[go: up one dir, main page]

RU2008146981A - Ультразвуковой датчик - Google Patents

Ультразвуковой датчик Download PDF

Info

Publication number
RU2008146981A
RU2008146981A RU2008146981/14A RU2008146981A RU2008146981A RU 2008146981 A RU2008146981 A RU 2008146981A RU 2008146981/14 A RU2008146981/14 A RU 2008146981/14A RU 2008146981 A RU2008146981 A RU 2008146981A RU 2008146981 A RU2008146981 A RU 2008146981A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
piezoelectric element
acoustically matching
matching layer
grooves
ultrasonic sensor
Prior art date
Application number
RU2008146981/14A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2423076C2 (ru
Inventor
Коэцу САИТО (JP)
Коэцу САИТО
Original Assignee
Панасоник Корпорейшн (Jp)
Панасоник Корпорейшн
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Панасоник Корпорейшн (Jp), Панасоник Корпорейшн filed Critical Панасоник Корпорейшн (Jp)
Publication of RU2008146981A publication Critical patent/RU2008146981A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2423076C2 publication Critical patent/RU2423076C2/ru

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/24—Probes
    • G01N29/2437—Piezoelectric probes
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
    • A61B8/00—Diagnosis using ultrasonic, sonic or infrasonic waves
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
    • B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
    • B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
    • B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
    • B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
    • B06B1/0607—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements
    • B06B1/0622—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using multiple elements on one surface
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
    • G01N29/22—Details, e.g. general constructional or apparatus details
    • G01N29/28—Details, e.g. general constructional or apparatus details providing acoustic coupling, e.g. water
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S15/00—Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
    • G01S15/88—Sonar systems specially adapted for specific applications
    • G01S15/89—Sonar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
    • G01S15/8906—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques
    • G01S15/8909—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques using a static transducer configuration
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Radiology & Medical Imaging (AREA)
  • Surgery (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Heart & Thoracic Surgery (AREA)
  • Medical Informatics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Animal Behavior & Ethology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Veterinary Medicine (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

1. Ультразвуковой датчик, содержащий: ! пьезоэлектрический элемент, множество которых размещено в виде решетки в предварительно заданном направлении, с электродами, обеспеченными на обеих поверхностях, которые передают и принимают ультразвуковую волну; ! по меньшей мере, два акустически согласующих слоя, обеспеченных на одной поверхности пьезоэлектрического элемента; ! множество первых канавок, которые обеспечены в пьезоэлектрическом элементе и, по меньшей мере, первом акустически согласующем слое на пьезоэлектрическом элементе из, по меньшей мере, двух акустически согласующих слоев и делят, по меньшей мере, пьезоэлектрический элемент в продольном направлении, ортогональном направлению решетки пьезоэлектрического элемента; ! сигнальный проводник, обеспеченный на поверхности с противоположной стороны от указанной одной поверхности пьезоэлектрического элемента; и ! множество вторых канавок, которые разделяют, по меньшей мере, первый акустически согласующий слой из, по меньшей мере, двух акустически согласующих слоев, пьезоэлектрический элемент и сигнальный проводник в направлении решетки пьезоэлектрического элемента, ! при этом акустически согласующий слой, пьезоэлектрический элемент и сигнальный проводник имеют криволинейную форму поверхности в продольном направлении пьезоэлектрического элемента. ! 2. Ультразвуковой датчик, содержащий: ! пьезоэлектрический элемент, множество которых размещено в виде решетки в предварительно заданном направлении, с электродами, обеспеченными на обеих поверхностях, которые передают и принимают ультразвуковую волну; ! по меньшей мере, два акустически согласую

Claims (18)

