[go: up one dir, main page]

RU2011110052A - Вибратор, вибропреобразователь, генератор колебаний и электронное устройство - Google Patents

Вибратор, вибропреобразователь, генератор колебаний и электронное устройство Download PDF

Info

Publication number
RU2011110052A
RU2011110052A RU2011110052/07A RU2011110052A RU2011110052A RU 2011110052 A RU2011110052 A RU 2011110052A RU 2011110052/07 A RU2011110052/07 A RU 2011110052/07A RU 2011110052 A RU2011110052 A RU 2011110052A RU 2011110052 A RU2011110052 A RU 2011110052A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
vibrator
base
section
oscillating
housing
Prior art date
Application number
RU2011110052/07A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2470457C2 (ru
Inventor
Акинори ЯМАДА (JP)
Акинори ЯМАДА
Original Assignee
Сейко Эпсон Корпорейшн (Jp)
Сейко Эпсон Корпорейшн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=44201341&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=RU2011110052(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Priority claimed from JP2010060325A external-priority patent/JP5504999B2/ja
Priority claimed from JP2010281336A external-priority patent/JP2012129904A/ja
Application filed by Сейко Эпсон Корпорейшн (Jp), Сейко Эпсон Корпорейшн filed Critical Сейко Эпсон Корпорейшн (Jp)
Publication of RU2011110052A publication Critical patent/RU2011110052A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2470457C2 publication Critical patent/RU2470457C2/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/21Crystal tuning forks
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/0538Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements
    • H03H9/0547Constructional combinations of supports or holders with electromechanical or other electronic elements consisting of a vertical arrangement
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders or supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1014Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/21Crystal tuning forks
    • H03H9/215Crystal tuning forks consisting of quartz
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/24Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive
    • H03H9/2405Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive of microelectro-mechanical resonators
    • H03H9/2447Beam resonators
    • H03H9/2457Clamped-free beam resonators
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
    • H03H9/24Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive
    • H03H9/2405Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive of microelectro-mechanical resonators
    • H03H9/2468Tuning fork resonators
    • H03H9/2478Single-Ended Tuning Fork resonators
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H3/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
    • H03H3/007Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
    • H03H3/02Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
    • H03H3/04Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
    • H03H2003/0414Resonance frequency
    • H03H2003/0492Resonance frequency during the manufacture of a tuning-fork

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Pharmaceuticals Containing Other Organic And Inorganic Compounds (AREA)

Abstract

1. Вибратор, содержащий: ! базовый участок, и ! колеблющееся плечо, которое продолжается от базового участка, ! при этом колеблющееся плечо снабжено доходящим до дна удлиненным пазом, который имеет отверстие вдоль, по меньшей мере, одной основной поверхности из обеих основных поверхностей колеблющегося плеча, ! при этом колеблющееся плечо снабжено утяжеленным участком, который сформирован у верхней торцевой стороны колеблющегося плеча на противоположной стороне от основания колеблющегося плеча, прикрепленного к базовому участку, и который имеет большую ширину, чем ширина колеблющегося плеча на стороне основания, прикрепленного к базовому участку, и ! при этом соотношение длины утяжеленного участка к длине от основания, прикрепленного к базовому участку, до верхнего конца колеблющегося плеча в продольном направлении колеблющегося плеча находится в пределах от 35% до 41%. ! 2. Вибратор по п.1, ! в котором относительная величина длины утяжеленного участка находится в пределах от 36% до 40%. ! 3. Вибратор по п.2, ! в котором относительная величина длины утяжеленного участка находится в пределах от 37% до 39%. ! 4. Вибратор по п.1, дополнительно содержащий: ! два колеблющихся плеча, которые продолжаются от базового участка, и ! опорное плечо, которое сформировано так, что продолжается от части базового участка между двумя колеблющимися плечами в продольном направлении колеблющегося плеча. ! 5. Вибратор по п.1, ! в котором базовый участок и колеблющееся плечо сформированы из кварца. ! 6. Вибратор по п.1, ! в котором вибратор представляет собой изгибный вибратор, который имеет режим изгибных колебаний. ! 7. Вибропреобразователь, соде�

Claims (24)

