RU2011110052A - Вибратор, вибропреобразователь, генератор колебаний и электронное устройство - Google Patents
Вибратор, вибропреобразователь, генератор колебаний и электронное устройство Download PDFInfo
- Publication number
- RU2011110052A RU2011110052A RU2011110052/07A RU2011110052A RU2011110052A RU 2011110052 A RU2011110052 A RU 2011110052A RU 2011110052/07 A RU2011110052/07 A RU 2011110052/07A RU 2011110052 A RU2011110052 A RU 2011110052A RU 2011110052 A RU2011110052 A RU 2011110052A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- vibrator
- base
- section
- oscillating
- housing
- Prior art date
Links
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims abstract 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims 6
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/0538—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
- H03H9/0547—Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders or supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/21—Crystal tuning forks
- H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/24—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive
- H03H9/2405—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive of microelectro-mechanical resonators
- H03H9/2447—Beam resonators
- H03H9/2457—Clamped-free beam resonators
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/24—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive
- H03H9/2405—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive of microelectro-mechanical resonators
- H03H9/2468—Tuning fork resonators
- H03H9/2478—Single-Ended Tuning Fork resonators
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
- H03H2003/0414—Resonance frequency
- H03H2003/0492—Resonance frequency during the manufacture of a tuning-fork
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)
Abstract
1. Вибратор, содержащий: ! базовый участок, и ! колеблющееся плечо, которое продолжается от базового участка, ! при этом колеблющееся плечо снабжено доходящим до дна удлиненным пазом, который имеет отверстие вдоль, по меньшей мере, одной основной поверхности из обеих основных поверхностей колеблющегося плеча, ! при этом колеблющееся плечо снабжено утяжеленным участком, который сформирован у верхней торцевой стороны колеблющегося плеча на противоположной стороне от основания колеблющегося плеча, прикрепленного к базовому участку, и который имеет большую ширину, чем ширина колеблющегося плеча на стороне основания, прикрепленного к базовому участку, и ! при этом соотношение длины утяжеленного участка к длине от основания, прикрепленного к базовому участку, до верхнего конца колеблющегося плеча в продольном направлении колеблющегося плеча находится в пределах от 35% до 41%. ! 2. Вибратор по п.1, ! в котором относительная величина длины утяжеленного участка находится в пределах от 36% до 40%. ! 3. Вибратор по п.2, ! в котором относительная величина длины утяжеленного участка находится в пределах от 37% до 39%. ! 4. Вибратор по п.1, дополнительно содержащий: ! два колеблющихся плеча, которые продолжаются от базового участка, и ! опорное плечо, которое сформировано так, что продолжается от части базового участка между двумя колеблющимися плечами в продольном направлении колеблющегося плеча. ! 5. Вибратор по п.1, ! в котором базовый участок и колеблющееся плечо сформированы из кварца. ! 6. Вибратор по п.1, ! в котором вибратор представляет собой изгибный вибратор, который имеет режим изгибных колебаний. ! 7. Вибропреобразователь, соде�
Claims (24)
1. Вибратор, содержащий:
базовый участок, и
колеблющееся плечо, которое продолжается от базового участка,
при этом колеблющееся плечо снабжено доходящим до дна удлиненным пазом, который имеет отверстие вдоль, по меньшей мере, одной основной поверхности из обеих основных поверхностей колеблющегося плеча,
при этом колеблющееся плечо снабжено утяжеленным участком, который сформирован у верхней торцевой стороны колеблющегося плеча на противоположной стороне от основания колеблющегося плеча, прикрепленного к базовому участку, и который имеет большую ширину, чем ширина колеблющегося плеча на стороне основания, прикрепленного к базовому участку, и
при этом соотношение длины утяжеленного участка к длине от основания, прикрепленного к базовому участку, до верхнего конца колеблющегося плеча в продольном направлении колеблющегося плеча находится в пределах от 35% до 41%.
2. Вибратор по п.1,
в котором относительная величина длины утяжеленного участка находится в пределах от 36% до 40%.
3. Вибратор по п.2,
в котором относительная величина длины утяжеленного участка находится в пределах от 37% до 39%.
4. Вибратор по п.1, дополнительно содержащий:
два колеблющихся плеча, которые продолжаются от базового участка, и
опорное плечо, которое сформировано так, что продолжается от части базового участка между двумя колеблющимися плечами в продольном направлении колеблющегося плеча.
5. Вибратор по п.1,
в котором базовый участок и колеблющееся плечо сформированы из кварца.
6. Вибратор по п.1,
в котором вибратор представляет собой изгибный вибратор, который имеет режим изгибных колебаний.
7. Вибропреобразователь, содержащий:
вибратор по п.1, и
корпус, в котором размещен этот вибратор.
