RU201310U1 - Sample positioning device - Google Patents
Sample positioning device Download PDFInfo
- Publication number
- RU201310U1 RU201310U1 RU2020125560U RU2020125560U RU201310U1 RU 201310 U1 RU201310 U1 RU 201310U1 RU 2020125560 U RU2020125560 U RU 2020125560U RU 2020125560 U RU2020125560 U RU 2020125560U RU 201310 U1 RU201310 U1 RU 201310U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- laser
- optical vortex
- interferometer
- sample
- photodetector matrix
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 70
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 31
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 17
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 10
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 244000309464 bull Species 0.000 description 1
- 238000001444 catalytic combustion detection Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000011664 signaling Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/06—Means for illuminating specimens
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
Полезная модель относится к области оптики и может быть использована при проведении микроскопических исследований. Устройство позиционирования образца включает подвижную часть, устройство перемещения, первую фотоприемную матрицу, вторую фотоприемную матрицу, третью фотоприемную матрицу, первый лазер, второй лазер, третий лазер, устройство управления, первый формирователь оптического вихря, второй формирователь оптического вихря, третий формирователь оптического вихря, первый интерферометр, второй интерферометр, третий интерферометр, индикатор. Устройство управления соединено с первым лазером, вторым лазером, третьим лазером, первым формирователем оптического вихря, вторым формирователем оптического вихря, третьим формирователем оптического вихря, первой фотоприемной матрицей, второй фотоприемной матрицей, третьей фотоприемной матрицей, устройством перемещения, индикатором. Излучение первого лазера передается на первый формирователь оптического вихря и первый интерферометр, излучение второго лазера передается на второй формирователь оптического вихря и второй интерферометр, излучение третьего лазера передается на третий формирователь оптического вихря и третий интерферометр. Устройство перемещения подсоединено к подвижной части, а образец располагается на подвижной части. Технический результат заключается в повышении точности позиционирования образца. 1 ил.The utility model relates to the field of optics and can be used for microscopic studies. The sample positioning device includes a moving part, a moving device, a first photodetector matrix, a second photodetector matrix, a third photodetector matrix, a first laser, a second laser, a third laser, a control device, a first optical vortex generator, a second optical vortex generator, a third optical vortex generator, the first interferometer, second interferometer, third interferometer, indicator. The control device is connected to the first laser, the second laser, the third laser, the first optical vortex shaper, the second optical vortex shaper, the third optical vortex shaper, the first photodetector matrix, the second photodetector matrix, the third photodetector matrix, a moving device, and an indicator. The radiation of the first laser is transmitted to the first optical vortex former and the first interferometer, the radiation of the second laser is transmitted to the second optical vortex former and the second interferometer, the radiation of the third laser is transmitted to the third optical vortex former and the third interferometer. The displacement device is connected to the movable part, and the sample is located on the movable part. The technical result is to improve the positioning accuracy of the sample. 1 ill.
Description
Полезная модель относится к технике и оптике и может быть использована в системах позиционирования образцов в промышленности, а также при проведении микроскопических исследований.The utility model relates to technology and optics and can be used in sample positioning systems in industry, as well as in microscopic studies.