1. Ультразвуковой датчик, содержащий:
пьезоэлектрический элемент, множество которых размещено в виде решетки в предварительно заданном направлении, с электродами, обеспеченными на обеих поверхностях, которые передают и принимают ультразвуковую волну;
по меньшей мере, два акустически согласующих слоя, обеспеченных на одной поверхности пьезоэлектрического элемента;
множество первых канавок, которые обеспечены в пьезоэлектрическом элементе и, по меньшей мере, первом акустически согласующем слое на пьезоэлектрическом элементе из, по меньшей мере, двух акустически согласующих слоев и делят, по меньшей мере, пьезоэлектрический элемент в продольном направлении, ортогональном направлению решетки пьезоэлектрического элемента;
сигнальный проводник, обеспеченный на поверхности с противоположной стороны от указанной одной поверхности пьезоэлектрического элемента; и
множество вторых канавок, которые разделяют, по меньшей мере, первый акустически согласующий слой из, по меньшей мере, двух акустически согласующих слоев, пьезоэлектрический элемент и сигнальный проводник в направлении решетки пьезоэлектрического элемента,
при этом акустически согласующий слой, пьезоэлектрический элемент и сигнальный проводник имеют криволинейную форму поверхности в продольном направлении пьезоэлектрического элемента.
2. Ультразвуковой датчик, содержащий:
пьезоэлектрический элемент, множество которых размещено в виде решетки в предварительно заданном направлении, с электродами, обеспеченными на обеих поверхностях, которые передают и принимают ультразвуковую волну;
по меньшей мере, два акустически согласующих слоя, обеспеченных на одной поверхности пьезоэлектрического элемента;
множество первых канавок, которые обеспечены в пьезоэлектрическом элементе и, по меньшей мере, первом акустически согласующем слое на пьезоэлектрическом элементе из, по меньшей мере, двух акустически согласующих слоев со стороны, противоположной стороне акустически согласующего слоя, и делят, по меньшей мере, пьезоэлектрический элемент в продольном направлении, ортогональном направлению решетки пьезоэлектрического элемента;
сигнальный проводник, обеспеченный на поверхности с противоположной стороны от указанной одной поверхности пьезоэлектрического элемента;
материал-подложку задней поверхности, который служит опорой для акустически согласующего слоя, пьезоэлектрического элемента и сигнального проводника; и
множество вторых канавок, которые разделяют, по меньшей мере, первый акустически согласующий слой из, по меньшей мере, двух акустически согласующих слоев, пьезоэлектрический элемент и сигнальный проводник в направлении решетки пьезоэлектрического элемента,
при этом акустически согласующий слой, пьезоэлектрический элемент и сигнальный проводник имеют криволинейную форму поверхности в продольном направлении пьезоэлектрического элемента.
3. Ультразвуковой датчик, содержащий:
пьезоэлектрический элемент, множество которых размещено в виде решетки в предварительно заданном направлении, с электродами, обеспеченными на обеих поверхностях, которые передают и принимают ультразвуковую волну;
первый акустически согласующий слой, обеспеченный на одной поверхности пьезоэлектрического элемента;
заземляющий проводник, обеспеченный на первом акустически согласующем слое;
второй акустически согласующий слой, обеспеченный на заземляющем проводнике;
множество первых канавок, которые обеспечены в пьезоэлектрическом элементе и, по меньшей мере, первом акустически согласующем слое и делят, по меньшей мере, пьезоэлектрический элемент в продольном направлении, ортогональном направлению решетки пьезоэлектрического элемента;
сигнальный проводник, обеспеченный на поверхности с противоположной стороны от указанной одной поверхности пьезоэлектрического элемента;
материал-подложку задней поверхности, который служит опорой для двух акустически согласующих слоев, заземляющего проводника, пьезоэлектрического элемента и сигнального проводника; и
множество вторых канавок, которые разделяют, по меньшей мере, первый акустически согласующий слой из двух акустически согласующих слоев, заземляющий проводник, пьезоэлектрический элемент и сигнальный проводник в направлении решетки пьезоэлектрического элемента,
при этом два акустически согласующих слоя, заземляющий проводник, пьезоэлектрический элемент и сигнальный проводник имеют криволинейную форму поверхности в продольном направлении пьезоэлектрического элемента.
4. Ультразвуковой датчик, содержащий:
пьезоэлектрический элемент, множество которых размещено в виде решетки в предварительно заданном направлении, с электродами, обеспеченными на обеих поверхностях, которые передают и принимают ультразвуковую волну;
