RU1784949C

RU1784949C - Micromoving driver

Info

Publication number: RU1784949C
Application number: SU904846163A
Authority: RU
Inventors: Юрий Львович Николаев; Александр Григорьевич Ершов; Владимир Михайлович Сапрыкин; Алексей Владленович Вишнеков
Original assignee: Московский институт приборостроения
Priority date: 1990-07-02
Filing date: 1990-07-02
Publication date: 1992-12-30

Abstract

Изобретение относитс к средствам автоматики и может использоватьс дл регулировани и поднастройки положени подвижных звеньев технологических и приборных систем. Исполнительный механизм микроперемещений содержит электромеханическое исполнительное устройство и блок управлени . Электромеханическое исполнительное устройство выполнено в виде установленного в корпусе пьезопакета с подвижным штоком и соосным ему датчиком положени подвижного штока. Пьезопакет составлен из отдельных секций многослойных пьезоэлементов, изолированных друг от друга с помощью прокладок и снабженных датчиками положени отсчетной поверхности секции относительно ее базовой поверхности. Перва секци пьезоэлементов входит в основной контур регулировани положени подвижного штока и работает по сигна лу ошибки между задающим воздействием и сигналом обратной св зи с датчика положени подвижного штока. Втора и последующие секции пьезоэлементов образуют корректирующие контуры регулировани и служат дл повышени качества регулировани основного контура, причем кажда последующа секци работает по сигналу ошибки положени отсчетной поверхности предыдущей секции пьезоэлементов. Дл формировани корректирующих воздействий блок управлени оснащен дополнительными дифференциальными и высоковольтными усилител ми. Благодар корректирующему действию вспомогательных секций пьезоэлементов значительно повышаетс запас устойчивости , а также статическа и динамическа точность регулировани положени подвижного штока основным контуром регулировани . сл с х| 09 Ю Ь. чThe invention relates to automation and can be used to adjust and adjust the position of the moving parts of technological and instrument systems. The micromotion actuator comprises an electromechanical actuator and a control unit. The electromechanical actuator is made in the form of a piezo-pack installed in the housing with a movable rod and a movable rod position sensor coaxial to it. The piezo-pack is composed of separate sections of multilayer piezoelectric elements isolated from each other by means of gaskets and provided with sensors for positioning the reference surface of the section relative to its base surface. The first section of the piezoelectric elements is included in the main loop position control loop and operates by an error signal between the driving action and the feedback signal from the moving rod position sensor. The second and subsequent sections of the piezoelectric elements form corrective control loops and serve to improve the quality of regulation of the main circuit, with each subsequent section working on the signal of the position error of the reference surface of the previous piezoelectric element section. To form corrective actions, the control unit is equipped with additional differential and high voltage amplifiers. Thanks to the corrective action of the auxiliary sections of the piezoelectric elements, the margin of stability is significantly increased, as well as the static and dynamic accuracy of the regulation of the position of the movable rod by the main control loop. sl with x | 09 Yu b. h

Description

Предложенное устройство относитс к средствам автоматики и может использоватьс в качестве исполнительного механизма высокоточных микроперемещений дл регулировани и поднастройки положе- ниг подвижных звеньев технологических и приборных системThe proposed device relates to automation and can be used as an actuator for high-precision microdisplacement to regulate and adjust the position of the moving parts of technological and instrument systems

Известен исполнительный механизм микроперемещений 1, состо щий из электромеханического исполнительного устройства , оснащенного пьезопакетом, и блока управлени . Недостатками известного устройства вл ютс нелинейность статической характеристики и нестабильностьA micropreplacement actuator 1 is known, consisting of an electromechanical actuator equipped with a piezo pack and a control unit. The disadvantages of the known device are the non-linearity of the static characteristics and instability

микроперемещений из-за гистерезиса и ползучести пьезокерамики, а также вли ни инструментальных и внешних факторов.micro displacements due to hysteresis and creep of piezoceramics, as well as the influence of instrumental and external factors.