1. Вибратор, содержащий:
базовый участок, и
колеблющееся плечо, которое продолжается от базового участка,
при этом колеблющееся плечо снабжено доходящим до дна удлиненным пазом, который имеет отверстие вдоль, по меньшей мере, одной основной поверхности из обеих основных поверхностей колеблющегося плеча,
при этом колеблющееся плечо снабжено утяжеленным участком, который сформирован у верхней торцевой стороны колеблющегося плеча на противоположной стороне от основания колеблющегося плеча, прикрепленного к базовому участку, и который имеет большую ширину, чем ширина колеблющегося плеча на стороне основания, прикрепленного к базовому участку, и
при этом соотношение длины утяжеленного участка к длине от основания, прикрепленного к базовому участку, до верхнего конца колеблющегося плеча в продольном направлении колеблющегося плеча находится в пределах от 35% до 41%.
2. Вибратор по п.1,
в котором относительная величина длины утяжеленного участка находится в пределах от 36% до 40%.
3. Вибратор по п.2,
в котором относительная величина длины утяжеленного участка находится в пределах от 37% до 39%.
4. Вибратор по п.1, дополнительно содержащий:
два колеблющихся плеча, которые продолжаются от базового участка, и
опорное плечо, которое сформировано так, что продолжается от части базового участка между двумя колеблющимися плечами в продольном направлении колеблющегося плеча.
5. Вибратор по п.1,
в котором базовый участок и колеблющееся плечо сформированы из кварца.
6. Вибратор по п.1,
в котором вибратор представляет собой изгибный вибратор, который имеет режим изгибных колебаний.
7. Вибропреобразователь, содержащий:
вибратор по п.1, и
корпус, в котором размещен этот вибратор.
8. Вибропреобразователь, содержащий:
вибратор по п.2, и
корпус, в котором размещен этот вибратор.
9. Вибропреобразователь, содержащий:
вибратор по п.3, и
корпус, в котором размещен этот вибратор.
10. Вибропреобразователь, содержащий:
вибратор по п.4, и
корпус, в котором размещен этот вибратор.
11. Вибропреобразователь, содержащий:
вибратор по п.5, и
корпус, в котором размещен этот вибратор.
12. Вибропреобразователь, содержащий:
вибратор по п.6, и
корпус, в котором размещен этот вибратор.
13. Генератор колебаний, содержащий:
вибратор по п.1,
участок схемы, который электрически соединен с вибратором, и
корпус, в котором размещены вибратор и участок схемы.
14. Генератор колебаний, содержащий:
вибратор по п.2,
участок схемы, который электрически соединен с вибратором, и
корпус, в котором размещены вибратор и участок схемы.
15. Генератор колебаний, содержащий:
вибратор по п.3,
участок схемы, который электрически соединен с вибратором, и
корпус, в котором размещены вибратор и участок схемы.
16. Генератор колебаний, содержащий:
вибратор по п.4,
участок схемы, который электрически соединен с вибратором, и
корпус, в котором размещены вибратор и участок схемы.
17. Генератор колебаний, содержащий:
вибратор по п.5,
участок схемы, который электрически соединен с вибратором, и
корпус, в котором размещены вибратор и участок схемы.
18. Генератор колебаний, содержащий:
вибратор по п.6,
участок схемы, который электрически соединен с вибратором, и
корпус, в котором размещены вибратор и участок схемы.
19. Электронное устройство, содержащее генератор колебаний по п.13.
20. Электронное устройство, содержащее генератор колебаний по п.14.
21. Электронное устройство, содержащее генератор колебаний по п.15.
22. Электронное устройство, содержащее генератор колебаний по п.16.
23. Электронное устройство, содержащее генератор колебаний по п.17.
24. Электронное устройство, содержащее генератор колебаний по п.18.
RU2011110052/07A 2010-03-17 2011-03-16 Вибратор, вибропреобразователь, генератор колебаний и электронное устройство RU2470457C2 (ru)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010-060325 2010-03-17
JP2010060325A JP5504999B2 (ja) 2010-03-17 2010-03-17 振動片、振動子、発振器
JP2010281336A JP2012129904A (ja) 2010-12-17 2010-12-17 電子機器
JP2010-281336 2010-12-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2011110052A true RU2011110052A (ru) 2012-09-27
RU2470457C2 RU2470457C2 (ru) 2012-12-20

Family

ID=44201341

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2011110052/07A RU2470457C2 (ru) 2010-03-17 2011-03-16 Вибратор, вибропреобразователь, генератор колебаний и электронное устройство

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8692632B2 (ru)
EP (1) EP2372909A3 (ru)
KR (1) KR20110104897A (ru)
CN (2) CN102195606B (ru)
BR (1) BRPI1101193A2 (ru)
RU (1) RU2470457C2 (ru)
TW (1) TWI603581B (ru)

