[go: up one dir, main page]

RU2012111340A - Многополосковый проводник и способ его изготовления - Google Patents

Многополосковый проводник и способ его изготовления Download PDF

Info

Publication number
RU2012111340A
RU2012111340A RU2012111340/28A RU2012111340A RU2012111340A RU 2012111340 A RU2012111340 A RU 2012111340A RU 2012111340/28 A RU2012111340/28 A RU 2012111340/28A RU 2012111340 A RU2012111340 A RU 2012111340A RU 2012111340 A RU2012111340 A RU 2012111340A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
layer
strip
tape
strips
strip conductor
Prior art date
Application number
RU2012111340/28A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2546127C2 (ru
Inventor
Гюнтер РИС
Хайнц-Вернер НОЙМЮЛЛЕР
Original Assignee
Сименс Акциенгезелльшафт
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Сименс Акциенгезелльшафт filed Critical Сименс Акциенгезелльшафт
Publication of RU2012111340A publication Critical patent/RU2012111340A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2546127C2 publication Critical patent/RU2546127C2/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00Superconducting devices
    • H10N60/20Permanent superconducting devices
    • H10N60/203Permanent superconducting devices comprising high-Tc ceramic materials
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00Superconducting devices
    • H10N60/01Manufacture or treatment
    • H10N60/0268Manufacture or treatment of devices comprising copper oxide
    • H10N60/0661Processes performed after copper oxide formation, e.g. patterning
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N60/00Superconducting devices
    • H10N60/01Manufacture or treatment
    • H10N60/0268Manufacture or treatment of devices comprising copper oxide
    • H10N60/0801Manufacture or treatment of filaments or composite wires
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Superconductors And Manufacturing Methods Therefor (AREA)
  • Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)

Abstract

1. Многополосковый проводник (1) с ленточной подложкой (2) и по меньшей мере одним сверхпроводящим слоем (3), причем этот по меньшей мере один сверхпроводящий слой (3) образован на по меньшей мере одной поверхности ленточной подложки (2) и разделен на полоски (20, 20'), и при этом ленточная подложка (2) имеет параллельно своей продольной протяженности первое направление (21), а по меньшей мере одна полоска (20, 20') имеет параллельно своей продольной протяженности второе направление (22), отличающийся тем, что первое направление (21) ленточной подложки (2) образует со вторым направлением (22) упомянутой по меньшей мере одной полоски (20, 20') угол, который больше нуля.2. Многополосковый проводник (1) по пункту 1, отличающийся тем, что угол между первым направлением (21) ленточной подложки (2) и вторым направлением (22) упомянутой по меньшей мере одной полоски (20, 20') лежит между 1 и 5 градусами, и/или упомянутая по меньшей мере одна полоска (20, 20') образована полностью вдоль второго направления (22), в частности, без продольной составляющей, параллельной первому направлению (21).3. Многополосковый проводник (1) по пункту 1, отличающийся тем, что ленточная подложка (2) имеет первую поверхность на передней стороне (9) и противоположную вторую поверхность на задней стороне (10), при этом как на первой, так и на второй поверхности образовано множество полосок (20, 20'), при этом, в частности, полоски (20) первой поверхности имеют второе направление (22), которое не совпадает с третьим направлением (23), параллельным продольному направлению полосок (20') второй поверхности.4. Многополосковый проводник (1) по пункту 3, отличающийся тем, что по меньшей мере одна полоска (20) передней ст

Claims (15)