Наиболее близким к изобретению техническим решением, выбранным в качестве прототипа, вл етс задатчик микроперемещений 2, в котором дл повышени линейности и стабильности использован датчик положени подвижного штока зэдат- чи ка, конструктивно встроенный в электро- Mex fn ejcfbe исполнительное устройство. При этом управл ющее напр жение на пье- зопакет формируетс пропорционально сигналу ошибки между задающим сигналом и сигналом с датчика положени подвижного штока. Дл получени высокой линейности и стабильности необходимо, чтобы коэффициент усилени разомкнутой цепи задатчика микроперемещений составл л 40-69 дБ. Однако увеличение коэффициента усилени до требуемых значений св зано со значительными трудност ми обеспечени устойчивости и качества переходного процесса. Последнее объ сн етс тем, что основные инерционные звень задатчика имеют примерно одинаковые посто нные времени, причем пьезопакет с подвижным штоком образует колебательное звено с большим значением показател колебательности частотной характеристики. Дополнительное запаздывание в системе обусловлено также гистерезисной характеристикой пьезопакета. Таким образом, получение требуемых значений коэффициента усилени возможно лишь в области низких частот, что ограничивает частотный диапазон регулировани , Введение же воздействи по производной хот и расшир ет частотный диапазон регулировани , однако значительно снижает запас устойчивости.The closest technical solution to the invention, chosen as a prototype, is a micromotor switch 2, in which, to increase linearity and stability, a position sensor of the moving rod of the sensor is used, which is structurally integrated into the electro-Mex fn ejcfbe actuator. In this case, the control voltage to the piezoelectric packet is generated in proportion to the error signal between the reference signal and the signal from the position sensor of the moving rod. In order to achieve high linearity and stability, it is necessary that the open-loop gain of the micromotion adjuster is between 40-69 dB. However, increasing the gain to the desired values is associated with significant difficulties in ensuring the stability and quality of the transient. The latter is explained by the fact that the main inertial links of the setter have approximately the same time constants, and the piezoelectric packet with a movable rod forms an oscillating link with a large value of the oscillation frequency index. The additional delay in the system is also due to the hysteretic characteristic of the piezoelectric packet. Thus, obtaining the required gain values is possible only in the low-frequency region, which limits the frequency range of regulation, the introduction of an action on the derivative although expands the frequency range of regulation, but significantly reduces the margin of stability.

Целью насто щего изобретени вл етс повышение статической и динамической точности регулировани положени подвижного штока исполнительного механизма микроперемещений.An object of the present invention is to increase the static and dynamic accuracy of the position control of the movable rod of a micromotion actuator.

Сущность изобретени заключаетс в следующем, Исполнительный механизм микроперемещений содержит электромеханическое исполнительное устройство, выполненное в виде установленного в корпусе пьезопакета с подвижным штоком или соос- ным ему датчиком положени подвижного штока, а также блок управлени , включающий задатчик перемещени подвижного штока, дифференциальный усилитель сигнала ошибки положени подвижного штока, подключенный первым входом к выходу задатчика перемещени подвижного штока, высоковольтный усилитель напр жени , вход которого подключен к выходу дифференциального усилител сигнала ошибки положени подвижного штока, и измерительный преобразователь, св занный с датчиком положени подвижного штока иThe essence of the invention is as follows: The actuator of micromotion contains an electromechanical actuator made in the form of a piezo-pack installed in the housing with a movable rod or a position sensor for the movable rod coaxial to it, as well as a control unit including a movable rod displacement adjuster, a differential position error signal amplifier a movable rod, connected by a first input to the output of the movable rod displacement adjuster, a high voltage voltage amplifier, the input of which is connected to the output of the differential amplifier of the error signal for the position of the moving rod, and a transmitter connected to the sensor for the position of the moving rod and

подключенный выходом ко второму входу дифференциального усилител сигнала ошибки положени подвижното штока.connected to the second input of a differential amplifier of a movable rod position error signal.

Поставленна цель изобретени достигаетс тем. что пьезопакет выполнен в видеThe object of the invention is achieved by that. that the piezo package is made in the form

0 набора отдельных секций из многослойной пьезокерамики, установленных последовательно и изолированных друг от друга с помощью прокладок. Кажда секци пьезопакета, кроме последней, снабжена0 a set of individual sections of multilayer piezoceramics installed in series and isolated from each other using gaskets. Each section of the piezoelectric package, except the last, is equipped with

