09-01 2020-01-09 한국야금 주식회사 내마모성과 인성이 우수한 경질피막
JP7054473B2 (ja) * 2018-03-14 2022-04-14 三菱マテリアル株式会社 表面被覆切削工具
KR20210031908A (ko) * 2018-07-10 2021-03-23 넥스트 바이오메트릭스 그룹 에이에스에이 전자 장치용 열전도성 및 보호성 코팅
RU2694857C1 (ru) * 2018-08-06 2019-07-18 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Уфимский государственный авиационный технический университет" Способ нанесения износостойкого покрытия ионно-плазменным методом
EP3839098A1 (en) * 2019-12-20 2021-06-23 Walter Ag A coated cutting tool
JP7368586B2 (ja) * 2020-02-21 2023-10-24 株式会社Moldino 被覆工具
JP7108966B2 (ja) * 2020-06-24 2022-07-29 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
CN112267095B (zh) * 2020-09-15 2022-04-19 武汉理工大学 一种模具pvd涂层方法
WO2022069589A1 (en) * 2020-09-29 2022-04-07 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Al-rich altin coating layers produced by pvd from metallic targets

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02194159A (ja) 1988-03-24 1990-07-31 Kobe Steel Ltd 耐摩耗性皮膜形成方法
JP2999346B2 (ja) * 1993-07-12 2000-01-17 オリエンタルエンヂニアリング株式会社 基体表面被覆方法及び被覆部材
US5722803A (en) * 1995-07-14 1998-03-03 Kennametal Inc. Cutting tool and method of making the cutting tool
JP2003113463A (ja) * 2001-08-03 2003-04-18 Toshiba Tungaloy Co Ltd ＴｉＡｌ化合物膜被覆部材およびその製造方法
CN100431756C (zh) * 2004-01-30 2008-11-12 三菱麻铁里亚尔株式会社 表面包覆超硬合金制切削工具及其制造方法
US7799415B2 (en) * 2004-07-08 2010-09-21 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool with coated film having strength distribution of compressive stress
JP2006028600A (ja) 2004-07-16 2006-02-02 Kobe Steel Ltd 耐摩耗性と耐熱性に優れた積層皮膜
JP2006281363A (ja) * 2005-03-31 2006-10-19 Kyocera Corp 表面被覆部材および表面被覆切削工具
DE102005032860B4 (de) * 2005-07-04 2007-08-09 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Hartstoffbeschichtete Körper und Verfahren zu deren Herstellung
JP2007260806A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Sumitomo Metal Ind Ltd 切削工具
TWI411696B (zh) * 2006-07-19 2013-10-11 Oerlikon Trading Ag 沉積電絕緣層之方法
MX2009003288A (es) * 2006-09-26 2009-06-30 Oerlikon Trading Ag Pieza de trabajo con revestimiento duro.
EP2298954B1 (en) * 2009-09-18 2013-03-13 Sandvik Intellectual Property Ab A PVD method for depositing a coating onto a body and coated bodies made thereof
JP5321975B2 (ja) 2009-09-24 2013-10-23 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
US8277958B2 (en) * 2009-10-02 2012-10-02 Kennametal Inc. Aluminum titanium nitride coating and method of making same
JP5896918B2 (ja) * 2010-01-11 2016-03-30 イスカーリミテッド 被覆切削工具
JP5976631B2 (ja) * 2010-04-23 2016-08-23 エリコン メタプラス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツンク ＡｌＴｉＮコーティングを被着する被着方法
SI2585622T1 (en) 2010-06-22 2018-06-29 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfaeffikon An arc source for evaporation with a defined electric field

Also Published As

Publication number Publication date
ES2750572T3 (es) 2020-03-26
PL2761058T3 (pl) 2020-03-31
AR088183A1 (es) 2014-05-14
EP2761058B1 (en) 2019-08-14
JP6236606B2 (ja) 2017-11-29
US9447488B2 (en) 2016-09-20
CN103958738A (zh) 2014-07-30
PT2761058T (pt) 2019-11-25
CN103958738B (zh) 2017-09-01
SG11201401080RA (en) 2014-04-28
BR112014007639B1 (pt) 2021-02-09
MX345799B (es) 2017-02-15
HUE046095T2 (hu) 2020-01-28
KR102109988B1 (ko) 2020-05-13
MY165165A (en) 2018-02-28
EP2761058A2 (en) 2014-08-06
KR20140074370A (ko) 2014-06-17
WO2013045039A2 (en) 2013-04-04
MX2014003868A (es) 2014-08-27
US20140287209A1 (en) 2014-09-25
DK2761058T3 (da) 2019-11-04
CA2850270C (en) 2019-05-14
RU2624876C2 (ru) 2017-07-07
PH12014500707A1 (en) 2014-05-12
CA2850270A1 (en) 2013-04-04
PH12014500707B1 (en) 2018-07-04
WO2013045039A3 (en) 2013-08-29
JP2014532117A (ja) 2014-12-04
BR112014007639A2 (pt) 2017-04-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2014117178A (ru) Покрытие из нитрида алюминия-титана с адаптированной морфологией для повышенной износостойкости при операциях обработки резанием и соответствующий способ
KR102861742B1 (ko) Al이 풍부한 AlTiN 기반의 필름
KR101979041B1 (ko) 고성능 공구용 나노층 코팅
Lin et al. Diamond like carbon films deposited by HiPIMS using oscillatory voltage pulses
Wang et al. Influence of substrate negative bias on structure and properties of TiN coatings prepared by hybrid HIPIMS method
Ulrich et al. Influence of low energy ion implantation on mechanical properties of magnetron sputtered metastable (Cr, Al) N thin films
Du et al. Effect of interlayers on the structure and properties of TiAlN based coatings on WC-Co cemented carbide substrate
Kim et al. Properties of TiAlN coatings synthesized by closed-field unbalanced magnetron sputtering
Wei et al. Effects of pulsed bias duty ratio on microstructure and mechanical properties of TiN/TiAlN multilayer coatings
JP2016032861A (ja) 被覆工具
JP2015157351A (ja) 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
Yang et al. Influence of high power impulse magnetron sputtering pulse parameters on the properties of aluminum nitride coatings
Žemlička et al. Enhancing mechanical properties and cutting performance of industrially sputtered AlCrN coatings by inducing cathodic arc glow discharge
US10106881B2 (en) Coating comprising a Mo-N-based layer in which the molybdenum nitride is provided as a delta phase
JP5293330B2 (ja) 表面被覆立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料製切削工具
JP7707063B2 (ja) セラミックターゲットから堆積されたＡｌリッチな立方晶ＡｌＴｉＮコーティング
EP3109341A1 (en) Hard coating film and method of forming same
US20170058392A1 (en) Hard film and method for forming same, and die for use in hot forming of steel sheet
Zou et al. Characterization and properties of CrN films deposited by ion-source-enhanced middle frequency magnetron sputtering
JP5397690B2 (ja) 硬質被覆層がすぐれた耐欠損性を発揮する表面被覆切削工具
Xu et al. The properties of CrSiN coatings of different Si content
Hu et al. Improvement of discharge and microstructure of Cr-CN coatings by electromagnetically enhanced magnetron sputtering
CN106467959A (zh) 一种基体表面的固体润滑复合涂层及其制备方法
Zhang et al. Deposition and characterization of Ti–Cx–Ny nanocomposite films by pulsed bias arc ion plating
JP2011189499A (ja) 硬質皮膜被覆工具

Legal Events

Date Code Title Description
HZ9A Changing address for correspondence with an applicant
HZ9A Changing address for correspondence with an applicant
HC9A Changing information about inventors