1. Многополосковый проводник (1) с ленточной подложкой (2) и по меньшей мере одним сверхпроводящим слоем (3), причем этот по меньшей мере один сверхпроводящий слой (3) образован на по меньшей мере одной поверхности ленточной подложки (2) и разделен на полоски (20, 20'), и при этом ленточная подложка (2) имеет параллельно своей продольной протяженности первое направление (21), а по меньшей мере одна полоска (20, 20') имеет параллельно своей продольной протяженности второе направление (22), отличающийся тем, что первое направление (21) ленточной подложки (2) образует со вторым направлением (22) упомянутой по меньшей мере одной полоски (20, 20') угол, который больше нуля.
2. Многополосковый проводник (1) по пункту 1, отличающийся тем, что угол между первым направлением (21) ленточной подложки (2) и вторым направлением (22) упомянутой по меньшей мере одной полоски (20, 20') лежит между 1 и 5 градусами, и/или упомянутая по меньшей мере одна полоска (20, 20') образована полностью вдоль второго направления (22), в частности, без продольной составляющей, параллельной первому направлению (21).
3. Многополосковый проводник (1) по пункту 1, отличающийся тем, что ленточная подложка (2) имеет первую поверхность на передней стороне (9) и противоположную вторую поверхность на задней стороне (10), при этом как на первой, так и на второй поверхности образовано множество полосок (20, 20'), при этом, в частности, полоски (20) первой поверхности имеют второе направление (22), которое не совпадает с третьим направлением (23), параллельным продольному направлению полосок (20') второй поверхности.
4. Многополосковый проводник (1) по пункту 3, отличающийся тем, что по меньшей мере одна полоска (20) передней стороны (9) электропроводящим образом соединена с по меньшей мере одной полоской (20') задней стороны (10), в частности, через по меньшей мере один слой (19), который образован на по меньшей мере одной третьей поверхности на одной или двух боковых поверхностях ленточной подложки (2).
5. Многополосковый проводник (1) по пункту 1, отличающийся тем, что между по меньшей мере двумя соседними полосками (20, 20') на одной поверхности образован по меньшей мере один электрический мостик (23), с помощью которого образовано электрическое соединение упомянутых по меньшей мере двух соседних полосок (20, 20').
6. Многополосковый проводник (1) по пункту 5, отличающийся тем, что упомянутый по меньшей мере один электрический мостик (23) расположен посредине на этой одной поверхности, в частности, с продольным направлением мостика (23), параллельным первому направлению (21) ленточной подложки (2).
7. Многополосковый проводник (1) по пункту 1, отличающийся тем, что многополосковый проводник (1) имеет слоистый пакет из ленточного материала-носителя (16, 17), по меньшей мере одного буферного слоя (4), по меньшей мере одного сверхпроводящего слоя (3), в частности, высокотемпературного сверхпроводящего (ВТСП) слоя, и/или по меньшей мере одного стабилизирующего слоя (5).
8. Многополосковый проводник (1) по пункту 7, отличающийся тем, что материал-носитель (16, 17) состоит из металла, в частности, стали, и/или упомянутый по меньшей мере один буферный слой (4) содержит по меньшей мере один материал из группы Al (11), оксид иттрия (12), IBAD MgO (13), Homo-epi MgO (14), LMO (15) или комбинации и/или слоистого пакета из этих материалов, и/или упомянутый по меньшей мере один сверхпроводящий слой (3) состоит из YBCO, и/или упомянутый по меньшей мере один мостик (23) состоит из YBCO, в частности, из YBCO упомянутого по меньшей мере одного ВТСП-слоя, и/или упомянутый по меньшей мере один стабилизирующий слой (5) состоит из меди или серебра, или содержит слоистый пакет с по меньшей мере одним слоем (5b) меди и/или по меньшей мере одним слоем (5а) серебра, и/или упомянутый по меньшей мере один мостик (23) состоит из материала упомянутого по меньшей мере одного стабилизирующего слоя (5) или содержит его.
