[go: up one dir, main page]

RU2013106509A - Коллектор заряженных частиц для кмоп-формирователя изображения - Google Patents

Коллектор заряженных частиц для кмоп-формирователя изображения Download PDF

Info

Publication number
RU2013106509A
RU2013106509A RU2013106509/07A RU2013106509A RU2013106509A RU 2013106509 A RU2013106509 A RU 2013106509A RU 2013106509/07 A RU2013106509/07 A RU 2013106509/07A RU 2013106509 A RU2013106509 A RU 2013106509A RU 2013106509 A RU2013106509 A RU 2013106509A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
charged particles
collector electrodes
grid
collector
recording
Prior art date
Application number
RU2013106509/07A
Other languages
English (en)
Inventor
Дэн Уэсли ЧИЛКОТТ
Уилльям Дж. БЕЙНИ
Джон Ричард ТРОКСЕЛЛ
Original Assignee
Экселис Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Экселис Инк. filed Critical Экселис Инк.
Publication of RU2013106509A publication Critical patent/RU2013106509A/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/58Tubes for storage of image or information pattern or for conversion of definition of television or like images, i.e. having electrical input and electrical output
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/10Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
    • H01J29/36Photoelectric screens; Charge-storage screens
    • H01J29/39Charge-storage screens
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/26Image pick-up tubes having an input of visible light and electric output
    • H01J31/48Tubes with amplification of output effected by electron multiplier arrangements within the vacuum space
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel
    • H01J9/233Manufacture of photoelectric screens or charge-storage screens
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F39/00Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one element covered by group H10F30/00, e.g. radiation detectors comprising photodiode arrays
    • H10F39/10Integrated devices
    • H10F39/12Image sensors
    • H10F39/18Complementary metal-oxide-semiconductor [CMOS] image sensors; Photodiode array image sensors
    • H10F39/189X-ray, gamma-ray or corpuscular radiation imagers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Measurement Of Radiation (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

1. Устройство регистрации заряженных частиц, содержащее:источник заряженных частиц;множество коллекторных электродов для приема первой части заряженных частиц из источника заряженных частиц; исетку, сформированную вокруг и расположенную отдельно от множества коллекторных электродов, причем сетка принимает вторую часть заряженных частиц из источника заряженных частиц и направляет обратно рассеянные заряженные частицы, порожденные в ответ на вторую часть, на соседние коллекторные электроды.2. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором сетка сформирована из проводящего материала.3. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 2, в котором сетка электрически изолирована от множества коллекторных электродов.4. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором множество коллекторных электродов включает в себя первый и второй наборы коллекторных электродов, имеющих разные толщины, ипервый набор коллекторных электродов размещен с чередованием со вторым набором коллекторных электродов.5. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод сформирован с неравномерной формой.6. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, дополнительно содержащее микроканальную пластину (МКП), расположенную между источником и множеством коллекторных электродов.7. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя поверхность падения для приема первой части заряженных частиц, причем поверхность падения включает в себя углубленную поверхность, образующую углубление.8. Устройство регистрации заряженных час

Claims (27)

