RU2010385C1 - Электронно-лучевой прибор - Google Patents
Электронно-лучевой прибор Download PDFInfo
- Publication number
- RU2010385C1 RU2010385C1 SU4882044A RU2010385C1 RU 2010385 C1 RU2010385 C1 RU 2010385C1 SU 4882044 A SU4882044 A SU 4882044A RU 2010385 C1 RU2010385 C1 RU 2010385C1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- deflecting plates
- electron
- electron beam
- ebl
- cathode
- Prior art date
Links
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract 1
- 230000004304 visual acuity Effects 0.000 abstract 1
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 11
- 210000001783 ELP Anatomy 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- JJWKPURADFRFRB-UHFFFAOYSA-N carbonyl sulfide Chemical compound O=C=S JJWKPURADFRFRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Details Of Television Scanning (AREA)
Abstract
Использование: в электронной технике, в частности в осциллографических устройствах с высокой разрешающей способностью. Сущность изобретения: в электронно-лучевой трубке сигнальные отклоняющие пластины расположены непосредственно за электронной пушкой, фокусировка электронного пучка при этом осуществляется тремя квадрупольными линзами и линзой послеускорения со щелевой диафрагмой. 1 ил.
Description
Изобретение относится к электронно-лучевым приборам (ЭЛП) и может быть использовано в осциллографических устройствах, где необходима высокая разрешающая способность.
Известны ЭЛП, используемые в осциллографических устройствах, содержащие квадрупольные линзы (КЛ), причем две линзы используются для предварительной фокусировки электронного пучка и размещены перед сигнальными отклоняющими пластинами, а третья послеотклоняющая КЛ расположена между сигнальными и временными отклоняющими пластинами, при этом система послеускорения (ПУ) содержит сеточный электрод [1] .
Недостатком известных ЭЛП является то, что они содержат сеточный электрод, который приводит к ухудшению параметров ЭЛП и усложняет его производство.
Наиболее близким техническим решение к изобретению является ЭЛП с ПУ, содержащий последовательно расположенные по ходу электронного пучка электронную пушку, две КЛ системы предварительной фокусировки, сигнальные отклоняющие пластины, КЛ послеотклонения (ПО), временные отклоняющие пластины, вторую КЛ ПО и систему ПУ из двух электродов, первый электрод которой выполнен со щелью [2] .
Недостатками этого ЭЛП являются сложность электронно-оптический системы, состоящей из большого числа электродов, и соответственно сложность схемы питания, ведущая к усложнению всего осциллографического устройства, а также сравнительно невысокая разрешающая способность ЭЛП.
Целью изобретения является упрощение конструкции и улучшение разрешающей способности ЭЛП.
Цель достигается тем, что в ЭЛП, содержащем электронную пушку, КЛ и последовательно расположенные по ходу электронного пучка сигнальные отклоняющие пластины, вторую КЛ, временные отклоняющие пластины, третью КЛ и систему ПУ из двух электродов, в первом электроде которой выполнена щель, сигнальные пластины установлены непосредственно за электронной пушкой, а после них расположена первая КЛ.
Не известны ЭЛП со следующим расположением элементов электронно-оптической системы по ходу электронного пучка: электронная пушка, сигнальные отклоняющие пластины, две КЛ, временные отклоняющие пластины, третья КЛ и система ПУ со щелевым электродом. Поэтому предлагаемая конструкция соответствует признаку "существенные отличия".
На чертеже показана схема ЭЛП в плоскостях YZ и XZ.
ЭЛП содержит в вакуумной оболочке расположенные по ходу электронного пучка (луча) электронную пушку 1, сигнальные отклоняющие пластины 2, две КЛ 3 и 4, временные отклоняющие пластины 5, третью КЛ 6, первый электрод 7 системы ПУ со щелью 8 и второй электрод 9 ПУ.
ЭЛП работает следующим образом.
В плоскости YZ дублет КЛ 3 и 4 осуществляет фокусировку пучка в точке перед КЛ 6. Далее этот пучок фокусируется КЛ так, что лучи сходятся в точке на экране.
В плоскости ХZ фокусировка электронного пучка осуществляется также всеми КЛ электронно-оптической системы. Последняя представляет собой квадруплет КЛ. КЛ 3, 6 и электрод 7 обладают в этой плоскости рассеивающим действием.
В предлагаемой конструкции центр тяжести поля или эквивалентная линза - линза, заменяющая действие все линз электронно-оптической системы, расположена ближе к экрану, нежели в прототипе. Это приводит к тому, что коэффициент линейного увеличения М существенно уменьшается, что видно из формулы
M= , (1) где r и r - углы расхождения пучка у кроссовера и у экрана соответственно;
Uкр, Uэ - потенциалы в области кроссовера и в области экрана ЭЛП соответственно.