9. Многополосковый проводник (1) по пункту 7 или 8, отличающийся тем, что материал-носитель (16, 17) имеет толщину в диапазоне от 50 до 100 мкм и ширину в диапазоне 10 мм, и/или упомянутый по меньшей мере один буферный слой (4) имеет толщину в диапазоне 100 нм, и/или упомянутый по меньшей мере один сверхпроводящий слой (3) имеет толщину в диапазоне 1 мкм, и/или упомянутая по меньшей мере одна полоска (20, 20') имеет ширину в диапазоне 0,5 мм, и/или упомянутый по меньшей мере один стабилизирующий слой (5) имеет толщину в диапазоне 3 мкм.
10. Многополосковый проводник (1) по пункту 1, отличающийся тем, что полоски (20, 20') транспонированы, в частности, с длиной транспонирования в диапазоне 20 см.
11. Способ изготовления многополоскового проводника (1) по любому из предыдущих пунктов, отличающийся тем, что приводят два ленточных материала-носителя (16, 17) в механическое соединение друг с другом их противоположными сторонами, в частности, с совмещением при наложении, при этом на одну сторону ленточного материала-носителя (16, 17), которая противоположна стороне механического соединения, наносят по меньшей мере один сверхпроводящий слой (3), а на сверхпроводящий слой (3) наносят стабилизирующий слой (5), при этом стабилизирующий слой (5) первого ленточного материала-носителя (16) выполняют с перекрытием стабилизирующего слоя (5') второго ленточного материала-носителя (17) на краях (19) двух ленточных материалов-носителей (16, 17), так что происходит электрическое соединение стабилизирующих слоев (5, 5') по краям (19), и разделяют сверхпроводящие слои (3) и стабилизирующие слои (5, 5') на полоски (20, 20').
12. Способ по пункту 11, отличающийся тем, что нанесение слоев осуществляют с помощью электролиза, напайки, напыления, распыления и/или термического разложения соединений металлов в паровой фазе, и/или разделение сверхпроводящих слоев (3) и разделение стабилизирующих слоев (5, 5') на полоски (20, 20') осуществляют с помощью лазеров и/или травления, в частности, химического травления, проходящих через соответствующий слой канавок (6).
13. Способ по пункту 12, отличающийся тем, что канавки (6) образуют под неравным нулю углом между первым направлением (21) ленточной подложки (2) и вторым направлением (22) упомянутой по меньшей мере одной полоски (20, 20'), и полоски (20, 20') на двух ленточных материалах-носителях (16, 17) электрически соединяют через их края (19) так, что возникают спиральные пути тока.
14. Способ по пункту 11, отличающийся тем, что нанесение слоев осуществляют с помощью печати, наклеивания, электролиза, напайки, напыления, распыления и/или термического разложения соединений металлов в паровой фазе, при этом непосредственно образуют структуру полосок (20, 20').
15. Способ по любому из пунктов 11-14, отличающийся тем, что два ленточных материала-носителя (16, 17) отделяют друг от друга термостойкой, изолирующей прослойкой 29 и/или воздушным зазором, в частности, посредством сварки (25) двух ленточных материалов-носителей (16, 17), посредством сгибания одной ленты-носителя в две лежащие друг над другом ленты (16, 17), или же посредством плоской прокатки трубы (24), в частности, перед этапом текстурирующей прокатки ленточных материалов-носителей (16, 17).
RU2012111340/28A 2009-08-26 2010-08-24 Многополосковый проводник и способ его изготовления RU2546127C2 (ru)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102009038920A DE102009038920A1 (de) 2009-08-26 2009-08-26 Multifilamentleiter und Verfahren zu dessen Herstellung
DE102009038920.2 2009-08-26
PCT/EP2010/062285 WO2011023670A1 (de) 2009-08-26 2010-08-24 Multifilamentleiter und verfahren zu dessen herstellung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2012111340A true RU2012111340A (ru) 2013-10-10
RU2546127C2 RU2546127C2 (ru) 2015-04-10