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5565154B2 (ja) * 2009-09-11 2014-08-06 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、および電子機器
JP2011193399A (ja) * 2010-03-16 2011-09-29 Seiko Epson Corp 振動片、振動子および圧電デバイス
US20110227450A1 (en) * 2010-03-18 2011-09-22 Seiko Epson Corporation Resonator body, resonator device, and electronic device
US20110227451A1 (en) * 2010-03-18 2011-09-22 Seiko Epson Corporation Resonator body, resonator device, and electronic device
JP5085681B2 (ja) * 2010-03-31 2012-11-28 日本電波工業株式会社 圧電振動片、圧電デバイスおよび圧電振動片の製造方法
JP6160027B2 (ja) * 2012-04-27 2017-07-12 セイコーエプソン株式会社 振動片およびジャイロセンサー並びに電子機器および移動体
JP6349622B2 (ja) 2013-03-14 2018-07-04 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
US9257959B2 (en) * 2013-03-29 2016-02-09 Seiko Epson Corporation Resonator element, resonator, oscillator, electronic apparatus, sensor, and moving object
JP6155897B2 (ja) * 2013-06-24 2017-07-05 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器及び移動体
JP6209886B2 (ja) 2013-07-18 2017-10-11 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP2015023422A (ja) 2013-07-18 2015-02-02 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6281254B2 (ja) * 2013-11-16 2018-02-21 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP2015097366A (ja) * 2013-11-16 2015-05-21 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6375622B2 (ja) 2013-12-27 2018-08-22 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、電子機器、センサーおよび移動体
JP6432190B2 (ja) * 2014-07-25 2018-12-05 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動素子の製造方法、振動子、電子機器および移動体
CN105448308B (zh) * 2014-08-27 2019-04-09 祥和科技有限公司 用于形成具有延长高度的硬盘驱动器基板的方法和装置
JP6627209B2 (ja) * 2014-09-09 2020-01-08 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP5885825B1 (ja) * 2014-12-25 2016-03-16 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動子および圧電振動子の製造方法
JP6676403B2 (ja) * 2016-02-23 2020-04-08 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片、及び圧電振動子
JP6318418B1 (ja) * 2017-07-24 2018-05-09 有限会社ピエデック技術研究所 圧電振動子、圧電ユニット、圧電発振器と電子機器
US20210247187A1 (en) * 2018-06-13 2021-08-12 Kyocera Corporation Sensor element and angular velocity sensor
TWI787772B (zh) 2021-03-30 2022-12-21 台灣晶技股份有限公司 吸震式晶體振子封裝結構
JP2023065836A (ja) * 2021-10-28 2023-05-15 セイコーエプソン株式会社 振動素子の製造方法

