[go: up one dir, main page]

RU2014148767A - Зеркало с необязательным слоем защитной краски и/или способы его изготовления - Google Patents

Зеркало с необязательным слоем защитной краски и/или способы его изготовления Download PDF

Info

Publication number
RU2014148767A
RU2014148767A RU2014148767A RU2014148767A RU2014148767A RU 2014148767 A RU2014148767 A RU 2014148767A RU 2014148767 A RU2014148767 A RU 2014148767A RU 2014148767 A RU2014148767 A RU 2014148767A RU 2014148767 A RU2014148767 A RU 2014148767A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layer
silicon
protective paint
metal
angstroms
Prior art date
Application number
RU2014148767A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2620325C2 (ru
Inventor
ГУТЬЕРРЕС Гильермо БЕНИТО
АЛЬГОРРИ Хавьер УНКЕРА
РОДРИГЕС Анхель АЛЬВАРЕС
Original Assignee
Сантр Люксамбуржуа Де Решерш Пур Ле Верр Э Ля Серамик (С.Р.В.С.) Сарл
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сантр Люксамбуржуа Де Решерш Пур Ле Верр Э Ля Серамик (С.Р.В.С.) Сарл filed Critical Сантр Люксамбуржуа Де Решерш Пур Ле Верр Э Ля Серамик (С.Р.В.С.) Сарл
Publication of RU2014148767A publication Critical patent/RU2014148767A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2620325C2 publication Critical patent/RU2620325C2/ru

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/0808Mirrors having a single reflecting layer
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/0816Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
    • G02B5/085Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/361Coatings of the type glass/metal/inorganic compound/metal/inorganic compound/other
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3618Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3626Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3636Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing silicon, hydrogenated silicon or a silicide
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3649Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer made of metals other than silver
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3652Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/3602Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
    • C03C17/3657Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
    • C03C17/3663Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties specially adapted for use as mirrors
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/34Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
    • C03C17/36Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
    • C03C17/38Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal at least one coating being a coating of an organic material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • C23C14/0652Silicon nitride
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0682Silicides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/10Glass or silica
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/30Coatings combining at least one metallic layer and at least one inorganic non-metallic layer
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/14Protective coatings, e.g. hard coatings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/0006Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 with means to keep optical surfaces clean, e.g. by preventing or removing dirt, stains, contamination, condensation
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/0816Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
    • G02B5/085Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
    • G02B5/0858Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising a single metallic layer with one or more dielectric layers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/08Mirrors
    • G02B5/0816Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers
    • G02B5/085Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal
    • G02B5/0875Multilayer mirrors, i.e. having two or more reflecting layers at least one of the reflecting layers comprising metal the reflecting layers comprising two or more metallic layers

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)

Abstract

1. Способ изготовления зеркала, при этом способ включает:подготовку подложки;нанесение на подложку многослойного тонкопленочного покрытия, включающего в порядке движения от подложки:первый кремний-содержащий слой;металлический или, по существу, металлический слой, содержащий алюминий;второй кремний-содержащий слой; инанесение жидкостным способом защитной краскинепосредственно сверху и в прямом контакте с самым удаленным слоем многослойного тонкопленочного покрытия, при этом защитную краску наносят так, чтобы ее плотность после отверждения составляла 5-100 граммов на квадратный метр; иотверждение защитной краски,при этом после указанного отверждения защитная краска способна в течении семи дней выдерживать воздействие температуры 85°С при 85% относительной влажности, а также в течении семи дней выдерживать воздействие температуры 49°С при 100% относительной влажности.2. Способ по п. 1, в котором каждый из первого и второго кремний-содержащих слоев содержит нитрид кремния.3. Способ по п. 1, в котором первый и второй кремний-содержащие слои имеют толщину менее 100 ангстрем и 70-200 ангстрем, соответственно, и в котором металлический или, по существу, металлический слой, содержащий алюминий, имеет толщину 250-650 ангстрем.4. Способ по п. 3, в котором слой, содержащий NiCr, помещен между металлическим или, по существу, металлическим слоем, содержащим алюминий, и вторым кремний-содержащим слоем, и в котором слой, содержащий NiCr, имеет толщину 5-20 ангстрем.5. Способ по п. 1, в котором слой, содержащий Ni и/или Cr, помещен между металлическим или, по существу, металлическим слоем, содержащим алюминий, и вторым кремний-содержащим слоем.6. Способ по п. 5, в котором слой, содержащий Ni и/или Cr, имеет толщину 5-20 ангс