8. Вибропреобразователь, содержащий:
вибратор по п.2, и
корпус, в котором размещен этот вибратор.
9. Вибропреобразователь, содержащий:
вибратор по п.3, и
корпус, в котором размещен этот вибратор.
10. Вибропреобразователь, содержащий:
вибратор по п.4, и
корпус, в котором размещен этот вибратор.
11. Вибропреобразователь, содержащий:
вибратор по п.5, и
корпус, в котором размещен этот вибратор.
12. Вибропреобразователь, содержащий:
вибратор по п.6, и
корпус, в котором размещен этот вибратор.
13. Генератор колебаний, содержащий:
вибратор по п.1,
участок схемы, который электрически соединен с вибратором, и
корпус, в котором размещены вибратор и участок схемы.
14. Генератор колебаний, содержащий:
вибратор по п.2,
участок схемы, который электрически соединен с вибратором, и
корпус, в котором размещены вибратор и участок схемы.
15. Генератор колебаний, содержащий:
вибратор по п.3,
участок схемы, который электрически соединен с вибратором, и
корпус, в котором размещены вибратор и участок схемы.
16. Генератор колебаний, содержащий:
вибратор по п.4,
участок схемы, который электрически соединен с вибратором, и
корпус, в котором размещены вибратор и участок схемы.
17. Генератор колебаний, содержащий:
вибратор по п.5,
участок схемы, который электрически соединен с вибратором, и
корпус, в котором размещены вибратор и участок схемы.
18. Генератор колебаний, содержащий:
вибратор по п.6,
участок схемы, который электрически соединен с вибратором, и
корпус, в котором размещены вибратор и участок схемы.
19. Электронное устройство, содержащее генератор колебаний по п.13.
20. Электронное устройство, содержащее генератор колебаний по п.14.
21. Электронное устройство, содержащее генератор колебаний по п.15.
22. Электронное устройство, содержащее генератор колебаний по п.16.
23. Электронное устройство, содержащее генератор колебаний по п.17.
24. Электронное устройство, содержащее генератор колебаний по п.18.
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010-060325 | 2010-03-17 | ||
| JP2010060325A JP5504999B2 (ja) | 2010-03-17 | 2010-03-17 | 振動片、振動子、発振器 |
| JP2010281336A JP2012129904A (ja) | 2010-12-17 | 2010-12-17 | 電子機器 |
| JP2010-281336 | 2010-12-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2011110052A true RU2011110052A (ru) | 2012-09-27 |
| RU2470457C2 RU2470457C2 (ru) | 2012-12-20 |
Family
ID=44201341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2011110052/07A RU2470457C2 (ru) | 2010-03-17 | 2011-03-16 | Вибратор, вибропреобразователь, генератор колебаний и электронное устройство |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8692632B2 (ru) |
| EP (1) | EP2372909A3 (ru) |
| KR (1) | KR20110104897A (ru) |
| CN (2) | CN102195606B (ru) |
| BR (1) | BRPI1101193A2 (ru) |
| RU (1) | RU2470457C2 (ru) |
| TW (1) | TWI603581B (ru) |
Families Citing this family (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5565154B2 (ja) * | 2009-09-11 | 2014-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
| JP2011193399A (ja) * | 2010-03-16 | 2011-09-29 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子および圧電デバイス |
| US20110227450A1 (en) * | 2010-03-18 | 2011-09-22 | Seiko Epson Corporation | Resonator body, resonator device, and electronic device |
| US20110227451A1 (en) * | 2010-03-18 | 2011-09-22 | Seiko Epson Corporation | Resonator body, resonator device, and electronic device |
| JP5085681B2 (ja) * | 2010-03-31 | 2012-11-28 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法 |
| JP6160027B2 (ja) * | 2012-04-27 | 2017-07-12 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体 |
| JP6349622B2 (ja) | 2013-03-14 | 2018-07-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| US9257959B2 (en) * | 2013-03-29 | 2016-02-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, sensor, and moving object |
| JP6155897B2 (ja) * | 2013-06-24 | 2017-07-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体 |