M= , (1) где r и r - углы расхождения пучка у кроссовера и у экрана соответственно;
Uкр, Uэ - потенциалы в области кроссовера и в области экрана ЭЛП соответственно.
Если r = r/W, а r = r/V, где W и V - расстояние линза - кроссовер и линза - экран соответственно, а r - радиус пучка в плоскости линзы, то формулу (1) можно переписать в виде
M= .
M= .
Отклоняющий луч в плоскости YZ проходит через КЛ 3 и 4, при этом отклоняется КЛ 3 к оси, а КЛ 4 от оси. КЛ 6 преломляет отклоненный луч к оси, и отклонение пятна на экране изменяет знак. То, что отклоненный луч в плоскости проходит собирающее поле, приводит к тому, что чувствительность по отклонению несколько снижается по сравнению с прототипом.
Отклоненный луч в плоскости XZ проходит рассеивающее поле КЛ 6 и электрод ПУ (7, 9). Чувствительность по отклонению здесь такая же, как и в прототипе.
Благодаря тому, что, как отмечено выше, линзы, осуществляющие фокусировку, расположены ближе к экрану, нежели в прототипе, здесь имеет место уменьшение линейного увеличения по сравнению с прототипом и, следовательно, уменьшение линейных размеров пятна на экране. Разрешающая способность ЭЛП, определяемая размером пятна, увеличивается. Вместе с тем по сравнению с прототипом предлагаемый ЭЛП содержит вместо четырех КЛ только три КЛ, что приводит к уменьшению числа электродов, электрических выводов, а следовательно, к упрощению предлагаемого ЭЛП. (56) 1. Шкунов В. А. , Семеник Г. И. Широкополосные осциллографические трубки и их применение М. : Энергия, 1976.
2. Патент Франции N 1455405, кл. Н 01 F 29/00, 1967.
Claims (1)
- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВОЙ ПРИБОР , содеpжащий последовательно pасположенные по ходу электpонного пучка электpонную пушку, сигнальные отклоняющие пластины, квадpупольную линзу, вpеменные отклоняющие пластины, втоpую квадpупольную линзу и систему послеускоpения из двух электpодов, пеpвый из котоpых выполнен со щелью, отличающийся тем, что, с целью упpощения констpукции и улучшения pазpешающей способности, сигнальные отклоняющие пластины установлены непосpедственно после электpонной пушки, а квадpупольная линза выполнена в виде дублета.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4882044 RU2010385C1 (ru) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | Электронно-лучевой прибор |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU4882044 RU2010385C1 (ru) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | Электронно-лучевой прибор |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2010385C1 true RU2010385C1 (ru) | 1994-03-30 |
Family
ID=21544992
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU4882044 RU2010385C1 (ru) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | Электронно-лучевой прибор |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2010385C1 (ru) |
-
1990
- 1990-11-16 RU SU4882044 patent/RU2010385C1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0470299B1 (en) | Energy filter for charged particle beam apparatus | |
| US4002912A (en) | Electrostatic lens to focus an ion beam to uniform density | |
| SU1407409A3 (ru) | Прибор дл микроанализа образца твердого тела | |
| US4779046A (en) | Electron beam integrated circuit tester | |
| JPS6229049A (ja) | 質量分析計 | |
| JP2632808B2 (ja) | 定量的電位測定用スペクトロメーター対物レンズ装置 | |
| CA1105542A (en) | Box-shaped scan expansion lens for cathode ray tube | |
| US3391295A (en) | Electron system for convergence of electrons from photocathode having curvature in asingle plane | |
| RU2010385C1 (ru) | Электронно-лучевой прибор | |
| JP2870910B2 (ja) | 可変分散質量分析計 | |
| US4958078A (en) | Large aperture ion-optical lens system | |
| US5118939A (en) | Simultaneous detection type mass spectrometer | |
| EP0699341B1 (en) | Particle-optical instrument comprising a deflection unit for secondary electrons | |
| US4543508A (en) | Cathode ray tube with an electron lens for deflection amplification | |
| US2585798A (en) | Beam deflection tube amplifier | |
| US2213176A (en) | Television transmitting tube | |
| US2320582A (en) | Cathode ray tube | |
| SU1014066A1 (ru) | Электронно-лучева трубка с послеускорением и усилением отклонени | |
| CA1194081A (en) | Cathode ray tube | |
| US4752715A (en) | Television camera tube | |
| SU1018173A1 (ru) | Электронно-лучева трубка | |
| EP0438139A2 (en) | Color cathode ray tube | |
| US3845346A (en) | Cathode-ray tube | |
| SU1732392A1 (ru) | Электронно-лучевой прибор | |
| US3870002A (en) | Television camera tube with three electrode focusing lens |