Claims (25)

1. Способ изготовления зеркала, при этом способ включает:
подготовку подложки;
нанесение на подложку многослойного тонкопленочного покрытия, включающего в порядке движения от подложки:
первый кремний-содержащий слой;
металлический или, по существу, металлический слой, содержащий алюминий;
второй кремний-содержащий слой; и
нанесение жидкостным способом защитной краски
непосредственно сверху и в прямом контакте с самым удаленным слоем многослойного тонкопленочного покрытия, при этом защитную краску наносят так, чтобы ее плотность после отверждения составляла 5-100 граммов на квадратный метр; и
отверждение защитной краски,
при этом после указанного отверждения защитная краска способна в течении семи дней выдерживать воздействие температуры 85°С при 85% относительной влажности, а также в течении семи дней выдерживать воздействие температуры 49°С при 100% относительной влажности.
2. Способ по п. 1, в котором каждый из первого и второго кремний-содержащих слоев содержит нитрид кремния.
3. Способ по п. 1, в котором первый и второй кремний-содержащие слои имеют толщину менее 100 ангстрем и 70-200 ангстрем, соответственно, и в котором металлический или, по существу, металлический слой, содержащий алюминий, имеет толщину 250-650 ангстрем.
4. Способ по п. 3, в котором слой, содержащий NiCr, помещен между металлическим или, по существу, металлическим слоем, содержащим алюминий, и вторым кремний-содержащим слоем, и в котором слой, содержащий NiCr, имеет толщину 5-20 ангстрем.
5. Способ по п. 1, в котором слой, содержащий Ni и/или Cr, помещен между металлическим или, по существу, металлическим слоем, содержащим алюминий, и вторым кремний-содержащим слоем.
6. Способ по п. 5, в котором слой, содержащий Ni и/или Cr, имеет толщину 5-20 ангстрем и непосредственно контактирует и с металлическим или, по существу, металлическим слоем, содержащим алюминий, и со вторым кремний-содержащим слоем.
7. Способ по п. 1, в котором:
слой, содержащий Ni и/или Cr, помещен между металлическим или, по существу, металлическим слоем, содержащим алюминий, и вторым кремний-содержащим слоем и находится с ними в непосредственном контакте,
слой, содержащий Ni и/или Cr, имеет толщину, по меньшей мере, 20 ангстрем, и
второй кремний-содержащий слой имеет толщину, по меньшей мере, 200 ангстрем.
8. Способ по п. 1, в котором изделие с покрытием характеризуется отражательной способностью со стороны стекла, по меньшей мере, 76%.
9. Способ по п. 1, в котором изделие с покрытием характеризуется отражательной способностью со стороны стекла, по меньшей мере, 82%.
10. Способ по п. 1, в котором защитную краску наносят и отверждают при скорости движения технологической линии, по меньшей мере, 7 метров в минуту.
11. Способ по п. 1, в котором каждый из указанных слоев многослойной тонкой пленки нанесен напылением, и в котором защитная краска нанесена распылением.
12. Способ изготовления изделия с покрытием, при этом способ включает:
нанесение напылением на стеклянную подложку покрытия, включающего, по меньшей мере, следующие слои в следующем порядке:
первый кремний-содержащий слой;
металлический или, по существу, металлический слой; и
второй кремний-содержащий слой; и
нанесение жидкостным способом защитной краски непосредственно сверху и в прямом контакте с самым удаленным слоем покрытия, при этом, защитная краска является отверждаемой за менее чем 2 секунды воздействия источника УФ-излучения; и
отверждение защитной краски при помощи, по меньшей мере, одного источника УФ-излучения,
при этом защитную краску наносят жидкостным способом и отверждают при скорости движения технологической линии более 7 метров в минуту.
