RU2004106036A - Магнетронное распылительное устройство - Google Patents
Магнетронное распылительное устройство Download PDFInfo
- Publication number
- RU2004106036A RU2004106036A RU2004106036/02A RU2004106036A RU2004106036A RU 2004106036 A RU2004106036 A RU 2004106036A RU 2004106036/02 A RU2004106036/02 A RU 2004106036/02A RU 2004106036 A RU2004106036 A RU 2004106036A RU 2004106036 A RU2004106036 A RU 2004106036A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- target cathode
- magnetic circuit
- pairs
- bar
- narrow strip
- Prior art date
Links
- 238000005507 spraying Methods 0.000 title 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Claims (7)
1. Магнетронное распылительное устройство, содержащее магнитный блок, выполненный из двух пар параллельных сторон, образующих прямоугольную полость, и плоский катод-мишень, расположенный по внутренней поверхности обеих пар сторон, отличающееся тем, что магнитный блок, состоящий из постоянных магнитов и магнитопровода, имеет форму протяженной рамы, в которой длина одной пары параллельных сторон, являющейся рабочей, существенно больше длины второй пары параллельных сторон.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что магнитопровод выполнен из двух пар брусков типа швеллер, коротких и длинных, соединяемых в одну протяженную раму, при этом открытая сторона бруска обращена во внутрь рамы, боковые стороны бруска выполнены в виде пластин из магнитомягкой стали, имеющих вдоль одной грани выступы, образующие полюсные наконечники, обращенные навстречу друг другу, а спинку бруска образуют постоянные магниты.
3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что катод-мишень закреплен между полюсными наконечниками магнитопровода.
4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что катод-мишень выполнен в виде узкой полосы.
5. Устройство по п.4, отличающееся тем, что катод-мишень, выполненный в виде узкой полосы, состоит из множества отдельных брусков.
6. Устройство по п.4, отличающееся тем, что катод-мишень, выполненный в виде узкой полосы распыляемого материала, напаян или наклеен на прямоугольный медный волновод, охлаждаемый водой.
7. Устройство по любому из пп.1-6, отличающееся тем, что оно содержит систему охлаждения, выполненную в виде отдельных трубопроводов, расположенных в пазах полюсных наконечников, и соединительных элементов замыкающих поток охлаждающей жидкости и обеспечивающих возможность рассоединения магнитопровода и уплотнения трубопроводов.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2004106036/02A RU2280097C2 (ru) | 2004-03-01 | 2004-03-01 | Магнетронное распылительное устройство |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2004106036/02A RU2280097C2 (ru) | 2004-03-01 | 2004-03-01 | Магнетронное распылительное устройство |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2004106036A true RU2004106036A (ru) | 2005-08-27 |
| RU2280097C2 RU2280097C2 (ru) | 2006-07-20 |
Family
ID=35846534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2004106036/02A RU2280097C2 (ru) | 2004-03-01 | 2004-03-01 | Магнетронное распылительное устройство |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU2280097C2 (ru) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2331498C2 (ru) * | 2005-11-15 | 2008-08-20 | Открытое акционерное общество "Ракетно-космическая корпорация "Энергия" им. С.П. Королева" | Способ изготовления рабочего элемента горелок со сквозной пористостью |
| RU172572U1 (ru) * | 2016-10-31 | 2017-07-13 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Белгородский государственный технологический университет им. В.Г. Шухова" | Устройство для получения многокомпонентных многослойных покрытий |
| RU203823U1 (ru) * | 2020-12-25 | 2021-04-22 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина) | Магнетронное распылительное устройство для синтезирования неоднородной пленки на поверхности подложки |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5277779A (en) * | 1992-04-14 | 1994-01-11 | Henshaw William F | Rectangular cavity magnetron sputtering vapor source |
| RU2074904C1 (ru) * | 1992-11-23 | 1997-03-10 | Евгений Николаевич Ивашов | Катодный узел для ионно-плазменного нанесения тонких пленок в вакууме |
| RU2089659C1 (ru) * | 1993-04-12 | 1997-09-10 | Московский государственный институт электроники и математики (технический университет) | Устройство катодного узла для нанесения пленок в вакууме |
| RU2072642C1 (ru) * | 1994-06-07 | 1997-01-27 | Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет | Вакуумно-дуговой источник плазмы |
| RU2107971C1 (ru) * | 1996-07-09 | 1998-03-27 | Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете | Магнетронная распылительная система |
| JP2000182877A (ja) * | 1998-12-14 | 2000-06-30 | Shin Etsu Chem Co Ltd | スパッタ用磁気回路 |
-
2004
- 2004-03-01 RU RU2004106036/02A patent/RU2280097C2/ru not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2280097C2 (ru) | 2006-07-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2006107107A (ru) | Отсек для хранения | |
| PL368449A1 (pl) | System ablacji prądem o częstotliwości radiowej, wykorzystujący wiele elektrod | |
| MY138190A (en) | An atmospheric pressure plasma assembly | |
| RU2004106036A (ru) | Магнетронное распылительное устройство | |
| DE60317059D1 (de) | Gekühlter leistungsschalter | |
| DE60030084D1 (de) | Elektrischer Lastschalterpol mit breiter Lichtbogenlöschkammer | |
| ATE258994T1 (de) | Metallurgischer ofen mit kupferkühlplatten | |
| AU2003291539A8 (en) | Permanent magnet alloy with improved high temperature performance | |
| ATE489714T1 (de) | Elektromagnetische antriebsvorrichtung | |
| ITMI20000231A0 (it) | Apparecchio frigorifero con griglia refrigerante provvista di piastreeutettiche | |
| DE60218928D1 (de) | Effiziente Niedrigleistungsbewegungsschätzung für eine Video-Vollbildsequenz | |
| JP3582072B2 (ja) | リニアモータの固定子 | |
| DE60215258D1 (de) | Kühlschrank mit direkter Kühlung | |
| RU96113838A (ru) | Магнетронная распылительная система | |
| RU2004121025A (ru) | Ветроэлектрогенератор сегментного типа | |
| JP2585817Y2 (ja) | 同期リニアモータ | |
| ITUD20000150A0 (it) | Evaporatore perfezionato ad alta efficienza per refrigeratori o congelatori | |
| DE602004031585D1 (de) | Magnetkreis mit gegenüberliegenden Permanentmagneten | |
| RU2003117304A (ru) | Таймер холодильных устройств | |
| RU2003131239A (ru) | Таймер холодильных устройств на однополупериодных выпрямителях | |
| PT102785B (pt) | Tubos arrefecidos dispostos para formarem separadores de particulas tipo impacto | |
| RU2010116383A (ru) | Змеевик для охлаждения динамоэлектрической машины с устройством изменения направления потока в его кольцах | |
| JPS61295369A (ja) | スパツタリング装置 | |
| JPS6441144A (en) | Magnetron device | |
| SU903998A1 (ru) | Индуктор дл намагничивани |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200302 |