| JP6209886B2 (ja) | 2013-07-18 | 2017-10-11 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP2015023422A (ja) | 2013-07-18 | 2015-02-02 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP6281254B2 (ja) * | 2013-11-16 | 2018-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP2015097366A (ja) * | 2013-11-16 | 2015-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP6375622B2 (ja) | 2013-12-27 | 2018-08-22 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、電子機器、センサーおよび移動体 |
| JP6432190B2 (ja) * | 2014-07-25 | 2018-12-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動素子の製造方法、振動子、電子機器および移動体 |
| CN105448308B (zh) * | 2014-08-27 | 2019-04-09 | 祥和科技有限公司 | 用于形成具有延长高度的硬盘驱动器基板的方法和装置 |
| JP6627209B2 (ja) * | 2014-09-09 | 2020-01-08 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
| JP5885825B1 (ja) * | 2014-12-25 | 2016-03-16 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動子および圧電振動子の製造方法 |
| JP6676403B2 (ja) * | 2016-02-23 | 2020-04-08 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片、及び圧電振動子 |
| JP6318418B1 (ja) * | 2017-07-24 | 2018-05-09 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 圧電振動子、圧電ユニット、圧電発振器と電子機器 |
| US20210247187A1 (en) * | 2018-06-13 | 2021-08-12 | Kyocera Corporation | Sensor element and angular velocity sensor |
| TWI787772B (zh) | 2021-03-30 | 2022-12-21 | 台灣晶技股份有限公司 | 吸震式晶體振子封裝結構 |
| JP2023065836A (ja) * | 2021-10-28 | 2023-05-15 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子の製造方法 |
Family Cites Families (39)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5437488A (en) * | 1977-07-20 | 1979-03-19 | Seiko Epson Corp | Tuning fork type crystal oscillator |
| JPS5489283U (ru) * | 1977-12-08 | 1979-06-23 | ||
| SU1080244A1 (ru) * | 1981-10-28 | 1984-03-15 | Предприятие П/Я А-3987 | Пьезоэлектрический вибратор |
| JPH01236808A (ja) | 1988-03-17 | 1989-09-21 | Matsushima Kogyo Co Ltd | 捩水晶振動子 |
| JP2625511B2 (ja) | 1988-07-21 | 1997-07-02 | 株式会社クボタ | 穀粒選別装置用穀粒分布検出装置 |
| RU2020428C1 (ru) * | 1991-10-09 | 1994-09-30 | Ленинградский сельскохозяйственный институт | Устройство для крепления вибропреобразователя |
| RU2044284C1 (ru) * | 1992-04-14 | 1995-09-20 | Александр Иванович Борновалов | Пьезоэлектрический вибропреобразователь |
| WO2000044092A1 (en) | 1999-01-20 | 2000-07-27 | Seiko Epson Corporation | Vibrator and electronic device with vibrator |
| JP2002141770A (ja) | 2000-11-01 | 2002-05-17 | Citizen Watch Co Ltd | 小型振動子 |
| US6587009B2 (en) * | 2000-12-25 | 2003-07-01 | Seiko Epson Corporation | Vibrating piece, vibrator, oscillator, and electronic equipment |
| JP2002261575A (ja) | 2000-12-25 | 2002-09-13 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
| JP2004260718A (ja) | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Seiko Epson Corp | 音叉型振動片及び音叉型振動片の製造方法並びに圧電デバイス |
| JP2004282230A (ja) | 2003-03-13 | 2004-10-07 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイス、並びにこれを利用した携帯電話装置、電子機器 |
| JP4049017B2 (ja) * | 2003-05-16 | 2008-02-20 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動子 |
| JP4356366B2 (ja) | 2003-06-10 | 2009-11-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
| US8358052B2 (en) * | 2003-06-30 | 2013-01-22 | Piedek Technical Laboratory | Unit having resonator, oscillator having unit and electronic apparatus having unit |
| JP3951058B2 (ja) * | 2003-08-19 | 2007-08-01 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型圧電振動片 |
| JP4211578B2 (ja) * | 2003-11-13 | 2009-01-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片とその製造方法、ならびに圧電デバイスおよび圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器 |
| JP2006166390A (ja) * | 2004-02-05 | 2006-06-22 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器 |
| US7138752B1 (en) * | 2005-06-09 | 2006-11-21 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | Small-sized piezoelectric resonator |
| DE602005005647T2 (de) * | 2005-06-09 | 2009-04-16 | Eta Sa Manufacture Horlogère Suisse | Piezoelektrischer Resonator mit kleinen Abmessungen |
| WO2007026736A1 (ja) * | 2005-08-31 | 2007-03-08 | Nec Corporation | 圧電アクチュエータ、音響素子、及び電子機器 |
| DE602007004102D1 (de) | 2007-07-19 | 2010-02-11 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Piezoelektrischer Resonator mit optimierten Bewegungsfähigkeiten |