Family Cites Families (39)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5437488A (en) * 1977-07-20 1979-03-19 Seiko Epson Corp Tuning fork type crystal oscillator
JPS5489283U (ru) * 1977-12-08 1979-06-23
SU1080244A1 (ru) * 1981-10-28 1984-03-15 Предприятие П/Я А-3987 Пьезоэлектрический вибратор
JPH01236808A (ja) 1988-03-17 1989-09-21 Matsushima Kogyo Co Ltd 捩水晶振動子
JP2625511B2 (ja) 1988-07-21 1997-07-02 株式会社クボタ 穀粒選別装置用穀粒分布検出装置
RU2020428C1 (ru) * 1991-10-09 1994-09-30 Ленинградский сельскохозяйственный институт Устройство для крепления вибропреобразователя
RU2044284C1 (ru) * 1992-04-14 1995-09-20 Александр Иванович Борновалов Пьезоэлектрический вибропреобразователь
WO2000044092A1 (en) 1999-01-20 2000-07-27 Seiko Epson Corporation Vibrator and electronic device with vibrator
JP2002141770A (ja) 2000-11-01 2002-05-17 Citizen Watch Co Ltd 小型振動子
US6587009B2 (en) * 2000-12-25 2003-07-01 Seiko Epson Corporation Vibrating piece, vibrator, oscillator, and electronic equipment
JP2002261575A (ja) 2000-12-25 2002-09-13 Seiko Epson Corp 振動片、振動子、発振器及び電子機器
JP2004260718A (ja) 2003-02-27 2004-09-16 Seiko Epson Corp 音叉型振動片及び音叉型振動片の製造方法並びに圧電デバイス
JP2004282230A (ja) 2003-03-13 2004-10-07 Seiko Epson Corp 圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイス、並びにこれを利用した携帯電話装置、電子機器
JP4049017B2 (ja) * 2003-05-16 2008-02-20 セイコーエプソン株式会社 圧電振動子
JP4356366B2 (ja) 2003-06-10 2009-11-04 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器
US8358052B2 (en) * 2003-06-30 2013-01-22 Piedek Technical Laboratory Unit having resonator, oscillator having unit and electronic apparatus having unit
JP3951058B2 (ja) * 2003-08-19 2007-08-01 セイコーエプソン株式会社 音叉型圧電振動片
JP4211578B2 (ja) * 2003-11-13 2009-01-21 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片とその製造方法、ならびに圧電デバイスおよび圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
JP2006166390A (ja) * 2004-02-05 2006-06-22 Seiko Epson Corp 圧電振動片、圧電振動子及び圧電発振器
US7138752B1 (en) * 2005-06-09 2006-11-21 Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse Small-sized piezoelectric resonator
DE602005005647T2 (de) * 2005-06-09 2009-04-16 Eta Sa Manufacture Horlogère Suisse Piezoelektrischer Resonator mit kleinen Abmessungen
WO2007026736A1 (ja) * 2005-08-31 2007-03-08 Nec Corporation 圧電アクチュエータ、音響素子、及び電子機器
DE602007004102D1 (de) 2007-07-19 2010-02-11 Eta Sa Mft Horlogere Suisse Piezoelektrischer Resonator mit optimierten Bewegungsfähigkeiten
US8164235B2 (en) * 2007-08-03 2012-04-24 Daishinku Corporation Piezoelectric resonator
JP4539708B2 (ja) * 2007-11-02 2010-09-08 エプソントヨコム株式会社 圧電振動片、圧電振動子および加速度センサ
JP5184142B2 (ja) * 2008-02-26 2013-04-17 セイコーインスツル株式会社 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法
JP5175128B2 (ja) * 2008-04-04 2013-04-03 日本電波工業株式会社 音叉型圧電振動片および圧電デバイス
CN201200971Y (zh) * 2008-05-16 2009-03-04 瑞声声学科技(常州)有限公司 压电振动器
JP4594412B2 (ja) * 2008-05-22 2010-12-08 日本電波工業株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP2009290778A (ja) * 2008-05-30 2009-12-10 Kyocera Kinseki Corp 音叉型圧電振動素子
JP2009296115A (ja) * 2008-06-03 2009-12-17 Daishinku Corp 音叉型圧電振動片、音叉型圧電振動デバイス、および音叉型圧電振動片の製造方法
JP5123080B2 (ja) * 2008-06-30 2013-01-16 京セラクリスタルデバイス株式会社 電子部品用の蓋体及び圧電振動子並びに圧電発振器
JP2010044005A (ja) * 2008-08-18 2010-02-25 Epson Toyocom Corp 圧電振動子、圧電デバイス
JP2010060361A (ja) * 2008-09-02 2010-03-18 Murata Mfg Co Ltd 音叉型振動子、音叉型振動子の製造方法および角速度センサ
JP4709260B2 (ja) * 2008-10-16 2011-06-22 日本電波工業株式会社 圧電振動片および圧電デバイス
JP5155275B2 (ja) * 2008-10-16 2013-03-06 日本電波工業株式会社 音叉型圧電振動片、圧電フレーム及び圧電デバイス
JP4885206B2 (ja) * 2008-12-22 2012-02-29 日本電波工業株式会社 音叉型圧電振動片および圧電デバイス
JP2010157933A (ja) 2008-12-27 2010-07-15 Epson Toyocom Corp 屈曲振動片及び電子部品
CN101567021A (zh) * 2009-04-09 2009-10-28 中国人民解放军国防科学技术大学 用于振动发电的矩形悬臂梁压电振子优化设计有限元方法

Also Published As

Publication number Publication date
TWI603581B (zh) 2017-10-21
CN102195606A (zh) 2011-09-21
BRPI1101193A2 (pt) 2014-02-25
KR20110104897A (ko) 2011-09-23
EP2372909A2 (en) 2011-10-05
CN103532512B (zh) 2017-04-12
EP2372909A3 (en) 2014-11-26
US8692632B2 (en) 2014-04-08
TW201143283A (en) 2011-12-01
US20110227672A1 (en) 2011-09-22
CN102195606B (zh) 2014-05-07
RU2470457C2 (ru) 2012-12-20
CN103532512A (zh) 2014-01-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2011110052A (ru) Вибратор, вибропреобразователь, генератор колебаний и электронное устройство
DE602007004102D1 (de) Piezoelektrischer Resonator mit optimierten Bewegungsfähigkeiten
JP2011019159A5 (ru)
EP2341619A3 (en) Resonator element, resonator, oscillator, electronic device, and frequency adjustment method
RU2010148332A (ru) Осесимметричный кориолисовый вибрационный гироскоп (варианты)
JP2014179803A5 (ru)
EP2485287A3 (en) Bistable piezoelectric generator
JP2014057236A5 (ru)
EP1898180A3 (en) Vibrators and vibratory gyroscopes
JP2011101340A5 (ru)
JP2011124976A5 (ja) 振動片、振動子、発振器、センサー及び電子機器
JP2015023434A5 (ru)
JP2014200051A5 (ru)
JP2012159494A5 (ru)
JP2015097367A5 (ru)
JP2015008352A5 (ru)
JP2011087279A5 (ru)
JP2012129679A5 (ja) 発振器
JP2012054946A5 (ru)
JP2011228980A5 (ru)
JP2015097366A5 (ru)
ATE553531T1 (de) Oszillator, sende-/empfangseinrichtung und frequenzsynthesizer
JP2015128269A5 (ru)
JP2014171149A5 (ru)
JP2015002548A5 (ru)

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20160317