13. Способ по п. 12, в котором защитная краска после отверждения способна в течении семи дней выдерживать воздействие температуры 85°С при 85% относительной влажности, а также в течении семи дней выдерживать воздействие температуры 49 С при 100% относительной влажности, не проявляя признаков отслоения защитной пленки и признаков повреждения покрытия.
14. Способ по п. 12, в котором каждый из первого и второго кремний-содержащих слоев содержит нитрид кремния.
15. Способ по п. 12, в котором первый и второй кремний-содержащие слои имеют толщину менее 100 ангстрем и 70-200 ангстрем, соответственно, и в котором металлический или, по существу, металлический слой, содержащий алюминий, имеет толщину 250-650 ангстрем.
16. Способ по п. 12, дополнительно включающий нанесение напылением слоя, содержащего NiCr, непосредственно поверх и в непосредственном контакте с металлическим или, по существу, металлическим слоем, содержащим алюминий,
при этом, слой, содержащий NiCr, имеет толщину 5-150 ангстрем.
17. Способ по п. 12, в котором защитная краска после отверждения является непрозрачной.
18. Способ по п. 12, в котором
слой, содержащий Ni и/или Cr, помещен между металлическим или, по существу, металлическим слоем, содержащим алюминий, и вторым кремний-содержащим слоем в непосредственном контакте с ними,
слой, содержащий Ni и/или Cr, имеет толщину, по меньшей мере, 20 ангстрем, и
второй кремний-содержащий слой имеет толщину, по меньшей мере, 200 ангстрем.
19. Способ по п. 18, в котором светопропускание в видимой области спектра через изделие с покрытием и защитной краской поверх него составляет менее 5%.
20. Способ по п. 12, в котором изделие с покрытием характеризуется отражательной способностью со стороны стекла, по меньшей мере, 76%.
21. Способ по п. 12, в котором изделие с покрытием характеризуется отражательной способностью со стороны стекла, по меньшей мере, 82%.
22. Способ по п. 12, дополнительно включающий, после указанного отверждения, нанесение защитной пластиковой пленки поверх защитной краски.
23. Способ по п. 12, в котором защитная краска нанесена так, что ее плотность после отверждения составляет 10-40 граммов на квадратный метр.
24. Способ изготовления зеркал, при этом способ включает:
прием на территории производителя изделия с покрытием, изготовленного в соответствии со способом п. 12; и
разрезание изделия с покрытием на куски одного или нескольких заданных размеров, пригодных для изготовления зеркал.
25. Изделие с покрытием, включающее:
стеклянную подложку, на которую напылением нанесено покрытие, которое включает, по меньшей мере, следующие слои в следующем порядке:
первый кремний-содержащий слой;
металлический или, по существу, металлический слой, содержащий алюминий; и
второй кремний-содержащий слой; и
защитную краску, нанесенную непосредственно поверх и в прямом контакте с самым удаленным слоем покрытия, при этом защитная краска является отверждаемой за менее чем 2 секунды воздействия источника УФ-излучения и при скорости движения технологической линии более 7 метров в минуту,
при этом защитная краска после отверждения способна в течении семи дней выдерживать воздействие температуры 85°С при 85% относительной влажности, а также в течении семи дней выдерживать воздействие температуры 49°С при 100% относительной влажности, не проявляя признаков отслоения защитной пленки и признаков повреждения покрытия.
RU2014148767A 2012-05-04 2013-05-02 Зеркало с необязательным слоем защитной краски и/или способы его изготовления RU2620325C2 (ru)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201261642677P 2012-05-04 2012-05-04
US61/642,677 2012-05-04
US13/873,721 2013-04-30
US13/873,721 US9556069B2 (en) 2011-12-28 2013-04-30 Mirror with optional protective paint layer, and/or methods of making the same
PCT/US2013/039188 WO2013166232A1 (en) 2012-05-04 2013-05-02 Mirror with optional protective paint layer, and/or methods of making the same