первый акустически согласующий слой, обеспеченный на одной поверхности пьезоэлектрического элемента;
заземляющий проводник, обеспеченный на первом акустически согласующем слое;
второй акустически согласующий слой, обеспеченный на заземляющем проводнике;
третий акустически согласующий слой, обеспеченный на втором акустически согласующем слое;
множество первых канавок, которые обеспечены в пьезоэлектрическом элементе и, по меньшей мере, первом акустически согласующем слое и делят, по меньшей мере, пьезоэлектрический элемент в продольном направлении, ортогональном направлению решетки пьезоэлектрического элемента;
сигнальный проводник, обеспеченный на поверхности с противоположной стороны от указанной одной поверхности пьезоэлектрического элемента;
материал-подложку задней поверхности, который служит опорой для трех акустически согласующих слоев, заземляющего проводника, пьезоэлектрического элемента и сигнального проводника; и
множество вторых канавок, которые разделяют, по меньшей мере, первый акустически согласующий слой из трех акустически согласующих слоев, заземляющий проводник, пьезоэлектрический элемент и сигнальный проводник в направлении решетки пьезоэлектрического элемента,
при этом три акустически согласующих слоя, заземляющий проводник, пьезоэлектрический элемент и сигнальный проводник имеют криволинейную форму поверхности в продольном направлении пьезоэлектрического элемента.
5. Ультразвуковой датчик по любому из пп.1-4, в котором первые канавки обеспечены в первом акустически согласующем слое таким образом, что пересекают только поверхность на стороне пьезоэлектрического элемента.
6. Ультразвуковой датчик по любому из пп.1-4, в котором первые канавки обеспечены в первом акустически согласующем слое таким образом, что пересекают как поверхность на стороне пьезоэлектрического элемента, так и поверхность со стороны, противоположной стороне пьезоэлектрического элемента.
7. Ультразвуковой датчик по любому из пп.1-4, дополнительно содержащий материал-подложку задней поверхности, который служит опорой для акустически согласующего слоя, пьезоэлектрического элемента и сигнального проводника,
при этом поверхность материала-подложки задней поверхности со стороны пьезоэлектрического элемента имеет криволинейную форму поверхности в продольном направлении пьезоэлектрического элемента.
8. Ультразвуковой датчик по любому из пп.1-4, в котором пьезоэлектрический элемент и акустически согласующий слой, на которых обеспечены первые канавки, имеют переменную толщину в продольном направлении, ортогональном направлению решетки пьезоэлектрического элемента.
9. Ультразвуковой датчик по любому из пп.1-4, в котором расстояние между первыми канавками и расстояние между вторыми канавками равны между собой.
10. Ультразвуковой датчик по любому из пп.1-4, в котором первые канавки и вторые канавки наполнены разными материалами.
11. Ультразвуковой датчик по п.10, в котором материал, наполняющий первые канавки, является более твердым, чем материал, наполняющий вторые канавки.
12. Ультразвуковой датчик по п.10, в котором материал, наполняющий первые канавки является эпоксидной смолой или полиуретановой смолой.
13. Ультразвуковой датчик по п.10, в котором материал, наполняющий вторые канавки является силиконовым каучуком.
14. Ультразвуковой датчик по любому из пп.1-4, в котором акустически согласующий слой, пьезоэлектрический элемент и сигнальный проводник имеют вогнутую криволинейную форму поверхности в продольном направлении пьезоэлектрического элемента.
15. Ультразвуковой датчик по любому из пп.1-4, в котором первый акустически согласующий слой является проводником или частично проводником.
16. Ультразвуковой датчик по любому из пп.1-4, в котором акустически согласующие слои, кроме первого акустически согласующего слоя, сформированы из материала, обладающего гибкостью, допускающей согласование с криволинейной формой поверхности.
17. Ультразвуковой датчик по любому из пп.1-4, в котором материал, по меньшей мере, акустически согласующего слоя, расположенного выше всех акустически согласующих слоев, является каучуковым упругим монолитным материалом, характеризуемым величиной скорости звука не более 1650 м/с.
18. Ультразвуковой датчик по п.4, в котором материал третьего акустически согласующего слоя является каучуковым упругим монолитным материалом, характеризуемым величиной скорости звука не более 1650 м/с.
RU2008146981/14A 2006-04-28 2007-04-27 Ультразвуковой датчик RU2423076C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006125536 2006-04-28
JP2006-125536 2006-04-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2008146981A true RU2008146981A (ru) 2010-06-10
RU2423076C2 RU2423076C2 (ru) 2011-07-10