Family

ID=43217085

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2012111340/28A RU2546127C2 (ru) 2009-08-26 2010-08-24 Многополосковый проводник и способ его изготовления

Country Status (11)

Country Link
US (1) US9024192B2 (ru)
EP (1) EP2471115B1 (ru)
JP (1) JP5597711B2 (ru)
KR (1) KR101782177B1 (ru)
CN (1) CN102484198B (ru)
BR (1) BR112012004242B1 (ru)
CA (1) CA2772158C (ru)
DE (1) DE102009038920A1 (ru)
ES (1) ES2536998T3 (ru)
RU (1) RU2546127C2 (ru)
WO (1) WO2011023670A1 (ru)

Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140146489A1 (en) * 2012-11-28 2014-05-29 Rf Micro Devices, Inc. Surface finish for conductive features on substrates
US20140144682A1 (en) * 2012-11-28 2014-05-29 Rf Micro Devices, Inc. Surface finish for conductive features on substrates
ES2559610T3 (es) 2013-09-03 2016-02-15 Nexans Disposición de bobina superconductora
US9947441B2 (en) 2013-11-12 2018-04-17 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Integrated superconductor device and method of fabrication
US10158061B2 (en) 2013-11-12 2018-12-18 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc Integrated superconductor device and method of fabrication
JP6069269B2 (ja) * 2014-05-07 2017-02-01 株式会社フジクラ 酸化物超電導線材、超電導機器及び酸化物超電導線材の製造方法
WO2015185346A1 (en) * 2014-06-06 2015-12-10 Koninklijke Philips N.V. Manufacturing of litz wire
CN104167487B (zh) * 2014-07-31 2017-01-25 上海超导科技股份有限公司 接触电阻均分布的钇系超导带材及其制备方法、装置
EP3179486B1 (en) * 2014-08-05 2019-05-01 Fujikura Ltd. Oxide superconducting wire, superconducting device and method for producing oxide superconducting wire
JP6371395B2 (ja) 2014-08-12 2018-08-08 国立研究開発法人理化学研究所 高温超伝導多芯テープ線、その製造方法、および製造装置
JP6201080B1 (ja) * 2015-11-06 2017-09-20 株式会社フジクラ 酸化物超電導線材
WO2017104753A1 (ja) * 2015-12-18 2017-06-22 古河電気工業株式会社 超電導線材及び超電導コイル
DE102016204991A1 (de) * 2016-03-24 2017-09-28 Siemens Aktiengesellschaft Supraleitereinrichtung zum Betrieb in einem externen Magnetfeld
US20180182507A1 (en) * 2016-12-22 2018-06-28 Essex Group, Inc. Continuously Transposed Conductors And Assemblies
JP6484658B2 (ja) * 2017-03-24 2019-03-13 株式会社フジクラ 酸化物超電導線材及び超電導コイル
GB201705214D0 (en) * 2017-03-31 2017-05-17 Tokamak Energy Ltd Quench detection in superconducting magnets
US10804010B2 (en) * 2017-05-12 2020-10-13 American Superconductor Corporation High temperature superconducting wires having increased engineering current densities
CN107622825B (zh) * 2017-09-30 2021-06-01 上海朗达电缆(集团)有限公司 一种柔性耐火低压变频电缆
CA3088977A1 (en) * 2017-12-14 2019-06-20 The Government Of The United States Of America, As Represented By The Secretary Of The Navy Precise alignment and decal bonding of a pattern of solder preforms to a surface
EP3540795A1 (en) 2018-03-15 2019-09-18 Bruker HTS GmbH A tape type superconductor with a plurality of elongated barrier structures
EP3584847A1 (en) * 2018-06-18 2019-12-25 Bruker HTS GmbH Method for fabrication of a hts coated tape
GB201904665D0 (en) 2019-04-03 2019-05-15 Tokamak Energy Ltd High temperature supconductor cable
KR102582231B1 (ko) * 2019-06-20 2023-09-22 한국전기연구원 필라멘트 꼬임을 갖는 고온초전도선재 및 이의 제조방법
CN113035487B (zh) * 2020-03-11 2022-07-08 上海交通大学 一种提高超导闭合线圈励磁效率的装置
CN111403103B (zh) * 2020-04-29 2024-07-09 上海国际超导科技有限公司 超导带材
DE102020128417A1 (de) * 2020-10-29 2022-05-05 Karlsruher Institut für Technologie Bandleitervorrichtung und kabel, das die bandleitervorrichtung aufweist
JP7651933B2 (ja) * 2021-04-28 2025-03-27 住友電気工業株式会社 高温超電導線材の接続構造
RU2770419C1 (ru) * 2021-12-21 2022-04-18 Общество с ограниченной ответственностью "Инженерные технологии защиты" Высоковольтный предохранитель с высокотемпературной сверхпроводящей вставкой и токоограничитель c таким предохранителем