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2014148767A true RU2014148767A (ru) 2016-06-27
RU2620325C2 RU2620325C2 (ru) 2017-05-24

Family

ID=49512742

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2014148767A RU2620325C2 (ru) 2012-05-04 2013-05-02 Зеркало с необязательным слоем защитной краски и/или способы его изготовления

Country Status (8)

Country Link
US (1) US9556069B2 (ru)
EP (1) EP2845040A1 (ru)
CN (1) CN104662452B (ru)
BR (1) BR112014027502B1 (ru)
IN (1) IN2014DN09100A (ru)
MX (1) MX2014013305A (ru)
RU (1) RU2620325C2 (ru)
WO (1) WO2013166232A1 (ru)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110078386A (zh) * 2019-05-30 2019-08-02 杭州坤瑞格拉威宝科技有限公司 一种铂金镜生产工艺
CN111208589B (zh) * 2019-12-26 2025-05-27 中国人民解放军国防科技大学 一种耐高温选择性发射红外隐身材料及其制备方法
CN113233786B (zh) * 2021-06-28 2022-08-26 重庆市渝大节能玻璃有限公司 有色玻璃制备工艺
CN116027473B (zh) * 2023-02-24 2025-09-26 苏州江泓电子科技有限公司 一种反射镜及其制备方法和应用