В качестве прототипа выбрана моторизованная накладка на предметный столик микроскопа (пат. России на полезную модель №166710, от 10.12.2016, бюл. №34, МПК G02B 21/26), которая содержит неподвижную часть, закрепленную на предметном столике и выполненную с разъемным подвижным соединением для крепления с подвижной частью, подвижную часть, состоящую из двух боковых деталей и центральной детали, расположенной между боковыми деталями и закрепленной разъемными подвижными соединениями с боковыми деталями, при этом на центральной детали размещены предметные стекла, а на одной из сторон центральной детали, обращенной к одной из боковых деталей, зафиксирована первая зубчатая рейка, вступающая в разъемное подвижное соединение с соответствующей боковой деталью, а на торцах боковых деталей подвижной части зафиксирована вторая зубчатая рейка, вступающая в разъемное подвижное соединение с неподвижной частью, электродвигатели с зубчатым приводом для автоматизированного перемещения подвижной части в продольном направлении относительно неподвижной части и центральной детали подвижной части в поперечном направлении относительно неподвижной части, при этом электродвигатели расположены на неподвижной части и на соответствующей боковой детали подвижной части, которая отличается тем, что боковые детали подвижной части дополнительно соединены одной или двумя фиксирующими планками, закрепленными на верхних поверхностях боковых деталей, которая дополнительно отличается тем, что электродвигатели связаны с компьютером, выполненным с возможностью задания алгоритма работы электродвигателей с учетом сигналов с камеры оптического микроскопа.As a prototype, a motorized pad on the microscope stage was chosen (US Pat. Of Russia for utility model No. 166710, dated December 10, 2016, bull. No. 34, IPC G02B 21/26), which contains a fixed part, fixed on the stage and made with a detachable a movable joint for fastening with a movable part, a movable part consisting of two side parts and a central part located between the side parts and fixed by detachable movable joints with the side parts, while slides are placed on the central part, and on one of the sides of the central part, facing one of the side parts, the first toothed rack is fixed, which enters into a detachable movable connection with the corresponding side part, and at the ends of the side parts of the moving part, a second toothed rack is fixed, which enters into a detachable movable connection with the stationary part, electric motors with a gear drive for automated movement moving part in pro longitudinal direction relative to the stationary part and the central part of the movable part in the transverse direction relative to the stationary part, while the electric motors are located on the stationary part and on the corresponding side part of the movable part, which is characterized in that the side parts of the movable part are additionally connected by one or two fixing strips fixed on the upper surfaces of the side parts, which is additionally characterized in that the electric motors are connected to a computer configured to set the operation algorithm of the electric motors taking into account the signals from the optical microscope camera.
Недостатки данного устройства: малая точность позиционирования образца и отсутствие контроля смещения образца, вследствие каких-либо внешних возмущающих воздействий.Disadvantages of this device: low accuracy of sample positioning and lack of control over sample displacement due to any external disturbing influences.
В основу полезной модели поставлена задача повысить точность позиционирования образца и обеспечить контроль смещения образца, вследствие каких-либо внешних возмущающих воздействий, за счет введения дополнительных конструктивных элементов.The utility model is based on the task of increasing the accuracy of sample positioning and ensuring control of the sample displacement due to any external disturbing influences by introducing additional structural elements.
Задача решается тем, что устройство позиционирования образца, включающее подвижную часть, дополнительно содержит устройство перемещения, фотоприемную первую матрицу, первый лазер, второй лазер, третий лазер, устройство управления, первый формирователь оптического вихря, второй формирователь оптического вихря, третий формирователь оптического вихря, первый интерферометр, второй интерферометр, третий интерферометр, индикатор, причем устройство управления соединено с первым лазером, вторым лазером, третьим лазером, первым формирователем оптического вихря, вторым формирователем оптического вихря, третьим формирователем оптического вихря, первой фотоприемной матрицей, второй фотоприемной матрицей, третьей фотоприемной матрицей, устройством перемещения, индикатором, излучение первого лазера передается на первый формирователь оптического вихря и первый интерферометр, излучение второго лазера передается на второй формирователь оптического вихря и второй интерферометр, излучение третьего лазера передается на третий формирователь оптического вихря и третий интерферометр, устройство перемещения подсоединено к подвижной части, образец располагается на подвижной части.The problem is solved in that the sample positioning device, including the movable part, further comprises a moving device, a first photodetector matrix, a first laser, a second laser, a third laser, a control device, a first optical vortex generator, a second optical vortex generator, a third optical vortex generator, the first interferometer, second interferometer, third interferometer, indicator, and the control device is connected to the first laser, the second laser, the third laser, the first optical vortex former, the second optical vortex former, the third optical vortex former, the first photodetector matrix, the second photodetector matrix, the third photodetector matrix , a moving device, an indicator, the radiation of the first laser is transmitted to the first optical vortex generator and the first interferometer, the radiation of the second laser is transmitted to the second optical vortex generator and the second interferometer, the radiation of the third laser is transmitted to the third optical vortex shaper and the third interferometer, the displacement device is connected to the moving part, the sample is located on the moving part.