5 датчиком положени отсчетной поверхно- . сти секции относительно ее базовой поверхности , дл чего неподвижный чувствительный элемент датчиков положени закреплен в основании секции, а подвижный чув0 ствительный элемент закреплен на .прокладке, установленной на отсчетной поверхности секции. При этом выход высоко- вольтного усилител напр жени подключен к обкладкам пьезоэлементов5 position sensor reference surface. the section relative to its base surface, for which a fixed position sensor is fixed at the base of the section, and a movable sensor is fixed to the gasket mounted on the reading surface of the section. In this case, the output of the high-voltage voltage amplifier is connected to the piezoelectric cells

5 первой секции пьезопакета. Таким образом, перва секци пьезопакета входит в основной контур регулировани положени подвижного штока и работает по ошибке между задающим воздействием и сигналом5 of the first section of the piezo pack. Thus, the first section of the piezoelectric packet is included in the main loop for regulating the position of the movable rod and works by mistake between the driving action and the signal

0 с датчика положени подвижного штока. Втора и последующие секции пьезопакета служат дл повышени качества регулировани основного контура.0 from the position sensor of the moving rod. The second and subsequent sections of the piezo pack serve to improve the quality of the control of the main circuit.

Дл этого блок управлени оснащен до5 полнительными измерительными преобразовател ми , каждый из которых св зан с датчиком положени отсчетной поверхности соответствующей секции, т.е. первый дополнительный измерительный преобра0 зователь св зан с датчиком положени от- счетной поверхности первой секции, второй дополнительный измерительный преобразователь - с датчиком положени второй секции и так далее. Кроме того, блок управ5 лени оснащен дополнительными дифференциальными усилител ми, к выходу каждого из которых подключен дополнительный высоковольтный усилитель напр жени , причем выход первого дополнитель0 ного высоковольтного усилител подключен к обкладкам пьезоэлементов,второй секции, выход второго дополнительного высоковольтного усилител - к обкладкам пьезоэлементов третьей секции и т.д. сFor this, the control unit is equipped with 5 additional measuring transducers, each of which is connected to the position sensor of the reading surface of the corresponding section, i.e. the first additional measuring transducer is connected to the position sensor of the counting surface of the first section, the second additional measuring transducer is connected to the position sensor of the second section, and so on. In addition, the control unit is equipped with additional differential amplifiers, the output of each of which is connected to an additional high-voltage amplifier, the output of the first additional high-voltage amplifier connected to the plates of the piezoelectric elements, the second section, the output of the second additional high-voltage amplifier - to the plates of the piezoelectric elements of the third section etc. with

5 подключением последнего дополнительного высоковольтного усилител к обкладкам пьезоэлементов последней секции пьезопакета . Первый вход первого дополнительного дифференциального усилител подключен к выходу измерительного преобразовател 5 by connecting the last additional high-voltage amplifier to the plates of the piezoelectric elements of the last section of the piezoelectric package. The first input of the first additional differential amplifier is connected to the output of the measuring transducer

первой секции, а второй вход этого усилител подключен к выходу дифференциального усилител сигнала ошибки положени подвижного штока в основном контуре регулировани . Таким образом, на выходе первого дополнительного дифференциального усилител формируетс сигнал ошибки первой секции, который отрабатываетс пьезоэле- ментами второй секции. Второй дополнительный дифференциальный усилитель св зан своими входами соответственно с выходом измерительного преобразовател второй секции и выходом первого дополнительного дифференциального усилител . На его выходе формируетс сигнал ошибки положени второй секции, который подаетс и отрабатываетс пьезоэлементамитретьей секции. Каждый последующий дополнительный дифференциальный усилитель формирует сигнал ошибки соответствующей секции, который отрабатываетс пьезоэлементами следующей секции. Пьезоэлементы последней секции отрабатывают сигнал ошибки предпоследней секции .the first section, and the second input of this amplifier is connected to the output of the differential amplifier of the error signal of the position of the moving rod in the main control loop. Thus, at the output of the first additional differential amplifier, an error signal of the first section is generated, which is processed by the piezoelectric elements of the second section. The second additional differential amplifier is connected by its inputs respectively to the output of the measuring transducer of the second section and the output of the first additional differential amplifier. At its output, a position error of the second section is generated, which is supplied and processed by the piezoelectric element of the third section. Each subsequent additional differential amplifier generates an error signal of the corresponding section, which is processed by the piezoelectric elements of the next section. The piezoelectric elements of the last section process the error signal of the penultimate section.

