RU2002120302A - Эксимерный лазер - Google Patents

Claims (6)

1. Эксимерный лазер, содержащий корпус, в котором размещены система формирования газового потока, предыонизатор, заземленный электрод и высоковольтный электрод, отличающийся тем, что корпус лазера выполнен в виде керамической трубы, на ее внутренней поверхности установлен высоковольтный электрод, и введены две направляющие газового потока с цилиндрическими поверхностями, выполненные из керамики и размещенные по обе стороны от высоковольтного электрода так, что образующие цилиндрических поверхностей направляющих газового потока параллельны продольной оси корпуса, а их кромки с одной стороны примыкают к высоковольтному электроду.

2. Эксимерный лазер по п.1, отличающийся тем, что введен цилиндрический кожух, выполненный из механически прочного диэлектрического материала, например из стеклопластика, и размещенный на наружной поверхности корпуса лазера.

3. Эксимерный лазер по пп.1 и 2, отличающийся тем, что предыонизатор выполнен в виде системы формирования скользящего разряда по поверхности плоской диэлектрической пластины.

4. Эксимерный лазер по пп.1-3, отличающийся тем, что один из электродов лазера выполнен частично прозрачным, например с щелевыми окнами, перпендикулярными продольной оси электрода, а предыонизатор размещен со стороны нерабочей поверхности частично прозрачного электрода и выполнен симметричным относительно плоскости, включающей в себя продольные оси электродов.

5. Эксимерный лазер по п.4, отличающийся тем, что заземленный электрод лазера выполнен полупрозрачным и введена дополнительная система формирования газового потока через полупрозрачный электрод.

6. Эксимерный лазер по пп.1-5, отличающийся тем, что введен внешний протяженный цилиндрический корпус, при этом корпус лазера размещен внутри внешнего корпуса, а в пространство между корпусом лазера и внешним корпусом введен электрически прочный газ высокого давления, например сжатый воздух.