Общим с прототипом признаком технического решения является:The common feature of the prototype of a technical solution is:
подвижная часть.moving part.
Отличительными признаками технического решения являются:Distinctive features of the technical solution are:
устройство управления;control device;
устройство перемещения;moving device;
первый лазер;the first laser;
второй лазер;second laser;
третий лазер;third laser;
первый формирователь оптического вихря;the first optical vortex former;
второй формирователь оптического вихря;a second optical vortex former;
третий формирователь оптического вихря;the third optical vortex former;
первый интерферометр;the first interferometer;
второй интерферометр;second interferometer;
третий интерферометр;third interferometer;
первая фотоприемная матрица;the first photodetector matrix;
вторая фотоприемная матрица;second photodetector matrix;
третья фотоприемная матрица;third photodetector matrix;
индикатор.indicator.
Совокупность существенных признаков обеспечивает повышение точности позиционирования образца и обеспечение контроля смещения образца, вследствие каких-либо внешних возмущающих воздействий, за счет введения дополнительных конструктивных элементов.The set of essential features provides an increase in the sample positioning accuracy and control of sample displacement due to any external disturbing influences due to the introduction of additional structural elements.
Сущность технического решения поясняет схема устройства позиционирования образца на фиг. 1.The essence of the technical solution is explained by the diagram of the sample positioning device in FIG. one.
Устройство позиционирования образца содержит индикатор (1), первый лазер (2), первый интерферометр (3), первый формирователь оптического вихря (4), первую фотоприемную матрицу (5), подвижную часть (6), устройство управления (7), второй лазер (8), второй интерферометр (9), устройство перемещения (10), второй формирователь оптического вихря (11), вторую фотоприемную матрицу (12), третий лазер (13), третий интерферометр (14), третий формирователь оптического вихря (15), третью фотоприемную матрицу (16), причем устройство управления (7) соединено с первым лазером (2), вторым лазером (8), третьим лазером (13), первым формирователем оптического вихря (4), вторым формирователем оптического вихря (11), третьим формирователем оптического вихря (15), первой фотоприемной матрицей (5), второй фотоприемной матрицей (12), третьей фотоприемной матрицей (16), устройством перемещения (10), индикатором (1), излучение первого лазера (2), передается на первый формирователь оптического вихря (4) и первый интерферометр (3), излучение второго лазера (8), передается на второй формирователь оптического вихря (11) и второй интерферометр (9), излучение третьего лазера (13), передается на третий формирователь оптического вихря (15) и третий интерферометр (14), первый формирователь оптического вихря (4), второй формирователь оптического вихря (11) и третий формирователь оптического вихря (15) передают излучение на образец, образец передает излучение на первую фотоприемную матрицу (5), вторую фотоприемную матрицу (12), третью фотоприемную матрицу (16), на которой происходит интерференция излучения с образца и первого интерферометра (3), второго интерферометра (9), третьего интерферометра (14), соответственно, устройство перемещения (10) подсоединено к подвижной части (6), образец располагается на подвижной части (6).The sample positioning device contains an indicator (1), a first laser (2), a first interferometer (3), a first optical vortex shaper (4), a first photodetector matrix (5), a movable part (6), a control device (7), a second laser (8), second interferometer (9), displacement device (10), second optical vortex former (11), second photodetector matrix (12), third laser (13), third interferometer (14), third optical vortex shaper (15) , the third photodetector matrix (16), and the control device (7) is connected to the first laser (2), the second laser (8), the third laser (13), the first optical vortex former (4), the second optical vortex former (11), by the third optical vortex shaper (15), the first photodetector matrix (5), the second photodetector matrix (12), the third photodetector matrix (16), the displacement device (10), the indicator (1), the radiation of the first laser (2) is transmitted to the first the optical vortex former (4) and the first and interferometer (3), the radiation of the second laser (8) is transmitted to the second optical vortex former (11) and the second interferometer (9), the radiation of the third laser (13) is transmitted to the third optical vortex former (15) and the third interferometer (14) , the first optical vortex former (4), the second optical vortex former (11) and the third optical vortex former (15) transmit radiation to the sample, the sample transmits radiation to the first photodetector matrix (5), the second photodetector matrix (12), the third photodetector matrix (16), on which the interference of radiation from the sample and the first interferometer (3), the second interferometer (9), the third interferometer (14) occurs, respectively, the displacement device (10) is connected to the movable part (6), the sample is located on the movable part (6).