1. Устройство регистрации заряженных частиц, содержащее:
источник заряженных частиц;
множество коллекторных электродов для приема первой части заряженных частиц из источника заряженных частиц; и
сетку, сформированную вокруг и расположенную отдельно от множества коллекторных электродов, причем сетка принимает вторую часть заряженных частиц из источника заряженных частиц и направляет обратно рассеянные заряженные частицы, порожденные в ответ на вторую часть, на соседние коллекторные электроды.
2. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором сетка сформирована из проводящего материала.
3. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 2, в котором сетка электрически изолирована от множества коллекторных электродов.
4. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором множество коллекторных электродов включает в себя первый и второй наборы коллекторных электродов, имеющих разные толщины, и
первый набор коллекторных электродов размещен с чередованием со вторым набором коллекторных электродов.
5. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод сформирован с неравномерной формой.
6. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, дополнительно содержащее микроканальную пластину (МКП), расположенную между источником и множеством коллекторных электродов.
7. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя поверхность падения для приема первой части заряженных частиц, причем поверхность падения включает в себя углубленную поверхность, образующую углубление.
8. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 7, в котором углубление сформировано в виде одной формы из прямоугольной формы и трапециидальной формы.
9. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 7, в котором углубление направляет обратно рассеянные заряженные частицы, порожденные в ответ на первую часть заряженных частиц, на соответствующий коллекторный электрод.
10. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 1, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя поверхность падения для приема первой части заряженных частиц, причем поверхность падения включает в себя множество углублений.
11. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 10, в котором множество коллекторных электродов расположено на диэлектрическом слое, причем диэлектрический слой включает в себя множество углублений, соответствующих множеству углублений в соответственном коллекторном электроде.
12. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 10, в котором углубление из множества углублений сформировано в виде одной формы из прямоугольной формы или формы перевернутой пирамиды.
13. Устройство регистрации заряженных частиц, содержащее:
источник заряженных частиц; и
поверхность сбора заряженных частиц для приема заряженных частиц из источника заряженных частиц, причем поверхность сбора заряженных частиц включает в себя:
множество коллекторных электродов, и
сетку, сформированную вокруг и расположенную отдельно от множества коллекторных электродов,
при этом одно из сетки и множества коллекторных электродов включает в себя приподнятый край, расположенный отдельно от поверхности сбора заряженных частиц.
14. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 13, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя поверхность падения для приема заряженных частиц, причем поверхность падения включает в себя по меньшей мере одно углубление.
15. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 13, в котором сетка включает в себя приподнятый край.
16. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 15, в котором приподнятый край сетки расположен над соседними коллекторными электродами относительно поверхности сбора заряженных частиц.
17. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 16, в котором приподнятый край сетки перекрывает соответствующие коллекторные электроды в направлении нормали к поверхности сбора заряженных частиц.
18. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 13, в котором каждый коллекторный электрод включает в себя приподнятый край.
19. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 18, в котором множество коллекторных электродов включает в себя первый и второй наборы коллекторных электродов, имеющих разные толщины, и
первый набор коллекторных электродов размещен с чередованием со вторым набором коллекторных электродов.
20. Устройство регистрации заряженных частиц по п. 19, в котором приподнятые края первого набора перекрывают приподнятые края второго набора в направлении нормали к поверхности сбора заряженных частиц.
21. Способ формирования устройства регистрации заряженных частиц, содержащий этапы, на которых:
размещают множество коллекторных электродов на поверхности сбора заряженных частиц; и
размещают сетку на поверхности сбора заряженных частиц, причем сетку формируют вокруг и располагают отдельно от множества коллекторных электродов.
22. Способ по п. 21, дополнительно содержащий этап, на котором формируют каждый коллекторный электрод с приподнятым краем, расположенным отдельно от поверхности сбора заряженных частиц.
23. Способ по п. 21, дополнительно содержащий этап, на котором формируют сетку с приподнятым краем, расположенным отдельно от поверхности сбора заряженных частиц.
24. Способ по п. 23, в котором приподнятый край сетки перекрывает соответствующие коллекторные электроды в направлении нормали к поверхности сбора заряженных частиц.
25. Способ по п. 21, дополнительно содержащий этап, на котором формируют по меньшей мере одно углубление в поверхности каждого коллекторного электрода напротив поверхности сбора заряженных частиц.
26. Способ по п. 25, в котором этап формирования по меньшей мере одного углубления включает в себя этап, на котором формируют множество углублений, и
способ включает в себя, перед этапом размещения множества коллекторных электродов, этап, на котором формируют множество углублений в поверхности сбора заряженных частиц в местоположениях, соответствующих местоположениям множества углублений соответственного множества коллекторных электродов.
27. Способ по п. 21, в котором этап размещения множества коллекторных электродов включает в себя этап, на котором:
размещают первый и второй наборы коллекторных электродов, имеющих разные толщины на поверхности сбора заряженных частиц,
при этом первый набор коллекторных электродов размещают с чередованием со вторым набором коллекторных электродов.
RU2013106509/07A 2010-07-15 2011-07-11 Коллектор заряженных частиц для кмоп-формирователя изображения RU2013106509A (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US12/837,033 US8482090B2 (en) 2010-07-15 2010-07-15 Charged particle collector for a CMOS imager
US12/837,033 2010-07-15
PCT/US2011/043488 WO2012009242A2 (en) 2010-07-15 2011-07-11 Charged particle collector for a cmos imager

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2013106509A true RU2013106509A (ru) 2014-08-20

Family

ID=44504179

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2013106509/07A RU2013106509A (ru) 2010-07-15 2011-07-11 Коллектор заряженных частиц для кмоп-формирователя изображения

Country Status (9)