Family

ID=38655590

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008146981/14A RU2423076C2 (ru) 2006-04-28 2007-04-27 Ультразвуковой датчик

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8562534B2 (ru)
EP (1) EP2014236A4 (ru)
JP (1) JP4990272B2 (ru)
KR (1) KR101012558B1 (ru)
CN (1) CN101431941B (ru)
RU (1) RU2423076C2 (ru)
WO (1) WO2007126069A1 (ru)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5620345B2 (ja) * 2010-06-23 2014-11-05 株式会社東芝 超音波トランスデューサとその製造方法
US9530955B2 (en) * 2011-11-18 2016-12-27 Acist Medical Systems, Inc. Ultrasound transducer and processing methods thereof
JP6091755B2 (ja) 2012-01-24 2017-03-08 東芝メディカルシステムズ株式会社 超音波プローブおよび超音波診断装置
KR101386101B1 (ko) * 2012-03-07 2014-04-16 삼성메디슨 주식회사 초음파 흡음 소자, 이를 포함하는 트랜스듀서 및 초음파 프로브
JP6359280B2 (ja) * 2013-02-28 2018-07-18 キヤノンメディカルシステムズ株式会社 医用音響カプラ
JP6102622B2 (ja) * 2013-08-07 2017-03-29 コニカミノルタ株式会社 超音波探触子
US9808830B2 (en) * 2013-12-27 2017-11-07 General Electric Company Ultrasound transducer and ultrasound imaging system with a variable thickness dematching layer
US9452447B2 (en) * 2013-12-27 2016-09-27 General Electric Company Ultrasound transducer and ultrasound imaging system with a variable thickness dematching layer
US9536511B2 (en) 2013-12-31 2017-01-03 Acist Medical Systems, Inc. Ultrasound transducer stack
CN104586430B (zh) * 2015-01-19 2017-01-11 深圳市理邦精密仪器股份有限公司 超声探头及其制造方法
US20180360423A1 (en) * 2015-06-30 2018-12-20 Koninklijke Philips N.V. Intravascular ultrasound device with impedance matching structure
WO2017031679A1 (zh) * 2015-08-25 2017-03-02 深圳迈瑞生物医疗电子股份有限公司 超声换能器
JP6617504B2 (ja) * 2015-10-02 2019-12-11 セイコーエプソン株式会社 圧電素子、プローブ及び超音波測定装置
WO2018016128A1 (ja) * 2016-07-19 2018-01-25 オリンパス株式会社 超音波プローブ
JP6663031B2 (ja) 2016-10-13 2020-03-11 富士フイルム株式会社 超音波探触子および超音波探触子の製造方法
KR20180056979A (ko) * 2016-11-21 2018-05-30 서강대학교산학협력단 비적층형 FPCB(Non-stackable FPCB)를 이용한 이중곡면 형태 초음파 변환자와 그 제조방법
RU2662535C1 (ru) * 2017-01-31 2018-07-26 Акционерное общество "Научно-исследовательский институт конструкционных материалов на основе графита "НИИграфит" Способ получения гибридного материала на основе прозрачной проводящей графеновой пленки
CN109427956B (zh) * 2017-08-25 2022-11-25 香港理工大学深圳研究院 用于超声探头的压电块体和超声阵列探头及其制备方法
JP7070138B2 (ja) * 2018-06-21 2022-05-18 コニカミノルタ株式会社 超音波探触子および超音波診断装置
CN109530196B (zh) * 2018-11-28 2023-10-27 深圳先进技术研究院 换能器组件及其制备方法
JP7224016B2 (ja) * 2018-12-06 2023-02-17 国立大学法人東北大学 血管径センサおよび血管径測定装置
KR102176668B1 (ko) * 2018-12-28 2020-11-09 한국과학기술원 초음파 탐촉자
CN110680390A (zh) * 2019-10-25 2020-01-14 飞依诺科技(苏州)有限公司 超声换能器及超声换能器的制备方法
KR20210105023A (ko) * 2020-02-18 2021-08-26 삼성메디슨 주식회사 초음파 프로브 및 그 제조방법
JP7420632B2 (ja) * 2020-04-16 2024-01-23 株式会社日立パワーソリューションズ 超音波検査装置及び超音波検査方法
CN113509199B (zh) * 2021-03-29 2023-08-29 聚融医疗科技(杭州)有限公司 一种在使用过程中曲率可调探头及其制备方法
CN116511011B (zh) * 2022-01-20 2025-09-12 苏州佳世达电通有限公司 波形改善方法及超音波换能器
CN117589883A (zh) * 2023-10-31 2024-02-23 东南大学 一种基于柔性薄膜的拉吊索损伤监测内置声发射传感器
KR102837000B1 (ko) * 2024-07-17 2025-07-23 디지탈에코 주식회사 초음파 변환기