Устройство позиционирования образца работает следующим образом. На подвижную часть (6) помещается позиционируемый образец. Устройство управления (7) подает сигнал включения лазера на первый лазер (2), второй лазер (8), третий лазер (13) и подает сигнал формирования сингулярности волнового фронта - оптического вихря [Короленко В.П. Оптические вихри / В.П. Короленко // Соросовский образовательный журнал. - 1998. - №6. с. 94-99] на первый формирователь оптического вихря (4), второй формирователь оптического вихря (11), третий формирователь оптического вихря (15). Лазерное излучение от первого лазера (2), второго лазера (8), третьего лазера (13) передается на первый интерферометр (3), второй интерферометр (9), третий интерферометр (14), а также первый формирователь оптического вихря (4), второй формирователь оптического вихря (11), третий формирователь оптического вихря (15), соответственно. На первом формирователе оптического вихря (4), втором формирователе оптического вихря (11), третьем формирователе оптического вихря (15) формируются сингулярности волнового фронта - оптические вихри, которые представляют собой трубчатое поле [Короленко В.П. Оптические вихри / В.П. Короленко // Соросовский образовательный журнал. - 1998. - №6. с. 94-99]. Оптические вихри с первого формирователя оптического вихря (4), второго формирователя оптического вихря (11), третьего формирователя оптического вихря (15) передаются на образец. Взаимодействие оптического вихря с поверхностью образца изменяет параметры оптического вихря, в частности поворот фазового геликоида, угол которого оказывается пропорциональным расстоянию до образца. Поворот фазового геликоида оптических вихрей отслеживаются с помощью первой фотоприемной матрицы (5), второй фотоприемной матрицы (12), третьей фотоприемной матрицы (16), на которых происходят интерференция оптического вихря, отраженного от образца, оптического вихря и излучений, вышедших из первого интерферометра (3), второго интерферометра (9), третьего интерферометра (16), соответственно. Первая фотоприемная матрица (5), вторая фотоприемная матрица (12), третья фотоприемная матрица (16), непрерывно передают данные о параметрах фазовых геликоидов оптических вихрей на устройство управления (7), которое производит расчет координаты образца в пространстве. Три комплекта лазеров, интерферометров, формирователей оптического вихря и фотоприемных матриц позволяют однозначно определять положение образца в пространстве. При подаче на устройство управления (7) данных с внешних устройств о перемещении образца на заданную координату, устройство управления (7) подает сигнал перемещения образца на устройство перемещения (10), которое перемещает подвижную часть, на которой находится образец на требуемое расстояние. В процессе перемещения устройство управления (7), получая данные о параметрах фазовых геликоидов оптических вихрей, непрерывно рассчитывает координаты образца в пространстве. При достижении заданных с внешних устройств координат, устройство управления (7) останавливает устройство перемещения (10). При этом устройство управления (7) продолжает получать данные о параметрах фазовых геликоидов оптических вихрей, непрерывно рассчитывая координаты образца в пространстве. При изменении координаты образца в пространстве без подачи на устройство управления данных с внешних устройств (за счет какого-либо внешнего возмущающего воздействия), устройство управления (7) подает сигнал включения индикатора (1), сигнализирующего об изменении положения образца в пространстве.The sample positioning device works as follows. A positionable sample is placed on the movable part (6). The control device (7) sends a signal to turn on the laser to the first laser (2), the second laser (8), the third laser (13) and gives a signal to form a wavefront singularity - an optical vortex [Korolenko V.P. Optical vortices / V.P. Korolenko // Soros Educational Journal. - 1998. - No. 6. from. 94-99] to the first optical vortex former (4), the second optical vortex former (11), the third optical vortex former (15). Laser radiation from the first laser (2), the second laser (8), the third laser (13) is transmitted to the first interferometer (3), the second interferometer (9), the third interferometer (14), as well as the first optical vortex shaper (4), the second optical vortex former (11), the third optical vortex former (15), respectively. On the first shaper of the optical vortex (4), the second shaper of the optical vortex (11), the third shaper of the optical vortex (15), wavefront singularities are formed - optical vortices, which are a tubular field [Korolenko V.P. Optical vortices / V.P. Korolenko // Soros Educational Journal. - 1998. - No. 6. from. 94-99]. Optical vortices from the first optical vortex former (4), the second optical vortex former (11), and the third optical vortex former (15) are transmitted to the sample. The interaction of the optical vortex with the sample surface changes the parameters of the optical vortex, in particular, the rotation of the phase helicoid, the angle of which is proportional to the distance to the sample. The rotation of the phase helicoid of optical vortices is tracked using the first photodetector matrix (5), the second photodetector matrix (12), the third photodetector matrix (16), on which the interference of the optical vortex reflected from the sample, the optical vortex and radiation emitted from the first interferometer ( 3), the second interferometer (9), the third interferometer (16), respectively. The first photodetector matrix (5), the second photodetector matrix (12), and the third photodetector matrix (16) continuously transmit data on the parameters of phase helicoids of optical vortices to the control device (7), which calculates the coordinates of the sample in space. Three sets of lasers, interferometers, optical vortex shapers and photodetector matrices make it possible to unambiguously determine the position of the sample in space. When the control device (7) receives data from external devices on the movement of the sample to a given coordinate, the control device (7) sends a signal to move the sample to the movement device (10), which moves the movable part on which the sample is located to the required distance. In the process of moving, the control device (7), receiving data on the parameters of phase helicoids of optical vortices, continuously calculates the coordinates of the sample in space. Upon reaching the coordinates specified from external devices, the control device (7) stops the movement device (10). In this case, the control device (7) continues to receive data on the parameters of the phase helicoids of optical vortices, continuously calculating the coordinates of the sample in space. When the coordinate of the sample in space changes without supplying data to the control device from external devices (due to any external disturbing effect), the control device (7) gives a signal to turn on the indicator (1), signaling a change in the position of the sample in space.
Пример исполнения. В качестве лазеров могут использоваться лазеры лгн-208 с длиной волны 632,8 нм, мощностью 2 мВт. В качестве формирователей оптических вихрей могут использоваться пространственные световые модуляторы slm lc 2012. Устройством управления может выступать микроконтроллер кр1878ве1. В качестве фотоприемных матриц могут использоваться пзс-матрицы icx228al. Подвижная часть может представлять собой квадратную пластину из алюминия со стороной 20 мм. В качестве устройства перемещения может использоваться набор шаговых двигателей 25byz-b03. Индикатором может выступать dm-0113-t.An example of execution. Lgn-208 lasers with a wavelength of 632.8 nm and a power of 2 mW can be used as lasers. Spatial light modulators slm lc 2012 can be used as optical vortex shapers. The microcontroller kr1878ve1 can act as a control device. ICx228al CCDs can be used as photodetector matrices. The movable part can be a square aluminum plate with a side of 20 mm. A set of 25byz-b03 stepper motors can be used as a moving device. The indicator can be dm-0113-t.
Устройство позиционирования образца обеспечивает повышение точности позиционирования образца и осуществляет контроль смещения образца, вследствие каких-либо внешних возмущающих воздействий, за счет введения дополнительных конструктивных элементов.The sample positioning device provides an increase in the sample positioning accuracy and monitors the sample displacement due to any external disturbing influences due to the introduction of additional structural elements.