Повышение статической точности регулировани положени подвижного штока исполнительного механизма св зано с тем. что частична линеаризаци и стабилизаци характеристик элементов исполнительного тракта основного контура регулировани (высоковольтный усилитель напр жени - перва секци пьезопакета) достигаетс корректирующим действием второй секции пьезопакета, работающей по ошибке положени первой секции. В свою очередь, ошибки положени второй секции корректируютс с помощью третьей секции. Так как максимальна ошибка каждой секции из-за нелинейности и нестабильности составл ет пор дка 0,35 (30%), где S -диапазон перемещений, то при наличии одной основной и одной корректирующей секции суммарна ошибка будет составл ть уже 0,3 (0,3S)0,09 (9%), в случае двух корректирующих секций 0.3(0,09S)0,027 (2,7%), в общемImproving the static accuracy of the positioning of the movable rod of the actuator is associated with this. that partial linearization and stabilization of the characteristics of the elements of the executive path of the main control loop (the high-voltage voltage amplifier is the first section of the piezoelectric packet) is achieved by the corrective action of the second section of the piezoelectric packet, operating by mistake in the position of the first section. In turn, position errors of the second section are corrected by the third section. Since the maximum error of each section due to nonlinearity and instability is of the order of 0.35 (30%), where S is the range of displacements, if there is one main and one correcting section, the total error will be already 0.3 (0 , 3S) 0.09 (9%), in the case of two corrective sections 0.3 (0.09S) 0.027 (2.7%), in total

ДD

случае у0 П Xi, где у, - приведенна погрешность секции, у0 - приведенна погрешность пьезопакета. Благодар корректирующему действию вспомогательных секций коэффициент усилени разомкнутой цепи основного контура регулировани может быть значительно уменьшен, в частности дл трехсекционно- го пьезопакета (один основной - два корректирующих ) более чем в 10 раз. Это не только повышает запас устойчивости, но и улучшает качество переходного процессаcase y0 X Xi, where y, is the section error, y0 is the piezo error. Due to the corrective action of the auxiliary sections, the open-loop gain of the main control loop can be significantly reduced, in particular for a three-section piezo-pack (one main — two corrective) by more than 10 times. This not only increases the margin of stability, but also improves the quality of the transition process.

(снижение перерегулировани ). Повышение динамической точности регулировани св зано с тем, что наличие корректирующих секций обеспечивает, во-первых, частичную(reduction of overshoot). The increase in dynamic control accuracy is due to the fact that the presence of corrective sections provides, firstly, a partial

компенсацию инерционности, обусловленной емкостными свойствами пьезоэлемен- тов (подьем АЧХ разомкнутой цепи основного контура регулировани ), и, во- вторых, уменьшение фазового сдвига из-заcompensation for the inertia caused by the capacitive properties of the piezoelectric elements (raising the frequency response of an open circuit of the main control loop), and secondly, a decrease in the phase shift due to

0 гистеризиса и вли ни инерционности элементов . Это позвол ет расширить частотный диапазон исполнительного механизма, уменьшить врем переходного процесса без увеличени коэффициента усилени ра5 зомкнутой цепи основного контура регулировани .0 hysterisis and the influence of inertia of the elements. This allows you to expand the frequency range of the actuator, to reduce the transient time without increasing the gain of the open circuit of the main control loop.

На чертеже показан пример выполнени исполнительного механизма микроперемещений с трехсекционным пьезопаке0 томThe drawing shows an example of the execution of the actuator of micromotion with a three-section piezo pack

Он состоит из электромеханического исполнительного устройства и блока управлени . Электромеханическое исполнительное устройство содержит трехсекционныйIt consists of an electromechanical actuator and a control unit. The electromechanical actuator contains a three-section

5 пьезопакет, включающий первую 1, вторую 2 и третью 3 секции пьезоэлементов, изолированных между собой прокладками 4 и 5, подвижный шток 6, датчик положени 7 подвижного штока, датчики положени 8, 95 piezoelectric package, including the first 1, second 2 and third 3 sections of piezoelectric elements, insulated by gaskets 4 and 5, a movable rod 6, a position sensor 7 of the movable rod, position sensors 8, 9

0 отсчетной поверхности первой и второй секций соответственно, а также элементы корпуса 10. Блокуправлени включаетзадатчик перемещени 11 подвижного штока, измерительный преобразователь 12 сигнала с0 of the reference surface of the first and second sections, respectively, as well as elements of the housing 10. The control unit includes a motion detector 11 of the moving rod, a signal transducer 12 with