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6086999A (ja) * 1983-10-19 1985-05-16 Hitachi Ltd 超音波探触子の製造方法
DE3501808A1 (de) * 1985-01-21 1986-07-24 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Ultraschallwandler
US5327895A (en) 1991-07-10 1994-07-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasonic probe and ultrasonic diagnosing system using ultrasonic probe
JPH05228142A (ja) 1991-07-10 1993-09-07 Toshiba Corp 超音波探触子及び超音波診断装置
US5423220A (en) 1993-01-29 1995-06-13 Parallel Design Ultrasonic transducer array and manufacturing method thereof
RU2070840C1 (ru) * 1993-08-03 1996-12-27 МНПП "Анна-Мария" Ультразвуковой преобразователь
US5415175A (en) * 1993-09-07 1995-05-16 Acuson Corporation Broadband phased array transducer design with frequency controlled two dimension capability and methods for manufacture thereof
AU688334B2 (en) * 1993-09-07 1998-03-12 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. Broadband phased array transducer design with frequency controlled two dimension capability and methods for manufacture thereof
US5743855A (en) 1995-03-03 1998-04-28 Acuson Corporation Broadband phased array transducer design with frequency controlled two dimension capability and methods for manufacture thereof
JP3398214B2 (ja) * 1994-05-11 2003-04-21 ジーイー横河メディカルシステム株式会社 コンベックス型の超音波探触子の製造方法
JP3420866B2 (ja) * 1995-09-13 2003-06-30 株式会社東芝 超音波プローブ
US6020675A (en) 1995-09-13 2000-02-01 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasonic probe
US5671746A (en) * 1996-07-29 1997-09-30 Acuson Corporation Elevation steerable ultrasound transducer array
JP3235979B2 (ja) * 1997-10-17 2001-12-04 松下電器産業株式会社 超音波探触子の製造方法
US6057632A (en) * 1998-06-09 2000-05-02 Acuson Corporation Frequency and bandwidth controlled ultrasound transducer
JP3455431B2 (ja) 1998-06-30 2003-10-14 株式会社東芝 超音波プローブ
JP4936597B2 (ja) * 2000-02-07 2012-05-23 株式会社東芝 超音波プローブ及び超音波プローブ製造方法
US7288069B2 (en) * 2000-02-07 2007-10-30 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasonic probe and method of manufacturing the same
CA2332158C (en) * 2000-03-07 2004-09-14 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Ultrasonic probe
US6558323B2 (en) * 2000-11-29 2003-05-06 Olympus Optical Co., Ltd. Ultrasound transducer array
US6571444B2 (en) * 2001-03-20 2003-06-03 Vermon Method of manufacturing an ultrasonic transducer
JP2003092796A (ja) * 2001-09-18 2003-03-28 Ueda Japan Radio Co Ltd 湾曲面を有する超音波振動子