| US8164235B2 (en) * | 2007-08-03 | 2012-04-24 | Daishinku Corporation | Piezoelectric resonator |
| JP4539708B2 (ja) * | 2007-11-02 | 2010-09-08 | エプソントヨコム株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子および加速度センサ |
| JP5184142B2 (ja) * | 2008-02-26 | 2013-04-17 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 |
| JP5175128B2 (ja) * | 2008-04-04 | 2013-04-03 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
| CN201200971Y (zh) * | 2008-05-16 | 2009-03-04 | 瑞声声学科技(常州)有限公司 | 压电振动器 |
| JP4594412B2 (ja) * | 2008-05-22 | 2010-12-08 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
| JP2009290778A (ja) * | 2008-05-30 | 2009-12-10 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型圧電振動素子 |
| JP2009296115A (ja) * | 2008-06-03 | 2009-12-17 | Daishinku Corp | 音叉型圧電振動片、音叉型圧電振動デバイス、および音叉型圧電振動片の製造方法 |
| JP5123080B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2013-01-16 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 電子部品用の蓋体及び圧電振動子並びに圧電発振器 |
| JP2010044005A (ja) * | 2008-08-18 | 2010-02-25 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子、圧電デバイス |
| JP2010060361A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Murata Mfg Co Ltd | 音叉型振動子、音叉型振動子の製造方法および角速度センサ |
| JP4709260B2 (ja) * | 2008-10-16 | 2011-06-22 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片および圧電デバイス |
| JP5155275B2 (ja) * | 2008-10-16 | 2013-03-06 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片、圧電フレーム及び圧電デバイス |
| JP4885206B2 (ja) * | 2008-12-22 | 2012-02-29 | 日本電波工業株式会社 | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
| JP2010157933A (ja) | 2008-12-27 | 2010-07-15 | Epson Toyocom Corp | 屈曲振動片及び電子部品 |
| CN101567021A (zh) * | 2009-04-09 | 2009-10-28 | 中国人民解放军国防科学技术大学 | 用于振动发电的矩形悬臂梁压电振子优化设计有限元方法 |
-
2011
- 2011-03-04 US US13/040,625 patent/US8692632B2/en active Active
- 2011-03-11 CN CN201110059460.8A patent/CN102195606B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2011-03-11 CN CN201310475653.0A patent/CN103532512B/zh active Active
- 2011-03-11 BR BRPI1101193-9A patent/BRPI1101193A2/pt not_active Application Discontinuation
- 2011-03-14 TW TW100108594A patent/TWI603581B/zh active
- 2011-03-15 KR KR1020110022796A patent/KR20110104897A/ko not_active Ceased
- 2011-03-15 EP EP11158240.9A patent/EP2372909A3/en not_active Withdrawn
- 2011-03-16 RU RU2011110052/07A patent/RU2470457C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI603581B (zh) | 2017-10-21 |
| CN102195606A (zh) | 2011-09-21 |
| BRPI1101193A2 (pt) | 2014-02-25 |
| KR20110104897A (ko) | 2011-09-23 |
| EP2372909A2 (en) | 2011-10-05 |
| CN103532512B (zh) | 2017-04-12 |
| EP2372909A3 (en) | 2014-11-26 |
| US8692632B2 (en) | 2014-04-08 |
| TW201143283A (en) | 2011-12-01 |
| US20110227672A1 (en) | 2011-09-22 |
| CN102195606B (zh) | 2014-05-07 |
| RU2470457C2 (ru) | 2012-12-20 |
| CN103532512A (zh) | 2014-01-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2011110052A (ru) | Вибратор, вибропреобразователь, генератор колебаний и электронное устройство | |
| DE602007004102D1 (de) | Piezoelektrischer Resonator mit optimierten Bewegungsfähigkeiten | |
| JP2011019159A5 (ru) | ||
| EP2341619A3 (en) | Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and frequency adjustment method | |
| RU2010148332A (ru) | Осесимметричный кориолисовый вибрационный гироскоп (варианты) | |
| JP2014179803A5 (ru) | ||
| EP2485287A3 (en) | Bistable piezoelectric generator | |
| JP2014057236A5 (ru) | ||
| EP1898180A3 (en) | Vibrators and vibratory gyroscopes | |
| JP2011101340A5 (ru) | ||
| JP2011124976A5 (ja) | 振動片、振動子、発振器、センサー及び電子機器 | |
| JP2015023434A5 (ru) | ||
| JP2014200051A5 (ru) | ||
| JP2012159494A5 (ru) | ||
| JP2015097367A5 (ru) | ||
| JP2015008352A5 (ru) | ||
| JP2011087279A5 (ru) | ||
| JP2012129679A5 (ja) | 発振器 | |
| JP2012054946A5 (ru) | ||
| JP2011228980A5 (ru) | ||
| JP2015097366A5 (ru) | ||
| ATE553531T1 (de) | Oszillator, sende-/empfangseinrichtung und frequenzsynthesizer | |
| JP2015128269A5 (ru) | ||
| JP2014171149A5 (ru) | ||
| JP2015002548A5 (ru) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20160317 |