Family Cites Families (48)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4288479A (en) * 1973-09-24 1981-09-08 Design Cote Corp. Radiation curable release coatings
US3939126A (en) * 1974-09-05 1976-02-17 Union Carbide Corporation Acrylyl-terminated urea-urethane compositions
US4059094A (en) 1975-12-04 1977-11-22 Barrio De Mendoza Cayo Petroni Solar energy collector apparatus
US4056313A (en) 1976-06-15 1977-11-01 Arbogast Porter R Multiple mirrored apparatus utilizing solar energy
US4117682A (en) 1976-11-01 1978-10-03 Smith Otto J M Solar collector system
US4161942A (en) 1977-12-27 1979-07-24 Monk Robert J Solar energy collector
US4237864A (en) 1978-05-15 1980-12-09 Barry Kravitz Focusing solar collector
US4963012A (en) 1984-07-20 1990-10-16 The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy Passivation coating for flexible substrate mirrors
US4608964A (en) 1984-11-15 1986-09-02 Foster Wheeler Energy Corporation Tension solar mirror
US4572160A (en) 1984-12-24 1986-02-25 Blikken Wendell A Heliotropic solar heat collector system
DE3626780A1 (de) 1986-08-07 1988-02-18 Man Technologie Gmbh Reflektor
US5215832A (en) * 1990-04-25 1993-06-01 Cardinal Ic Company Lead-free mirrors and environmentally safe manufacture thereof
US5030594A (en) 1990-06-29 1991-07-09 Ppg Industries, Inc. Highly transparent, edge colored glass
US5195503A (en) 1991-06-03 1993-03-23 Ludlow Gilbert T Solar collector
US5347402A (en) 1992-08-12 1994-09-13 Porter Arbogast Multiple mirror assembly for solar collector
US5275149A (en) 1992-11-23 1994-01-04 Ludlow Gilbert T Polar axis solar collector
US6142642A (en) * 1995-06-29 2000-11-07 Cardinal Ig Company Bendable mirrors and method of manufacture
US6050526A (en) 1997-07-21 2000-04-18 Hughes Electronics Corporation Solar reflector systems and methods
JP4453886B2 (ja) 2000-06-05 2010-04-21 フジノン株式会社 アルミ反射鏡の製造方法およびアルミ反射鏡
JP3647834B2 (ja) * 2002-09-25 2005-05-18 松下電器産業株式会社 露光装置用のミラー、露光装置用の反射型マスク、露光装置及びパターン形成方法
JP2004361717A (ja) 2003-06-05 2004-12-24 Hitachi Ltd 背面ミラー及びそれを用いた背面投写型映像表示装置
JP2005029849A (ja) * 2003-07-07 2005-02-03 Kobe Steel Ltd リフレクター用Ag合金反射膜、及び、このAg合金反射膜を用いたリフレクター、並びに、このAg合金反射膜の形成用のAg合金スパッタリングターゲット
US7276289B2 (en) 2004-09-21 2007-10-02 Guardian Industries Corp. First surface mirror with metal oxide nucleation layer
US7678459B2 (en) 2004-09-21 2010-03-16 Guardian Industries Corp. First surface mirror with silicon-metal oxide nucleation layer
US20060077580A1 (en) 2004-10-07 2006-04-13 Guardian Industries Corp. First surface mirror with chromium nitride layer
US7700869B2 (en) 2005-02-03 2010-04-20 Guardian Industries Corp. Solar cell low iron patterned glass and method of making same
US7700870B2 (en) 2005-05-05 2010-04-20 Guardian Industries Corp. Solar cell using low iron high transmission glass with antimony and corresponding method
EP1918740A4 (en) 2005-07-29 2010-04-28 Asahi Glass Co Ltd LAMINATED BODY FOR A REFLECTION FILM
US20070178316A1 (en) 2006-01-30 2007-08-02 Guardian Industries Corp. First surface mirror with sol-gel applied protective coating for use in solar collector or the like
US8648252B2 (en) 2006-03-13 2014-02-11 Guardian Industries Corp. Solar cell using low iron high transmission glass and corresponding method
US7557053B2 (en) 2006-03-13 2009-07-07 Guardian Industries Corp. Low iron high transmission float glass for solar cell applications and method of making same
US20070223121A1 (en) 2006-03-23 2007-09-27 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Method of making reflector for solar collector or the like and corresponding product
US20070221313A1 (en) 2006-03-23 2007-09-27 Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) Method of making reflector for solar collector or the like and corresponding product
US8814372B2 (en) 2006-03-23 2014-08-26 Guardian Industries Corp. Stiffening members for reflectors used in concentrating solar power apparatus, and method of making same
US20070291384A1 (en) 2006-06-14 2007-12-20 Guardian Industries Corp. Method of making reflector for solar collector or the like, and corresponding product, including reflective coating designed for improved adherence to laminating layer
US7871664B2 (en) 2006-03-23 2011-01-18 Guardian Industries Corp. Parabolic trough or dish reflector for use in concentrating solar power apparatus and method of making same
US20080073203A1 (en) 2006-09-19 2008-03-27 Guardian Industries Corp. Method of making first surface mirror with oxide graded reflecting layer structure
JP2008129153A (ja) * 2006-11-17 2008-06-05 Asahi Glass Co Ltd 反射鏡の製造方法
US9108775B2 (en) 2007-01-09 2015-08-18 Guardian Industries Corp. Spacer separation for coated glass sheets such as first surface mirrors
US8671717B2 (en) 2008-03-06 2014-03-18 Guardian Industries Corp. Photovoltaic device having low iron high transmission glass with lithium oxide for reducing seed free time and corresponding method
US8628820B2 (en) * 2008-03-11 2014-01-14 Ppg Industries Ohio, Inc. Reflective article and method of making a reflective article
KR20090132794A (ko) 2008-06-23 2009-12-31 김종호 양면 무늬 유리의 제조방법
US20100122728A1 (en) 2008-11-17 2010-05-20 Fulton Kevin R Photovoltaic device using low iron high transmission glass with antimony and reduced alkali content and corresponding method
US20100229853A1 (en) 2009-01-13 2010-09-16 Vandal Robert A Mounting brackets for mirrors, and associated methods
US20100255980A1 (en) 2009-04-03 2010-10-07 Guardian Industires Corp. Low iron high transmission glass with boron oxide for improved optics, durability and refining, and corresponding method
ES2834198T3 (es) 2010-01-19 2021-06-16 Guardian Glass Llc Métodos de fabricación de un panel de reflector secundario (SRP) mejorado con revestimiento tratable térmicamente para aplicaciones de energía solar concentrada
US20120087029A1 (en) 2010-10-08 2012-04-12 Guardian Industries Corp. Mirrors for concentrating solar power (CSP) or concentrating photovoltaic (CPV) applications, and/or methods of making the same
US20130170059A1 (en) * 2011-12-28 2013-07-04 Philip J. Lingle Mirror with optional permanent protective film, and/or methods of making the same