JP3857170B2 (ja) * 2002-03-29 2006-12-13 日本電波工業株式会社 超音波探触子
US7348712B2 (en) * 2004-04-16 2008-03-25 Kabushiki Kaisha Toshiba Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus
DE602005002405T2 (de) * 2004-07-06 2008-06-12 Fujinon Corporation Ultraschall-Endoskop
JP2006125536A (ja) 2004-10-29 2006-05-18 Ntn Corp 回転速度検出装置付車輪用軸受装置
RU48824U1 (ru) * 2005-01-25 2005-11-10 Федеральное государственное унитарное предприятие "Центральный научно-исследовательский институт "Морфизприбор" Ультразвуковой пьезокерамический преобразователь
US8454518B2 (en) * 2006-01-31 2013-06-04 Panasonic Corporation Ultrasonic probe
JP5228142B1 (ja) 2012-11-26 2013-07-03 ミズ株式会社 生体用高濃度水素ガス供給装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20090009836A (ko) 2009-01-23
JPWO2007126069A1 (ja) 2009-09-10
WO2007126069A1 (ja) 2007-11-08
RU2423076C2 (ru) 2011-07-10
CN101431941B (zh) 2011-05-18
US20090069691A1 (en) 2009-03-12
KR101012558B1 (ko) 2011-02-07
EP2014236A1 (en) 2009-01-14
JP4990272B2 (ja) 2012-08-01
US8562534B2 (en) 2013-10-22
CN101431941A (zh) 2009-05-13
EP2014236A4 (en) 2016-05-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2008146981A (ru) Ультразвуковой датчик
WO2015088708A3 (en) Flexible micromachined transducer device and method for fabricating same
CN106573274B (zh) 多胞元换能器
WO2008015521A3 (en) Ultrasound transducer array with non-uniform elements
WO2009112969A3 (en) Patterned ultrasonic transducers
WO2008083876A3 (en) Bidimensional ultrasonic array for volumetric imaging
WO2013148515A3 (en) Ultrasound acoustic assemblies and methods of manufacture
RU2008135361A (ru) Ультразвуковой зонд
EP1602331A4 (en) ULTRASOUND PROBE
JP2017029270A5 (ja) 超音波デバイス及び超音波モジュール
JP2012024564A5 (ru)
WO2012087678A3 (en) Acoustic transducer chip
JP4787630B2 (ja) 超音波探触子
WO2008042234A3 (en) Acoustic transducer array element having a plurality of acoustically coupled transducer assemblies
AU2023226679A1 (en) Waterborne sound transducer
JP2012114713A (ja) 超音波プローブ
CN112495744B (zh) 一种八波束宽带相控阵换能器及其制备方法
JP2018525954A5 (ru)
JP2005312583A (ja) 音響レンズ及びこれを用いた超音波探触子
JP2000088822A5 (ru)
JP2001258088A5 (ru)
Mańka et al. Elastic interdigital transducers for lamb wave generations
JPH04293398A (ja) 電気音響変換器
TW202424428A (zh) 超音波探測裝置
RU2005118134A (ru) Электростатический акустический преобразователь

Legal Events

Date Code Title Description
PC41 Official registration of the transfer of exclusive right

Effective date: 20140423

MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20150428