Claims (5)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2020125560U RU201310U1 (en) | 2020-07-27 | 2020-07-27 | Sample positioning device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2020125560U RU201310U1 (en) | 2020-07-27 | 2020-07-27 | Sample positioning device |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU201310U1 true RU201310U1 (en) | 2020-12-09 |
Family
ID=73727525
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2020125560U RU201310U1 (en) | 2020-07-27 | 2020-07-27 | Sample positioning device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU201310U1 (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU208126U1 (en) * | 2021-08-05 | 2021-12-03 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Крымский федеральный университет имени В.И. Вернадского" | Sample positioning control device |
| RU2799239C1 (en) * | 2022-09-21 | 2023-07-04 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Дальневосточный федеральный университет" (ДВФУ) | Device for positioning a sample examined with a scanning microscope in order to obtain a three-dimensional image |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2017210679A1 (en) * | 2016-06-03 | 2017-12-07 | Trustees Of Boston University | Optical imaging system employing vortex fiber for multiple-mode illumination |
| US9965867B2 (en) * | 2013-11-01 | 2018-05-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Particle control device |
-
2020
- 2020-07-27 RU RU2020125560U patent/RU201310U1/en active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9965867B2 (en) * | 2013-11-01 | 2018-05-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Particle control device |
| WO2017210679A1 (en) * | 2016-06-03 | 2017-12-07 | Trustees Of Boston University | Optical imaging system employing vortex fiber for multiple-mode illumination |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU208126U1 (en) * | 2021-08-05 | 2021-12-03 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Крымский федеральный университет имени В.И. Вернадского" | Sample positioning control device |
| RU2799239C1 (en) * | 2022-09-21 | 2023-07-04 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Дальневосточный федеральный университет" (ДВФУ) | Device for positioning a sample examined with a scanning microscope in order to obtain a three-dimensional image |
| RU230974U1 (en) * | 2024-07-03 | 2024-12-26 | федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский университет)" | Overlay on the object stage for adjusting the angle of inclination of the plane of the sample substrate |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI784265B (en) | Displacement measuring device, displacement measuring method and photolithography equipment | |
| US8848271B2 (en) | Apparatus and method for high-speed phase shifting for interferometric measurement systems | |
| CN104007560B (en) | Optical lens assistant resetting device | |
| CN1304817C (en) | Multifunction tridimension displacement laser interference measuring system | |
| CN110716397B (en) | Exposure beam phase measurement method and lithography system in laser interference lithography | |
| CN105333815B (en) | A kind of super online interferometer measuration system of lateral resolution surface three dimension based on the scanning of spectrum colour loose wire | |
| CN105486247A (en) | Surface morphology measuring device capable of continuous zooming | |
| CN1101713A (en) | Device for measurement of strain | |
| CN102566391A (en) | Device for preparing holographic scan high-density grating based on focus of cylindrical mirror | |
| RU201310U1 (en) | Sample positioning device | |
| CN203069274U (en) | Laser interferometer optical path difference positioning system | |
| CN109870754B (en) | Two-dimensional plane holographic grating exposure device | |
| US20240319619A1 (en) | Phase measurement device for laser interference photolithography system, and method for using same | |
| CN105333816A (en) | Super lateral resolution surface three-dimensional online interference measuring system based on spectral dispersion full field | |
| CN113804112B (en) | Displacement measurement system and lithography equipment | |
| CN118729957A (en) | A high-precision grating automatic splicing system and method | |
| CN104460248A (en) | Alignment device | |
| CN1147702C (en) | All fiber optic displacement measuring instrument | |
| CN116974148A (en) | Scanning interference lithography device | |
| CN212620587U (en) | A long-distance angle alignment device suitable for optical and similar measurement systems | |
| CN110388884A (en) | Structured Light Illumination 3D Measuring Device | |
| CN108469643A (en) | A kind of adjustment method of plane holographic grating scanning-exposure apparatus | |
| RU208126U1 (en) | Sample positioning control device | |
| CN105444785B (en) | A kind of optical path compensation devices and methods therefor of plane of scanning motion laser | |
| CN115096209B (en) | Non-contact auxiliary positioning laser interferometry system |