5 датчика положени подвихшого штока, измерительные преобразователи 13,14 сигналов с датчиков положени отсчетной поверхности первой и второй секций пьезо- элемонтов соответственно, дифференци0 альный усилитель 15 сигнала ошибки положени подвижного штока, дифференциальные усилители 16 и 17 сигналов ошибки положени отсчетиой поверхности первой и второй секций соответственно, вы-5 displaced rod position sensors, measuring transducers 13,14 signals from the position sensors of the reading surface of the first and second sections of the piezoelectric elements, respectively, the differential amplifier 15 of the moving rod position error signal, the differential amplifiers 16 and 17 of the position error signals of the reading surface of the first and second sections accordingly, you

5 сокрвольтные усилители напр жени 18, 19 и 20 дл каждой из секций пьезопакета.5 volvolt voltage amplifiers 18, 19 and 20 for each of the sections of the piezoelectric packet.

Исполнительный механизм микроперемещений работает следующим образом. Требуемое перемещение подвижногоThe actuator micromotion moves as follows. Required rolling movement

0 штока б задаетс с помощью задатчика 11, подключенного к одному из входов дифференциального усилител 15. На второй вход дифференциального усилител 15 поступает сигнал измерительной информации с дат5 чика положени подвижного штока 6, преобразованный измерительным преобразователем 12. В результате сравнени задающего и выходного сигналов на выходе дифференциального усилител 15 формируетс сигнал ошибки положени подвижного0 of the rod b is set using the adjuster 11 connected to one of the inputs of the differential amplifier 15. The second input of the differential amplifier 15 receives the measurement information signal from the position sensor 5 of the movable rod 6, converted by the measuring transducer 12. As a result of comparing the output and output signals differential amplifier 15 generates a position error signal of the movable

штока, который усиливаетс высоковольтным усилителем напр жени 18 и отрабатываетс пьезоэлементами первой секции пьезопакета. Так работает основной контур регулировани положени подвижного штока . Втора и треть секции пьезопакета служат дл повышени качества регулировани основного контура Последнее достигаетс использованием установленных в первой и второй секци х датчиков положени отсчст- ных поверхностей этих секций 8 и 9. Сигнал измерительной информации с датчика положени отсчетной поверхности первой секции 8 после преобразовани измерительным преобразователем 13 поступает на один из входов дифференциального усилител 16, на второй вход которого поступает выходной сигнал с дифференциального усилител 15, вл ющийс задающим сигналом дл первой секции На выходе дифференциального усилител 16 формируетс сигнал ошибки положени огсчетной поверхности первой секции, который после усилени высоковольтным усилителем 19 подаетс дл отработки на пьезоэлементы второй секции . В свою очерель, сигнал ошибки положени отсчетной поверхности второй секции, формируемый с помощью датчика положени 9, измерительного преобразовател 14 и дифференциального усилител 17, подключенного одним из входов к выходу дифференциального усилител 16. поступает дл отработки на высоковольтный усилитель 20 и далее на пьезоэлементы третьей секции.a rod, which is amplified by a high voltage voltage amplifier 18 and practiced by the piezoelectric elements of the first section of the piezoelectric packet. This is how the main loop position control loop works. The second and third sections of the piezoelectric packet serve to improve the quality of control of the main circuit. The latter is achieved using the position sensors of the detached surfaces of these sections 8 and 9 installed in the first and second sections. The signal of the measurement information from the position sensor of the reference surface of the first section 8 after conversion by the transducer 13 arrives at one of the inputs of the differential amplifier 16, the second input of which receives the output signal from the differential amplifier 15, which is giving a signal to the first section at the output of differential amplifier 16 is formed by the position error signal ogschetnoy surface of the first section, which, after high-gain amplifier 19 is supplied to piezoelectric castings on the second section. In turn, the error signal of the position of the reading surface of the second section, generated by the position sensor 9, the measuring transducer 14 and the differential amplifier 17 connected to one of the inputs to the output of the differential amplifier 16. is fed to the high-voltage amplifier 20 and then to the piezoelectric elements of the third section .

Благодар корректирующему действию пьезоэлемёнтов второй и третьей секций значительно повышаетс запас устойчивости , а также статическа и динамическа точность регулировани положени подвижного штока основным контуром регулировани .Due to the corrective action of the piezoelectric elements of the second and third sections, the margin of stability is significantly increased, as well as the static and dynamic accuracy of the position of the movable rod in the main control loop.