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US749639A (en) 1904-01-12 Metallic
US3513251A (en) * 1969-04-07 1970-05-19 Southwire Co Multifilament conductor
US5157466A (en) * 1991-03-19 1992-10-20 Conductus, Inc. Grain boundary junctions in high temperature superconductor films
JP3188358B2 (ja) * 1994-03-25 2001-07-16 財団法人国際超電導産業技術研究センター 酸化物超電導体薄膜の製造方法
US5591696A (en) * 1994-10-06 1997-01-07 Board Of Regents, The University Of Texas System Chemically tailored corrosion resistant high-TC superconductors
JP3634078B2 (ja) 1995-08-18 2005-03-30 株式会社フジクラ 酸化物超電導導体
US6312819B1 (en) * 1999-05-26 2001-11-06 The Regents Of The University Of California Oriented conductive oxide electrodes on SiO2/Si and glass
US6828507B1 (en) * 1999-07-23 2004-12-07 American Superconductor Corporation Enhanced high temperature coated superconductors joined at a cap layer
US6765151B2 (en) * 1999-07-23 2004-07-20 American Superconductor Corporation Enhanced high temperature coated superconductors
CN1208850C (zh) 1999-07-23 2005-06-29 美国超导公司 增强的涂布高温超导体
AU6219200A (en) * 1999-08-24 2001-03-19 Electric Power Research Institute, Inc. Surface control alloy substrates and methods of manufacture therefor
US6756139B2 (en) * 2002-03-28 2004-06-29 The Regents Of The University Of California Buffer layers on metal alloy substrates for superconducting tapes
DE10223542B4 (de) 2002-05-27 2005-04-21 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung eines volltransponierten Hoch-Tc-Verbundsupraleiters sowie nach dem Verfahren hergestellter Leiter
US6899928B1 (en) * 2002-07-29 2005-05-31 The Regents Of The University Of California Dual ion beam assisted deposition of biaxially textured template layers
US20040266628A1 (en) * 2003-06-27 2004-12-30 Superpower, Inc. Novel superconducting articles, and methods for forming and using same
JP2005085612A (ja) * 2003-09-09 2005-03-31 Yokohama Tlo Co Ltd 超電導テープ導体、超電導テープ導体の製造方法、及び超電導テープ導体を備える装置
US7365271B2 (en) 2003-12-31 2008-04-29 Superpower, Inc. Superconducting articles, and methods for forming and using same
US7463915B2 (en) * 2004-08-20 2008-12-09 American Superconductor Corporation Stacked filamentary coated superconductors
US7582328B2 (en) * 2004-08-20 2009-09-01 American Superconductor Corporation Dropwise deposition of a patterned oxide superconductor
US7496390B2 (en) * 2004-08-20 2009-02-24 American Superconductor Corporation Low ac loss filamentary coated superconductors
WO2007001383A2 (en) * 2004-09-22 2007-01-04 Superpower, Inc. Superconductor components
US7763343B2 (en) * 2005-03-31 2010-07-27 American Superconductor Corporation Mesh-type stabilizer for filamentary coated superconductors
KR101441139B1 (ko) * 2005-07-29 2014-09-17 아메리칸 수퍼컨덕터 코포레이션 고온 초전도 와이어 및 코일
JP4984466B2 (ja) 2005-09-21 2012-07-25 住友電気工業株式会社 超電導テープ線材の製造方法
US7593758B2 (en) 2005-10-06 2009-09-22 Los Alamos National Security, Llc Segmented superconducting tape having reduced AC losses and method of making
US7756557B1 (en) * 2005-11-30 2010-07-13 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force AC-tolerant HTS coated conductor with transposed filaments
US7674751B2 (en) * 2006-01-10 2010-03-09 American Superconductor Corporation Fabrication of sealed high temperature superconductor wires
JP2007305386A (ja) 2006-05-10 2007-11-22 Sumitomo Electric Ind Ltd 超電導線材、超電導導体、超電導機器、超電導線材の製造方法、および超電導導体の製造方法
WO2011163343A2 (en) 2010-06-24 2011-12-29 University Of Houston System Multifilament superconductor having reduced ac losses and method for forming the same