Country Link
US (1) US8482090B2 (ru)
EP (1) EP2593956A2 (ru)
JP (1) JP2013531349A (ru)
KR (1) KR20130135232A (ru)
CN (1) CN103125009A (ru)
AU (1) AU2011279438A1 (ru)
CA (1) CA2805283A1 (ru)
RU (1) RU2013106509A (ru)
WO (1) WO2012009242A2 (ru)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6344527B2 (ja) * 2016-03-25 2018-06-20 東レ株式会社 光源ユニット、積層部材ならびにそれらを用いたディスプレイおよび照明装置
JP7085258B2 (ja) * 2018-04-13 2022-06-16 株式会社ホロン 超高速電子検出器および該検出器を組み込んだ走査型電子ビーム検査装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL7007171A (ru) 1970-05-16 1971-11-18
US3902095A (en) 1973-10-09 1975-08-26 Raytheon Co Electron beam semiconductor amplifier with shielded diode junctions
US6121622A (en) * 1995-07-14 2000-09-19 Yeda Research And Development Co., Ltd. Imager or particle detector and method of manufacturing the same
EP0936660A1 (en) * 1998-02-10 1999-08-18 Interuniversitair Microelektronica Centrum Vzw An imager or particle or radiation detector and method of manufacturing the same
SE514475C2 (sv) * 1999-04-14 2001-02-26 Xcounter Ab Strålningsdetektor, en anordning för användning vid radiografi med plant strålknippe och ett förfarande för detektering av joniserande strålning
US20020121605A1 (en) 1999-06-17 2002-09-05 Lutz Fink Semiconductor sensor and method for its wiring
DE19927694C1 (de) * 1999-06-17 2000-11-02 Lutz Fink Halbleitersensor mit einer Pixelstruktur
US6396118B1 (en) 2000-02-03 2002-05-28 Agilent Technologies, Inc. Conductive mesh bias connection for an array of elevated active pixel sensors
US7023126B2 (en) * 2003-12-03 2006-04-04 Itt Manufacturing Enterprises Inc. Surface structures for halo reduction in electron bombarded devices
US7214920B2 (en) 2005-05-06 2007-05-08 Micron Technology, Inc. Pixel with spatially varying metal route positions
US7307327B2 (en) 2005-08-04 2007-12-11 Micron Technology, Inc. Reduced crosstalk CMOS image sensors
US8003952B2 (en) * 2006-09-12 2011-08-23 Agilent Technologies, Inc. Integrated deflectors for beam alignment and blanking in charged particle columns

Also Published As

Publication number Publication date
EP2593956A2 (en) 2013-05-22
CA2805283A1 (en) 2012-01-19
WO2012009242A2 (en) 2012-01-19
KR20130135232A (ko) 2013-12-10
CN103125009A (zh) 2013-05-29
AU2011279438A1 (en) 2013-02-21
WO2012009242A3 (en) 2012-03-08
JP2013531349A (ja) 2013-08-01
US20120012958A1 (en) 2012-01-19
US8482090B2 (en) 2013-07-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6205618B2 (ja) 放射線検出器および放射線検出方法
RU2012137379A (ru) Устройство для производства двумерных или трехмерных волокнистых материалов из микроволокон и нановолокон
MX2012011756A (es) Bateria, ensamble de placa de bateria, y metodo de ensamble.
MX2012008653A (es) Placas bipolares y apilados de celdas de combustible regenerativas que incluyen las mismas.
JP6362017B2 (ja) パーティクルコレクタシステム及び集塵方法
JP2004282038A5 (ru)
JP2002527790A5 (ru)
CN103515175B (zh) 二维防护结构及具有该结构的辐射检测器
JP2013525913A5 (ru)
JP6818688B2 (ja) 疎な材料のための高電圧接続
TW200611287A (en) Capacitance induction device
CN102820423A (zh) 复合压电微能源发生器
US9523570B2 (en) Pick-up tool with integrated light source
RU2013106509A (ru) Коллектор заряженных частиц для кмоп-формирователя изображения
JP2013157382A (ja) 異物除去装置、異物除去方法
US20110216923A1 (en) Structure of flexible speaker
CN113644840B (zh) 一种提升低频输出的按压式摩擦纳米发电机
EP2413370A3 (en) Solar cell and electrode structure therefor
US9658205B2 (en) Electrode array for analyzing electrical characteristics of cell spheroid
KR102014139B1 (ko) 전기 집진기
CA2932306C (en) Battery
EP2337081A3 (en) Solar cell and method for manufacturing the same
JP2015192577A (ja) 発電装置
US5565717A (en) Devices for manufacturing electrets, and electrets obtained thereby
CN108580440A (zh) 月尘光电清除系统除尘电极及其制作方法

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20140714