Ф,ормула изобретени Исполнительный механизм микроперемещений , содержащий электромеханическое исполнительное устройство, выполненное в виде установленного в корпусе пьезопакета с подвижным штоком и соос- ным ему датчиком положени подвижного штока, а также блок управлени , включающий задатчик перемещени подвижного штока, дифференциальный усилитель сигнала ошибки положени подвижного штока, подключенный первым входом к выходу задатчика перемещени подвижного штока, высоковольтный усилитель напр жени , вход которого подключен к выходу дифференциального усилител сигнала ошибкиSUMMARY OF THE INVENTION An actuator for micro displacements comprising an electromechanical actuator made in the form of a piezo-pack installed in the housing with a movable rod and a position sensor for the movable rod coaxial to it, as well as a control unit including a movable rod displacement encoder, a differential amplifier for the error signal of the position of the movable rod rod connected by the first input to the output of the movable rod displacement encoder, a high-voltage voltage amplifier, the input of which is connected differential error amplifier output

положени подвижного штрека, и измерительный преобразователь, св занный с датчиком положени подвижного штока и подключенный выходом к второму входу дифференциального усилител сигналаthe position of the moving drift, and a transmitter connected to the position sensor of the moving rod and connected to the output of the second input of the differential signal amplifier

ошибки положени подвижного штока, отличающийс тем, что, с целью повышени статической и динамической точности, пьезопакет выполнен в виде набора отдельных секций из многослойной пьезокерамики , установленных последовательно и изолированных друг от друга с помощью прокладок, причем кажда секци пьезопакета , кроме последней, снабжена датчиком положени отсчетной поверхности секцииerrors in the position of the movable rod, characterized in that, in order to increase static and dynamic accuracy, the piezoelectric pack is made up of a set of separate sections of multilayer piezoceramics arranged in series and isolated from each other by means of gaskets, each section of the piezoelectric packet, except the last, is equipped with a sensor position of the reference surface of the section

относительно ее базовой поверхности, причем неподвижный чувствительный элемент датчиков положени отсчетной поверхности секции закреплен на прокладке в основании секции, а подвижный чувствительный элемент закреплен на прокладке, установленной на отсчетной поверхности секции, блок управлени оснащен дополнительными измерительными преобразовател ми, каждый из которых св зан с датчиком положени relative to its base surface, the fixed sensor element of the position sensors of the reading surface of the section mounted on the gasket at the base of the section, and the movable sensitive element mounted on the gasket mounted on the reading surface of the section, the control unit is equipped with additional measuring transducers, each of which is connected to the sensor provisions

отсчегной поверхности соответствующей секции, дополнительными дифференциальными усилител ми, первый вход каждого из которых соединен с выходом соответствующего дополнительного измерительного преобразовател , дополнительными высоковольтными усилител ми напр жени , каждый из которых подключен входом к выходу соответствующего дополнительного дифференциального усилител , выход высоковольтного усилител напр жени подключен к обкладкам пьезоэлемёнтов первой секции пьезопакета, вых од каждого дополнительного высоковольтного усилител напр жени подключен к обкладкам пьезоэлементов каждой последующей секции пьезопакета, второй вход первого дополнительного дифференциального усилител подключен к выходу дифференциального усилител сигнала ошибки положени подвижного штока, второй вход каждого последующего дополнительного дифференциального усилител подключен к выходу предыдущего дополнительного дифференциального усилител .the reference surface of the corresponding section, by additional differential amplifiers, the first input of each of which is connected to the output of the corresponding additional measuring transducer, by additional high-voltage voltage amplifiers, each of which is connected by an input to the output of the corresponding additional differential amplifier, the output of the high-voltage voltage amplifier is connected to the plates piezoelectric elements of the first section of the piezoelectric package, output of each additional high-voltage the voltage amplifier is connected to the piezoelectric plates of each subsequent section of the piezoelectric package, the second input of the first additional differential amplifier is connected to the output of the differential amplifier of the error signal of the position of the moving rod, the second input of each subsequent additional differential amplifier is connected to the output of the previous additional differential amplifier.

11eleven

l- 4l- 4

7575

18eighteen

8 tZ9 3 3 Ю 8 tZ9 3 3 S

/ / /// / / // / /// / / /

/Ю/YU