Also Published As

Publication number Publication date
ES2536998T3 (es) 2015-06-01
JP2013503422A (ja) 2013-01-31
US20120181062A1 (en) 2012-07-19
RU2546127C2 (ru) 2015-04-10
KR20120056257A (ko) 2012-06-01
US9024192B2 (en) 2015-05-05
JP5597711B2 (ja) 2014-10-01
CN102484198B (zh) 2016-08-03
KR101782177B1 (ko) 2017-09-26
BR112012004242A2 (pt) 2016-04-05
CA2772158C (en) 2016-11-01
BR112012004242B1 (pt) 2019-11-05
EP2471115A1 (de) 2012-07-04
DE102009038920A1 (de) 2011-03-10
EP2471115B1 (de) 2015-04-01
WO2011023670A1 (de) 2011-03-03
CA2772158A1 (en) 2011-03-03
CN102484198A (zh) 2012-05-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2012111340A (ru) Многополосковый проводник и способ его изготовления
JP4986462B2 (ja) 太陽電池ストリングおよびその製造方法、ならびに、その太陽電池ストリングを用いる太陽電池モジュール
EP2586071B1 (en) Multifilament superconductor having reduced ac losses and method for forming the same
US20140070190A1 (en) Light emitting device and method for manufacturing the same
US20180294397A1 (en) Thermoelectric conversion device
US20180190892A1 (en) Thermoelectric conversion module, method of manufacturing thermoelectric conversion module, and thermally conductive substrate
US10319500B2 (en) Superconducting wire material having laminated structure and manufacturing method therefor
JP6524241B2 (ja) 熱電変換デバイス
JP2019509612A5 (ru)
CN102456829A (zh) 具有曲折形状的p-n布置的热电模块的热电发电机
US20210288276A1 (en) Flexible display panel and manufacturing method thereof
US20180183360A1 (en) Thermoelectric conversion module
WO2014141777A1 (ja) 超電導導体の製造方法及び超電導導体
WO2017038831A1 (ja) 熱電変換素子および熱電変換モジュール
JP7294607B2 (ja) 熱電変換モジュールの製造方法、及び、熱電変換モジュール
US10347811B2 (en) Thermoelectric conversion module
JP6659836B2 (ja) 熱電変換モジュール
US20170104191A1 (en) Electrical storage system including a sheet-like discrete element, sheet-like discrete element, method for producing same, and use thereof
JP2014132102A (ja) 蒸着装置
US20190019936A1 (en) Thermoelectric conversion module, heat conductive laminate, and method of producing thermoelectric conversion module
US9882110B2 (en) Thermoelectric device technology
US20230389429A1 (en) Thermoelectric conversion module and method of producing thermoelectric conversion module
TW202013776A (zh) 熱電轉換單元
JP5393267B2 (ja) 超電導線材の製造方法
CN109891522B (zh) 超导线材