Claims (12)
1. Способ получения катодной обкладки оксидно-полупроводникового конденсатора, заключающийся в нанесении многослойного покрытия из двуокиси марганца на оксидированные объемно-пористые аноды, которое предусматривает пропитку анодов в 20%-ном водном растворе азотнокислого марганца, 50- и 62%-ных водных растворах смеси азотнокислого и уксуснокислого марганца и последующее пиролитическое разложение соединений марганца в термостате с вентилятором, когда после нанесения каждого слоя державки с анодами в термостате меняют местами, а через каждые два слоя производят подформовку анодов, отличающийся тем, что при пиролитическом разложении применяют добавки водяного пара и водного раствора аммиака.1. A method of producing a cathode plate of an oxide semiconductor capacitor, which consists in applying a multilayer coating of manganese dioxide to oxidized volume-porous anodes, which involves impregnating the anodes in a 20% aqueous solution of manganese nitrate, 50- and 62% aqueous solutions of the mixture manganese nitrate and acetic acid and the subsequent pyrolytic decomposition of manganese compounds in a thermostat with a fan, when after applying each layer the holders with anodes in the thermostat are interchanged, and after each The first two layers podformovku produce anodes, characterized in that the pyrolytic decomposition of additives used steam and aqueous ammonia.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что многослойное покрытие из двуокиси марганца имеет двенадцать или шесть пар слоев.2. The method according to claim 1, characterized in that the multilayer coating of manganese dioxide has twelve or six pairs of layers.
3. Способ по п.2, отличающийся тем, что пиролитическое разложение при получении четвертой - пятой пар слоев двуокиси марганца производится в два последовательных этапа: 1) с добавками водяного пара и 10-15%-ного водного раствора аммиака; 2) в отсутствии водяного пара, когда имеется только среда водного раствора аммиака.3. The method according to claim 2, characterized in that the pyrolytic decomposition upon receipt of the fourth to fifth pairs of layers of manganese dioxide is carried out in two successive stages: 1) with the addition of water vapor and 10-15% aqueous ammonia solution; 2) in the absence of water vapor, when there is only the medium of an aqueous solution of ammonia.
4. Способ по п.3, отличающийся тем, что водяной пар имеет температуру 120-180°С и давление 0,1-0,6±0,02-0,03 кг/см3.4. The method according to claim 3, characterized in that the water vapor has a temperature of 120-180 ° C and a pressure of 0.1-0.6 ± 0.02-0.03 kg / cm 3 .
5. Способ по п.3, отличающийся тем, что водный раствор аммиака имеет плотность 0,9396-0,9575 г/см3 и добавляется в количестве 5-8 мл.5. The method according to claim 3, characterized in that the aqueous ammonia solution has a density of 0.9396-0.9575 g / cm 3 and is added in an amount of 5-8 ml.
6. Способ по п.3, отличающийся тем, что для получения именно первой пары слоев двуокиси марганца пропитку анодов производят в 20%-ном водном растворе азотнокислого марганца.6. The method according to claim 3, characterized in that in order to obtain exactly the first pair of layers of manganese dioxide, the anodes are impregnated in a 20% aqueous solution of manganese nitrate.
7. Способ по п.6, отличающийся тем, что 20%-ный водный раствор азотнокислого марганца имеет плотность 1,14-1,18 г/см3.7. The method according to claim 6, characterized in that the 20% aqueous solution of manganese nitrate has a density of 1.14-1.18 g / cm 3 .
8. Способ по п.7, отличающийся тем, что для получения именно второй пары слоев двуокиси марганца пропитку анодов производят в 50%-ном водном растворе смеси азотнокислого и уксуснокислого марганца.8. The method according to claim 7, characterized in that to obtain just the second pair of layers of manganese dioxide, the anodes are impregnated in a 50% aqueous solution of a mixture of manganese nitrate and acetic acid.
9. Способ по п.8, отличающийся тем, что 50%-ный водный раствор смеси азотнокислого и уксуснокислого марганца имеет плотность 1,47-1,49 г/см3.9. The method according to claim 8, characterized in that a 50% aqueous solution of a mixture of manganese nitrate and acetic acid has a density of 1.47-1.49 g / cm 3 .
10. Способ по п.7, отличающийся тем, что пропитку анодов для получения именно третьей - пятой пар и шестой, завершающей, пары слоев двуокиси марганца производят в 62%-ном водном растворе смеси азотнокислого и уксуснокислого марганца.10. The method according to claim 7, characterized in that the anodes are impregnated to obtain the third to fifth pairs and the sixth, final, pairs of layers of manganese dioxide are produced in a 62% aqueous solution of a mixture of manganese nitrate and acetic acid.
11. Способ по п.10, отличающийся тем, что 62%-ный водный раствор смеси азотнокислого и уксуснокислого марганца, применяющийся для пропитки при нанесении третьей и шестой пар слоев, имеет плотность 1,69-1,71 г/см3.11. The method according to claim 10, characterized in that the 62% aqueous solution of a mixture of manganese nitrate and acetic acid, used for impregnation when applying the third and sixth pairs of layers, has a density of 1.69-1.71 g / cm 3 .
12. Способ по п.10, отличающийся тем, что 62%-ный водный раствор смеси азотнокислого и уксуснокислого марганца, применяющийся для пропитки при нанесении четвертой и пятой пар слоев, имеет плотность 1,69-1,74 г/см3.12. The method according to claim 10, characterized in that the 62% aqueous solution of a mixture of manganese nitrate and acetic acid, used for impregnation when applying the fourth and fifth pairs of layers, has a density of 1.69-1.74 g / cm 3 .