RU2013106509A - Коллектор заряженных частиц для кмоп-формирователя изображения - Google Patents
Коллектор заряженных частиц для кмоп-формирователя изображения Download PDFInfo
- Publication number
- RU2013106509A RU2013106509A RU2013106509/07A RU2013106509A RU2013106509A RU 2013106509 A RU2013106509 A RU 2013106509A RU 2013106509/07 A RU2013106509/07 A RU 2013106509/07A RU 2013106509 A RU2013106509 A RU 2013106509A RU 2013106509 A RU2013106509 A RU 2013106509A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- charged particles
- collector electrodes
- grid
- collector
- recording
- Prior art date
Links
- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims abstract 64
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 abstract 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/58—Tubes for storage of image or information pattern or for conversion of definition of television or like images, i.e. having electrical input and electrical output
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
- H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
- H01J29/10—Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
- H01J29/36—Photoelectric screens; Charge-storage screens
- H01J29/39—Charge-storage screens
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J31/00—Cathode ray tubes; Electron beam tubes
- H01J31/08—Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
- H01J31/26—Image pick-up tubes having an input of visible light and electric output
- H01J31/48—Tubes with amplification of output effected by electron multiplier arrangements within the vacuum space
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
- H01J9/233—Manufacture of photoelectric screens or charge-storage screens
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
- H10F39/10—Integrated devices
- H10F39/12—Image sensors
- H10F39/18—Complementary metal-oxide-semiconductor [CMOS] image sensors; Photodiode array image sensors
- H10F39/189—X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
1. Устройство регистрации заряженных частиц, содержащее:источник заряженных частиц;множество коллекторных электродов для приема первой части заряженных частиц из источника заряженных частиц; исетку, сформированную вокруг и расположенную отдельно от множества коллекторных электродов, причем сетка принимает вторую часть заряженных частиц из источника заряженных частиц и направляет обратно рассеянные заряженные частицы, порожденные в ответ на вторую часть, на соседние коллекторные электроды.2. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором сетка сформирована из проводящего материала.3. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 2, в котором сетка электрически изолирована от множества коллекторных электродов.4. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором множество коллекторных электродов включает в себя первый и второй наборы коллекторных электродов, имеющих разные толщины, ипервый набор коллекторных электродов размещен с чередованием со вторым набором коллекторных электродов.5. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод сформирован с неравномерной формой.6. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, дополнительно содержащее микроканальную пластину (МКП), расположенную между источником и множеством коллекторных электродов.7. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя поверхность падения для приема первой части заряженных частиц, причем поверхность падения включает в себя углубленную поверхность, образующую углубление.8. Устройство регистрации заряженных час
Claims (27)
1. Устройство регистрации заряженных частиц, содержащее:
источник заряженных частиц;
множество коллекторных электродов для приема первой части заряженных частиц из источника заряженных частиц; и
сетку, сформированную вокруг и расположенную отдельно от множества коллекторных электродов, причем сетка принимает вторую часть заряженных частиц из источника заряженных частиц и направляет обратно рассеянные заряженные частицы, порожденные в ответ на вторую часть, на соседние коллекторные электроды.
2. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором сетка сформирована из проводящего материала.
3. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 2, в котором сетка электрически изолирована от множества коллекторных электродов.
4. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором множество коллекторных электродов включает в себя первый и второй наборы коллекторных электродов, имеющих разные толщины, и
первый набор коллекторных электродов размещен с чередованием со вторым набором коллекторных электродов.
5. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод сформирован с неравномерной формой.
6. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, дополнительно содержащее микроканальную пластину (МКП), расположенную между источником и множеством коллекторных электродов.
7. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя поверхность падения для приема первой части заряженных частиц, причем поверхность падения включает в себя углубленную поверхность, образующую углубление.
8. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 7, в котором углубление сформировано в виде одной формы из прямоугольной формы и трапециидальной формы.
9. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 7, в котором углубление направляет обратно рассеянные заряженные частицы, порожденные в ответ на первую часть заряженных частиц, на соответствующий коллекторный электрод.
10. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя поверхность падения для приема первой части заряженных частиц, причем поверхность падения включает в себя множество углублений.
11. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 10, в котором множество коллекторных электродов расположено на диэлектрическом слое, причем диэлектрический слой включает в себя множество углублений, соответствующих множеству углублений в соответственном коллекторном электроде.
12. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 10, в котором углубление из множества углублений сформировано в виде одной формы из прямоугольной формы или формы перевернутой пирамиды.
13. Устройство регистрации заряженных частиц, содержащее:
источник заряженных частиц; и
поверхность сбора заряженных частиц для приема заряженных частиц из источника заряженных частиц, причем поверхность сбора заряженных частиц включает в себя:
множество коллекторных электродов, и
сетку, сформированную вокруг и расположенную отдельно от множества коллекторных электродов,
при этом одно из сетки и множества коллекторных электродов включает в себя приподнятый край, расположенный отдельно от поверхности сбора заряженных частиц.
14. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 13, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя поверхность падения для приема заряженных частиц, причем поверхность падения включает в себя по меньшей мере одно углубление.
15. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 13, в котором сетка включает в себя приподнятый край.
16. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 15, в котором приподнятый край сетки расположен над соседними коллекторными электродами относительно поверхности сбора заряженных частиц.
17. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 16, в котором приподнятый край сетки перекрывает соответствующие коллекторные электроды в направлении нормали к поверхности сбора заряженных частиц.
18. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 13, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя приподнятый край.
19. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 18, в котором множество коллекторных электродов включает в себя первый и второй наборы коллекторных электродов, имеющих разные толщины, и
первый набор коллекторных электродов размещен с чередованием со вторым набором коллекторных электродов.
20. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 19, в котором приподнятые края первого набора перекрывают приподнятые края второго набора в направлении нормали к поверхности сбора заряженных частиц.
21. Способ формирования устройства регистрации заряженных частиц, содержащий этапы, на которых:
размещают множество коллекторных электродов на поверхности сбора заряженных частиц; и
размещают сетку на поверхности сбора заряженных частиц, причем сетку формируют вокруг и располагают отдельно от множества коллекторных электродов.
22. Способ по п. 21, дополнительно содержащий этап, на котором формируют каждый коллекторный электрод с приподнятым краем, расположенным отдельно от поверхности сбора заряженных частиц.
23. Способ по п. 21, дополнительно содержащий этап, на котором формируют сетку с приподнятым краем, расположенным отдельно от поверхности сбора заряженных частиц.
24. Способ по п. 23, в котором приподнятый край сетки перекрывает соответствующие коллекторные электроды в направлении нормали к поверхности сбора заряженных частиц.
25. Способ по п. 21, дополнительно содержащий этап, на котором формируют по меньшей мере одно углубление в поверхности каждого коллекторного электрода напротив поверхности сбора заряженных частиц.
26. Способ по п. 25, в котором этап формирования по меньшей мере одного углубления включает в себя этап, на котором формируют множество углублений, и
способ включает в себя, перед этапом размещения множества коллекторных электродов, этап, на котором формируют множество углублений в поверхности сбора заряженных частиц в местоположениях, соответствующих местоположениям множества углублений соответственного множества коллекторных электродов.
27. Способ по п. 21, в котором этап размещения множества коллекторных электродов включает в себя этап, на котором:
размещают первый и второй наборы коллекторных электродов, имеющих разные толщины на поверхности сбора заряженных частиц,
при этом первый набор коллекторных электродов размещают с чередованием со вторым набором коллекторных электродов.
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US12/837,033 US8482090B2 (en) | 2010-07-15 | 2010-07-15 | Charged particle collector for a CMOS imager |
| US12/837,033 | 2010-07-15 | ||
| PCT/US2011/043488 WO2012009242A2 (en) | 2010-07-15 | 2011-07-11 | Charged particle collector for a cmos imager |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2013106509A true RU2013106509A (ru) | 2014-08-20 |
Family
ID=44504179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2013106509/07A RU2013106509A (ru) | 2010-07-15 | 2011-07-11 | Коллектор заряженных частиц для кмоп-формирователя изображения |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8482090B2 (ru) |
| EP (1) | EP2593956A2 (ru) |
| JP (1) | JP2013531349A (ru) |
| KR (1) | KR20130135232A (ru) |
| CN (1) | CN103125009A (ru) |
| AU (1) | AU2011279438A1 (ru) |
| CA (1) | CA2805283A1 (ru) |
| RU (1) | RU2013106509A (ru) |
| WO (1) | WO2012009242A2 (ru) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6344527B2 (ja) * | 2016-03-25 | 2018-06-20 | 東レ株式会社 | 光源ユニット、積層部材ならびにそれらを用いたディスプレイおよび照明装置 |
| JP7085258B2 (ja) * | 2018-04-13 | 2022-06-16 | 株式会社ホロン | 超高速電子検出器および該検出器を組み込んだ走査型電子ビーム検査装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL7007171A (ru) | 1970-05-16 | 1971-11-18 | ||