Also Published As

Publication number Publication date
MX2014013305A (es) 2015-07-06
BR112014027502B1 (pt) 2021-12-07
US20130295391A1 (en) 2013-11-07
CN104662452A (zh) 2015-05-27
IN2014DN09100A (ru) 2015-05-22
US9556069B2 (en) 2017-01-31
RU2620325C2 (ru) 2017-05-24
BR112014027502A2 (pt) 2017-08-22
CN104662452B (zh) 2017-12-01
WO2013166232A1 (en) 2013-11-07
EP2845040A1 (en) 2015-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP3079011A3 (en) Phase shift mask blank, phase shift mask, and blank preparing method
RU2017122067A (ru) Антибликовая сенсорная дисплейная панель и другие изделия с покрытием, а также способы их создания
WO2013103857A8 (en) Method and structure of optical thin film using crystallized nano-porous material
RU2013144393A (ru) ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ СЛОИ, ВКЛЮЧАЮЩИЕ Ni-СОДЕРЖАЩИЕ ТРОЙНЫЕ СПЛАВЫ И СПОСОБЫ ИХ ИЗГОТОВЛЕНИЯ
JP2013532222A5 (ru)
RU2014148767A (ru) Зеркало с необязательным слоем защитной краски и/или способы его изготовления
JP2013024922A5 (ru)
RU2013143140A (ru) Покрытое изделие с низкоизлучательным покрытием, стеклопакет, содержащий покрытое изделие, и/или способ их изготовления
WO2014124178A3 (en) Coating and curing apparatus and methods
WO2013082488A3 (en) Optical coating method, apparatus and product
EA201391010A1 (ru) Подложка с мультислойным покрытием, имеющим термические свойства, в частности, для получения обогреваемого стеклопакета
AR081052A1 (es) Revestimientos antirreflejo y metodos de hacerlos
EP3431560A4 (en) COATING COMPOSITION, PRIMER COATING FILM, LAMINATED ADHESIVE PREVENTIVE COATING FILM, METHOD FOR PRODUCING A SUBSTRATE WITH PRIMER COATING FILM FIXED THEREIN, AND METHOD FOR PRODUCING A SUBSTRATE WITH LAMINED AGING PREVENTIVE COATING FILM FIXED THEREIN
TW201612266A (en) Method of forming an anti-glare coating on a substrate
WO2011092017A8 (de) Verfahren zur herstellung eines beschichteten gegenstands mit texturätzen
EP4530270A3 (en) Sacrificial layer for electrochromic device fabrication
WO2012134821A3 (en) Coated tinted glass article and method of making same
MX2014015676A (es) Deposicion de revestimientos de oxido inorganico ultra-delgados sobre empaque.
MX2021000832A (es) Articulo recubierto que incluye una capa que incluye plata tratada con laser ultrarrapido en recubrimiento de pelicula delgada de baja emisividad, y/o metodo de fabricacion del mismo.
WO2016001661A3 (en) Planarisation of a coating
MY209086A (en) Method for manufacturing eyeglass lens
WO2010059585A3 (en) Conductive film formation on glass
WO2009148748A3 (en) A method of forming a transparent coating layer
Hsu et al. The hydrophobic and omnidirectional antireflection coating of SiO2 nanospheres with C18-TEOS
TWI265202B (en) Tool and device for dedicate coating a photochemical film on a substrate

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180503