| US3902095A (en) | 1973-10-09 | 1975-08-26 | Raytheon Co | Electron beam semiconductor amplifier with shielded diode junctions |
| US6121622A (en) * | 1995-07-14 | 2000-09-19 | Yeda Research And Development Co., Ltd. | Imager or particle detector and method of manufacturing the same |
| EP0936660A1 (en) * | 1998-02-10 | 1999-08-18 | Interuniversitair Microelektronica Centrum Vzw | An imager or particle or radiation detector and method of manufacturing the same |
| SE514475C2 (sv) * | 1999-04-14 | 2001-02-26 | Xcounter Ab | Strålningsdetektor, en anordning för användning vid radiografi med plant strålknippe och ett förfarande för detektering av joniserande strålning |
| US20020121605A1 (en) | 1999-06-17 | 2002-09-05 | Lutz Fink | Semiconductor sensor and method for its wiring |
| DE19927694C1 (de) * | 1999-06-17 | 2000-11-02 | Lutz Fink | Halbleitersensor mit einer Pixelstruktur |
| US6396118B1 (en) | 2000-02-03 | 2002-05-28 | Agilent Technologies, Inc. | Conductive mesh bias connection for an array of elevated active pixel sensors |
| US7023126B2 (en) * | 2003-12-03 | 2006-04-04 | Itt Manufacturing Enterprises Inc. | Surface structures for halo reduction in electron bombarded devices |
| US7214920B2 (en) | 2005-05-06 | 2007-05-08 | Micron Technology, Inc. | Pixel with spatially varying metal route positions |
| US7307327B2 (en) | 2005-08-04 | 2007-12-11 | Micron Technology, Inc. | Reduced crosstalk CMOS image sensors |
| US8003952B2 (en) * | 2006-09-12 | 2011-08-23 | Agilent Technologies, Inc. | Integrated deflectors for beam alignment and blanking in charged particle columns |
-
2010
- 2010-07-15 US US12/837,033 patent/US8482090B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-07-11 WO PCT/US2011/043488 patent/WO2012009242A2/en not_active Ceased
- 2011-07-11 EP EP11746058.4A patent/EP2593956A2/en not_active Withdrawn
- 2011-07-11 CN CN2011800402663A patent/CN103125009A/zh active Pending
- 2011-07-11 RU RU2013106509/07A patent/RU2013106509A/ru not_active Application Discontinuation
- 2011-07-11 AU AU2011279438A patent/AU2011279438A1/en not_active Abandoned
- 2011-07-11 KR KR1020137003803A patent/KR20130135232A/ko not_active Withdrawn
- 2011-07-11 CA CA2805283A patent/CA2805283A1/en not_active Abandoned
- 2011-07-11 JP JP2013519733A patent/JP2013531349A/ja not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP2593956A2 (en) | 2013-05-22 |
| CA2805283A1 (en) | 2012-01-19 |
| WO2012009242A2 (en) | 2012-01-19 |
| KR20130135232A (ko) | 2013-12-10 |
| CN103125009A (zh) | 2013-05-29 |
| AU2011279438A1 (en) | 2013-02-21 |
| WO2012009242A3 (en) | 2012-03-08 |
| JP2013531349A (ja) | 2013-08-01 |
| US20120012958A1 (en) | 2012-01-19 |
| US8482090B2 (en) | 2013-07-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6205618B2 (ja) | 放射線検出器および放射線検出方法 | |
| RU2012137379A (ru) | Устройство для производства двумерных или трехмерных волокнистых материалов из микроволокон и нановолокон | |
| MX2012011756A (es) | Bateria, ensamble de placa de bateria, y metodo de ensamble. | |
| MX2012008653A (es) | Placas bipolares y apilados de celdas de combustible regenerativas que incluyen las mismas. | |
| JP6362017B2 (ja) | パーティクルコレクタシステム及び集塵方法 | |
| JP2004282038A5 (ru) | ||
| JP2002527790A5 (ru) | ||
| CN103515175B (zh) | 二维防护结构及具有该结构的辐射检测器 | |
| JP2013525913A5 (ru) | ||
| JP6818688B2 (ja) | 疎な材料のための高電圧接続 | |
| TW200611287A (en) | Capacitance induction device | |
| CN102820423A (zh) | 复合压电微能源发生器 | |
| US9523570B2 (en) | Pick-up tool with integrated light source | |
| RU2013106509A (ru) | Коллектор заряженных частиц для кмоп-формирователя изображения | |
| JP2013157382A (ja) | 異物除去装置、異物除去方法 | |
| US20110216923A1 (en) | Structure of flexible speaker | |
| CN113644840B (zh) | 一种提升低频输出的按压式摩擦纳米发电机 | |
| EP2413370A3 (en) | Solar cell and electrode structure therefor | |
| US9658205B2 (en) | Electrode array for analyzing electrical characteristics of cell spheroid | |
| KR102014139B1 (ko) | 전기 집진기 | |
| CA2932306C (en) | Battery | |
| EP2337081A3 (en) | Solar cell and method for manufacturing the same | |
| JP2015192577A (ja) | 発電装置 | |
| US5565717A (en) | Devices for manufacturing electrets, and electrets obtained thereby | |
| CN108580440A (zh) | 月尘光电清除系统除尘电极及其制作方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FA93 | Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination) |
Effective date: 20140714 |